JP2016039199A - 太陽電池、電子機器および太陽電池の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】太陽電池を形状精度良く且つ生産性良く製造する方法を提供する。
【解決手段】基板2の第1面2aに発電膜3を設置し、発電膜3に重ねて透明導電膜4を設置し、透明導電膜4上及び第1面2aと反対側の第2面2bに第1表レジスト膜22及び第1裏レジスト膜23を設置し、第1裏レジスト膜23を所定の形状にパターニングし、第2面2b側からエッチング液26を基板2に噴射して基板2を所定の形状に形成する。
【選択図】図6
【解決手段】基板2の第1面2aに発電膜3を設置し、発電膜3に重ねて透明導電膜4を設置し、透明導電膜4上及び第1面2aと反対側の第2面2bに第1表レジスト膜22及び第1裏レジスト膜23を設置し、第1裏レジスト膜23を所定の形状にパターニングし、第2面2b側からエッチング液26を基板2に噴射して基板2を所定の形状に形成する。
【選択図】図6
Description
本発明は、太陽電池、電子機器および太陽電池の製造方法に関するものである。
太陽光等の光を受光して発電する太陽電池が広く用いられている。太陽電池は基板上に発電膜及び透明導電膜が設置されている。そして、基板の切断方法が特許文献1に開示されている。それによると、切断装置は三角柱状の刃物の先端で基板を削るように刃物を一方向に揺動していた。
この方法は発電膜及び透明導電膜を直線に沿って凹凸なしに切断することができる。しかし、形状が曲線により構成されるときには刃物を揺動する方向を複雑に制御しなければならない。従って、生産性良く太陽電池を形成するのが難しい。
エッチング法を用いて太陽電池の形状を形成するときには形状に曲線が含まれていても容易に形成することができる。そして、マスクの精度を良くすることにより形状の精度が良くなる。エッチング法ではエッチング液を基板に吹きかけてエッチングするので、特許文献1に示す方法のように刃物で削る方法に比べて生産性良く製造することができる。従って、太陽電池の形状にエッチング法を用いることにより複雑な形状でも位置精度良く、生産性良く製造することができる。
基板、発電膜及び透明導電膜は異なる材質からなり、各材質に対応するエッチング液が用いられる。太陽電池の外形を形成するとき、先ず、透明導電膜をエッチングするためのマスクを設置して透明導電膜をエッチングする。次に、発電膜をエッチングする。続いて、基板において透明導電膜が設置された面の反対側の面にマスクを設置して、基板を両面からエッチングする。この方法により基板、発電膜及び透明導電膜をエッチングして太陽電池の外形を形成することができる。
基板をエッチングするエッチング液は発電膜をエッチングすることができない。そこで、基板を第1面及び第2面の両面からエッチング液を噴射する方法では、まず、第1面及び第2面にレジスト膜を設置してパターニングする。発電膜をエッチングして所定の形状にパターニングする。次に、続いて、基板の両面からエッチング液を噴射する。従って、エッチング液を変えてエッチングを2回おこなう必要がある。そこで、さらに生産性良く製造できる太陽電池の製造方法が望まれていた。
本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
[適用例1]
本適用例にかかる太陽電池の製造方法であって、基板の第1面に発電膜を設置し、前記第1面側と前記第1面の反対側の第2面とに第1レジスト膜を設置し、前記第1レジスト膜を所定の形状にパターニングし、前記第2面側からエッチング液を前記基板に噴射して前記基板を所定の形状に形成することを特徴とする。
本適用例にかかる太陽電池の製造方法であって、基板の第1面に発電膜を設置し、前記第1面側と前記第1面の反対側の第2面とに第1レジスト膜を設置し、前記第1レジスト膜を所定の形状にパターニングし、前記第2面側からエッチング液を前記基板に噴射して前記基板を所定の形状に形成することを特徴とする。
本適用例によれば、基板の第1面に発電膜が設置される。基板の第1面と反対側の第2面に第1レジスト膜が設置され、第1レジスト膜を所定の形状にパターニングしている。そして、第1レジスト膜をマスクにして第2面側からエッチング液を基板に噴射して基板を所定の形状に形成している。
エッチング液は基板をエッチングすることが可能であり、発電膜を溶かすことはできない。第2面側からエッチングするとき、第1レジスト膜が無い場所では基板が所定の形状に除去されて薄くなる。そして、発電膜は薄い膜でありエッチング液の噴射により飛ばされて除去される。従って、発電膜はエッチングされた基板と同じ形状に形成することができる。つまり、1回のエッチングで発電膜及び基板のエッチングが行われる。
基板を第1面及び第2面の両面からエッチング液を噴射する方法では、まず、発電膜をエッチングして所定の形状にパターニングする。次に、第2面に第1レジスト膜を設置してパターニングする。続いて、基板を両面からエッチング液を噴射してエッチングする。従って、発電膜と基板との2回のエッチングが行われる。この方法に比べて、第2面からのみエッチング液を噴射する方法では、エッチングが1回であるので2回のエッチングに比べて生産性良く太陽電池を形成することができる。
[適用例2]
上記適用例にかかる太陽電池の製造方法において、前記第1レジスト膜を設置する前に前記発電膜に重ねて透明導電膜を設置し、前記第1レジスト膜は前記透明導電膜上に設置され、前記第1レジスト膜をパターニングした後で前記透明導電膜をエッチングし、前記透明導電膜の側面を覆って第2レジスト膜を設置することを特徴とする。
