JP2015233094A - Semiconductor module cooler - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To secure high peeling strength compared to a conventional cooler in a joint part between a PPS resin molding and an aluminum plate which form a coolant passage.SOLUTION: A semiconductor module cooler 1 includes a PPS resin molding 2 in which a groove part 2a is formed and an aluminum plate 3 covering the groove part 2a. A coolant passage 5 is formed by the groove part 2a and the aluminium plate 3. A semiconductor module 10 contacting with the aluminum plate 3 is cooled by a cooling medium circulating in the coolant passage 5. The PPS resin molding 2 and the aluminum plate 3 are joined through an elastic body 4.

Description

本発明は、半導体モジュールを冷却するための冷却器である半導体モジュール冷却器の技術に関し、より詳しくは、半導体モジュールに形成される冷却水路を構成する部材間の剥離強度を確保するための技術に関する。   The present invention relates to a technology of a semiconductor module cooler, which is a cooler for cooling a semiconductor module, and more particularly to a technology for ensuring a peel strength between members constituting a cooling water channel formed in a semiconductor module. .

従来、半導体モジュールを冷却するための冷却器である半導体モジュール冷却器が用いられており、例えば、以下の特許文献1に示すものが知られている。
特許文献1に示された従来の半導体モジュール冷却器は、冷却器内に冷却媒体(クーラント液)を循環させる冷却水路を備える構成としており、当該冷却水路は、樹脂成形品に対して半導体モジュールを覆う金属プレートを接合することにより形成している。尚、従来の半導体モジュール冷却器では、樹脂成形品の材質をPPS(ポリフェニレンサルファイド)とし、金属プレートの材質をアルミニウムとして、PPS樹脂成形品にアルミニウム製のプレート(以下、アルミプレートと呼ぶ)を接合して冷却水路を形成する構成が広く採用されている。
Conventionally, a semiconductor module cooler, which is a cooler for cooling a semiconductor module, has been used. For example, the one shown in Patent Document 1 below is known.
The conventional semiconductor module cooler disclosed in Patent Document 1 includes a cooling water channel that circulates a cooling medium (coolant liquid) in the cooler, and the cooling water channel has a semiconductor module with respect to a resin molded product. It forms by joining the metal plate which covers. In the conventional semiconductor module cooler, the material of the resin molded product is PPS (polyphenylene sulfide), the material of the metal plate is aluminum, and the aluminum plate (hereinafter referred to as the aluminum plate) is joined to the PPS resin molded product. Thus, a configuration for forming a cooling water channel is widely adopted.

特開2012−99748号公報JP 2012-99748 A

従来の半導体モジュール冷却器では、冷却水路内に比較的高圧の冷却媒体を流通させる構成であるため、PPS樹脂成形品とアルミプレートの接合部においては、高い剥離強度が要求される。
従来の半導体モジュール冷却器では、PPS樹脂成形品に対してアルミプレートを直接接合して冷却水路を構成しているが、斯かる構成では、PPS樹脂成形品とアルミプレートの接合部において、十分な剥離強度を確保することが困難であった。
Since the conventional semiconductor module cooler is configured to circulate a relatively high-pressure cooling medium in the cooling water channel, high peel strength is required at the joint between the PPS resin molded product and the aluminum plate.
In a conventional semiconductor module cooler, an aluminum plate is directly joined to a PPS resin molded product to form a cooling water channel. However, in such a configuration, a sufficient amount of bonding is required at the joint between the PPS resin molded product and the aluminum plate. It was difficult to ensure peel strength.

本発明は、斯かる現状の課題を鑑みてなされたものであり、冷却水路を構成するPPS樹脂成形品とアルミプレートの接合部において、従来に比して高い剥離強度を確保することが可能な半導体モジュール冷却器を提供することを目的としている。   The present invention has been made in view of such a current problem, and it is possible to ensure a high peel strength as compared with the prior art at the joint between the PPS resin molded product and the aluminum plate constituting the cooling water channel. An object of the present invention is to provide a semiconductor module cooler.

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。   The problem to be solved by the present invention is as described above. Next, means for solving the problem will be described.

即ち、請求項1においては、溝部が形成されたPPS樹脂成形品と、前記溝部を覆うアルミプレートと、を備え、前記溝部と前記アルミプレートによって冷却水路が形成され、前記冷却水路に流通する冷却媒体によって、前記アルミプレートに接する半導体モジュールを冷却する半導体モジュール冷却器であって、前記PPS樹脂成形品と前記アルミプレートを、弾性体を介して接合するものである。   That is, in claim 1, the PPS resin molded product in which the groove portion is formed and an aluminum plate that covers the groove portion, a cooling water channel is formed by the groove portion and the aluminum plate, and the cooling water flowing through the cooling water channel A semiconductor module cooler for cooling a semiconductor module in contact with the aluminum plate by a medium, wherein the PPS resin molded product and the aluminum plate are joined via an elastic body.

本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。   As effects of the present invention, the following effects can be obtained.

請求項1においては、PPS樹脂成形品とアルミプレートを直接接合した場合に比して、PPS樹脂成形品に対するアルミプレートの剥離強度を増大させることができる。   According to the first aspect, the peel strength of the aluminum plate with respect to the PPS resin molded product can be increased as compared with the case where the PPS resin molded product and the aluminum plate are directly joined.

