JP2016020798A - 換気システムおよび換気方法 - Google Patents

Abstract

【課題】室内差圧に関係なく閉止部による開口の開放および閉鎖が可能となるため、クリーンルーム等の室内清浄度の維持や汚染室内空気の漏出防止等を十分に行うことができる換気システムおよび換気方法を提供する。【解決手段】制御部は、各操作部３５、３６、３７、３８による操作によって、各駆動部２８、３２により差圧ダンパー２６、３０を駆動させないような第１の運転モードと、各駆動部２８、３２により差圧ダンパー２６、３０を駆動させるような第２の運転モードとの間で運転モードの切り替えを行うようになっている。第２の運転モードが行われる際に、複数の差圧ダンパー２６、３０のうち、操作された各操作部３５、３６、３７、３８に対応する扉２０、２２と同じ仕切壁１６、１８に設けられた差圧ダンパー以外の差圧ダンパーにより開口１６ａ、１８ａを強制的に閉止するよう各駆動部２８、３２が制御される。【選択図】図２

Description

本発明は、３つ以上の部屋の換気を行う換気システムおよび換気方法に関する。

例えばクリーンルーム施設や実験施設等において、複数の部屋の換気を行うことによりクリーンルーム等の室内清浄度の維持や汚染室内空気の漏出防止等を行う換気システムとして従来から様々なタイプのものが知られている。

ある種のクリーンルーム施設や実験施設等では、当該施設の外部から作業者が出入りすることができる通路に仕切壁を隔てて複数のパスルームが設けられており、当該仕切壁に設けられた扉を開けることにより通路と各パスルームとの間で行き来することができるようになっている。また、パスルームには仕切壁を隔ててクリーンルーム等の室内清浄度を維持すべき部屋が設けられており、当該仕切壁に設けられた扉を開けることによりパスルームとクリーンルームとの間で行き来することができるようになっている。すなわち、クリーンルーム施設や実験施設等に入った作業者は、通路からまず扉を開けてパスルームに移動し、次にパスルームから扉を開けてクリーンルームに移動することによって当該クリーンルームに入ることができるようになる。このような二重構造の扉が設けられていることにより、室内清浄度の維持や汚染室内空気の漏出防止等が図られるようになる。

また、特許文献１には、対象室の扉が開いたときに、通路等の基準室とそれを基準にする他の部屋の室圧に対する影響を最小限に抑えることができる室圧制御装置が開示されている。

特許第５２９６９０３号

しかしながら、特許文献１に開示されるような室圧制御装置では、扉の開閉時の室圧変動によって生じる、隣り合う部屋の間での空気の交換の影響を完全に排除することができないため、クリーンルーム等の室内清浄度が低下したり汚染室内空気が通路に漏出してしまったりするおそれがあった。また、このような室圧制御装置では、扉の開閉を検出する扉センサの反応速度により室圧制御の精度が左右されてしまうという問題があった。

本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、室内差圧に関係なく閉止部による開口の開放および閉鎖が可能となるため、クリーンルーム等の室内清浄度の維持や汚染室内空気の漏出防止等を十分に行うことができる換気システムおよび換気方法を提供することを目的とする。

本発明の換気システムは、３つ以上の部屋の換気を行う換気システムであって、各前記部屋を仕切る複数の仕切壁にそれぞれ設けられた複数の扉と、各前記仕切壁に設けられ当該仕切壁を挟む２つの前記部屋の空間を連通させる開口に対応して配設され、当該開口を選択的に閉止する複数の閉止部と、前記開口を強制的に閉止するよう前記閉止部を駆動する駆動部と、複数の前記部屋のうち陰圧となるべき前記部屋から排気を行うための排気部と、各前記部屋において各前記扉に対応するよう設けられた複数の操作部と、前記駆動部の制御を行う制御部であって、各前記操作部による操作によって、前記駆動部により前記閉止部を駆動させないような第１の運転モードと、前記駆動部により前記閉止部を駆動させるような第２の運転モードとの間で運転モードの切り替えを行うようになっており、前記第２の運転モードが行われる際に、複数の前記閉止部のうち、操作された前記操作部に対応する前記扉と同じ前記仕切壁に設けられた前記閉止部以外の前記閉止部により前記開口を強制的に閉止するよう前記駆動部を制御する制御部と、を備えたことを特徴とする。

このような換気システムによれば、駆動部を制御して各閉止部により所定のタイミングで各開口を強制的に閉止するため、扉の開閉時の室圧変動によって生じる、隣り合う部屋の間での空気の交換の影響を完全に排除することができ、クリーンルーム等の室内清浄度が低下したり汚染室内空気が通路等に漏出したりすることを確実に防止することができる。また、扉を開けないときには制御部が第１の運転モードを行うことによって、各閉止部の動きを見ることによって陰圧となるべき部屋の空間が他の部屋の空間に対して実際に陰圧となっているか否かを目視で確認することができるようになる。

本発明の換気システムにおいては、複数の前記部屋のうち少なくとも３つの前記部屋は直列に並ぶよう配置されており、直列に並ぶよう配置された３つの前記部屋のうち中央にある前記部屋に前記排気部が設けられており、前記制御部が前記第１の運転モードを行っているときに、各前記扉が閉じている場合には各前記仕切壁に設けられた前記開口を介して両側の前記部屋から中央の前記部屋に気体が流れるようになっていてもよい。

本発明の換気システムにおいては、各前記扉には当該扉を施錠するための施錠部が設けられており、前記制御部は、前記操作部により当該操作部に対応する前記扉を開くための操作が行われると、所定の時間が経過した後に前記扉の施錠を解除するよう前記施錠部を制御するようになっていてもよい。