上記適用例にかかる太陽電池の製造方法において、前記第1レジスト膜を設置する前に前記発電膜に重ねて透明導電膜を設置し、前記第1レジスト膜は前記透明導電膜上に設置され、前記第1レジスト膜をパターニングした後で前記透明導電膜をエッチングし、前記透明導電膜の側面を覆って第2レジスト膜を設置することを特徴とする。
本適用例によれば、基板をエッチングする前に透明導電膜がパターニングされる。そして、透明導電膜上が第1レジスト膜に覆われ、透明導電膜の側面が第2レジスト膜に覆われる。従って、透明導電膜が第1レジスト膜及び第2レジスト膜に覆われた形態で基板がエッチングされる。その結果、透明導電膜がエッチング液に腐食されることを防止することができる。
[適用例3]
上記適用例にかかる太陽電池の製造方法において、前記エッチング液を前記基板に噴射するとき、前記第2面を重力加速度方向に向けることを特徴とする。
上記適用例にかかる太陽電池の製造方法において、前記エッチング液を前記基板に噴射するとき、前記第2面を重力加速度方向に向けることを特徴とする。
本適用例によれば、基板の第2面を重力加速度方向に向けて第2面にエッチング液が噴射される。第2面に到達したエッチング液は基板と反応し基板の材料を含んだ状態となる。そして、第2面に位置するエッチング液は重力の作用により第2面から離脱する。従って、基板の第2面では基板の材料を含んだエッチング液の除去と基板の材料を含まないエッチング液の供給が並行して行われる。その結果、効率よく基板をエッチングすることができる。
[適用例4]
本適用例にかかる太陽電池であって、第1面と前記第1面と対向する第2面を有する基板の前記第1面に発電膜が設置され、前記基板の側面が前記第1面に対して斜面になっており、前記第2面に対して前記第1面が突出することを特徴とする。
本適用例にかかる太陽電池であって、第1面と前記第1面と対向する第2面を有する基板の前記第1面に発電膜が設置され、前記基板の側面が前記第1面に対して斜面になっており、前記第2面に対して前記第1面が突出することを特徴とする。
本適用例によれば、基板は第1面と第2面とを有し、第1面と第2面とは対向して配置している。そして、基板の第1面には発電膜が設置されている。基板の側面は第1面に対して斜面となっている。そして、第2面に対して第1面が突出する。基板の側面が第1面に対して斜面になっていることから基板はエッチング液を噴射して形成されている。そして、発電膜が設置されている第1面が第2面より突出していることから、第2面にレジスト膜を設置して第2面側からエッチング液を噴射している。このとき、第2面からのみエッチング液を噴射する方法となっている。従って、本適用例の太陽電池はパターニングが1回の為、パターニングの位置ずれを生じない電池である。また、基板及び発電膜のエッチングが1回で行われるので2回に分けてエッチングする方法に比べて生産性良く形成された太陽電池とすることができる。
[適用例5]
本適用例にかかる電子機器は、太陽電池を備えた電子機器であって、前記太陽電池は、第1面と前記第1面と対向する第2面を有する基板の前記第1面に発電膜が設置され、前記基板の側面が前記第1面に対して斜面となっており、前記第2面に対して前記第1面が突出することを特徴とする。
本適用例にかかる電子機器は、太陽電池を備えた電子機器であって、前記太陽電池は、第1面と前記第1面と対向する第2面を有する基板の前記第1面に発電膜が設置され、前記基板の側面が前記第1面に対して斜面となっており、前記第2面に対して前記第1面が突出することを特徴とする。
本適用例によれば、電子機器は太陽電池を備えている。該太陽電池の基板は第1面と第2面とを有し、第1面と第2面とは対向して配置している。そして、基板の第1面には発電膜が設置されている。基板の側面は第1面に対して斜面となっている。そして、第2面に対して第1面が突出する。基板の側面が第1面に対して斜面になっていることから基板はエッチング液を噴射して形成されている。そして、発電膜が設置されている第1面が第2面より突出していることから、第2面にレジスト膜を設置して第2面側からエッチング液を噴射している。このとき、第2面からのみエッチング液を噴射する方法となっている。
従って、本適用例の太陽電池はパターニングが1回の為、パターニングの位置ずれを生じない電池であり、形状が精度良く形成された電池である。また、基板及び発電膜のエッチングが1回で行われるので2回に分けてエッチングする方法に比べて生産性良く形成された太陽電池とすることができる。その結果、電子機器は形状が精度良く形成され生産性良く形成された太陽電池を備える機器とすることができる。
本実施形態では、太陽電池と太陽電池の製造方法との特徴的な例について、図に従って説明する。尚、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材毎に縮尺を異ならせて図示している。
(第1の実施形態)
第1の実施形態にかかわる太陽電池について図1〜図9に従って説明する。図1(a)は、太陽電池の構造を示す概略斜視図である。図1(a)に示すように、太陽電池1は四角形の基板2を備えている。基板2は導電性のある板部材であれば良く、各種の金属板を用いることができる。本実施形態では、例えば、基板2にステンレス板を用いている。ステンレス板は耐食性に優れているので製造工程で使用される環境で酸化し難い。基板2の厚み方向をZ方向とし、基板2の直交する2辺が延在する方向をX方向及びY方向とする。
