JP2006245262A - 電子機器及びその製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】小型のソーラーセルが複数に分割されて、かつ各ソーラーセルを被覆する絶縁性保護膜に設けられた開口部を介して隣接するソーラーセルが接続された小型の電子機器及びその製造方法を提供することにある。
【解決手段】基板上に配線と、その配線に接続された電極端子とを備え、電極端子を露出させて開口部を形成するとともに、配線の表面を含む他の領域を絶縁性保護膜で被覆した電子機器であり、絶縁性保護膜の開口部への侵入を防止するための保護膜侵入防止部材を開口部の少なくとも一部あるいは囲繞して設ける構成とした。
【選択図】図1

Description

本発明は、基板上に配線と、その配線に接続された電極端子とを備え、この電極端子を露出させて開口部を形成するとともに、配線の表面を含む他の領域を絶縁性保護膜で被覆した電子機器及びその製造方法に関し、特に、小型のソーラーセルが複数に分割されて、かつ各ソーラーセルを被覆する絶縁性保護膜に設けられた開口部を介して隣接するソーラーセルが接続されたリング状太陽電池を備えた、小型の電子時計及びその製造方法に関する。
電子機器の一種である太陽電池付き電子時計は、光エネルギーを電気エネルギーに変換して時計駆動に利用するため、一般のクオーツ時計に内蔵される電池の消耗により、駆動が突然停止してしまうという心配がない。また、光エネルギーがある限り発電を続けることが可能であるので、電池の交換が不要である。そのため、この時計から廃棄電池が発生することもないので、この電子時計は環境負担が小さいなどの利点を有している。
通常使われている太陽電池付き電子時計の構造は、多くの発電効率を得るために、円形形状だけでなく、四角形等の角部を有する異型形状の角型の文字板上に太陽電池を剥き出しにして配置したり、文字板の裏面に太陽電池を配置していた。この構造における文字板は、透明もしくは半透明である必要があるため、その文字板材料が限定されてしまう。しかも、十分な光を太陽電池に導く必要があるために、光透過を阻害するデザインを文字板表面に付加することができない、つまり、文字板のデザイン性に制約を受けるものであった。
そこで、文字板のデザイン性を重視して、円形形状の風防ガラスと文字板との間の隙間の文字板最外周部に、短冊状の可撓性の樹脂基板上に光電変換層が形成された、リング状太陽電池を設置したリング状太陽電池付き電子時計構造が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
この従来のリング状太陽電池付き電子時計は、文字板下に太陽電池を配置するのではなく、文字板の最外周の位置に、この文字板に対して略鉛直してリング状太陽電池を配置しているので、前述した文字板を透明もしくは半透明とする必要がない。そのため、例えば文字板の材料に高反射性の金属材料を用いたり、視認側表面に多彩なインク層を設けた文字板を用いることができ、デザイン性に優れた電子時計とすることができる。
また、文字板形状を角型するとともに、その文字板外周に前述したリング状太陽電池を配したリング状太陽電池付き電子時計についても提案されている(例えば、特許文献2参照。)
図6(a)は、この従来の電子時計の正面図を示し、本図(b)は、(a)図におけるA−A’断面図を示している。
本図面に示す様に、従来の電子時計は、文字板25の外縁部に4つの角部28を有し、そして、断面形状が三角形の見切りリング23の外縁部にリング状太陽電池22を時計ケース27に挿入された構成となっている。そして、文字板25の中央部に配した貫通口を介して、ムーブメント26に接続された指針24を運針させて、リング状太陽電池22により蓄電された電力を使って、使用者が風防ガラス21を透かして時刻を表示できるようになっている。
しかしながら、この様に電子時計の文字板25が角部28を有する異型形状である場合、この角部28で可撓性のある樹脂基板上に形成したリング状太陽電池22を折り曲げて配置しなくてはならなくなる。
上記のような場合、角部28に対応する箇所においてリング状太陽電池22は、大凡1mm程度の曲率で折り曲げられる。このようにリング状太陽電池22を変形させた場合、このリング状太陽電池22を構成する光電変換層(例えばアモルファスシリコン層)や、この光電変換層を挟持する上部電極または下部電極を構成する電極材料(特に透明導電膜等)が硬い脆性材料であるために、この部分に亀裂が発生し、リング状太陽電池22が破損、または切断してしまうことがある。
