JP2016039248A - 基板収納容器 - Google Patents
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Abstract
Description
また、前記支持部材が、下部に前記気体導入用の開閉弁と接続される接続口を備えることを特徴とする。
さらに、前記支持部材全体が、前記発泡部材から形成されていることを特徴とする。
蓋体11の周壁には容器本体2との間を密閉するリング形状のシール部材が取り付けられ、容器本体2と蓋体11とを嵌合させて係止機構により閉鎖することにより、開口部4は密閉される。
発泡部材8を設けた支持部材3は、予め発泡成形しておいた発泡部材8を金型内に配置して支持部材3を成形するインサート成型により製造できる。
支持部材3は、係止構造により容器本体2へ着脱可能に取り付けることも可能であるが、インサート成型などによって容器本体2と一体化することもできる。
また、容器内に別途ノズル部材などを配置する必要がないため、基板収納容器の小型化が図れる。
さらに、実施例3として支持部材全体を発泡材料で形成し、置換ガスを支持部材全面から放出する構造とすることもできる。実施例3では支持部材全面から置換ガスが放出されるため、多量の置換ガスを供給でき置換効率が向上する。また、発泡材料のみで支持部材が形成されるため、発泡部材を支持部材とインサート成形することなどが不要となり支持部材の製造工程を簡略化することができる。
例えば、実施の形態では支持部材3に開口側支持部3bと奥側支持部3cとを設けたが、基板の形状や重さに応じて中間支持部を設ける、または一体の支持部とするなど形状変更することができる。また、発泡部材の材料として熱可塑性樹脂を発泡成形する例を示したが、多孔質体を形成できるのであれば、発泡部材の材料、製造方法は特に限定されるものではない。
2 容器本体
3 支持部材
3a 基部
3b 開口側支持部
3c 奥側支持部
5a 気体導入用の開閉弁
5b 気体排気用の開閉弁
8 発泡部材
8a 発泡部材の表面
9 通気部
10 接続口
11 蓋体
Claims (3)
- 開口を有する容器本体と、前記開口を塞ぐ蓋体と、前記容器本体の内側壁に設けられ基板を支持する一対の支持部材と、気体導入用の開閉弁と、気体排気用の開閉弁とを備えた基板収納容器であって、
前記支持部材は、内部に中空で前記気体導入用の開閉弁に接続された通気部と、前記支持部材の外表部の少なくとも一部を形成する発泡部材とを備え、
前記気体導入用の開閉弁から注入される気体が、前記支持部材の前記通気部と前記発泡部材とを介して、前記基板収納容器内部の気体と置換されることを特徴とする基板収納容器。 - 前記支持部材が、下部に前記気体導入用の開閉弁と接続される接続口を備えることを特徴とする、請求項1記載の基板収納容器。
- 前記支持部材全体が、前記発泡部材から形成されていることを特徴とする、請求項1または2に記載の基板収納容器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014161530A JP6376383B2 (ja) | 2014-08-07 | 2014-08-07 | 基板収納容器 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2016039248A true JP2016039248A (ja) | 2016-03-22 |
JP6376383B2 JP6376383B2 (ja) | 2018-08-22 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019151394A (ja) * | 2018-03-06 | 2019-09-12 | 凸版印刷株式会社 | 多重包装袋 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH11251422A (ja) * | 1998-03-03 | 1999-09-17 | Shinko Electric Co Ltd | ウェーハ収納容器 |
JP2003128180A (ja) * | 2001-10-29 | 2003-05-08 | Kyokuhei Glass Kako Kk | ガラス基板搬送用ボックス |
JP2010270823A (ja) * | 2009-05-21 | 2010-12-02 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | パージバルブ及び基板収納容器 |
-
2014
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Patent Citations (3)
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JP6376383B2 (ja) | 2018-08-22 |
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