JP2016001639A - 発光ダイオード及び発光ダイオードの製造方法 - Google Patents
発光ダイオード及び発光ダイオードの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016001639A JP2016001639A JP2014120298A JP2014120298A JP2016001639A JP 2016001639 A JP2016001639 A JP 2016001639A JP 2014120298 A JP2014120298 A JP 2014120298A JP 2014120298 A JP2014120298 A JP 2014120298A JP 2016001639 A JP2016001639 A JP 2016001639A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- emitting diode
- light emitting
- frustum
- semiconductor layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 19
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 130
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 59
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims abstract description 54
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 52
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 25
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 claims description 12
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims description 4
- 238000003475 lamination Methods 0.000 abstract 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 28
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 26
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 24
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 19
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 15
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 9
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 6
- KZBUYRJDOAKODT-UHFFFAOYSA-N Chlorine Chemical compound ClCl KZBUYRJDOAKODT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 5
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 2
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 2
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 2
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020068 MgAl Inorganic materials 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QZPSXPBJTPJTSZ-UHFFFAOYSA-N aqua regia Chemical compound Cl.O[N+]([O-])=O QZPSXPBJTPJTSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002301 combined effect Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000007429 general method Methods 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002248 hydride vapour-phase epitaxy Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011029 spinel Substances 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 description 1
- FAQYAMRNWDIXMY-UHFFFAOYSA-N trichloroborane Chemical compound ClB(Cl)Cl FAQYAMRNWDIXMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Led Devices (AREA)
Abstract
Description