(第1の実施形態)
第1の実施形態にかかわる太陽電池について図1〜図9に従って説明する。図1(a)は、太陽電池の構造を示す概略斜視図である。図1(a)に示すように、太陽電池1は四角形の基板2を備えている。基板2は導電性のある板部材であれば良く、各種の金属板を用いることができる。本実施形態では、例えば、基板2にステンレス板を用いている。ステンレス板は耐食性に優れているので製造工程で使用される環境で酸化し難い。基板2の厚み方向をZ方向とし、基板2の直交する2辺が延在する方向をX方向及びY方向とする。
基板2の+Z方向側の面には発電膜3、透明導電膜4及び第1絶縁膜5がこの順に重ねて設置されている。発電膜3は光を受光して電流を流す起電力のある膜である。透明導電膜4は光透過性及び導電性がある膜である。透明導電膜4の種類は特に限定されず、例えば、IGO(Indium−gallium oxide)、ITO(Indium Tin Oxide)、ICO(Indium−cerium oxide)を用いることができる。本実施形態では、例えば、透明導電膜4にITOを採用している。第1絶縁膜5は透明導電膜4を保護し電気的に絶縁する膜である。第1絶縁膜5の種類は特に限定されず、例えば、アクリル樹脂等の樹脂膜を用いることができる。
第1絶縁膜5はX方向且つ−Y方向の角が四角形に欠けた切欠部5aとなっている。従って、切欠部5aでは透明導電膜4が露出する。そして、切欠部5aでは透明導電膜4上に導電性ペースト6及び異方性導電膜7が重ねて設置され、異方性導電膜7上には配線部材8が設置されている。
導電性ペースト6は導電性粒子を樹脂材料に分散させたものであり、樹脂材料を固化して用いられる。導電性ペーストの導電性粒子の材料は特に限定されず、銀、銅等の金属の他カーボンブラックと称される炭素粒子等を用いることができる。本実施形態では、例えば、導電性ペーストの導電性粒子の材料に炭素粒子を用いている。
異方性導電膜7は異方性導電膜である。異方性導電膜7は導電性粒子を樹脂材料からなる接着材に分散させたものであり、樹脂材料を固化して用いられる。異方性導電膜7の導電性粒子は特に限定されないが、例えば、ポリスチレン等の樹脂の球体に内側からニッケル層、金メッキ層、を重ねた直径3〜5μmの球体を用いることができる。他にも金属粒子を用いることもできる。
配線部材8は可撓性基板8aに金属膜8bが設置され、金属膜8bが異方性導電膜7と接続されている。可撓性基板8aはフィルム状の絶縁体であり、カバーレイと呼ばれるポリイミド膜もしくはフォトソルダーレジスト膜、ポリエチレンテレフタラート樹脂(PET)等を用いることができる。金属膜8bは銅箔等の金属箔であり可撓性基板8aに接着されている。他にも金属膜8bにはカーボンペースト、銀ペースト等を固化した導電膜を用いることができる。
基板2の−Z方向側の面には第2絶縁膜9が設置されている。第2絶縁膜9は絶縁性があれば良く特に限定されず樹脂材料を用いることができる。本実施形態では、例えば、第2絶縁膜9にポリエステルフィルムを用いている。
各部材の厚みは特に限定されないが、本実施形態では、例えば、次の厚みになっている。基板2の厚みは50μm〜200μm、発電膜3の厚みは300nm〜700nmになっている。透明導電膜4の厚みは40nm〜100nmになっている。
図1(b)は太陽電池の回路図である。図1(b)に示すように、太陽電池1は配線部材8が(+)極となり、基板2が(−)極となる。配線部材8は蓄電池10の(+)極と接続される。基板2は逆流防止ダイオード11を介して蓄電池10の(−)極と接続されている。逆流防止ダイオード11は特に限定されないが、本実施形態では、例えば、ショットキーバリアダイオードが用いられている。
蓄電池10の(+)極はスイッチ12を介して負荷回路13と接続され、蓄電池10の(−)極も負荷回路13と接続されている。回路はスイッチ12を閉じるとき負荷回路13に通電する回路となっている。
図1(c)は発電膜3の構造を示す要部模式側断面図である。図1(c)に示すように、発電膜3は基板2側からアルミニウム層14(Al層)、酸化亜鉛層15(ZnO層)、半導体層16がこの順で積層された構造になっている。太陽電池1には透明導電膜4側(+Z側)から光が入射する。透明導電膜4は正極として機能する。基板2は負極として機能する。
アルミニウム層14の表面には凹凸が形成され透明導電膜4側から入射した光のうち、半導体層16及び酸化亜鉛層15を透過した光を散乱して反射する層である。酸化亜鉛層15は半導体層16とアルミニウム層14との間の光の屈折率を調整する層である。
半導体層16は特に限定されないが本実施形態においては例えば3層構造の多接合型の発電層になっている。この構造をトリプルジャンクション構造と称す。半導体層16は、酸化亜鉛層15側から順に第1アモルファスシリコンゲルマニウム層17、第2アモルファスシリコンゲルマニウム層18、アモルファスシリコン層21がこの順で積層された構造になっている。
第1アモルファスシリコンゲルマニウム層17及び第2アモルファスシリコンゲルマニウム層18はアモルファスシリコンにゲルマニウムがドープされることによって形成されている。第1アモルファスシリコンゲルマニウム層17と第2アモルファスシリコンゲルマニウム層18とにドープされているゲルマニウムの量は異なっている。第1アモルファスシリコンゲルマニウム層17のドープ量は第2アモルファスシリコンゲルマニウム層18のドープ量より多くなっている。第1アモルファスシリコンゲルマニウム層17と、第2アモルファスシリコンゲルマニウム層18と、アモルファスシリコン層21とは、それぞれ吸収波長域が異なるように設定されている。
