JP2015524727A - 微分位相コントラストイメージングにおけるミスアライメントの対処 - Google Patents
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Abstract
Description
a)第1ステップでは、X線ソース、X線検出器、処理ユニット、並びに、ソース格子、位相格子、及び解析格子を有する格子アレンジメントを備える微分位相コントラストセットアップ部が提供される。ソース格子は、X線ソースと位相格子との間に配置され、解析格子は、位相格子と検出器との間に配置される。X線ソース及びソース格子は、固定のX線ソースユニットとして提供される。位相格子、解析格子、及び検出器は、固定のX線検出ユニットとして提供される。
b)第2ステップでは、少なくとも1つの格子のミスアライメントが、光学測定システムで決定される。
c)第3ステップでは、補正信号は、決定されたミスアライメントに基づいて計算される。
Claims (15)
- − X線ソースと、
X線検出器と、
ソース格子、位相格子、及び解析格子を有する格子アレンジメントとを備え、前記ソース格子は、前記X線ソースと前記位相格子との間に配置され、前記解析格子は、前記位相格子と前記X線検出器との間に配置される微分位相コントラストセットアップ部と、
− 処理ユニットと、
− 少なくとも1つの前記格子のミスアライメントを決定するための測定システムとを有し、
前記X線ソース及び前記ソース格子は、固定のX線ソースユニットとして提供され、前記位相格子、前記解析格子、及び前記X線検出器は、固定のX線検出ユニットとして提供され、
前記測定システムは、前記X線ソースユニットと前記X線検出ユニットとから成る前記微分位相コントラストセットアップ部間のミスアライメントを決定する光学測定システムであり、
前記処理ユニットは、決定されたミスアライメントに基づいて補正信号を提供する、
微分位相コントラストイメージングのためのX線イメージングシステム。 - 前記測定システムは、前記X線検出ユニットの異なる複数の隅に少なくとも3つのセンサを有する、請求項1に記載のX線イメージングシステム。
- 前記少なくとも3つのセンサは、少なくとも3つの4象限フォトダイオードとして提供され、
光源装置は、前記4象限フォトダイオードのそれぞれへの光ビームを生成するように、前記X線ソースユニットに固定的に取り付けられ、
前記4象限フォトダイオードは、前記検出器の平面における動き及び前記光ビームに対する角度傾斜を測定する、
請求項1又は2に記載のX線イメージングシステム。 - 前記少なくとも3つのセンサは、前記干渉計のそれぞれへの光ビームを生成するように、前記X線ソースユニットに固定的に取り付けられた光源装置の前記位相測定のための干渉計として提供される、
請求項1乃至3のいずれか一項に記載のX線イメージングシステム。 - 前記光源は、変調信号の形態の光信号を提供し、
前記干渉計は、光学位相シフトを検出し、
位相解析のために、
i)全ての干渉計からの信号を相関させる相関ユニット、
ii)光を前記隅で光ファイバにカップリングし、干渉計セットアップ部及び/若しくはタイミング解析ユニットによって位相シフトを測定する結合ユニット、並びに/又は、
iii)前記4象限フォトダイオードの強度シフトを測定し、全ての4象限フォトダイオードからの信号を相関させる測定ユニット
が提供される、請求項4に記載のX線イメージングシステム。 - 前記光源装置は、単一ビームを生成する単一光源として提供され、
分割手段が、単一ビームを少なくとも3本のサブビームに分割するために提供される、
請求項4又は5に記載のX線イメージングシステム。 - アクチュエータが、前記X線ソースユニットの少なくとも1つの格子、及び/又は前記X線検出ユニットの少なくとも1つの格子を動かし、調整するために提供され、
前記処理ユニットは、前記補正信号に基づいて前記アクチュエータに対する駆動信号を計算し、前記アクチュエータに前記駆動信号を送信する、
請求項1乃至6のいずれか一項に記載のX線イメージングシステム。 - 前記アクチュエータは、
i)ピエゾアクチュエータ、及び/又は、
ii)モータ駆動マイクロメータスクリューとして提供され、
共に、約1マイクロメートルから約10ミリメートルまでの範囲の移動を提供する、
請求項1乃至7のいずれか一項に記載のX線イメージングシステム。 - 補正ユニットが、更なる計算ステップのために前記検出器によって提供された前記データを補正するために提供され、
前記処理ユニットは、前記補正信号に基づいて補正係数を計算し、最終結果をもたらす評価及び計算のために前記補正係数を前記補正ユニットに送信する、
請求項1乃至8のいずれか一項に記載のX線イメージングシステム。 - 検査される対象物と少なくとも1つの前記格子との間の相対的な動きのための可動アレンジメントが提供され、
i)前記可動アレンジメントは、各格子面における前記干渉計ユニットの少なくとも1つの前記格子のステッピングのためのステッピングアレンジメントとして提供され、
ii)対象物支持体が提供され、前記対象物支持体と前記微分位相コントラストセットアップ部との間の相対的な動きが提供され、前記格子は、少なくとも1つの画像取得のためのスキャンの間、互いに対して一定のアライメントで提供され、
ii1)前記対象物支持体が固定されて提供され、前記微分位相コントラストセットアップ部は、X線方向を横断する方向に動かされ、
ii2)前記微分位相コントラストセットアップ部が固定されて提供され、前記対象物支持体がX線方向を横断する方向に動かされる、
請求項1乃至9のいずれか一項に記載のX線イメージングシステム。 - 微分位相コントラストイメージングのためのX線イメージングシステムにおけるミスアライメントに対処する方法であって、
a)X線ソース、X線検出器、処理ユニット、並びに、ソース格子、位相格子、及び解析格子を有する格子アレンジメントを備える微分位相コントラストセットアップ部を提供するステップであって、前記ソース格子は、前記X線ソースと前記位相格子との間に配置され、前記解析格子は、前記位相格子と前記X線検出器との間に配置され、前記X線ソース及び前記ソース格子は、固定のX線ソースユニットとして提供され、前記位相格子、前記解析格子、及び前記X線検出器は、固定のX線検出ユニットとして提供される当該ステップと、
b)光学測定システムで少なくとも1つの前記格子のミスアライメント少なくとも1つの前記格子のミスアライメントを決定するステップと、
c)決定されたミスアライメントに基づいて補正信号を計算するステップと
を有する、方法。 - d1)アクチュエータに対する駆動信号を前記補正信号に基づいて計算するステップと、
d2)前記X線ソースユニット及び/又は前記X線検出ユニットを動かし、調整するために、前記駆動信号をアクチュエータに送信するステップと、
d3)前記X線ソースユニット及び/又は前記X線検出ユニットを動かし、調整するステップと
が提供される、請求項11に記載の方法。 - e1)補正係数を前記補正信号に基づいて計算するステップと、
e2)更なる計算ステップのために前記X線検出器によって提供されたデータを補正するために、前記補正係数を補正ユニットに送信するステップと、
e3)前記補正係数を検討して最終結果をもたらすために、前記X線検出器によって提供された前記データを評価し計算するステップと
が提供される、請求項11又は12に記載の方法。 - 処理ユニットによって実行された場合に、請求項11乃至13のいずれか一項に記載の方法を実行するように適合された、請求項1乃至10のいずれか一項に記載のX線イメージングシステムを制御するためのコンピュータプログラム。
- 請求項14に記載のコンピュータプログラムプログラムを記憶するコンピュータ可読媒体。
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