本発明の換気システムにおいては、各前記部屋には表示部がそれぞれ設けられており、前記制御部は、各前記操作部により操作が行われているか否かの情報を前記表示部に表示させるようになっていてもよい。

本発明の換気システムは、３つ以上の部屋の換気を行う換気システムであって、各前記部屋を仕切る複数の仕切壁にそれぞれ設けられた複数の扉と、各前記仕切壁に設けられ当該仕切壁を挟む２つの前記部屋の空間を連通させる開口に対応して配設され、当該開口を選択的に閉止する複数の閉止部と、を備え、複数の前記部屋のうち少なくとも３つの前記部屋は直列に並ぶよう配置されており、直列に並ぶよう配置された３つの前記部屋のうち中央にある前記部屋に、当該部屋から排気を行うための排気部が設けられており、前記排気部によって中央の前記部屋から排気が行われることにより、各前記仕切壁に設けられた前記開口を介して両側の前記部屋から中央の前記部屋に気体が流れるようになっていることを特徴とする。

このような換気システムによれば、中央の部屋内の空気を両側の部屋内の空気で置換することができるようになるため、両側の部屋のうちの一方の部屋であるクリーンルーム等における室内清浄度の維持や両側の部屋のうちの他方の部屋である通路への汚染室内空気の漏出防止等をより一層確実に行うことができるようになる。

本発明の換気方法は、各部屋を仕切る複数の仕切壁にそれぞれ設けられた複数の扉と、各前記仕切壁に設けられ当該仕切壁を挟む２つの前記部屋の空間を連通させる開口に対応して配設され、当該開口を選択的に閉止する複数の閉止部と、前記開口を強制的に閉止するよう前記閉止部を駆動する駆動部と、複数の前記部屋のうち陰圧となるべき前記部屋から排気を行うための排気部と、各前記部屋において各前記扉に対応するよう設けられた複数の操作部と、を備え、３つ以上の前記部屋の換気を行う換気システムによる換気方法であって、前記操作部による操作によって、前記駆動部により前記閉止部を駆動させないような第１の運転モードと、前記駆動部により前記閉止部を駆動させるような第２の運転モードとの間で運転モードの切り替えを行う工程と、前記第２の運転モードが行われる際に、複数の前記閉止部のうち、操作された前記操作部に対応する前記扉と同じ前記仕切壁に設けられた前記閉止部以外の前記閉止部により前記開口を強制的に閉止するよう前記駆動部により前記閉止部を駆動させる工程と、を備えたことを特徴とする。

このような換気方法によれば、各閉止部により所定のタイミングで各開口を強制的に閉止するため、扉の開閉時の室圧変動によって生じる、隣り合う部屋の間での空気の交換の影響を完全に排除することができ、クリーンルーム等の室内清浄度が低下したり汚染室内空気が通路等に漏出したりすることを確実に防止することができる。また、扉を開けないときには第１の運転モードを行うことによって、各閉止部の動きを見ることによって陰圧となるべき部屋の空間が他の部屋の空間に対して実際に陰圧となっているか否かを目視で確認することができるようになる。

本発明の換気方法においては、各前記扉には当該扉を施錠するための施錠部が設けられており、前記操作部により当該操作部に対応する前記扉を開くための操作が行われると、所定の時間が経過した後に前記扉の施錠を解除するよう前記施錠部が制御されるようになっていてもよい。

本発明の換気システムおよび換気方法によれば、室内差圧に関係なく閉止部による開口の開放および閉鎖が可能となるため、クリーンルーム等の室内清浄度の維持や汚染室内空気の漏出防止等を十分に行うことができる。

本発明の実施の形態による換気システムが設置されたクリーンルーム施設や実験施設等の概略的な構成を示す構成図である。 本発明の実施の形態による換気システムの構成を示す側面図である。 図２に示す換気システムの動作を示す図であって、作業者が通路からパスルームに入ろうとするときの状態を示す図である。 図２に示す換気システムの動作を示す図であって、作業者がパスルームからクリーンルームに入ろうとするときの状態を示す図である。 図２に示す換気システムの動作を示す図であって、作業者がクリーンルームからパスルームに出ようとするときの状態を示す図である。 図２に示す換気システムの動作を示す図であって、作業者がパスルームから通路に出ようとするときの状態を示す図である。 図２に示す換気システムの機能的な構成を示す制御ブロック図である。 本発明の実施の形態による換気システムに設けられた差圧ダンパーの別の構成を示す側面図である。 本発明の実施の形態による換気システムが設置されたクリーンルーム施設や実験施設等の別の構成を示す構成図である。

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１乃至図７は、本実施の形態に係る換気システムや当該換気システムが設置されたクリーンルーム施設や実験施設等を示す図である。このうち、図１は、本実施の形態による換気システムが設置されたクリーンルーム施設や実験施設等の概略的な構成を示す構成図であり、図２は、本実施の形態による換気システムの構成を示す側面図である。また、図３乃至図６は、図２に示す換気システムの動作を示す図であり、図７は、図２に示す換気システムの機能的な構成を示す制御ブロック図である。

まず、本実施の形態による換気システムが設置されたクリーンルーム施設や実験施設等の概略的な構成について図１を用いて説明する。図１に示すように、施設の外部から作業者が出入りすることができる通路１０には仕切壁１６を隔てて複数のパスルーム１２が設けられており、当該仕切壁１６に設けられた扉２０（図２参照）を開けることにより通路１０と各パスルーム１２との間で行き来することができるようになっている。また、パスルーム１２には仕切壁１８を隔ててクリーンルーム１４等の室内清浄度を維持すべき部屋が設けられており、当該仕切壁１８に設けられた扉２２（図２参照）を開けることによりパスルーム１２とクリーンルーム１４との間で行き来することができるようになっている。すなわち、クリーンルーム施設や実験施設等に入った作業者は、通路１０からまず扉２０を開けてパスルーム１２に移動し、次にパスルーム１２から扉２２を開けてクリーンルーム１４に移動することによって当該クリーンルーム１４に入ることができるようになる。