図2(a)は、発電膜及び透明導電膜の構造を示す模式平面図である。図2(b)は、基板、発電膜及び透明導電膜の構造を示す模式側断面図である。図2に示すように、透明導電膜4は中央に位置する四角形の有効領域4aを備えている。有効領域4aの周囲には溝部4cが設置され、溝部4cでは発電膜3が露出している。溝部4cの周囲には無効領域4bが設置されている。そして、無効領域4bの外形形状と発電膜3の外形形状と基板2の外形形状は同じ形状になっている。
有効領域4aは太陽電池1の(+)極の電極として機能する部分である。無効領域4bは基板2と一部分が接触する可能性があり、無効領域4bの電位は基板2と同じかまたは浮遊電位となっている。溝部4c及び無効領域4bの幅は特に限定されないが、本実施形態では、例えば、溝部4cの幅が50μm〜200μmであり、無効領域4bの幅が100μm〜600μmになっている。
基板2において発電膜3が設置された面を第1面2aとし、第2絶縁膜9が設置された面を第2面2bとする。基板2の側面は第1面2aに対して斜面となっている。そして、第2面2bに対して第1面2aが突出している。太陽電池1の製造工程において第2面2b側からエッチング液を噴射して基板2の形状を形成している。このため、第2面2b側が第1面2a側より多くエッチングされた形状となっている。
次に上述した太陽電池1の製造方法について図3〜図9にて説明する。図3は、太陽電池の製造方法のフローチャートであり、図4〜図9は太陽電池の製造方法を説明するための模式図である。図3のフローチャートにおいて、ステップS1は発電膜設置工程に相当する。この工程は基板2上に発電膜3を設置する工程である。次にステップS2に移行する。ステップS2は、導電膜設置工程に相当する。この工程は発電膜3上に透明導電膜4を設置する工程である。次にステップS3に移行する。ステップS3は、導電膜パターニング工程に相当する。この工程は透明導電膜4を所定の形状にパターニングする工程である。次にステップS4に移行する。ステップS4は、レジスト膜設置工程に相当する。この工程は基板2の両面にレジスト膜を設置しレジスト膜の所定の形状にパターニングする工程である。次にステップS5に移行する。
ステップS5は、基板エッチング工程に相当する。この工程はレジスト膜をマスクにして基板2をエッチングする工程である。次にステップS6に移行する。ステップS6は、導電性ペースト設置工程に相当する。この工程は切欠部5aにおける透明導電膜4上に導電性ペースト6を設置する工程である。次にステップS7に移行する。ステップS7は、第1絶縁膜設置工程に相当する。この工程は透明導電膜4上に第1絶縁膜5を設置する工程である。次にステップS8に移行する。ステップS8は、第2絶縁膜設置工程に相当する。この工程は基板2上に第2絶縁膜9を設置する工程である。次にステップS9に移行する。ステップS9は、個片化工程に相当する。この工程は基板2を分離して個片化する工程である。次にステップS10に移行する。ステップS10は、配線部材設置工程に相当する。この工程は導電性ペースト6を設置した場所に配線部材8を設置する工程である。以上の工程により太陽電池1を製造する工程を終了する。
次に、図4〜図9を用いて、図3に示したステップと対応させて、製造方法を詳細に説明する。
図4(a)はステップS1の発電膜設置工程に対応する図である。図4(a)に示すように、基板2上に発電膜3を設置する。まず、基板2上にアルミニウムを用いてアルミニウム層14を成膜する。成膜条件を調整してアルミニウム層14の表面に凹凸を形成する。次に、アルミニウム層14上に酸化亜鉛層15を成膜する。
図4(a)はステップS1の発電膜設置工程に対応する図である。図4(a)に示すように、基板2上に発電膜3を設置する。まず、基板2上にアルミニウムを用いてアルミニウム層14を成膜する。成膜条件を調整してアルミニウム層14の表面に凹凸を形成する。次に、アルミニウム層14上に酸化亜鉛層15を成膜する。
次に、酸化亜鉛層15上にゲルマニウムがドープされたアモルファスシリコンの膜を成膜する。これにより第1アモルファスシリコンゲルマニウム層17が形成される。さらに、第1アモルファスシリコンゲルマニウム層17上にゲルマニウムがドープされたアモルファスシリコンの膜を成膜する。これにより第2アモルファスシリコンゲルマニウム層18が形成される。第2アモルファスシリコンゲルマニウム層18を形成するときには第1アモルファスシリコンゲルマニウム層17よりゲルマニウムのドープ量を少なくする。
次に、第2アモルファスシリコンゲルマニウム層18上にアモルファスシリコンの膜を成膜してアモルファスシリコン層21とする。以上で、発電膜3が成膜される。各層の膜は化学気相成長法または蒸着法やスパッタ法などの物理気相成長法等を用いて製造することができる。
図4(b)はステップS2の導電膜設置工程に対応する図である。図4(b)に示すように、ステップS2において、発電膜3上に透明導電膜4を設置する。透明導電膜4はITOからなり、発電膜3に重ねてITOの膜を成膜する。ITOの膜は化学気相成長法または蒸着法やスパッタ法などの物理気相成長法等を用いて製造することができる。
