JP2016002602A - Transportation arm - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a transportation arm that can be made small in size.SOLUTION: A transportation arm 1 of the present invention comprises: a first arm portion 21 including a first frame 21, first pulleys 22, 23, and 24 attached to the first frame 21 and forming pairs, and a first belt 25 put up on the first pulleys 22, 23, and 24; a second arm portion 3 provided in parallel to the first arm portion 2 via a guide rail, including a second frame 31, second pulleys 32 and 33 attached to the second frame 31 and forming a pair, and a second belt 34 put up on the second pulleys 32 and 33; and a bracket 4 disposed on the second arm portion 3 via the guide rail, the second frame 31 being disposed between the first belt 25 and the second belt 34, the first belt 25 being fixed, the bracket 4 being fixed to part of the second belt 34, and the other part of the second belt 34 being fixed to the first frame 21.

Description

本発明は搬送アームに関し、特に、ベルトとプーリを用いた伸縮機構を有する搬送アームに関する。   The present invention relates to a transfer arm, and more particularly, to a transfer arm having a telescopic mechanism using a belt and a pulley.

ベルトとプーリを用いた搬送機構（搬送アーム）が特許文献１に記載されている。特許文献１に記載の搬送機構では、基台部（第１フレーム）上に第１移動部（第２フレーム）と伸縮部とが並列して配置されており、エアシリンダの伸縮部材は第１移動部に連結されている。第１移動部は第１案内部（ガイドレール）を介して基台部上に取り付けられており、第１移動部の上には第２案内部（ガイドレール）を介して第２移動部（可動部）が取り付けられている。第１移動部の側面には２つのプーリが取り付けられており、ベルトが２つのプーリに掛け渡されている。ベルトは、基台部と第２案内部とに固定されている。   A transport mechanism (transport arm) using a belt and a pulley is described in Patent Document 1. In the transport mechanism described in Patent Document 1, the first moving unit (second frame) and the telescopic unit are arranged in parallel on the base unit (first frame), and the telescopic member of the air cylinder is the first. It is connected to the moving part. The first moving part is mounted on the base part via the first guide part (guide rail), and the second moving part (via the second guide part (guide rail) is placed on the first moving part. (Movable part) is attached. Two pulleys are attached to the side surface of the first moving unit, and the belt is stretched over the two pulleys. The belt is fixed to the base portion and the second guide portion.

特許文献１に記載の搬送機構では、伸縮部材の伸縮に応じて、第１移動部は第１案内部に案内されて移動する。ベルトの一部は基台部に固定されているので、第１移動部が基台部に対して移動すると、ベルトはプーリのまわりを回転する。第２移動部は、ベルトの他の一部に固定されているので、ベルトの回転に合わせて、第２案内部に案内されて第１移動部に対して移動する。   In the transport mechanism described in Patent Document 1, the first moving unit moves while being guided by the first guide unit according to the expansion and contraction of the expansion and contraction member. Since a part of the belt is fixed to the base part, when the first moving part moves relative to the base part, the belt rotates around the pulley. Since the second moving part is fixed to the other part of the belt, the second moving part is guided by the second guide part and moves relative to the first moving part as the belt rotates.

特開２０１２−１６９５３４号公報JP 2012-169534 A

特許文献１に記載の搬送機構では、基台部上に第１移動部とエアシリンダとを並列して配置しなければならないので、第１移動部とエアシリンダの双方が収まるように基台部の面積を大きくする必要がある。これによって、搬送機構が大型化するという問題があった。   In the transport mechanism described in Patent Document 1, since the first moving part and the air cylinder must be arranged in parallel on the base part, the base part is arranged so that both the first moving part and the air cylinder are accommodated. It is necessary to increase the area. As a result, there is a problem that the transport mechanism becomes large.

本発明は、このような問題を解決するためなされたものであり、小型化が可能な搬送アームを提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve such a problem, and an object of the present invention is to provide a transport arm that can be miniaturized.