図２に示すように、通路１０とパスルーム１２とを仕切る仕切壁１６には、これらの通路１０およびパスルーム１２の間で作業者が行き来するための扉２０が設けられており、当該扉２０を開くことにより通路１０およびパスルーム１２の間で作業者が行き来することができるようになっている。また、扉２０には第１施錠部２１（図７参照）が設けられており、当該第１施錠部２１により扉２０が施錠されたときにはこの扉２０を開くことができないようになっている。また、通路１０とパスルーム１２とを仕切る仕切壁１６において上記の扉２０の上方には、通路１０の空間およびパスルーム１２の空間を連通させる開口１６ａが形成されており、この開口１６ａには、当該開口１６ａを選択的に閉止する閉止部として第１差圧ダンパー２６が設けられている。具体的には、第１差圧ダンパー２６はその上端部に設けられた軸２６ａを中心として開口１６ａからパスルーム１２側に回転自在となっており、通路１０の空間に対してパスルーム１２の空間が陰圧となっている場合には、図２に示すように第１差圧ダンパー２６が開口１６ａを開いて通路１０からパスルーム１２に空気が流れるようになっている（図２において、第１差圧ダンパー２６が開口１６ａを開いているときの通路１０からパスルーム１２への空気の流れを矢印で示す）。なお、第１差圧ダンパー２６は、軸２６ａを中心として開口１６ａから通路１０側には回転することができないようになっている。すなわち、通路１０の空間に対してパスルーム１２の空間が陰圧となっている場合には上述したように第１差圧ダンパー２６が開口１６ａを開くが、もし仮に通路１０の空間に対してパスルーム１２の空間が陽圧となっていたり両者の空間の気圧が略同一であったりする場合には第１差圧ダンパー２６が開口１６ａを閉止するようになる。また、第１差圧ダンパー２６には当該第１差圧ダンパー２６を駆動する第１駆動部２８が設けられており、この第１駆動部２８は開口１６ａを強制的に閉止するよう第１差圧ダンパー２６を駆動することができるようになっている。

また、図２に示すように、パスルーム１２とクリーンルーム１４とを仕切る仕切壁１８には、これらのパスルーム１２およびクリーンルーム１４の間で作業者が行き来するための扉２２が設けられており、当該扉２２を開くことによりパスルーム１２およびクリーンルーム１４の間で作業者が行き来することができるようになっている。また、扉２２には第２施錠部２３（図７参照）が設けられており、当該第２施錠部２３により扉２２が施錠されたときにはこの扉２２を開くことができないようになっている。また、パスルーム１２とクリーンルーム１４とを仕切る仕切壁１８において上記の扉２２の上方には、パスルーム１２の空間およびクリーンルーム１４の空間を連通させる開口１８ａが形成されており、この開口１８ａには、当該開口１８ａを選択的に閉止する閉止部として第２差圧ダンパー３０が設けられている。具体的には、第２差圧ダンパー３０はその上端部に設けられた軸３０ａを中心として開口１８ａからパスルーム１２側に回転自在となっており、クリーンルーム１４の空間に対してパスルーム１２の空間が陰圧となっている場合には、図２に示すように第２差圧ダンパー３０が開口１８ａを開いてクリーンルーム１４からパスルーム１２に空気が流れるようになっている（図２において、第２差圧ダンパー３０が開口１８ａを開いているときのクリーンルーム１４からパスルーム１２への空気の流れを矢印で示す）。なお、第２差圧ダンパー３０は、軸３０ａを中心として開口１８ａからクリーンルーム１４側には回転することができないようになっている。すなわち、クリーンルーム１４の空間に対してパスルーム１２の空間が陰圧となっている場合には上述したように第２差圧ダンパー３０が開口１８ａを開くが、もし仮にクリーンルーム１４の空間に対してパスルーム１２の空間が陽圧となっていたり両者の空間の気圧が略同一であったりする場合には第２差圧ダンパー３０が開口１８ａを閉止するようになる。また、第２差圧ダンパー３０には当該第２差圧ダンパー３０を駆動する第２駆動部３２が設けられており、この第２駆動部３２は開口１８ａを強制的に閉止するよう第２差圧ダンパー３０を駆動することができるようになっている。

また、図２に示すように、パスルーム１２の天井には排気口２４が設けられており、この排気口２４には排気部２５が接続されている。そして、排気部２５により排気口２４を介してパスルーム１２の空間からの空気の吸引が常に行われるようになっている。このことにより、パスルーム１２の空間は通路１０の空間やクリーンルーム１４の空間に対して常に陰圧が保たれるようになっている。また、第１駆動部２８や第２駆動部３２により第１差圧ダンパー２６や第２差圧ダンパー３０が駆動されていないときに、各扉２０、２２が閉じている場合には、パスルーム１２の空間が通路１０の空間やクリーンルーム１４の空間に対して常に陰圧が保たれることにより、図２に示すように第１差圧ダンパー２６や第２差圧ダンパー３０は開口１６ａ、１８ａを開き、開口１６ａ、１８ａを介して通路１０やクリーンルーム１４からパスルーム１２に空気が流れるようになる。

また、通路１０、パスルーム１２、クリーンルーム１４の各々において、各扉２０、２２に対応するよう操作盤等からなる複数の操作部３５、３６、３７、３８が設けられている。具体的には、通路１０において扉２０に対応して第１操作部３５が設けられている。また、パスルーム１２において扉２０に対応して第２操作部３６が設けられるとともに扉２２に対応して第３操作部３７が設けられている。また、クリーンルーム１４において扉２２に対応して第４操作部３８が設けられている。通路１０とパスルーム１２との間で行き来しようとする作業者やパスルーム１２とクリーンルーム１４との間で行き来しようとする作業者は、各扉２０、２２に対応する各操作部３５、３６、３７、３８を操作することにより、これらの扉２０、２２に設けられた施錠部２１、２３による扉２０、２２の施錠を解除して当該扉２０、２２を開くことができるようになっている。なお、各操作部３５、３６、３７、３８を操作する際に、例えば各作業者が携帯するＩＤカードを各操作部３５、３６、３７、３８に設けられたカードリーダにより読み取らせて扉２０、２２を開けようとする作業者が所定の権限を有するか否かを判定し、所定の権限を有することが確認されたときのみに施錠部２１、２３による扉２０、２２の施錠を解除するようになっている。また、通路１０とパスルーム１２との間で行き来しようとする作業者やパスルーム１２とクリーンルーム１４との間で行き来しようとする作業者は、各操作部３５、３６、３７、３８を操作することにより、制御部５０（後述）による運転モードを切り替えることができるようになっている。このことの詳細については後述する。

また、図２に示すように、通路１０、パスルーム１２、クリーンルーム１４の各々に対応して例えばモニタ等からなる第１表示部４２、第２表示部４４、第３表示部４６が設けられている。各表示部４２、４４、４６には、各操作部３５、３６、３７、３８により操作が行われているか否かの情報が表示されるようになっている。このことにより、例えばある作業者が通路１０からパスルーム１２に移動しようとする際に、別の作業者が同時にクリーンルーム１４からパスルーム１２に移動しようとする場合には、一方の作業者は各表示部４２、４４、４６による表示内容を確認することにより相手の作業者の動きを知ることができるようになるので、両方の扉２０、２２が同時に開かれてしまうことを防止することができるようになる。

次に、このような換気システムの制御系の構成について図７を用いて説明する。本実施の形態による換気システムには、当該換気システムの各構成部材の制御を行う制御部５０が設けられている。具体的には、制御部５０には各駆動部２８、３２、各施錠部２１、２３、排気部２５、各操作部３５、３６、３７、３８、各表示部４２、４４、４６がそれぞれ接続されており、制御部５０が各構成部材に指令信号を送ることによりこれらの構成部材の動作を制御するようになっている。

本実施の形態による換気システムでは、制御部５０は、各駆動部２８、３２により各差圧ダンパー２６、３０を駆動させないような第１の運転モード（観測モードともいう）、および各駆動部２８、３２により各差圧ダンパー２６、３０を駆動させるような第２の運転モード（制御モードともいう）のうち何れか一方の運転モードを実行するようになっている。また、このような第１の運転モードと第２の運転モードとの間の切り替えは、各操作部３５、３６、３７、３８による操作によって行うことができるようになっている。より詳細には、通路１０、パスルーム１２、クリーンルーム１４の間で作業者が行き来しないような待機時には制御部５０は第１の運転モードを実行するようになっており、一方、通路１０、パスルーム１２、クリーンルーム１４の間で行き来しようとする作業者が各操作部３５、３６、３７、３８を操作して各扉２０、２２を開こうとしたときに制御部５０による運転モードが第１の運転モードから第２の運転モードに切り替わるようになっている。

上述したように、制御部５０が第１の運転モードを実行する場合には、各差圧ダンパー２６、３０は各駆動部２８、３２により駆動されることはなく、軸２６ａ、３０ａを中心としてパスルーム１２側に回転自在となる。このことにより、パスルーム１２の空間が通路１０の空間やクリーンルーム１４の空間に対して陰圧となっている場合には、図２に示すように各差圧ダンパー２６、３０は開口１６ａ、１８ａを開くようになり、開口１６ａ、１８ａを介して通路１０やクリーンルーム１４からパスルーム１２に空気が流れる。一方、本実施の形態による換気システムにおいて何らかの異常が発生し、通路１０の空間やクリーンルーム１４の空間に対してパスルーム１２の空間が陽圧となっていたり両者の空間の気圧が略同一であったりする場合には各差圧ダンパー２６、３０が開口１６ａ、１８ａを閉止するようになる。このように、通路１０、パスルーム１２、クリーンルーム１４の間で作業者が行き来しないような待機時には、制御部５０は第１の運転モードを実行することにより、各差圧ダンパー２６、３０の動きを見ることによってパスルーム１２の空間が通路１０の空間やクリーンルーム１４の空間に対して陰圧となっているか否かを目視で確認することができるようになる。