これら発光ダイオードの課題の一つとして、光取り出し効率が低いことが挙げられる。発光ダイオードに使用される半導体材料は高屈折率のものが多く、空気との界面における全反射により、内部で発光した光を効率的に外部に取り出すことができず、発光ダイオードの発光効率を低下させる大きな要因となっている。
更に、微細なリッジ構造におけるエバネッセント光の干渉現象を利用することにより、光取り出し効率向上についても検討されている(例えば、特許文献3参照)。
また、上述した特許文献2に代表される広角入射した光をその光の波長よりも大きい凹凸構造の斜面を利用することで全反射を抑制する技術では、光取り出し面に傾斜面を取り入れることにより、光取り出し面に広角入射する光をより多く外部へ放出させることができるが、全反射による閉じ込めを回避することはできないという問題がある。
また、請求項3に記載の発明は、請求項1又は2に記載の発明において、前記基板(1)が、窒化物であることを特徴とする。
また、請求項6に記載の発明は、請求項4又は5に記載の発明において、前記マスク(110,210)が、サファイア基板をウェットエッチングして得られた形状をモールドとして用い、インプリント技術により形成されることを特徴とする。
本実施形態の発光ダイオードは、基板と、この基板の第1主面上に形成されたn型半導体層と、このn型半導体層上に形成された発光層及びこの発光層上に形成されたp型半導体層とからなる半導体積層部と、を備えた中心発光波長λの光を発光する発光ダイオードである。発光ダイオードの光取り出し面に、錐台形状のパターンが形成されており、錐台形状のパターンの下底長が、1.2λ以上1.7λ以下であり、傾斜角が65度以上80度以下であり、上底長が0.4λ以上1.2λ以下である。
錐台形状のパターンを高密度に形成し、外部への光取り出し効率を向上させる観点から、錐台形状のパターンの下底長は、1.2λ以上1.7λ以下であり、好ましくは、1.2λ以上1.6λ以下である。また、発生したエバネッセント波が消衰する前に伝搬光に変換し、外部への光取り出し効率を向上させる観点から、錐台形状のパターンの上底長が、0.4λ以上1.2λ以下であり、好ましくは、0.5λ以上1.1λ以下である。
本実施形態の発光ダイオードにおいて、「中心発光波長λ」とは、発光ダイオードを発光させた際に出力される光において強度が最も強い波長を意味する。中心発光波長は、発光ダイオードから発光された光を分光光度計で測定し、波長ごとの光強度を測定することで測定される。
また、本実施形態の発光ダイオードは、発光部から放出される光の外部への取り出し効率向上の観点から、各錐台形状のパターンの間隔が、λ以上3λ以下であることが好ましく、1.5λ以上2.2λ以下であることがより好ましい。各錐台形状のパターンの間隔がλ以上3λ以下であることにより、光取り出し面上の錐台形状のパターンの比表面積が十分に大きくなり、光取り出し効率向上に寄与する為好ましい。各錐台形状のパターンの間隔は、全て等間隔でもよいし、等間隔ではなくある程度分布を有していてよい。
[基板]
本実施形態の発光ダイオードにおいて、基板は、第1主面上に半導体積層部を形成可能なものであれば特に制限されず、サファイア(Al2O3)、スピネル(MgAl2O4)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化マグネシウム(MgO)などの酸化物単結晶、Si、SiC、GaAs、GaP、AlN、GaNなどの基板を使用することができる。基板の面方位は特に限定されず、ジャスト基板であっても、オフ角を付与した基板であっても良い。また、厚みについても特に限定されることはなく、ハンドリングが可能な厚み以上で適正なものを用いることができる。
基板上にバッファー層を設けたうえで半導体積層部を形成する場合は、このバッファー層も基板の一部として扱う。例えば、後の工程で元の基板を除去するような場合は、残ったバッファー層が基板である。
本実施形態の発光ダイオードにおいて、半導体積層部は、基板の第1主面上に形成されたn型半導体層と、n型半導体層上に形成された発光層及び発光層上に形成されたp型半導体層を少なくとも有する。これらn型半導体層、発光層、p型半導体層以外に、電極との良好なオーミック接触を実現するためのコンタクト層や、発光効率を向上させるためのバリア層(ブロック層)などの別の層を更に備えていてもよい。発光層は、発光効率を向上させるために、単一又は多重量子井戸構造であることが好ましい。半導体積層部に用いる材料としては、発光ダイオードの発光波長に応じて公知のものを採用可能できる。一例としては、InxAlyGa(1−x−y)N(0≦x≦1、0≦y≦1、0≦x+y≦1)、やAlGaInP(0≦x≦1、0≦y≦1、0≦x+y≦1)で表されるIII−V族化合物半導体材料を用いることができる。
本実施形態の発光ダイオードは、発光ダイオードを発光させるために、半導体積層部のn型半導体層とp型半導体層は、それぞれ電極と電気的に接続されていることが好ましい。電極の材料としては、Ti/Al/Ni/Au、Ti/Al/Ti/Au、Ni/Au、Cr/Au、Ti/Au、AuGe/Ni/Au、Au/AuZn/Auなどが挙げられる。これらの電極の材料は蒸着などの方法により形成される。また、電極としてはITO(tin−doped indium oxide)などの透光性電流拡散層(透明電極)を独立又は組み合わせて用いてもよい。ここで、例えば、半導体積層部のp型半導体層上に透光性電流拡散層を設けた場合、光取り出し面は透光性電流拡散層ではなく、半導体積層部の表面部であるp型半導体層となる。
次に、本実施形態の発光ダイオードの製造方法について説明する。
本実施形態の発光ダイオードの製造方法は、基板の第1主面上にn型半導体層と発光層とp型半導体層とが積層された半導体積層部を備える発光ダイオード用半導体ウェハの、発光ダイオードの光取り出し面となる領域上に、斜面が順テーパーの錐台形状又は錐体形状のマスクを形成するマスク工程と、マスク越しに光取り出し面をエッチングして錐台形状のパターンを形成するパターン形成工程と、を有している。