本発明の搬送アームは、第１フレームと、第１フレームに取り付けられた対をなす第１プーリと、第１プーリに掛け渡された第１ベルトと、を有する第１アーム部と、第１アーム部にガイドレールを介して並設されるとともに、第２フレームと、第２フレームに取り付けられた対をなす第２プーリと、第２プーリに掛け渡された第２ベルトと、を有する第２アーム部と、第２アーム部にガイドレールを介して配置された可動部と、を備え、第２フレームは、第１ベルトと第２ベルトとの間に配置され、第１ベルトに固定されており、可動部は、第２ベルトの一部に固定されており、第２ベルトの他の一部は、第１フレームに固定されている。   The transfer arm according to the present invention includes a first arm portion having a first frame, a pair of first pulleys attached to the first frame, and a first belt stretched over the first pulley, A second arm having a second frame, a pair of second pulleys attached to the second frame, and a second belt stretched around the second pulley, which are juxtaposed on the arm portion via a guide rail. A second arm part, and a movable part disposed on the second arm part via a guide rail. The second frame is disposed between the first belt and the second belt, and is fixed to the first belt. The movable part is fixed to a part of the second belt, and the other part of the second belt is fixed to the first frame.

本発明の搬送アームでは、第１ベルトを回転させることにより、第２ベルトを第１フレームに対して固定したまま、第２フレームを第１フレームに対して移動させる。これにより、第２ベルトは第２プーリに案内されながら回転して、第２ベルトに固定された可動部は第２フレームに対して移動する。よって、第２フレームは第１フレームからせり出す方向に摺動し、可動部は第２フレームのせり出す方向の先端まで第２フレーム上を移動する。よって、可動部にワークを載せて搬送することができる。さらに、本発明の搬送アームでは、第１ベルト及び第２ベルトは第１フレームの左右に配置されているので、幅方向への小型化が可能である。したがって、本発明により小型化が可能な搬送アームを提供することができる。   In the transport arm of the present invention, by rotating the first belt, the second frame is moved relative to the first frame while the second belt is fixed to the first frame. Thereby, the second belt rotates while being guided by the second pulley, and the movable portion fixed to the second belt moves relative to the second frame. Therefore, the second frame slides in the direction of protruding from the first frame, and the movable portion moves on the second frame to the tip in the direction of protruding of the second frame. Therefore, the work can be carried on the movable part. Furthermore, in the transport arm of the present invention, the first belt and the second belt are arranged on the left and right of the first frame, so that the size in the width direction can be reduced. Therefore, the conveyance arm which can be reduced in size by this invention can be provided.

本発明によれば、小型化が可能な搬送アームを提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the conveyance arm which can be reduced in size can be provided.

実施の形態１に係る搬送アームの縮み状態を示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view illustrating a contracted state of the transfer arm according to the first embodiment. 図１に示された搬送アームを別の角度から見た斜視図である。It is the perspective view which looked at the conveyance arm shown by FIG. 1 from another angle. 実施の形態１に係る搬送アームの伸び状態を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view illustrating an extended state of a transfer arm according to the first embodiment. 図３に示された搬送アームを別の角度から見た斜視図である。It is the perspective view which looked at the conveyance arm shown by FIG. 3 from another angle. 実施の形態２に係る搬送アームを示す斜視図である。FIG. 10 is a perspective view showing a transfer arm according to Embodiment 2. 実施の形態２に係る搬送アームを示す平面図である。6 is a plan view showing a transfer arm according to Embodiment 2. FIG. 実施の形態２に係る搬送アームにハンドを取り付けた状態を示す斜視図である。10 is a perspective view showing a state where a hand is attached to a transfer arm according to Embodiment 2. FIG.

[実施の形態１]
図１〜図４を参照して、本発明の実施の形態１に係る搬送アームについて以下説明する。図１及び図２は搬送アームが縮んだ状態（縮み状態）を示しており、図３及び図４は搬送アームが伸びた状態（伸び状態）を示す。搬送アームは、先端に取り付けられたハンドによりウエハを把持し、前後に伸縮することにより、半導体製造装置からウエハを出し入れする用途に用いられる。 [Embodiment 1]
With reference to FIGS. 1-4, the conveyance arm which concerns on Embodiment 1 of this invention is demonstrated below. 1 and 2 show a state where the transfer arm is contracted (contracted state), and FIGS. 3 and 4 show a state where the transfer arm is extended (extended state). The transfer arm is used for applications in which a wafer is taken in and out of a semiconductor manufacturing apparatus by gripping the wafer with a hand attached to the tip and expanding and contracting back and forth.

図１及び図２に示すように、搬送アーム１は、第１アーム部２と、第１アーム部２上にガイドレール３５を介して並設された第２アーム部３と、第２アーム部３上にガイドレール３６を介して配置されるとともに、ハンド８を取り付けるためのブラケット４（可動部）と、を有する。搬送アーム１において、第１アーム部２に対して第２アーム部３は前後に移動し、第２アーム部３に対してブラケット４が前後に移動する。   As shown in FIGS. 1 and 2, the transfer arm 1 includes a first arm unit 2, a second arm unit 3 arranged in parallel on the first arm unit 2 via a guide rail 35, and a second arm unit. 3 and a bracket 4 (movable part) for attaching the hand 8. In the transfer arm 1, the second arm unit 3 moves back and forth with respect to the first arm unit 2, and the bracket 4 moves back and forth with respect to the second arm unit 3.

第１アーム部２は、長手形状の第１フレーム２１と、第１フレーム２１の一方の側面に取り付けられて対をなす第１プーリ２２，２３，２４と、第１プーリ２２，２３，２４に掛け渡された第１ベルト２５と、第１ベルト２５に外周側からテンションを与えるテンションプーリ２６と、第１プーリ２４に動力を供給するモータ５と、を有する。   The first arm portion 2 includes a longitudinal first frame 21, first pulleys 22, 23, 24 that are attached to one side surface of the first frame 21 and make a pair, and first pulleys 22, 23, 24. The first belt 25 is stretched over, the tension pulley 26 applies tension to the first belt 25 from the outer peripheral side, and the motor 5 supplies power to the first pulley 24.

第１フレーム２１の上面には、断面コの字状の凹部材２７が設けられている。第１プーリ２２，２３，２４は、第１フレーム２１の一方の側面に回転自在に取り付けられている。第１プーリ２２，２３は前後に離れて取り付けられており、第１プーリ２４は第１プーリ２３の下方に取り付けられている。第１プーリ２４はモータ５の回転軸に接続されており、モータ５の動力によって回転する。第１プーリ２４が回転すると、第１ベルト２５が回転する。テンションプーリ２６は、第１ベルト２５を外周側から押さえることにより、第１ベルト２５にテンションを与えている。   A concave member 27 having a U-shaped cross section is provided on the upper surface of the first frame 21. The first pulleys 22, 23, and 24 are rotatably attached to one side surface of the first frame 21. The first pulleys 22 and 23 are attached apart from each other in the front-rear direction, and the first pulley 24 is attached below the first pulley 23. The first pulley 24 is connected to the rotating shaft of the motor 5 and is rotated by the power of the motor 5. When the first pulley 24 rotates, the first belt 25 rotates. The tension pulley 26 applies tension to the first belt 25 by pressing the first belt 25 from the outer peripheral side.

第２アーム部３は、長手形状の第２フレーム３１と、第２フレーム３１の第１プーリ２２，２３，２４と反対の側面に回転自在に取り付けられた対をなす第２プーリ３２，３３と、第２プーリ３２，３３に掛け渡された第２ベルト３４と、を有する。第２フレーム３１の下面に、凹部材２７と係合するガイドレール３５が設けられている。ブラケット４の下面には凹部材４１が設けられており、第２フレーム３１の上面には凹部材４１と係合するガイドレール３６が設けられている。第２フレーム３１には、第１ベルト２５を把持する第１クランプ３７が設けられ、第１クランプ３７は第１ベルト２５の一部を把持している。第２プーリ３２は第２フレーム３１の側面の前方に配置され、第２プーリ３３は第２フレーム３１の側面の後方に配置されている。   The second arm portion 3 includes a second frame 31 having a longitudinal shape and a pair of second pulleys 32 and 33 that are rotatably attached to a side surface of the second frame 31 opposite to the first pulleys 22, 23, and 24. And a second belt 34 stretched around the second pulleys 32 and 33. A guide rail 35 that engages with the recess member 27 is provided on the lower surface of the second frame 31. A concave member 41 is provided on the lower surface of the bracket 4, and a guide rail 36 that engages with the concave member 41 is provided on the upper surface of the second frame 31. The second frame 31 is provided with a first clamp 37 that holds the first belt 25, and the first clamp 37 holds a part of the first belt 25. The second pulley 32 is disposed in front of the side surface of the second frame 31, and the second pulley 33 is disposed behind the side surface of the second frame 31.