一方、制御部５０が第２の運転モードを実行する場合には、第１差圧ダンパー２６および第２差圧ダンパー３０のうち、操作された操作部３５、３６、３７、３８に対応する扉２０、２２と同じ仕切壁１６、１８に設けられた差圧ダンパー以外の差圧ダンパーにより開口１６ａ、１８ａを強制的に閉止するよう各駆動部２８、３２が制御されるようになる。具体的には、具体的には、通路１０とパスルーム１２との間で行き来しようとする作業者が第１操作部３５や第２操作部３６を操作して扉２０を開こうとしたときに制御部５０による運転モードが第１の運転モードから第２の運転モードに切り替わった場合には、この扉２０と同じ仕切壁１６に設けられた第１差圧ダンパー２６以外の第２差圧ダンパー３０により開口１８ａを強制的に閉止するよう第２駆動部３２が制御部５０により制御される。なお、この際に、第１差圧ダンパー２６は駆動部２８により駆動されることはなく、軸２６ａを中心としてパスルーム１２側に回転自在となる。また、パスルーム１２とクリーンルーム１４の間で行き来しようとする作業者が第３操作部３７や第４操作部３８を操作して扉２２を開こうとしたときに制御部５０による運転モードが第１の運転モードから第２の運転モードに切り替わった場合には、この扉２２と同じ仕切壁１８に設けられた第２差圧ダンパー３０以外の第１差圧ダンパー２６により開口１６ａを強制的に閉止するよう第１駆動部２８が制御部５０により制御される。なお、この際に、第２差圧ダンパー３０は第２駆動部３２により駆動されることはなく、軸３０ａを中心としてパスルーム１２側に回転自在となる。このようにして、制御部５０が第２の運転モードを実行する場合には、各操作部３５、３６、３７、３８による操作によって開けようとする扉２０、２２が設けられた仕切壁１６、１８とは別の場所に設けられた差圧ダンパーが開口１６ａ、１８ａを強制的に閉止するため、作業者が開けようとする扉２０、２２を挟んだ両側の部屋の間でのみ空気の移動が行われるようになる。

次に、このような構成からなる換気システムの動作について図３乃至図６を用いて説明する。なお、図３は、作業者が通路１０からパスルーム１２に入ろうとするときの状態を示す図であり、図４は、作業者がパスルーム１２からクリーンルーム１４に入ろうとするときの状態を示す図である。また、図５は、作業者がクリーンルーム１４からパスルーム１２に出ようとするときの状態を示す図であり、図６は、作業者がパスルーム１２から通路１０に出ようとするときの状態を示す図である。また、以下に示すような換気システムの動作は、制御部５０が当該換気システムの各構成部材を制御することにより行われるようになっている。

図３に示すように、作業者が通路１０からパスルーム１２に入ろうとするときには、当該作業者は第１操作部３５を操作して扉２０を開こうとする。ここで、第１操作部３５により扉２０を開くための操作が行われると、所定の時間が経過した後に扉２０の施錠を解除するよう制御部５０により第１施錠部２１が制御される。このため、通路１０にいる作業者は第１操作部３５により扉２０を開くための操作を行ったあと、しばらく待ってから扉２０を開けることができるようになる。

また、第１操作部３５により扉２０を開くための操作が行われると、制御部５０による運転モードが第１の運転モードから第２の運転モードに切り替えられ、第２差圧ダンパー３０により開口１８ａを強制的に閉止するよう第２駆動部３２が制御部５０により制御される。なお、この際に、第１差圧ダンパー２６は第１駆動部２８により駆動されることはなく、軸２６ａを中心としてパスルーム１２側に回転自在となる。また、排気部２５により排気口２４を介してパスルーム１２の空間からの空気の吸引が常に行われているため、パスルーム１２の空間は通路１０の空間に対して陰圧となり、図３に示すように第１差圧ダンパー２６は開口１６ａを開いて通路１０からパスルーム１２に空気が流れるようになる。このため、作業者によって第１操作部３５により扉２０を開くための操作が行われた後、第１施錠部２１により扉２０の施錠が解除されるまでの間、パスルーム１２内の空気が通路１０内の空気に置換されるようになる。このようにして、パスルーム１２内の空気が通路１０内の空気に置換された後、作業者は扉２０を開くことにより通路１０からパスルーム１２に入ることができるようになる。

次に、図４に示すように、作業者がパスルーム１２からクリーンルーム１４に入ろうとするときには、当該作業者は第３操作部３７を操作して扉２２を開こうとする。ここで、第３操作部３７により扉２２を開くための操作が行われると、所定の時間が経過した後に扉２２の施錠を解除するよう制御部５０により第２施錠部２３が制御される。このため、パスルーム１２にいる作業者は第３操作部３７により扉２２を開くための操作を行ったあと、しばらく待ってから扉２２を開けることができるようになる。

また、第３操作部３７により扉２２を開くための操作が行われると、制御部５０による運転モードが第１の運転モードから第２の運転モードに切り替えられ、第１差圧ダンパー２６により開口１６ａを強制的に閉止するよう第１駆動部２８が制御部５０により制御される。なお、この際に、第２差圧ダンパー３０は第２駆動部３２により駆動されることはなく、軸３０ａを中心としてパスルーム１２側に回転自在となる。また、排気部２５により排気口２４を介してパスルーム１２の空間からの空気の吸引が常に行われているため、パスルーム１２の空間はクリーンルーム１４の空間に対して陰圧となり、図４に示すように第２差圧ダンパー３０は開口１８ａを開いてクリーンルーム１４からパスルーム１２に空気が流れるようになる。このため、作業者によって第３操作部３７により扉２２を開くための操作が行われた後、第２施錠部２３により扉２２の施錠が解除されるまでの間、パスルーム１２内の空気がクリーンルーム１４内の空気に置換されるようになる。このようにして、パスルーム１２内の空気がクリーンルーム１４内の空気に置換された後、作業者は扉２２を開くことによりパスルーム１２からクリーンルーム１４に入ることができるようになる。

また、図５に示すように、作業者がクリーンルーム１４からパスルーム１２に出ようとするときには、当該作業者は第４操作部３８を操作して扉２２を開こうとする。ここで、第４操作部３８により扉２２を開くための操作が行われると、所定の時間が経過した後に扉２２の施錠を解除するよう制御部５０により第２施錠部２３が制御される。このため、クリーンルーム１４にいる作業者は第４操作部３８により扉２２を開くための操作を行ったあと、しばらく待ってから扉２２を開けることができるようになる。

また、第４操作部３８により扉２２を開くための操作が行われると、制御部５０による運転モードが第１の運転モードから第２の運転モードに切り替えられ、第１差圧ダンパー２６により開口１６ａを強制的に閉止するよう第１駆動部２８が制御部５０により制御される。なお、この際に、第２差圧ダンパー３０は第２駆動部３２により駆動されることはなく、軸３０ａを中心としてパスルーム１２側に回転自在となる。また、排気部２５により排気口２４を介してパスルーム１２の空間からの空気の吸引が常に行われているため、パスルーム１２の空間はクリーンルーム１４の空間に対して陰圧となり、図５に示すように第２差圧ダンパー３０は開口１８ａを開いてクリーンルーム１４からパスルーム１２に空気が流れるようになる。このため、作業者によって第４操作部３８により扉２２を開くための操作が行われた後、第２施錠部２３により扉２２の施錠が解除されるまでの間、パスルーム１２内の空気がクリーンルーム１４内の空気に置換されるようになる。このようにして、パスルーム１２内の空気がクリーンルーム１４内の空気に置換された後、作業者は扉２２を開くことによりクリーンルーム１４からパスルーム１２に出ることができるようになる。

次に、図６に示すように、作業者がパスルーム１２から通路１０に出ようとするときには、当該作業者は第２操作部３６を操作して扉２０を開こうとする。ここで、第２操作部３６により扉２０を開くための操作が行われると、所定の時間が経過した後に扉２０の施錠を解除するよう制御部５０により第１施錠部２１が制御される。このため、パスルーム１２にいる作業者は第２操作部３６により扉２０を開くための操作を行ったあと、しばらく待ってから扉２０を開けることができるようになる。

また、第２操作部３６により扉２０を開くための操作が行われると、制御部５０による運転モードが第１の運転モードから第２の運転モードに切り替えられ、第２差圧ダンパー３０により開口１８ａを強制的に閉止するよう第２駆動部３２が制御部５０により制御される。なお、この際に、第１差圧ダンパー２６は第１駆動部２８により駆動されることはなく、軸２６ａを中心としてパスルーム１２側に回転自在となる。また、排気部２５により排気口２４を介してパスルーム１２の空間からの空気の吸引が常に行われているため、パスルーム１２の空間は通路１０の空間に対して陰圧となり、図６に示すように第１差圧ダンパー２６は開口１６ａを開いて通路１０からパスルーム１２に空気が流れるようになる。このため、作業者によって第２操作部３６により扉２０を開くための操作が行われた後、第１施錠部２１により扉２０の施錠が解除されるまでの間、パスルーム１２内の空気が通路１０内の空気に置換されるようになる。このようにして、パスルーム１２内の空気が通路１０内の空気に置換された後、作業者は扉２０を開くことによりパスルーム１２から通路１０に出ることができるようになる。

また、通路１０、パスルーム１２、クリーンルーム１４の間で作業者が行き来しないような待機時には、制御部５０は第１の運転モードを実行する。この場合には、各差圧ダンパー２６、３０は各駆動部２８、３２により駆動されることはなく、軸２６ａ、３０ａを中心としてパスルーム１２側に回転自在となる。このことにより、パスルーム１２の空間が通路１０の空間やクリーンルーム１４の空間に対して陰圧となっている場合には、図２に示すように各差圧ダンパー２６、３０は開口１６ａ、１８ａを開くようになり、開口１６ａ、１８ａを介して通路１０やクリーンルーム１４からパスルーム１２に空気が流れるようになる。

以上のような構成からなる本実施の形態の換気システムおよび換気方法によれば、各駆動部２８、３２の制御を行う制御部５０は、各操作部３５、３６、３７、３８による操作によって、各駆動部２８、３２により閉止部としての差圧ダンパー２６、３０を駆動させないような第１の運転モード（観測モード）と、各駆動部２８、３２により閉止部としての差圧ダンパー２６、３０を駆動させるような第２の運転モード（制御モード）との間で運転モードの切り替えを行うようになっている。そして、当該制御部５０は、第２の運転モードが行われる際に、複数の差圧ダンパー２６、３０のうち、操作された各操作部３５、３６、３７、３８に対応する扉２０、２２と同じ仕切壁１６、１８に設けられた差圧ダンパー以外の差圧ダンパーにより開口１６ａ、１８ａを強制的に閉止するよう各駆動部２８、３２を制御するようになっている。このように、各駆動部２８、３２を制御して各差圧ダンパー２６、３０により所定のタイミングで各開口１６ａ、１８ａを強制的に閉止するため、扉２０、２２の開閉時の室圧変動によって生じる、隣り合う部屋の間での空気の交換の影響を完全に排除することができ、クリーンルーム１４の室内清浄度が低下したり汚染室内空気が通路１０に漏出したりすることを確実に防止することができる。また、扉２０、２２を開けないときには制御部５０が第１の運転モードを行うことによって、各差圧ダンパー２６、３０の動きを見ることによってパスルーム１２の空間が通路１０の空間やクリーンルーム１４の空間に対して陰圧となっているか否かを目視で確認することができるようになる。

また、本実施の形態の換気システムにおいては、上述したように、通路１０、パスルーム１２およびクリーンルーム１４からなる３つの部屋は直列に並ぶよう配置されており、直列に並ぶよう配置された３つの部屋のうち中央にある部屋（具体的には、パスルーム１２）に排気部２５が設けられている。そして、制御部５０が第１の運転モードを行っているときに、各扉２０、２２が閉じている場合には各仕切壁１６、１８に設けられた開口１６ａ、１８ａを介して両側の部屋（具体的には、通路１０およびクリーンルーム１４）から中央の部屋（具体的には、パスルーム１２）に空気が流れるようになっている。このことにより、パスルーム１２内の空気を通路１０内の空気やクリーンルーム１４内の空気で置換することができるようになるため、クリーンルーム１４における室内清浄度の維持や通路１０への汚染室内空気の漏出防止等をより一層確実に行うことができるようになる。