図4(c)〜図5(b)はステップS3の導電膜パターニング工程に対応する図である。図4(c)に示すように、透明導電膜4上に第1レジスト膜としての第1表レジスト膜22を設置し、基板2の第2面2bに第1レジスト膜としての第1裏レジスト膜23を設置する。第1表レジスト膜22及び第1裏レジスト膜23は同じレジスト材料からなり、感光性の樹脂材料を用いることができる。第1表レジスト膜22及び第1裏レジスト膜23の設置方法は特に限定されない。本実施形態では、例えば、第1表レジスト膜22及び第1裏レジスト膜23にドライフィルムレジストラミネートを使用し、基板2に貼り付けている。次に、第1表レジスト膜22及び第1裏レジスト膜23を両面一括露光する。これにより、第1表レジスト膜22及び第1裏レジスト膜23のパターンの相対位置を位置精度良く形成することができる。次に、第1表レジスト膜22及び第1裏レジスト膜23を感光性樹脂用の現像液にて現像する。
図4(d)は第1表レジスト膜22のパターンである。第1表レジスト膜22には有効領域パターン22a、無効領域パターン22b、溝部パターン22cが形成される。有効領域パターン22aは透明導電膜4の有効領域4aに対応し、無効領域パターン22bは透明導電膜4の無効領域4bに対応するパターンである。溝部パターン22cは溝部4cに対応するパターンである。他にも、第1表レジスト膜22には外周に位置する枠表パターン22dの他、枠表パターン22dと無効領域パターン22bとを区切る分離表パターン22eが形成される。さらに、第1表レジスト膜22には位置決め用のマークである位置決め表パターン22fが形成される。
図5(a)は第1裏レジスト膜23のパターンである。第1裏レジスト膜23には基板2の平面形状を規定する底面パターン23aが形成される。さらに、第1裏レジスト膜23には分離表パターン22eと対向する場所に分離表パターン22eと同形状の分離裏パターン23eが形成される。さらに、第1裏レジスト膜23には位置決め表パターン22fと対向する場所に位置決め表パターン22fと同形状の位置決め裏パターン23fが形成される。さらに、第1裏レジスト膜23には枠表パターン22dと対向する場所に枠表パターン22dと同形状の枠裏パターン23dが形成される。
図5(b)に示すように、次に、透明導電膜4をエッチングする。透明導電膜4がITOまたはIGOのとき、透明導電膜4はシュウ酸系エッチング液を用いてエッチングする。尚、透明導電膜4用のエッチング液で基板2の第2面2bが腐食されるとき、第2面2bに保護フィルムを貼っても良い。そして、エッチング後に保護フィルムを除去する。
図5(c)はステップS4のレジスト膜設置工程に対応する図である。ステップS4では第1表レジスト膜22に形成された溝部パターン22c、分離表パターン22e及び位置決め表パターン22fを第2レジスト膜24で覆う。これにより、透明導電膜4の側面を覆って第2レジスト膜が設置される。これにより、ステップS5の基板エッチング工程では透明導電膜4が第1表レジスト膜22及び第2レジスト膜24に覆われた形態で基板2がエッチングされる。その結果、透明導電膜4がエッチング液に腐食されることを防止することができる。
第2レジスト膜24は塩化第2鉄水溶液に耐性があれば良く特に限定されず、各種の樹脂材料を用いることができる。第2レジスト膜24には非自立型のレジスト膜を用いることができる。第2レジスト膜24の設置方法は特に限定されないが、本実施形態では、例えば、第2レジスト膜24の設置方法に電着塗装法を用いている。
図6(a)〜図7(b)はステップS5の基板エッチング工程に対応する図である。図6(a)に示すように、基板2の第2面2b側にノズル25からエッチング液26を基板2に噴射する。基板2がステンレスであるのでエッチング液26には塩化第2鉄水溶液が用いられる。基板2をX方向に移動または揺動しながらエッチング液26を噴射するこれにより第2面2bに万遍なく吹き付けることができる。基板2の第1面2a側は第1表レジスト膜22及び第2レジスト膜24により覆われているので透明導電膜4がエッチング液26に腐食されないようになっている。
第2面2bを重力加速度方向31に向けてエッチング液26が噴射される。第2面2bに到達したエッチング液26は基板2と反応し基板2の材料を含んだ状態となる。そして、第2面2bに位置するエッチング液26は重力の作用により第2面2bから離脱する。従って、基板2の第2面2bでは基板2の材料を含んだエッチング液26の除去と基板2の材料を含まないエッチング液26の供給が並行して行われる。その結果、効率よく基板2をエッチングすることができる。
第2面2bには第1裏レジスト膜23によりマスクされているので、分離裏パターン23e及び位置決め裏パターン23fの形状で基板2がエッチングされる。
図6(b)に示すように、エッチング液26により基板2のエッチングが進行する。そして、エッチングにより基板2に形成された孔2cは深くなり発電膜3に到達する。
図6(c)に示すように、エッチング液26により基板2のエッチングがさらに進行する。発電膜3及び第2レジスト膜24は薄い膜であるので、孔2cではエッチング液26の水圧により発電膜3及び第2レジスト膜24が破られて除去される。そして、孔2cは第1面2aと第2面2bとを貫通する貫通孔となる。孔2cでは第2面2b側からエッチングが進行したので、基板2の側面が第1面2aに対して斜面となっており、第2面2bに対して第1面2aが突出した断面形状となっている。
孔2cの側面は太陽電池1における基板2の側面になる場所である。従って、太陽電池1は、基板2の側面が第1面2aに対して斜面となり、第2面2bに対して第1面2aが突出した断面形状となる。