この様な問題を回避するためには、少なくとも1つの角部28を有する角型形状のリング状太陽電池22が、文字板25における角部28に相当する箇所にて、隣接する各ソーラーセルを構成する上部電極および下部電極を導電性部材で接続すれば良い。図7は、その具体的なリング状太陽電池22の構成例を示した図面である。
図7に示すリング状太陽電池22を図6に示す角型形状の文字板を有する電子時計に搭載すれば、このリング上太陽電池22は、文字板25の角部28に相当する箇所(図6参照)に光電変換層であるアモルファスシリコン層や、この光電変換層を挟持する上部電極または下部電極を構成する電極材料が無いために、この部分に亀裂が発生したり、リング状太陽電池22が破損、または切断してしまうことが無くなる。その結果、デザイン的制約の無い光電変換効率が安定したリング状太陽電池付き電子時計とすることができる。なお、本図面に示す符号3は下部電極を示し、符号4は上部電極、符号71は導電性部材、符号6a,6bは、電力取り出し用電極を示している。
なお、リング状太陽電池22の上部電極4または下部電極3の、導電性部材71を用いた電気的な接続は、ここでは図示はしないが、上部電極4または下部電極3の形成、電気的に接続する箇所のみを開口させた、保護するエポキシ樹脂などの絶縁性保護膜の形成後、ペースト状の導電性部材71により接続することができる。エポキシ樹脂などの絶縁性保護膜の形成及びリング状太陽電池22の上部電極4、または下部電極3の導電性部材71による接続は、主にスクリーン印刷法によって行うことができる(例えば、特許文献3〜7参照)。
特開2002−148366号公報(第2頁、第1図) 特開2002−318289号公報(第3−4頁、図1−図4) 特開平10−200143号公報(第4頁、図1) 特開平10−270727号公報(第4頁、図1) 特開平11−97723号公報(第4頁、図1−図4) 特開平11−163379号公報(第4頁、図3−図4) 特開2001−267607号公報(第5頁、図1−図9)
しかしながら、絶縁性保護膜をスクリーン印刷法にて形成する際、ペースト状の導電性部材71を被覆する上部電極4や下部電極3を露出させる開口部の内側に、絶縁性保護膜がにじみ出すことによって、開口部内の電極露出部の面積が小さくなってしまうこととなる。
この現象は、スクリーン印刷時のスキージ圧、スキージ速度、絶縁性保護膜材料の粘度、絶縁性保護膜材料のチキソ性、開口径、スクリーンマスクの材質等のパラメータを変え
たとしても、完全には排除することは難しい。この様に、開口部が所定の径より小さくした場合に、導電性部材71によるにじみは無視できない量となる。
そして、デザイン的制約の無いリング状太陽電池付き電子時計とするためには、短冊形状のリング状太陽電池22の短辺方向の幅を狭くするとともに、開口部に露出する上部電極4または下部電極3の面積も小さくしなくてはならない。また、この開口部に相当する位置は角型形状のリング状太陽電池22では、文字板25における角部28に相当する箇所の近傍に導電性部材71により、隣接する電極の電気的な接続をしなくてはならないという制約もある。したがって、上記の現象はより重大な課題となってくる。
そこで、本発明は、上記課題を解決し、小型のソーラーセルが複数に分割されて、かつ各ソーラーセルを被覆する絶縁性保護膜に設けられた開口部を介して隣接するソーラーセルが接続された小型の電子機器及びその製造方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するため本発明の電子機器は、下記記載の手段を使用する。
本発明の電子機器は、基板上に配線と、その配線に接続された電極端子とを備え、電極端子を露出させて開口部を形成するとともに、配線の表面を含む他の領域を絶縁性保護膜で被覆した電子機器において、絶縁性保護膜の開口部への侵入を防止するための保護膜侵入防止部材を開口部の少なくとも一部に設けたことを特徴とするものである。
また、本発明の電子機器における保護膜侵入防止部材は、開口部を囲繞して設けられていることを特徴とするものである。
また、本発明の電子機器における電極端子には、複数個の太陽電池を構成する上部電極と下部電極のいずれか、または両方の電極から導出された配線が接続されており、前述した開口部を介して電極端子をそれぞれ導電性部材により接続してなることを特徴とするものである。