パターン形成工程におけるエッチングの方法は、加工面の材料により、ウェットエッチングやドライエッチングなどから適正なものを選択することができる。錐台形状に結晶面のエッチングレート差の影響が出にくく、形状の制御性が良好なドライエッチングでの加工が好ましい。ドライエッチングを用いる場合、ドライエッチングにおけるプラズマダメージにより、発光層へのダメージを低減させる観点から、発光層から加工底面までの距離が300nm以上となっていることが望ましい。
<実施形態1>
図1は、本発明に係る発光ダイオードの実施形態1を説明するための断面模式図である。本実施形態1の発光ダイオードは、中心発光波長λの光を発光する発光ダイオードで、基板1と半導体積層部10とを備え、半導体積層部10は、基板1の第1主面上に形成されたn型半導体層3と、このn型半導体層3上に形成された発光層4と、この発光層4上に形成されたp型半導体層5とを備えている。
つまり、本実施形態1の発光ダイオードは、基板1と、この基板1上に積層されたバッファー層2と、このバッファー層2の上に積層されたn型半導体層3と、このn型半導体層3上に積層された発光層4及びこの発光層4上に積層されたp型半導体層5からなる半導体積層部10と、p型半導体層5上に積層された透光性電流拡散層6とを備えている。
錐台形状のパターン5aは、半導体積層部10の表面部であるp型半導体層5の上部に形成されている。すなわち、第1の実施形態の発光ダイオードにおける光取り出し面は、p型半導体層5の上部である。
図2は、本発明に係る発光ダイオードの実施形態2を説明するための断面模式図である。本実施形態2の発光ダイオードは、中心発光波長λの光を発光する発光ダイオードで、基板1と半導体積層部10とを備え、半導体積層部10は、基板1の第1主面上に形成されたn型半導体層3と、このn型半導体層3上に形成された発光層4と、この発光層4上に形成されたp型半導体層5とを備えている。
このようにして、高屈折率材料を用いる発光ダイオードにおいて、界面における全反射による光取り出し効率の低下に鑑み、発光層から出射される光を高効率で外部に取り出すことができる発光ダイオードを実現することができる。
以下、本発明に係る発光ダイオードの製造方法における各実施例について説明する。
本発明の実施例1に係る発光ダイオードの製造方法は、基板101の第1主面上に、n型半導体層103と発光層104とp型半導体層105とが積層された半導体積層部100を備える発光ダイオード用半導体ウェハの発光ダイオードの光取り出し面となる領域上に、斜面が順テーパーの錐台形状又は錐体形状のマスク110を形成するマスク工程と、マスク越しに光取り出し面をエッチングして錐台形状のパターン111を形成するパターン形成工程とを有している。
まず、図3(a)に示すように、MOCVD法によりサファイア基板101上に、GaN低温バッファー層102と、n−GaN半導体層103と、InGaN量子井戸発光層104と、p−AlGaN電子ブロック層109と、p−GaN半導体層105とを順に積層した半導体積層部100を形成した。
図4は、本発明に係る発光ダイオードの製造方法の実施例5を説明するための断面模式図である。本発明の実施例5に係る発光ダイオードの製造方法は、基板101の第1主面上に、n型半導体層103と発光層104とp型半導体層104とが積層された半導体積層部100を備える発光ダイオード用半導体ウェハの発光ダイオードの光取り出し面となる領域上に、斜面が順テーパーの錐台形状又は錐体形状のマスク110を形成するマスク工程と、マスク越しに光取り出し面をエッチングして錐台形状のパターン211を形成するパターン形成工程とを有している。
つまり、半導体積層部100と対向する面である基板101の第2主面上にプラズマCVD法を用いて厚さ200nmのSiO2膜を堆積させ、フォトリソグラフィ法を用いて、周期が1.0μm、径が0.6μmの三角格子配列のドットパターン210aのレジストマスク210を作製し、その後、バッファードフッ酸(BHF)によるウェットエッチングを行い、SiO2膜の錐台形状のドットパターンのマスクを作製し、SiO2膜の錐台形状のドットパターンをマスクとしてドライエッチング法を用いて、錐台形状のパターン211を基板101の第2主面上に作製した。
次に、上述したSiO2膜の発光ダイオードのパターンをマスクとしてドライエッチング法を用いて、n型電極領域のメサエッチングを行った。ドライエッチング法ではICP型ドライエッチャー装置を用い、塩素ガスとアルゴンガスの混合ガスを用い、ガス圧が0.7Pa、エッチングパワーがアンテナパワー:300W/バイアスパワー:150Wの条件で上記試料表面からn型半導体層が露出するまでメサエッチングを行った。ドライエッチング後は残ったSiO2膜のマスクをバッファードフッ酸(BHF)で除去した。
最後に、発光ダイオードサイズにダイシングし、p型電極とn型電極に対して、パッケージにフリップチップボンディングを行い、発光ダイオードを得た。中心発光波長は460nmであった。
次に、半導体積層部100と対向する面、つまり、基板101の第2主面上にプラズマCVD法を用いて厚さ200nmのSiO2膜を堆積させ、フォトリソグラフィ法を用いて、周期が0.7μm、径が0.35μmの三角格子配列のドットパターンのレジストマスクを作製し、その後、バッファードフッ酸(BHF)によるウェットエッチングを行い、SiO2膜の錐台形状のドットパターンのマスクを作製した。
次に、上述したSiO2膜の発光ダイオードのパターンをマスクとしてドライエッチング法を用いて、n型電極領域のメサエッチングを行った。ドライエッチング法ではICP型ドライエッチャー装置を用い、塩素ガスとアルゴンガスの混合ガスを用い、ガス圧が0.7Pa、エッチングパワーがアンテナパワー:300W/バイアスパワー:150Wの条件で上述した試料表面からn型半導体層が露出するまでメサエッチングを行った。ドライエッチング後、残ったSiO2膜のマスクをバッファードフッ酸(BHF)で除去した。
