JP2016018953A

JP2016018953A - Cold plate

Info

Publication number: JP2016018953A
Application number: JP2014142207A
Authority: JP
Inventors: 益子　耕一; Koichi Masuko; 耕一益子; 将宗松田; Masamune Matsuda
Original assignee: Fujikura Ltd
Current assignee: Fujikura Ltd
Priority date: 2014-07-10
Filing date: 2014-07-10
Publication date: 2016-02-01

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cold plate capable of lowering height as a whole, and improving thermal performance.SOLUTION: A cold plate 1 includes: a plurality of fins 4 provided in a hollow portion composed of a base plate 2 and a cover 3; a supply tube 8 for supplying a cooling medium into the hollow portion; a discharge tube 10 for discharging the cooling medium from the hollow portion; and cooling medium channels 7 formed between the fins 4. At positions corresponding to upper parts at both end portions of the fins 4 on an upper surface 3a of the cover 3, distributing portions 5 and 6 which communicate with each cooling medium channel 7 to distribute and supply the cooling medium to each cooling medium channel 7 are provided. The supply tube 8 extending in a direction parallel with the upper surface 3a is communicated to one distributing portion 5, and the discharge tube 10 extending in the direction parallel with the upper surface 3a is communicated to the other distributing portion 6.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

この発明は、電子素子などの発熱体に密着させられ、かつ、その電子部品の熱を運び去るための冷却媒体が供給されるコールドプレートに関するものである。 The present invention relates to a cold plate that is brought into close contact with a heating element such as an electronic element and is supplied with a cooling medium for carrying away heat of the electronic component.

例えば、特許文献１には、ベースプレートと、そのベースプレートを覆って箱状の空間を形成する蓋部とによって構成されるコールドプレートが記載されている。上記のベースプレートには複数のフィンが形成されており、それらのフィンの上辺は底辺より短く形成されている。つまり各フィンの両端部が切り欠かれており、それらの切り欠いた部分と蓋部とによって形成される空間がいわゆるヘッダーとされている。各ヘッダーに連通する貫通孔が上記の蓋部に形成されている。各貫通孔にはパイプが接続されており、それらのパイプは、コールドプレートの高さ方向に延びている。 For example, Patent Document 1 describes a cold plate that includes a base plate and a lid that covers the base plate and forms a box-shaped space. A plurality of fins are formed on the base plate, and the upper sides of the fins are formed shorter than the bottom side. That is, both end portions of each fin are notched, and a space formed by the notched portions and the lid portion is a so-called header. A through hole communicating with each header is formed in the lid. Pipes are connected to the respective through holes, and the pipes extend in the height direction of the cold plate.

特開２０１０−１２３８８１号公報JP 2010-123881 A

上記の特許文献１に記載された構成では、上記のパイプは、コールドプレートの高さ方向に延びているから、コールドプレートの全体としての高さは、前記パイプの高さあるいは長さを含むことになる。つまり、特許文献１に記載された構成では、全体としての高さが高くなってしまう。また、コールドプレートの内部に、いわゆるヘッダーが形成されているため、その分、各フィンの面積が小さくなってしまい、熱性能が低下する。 In the configuration described in Patent Document 1, since the pipe extends in the cold plate height direction, the overall height of the cold plate includes the height or length of the pipe. become. That is, with the configuration described in Patent Document 1, the overall height is increased. Further, since a so-called header is formed inside the cold plate, the area of each fin is reduced accordingly, and the thermal performance is reduced.

この発明は、上記の技術的課題に着目してなされたものであって、全体としての高さを低くすることができ、また、熱性能を向上させることができるコールドプレートを提供することを目的とするものである。 The present invention has been made paying attention to the above technical problem, and an object thereof is to provide a cold plate capable of reducing the overall height and improving the thermal performance. It is what.