図7(a)及び図7(b)に示すように、基板2から第1表レジスト膜22、第1裏レジスト膜23及び第2レジスト膜24を剥離する。分離表パターン22e及び分離裏パターン23eが位置していた場所には分離孔27aが形成されている。位置決め表パターン22f及び位置決め裏パターン23fが位置していた場所には位置決め孔27bが形成されている。
枠表パターン22d及び枠裏パターン23dが位置していた場所を枠体28とする。枠体28と無効領域4bとは接続部29により繋がっている。図中2つ設置された無効領域4b同士も接続部29により繋がっている。これにより、各無効領域4bには4か所の接続部29が設置される。
図7(c)及び図7(d)はステップS6の導電性ペースト設置工程に対応する図である。図7(c)及び図7(d)に示すように、ステップS6において、有効領域4aの1つの角に導電性ペースト6を設置する。導電性ペースト6は各種の印刷方法にて設置することが可能であり印刷方法は特に限定されない。本実施形態では、例えば、スクリーン印刷法を用いて導電性ペースト6を設置する。次に、導電性ペースト6を加熱乾燥して固化する。加熱温度及び乾燥時間は特に限定されないが、本実施形態では、例えば、加熱温度が約150℃であり、乾燥時間は約30分になっている。
図8(a)及び図8(b)はステップS7の第1絶縁膜設置工程に対応する図である。図8(a)及び図8(b)に示すように、ステップS7において、透明導電膜4上に第1絶縁膜5を設置する。第1絶縁膜5は導電性ペースト6を露出させて有効領域4aを覆うように設置される。第1絶縁膜5の材料は各種の印刷方法にて設置することが可能であり印刷方法は特に限定されない。本実施形態では、例えば、スクリーン印刷法を用いて第1絶縁膜5の材料を設置する。第1絶縁膜5の材料は加熱乾燥して固化される。加熱温度及び乾燥時間は特に限定されないが、本実施形態では、例えば、加熱温度が約150℃であり、乾燥時間は約30分になっている。
図8(c)及び図8(d)はステップS8の第2絶縁膜設置工程に対応する図である。図8(c)及び図8(d)に示すように、ステップS8において、基板2の第2面2bに第2絶縁膜9を設置する。第2絶縁膜9は導電性ペースト6と対向する場所が除かれており、切欠部9aになっている。切欠部9aは基板2を(−)極の接点にする場所になっている。第2絶縁膜9は切欠部9a以外の基板2の第2面2bを覆うように設置される。
第2絶縁膜9は接着材が塗布されたポリエステルフィルムである。接着材が塗布された面を基板2に向けて第2絶縁膜9を基板2上に置く。第2絶縁膜9を押圧して第2絶縁膜9と基板2とを接着する。第2絶縁膜9の接着材は自然乾燥でも良く加熱乾燥して接着しても良い。
図9(a)はステップS9の個片化工程に対応する図である。図9(a)に示すように、ステップS9において、接続部29を切断して、太陽電池セル30を枠体28から分離する。接続部29の切断方法は特に限定されないが、本実施形態では、例えば、振動切断機を用いている。接続部29を振動により金属疲労させて容易に接続部29を切断することができる。
図9(b)及び図9(c)はステップS10の配線部材設置工程に対応する図である。図9(b)及び図9(c)に示すように、ステップS10において、太陽電池セル30に配線部材8を設置する。まず、配線部材8の金属膜8bに異方性導電膜7を接着する。この接着には、例えば、導電性接着材を用いることができる。
次に、導電性ペースト6に異方性導電膜7を重ねて基板2と配線部材8を押圧したまま、異方性導電膜7を加熱する。異方性導電膜7には熱硬化性の接着材が含まれており、配線部材8を太陽電池セル30に接着させることができる。以上の工程により太陽電池1が完成する。
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
(1)本実施形態によれば、第1裏レジスト膜23をマスクにして第2面2b側からエッチング液26を基板2に噴射して基板2を所定の形状に形成している。基板2を第1面2a及び第2面2bの両面からエッチング液26を噴射する方法では、まず、発電膜3を所定の形状にパターニングし、次に、第2面2bにレジスト膜を設置してパターニングする。続いて、基板2を両面からエッチング液26を噴射する。発電膜3のパターンと第1裏レジスト膜23のパターンは同じ形状にすることが好ましい。
(1)本実施形態によれば、第1裏レジスト膜23をマスクにして第2面2b側からエッチング液26を基板2に噴射して基板2を所定の形状に形成している。基板2を第1面2a及び第2面2bの両面からエッチング液26を噴射する方法では、まず、発電膜3を所定の形状にパターニングし、次に、第2面2bにレジスト膜を設置してパターニングする。続いて、基板2を両面からエッチング液26を噴射する。発電膜3のパターンと第1裏レジスト膜23のパターンは同じ形状にすることが好ましい。
しかし、パターニングが位置ずれするときエッチング後の基板2の形状精度が低くなる。また、パターニングの回数が2回となる。この方法に比べて、第2面2bからのみエッチング液26を噴射する方法では、パターニングが1回の為、パターニングの位置ずれを生じない。また、基板2及び発電膜3のエッチングが1回で行われるのでエッチングを2回行う方法に比べて生産性良く太陽電池1を形成することができる。
(2)本実施形態によれば、基板2をエッチングする前に透明導電膜4がパターニングされる。そして、透明導電膜4の側面を覆って第2レジスト膜24が設置される。従って、透明導電膜4が第1表レジスト膜22及び第2レジスト膜24に覆われた形態で基板2がエッチングされる。その結果、透明導電膜4がエッチング液26に腐食されることを防止することができる。
(3)本実施形態によれば、基板2の第2面2bを重力加速度方向31に向けて第2面2bにエッチング液26が噴射される。第2面2bに到達したエッチング液26は基板2と反応し基板2の材料を含んだ状態となる。そして、第2面2bに位置するエッチング液26は重力の作用により第2面2bから離脱する。従って、基板2の第2面2bでは基板2の材料を含んだエッチング液26の除去と基板2の材料を含まないエッチング液26の供給が並行して行われる。その結果、効率よく基板2をエッチングすることができる。
(4)本実施形態によれば、基板2の側面は第1面2aに対して斜面となっている。そして、第2面2bに対して第1面2aが突出する。基板2の側面が第1面2aに対して斜面になっていることから基板2はエッチング液26を噴射して形成されている。そして、発電膜3が設置されている第1面2aが第2面2bより突出していることから、第2面2bにレジスト膜を設置して第2面2b側からエッチング液26を噴射している。このとき、第2面2bからのみエッチング液26を噴射する方法となっている。従って、本実施形態の太陽電池1はパターニングが1回の為、パターニングの位置ずれを生じない電池である。また、エッチングが1回であるのでエッチングを2回行う方法に比べて生産性良く形成された太陽電池1とすることができる。
(5)本実施形態によれば、太陽電池1はエッチングにて形成されている。プレス金型にてブランキングするときには太陽電池1が大きくなると形状精度が低下する。エッチングのときには、露光装置の精度で形状精度が決まるのでブランキングに比べて精度よく形状を形成することができる。
(第2の実施形態)
次に、太陽電池の一実施形態について図10及び図11を用いて説明する。図10(a)は、時計の構造を示す模式側面図であり、図10(b)は、太陽電池の構造を示す模式平面図である。図10(a)及び図10(b)は時計の外装を省略した図になっている。本実施形態における時計は第1の実施形態と同様の構造の太陽電池を備えている。尚、第1の実施形態と同じ点については説明を省略する。
次に、太陽電池の一実施形態について図10及び図11を用いて説明する。図10(a)は、時計の構造を示す模式側面図であり、図10(b)は、太陽電池の構造を示す模式平面図である。図10(a)及び図10(b)は時計の外装を省略した図になっている。本実施形態における時計は第1の実施形態と同様の構造の太陽電池を備えている。尚、第1の実施形態と同じ点については説明を省略する。
すなわち、本実施形態では、図10に示すように、電子機器としての時計35はムーブメント36を備え、ムーブメント36には輪列37、駆動回路38、電源部39等が設置されている。ムーブメント36は時計35において外装及び針等を除いた部分を示す。輪列37は複数の歯車により構成され、各歯車が異なる回転数で回転する。輪列37からは秒針軸40、分針軸41、時針軸42が突出している。秒針軸40には秒針43が設置され、分針軸41には分針44が設置されている。時針軸42には時針45が設置されている。
ムーブメント36の時針45側にはムーブメント36上に太陽電池46及び文字板47重ねて設置されている。文字板47には時、分、秒を示す目盛が設置されている。文字板47は光透過性の材質から構成されており、時計35を照射した光は太陽電池46に照射される。そして、太陽電池46は受光して発電する。太陽電池46は図示しない配線により駆動回路38に接続されている。
太陽電池46が発電した電力は駆動回路38を通過して電源部39に通電する。電源部39は蓄電器を備え、電源部39は太陽電池46が発電した電力を蓄電する。駆動回路38には図示しないモーターが設置され、駆動回路38はモーターを駆動する。このとき、駆動回路38は電源部39に蓄電された電力を使用する。モーターにより輪列37内の歯車が回転され、秒針軸40、分針軸41及び時針軸42が回転する。その結果、秒針43、分針44及び時針45が回転する。
図10(b)に示すように、太陽電池46は第1太陽電池46a及び第2太陽電池46bを有し、第1太陽電池46aと第2太陽電池46bとは配線部材48により直列接続されている。
太陽電池46は第1の実施形態の太陽電池1と同様な構造となっている。太陽電池46は基板2を備えており、基板2の第1面2aに発電膜3が設置されている。基板2の側面が第1面2aに対して斜面となっており、第2面2bに対して第1面2aが突出している。つまり、太陽電池46はエッチングにて形成され、第2面2b側からエッチング液26を噴射されて形成されている。
図11は太陽電池集合基板の模式平面図であり、ステップS5の基板エッチング工程を説明するための図である。図11に示すように太陽電池集合基板49は枠体50を備えている。太陽電池セル30には6個の第1太陽電池46a及び第2太陽電池46bが形成されている。第1太陽電池46aは枠体50と接続部51により接続され、第2太陽電池46bも枠体50と接続部51により接続されている。第1太陽電池46aと第2太陽電池46bとは接続部51により接続されている。
太陽電池集合基板49は、第1の実施形態と同様に発電膜3が設置されていない側の面にノズル25からエッチング液26を噴射されてエッチングされている。つまり、太陽電池46は1回のエッチングで発電膜3及び太陽電池集合基板49の形状が形成されている。従って、太陽電池46は形状精度よく且つ生産性良く形成された電池になっている。その結果、時計35は、形状精度よく且つ生産性良く形成された太陽電池を備えた電子機器とすることができる。