最後に、発光ダイオードサイズにダイシングし、p型電極とn型電極に対して、パッケージにフリップチップボンディングを行い、発光ダイオードを得た。中心発光波長は260nmであった。
p型半導体層上の錐台形状のパターンを形成しない以外は実施例1と同様の方法で発光ダイオードを作製した。
[比較例2]
錐台形状のパターンを作成する工程において、レジストのドットパターンを、周期が1.0μm、径が0.55μmの三角格子配列のドットパターンで作製し、ドライエッチング時間を短縮した以外は、実施例1と同様の方法で発光ダイオードを作製した。得られた凹凸形状は、上底長が430nm、下底長が680nm、傾斜角が55度の円錐台形状であった。
錐台形状のパターンを作成する工程において、レジストのドットパターンを、周期が1.0μm、径が0.3μmの三角格子配列のドットパターンで作製した以外は、実施例1と同様の方法で発光ダイオードを作製した。得られた凹凸形状は、上底長が170nm、下底長が680nm、傾斜角が67度の円錐台形状であった。
[比較例4]
錐台形状のパターンを作成する工程において、レジストのドットパターンを、周期が1.0μm、径が0.65μmの三角格子配列のドットパターンで作製し、ドライエッチング時間を伸ばした以外は、実施例1と同様の方法で発光ダイオードを作製した。得られた凹凸形状は、上底長が170nm、下底長が680nm、傾斜角が67度の円錐台形状であった。
錐台形状のパターンを作成する工程において、レジストのドットパターンを、周期が0.7μm、径が0.35μmの三角格子配列のドットパターンで作製した以外は、実施例1と同様の方法で発光ダイオードを作製した。得られた凹凸形状は、上底長が170nm、下底長が680nm、傾斜角が67度の円錐台形状であった。
[比較例6]
錐台形状のパターンを作成する工程において、レジストのドットパターンを、周期が1.5μm、径が0.9μmの三角格子配列のドットパターンで作製した箇所以外は、実施例1と同様の方法で発光ダイオードを作製した。得られた凹凸形状は、上底長が640nm、下底長が1020nm、傾斜角が67度の円錐台形状であった。
錐台形状のパターンを作成する工程において、レジストのドットパターンを、周期が1.5μm、径が0.6μmの三角格子配列のドットパターンで作製した箇所以外は、実施例1と同様の方法で発光ダイオードを作製した。得られた凹凸形状は、上底長が430nm、下底長が680nm、傾斜角が67度の円錐台形状であった。
[比較例8]
p型半導体層上の錐台形状のパターンを形成しない以外は実施例5と同様の方法で発光ダイオードを作製した。
[比較例9]
p型半導体層上の錐台形状のパターンを形成しない以外は実施例6と同様の方法で発光ダイオードを作製した。
実施例1乃至6及び比較例1乃至9においてそれぞれ得られた発光ダイオードについて、n型電極部とp型電極部間に20mAの順方向電流を流したときの光出力を、集光レンズの開口数が約0.3の実体顕微鏡上に装着したSiフォトダイオードにより測定した。
実施例1乃至4及び比較例2乃至7については、比較例1の出力を1としたときの出力比を、実施例5については比較例8の出力を1としたときの出力比を、実施例6については比較例9の出力を1としたときの出力比(対Flat出力比)をそれぞれ求め、本発明の光取り出し効率を評価した。
各実施例及び比較例における発光波長、錐台形状のパターンの構造ならびに対中心発光波長比率、傾斜角度、および出力比をまとめたものを表1に示す。
図5は、上述した実施例1の発光ダイオードの光取り出し面における錐台形状のパターンの断面SEM像を示す図で、実施例1における凹凸形状を示し、上底長430nm、下底長680nm、傾斜角が67度のものであって、その際の光取出し効率は2.1倍であった。
このようにして、高屈折率材料を用いる発光ダイオードにおいて、界面における全反射による光取り出し効率の低下に鑑み、発光層から出射される光を高効率で外部に取り出すことができる発光ダイオードの製造方法を実現することができる。
1a,5a,111,211 錐台形状のパターン
2,102 バッファー層
3,103 n型半導体層
4,104 活性層(発光層)
5,105 p型半導体層
6 n電極
7 n型電極
8 p型電極
10,20,100 半導体積層部
107 n型電極部
108 p型電極部
109 ブロック層
110,113,210 レジストマスク
110a,210a 三角格子配列のドットパターン
112 SiO2膜
Claims (6)
- 基板と、
該基板の第1主面上に形成されたn型半導体層と、該n型半導体層上に形成された発光層と、該発光層上に形成されたp型半導体層とからなる半導体積層部と、
を備えた中心発光波長λの光を発光する発光ダイオードであって、
前記発光ダイオードの光取り出し面に、錐台形状のパターンが形成されており、前記錐台形状のパターンの下底長が1.2λ以上1.7λ以下であり、傾斜角が65度以上80度以下であり、上底長が0.4λ以上1.2λ以下である発光ダイオード。 - 前記光取り出し面が、前記基板の第1主面に対向する第2主面である請求項1に記載の発光ダイオード。
- 前記基板が、窒化物である請求項1又は2に記載の発光ダイオード。
- 基板の第1主面上に、n型半導体層と発光層とp型半導体層とが積層された半導体積層部を備える発光ダイオード用半導体ウェハの発光ダイオードの光取り出し面となる領域上に、斜面が順テーパーの錐台形状又は錐体形状のマスクを形成するマスク工程と、
前記マスク越しに光取り出し面をエッチングして錐台形状のパターンを形成するパターン形成工程と、
を有する発光ダイオードの製造方法。 - 前記錐台形状のパターンが、下底長が1.2λ以上1.7λ以下であり、傾斜角が65度以上80度以下であり、上底長が0.4λ以上1.2λ以下である請求項4に記載の発光ダイオードの製造方法。