この発明は、上記の目的を達成するために、ベースプレートとカバーとによって構成される中空部に設けられた複数のフィンと、前記中空部に冷却媒体を供給するための供給管と、前記中空部から前記冷却媒体を排出するための排出管と、前記フィン同士の間に形成された冷却媒体流路とを備えたコールドプレートにおいて、前記カバーの上面における前記フィンの両端部の上部に対応する位置に、各冷却媒体流路に連通しかつ各冷却媒体流路に前記冷却媒体を分配して供給するための分配部が設けられ、一方の前記分配部に前記上面と平行な方向に延びた前記供給管が連通され、他方の前記分配部に前記上面と平行な方向に延びた前記排出管が連通されていることを特徴とするものである。 To achieve the above object, the present invention provides a plurality of fins provided in a hollow portion constituted by a base plate and a cover, a supply pipe for supplying a cooling medium to the hollow portion, and the hollow portion In a cold plate provided with a discharge pipe for discharging the cooling medium from the cooling medium and a cooling medium flow path formed between the fins, positions corresponding to upper portions of both ends of the fin on the upper surface of the cover A distribution portion that communicates with each cooling medium flow path and distributes and supplies the cooling medium to each cooling medium flow path, and extends to one of the distribution sections in a direction parallel to the upper surface. A supply pipe is communicated, and the other distribution part is communicated with the discharge pipe extending in a direction parallel to the upper surface.

また、この発明では、一方の前記分配部は、前記上面と平行な方向に延びた前記供給管のパイプエンドであり、他方の前記分配部は、前記上面と平行な方向に延びた前記排出管のパイプエンドであってよい。 In the present invention, one of the distribution portions is a pipe end of the supply pipe extending in a direction parallel to the upper surface, and the other distribution portion is the discharge pipe extending in a direction parallel to the upper surface. It may be a pipe end.

さらに、この発明では、前記冷却媒体の圧力による前記カバーの変形を抑制するための補強部材を備え、その補強部材は前記分配部同士の間における前記カバーの上面に接合されていてよい。 Furthermore, in this invention, the reinforcing member for suppressing the deformation | transformation of the said cover by the pressure of the said cooling medium is provided, The reinforcing member may be joined to the upper surface of the said cover between the said distribution parts.

そして、この発明では、冷却対象物が実装された固定部に固定するための固定部材を有し、その固定部材は前記ベースプレートおよび前記カバーを横切るように前記分配部同士の間に配置され、かつ、前記冷却対象物に前記ベースプレートを密着させた状態で前記固定部に取り付けられていてよい。 And in this invention, it has a fixing member for fixing to a fixing part where a cooling subject is mounted, the fixing member is arranged between the distribution parts so as to cross the base plate and the cover, and The base plate may be attached to the fixed object in a state where the base plate is in close contact with the object to be cooled.

この発明によれば、ベースプレートとカバーとによって構成される空間を有効に活用してその隅までフィンを設けることができる。これにより、フィンの面積を拡大でき、フィンでの熱伝達率を向上できる。その結果、コールドプレートの熱性能を向上できる。また、供給管および排出管はカバーの上面と平行な方向に延びているから、コールドプレートの全体としての高さを従来になく低くすることができる。 According to the present invention, it is possible to effectively use the space formed by the base plate and the cover and to provide the fins to the corners. Thereby, the area of a fin can be expanded and the heat transfer rate in a fin can be improved. As a result, the thermal performance of the cold plate can be improved. Further, since the supply pipe and the discharge pipe extend in a direction parallel to the upper surface of the cover, the overall height of the cold plate can be made lower than ever.

この発明に係るコールドプレートの一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the cold plate which concerns on this invention. この発明におけるカバーの一部を分解して示す図である。It is a figure which decomposes | disassembles and shows a part of cover in this invention. 図１に示すコールドプレートの上視図である。It is a top view of the cold plate shown in FIG. 図３に示す矢視Ａの側面図である。It is a side view of the arrow A shown in FIG. この発明に係るコールドプレートの他の例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the other example of the cold plate which concerns on this invention. 図５に示すコールドプレートの上視図である。FIG. 6 is a top view of the cold plate shown in FIG. 5. この発明に係るコールドプレートの更に他の例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the further another example of the cold plate which concerns on this invention. 図７に示すコールドプレートの上視図である。FIG. 8 is a top view of the cold plate shown in FIG. 7.

（実施例１）
図１は、この発明に係るコールドプレートの一例を示す断面図である。コールドプレート１は、中空平板状の部材であって、ベースプレート２の上面にカバー３を液密状態に取り付けて構成されている。それらのベースプレート２とカバー３との接続部分はろう付けされている。コールドプレート１の内部には、その長さと平行な方向に複数のフィン４が設けられている。それらのフィン４は、ベースプレート２の表面に一定の間隔で起立して形成されている。各フィンは一例として冷間鍛造もしくは切削加工などによって形成することができる。また、ここに示す例では、各フィン４は、後述するように、パイプエンドがカバー３の上面３ａに設けられていることにより、コールドプレート１の内部空間を有効に活用してその隅まで設けられている。つまり、フィン４の伝熱面積が従来になく拡大されている。各フィン４の上辺は底辺より若干短く形成されており、各フィン４の長手方向での両端部はテーパー状になっている。なお、各フィン４の上辺を、これに対応するカバー３の内面にろう付けするとすれば、コールドプレート１の内部空間に冷却媒体を供給し、その内圧が高い場合におけるコールドプレート１の膨張変形を効果的に抑制できる。隣接するフィン４同士の間の隙間が冷却媒体の流路とされている。それらの流路を以下の説明では、冷却媒体流路７と記す。なお、上記のベースプレート２およびカバー３などは、冷却対象物および冷却媒体との間で熱を伝達する必要があるので、熱伝導性を有する素材で構成されていることが好ましく、例えば銅、ステンレス、アルミニウム、あるいは、それらの合金などを使用することが好ましい。なおまた、ベースプレート２とカバー３とによって構成されるコールドプレート１の内部空間が、この発明における中空部に相当している。 Example 1
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of a cold plate according to the present invention. The cold plate 1 is a hollow flat plate-like member, and is configured by attaching a cover 3 to the upper surface of the base plate 2 in a liquid-tight state. The connecting portion between the base plate 2 and the cover 3 is brazed. Inside the cold plate 1, a plurality of fins 4 are provided in a direction parallel to the length thereof. These fins 4 are formed standing on the surface of the base plate 2 at regular intervals. Each fin can be formed by cold forging or cutting as an example. Further, in the example shown here, each fin 4 is provided to the corner by effectively utilizing the internal space of the cold plate 1 because the pipe end is provided on the upper surface 3a of the cover 3, as will be described later. It has been. That is, the heat transfer area of the fin 4 is expanded compared to the conventional case. The upper side of each fin 4 is formed slightly shorter than the bottom side, and both end portions in the longitudinal direction of each fin 4 are tapered. If the upper side of each fin 4 is brazed to the inner surface of the cover 3 corresponding thereto, a cooling medium is supplied to the internal space of the cold plate 1 and the cold plate 1 is subjected to expansion deformation when the internal pressure is high. It can be effectively suppressed. A gap between adjacent fins 4 serves as a cooling medium flow path. These flow paths are referred to as cooling medium flow paths 7 in the following description. The base plate 2 and the cover 3 are preferably made of a material having thermal conductivity because it is necessary to transfer heat between the object to be cooled and the cooling medium, such as copper, stainless steel, and the like. , Aluminum, or an alloy thereof is preferably used. Further, the internal space of the cold plate 1 constituted by the base plate 2 and the cover 3 corresponds to the hollow portion in the present invention.

図２は、この発明におけるカバーの一部を分解して示す図である。カバー３の上面３ａにおける各冷却媒体流路７の両端部の上部に対応する部分に、貫通孔５，６が形成されている。各貫通孔５，６は、図２に示すように、フィン４同士の間の冷却媒体流路７に連通している。それらの冷却媒体流路７に冷却媒体を供給するための供給管８のパイプエンド９が、一方の貫通孔５を覆って連通されている。そのパイプエンド９は、図１に示すように、一方の貫通孔５側に開口した矩形断面をなし、その開口部の開口幅および長さは一方の貫通孔５と同じに形成されている。つまり冷却媒体は、このパイプエンド９および一方の貫通孔５を介して各冷却流体流路７に分配して供給されるようになっており、パイプエンド９がいわゆるヘッダーあるいは分配部として機能する。そのパイプエンド９は、ここに示す例では、矩形状に形成されているが、これに替えて半円筒形状に形成されていてもよい。これと同様に、各冷却媒体流路７を流動した冷却媒体をコールドプレート１の外部に排出するための排出管１０のパイプエンド１１が、他方の貫通孔６を覆って連通されている。各パイプエンド９，１１は、図２に示す例では、この発明に係るコールドプレート１の構成を説明する都合上、カバー３と分離して記載しているが、カバー３と一体に形成されている。なお、上述した各パイプエンド９，１１が、この発明における分配部に相当している。また、上述した供給管８およびそのパイプエンド９が、この発明における供給管に相当し、上述した排出管１０およびそのパイプエンド１１が、この発明における排出管に相当している。 FIG. 2 is an exploded view of a part of the cover according to the present invention. Through holes 5 and 6 are formed in portions of the upper surface 3 a of the cover 3 corresponding to the upper portions of both ends of each cooling medium flow path 7. As shown in FIG. 2, the through holes 5 and 6 communicate with the cooling medium flow path 7 between the fins 4. A pipe end 9 of a supply pipe 8 for supplying a cooling medium to these cooling medium flow paths 7 is communicated with one through hole 5. As shown in FIG. 1, the pipe end 9 has a rectangular cross section opened to one through hole 5, and the opening width and length of the opening are the same as those of the one through hole 5. That is, the cooling medium is distributed and supplied to each cooling fluid flow path 7 through the pipe end 9 and one through hole 5, and the pipe end 9 functions as a so-called header or distribution unit. In the example shown here, the pipe end 9 is formed in a rectangular shape, but may be formed in a semi-cylindrical shape instead. Similarly, the pipe end 11 of the discharge pipe 10 for discharging the cooling medium flowing through each cooling medium flow path 7 to the outside of the cold plate 1 is communicated with the other through-hole 6. In the example shown in FIG. 2, the pipe ends 9 and 11 are described separately from the cover 3 for convenience of explaining the configuration of the cold plate 1 according to the present invention, but are formed integrally with the cover 3. Yes. Each of the pipe ends 9 and 11 described above corresponds to a distribution unit in the present invention. Further, the supply pipe 8 and the pipe end 9 described above correspond to the supply pipe in the present invention, and the discharge pipe 10 and the pipe end 11 described above correspond to the discharge pipe in the present invention.

図３は、図１に示すコールドプレート１の上視図であり、図４は、図３に示す矢視Ａの側面図である。上述した供給管８および排出管１０は、図３に示すように、コールドプレート１の長手方向に対して直交し、かつ、互いに反対方向に延びている。また、供給管８および排出管１０は、図４に示すように、カバー３の上面３ａと平行な方向に配置されている。そのため、コールドプレート１の高さは、図１の上下方向でのベースプレート２の下面から各パイプエンド９，１１の上面までの寸法となっている。またこうすることにより、コールドプレート１に対してその横方向から冷却媒体を供給したり排出したりできるようになっている。例えば、コールドプレート１に隣接して配置した他のコールドプレート（図示せず）の供給管と前記供給管８とを容易に連結し、前記他のコールドプレートの排出管と前記排出管１０とを容易に連結することができるようになっている。 3 is a top view of the cold plate 1 shown in FIG. 1, and FIG. 4 is a side view of the arrow A shown in FIG. The supply pipe 8 and the discharge pipe 10 described above are orthogonal to the longitudinal direction of the cold plate 1 and extend in opposite directions as shown in FIG. Further, the supply pipe 8 and the discharge pipe 10 are arranged in a direction parallel to the upper surface 3a of the cover 3, as shown in FIG. Therefore, the cold plate 1 has a height from the lower surface of the base plate 2 to the upper surfaces of the pipe ends 9 and 11 in the vertical direction in FIG. In this way, the cooling medium can be supplied to and discharged from the cold plate 1 from the lateral direction. For example, a supply pipe of another cold plate (not shown) arranged adjacent to the cold plate 1 and the supply pipe 8 are easily connected, and the discharge pipe and the discharge pipe 10 of the other cold plate are connected. It can be easily connected.

上記のベースプレート２の下面の中央部分が、電子部品１２などの発熱源に密着させられる熱接触面１３となっており、その熱接触面１３は、電子部品１２との熱伝達率を向上させるために平坦に形成されている。上記の電子部品１２は、基板１４などの固定部に実装されている。なお、図１には、熱接触面１３と電子部品１２とを離間して記載してある。上述した電子部品１２が、この発明における冷却対象物に相当し、上述した基板１４が、この発明における固定部に相当している。 The central portion of the lower surface of the base plate 2 serves as a heat contact surface 13 that is brought into close contact with a heat source such as the electronic component 12, and the heat contact surface 13 improves the heat transfer coefficient with the electronic component 12. It is formed flat. The electronic component 12 is mounted on a fixed part such as the substrate 14. In FIG. 1, the thermal contact surface 13 and the electronic component 12 are illustrated separately. The electronic component 12 described above corresponds to the object to be cooled in the present invention, and the substrate 14 described above corresponds to the fixing portion in the present invention.

次いで、上記構成のコールドプレート１の作用について簡単に説明する。各冷却媒体流路７が各パイプエンド９，１１のいわゆる分配空間より狭いため、各冷却媒体流路７での圧力損失は各パイプエンド９，１１での圧力損失より高い。そのため、供給管８を介して一方のパイプエンド９に供給された冷却媒体は、一方のパイプエンド９での冷却媒体の圧力が各冷却媒体流路７での圧力損失に相当する圧力より高い場合に、一方のパイプエンド９から各冷却媒体流路７に分配されて供給される。この場合に、冷却媒体は、その圧力が高くまた流速が大きく、さらに、各フィン４および各冷却媒体流路７の上方から各冷却媒体流路７に供給されるため、乱流あるいは噴流の状態でパイプエンド９から各冷却媒体流路７に分配される。各フィン４は、上述したように、コールドプレート１の内部空間の隅まで形成されているため、噴流の状態の冷却媒体は、一方の貫通孔５の下側に配置された各フィン４の一方の端部に衝突する。冷却媒体が噴流の状態であることにより、冷却媒体とフィン４の一方の端部との間での熱伝達率が向上する。また冷却媒体は各冷却媒体流路７に沿って他方のパイプエンド１１に向かって流動する。その際に、冷却媒体は、ベースプレート２およびフィン４との間で熱交換を行って、それらのベースプレート２およびフィン４に伝達された電子部品１２の熱を運び去る。他方のパイプエンド１１では、各冷却媒体流路７を流動してきた冷却媒体が集合し、排出管１０を介してコールドプレート１の外部に排出される。 Next, the operation of the cold plate 1 having the above configuration will be briefly described. Since each cooling medium flow path 7 is narrower than the so-called distribution space of each pipe end 9, 11, the pressure loss in each cooling medium flow path 7 is higher than the pressure loss in each pipe end 9, 11. Therefore, when the cooling medium supplied to one pipe end 9 via the supply pipe 8 is higher than the pressure corresponding to the pressure loss in each cooling medium flow path 7, the cooling medium pressure at one pipe end 9 is higher. In addition, it is distributed and supplied to each cooling medium flow path 7 from one pipe end 9. In this case, since the cooling medium has a high pressure and a high flow velocity, and is supplied to each cooling medium flow path 7 from above each fin 4 and each cooling medium flow path 7, it is in a turbulent or jet state. Thus, the refrigerant is distributed from the pipe end 9 to each cooling medium flow path 7. Since each fin 4 is formed up to the corner of the internal space of the cold plate 1 as described above, the cooling medium in the jet state is one of the fins 4 disposed below the one through-hole 5. Collide with the end of the. Since the cooling medium is in a jet state, the heat transfer coefficient between the cooling medium and one end of the fin 4 is improved. Further, the cooling medium flows along the respective cooling medium flow paths 7 toward the other pipe end 11. At that time, the cooling medium exchanges heat between the base plate 2 and the fins 4 and carries away the heat of the electronic components 12 transmitted to the base plates 2 and the fins 4. At the other pipe end 11, the cooling medium that has flowed through the respective cooling medium flow paths 7 gathers and is discharged to the outside of the cold plate 1 through the discharge pipe 10.

したがって、上記構成のコールドプレート１では、カバー３の上部に各パイプエンド９，１１が設けられているため、その分、コールドプレート１の内部空間を有効に活用してその隅までフィン４を形成できる。これにより、フィン４の伝熱面積を従来になく拡大でき、その熱伝達率を向上できる。またそれらのフィン４の一方の端部に、噴流の状態で冷却媒体を衝突させることができるため、これによってもフィン４での熱伝達率を向上できる。それらの結果、コールドプレート１の熱性能を従来になく向上できる。また、各パイプエンド９，１１は、カバー３に対していわゆるビードあるいはリブとして機能するから、カバー３の板厚を特に増大することなくその強度を向上できる。例えば、カバー３におけるフィン４の各端部に対応する部分でのコールドプレート１の内圧によるカバー３の膨張変形を抑制できる。さらに、供給管８および排出管１０の各パイプエンド９，１１が、カバー３の上面３ａと平行な方向に延びて配置されているから、コールドプレート１の高さに供給管８および排出管１０の高さが含まれることがなく、全体としての高さを抑制できる。また、各パイプエンド９，１１が上述したようにヘッダーあるいは分配部として機能するため、前記ヘッダーあるいは分配部を別に設ける必要がなく、その分、部品点数を削減できる。 Therefore, in the cold plate 1 having the above configuration, since the pipe ends 9 and 11 are provided on the upper portion of the cover 3, the fins 4 are formed to the corners by effectively utilizing the internal space of the cold plate 1. it can. Thereby, the heat transfer area of the fin 4 can be expanded as compared with the conventional case, and the heat transfer rate can be improved. Moreover, since a cooling medium can be made to collide with one edge part of those fins 4 in the state of a jet, the heat transfer rate in the fins 4 can also be improved by this. As a result, the thermal performance of the cold plate 1 can be improved compared to the conventional one. Moreover, since each pipe end 9 and 11 functions as what is called a bead or a rib with respect to the cover 3, the intensity | strength can be improved, without increasing the plate | board thickness of the cover 3 especially. For example, the expansion deformation of the cover 3 due to the internal pressure of the cold plate 1 at portions corresponding to the end portions of the fins 4 in the cover 3 can be suppressed. Further, since the pipe ends 9 and 11 of the supply pipe 8 and the discharge pipe 10 are arranged extending in a direction parallel to the upper surface 3 a of the cover 3, the supply pipe 8 and the discharge pipe 10 are at the height of the cold plate 1. Is not included, and the overall height can be suppressed. Further, since each of the pipe ends 9 and 11 functions as a header or a distribution unit as described above, it is not necessary to provide the header or the distribution unit separately, and the number of parts can be reduced accordingly.

（第２実施例）
図５は、この発明に係るコールドプレートの他の例を示す断面図であり、ここに示す例は、コールドプレート１の内圧によるカバー３の中央部分の変形を抑制するために、その中央部分に補強板１５を接合した例である。その補強板１５は、矩形もしくは方形の薄板状に形成されており、その板厚は、図５に示す例では、各パイプエンド９，１１の高さに相当する厚さより薄く形成されている。その素材には一例としてステンレスが使用される。図６は、図５に示すコールドプレート１の上視図であり、この図５に示すように、補強板１５の長さは各パイプエンド９，１１同士の間の長さより短く、その幅はカバー３の幅より短く形成されている。この補強板１５はろう付けあるいははんだ付けなどによってカバー３の上面３ａの中央部分に接合されている。上述した補強板１５が、この発明における補強部材に相当している。 (Second embodiment)
FIG. 5 is a cross-sectional view showing another example of the cold plate according to the present invention. In the example shown here, in order to suppress the deformation of the central part of the cover 3 due to the internal pressure of the cold plate 1, This is an example in which a reinforcing plate 15 is joined. The reinforcing plate 15 is formed in a rectangular or rectangular thin plate shape, and the thickness thereof is thinner than the thickness corresponding to the height of each of the pipe ends 9 and 11 in the example shown in FIG. For example, stainless steel is used as the material. FIG. 6 is a top view of the cold plate 1 shown in FIG. 5. As shown in FIG. 5, the length of the reinforcing plate 15 is shorter than the length between the pipe ends 9 and 11, and the width is It is formed shorter than the width of the cover 3. The reinforcing plate 15 is joined to the central portion of the upper surface 3a of the cover 3 by brazing or soldering. The reinforcing plate 15 described above corresponds to the reinforcing member in the present invention.

図５および図６に示す構成のコールドプレート１では、カバー３の上面３ａの中央部分に補強板１５が接合されているため、上記の中央部分に高い圧力が作用するとしても、その圧力による前記中央部分での膨張変形を抑制できる。なお、このようにカバー３の中央部分の膨張変形を補強板１５によって抑制できるため、各フィン４の上辺とカバー３の内面とをろう付けしない場合であっても、カバー３における強度を向上できる。また、補強板１５の厚さは、各パイプエンド９，１１の高さに相当する厚さより薄いため、全体としての高さが増大することがない。 In the cold plate 1 having the configuration shown in FIGS. 5 and 6, since the reinforcing plate 15 is joined to the central portion of the upper surface 3a of the cover 3, even if a high pressure acts on the central portion, Expansion deformation at the central portion can be suppressed. In addition, since the expansion deformation of the center portion of the cover 3 can be suppressed by the reinforcing plate 15, the strength of the cover 3 can be improved even when the upper sides of the fins 4 and the inner surface of the cover 3 are not brazed. . Further, since the thickness of the reinforcing plate 15 is thinner than the thickness corresponding to the height of each of the pipe ends 9, 11, the overall height does not increase.

（第３実施例）
図７は、この発明に係るコールドプレートの更に他の例を示す断面図であり、ここに示す例は、固定板１６によって基板１４にコールドプレート１を固定した例である。その固定板１６は、例えば長方形の薄板状に形成されており、その板厚は各パイプエンド９，１１の高さに相当する厚さより薄く形成されている。その素材には一例としてステンレスが使用される。図８は、図７に示すコールドプレート１の上視図であり、この図８に示すように、固定板１６は、カバー３の上面３ａの中央部分に、コールドプレート１を横断するように配置されている。また、固定板１６の四隅に、例えばボルトやネジなどの留め具１７が設けられており、その留め具１７によって基板１４に固定板１６を取り付けるようになっている。上述した固定板１６が、この発明における固定部材に相当している。 (Third embodiment)
FIG. 7 is a cross-sectional view showing still another example of the cold plate according to the present invention. In this example, the cold plate 1 is fixed to the substrate 14 by the fixing plate 16. The fixed plate 16 is formed, for example, in the shape of a rectangular thin plate, and the plate thickness is formed thinner than the thickness corresponding to the height of each of the pipe ends 9, 11. For example, stainless steel is used as the material. FIG. 8 is a top view of the cold plate 1 shown in FIG. 7. As shown in FIG. 8, the fixing plate 16 is arranged at the central portion of the upper surface 3a of the cover 3 so as to cross the cold plate 1. Has been. Further, fasteners 17 such as bolts and screws are provided at four corners of the fixing plate 16, and the fixing plate 16 is attached to the substrate 14 by the fasteners 17. The fixing plate 16 described above corresponds to the fixing member in the present invention.

図７および図８に示す構成のコールドプレート１の固定方法について簡単に説明すると、例えば先ず、電子部品１２の上面にベースプレート２の熱接触面１３を熱伝達可能に密着させる。次いで、カバー３の上面３ａにおける中央部分にコールドプレート１を横断するように固定板１６を配置し、その状態で、留め具１７によって基板１４に固定板１６を取り付ける。こうすることにより、基板１４にコールドプレート１を固定する。 The fixing method of the cold plate 1 having the configuration shown in FIGS. 7 and 8 will be briefly described. For example, first, the heat contact surface 13 of the base plate 2 is brought into close contact with the upper surface of the electronic component 12 so as to be able to transfer heat. Next, the fixing plate 16 is disposed so as to cross the cold plate 1 at the central portion of the upper surface 3 a of the cover 3, and in this state, the fixing plate 16 is attached to the substrate 14 by the fasteners 17. In this way, the cold plate 1 is fixed to the substrate 14.

したがって、図７および図８に示す構成のコールドプレート１では、固定板１６によって基板１４にコールドプレート１を固定するため、留め具１７によって基板１４にコールドプレート１を直接固定する場合に比較して、コールドプレート１の反りを抑制することができる。そのため、電子部品１２にコールドプレート１の熱接触面１３を均一に密着させることができる。また、カバー３の上面３ａにおける中央部分に固定板１６が押しつけられるため、その固定板１６によって冷却媒体の圧力による中央部分の膨張変形を抑制できる。さらに、固定板１６の厚さは、各パイプエンド９，１１の高さに相当する厚さより薄いため、全体としての高さが増大することがない。 Therefore, in the cold plate 1 having the configuration shown in FIGS. 7 and 8, the cold plate 1 is fixed to the substrate 14 by the fixing plate 16, so that the cold plate 1 is directly fixed to the substrate 14 by the fastener 17. The warp of the cold plate 1 can be suppressed. Therefore, the heat contact surface 13 of the cold plate 1 can be uniformly adhered to the electronic component 12. Further, since the fixing plate 16 is pressed against the central portion of the upper surface 3a of the cover 3, the fixing plate 16 can suppress the expansion deformation of the central portion due to the pressure of the cooling medium. Furthermore, since the thickness of the fixing plate 16 is thinner than the thickness corresponding to the height of each of the pipe ends 9, 11, the overall height does not increase.

１…コールドプレート、２…ベースプレート、３…カバー、３ａ…カバーの上面、４…フィン、８…供給管、９，１１…パイプエンド（分配部）、１０…排出管。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Cold plate, 2 ... Base plate, 3 ... Cover, 3a ... Upper surface of cover, 4 ... Fin, 8 ... Supply pipe, 9, 11 ... Pipe end (distribution part), 10 ... Discharge pipe.

Claims

A plurality of fins provided in a hollow part constituted by a base plate and a cover; a supply pipe for supplying a cooling medium to the hollow part; and a discharge pipe for discharging the cooling medium from the hollow part; In a cold plate provided with a cooling medium flow path formed between the fins,
Distributing portions that communicate with the cooling medium flow paths and distribute and supply the cooling medium to the cooling medium flow paths are provided at positions corresponding to the upper portions of both end portions of the fins on the upper surface of the cover. ,
The supply pipe extending in a direction parallel to the upper surface is communicated with one of the distributors, and the discharge pipe extending in a direction parallel to the upper surface is communicated with the other distributor. Cold plate.

One of the distributors is a pipe end of the supply pipe extending in a direction parallel to the upper surface,
2. The cold plate according to claim 1, wherein the other distribution portion is a pipe end of the discharge pipe extending in a direction parallel to the upper surface.

The reinforcement member for suppressing the deformation | transformation of the said cover by the pressure of the said cooling medium is provided, The reinforcement member is joined to the upper surface of the said cover between the said distribution parts. Cold plate as described in

There is a fixing member for fixing to the fixing part on which the object to be cooled is mounted, the fixing member is arranged between the distributing parts so as to cross the base plate and the cover, and the cooling object The cold plate according to claim 1, wherein the cold plate is attached to the fixing portion in a state where the base plate is in close contact.