本発明の電子機器の製造方法は、基板上に配線と、その配線に接続された電極端子とを備え、電極端子を露出させて開口部を形成するとともに、配線の表面を含む他の領域を絶縁性保護膜で被覆して形成をする電子機器の製造方法において、配線と記電極端子とを基板上に形成する工程と、絶縁性保護膜の開口部への侵入を防止するための保護膜侵入防止部材を開口部の少なくとも一部に形成する工程と、他の領域を絶縁性保護膜で被覆する工程とを有することを特徴とするものである。
また、本発明の電子機器の製造方法は、前述した保護膜侵入防止部材を形成する工程が、電極端子の周囲を囲繞して形成する工程であることを特徴とするものである。
上記構成及び手段を採用することで、絶縁性保護膜から電極端子を露出させる開口部の面積を目的の大きさとした小型の電子機器および、その電子機器を容易に製造する方法を提供することができる。
また、本発明の電子機器及びその製造方法の技術は、腕時計に限らず、懐中時計、携帯電話、各種表示装置、測定装置、カード、電卓など、リング状太陽電池が搭載可能な全ての電子機器に適用することができる。
以下に、本発明の電子機器の構成と、その製造方法について説明をする。
本発明の電子機器は、基板上に配線と、その配線に接続された電極端子とを備え、電極端子を露出させて開口部を形成するとともに、配線の表面を含む他の領域を絶縁性保護膜で被覆した電子機器において、絶縁性保護膜の開口部への侵入を防止するための保護膜侵入防止部材を開口部の少なくとも一部に設けたことを特徴としている。
これにより、配線や電極端子を含み、基板表面を保護するために設けた絶縁性保護膜が、保護膜に設けた小径の開口部内へにじみ出すことによる電極露出部の面積の縮小化を防ぐことが可能となる。その結果、電極端子を露出させた開口部の面積を目的の大きさに維持することが可能となる。
例えば、従来の方法を用いて電気的特性の安定する面積である800μm×500μmの電極露出面積を有する開口部の周囲に絶縁性保護膜を形成すると、条件によっては絶縁性保護膜のにじみ現象によって約200μm×50μm程度まで電極の露出面積が縮小しまい、この開口部を介して隣接する電極と充分な電気的接合を得ることが不可能となってしまう。それに対して、本発明の製造方法によれば、絶縁性保護膜から露出させる電極面積の縮小を極力抑え、ほぼ目的の開口を形成することができる様になり、この開口部を介して隣接する電極と充分な電気的接合ができる様になる。
なお、以下の説明では、前述した構成をリング状太陽電池とした電子機器の一例を示して説明するが、本願発明はこれに限定されるものではなく、他の小型であり、かつ絶縁性保護膜に設けた開口部から電極端子を露出させて、隣接する他の電極端子と接続させる電子機器一般に適用できる技術であることに留意されたい。まず、このリング状太陽電池の具体的な構成例について詳細に説明する。
以下に図面を用いて本発明のリング状太陽電池の実施例について説明する。
図1(a)は、本発明に係わるリング状太陽電池の構成例を示す平面図であり、図1(b)は、図中(a)のA−A’断面を示した図面である。また、図1(c)は、図中(a)のB−B’断面を示した図面である。
図1(a)に示す構成例は、リング状太陽電池1aの形態を示している。そして、このリング状太陽電池1aは、帯状(短冊形状)の基板10の長辺とは直交する方向に、所定の数だけ分割部7にて分割された複数個のソーラーセルを有し、この隣接するソーラーセルにおける上部電極4同士、下部電極3同士が接続されて、ソーラーセルが並列に接続された形態となっている。
そして、図1(b)、図1(c)に示すように、これら各ソーラーセルは、基板10上にアモルファスシリコンからなる光電変換層2を有する。そして、この光電変換層2は、下部電極3と上部電極4で挟持される。また、本図面に示すように、隣接するソーラーセル間の絶縁性保護膜12を跨いで上部電極4同士、下部電極3同士をペースト状の導電性部材5にて各々電気的に接続させている。尚、符号6a、6bはリング状太陽電池1aで発電した起電力を取り出すための電力取り出し用電極である。
また、本発明の電子機器は、両図面から判るように、上部電極4または下部電極3の上には絶縁性保護膜12とこの保護膜材料である樹脂が開口部51へ侵入するのを防止するための保護膜侵入防止部材11がそれぞれ形成されている。
このこの保護膜進入防止部材11の作用について更に詳細に説明する。図1(b)は、分割部7にて分離された、隣り合うソーラーセルの上部電極4同士が接続されている形態を示しており、図1(c)は、隣り合う下部電極3同士が接続されている形態を示してい