- 前記マスクが、サファイア基板をウェットエッチングして得られた形状をモールドとして用い、インプリント技術により形成される請求項4又は5に記載の発光ダイオードの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014120298A JP6306443B2 (ja) | 2014-06-11 | 2014-06-11 | 発光ダイオード及び発光ダイオードの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014120298A JP6306443B2 (ja) | 2014-06-11 | 2014-06-11 | 発光ダイオード及び発光ダイオードの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016001639A true JP2016001639A (ja) | 2016-01-07 |
JP6306443B2 JP6306443B2 (ja) | 2018-04-04 |
Family
ID=55077115
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014120298A Active JP6306443B2 (ja) | 2014-06-11 | 2014-06-11 | 発光ダイオード及び発光ダイオードの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6306443B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019067832A (ja) * | 2017-09-28 | 2019-04-25 | 豊田合成株式会社 | 発光素子の製造方法 |
US10978625B2 (en) | 2018-05-25 | 2021-04-13 | Nichia Corporation | Method for forming light-transmissive member, method for producing light emitting device, and light emitting device |
US11088305B2 (en) | 2018-02-22 | 2021-08-10 | Nichia Corporation | Method for forming light-transmissive member including pressing die into resin body and irradiating resin body with ultraviolet rays |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000091644A (ja) * | 1998-09-09 | 2000-03-31 | Ricoh Co Ltd | 発光ダイオード素子 |
JP2006294907A (ja) * | 2005-04-12 | 2006-10-26 | Showa Denko Kk | 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子 |
JP2007150072A (ja) * | 2005-11-29 | 2007-06-14 | Kyocera Corp | インプリント用スタンパおよびそれを用いた発光素子 |
JP2007214500A (ja) * | 2006-02-13 | 2007-08-23 | Mitsubishi Chemicals Corp | 半導体部材及びその製造方法 |
US20090045435A1 (en) * | 2007-08-13 | 2009-02-19 | Epistar Corporation | Stamp having nanoscale structure and applications therefore in light-emitting device |
-
2014
- 2014-06-11 JP JP2014120298A patent/JP6306443B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000091644A (ja) * | 1998-09-09 | 2000-03-31 | Ricoh Co Ltd | 発光ダイオード素子 |
JP2006294907A (ja) * | 2005-04-12 | 2006-10-26 | Showa Denko Kk | 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子 |
JP2007150072A (ja) * | 2005-11-29 | 2007-06-14 | Kyocera Corp | インプリント用スタンパおよびそれを用いた発光素子 |
JP2007214500A (ja) * | 2006-02-13 | 2007-08-23 | Mitsubishi Chemicals Corp | 半導体部材及びその製造方法 |
US20090045435A1 (en) * | 2007-08-13 | 2009-02-19 | Epistar Corporation | Stamp having nanoscale structure and applications therefore in light-emitting device |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019067832A (ja) * | 2017-09-28 | 2019-04-25 | 豊田合成株式会社 | 発光素子の製造方法 |
US11088305B2 (en) | 2018-02-22 | 2021-08-10 | Nichia Corporation | Method for forming light-transmissive member including pressing die into resin body and irradiating resin body with ultraviolet rays |