また、本実施の形態の換気システムにおいては、上述したように、各扉２０、２２には当該扉２０、２２を施錠するための施錠部２１、２３が設けられており、制御部５０は、各操作部３５、３６、３７、３８により当該操作部３５、３６、３７、３８に対応する扉２０、２２を開くための操作が行われると、所定の時間が経過した後に扉２０、２２の施錠を解除するよう施錠部２１、２３を制御するようになっている。このことにより、パスルーム１２内の空気を通路１０内の空気やクリーンルーム１４内の空気で置換する時間を十分に確保することができるようになり、クリーンルーム１４における室内清浄度の維持や通路１０への汚染室内空気の漏出防止等をより一層確実に行うことができるようになる。

また、本実施の形態の換気システムにおいては、上述したように、通路１０、パスルーム１２、クリーンルーム１４には表示部４２、４４、４６がそれぞれ設けられており、制御部５０は、各操作部３５、３６、３７、３８により操作が行われているか否かの情報を各表示部４２、４４、４６に表示させるようになっている。このことにより、例えばある作業者が通路１０からパスルーム１２に移動しようとする際に、別の作業者が同時にクリーンルーム１４からパスルーム１２に移動しようとする場合には、一方の作業者は各表示部４２、４４、４６による表示内容を確認することにより相手の作業者の動きを知ることができるようになるので、両方の扉２０、２２が同時に開かれてしまうことを防止することができるようになる。

なお、本実施の形態による換気システムや換気方法は、上述したような態様に限定されることはなく、様々な変更を加えることができる。

例えば、各仕切壁１６、１８に設けられた開口１６ａ、１８ａを閉止するための閉止部としての差圧ダンパーは、図２等に示すような構成のものに限定されることはない。開口１６ａ、１８ａを閉止するための閉止部としての差圧ダンパーの他の構成例について図８を用いて説明する。

図８では、仕切壁１８に設けられた開口１８ａを閉止するための差圧ダンパーの変形例に係る構成例が示されている。ここで、図８では、仕切壁１８の右側の領域がクリーンルーム１４となっており、仕切壁１８の左側の領域がパスルーム１２となっている。なお、図８では仕切壁１８に設けられた開口１８ａを閉止するための差圧ダンパーの変形例に係る構成例が示されているが、仕切壁１６に設けられた開口１６ａを閉止するための差圧ダンパーも同様の構成のものを用いることができる。

具体的に説明すると、水平方向に延びる案内ガイド６２に沿って図８における左右方向に移動自在となっている差圧ダンパー６０が設けられており、この差圧ダンパー６０により開口１８ａが選択的に閉止されるようになっている。ここで、差圧ダンパー６０には紐６４が接続されており、当該紐６４は巻き取り部材６６により巻き取り可能となっている。また、案内ガイド６２の周囲にはスプリング６８が設けられており、当該スプリング６８の一方の端部が差圧ダンパー６０に接続されるとともにこのスプリング６８の他方の端部が案内ガイド６２の基端部分に接続されるようになっている。このようなスプリング６８の収縮力により、差圧ダンパー６０には図８における右方向への付勢力がかかるようになっている。

差圧ダンパー６０により開口１８ａを強制的に閉止する場合には、巻き取り部材６６により紐６４を巻き取ることにより差圧ダンパー６０が案内ガイド６２に沿って図８における右側に移動し、図８における二点鎖線の位置まで差圧ダンパー６０が移動することにより開口１８ａが強制的に閉止されるようになる。一方、巻き取り部材６６から紐６４が解放されると、スプリング６８の収縮力により差圧ダンパー６０には図８における右方向への付勢力がかかるようになるが、パスルーム１２の空間がクリーンルーム１４の空間に対して陰圧である場合にはスプリング６８の収縮力に抗して差圧ダンパー６０が図８における左側に移動し、クリーンルーム１４の空気がパスルーム１２に流れるようになる。

また、本実施の形態による換気システムが設置されるクリーンルーム施設や実験施設等の構成について、通路１０、パスルーム１２およびクリーンルーム１４の配置は図１に示すようなものに限定されることはない。本実施の形態による換気システムが設置されるクリーンルーム施設や実験施設等の構成において、通路１０、パスルーム１２およびクリーンルーム１４の数や位置を適宜変更することができる。具体的には、例えば、図９に示すように、通路１０に対して仕切壁１６を隔ててパスルーム１２が配置されるともに、当該パスルーム１２に対して複数の仕切壁１８の各々を隔てて複数（図９に示す例では２つ）のクリーンルーム１４が配置されるようになっていてもよい。

また、図２乃至図７に示すような構成の換気システムにおいて、第１施錠部２１や第２施錠部２３が扉２０、２２の施錠を行うことによりこれらの扉２０、２２の開放の管理を行う代わりに、扉２０、２２の開放の管理が手動で行われるようになっていてもよい。

また、図２乃至図７に示すような構成の換気システムにおいて、上記の態様では、制御部５０は、各操作部３５、３６、３７、３８による操作によって、各駆動部２８、３２により差圧ダンパー２６、３０を駆動させないような第１の運転モードと、各駆動部２８、３２により閉止部としての差圧ダンパー２６、３０を駆動させるような第２の運転モードとの間で運転モードの切り替えを行うようになっているが、本発明はこのような態様に限定されることはない。変形例に係る換気システムにおいて、制御部５０は上記の第１の運転モードのみを行うようになっていてもよい。また、この場合、各差圧ダンパー２６、３０の駆動を行う各駆動部２８、３２の設置が省略されていてもよい。このような変形例に係る換気システムでも、各仕切壁１６、１８に設けられた開口１６ａ、１８ａを介して両側の部屋（具体的には、通路１０およびクリーンルーム１４）から中央の部屋（具体的には、パスルーム１２）に空気が流れるようになっている場合には、パスルーム１２内の空気を通路１０内の空気やクリーンルーム１４内の空気で置換することができるようになるため、クリーンルーム１４における室内清浄度の維持や通路１０への汚染室内空気の漏出防止等を行うことができるようになる。

１０ 通路
１２ パスルーム
１４ クリーンルーム
１６、１８ 仕切壁
１６ａ、１８ａ 開口
２０、２２ 扉
２１ 第１施錠部
２３ 第２施錠部
２４ 排気口
２５ 排気部
２６ 第１差圧ダンパー
２６ａ 軸
２８ 第１駆動部
３０ 第２差圧ダンパー
３０ａ 軸
３２ 第２駆動部
３５ 第１操作部
３６ 第２操作部
３７ 第３操作部
３８ 第４操作部
４２ 第１表示部
４４ 第２表示部
４６ 第３表示部
５０ 制御部
６０ 差圧ダンパー
６２ 案内ガイド
６４ 紐
６６ 巻き取り部材
６８ スプリング

Claims (7)

1. ３つ以上の部屋の換気を行う換気システムであって、
   各前記部屋を仕切る複数の仕切壁にそれぞれ設けられた複数の扉と、
   各前記仕切壁に設けられ当該仕切壁を挟む２つの前記部屋の空間を連通させる開口に対応して配設され、当該開口を選択的に閉止する複数の閉止部と、
   前記開口を強制的に閉止するよう前記閉止部を駆動する駆動部と、
   複数の前記部屋のうち陰圧となるべき前記部屋から排気を行うための排気部と、
   各前記部屋において各前記扉に対応するよう設けられた複数の操作部と、
   前記駆動部の制御を行う制御部であって、各前記操作部による操作によって、前記駆動部により前記閉止部を駆動させないような第１の運転モードと、前記駆動部により前記閉止部を駆動させるような第２の運転モードとの間で運転モードの切り替えを行うようになっており、前記第２の運転モードが行われる際に、複数の前記閉止部のうち、操作された前記操作部に対応する前記扉と同じ前記仕切壁に設けられた前記閉止部以外の前記閉止部により前記開口を強制的に閉止するよう前記駆動部を制御する制御部と、
   を備えた、換気システム。
2. 複数の前記部屋のうち少なくとも３つの前記部屋は直列に並ぶよう配置されており、
   直列に並ぶよう配置された３つの前記部屋のうち中央にある前記部屋に前記排気部が設けられており、
   前記制御部が前記第１の運転モードを行っているときに、各前記扉が閉じている場合には各前記仕切壁に設けられた前記開口を介して両側の前記部屋から中央の前記部屋に気体が流れるようになっている、請求項１記載の換気システム。
3. 各前記扉には当該扉を施錠するための施錠部が設けられており、
   前記制御部は、前記操作部により当該操作部に対応する前記扉を開くための操作が行われると、所定の時間が経過した後に前記扉の施錠を解除するよう前記施錠部を制御するようになっている、請求項１または２記載の換気システム。
4. 各前記部屋には表示部がそれぞれ設けられており、
   前記制御部は、各前記操作部により操作が行われているか否かの情報を前記表示部に表示させるようになっている、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の換気システム。
5. ３つ以上の部屋の換気を行う換気システムであって、
   各前記部屋を仕切る複数の仕切壁にそれぞれ設けられた複数の扉と、
   各前記仕切壁に設けられ当該仕切壁を挟む２つの前記部屋の空間を連通させる開口に対応して配設され、当該開口を選択的に閉止する複数の閉止部と、
   を備え、
   複数の前記部屋のうち少なくとも３つの前記部屋は直列に並ぶよう配置されており、
   直列に並ぶよう配置された３つの前記部屋のうち中央にある前記部屋に、当該部屋から排気を行うための排気部が設けられており、
   前記排気部によって中央の前記部屋から排気が行われることにより、各前記仕切壁に設けられた前記開口を介して両側の前記部屋から中央の前記部屋に気体が流れるようになっている、換気システム。
6. 各部屋を仕切る複数の仕切壁にそれぞれ設けられた複数の扉と、各前記仕切壁に設けられ当該仕切壁を挟む２つの前記部屋の空間を連通させる開口に対応して配設され、当該開口を選択的に閉止する複数の閉止部と、前記開口を強制的に閉止するよう前記閉止部を駆動する駆動部と、複数の前記部屋のうち陰圧となるべき前記部屋から排気を行うための排気部と、各前記部屋において各前記扉に対応するよう設けられた複数の操作部と、を備え、３つ以上の前記部屋の換気を行う換気システムによる換気方法であって、
   前記操作部による操作によって、前記駆動部により前記閉止部を駆動させないような第１の運転モードと、前記駆動部により前記閉止部を駆動させるような第２の運転モードとの間で運転モードの切り替えを行う工程と、
   前記第２の運転モードが行われる際に、複数の前記閉止部のうち、操作された前記操作部に対応する前記扉と同じ前記仕切壁に設けられた前記閉止部以外の前記閉止部により前記開口を強制的に閉止するよう前記駆動部により前記閉止部を駆動させる工程と、
   を備えた、換気方法。
7. 各前記扉には当該扉を施錠するための施錠部が設けられており、
   前記操作部により当該操作部に対応する前記扉を開くための操作が行われると、所定の時間が経過した後に前記扉の施錠を解除するよう前記施錠部が制御されるようになっている、請求項６記載の換気方法。

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