る。
図1(b)と図1(c)に示すように、ペースト状の導電性部材5を被覆する前の絶縁性保護膜12は、上部電極4あるいは下部電極3が露出する開口部51を有しており、かつ導電性部材5によって電気的に接合する以外の箇所を外部環境から保護して形成されている。この絶縁性保護膜12には、一般に液状の熱硬化性樹脂、あるいは光硬化性の樹脂を用いるのが適当であり、この樹脂は、流動性を有するものである。したがって、この絶縁性保護膜12をそのままスクリーン印刷で塗布すると、絶縁性保護膜12を構成する樹脂が開口部51内へにじみ出し、電極露出部の面積が縮小してしまうこととなる。
そこで、本発明では、絶縁性保護膜12を被覆する前に、開口部51に形成した電極表面に絶縁性保護膜12の侵入を防ぐための保護膜侵入防止部材11を予め配設する構成を採用した。この保護膜侵入防止部材11によって、絶縁性保護膜12が開口部51内へにじみ出すことはなくなり、それ故、電極露出部の面積が縮小化することはなく、この箇所での絶縁等の電気的接続不良が発生する現象はなくなる。そして、上記構成によれば、所望の径の開口部51が形成されるので、導電性部材5による隣接するソーラーセル間の接続において、電気的特性の安定した信頼性のあるリング状太陽電池1aの提供が可能となる。
なお、本発明の保護膜侵入防止部材11の形成は、樹脂の侵入を特に防止したい開口部51の一部に設けても構わないが、できるだけその進入を抑えるためには、本図面に示すように開口部51を囲繞して設けることが望ましい。
また、保護膜侵入防止部材11は、図1(b)、図1(c)に示すように、絶縁性保護膜12よりも膜厚が薄く、体積も小さいため、保護膜進入防止部材11を、熱あるいは紫外線によって、絶縁性保護膜12よりも素速く硬化させることができる。そのため、電極表面に予め保護膜進入防止部材11を配設した段階で開口部51内へにじみ出ることはない。また、絶縁性保護膜12と保護膜侵入防止部材11は、いずれもスクリーン印刷法で形成可能であり、異なる材料ではなく、両者とも同じ材料でも構わない。
次に、図2を用いて本発明の電子機器の製造方法について説明する。ここでは、図1(b)で示した構成における保護膜侵入防止部材11と絶縁性保護膜12の構成例を挙げて説明する。
まず、図2(a)に示すように、基板10上に下部電極3を成膜して、所定のパターンを形成した後、その上層に光電変換層2であるアモルファスシリコンを成膜する。なお、基板10はポリエステルなどの可撓性を有するものを用いる。また、このアモルファスシリコンは、p−i−n接合型の光電変換層2でも良いし、p−n接合型、CIS構造、MIS構造を採用しても良い。そして、更にこの上層に上部電極4を成膜する。その後、詳細は略すがフォトリソグラフィ法、ドライエッチング法を採用して、光電変換層2と上部電極4とを同じパターンにして、下部電極3とともに上部電極4が露出した構造を形成する。
その後、図2(b)に示すように、上部電極4上層の所定の箇所にスクリーン印刷法を用いて保護膜侵入防止部材11を形成する。ここで用いる保護膜侵入防止部材11の材料は、特に限定するものではないが、紫外線硬化樹脂を用いた。また、この保護膜侵入防止部材11の大きさは、高さ1μm、幅が数μm程度で形成したため、紫外線による樹脂の硬化前や樹脂の硬化後も大きく開口部51内側に流れ出したりして、所定の開口形状が変形するようなことはない。
その後、図2(c)に示すように、上部電極4上層に、先に形成をした保護膜進入防止部材11にて形成された開口部51よりも少なくとも大きな径の開口部を残して、スクリーン印刷法を用いて絶縁性保護膜12を形成する。絶縁性保護膜12の材料は特に限定するものではないが、ここでは保護膜侵入防止部材11と同じ紫外線硬化樹脂を用いた。このとき、絶縁性保護膜12は、保護膜侵入防止部材11があるために、開口部51内の上部電極4上ににじみ出すことはなく、電気的接続に充分であり、かつ所望の開口径を有する電極面積が確保できる。
そして、図2(d)に示すように、ペースト状の導電性部材5をスクリーン印刷法により、隣接する上部電極4同士を絶縁性保護膜12を跨いで電気的に接続して、目的の構成の電子機器を得ることができる。
なお、図1(c)に示す下部電極3同士を電気的に繋ぐ手法は、基本的には上記手段と同じであり、かつ上記手段により同時に形成できるものであるので、ここでの詳細な説明は割愛する。この様に隣接するソーラーセルが並列接続された小型のリング状太陽電池1a(電子機器)を得ることができる。