US11923488B2 (en) | 2018-02-22 | 2024-03-05 | Nichia Corporation | Light emitting device including light transmissive member with concave portions |
US10978625B2 (en) | 2018-05-25 | 2021-04-13 | Nichia Corporation | Method for forming light-transmissive member, method for producing light emitting device, and light emitting device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6306443B2 (ja) | 2018-04-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5509394B2 (ja) | 半導体発光素子、その製造方法及び光源装置 | |
TWI708406B (zh) | 半導體發光元件及其製造方法 | |
TWI419352B (zh) | 半導體發光裝置中成長的光子晶體 | |
TWI528585B (zh) | Graphic Wafer for LED, Manufacturing Method of Epitaxial Wafer for Epitaxial Wafer and LED | |
KR101125395B1 (ko) | 발광소자 및 그 제조방법 | |
US9172000B2 (en) | Semiconductor light emitting device and method of manufacturing the same | |
TWI737826B (zh) | 半導體發光元件的製造方法 | |
US11437427B2 (en) | Light-emitting device and manufacturing method thereof | |
WO2011030789A1 (ja) | 発光装置 | |
JP2010098068A (ja) | 発光ダイオード及びその製造方法、並びにランプ | |
KR20150138977A (ko) | 발광 소자 및 그의 제조방법 | |
KR101274651B1 (ko) | 발광 다이오드 및 이의 제조 방법 | |
JP6306443B2 (ja) | 発光ダイオード及び発光ダイオードの製造方法 | |
JP5495061B2 (ja) | 半導体発光ダイオード | |
CN110838538B (zh) | 一种发光二极管元件及其制备方法 | |
KR100650996B1 (ko) | 미세 돌기를 형성한 표면부를 포함하는 질화물 반도체 발광 다이오드 및 그의 제조방법 | |
KR20100044403A (ko) | 질화물 반도체 발광소자 및 그 제조방법 | |
US9645372B2 (en) | Light emitting diodes and optical elements | |
KR20120085027A (ko) | 반도체 발광소자 및 그 제조방법 | |
JP2011082248A (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法、並びにランプ | |
KR101506961B1 (ko) | 수직형 발광다이오드 제조 방법 및 수직형 발광다이오드 | |
KR100601144B1 (ko) | 질화갈륨계 반도체 발광소자 | |
KR102260691B1 (ko) | 발광 다이오드 및 이의 제조 방법 | |
TWI786276B (zh) | 發光元件之製造方法 | |
KR101615564B1 (ko) | 수직형 발광다이오드 제조 방법 및 수직형 발광다이오드 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170316 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20171226 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20171227 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180209 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180220 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180308 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6306443 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R157 | Certificate of patent or utility model (correction) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R157 |
|
R157 | Certificate of patent or utility model (correction) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R157 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |