JP2015529793A5 - - Google Patents

Claims (13)

1. 検査装置用の放射線検出器であって、
   入射放射線を受け取り吸収し、入射放射線をフォトンに変換するシンチレータと、
   基板上に準備される薄膜トランジスタであって、前記薄膜トランジスタと前記シンチレータとの間に前記基板が配されている、薄膜トランジスタと、
   前記薄膜トランジスタの、前記基板と反対の側に配された光活性層と、
   を有する放射線検出器。
2. 前記薄膜トランジスタ及び前記基板は、前記シンチレータから放出されたフォトンが前記基板及び前記薄膜トランジスタを通過し、前記光活性層に到達することを可能にするように、光透過性を有する、請求項１に記載の放射線検出器。
3. 前記光活性層が有機フォトダイオードを含む、請求項１又は２に記載の放射線検出器。
4. 前記薄膜トランジスタが有機薄膜トランジスタである、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の放射線検出器。
5. 前記基板が、フォイル基板又はガラス基板の少なくとも一方である、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の放射線検出器。
6. 前記光活性層用のカソードが、前記光活性層の、前記薄膜トランジスタとは反対の側に配されており、前記カソードが、前記シンチレータから放出されたフォトンにとってミラーとして機能する構造化されない金属層を含む、請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の放射線検出器。
7. 前記光活性層の、前記薄膜トランジスタとは反対の側に配されるガラス基板を有する、請求項１乃至６のいずれか１項に記載の放射線検出器。
8. Ｘ線検出器として適応される、請求項１乃至７のいずれか１項に記載の放射線検出器。
9. 請求項１乃至８のいずれか１項に記載の放射線検出器を有する検査装置。
10. 医用Ｘ線イメージングシステムとして適応された、請求項９に記載の検査装置。
11. 放射線検出器を生成する方法であって、
    基板を準備するステップと、
    前記基板の第１の測面に、薄膜トランジスタ層を堆積するステップと、
    前記薄膜トランジスタ層上に、フォトダイオードスタックを配するステップと、
    入射放射線を受け取り吸収して該入射放射線を光子に変換するシンチレータを、前記第１の側と反対側にある前記基板の第２の側に取り付けるステップと、
    を有する方法。
12. 前記フォトダイオードスタックが、前記薄膜トランジスタ層上に堆積される、請求項１１に記載の方法。
13. 前記フォトダイオードスタックの、前記薄膜トランジスタ層とは反対の側にガラス基板を配するステップを更に含む、請求項１１又は１２に記載の方法。