また、上記説明では、保護膜進入防止部材11と絶縁性保護膜12とを、ともに同じ材料を用いてスクリーン印刷法により形成する例を示したが、本発明はこれに限定されるものではない。小さい開口径の開口部51を形成するためには、保護膜進入防止部材11を所望の位置に正確に形成すれば良く、その後の工程で配設する絶縁性保護膜12の形成は保護膜進入防止部材11よりも少なくとも大きな径でラフな精度で設けて、保護膜進入防止部材11まで隙間なく形成すれば良い。したがって、保護膜進入防止部材11を配設するためには、保護膜進入防止部材11をパターン化絶縁膜により形成し、絶縁性保護膜12の形成をスクリーン印刷法、転写法等のパターン精度が出難いが、簡易的に保護膜を形成できる方法により行うのが好ましい。なお、これら方法は、絶縁性保護膜12の材料の粘度、チキソ性、開口部51の開口径等の設計事項に応じて選択すれば良い。
次に、本発明に係わるリング状太陽電池の他の構成例について説明する。
図3(a)は、本発明に係わるリング状太陽電池の構成例を示す平面図であり、図3(b)は、同図(a)のA−A’断面を示す図面である。
図3(a)に示す構成例は、リング状太陽電池1bを示している。そして、このリング状太陽電池1bは、帯状の基板10の長辺とは直交する方向に所定の数だけ分割された複数個のソーラーセルを有し、この隣接するソーラーセルにおける上部電極4と下部電極3とが2つの開口部51を介して導電性部材5で接続されて、ソーラーセルが直列に接続された形態となっている。なお、本実施例の形態では、隣接するソーラーセル間で1つとなっている。
そして、図3(b)に示すように、これら各ソーラーセルは、基板10上にアモルファスシリコンからなる光電変換層2を有する。そして、この光電変換層2は、下部電極3と上部電極4で挟持される。また、図3(a)に示すように、隣接するソーラーセル間の絶縁性保護膜12を跨いで上部電極4と下部電極3がペースト状の導電性部材5にて電気的に接続されて、上述した直列接続が成されている。
また、このリング状太陽電池1bは、図3(b)に示す様に、隣り合うソーラーセルの上部電極4と下部電極3とが接続されている形態を示しており、上部電極4と下部電極3の開口部51の領域には、実施例1と同様に、絶縁性保護膜12と保護膜侵入防止部材11とが形成されている。
この様に、本発明の構成によれば、所望の径の開口部51が形成されるので、導電性部材5による隣接するソーラーセル間の接続において、電気的特性の安定した信頼性のあるリング状太陽電池1bの提供が可能となるという実施例1と同様の効果を得ることができる様になる。
なお、本実施例、および以下の実施例におけるリング状太陽電池1b(電子機器)の製造方法は、絶縁性保護膜12と、導電性部材5を配設するマスク形状のみが異なり、他の工程は同じである。
次に、本発明に係わるリング状太陽電池のさらに他の構成例について説明する。
図4(a)は、本発明に係わるリング状太陽電池の構成例を示す平面図であり、図4(b)は、図中(a)のA−A’断面を示した図面である。また、図4(c)は、図中(a)のB−B’断面を示した図面である。
図4(a)に示す構成例は、リング状太陽電池1cを示している。そして、このリング状太陽電池1cは、帯状の基板10の長辺とは直交する方向に所定の数だけ分割された複数個のソーラーセルを有し、実施例1と同様に、この隣接するソーラーセルにおける上部電極4同士、下部電極3同士が接続されて、ソーラーセルが並列に接続した形態となっている。なお、実施例1では、隣接するソーラーセルの電極端子を導電性部材5で繋ぐ開口部51を2つとした例(図1(b)(c)参照)を示したが、本実施例における形態は、この2つの開口部51間を隔壁する絶縁性保護膜12をなくし、1つの開口部51とした形態を示している。
そして、図4(b)図4(c)に示すように、実施例1と同様に、このリング状太陽電池1cは、絶縁性保護膜12を被覆する前に、開口部51に形成した電極表面に絶縁性保護膜12の侵入を防ぐ保護膜侵入防止部材11を形成した形態となっている。
この様に、本発明の構成によれば、所望の径の開口部51が形成されるので、導電性部材5による隣接するソーラーセル間の接続において、電気的特性の安定した信頼性のあるリング状太陽電池1cの提供が可能となるという実施例1、2と同様の効果を得ることができる様になる。
次に、本発明に係わるリング状太陽電池の他の構成例について説明する。
図5(a)は本発明に係わるリング状太陽電池の構成例を示す平面図であり、図5(b)は本図(a)のA−A’断面を示す図面である。
図5(a)に示す構成例は、リング状太陽電池1dを示しており、このリング状太陽電池1dは、帯状の基板10の長辺とは直交する方向に所定の数だけ分割された複数個のソーラーセルを有し、この隣接するソーラーセルにおける上部電極4と下部電極3とが2つの開口部51を介して導電性部材5で接続されて、ソーラーセルが直列に接続した形態を示している。なお、実施例2では、隣接するソーラーセルの電極端子を導電性部材5で繋ぐ開口部51を2つとした例(図3(b)参照)を示したが、本実施例における形態は、この2つの開口部51間を隔壁する絶縁性保護膜12をなくし、1つの開口部51とした形態を示している。
そして、図5(b)に示すように、実施例2と同様に、このリング状太陽電池1dは、絶縁性保護膜12を被覆する前に開口部51に形成した電極表面に絶縁性保護膜12の侵
入を防ぐ保護膜侵入防止部材11が形成された形態となっている。
この様に、本発明の構成によれば、所望の径の開口部51が形成されるので、導電性部材5による隣接するソーラーセル間の接続において、電気的特性の安定した信頼性のあるリング状太陽電池1dの提供が可能となるという実施例1〜3と同様の効果を得ることができる様になる。
本発明の電子機器の構成例を示す図面である。(実施例1) 本発明の電子機器の製造方法を示す図面である。(実施例1) 本発明の電子機器の他の構成例を示す図面である。(実施例2) 本発明の電子機器のさらに他の構成例を示す図面である。(実施例3) 本発明の電子機器のさらに他の構成例を示す図面である。(実施例4) 従来のリング状太陽電池付き電子時計の構成を示す図面である。 従来のリング状太陽電池の構成を示す図面である。
符号の説明
1 リング状太陽電池
2 光電変換層
3 下部電極
4 上部電極
5 導電性部材
6 電力取り出し用電極
7 分割部
10 基板
11 保護膜進入防止部材
12 絶縁性保護膜
51 開口部

Claims (5)

  1. 基板上に配線と、その配線に接続された電極端子とを備え、前記電極端子を露出させて開口部を形成するとともに、前記配線の表面を含む他の領域を絶縁性保護膜で被覆した電子機器において、
    前記絶縁性保護膜の前記開口部への侵入を防止するための保護膜侵入防止部材を、前記開口部の少なくとも一部に設けたことを特徴とする電子機器。
  2. 前記保護膜侵入防止部材は、前記開口部を囲繞して設けられていることを特徴とする請求項1に記載の電子機器。
  3. 前記電極端子には、複数個の太陽電池を構成する上部電極と下部電極のいずれか、または両方の電極から導出された前記配線が接続されており、前記開口部を介して前記電極端子をそれぞれ導電性部材により接続してなることを特徴とする請求項1または2に記載の電子機器。
  4. 基板上に配線と、その配線に接続された電極端子とを備え、前記電極端子を露出させて開口部を形成するとともに、前記配線の表面を含む他の領域を絶縁性保護膜で被覆して形成をする電子機器の製造方法において、
    前記配線と前記電極端子とを前記基板上に形成する工程と、
    前記絶縁性保護膜の前記開口部への侵入を防止するための保護膜侵入防止部材を前記開口部の少なくとも一部に形成する工程と、
    前記他の領域を絶縁性保護膜で被覆する工程と
    を有することを特徴とする電子機器の製造方法。
  5. 前記保護膜侵入防止部材を形成する工程は、前記電極端子の周囲を囲繞して形成する工程であることを特徴とする請求項4に記載の電子機器の製造方法。



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WO2008032680A1 (fr) 2006-09-11 2008-03-20 Asahi Glass Co., Ltd. Agent de polissage pour dispositif à semi-conducteur en circuit intégré, procédé de polissage, et procédé de fabrication du dispositif à semi-conducteur en circuit intégré

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