JP2015506117A - 大面積検出器を形成するための継ぎ目のないタイル - Google Patents
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Abstract
Description
さらなる1つの実施例によれば、検出器タイルは、例えば、可視光線範囲又は赤外領域の電磁波のためのカメラセンサ用のタイルである。
a)平坦な第1の基板と、回路を有する表層と含むウェハをもたらすステップであって、ウェハは、表層上にピクセルアレイをもたらす多数の検出器ピクセルを有する回路装置を有する第1の部分と、周辺電子機器を有する少なくとも1つの第2の部分とを含み、第1の部分は少なくとも1つの中間部分によって少なくとも1つの第2の部分から分離されるステップと、
b)検出器ピクセルを有する回路装置を周辺電子機器に接続する多数の導線を含む少なくとも1つの接続配線のパターン化された層を形成するステップであって、中間部分を接続するパターン化された層がウェハの前面に形成されるステップと、
c)少なくとも1つの中間部分のウェハ材料を取り除くステップと、
d)導線を検出器ピクセルと周辺電子機器との間で案内するために表層から平坦な第1の基板の背面へ通じる少なくとも1つの接続開口が、検出器タイルの少なくとも1つの縁部において表層と平坦な第1の基板とに設けられるように、第1の部分のウェハ材料を取り除くステップと、
e)周辺電子機器を有する少なくとも1つの第2の部分をウェハの背面に移動させるステップであって、少なくとも1つの接続配線は少なくとも1つの接続開口の中を案内されるステップと、を含む。
Claims (15)
- 平坦な第1の基板と、
回路装置を有する表層と、を含む検出器タイルであって、
前記表層は前記第1の基板の前面に配置されて前記第1の基板を覆い、前記回路装置は多数の検出器ピクセルを有し、ピクセルアレイをもたらし、
検出器タイルの少なくとも1つの縁部において、前記表層と前記平坦な第1の基板とに少なくとも1つの接続開口が設けられ、当該接続開口は、電気的接続素子を前記検出器タイルの前面と背面との間で案内するために、前記表層から前記第1の基板の背面へと通じ、
前記検出器タイルの周りの全ての縁部において、前記表層は検出器ピクセルを有する部分を少なくとも備え、当該検出器ピクセルを有する部分は縁部へと延びる、
検出器タイル。 - 前記少なくとも1つの接続開口はたった1つの検出器ピクセルの領域を使用する、
請求項1に記載の検出器タイル。 - 少なくとも第1の個数の第1の接続開口が前記第1の基板の1つの縁部に設けられ、少なくとも第2の個数の第2の接続開口が前記第1の基板の前記1つの縁部と反対側の縁部に設けられ、前記第1の個数の第1の接続開口には第1のオフセットが設けられ、前記第2の個数の第2の接続開口には第2のオフセットが設けられ、前記第1のオフセットと前記第2のオフセットは互いに射影されると第1の接続開口と第2の接続開口とが交互になるように配置される、
請求項1又は2に記載の検出器タイル。 - 周辺電子機器が第2の基板装置上に設けられ、当該第2の基板装置は前記検出器タイルの背面に配置され、
電気的接続素子として、前記表層の上の前記回路装置を前記周辺電子機器に接続する多数の導線を有する少なくとも1つの接続配線が設けられ、当該少なくとも1つの接続配線は前記少なくとも1つの接続開口の中を通って案内される、
請求項1乃至3の一項に記載の検出器タイル。 - 多数の接続開口が前記検出器タイルの少なくとも2つの側面に設けられ、
継ぎ目のない検出器面をもたらすために、前記検出器タイルが少なくとも3つの側面において当接可能であるように前記接続開口が配置される、
請求項1乃至4の一項に記載の検出器タイル。 - 前記ピクセルアレイには検出器タイル格子が設けられ、前記検出器タイルの少なくとも1つの側面に沿って配置された縁部ピクセルは、前記検出器タイルの最も外側の縁部が前記検出器ピクセルの前記検出器タイル格子の各々の領域内に配置されるように、前記縁部を横切る方向に縮小された大きさで設けられる、
請求項1乃至5の一項に記載の検出器タイル。 - 請求項1乃至6の一項に記載の検出器タイルを少なくとも2つ含み、
継ぎ目のない検出器面が連続的なピクセルアレイを有するように、前記検出器タイルは共通の平面に互いに当接して配置され、
前記連続的なピクセルアレイは前記接続開口によって部分的にのみ中断される、
検出器パネル装置。 - 隣接する前記検出器タイルはそれぞれ、連続ピクセルアレイサブ部分を有する移行部分が設けられるように配置される隣接ピクセル部分を備える、
請求項7に記載の検出器パネル装置。 - 前記検出器タイルはそれぞれ多数の接続開口を有し、隣接する検出器タイルの当該接続開口は互いに変位して配置される、
請求項7又は8に記載の検出器パネル装置。 - 請求項7乃至9の一項に記載の検出器パネル装置と、
前記検出器パネル装置の前に配置されたX線変換層と、を含み、
前記X線変換層はX線を照射されると前記検出器パネル装置に信号を供給するように構成され、当該信号は前記検出器タイルの前記表層の前記検出器ピクセルを電気的にアクティブにするように構成される、
X線検出器。 - 前記X線変換層は直接変換型であり、前記表層の前記検出器ピクセルの各々毎に、X線の照射は前記検出器ピクセルの各々に供給される電気信号に変換される、
請求項10に記載のX線検出器。 - 前記電気信号は前記表層の前記検出器ピクセルに配置された変換材料によって供給され、前記検出器ピクセルと当該変換材料との間には絶縁層が設けられ、前記検出器ピクセルには当該絶縁層を前記表層まで貫通し、前記変換材料との電気的接続をもたらす電極が設けられる、
請求項11に記載のX線検出器。 - 前記X線変換層はシンチレーター型であり、前記ピクセルアレイ中の前記検出器ピクセルはそれぞれX線の影響によりシンチレーター層で発生した光を検出する感光素子を有する、
請求項10に記載のX線検出器。 - X線源と、
請求項10乃至13の一項に記載のX線検出器と、
処理装置と、を含み、
前記処理装置は少なくとも前記連続的なピクセルアレイの前記接続開口の領域の欠落した画像情報を補正するように構成される、
X線撮像システム。 - a) 平坦な第1の基板と、回路を有する表層とを有するウェハを用意するステップであって、当該ウェハは、ピクセルアレイを当該表層にもたらす多数の検出器ピクセルを有する回路装置を有する第1の部分と、周辺電子機器を有する少なくとも1つの第2の部分とを備え、当該第1の部分は少なくとも1つの中間部分によって当該少なくとも1つの第2の部分から分離されるステップと、
b) 多数の導線を有する少なくとも1つの接続配線のパターン化された層を形成するステップであって、当該導線は前記検出器ピクセルを有する前記回路装置を前記周辺電子機器に接続し、当該パターン化された層は前記ウェハの前面に形成され中間部分を接続するステップと、
c) 前記少なくとも1つの中間部分のウェハ材料を取り除くステップと、
d) 検出器タイルの少なくとも1つの縁部において、前記表層と前記平坦な第1の基板とに少なくとも1つの接続開口が設けられるように、前記第1の部分のウェハ材料を取り除くステップであって、前記接続開口は、前記検出器ピクセルと前記周辺電子機器との間で前記導線を案内するために前記表層から前記平坦な第1の基板の背面へ通じるステップと、
e) 前記周辺電子機器を有する前記少なくとも1つの第2の部分を前記ウェハの前記背面へ移動させるステップであって、前記少なくとも1つの接続配線は前記少なくとも1つの接続開口の中を案内されるステップと、を含む、
連続的なピクセルアレイを有する継ぎ目のない検出器面のための検出器タイルを提供する方法。
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