第２ベルト３４は、第１フレーム２１及び第２フレーム３１を挟むようにして第１ベルト２５と対向状態で配置されるとともに、第２プーリ３２，３３に掛け渡されている。すなわち、第１ベルト２５と第２ベルト３４は、第１フレーム２１及び第２フレーム３１の左右にそれぞれ配置されている。さらに、第１フレーム２１の第１ベルト２５と反対側に、第２ベルト３４を把持する第２クランプ２８が設けられている。第２ベルト３４の一部は第１フレーム２１の第２クランプ２８により把持されており、第２ベルト３４の他の一部はブラケット４の下面に設けられた第３クランプ４２により把持されている。   The second belt 34 is disposed to face the first belt 25 so as to sandwich the first frame 21 and the second frame 31, and is stretched over the second pulleys 32 and 33. That is, the first belt 25 and the second belt 34 are arranged on the left and right of the first frame 21 and the second frame 31, respectively. Further, a second clamp 28 that holds the second belt 34 is provided on the opposite side of the first frame 21 from the first belt 25. A part of the second belt 34 is gripped by the second clamp 28 of the first frame 21, and another part of the second belt 34 is gripped by a third clamp 42 provided on the lower surface of the bracket 4. .

次に、搬送アーム１の動作について説明する。   Next, the operation of the transfer arm 1 will be described.

図１において、モータ５の回転軸を回転させて第１プーリ２４を反時計回りに回転させると、第１プーリ２４の回転に合わせて第１ベルト２５が反時計回りに回転する。第１ベルト２５を反時計回りに回転させると第１クランプ３７は第１ベルト２５に牽引されて、第２フレーム３１が前方に向けて第１フレーム２１上を摺動し、第１フレーム２１に対して第２フレーム３１が前方にせり出す。第１クランプ３７は、第１プーリ２２と第１プーリ２３との間で前後に移動することができ、第１クランプ３７は、搬送アーム１の縮み状態（図１参照）のときに最も後側に位置し、伸び状態（図３参照）のときに最も前側に位置する。   In FIG. 1, when the rotation shaft of the motor 5 is rotated to rotate the first pulley 24 counterclockwise, the first belt 25 rotates counterclockwise in accordance with the rotation of the first pulley 24. When the first belt 25 is rotated counterclockwise, the first clamp 37 is pulled by the first belt 25, and the second frame 31 slides forward on the first frame 21 to move to the first frame 21. On the other hand, the second frame 31 protrudes forward. The first clamp 37 can move back and forth between the first pulley 22 and the first pulley 23, and the first clamp 37 is the rearmost side when the transport arm 1 is in the contracted state (see FIG. 1). It is located at the foremost side in the extended state (see FIG. 3).

図２に示すように、第２ベルト３４の一部は、第２クランプ２８により第１フレーム２１に対して固定されている。そのため、図４に示すように、第２フレーム３１が第１フレーム２１に対して前方にせり出すとき、第２フレーム３１の移動に合わせて第２ベルト３４は変形し、第２ベルト３４は第２プーリ３２，３３に案内されながら回転する。第２ベルト３４の他の一部に第３クランプ４２を介して固定されたブラケット４は、第２フレーム３１のせり出しに合わせて第２フレーム３１と同じく前方に移動する。   As shown in FIG. 2, a part of the second belt 34 is fixed to the first frame 21 by a second clamp 28. Therefore, as shown in FIG. 4, when the second frame 31 protrudes forward with respect to the first frame 21, the second belt 34 is deformed in accordance with the movement of the second frame 31, and the second belt 34 is the second belt 34. It rotates while being guided by the pulleys 32 and 33. The bracket 4 fixed to the other part of the second belt 34 via the third clamp 42 moves forward in the same manner as the second frame 31 as the second frame 31 protrudes.

第２クランプ２８は、搬送アーム１の縮み状態（図１及び図２参照）のときに最も第２プーリ３２側に位置し、伸び状態（図３及び図４参照）のときに最も第２プーリ３３側に位置する。第３クランプ４２は、搬送アーム１の縮み状態（図１及び図２参照）のときに最も第２プーリ３３側に位置し、伸び状態（図３及び図４参照）のときに最も第２プーリ３２側に位置する。   The second clamp 28 is located closest to the second pulley 32 when the transfer arm 1 is in the contracted state (see FIGS. 1 and 2), and is most often in the extended state (see FIGS. 3 and 4). Located on 33 side. The third clamp 42 is located closest to the second pulley 33 when the transport arm 1 is in the contracted state (see FIGS. 1 and 2), and is the second pulley most when in the extended state (see FIGS. 3 and 4). Located on the 32 side.