尚、本実施形態は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想内で当分野において通常の知識を有する者により種々の変更や改良を加えることも可能である。変形例を以下に述べる。
(変形例1)
前記第1の実施形態では、ステップS4のレジスト膜設置工程において第1表レジスト膜22の溝部パターン22c、分離表パターン22e及び位置決め表パターン22fを第2レジスト膜24にて覆った。この方法に変えて、第1表レジスト膜22を剥離し、分離表パターン22e及び位置決め表パターン22fのパターンを有するレジスト膜を透明導電膜4上に設置しても良い。そして、溝部パターン22cに対応する場所をレジスト膜で覆う。そして、第2面2b側にノズル25からエッチング液26を噴射しても良い。この方法でも形状精度良く太陽電池1を形成することができる。
(変形例1)
前記第1の実施形態では、ステップS4のレジスト膜設置工程において第1表レジスト膜22の溝部パターン22c、分離表パターン22e及び位置決め表パターン22fを第2レジスト膜24にて覆った。この方法に変えて、第1表レジスト膜22を剥離し、分離表パターン22e及び位置決め表パターン22fのパターンを有するレジスト膜を透明導電膜4上に設置しても良い。そして、溝部パターン22cに対応する場所をレジスト膜で覆う。そして、第2面2b側にノズル25からエッチング液26を噴射しても良い。この方法でも形状精度良く太陽電池1を形成することができる。
(変形例2)
前記第1の実施形態では、長方形の基板2から太陽電池1が形成された。基板2は長尺のコイル材でも良い。効率良く製造装置に供給することができる。尚、コイル材はリボン材またはフープ材とも称す。
前記第1の実施形態では、長方形の基板2から太陽電池1が形成された。基板2は長尺のコイル材でも良い。効率良く製造装置に供給することができる。尚、コイル材はリボン材またはフープ材とも称す。
(変形例3)
前記第1の実施形態では、半導体層16は3層構造の多接合型の発電層になっていた。半導体層16は光により発電する層であれば良く各種のpn接合、pin接合を適用しても良い。
前記第1の実施形態では、半導体層16は3層構造の多接合型の発電層になっていた。半導体層16は光により発電する層であれば良く各種のpn接合、pin接合を適用しても良い。
(変形例4)
前記第2の実施形態では、太陽電池46を備える時計35の例を示した。太陽電池を備える総ての電子機器において基板2の第2面2b側からエッチング液26を噴射して形成した太陽電池を設置することができる。その結果、形状精度が良く生産性良く形成された太陽電池を備えた電子機器にすることができる。例えば携帯電話、万歩計(登録商標)、ラジオ、テレビ、デジタルカメラ、ビデオカメラ、温度計等の電子機器に上記の太陽電池1と同じ製造方法の太陽電池を設置することができる。
前記第2の実施形態では、太陽電池46を備える時計35の例を示した。太陽電池を備える総ての電子機器において基板2の第2面2b側からエッチング液26を噴射して形成した太陽電池を設置することができる。その結果、形状精度が良く生産性良く形成された太陽電池を備えた電子機器にすることができる。例えば携帯電話、万歩計(登録商標)、ラジオ、テレビ、デジタルカメラ、ビデオカメラ、温度計等の電子機器に上記の太陽電池1と同じ製造方法の太陽電池を設置することができる。
2…基板、2a…第1面、2b…第2面、3…発電膜、4…透明導電膜、22…第1レジスト膜としての第1表レジスト膜、23…第1レジスト膜としての第1裏レジスト膜、24…第2レジスト膜、26…エッチング液、31…重力加速度方向、35…電子機器としての時計、46…太陽電池。
Claims (5)
- 基板の第1面に発電膜を設置し、
前記第1面側と前記第1面の反対側の第2面とに第1レジスト膜を設置し、
前記第1レジスト膜を所定の形状にパターニングし、
前記第2面側からエッチング液を前記基板に噴射して前記基板を所定の形状に形成することを特徴とする太陽電池の製造方法。 - 請求項1に記載の太陽電池の製造方法であって、
前記第1レジスト膜を設置する前に前記発電膜に重ねて透明導電膜を設置し、
前記第1レジスト膜は前記透明導電膜上に設置され、
前記第1レジスト膜をパターニングした後で前記透明導電膜をエッチングし、
前記透明導電膜の側面を覆って第2レジスト膜を設置することを特徴とする太陽電池の製造方法。 - 請求項1または2に記載の太陽電池の製造方法であって、
前記エッチング液を前記基板に噴射するとき、前記第2面を重力加速度方向に向けることを特徴とする太陽電池の製造方法。 - 第1面と前記第1面と対向する第2面を有する基板の前記第1面に発電膜が設置され、
前記基板の側面が前記第1面に対して斜面になっており、
前記第2面に対して前記第1面が突出することを特徴とする太陽電池。 - 太陽電池を備えた電子機器であって、
前記太陽電池は、
第1面と前記第1面と対向する第2面を有する基板の前記第1面に発電膜が設置され、
前記基板の側面が前記第1面に対して斜面となっており、
前記第2面に対して前記第1面が突出することを特徴とする電子機器。
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