図１及び図２に示すように、搬送アーム１では、第１ベルト２５及び第２ベルト３４は第１フレーム２１の左右にそれぞれ配置されている。そして、第２フレーム３１の上面及び下面にはガイドレール３５,３６が取り付けられていて、第１フレーム２１とブラケット４とが第２フレーム３１を上下に挟んだ構造になっている。これにより、エアシリンダを用いて第２アーム部３を伸縮させる場合よりも、搬送アーム１の幅方向への小型化が可能となる。   As shown in FIGS. 1 and 2, in the transport arm 1, the first belt 25 and the second belt 34 are disposed on the left and right sides of the first frame 21, respectively. Guide rails 35 and 36 are attached to the upper surface and the lower surface of the second frame 31, and the first frame 21 and the bracket 4 sandwich the second frame 31 vertically. Accordingly, it is possible to reduce the size of the transfer arm 1 in the width direction as compared with the case where the second arm portion 3 is expanded and contracted using an air cylinder.

また、搬送アーム１では、第１プーリ２２，２３，２４、第２プーリ３２，３３、第１ベルト２５、及び、第２ベルト３４により第２フレーム３１及びブラケット４を前後に移動させている。これらの駆動に用いられる部品は全て第１フレーム２１及び第２フレーム３１の側面に取り付けられているので、第１フレーム２１及び第２フレーム３１の断面形状はシンプルになる。これにより、第１フレーム２１及び第２フレーム３１の加工コストが低減される。   Further, in the transfer arm 1, the second frame 31 and the bracket 4 are moved back and forth by the first pulleys 22, 23, 24, the second pulleys 32, 33, the first belt 25, and the second belt 34. Since all the components used for driving are attached to the side surfaces of the first frame 21 and the second frame 31, the cross-sectional shapes of the first frame 21 and the second frame 31 are simplified. Thereby, the processing cost of the 1st frame 21 and the 2nd frame 31 is reduced.

さらに、搬送アーム１では、モータ５の動力を第１ベルト２５及び第１プーリ２２，２３，２４により第２フレーム３１に伝えることにより、第２フレーム３１を前後に移動させている。搬送アーム１では、用いられるモータが一つだけであり、可動する部分にモータがないため、配線の断線のおそれが少なく信頼性及び耐久性が高い。   Further, in the transfer arm 1, the power of the motor 5 is transmitted to the second frame 31 by the first belt 25 and the first pulleys 22, 23, 24, thereby moving the second frame 31 back and forth. In the transfer arm 1, only one motor is used, and there is no motor in the movable part. Therefore, there is little risk of disconnection of the wiring, and reliability and durability are high.

以上、説明したように、本実施の形態によれば、小型化が可能な搬送アームを提供することができる。   As described above, according to the present embodiment, it is possible to provide a transport arm that can be miniaturized.

[実施の形態２]
図５及び図６に示すように、実施の形態２に係る搬送アーム５０は、並列して配置された２台の搬送ユニット５１，５２を有する。搬送ユニット５１，５２には回転軸７が取り付けられており、回転軸７を中心にして回転させることができる。搬送ユニット５１は図１及び図２に示す搬送アーム１と同じものであり、搬送ユニット５２は搬送ユニット５１の前後左右が入れ替わるように１８０°回転させたものである。 [Embodiment 2]
As shown in FIGS. 5 and 6, the transfer arm 50 according to the second embodiment includes two transfer units 51 and 52 arranged in parallel. A rotation shaft 7 is attached to the transport units 51 and 52 and can be rotated around the rotation shaft 7. The transport unit 51 is the same as the transport arm 1 shown in FIG. 1 and FIG.

搬送ユニット５１，５２を構成する部材のうち、実施の形態１の搬送アーム１と同じ部材には、図１及び図２と同じ符号が付されている。実施の形態１と重複する部分の説明は省略し、相違点について以下説明する。   Of the members constituting the transport units 51 and 52, the same members as those of the transport arm 1 of the first embodiment are denoted by the same reference numerals as those in FIGS. A description of the same parts as those in the first embodiment will be omitted, and differences will be described below.

搬送ユニット５２のブラケット５３は、第２ベルト３４への固定位置が搬送ユニット５１のブラケット４と異なっている。搬送ユニット５１では、ブラケット４は縮み状態において第２ベルト３４の第２プーリ３３側に固定されている。それに対して、搬送ユニット５２では、ブラケット５３は縮み状態において第２ベルト３４の第２プーリ３２側になるよう固定されている。   The bracket 53 of the transport unit 52 is different from the bracket 4 of the transport unit 51 in the fixing position to the second belt 34. In the transport unit 51, the bracket 4 is fixed to the second pulley 33 side of the second belt 34 in the contracted state. On the other hand, in the transport unit 52, the bracket 53 is fixed so as to be on the second pulley 32 side of the second belt 34 in the contracted state.

搬送ユニット５１，５２では、第１プーリ２４を用いてモータ５を第１フレーム２１の下側に潜り込ませて配置しているので、幅方向の寸法を小さくすることができる。そして、２台の搬送ユニット５１，５２を互いに前後左右が入れ替わるように１８０°回転させた状態で並列して配置することにより、回転軸７を中心とした回転半径の小さいダブルアームの構成を実現することができる。   In the transport units 51 and 52, the motor 5 is inserted into the lower side of the first frame 21 using the first pulley 24, so that the dimension in the width direction can be reduced. The two transport units 51 and 52 are arranged in parallel in a state where they are rotated 180 ° so that the front, rear, left and right are interchanged with each other, thereby realizing a double arm configuration with a small turning radius around the rotating shaft 7. can do.

また、図７に示すように、搬送ユニット５１のブラケット４にワークを把持するハンド８Ａを取り付け、搬送ユニット５２のブラケット５３にワークを把持するハンド８Ｂを取り付けることができる。これにより、搬送ユニット５１に取り付けられたハンド８Ａと搬送ユニット５２に取り付けられたハンド８Ｂとを交互に出し入れしながら、半導体製造装置からのウエハの取り出し及び移動を行うことができる。   Further, as shown in FIG. 7, a hand 8 </ b> A that grips a workpiece can be attached to the bracket 4 of the transport unit 51, and a hand 8 </ b> B that grips a workpiece can be attached to the bracket 53 of the transport unit 52. Thereby, the wafer can be taken out and moved from the semiconductor manufacturing apparatus while the hand 8A attached to the transport unit 51 and the hand 8B attached to the transport unit 52 are alternately put in and out.

１，５０…搬送アーム ２…第１アーム部 ３…第２アーム部 ４，５３…ブラケット ５…モータ ２１…第１フレーム ２２，２３，２４…第１プーリ ２５…第１ベルト ３１…第２フレーム ３２，３３…第２プーリ ３４…第２ベルト ３５，３６…ガイドレール DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,50 ... Conveyance arm 2 ... 1st arm part 3 ... 2nd arm part 4,53 ... Bracket 5 ... Motor 21 ... 1st frame 22,23,24 ... 1st pulley 25 ... 1st belt 31 ... 2nd frame 32, 33 ... second pulley 34 ... second belt 35, 36 ... guide rail

Claims (1)

第１フレームと、前記第１フレームに取り付けられた対をなす第１プーリと、前記第１プーリに掛け渡された第１ベルトと、を有する第１アーム部と、
前記第１アーム部にガイドレールを介して並設されるとともに、第２フレームと、前記第２フレームに取り付けられた対をなす第２プーリと、前記第２プーリに掛け渡された第２ベルトと、を有する第２アーム部と、
前記第２アーム部にガイドレールを介して配置された可動部と、を備え、
前記第２フレームは、前記第１ベルトと前記第２ベルトとの間に配置され、前記第１ベルトに固定されており、
前記可動部は、前記第２ベルトの一部に固定されており、
前記第２ベルトの他の一部は、前記第１フレームに固定されている、搬送アーム。 A first arm portion having a first frame, a pair of first pulleys attached to the first frame, and a first belt stretched over the first pulley;
A second frame, a second pulley, a pair of second pulleys attached to the second frame, and a second belt that is stretched over the second pulley. And a second arm portion having
A movable part disposed on the second arm part via a guide rail,
The second frame is disposed between the first belt and the second belt, and is fixed to the first belt;
The movable part is fixed to a part of the second belt,
The other part of the second belt is a transfer arm fixed to the first frame.
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