本発明の一実施形態に係る半導体モジュール冷却器の全体構成を示す模式図、(a)斜視模式図、(b)分解した状態を示す斜視模式図。The schematic diagram which shows the whole structure of the semiconductor module cooler which concerns on one Embodiment of this invention, (a) Perspective schematic diagram, (b) The perspective schematic diagram which shows the disassembled state. 本発明の一実施形態に係る半導体モジュール冷却器を構成する、弾性体が付与されたアルミプレートを示す斜視模式図。The perspective schematic diagram which shows the aluminum plate which provided the elastic body which comprises the semiconductor module cooler which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係る半導体モジュール冷却器の詳細な形態を示す模式図、(a)断面模式図、(b)斜視模式図。The schematic diagram which shows the detailed form of the semiconductor module cooler which concerns on one Embodiment of this invention, (a) Cross-sectional schematic diagram, (b) Perspective schematic diagram. 半導体モジュール冷却器を複数組み合わせて使用する場合の仕様状態を示す断面模式図。The cross-sectional schematic diagram which shows the specification state in the case of using combining multiple semiconductor module coolers. PPS材とアルミ板の剥離強度の測定結果(弾性体が有る場合と無い場合)を示す図、(a)測定結果を示すグラフ、(b)測定ピース(弾性体が有る場合と無い場合)の模式図。The figure which shows the measurement result (with and without an elastic body) of the peeling strength of a PPS material and an aluminum plate, (a) The graph which shows a measurement result, (b) The measurement piece (with and without an elastic body) Pattern diagram.

次に、発明の実施の形態を説明する。
まず始めに、本発明の一実施形態に係る半導体モジュール冷却器の全体構成について、図1を用いて説明をする。
図1(a)に示す如く、本発明の一実施形態に係る半導体モジュール冷却器1は、半導体モジュール10を冷却するための冷却器であり、PPS樹脂成形品2とアルミプレート3を備えている。
そして、半導体モジュール冷却器1は、PPS樹脂成形品2とアルミプレート3を、弾性体4を介して接合することによって、冷却水路5を形成する構成としている。
Next, embodiments of the invention will be described.
First, the overall configuration of a semiconductor module cooler according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
As shown in FIG. 1A, a semiconductor module cooler 1 according to an embodiment of the present invention is a cooler for cooling a semiconductor module 10 and includes a PPS resin molded product 2 and an aluminum plate 3. .
The semiconductor module cooler 1 is configured to form the cooling water channel 5 by joining the PPS resin molded product 2 and the aluminum plate 3 via the elastic body 4.

PPS樹脂成形品2は、剛性が高く耐薬品性に優れたPPS樹脂を射出成形することにより成形する部材であり、図1(b)に示すような溝部2aが形成されている。
溝部2aは、図1(a)に示すように、冷却水路5の底部と一対の側部を構成しており、溝部2aの長さ方向における両端部と、底部に対面する側の面は開放されている。
尚、本実施形態で示す溝部2aは、略矩形の断面形状を有しているが、半導体モジュール冷却器1を構成するPPS樹脂成形品2に形成する溝部2aの形状はこれに限定されない。
The PPS resin molded product 2 is a member molded by injection molding a PPS resin having high rigidity and excellent chemical resistance, and has a groove 2a as shown in FIG. 1B.
As shown in FIG. 1 (a), the groove portion 2a constitutes a bottom portion of the cooling water channel 5 and a pair of side portions, and both end portions in the length direction of the groove portion 2a and the surface facing the bottom portion are open. Has been.
In addition, although the groove part 2a shown by this embodiment has a substantially rectangular cross-sectional shape, the shape of the groove part 2a formed in the PPS resin molded product 2 which comprises the semiconductor module cooler 1 is not limited to this.

アルミプレート3は、冷却対象物たる半導体モジュール10に直接接する部位を構成する部材であり、熱伝達率が比較的高いアルミニウムを材質として選択している。
そして、図1(b)に示すように、アルミプレート3で、溝部2aの底部に対面する側の面を塞ぐことによって、図1(a)に示すように、溝部2aの長さ方向に向けて連通する冷却水路5を形成する構成としている。
尚、本実施形態では、アルミニウム製であるアルミプレート3を用いているが、アルミニウム製以外の金属製プレートを用いて、半導体モジュール冷却器を構成することも可能である。
The aluminum plate 3 is a member that constitutes a portion that directly contacts the semiconductor module 10 that is an object to be cooled, and aluminum having a relatively high heat transfer coefficient is selected as a material.
Then, as shown in FIG. 1 (b), the aluminum plate 3 closes the surface facing the bottom of the groove 2a, so that the length of the groove 2a is directed as shown in FIG. 1 (a). Thus, the cooling water passage 5 communicating with each other is formed.
In the present embodiment, the aluminum plate 3 made of aluminum is used. However, the semiconductor module cooler can be configured by using a metal plate other than aluminum.

弾性体4は、PPS樹脂成形品2とアルミプレート3の接合部に介設される部材であり、PPS樹脂成形品2とアルミプレート3の接合時に生じる内部応力を緩和するために配置するものである。
より詳しくは、PPS樹脂成形品2とアルミプレート3を接合する場合、PPS樹脂成形品2が冷却し収縮すると、PPS樹脂成形品2とアルミプレート3の線膨張率の差異に起因して、PPS樹脂成形品2内に内部応力が生じる。PPS樹脂成形品2とアルミプレート3の間に弾性体4を介設することで、線膨張率の差異による影響を吸収することができ、これにより、PPS樹脂成形品2とアルミプレート3の接合時に生じる内部応力を緩和することができる。
The elastic body 4 is a member interposed at the joint between the PPS resin molded product 2 and the aluminum plate 3 and is arranged to relieve internal stress generated when the PPS resin molded product 2 and the aluminum plate 3 are joined. is there.
More specifically, when the PPS resin molded product 2 and the aluminum plate 3 are joined, when the PPS resin molded product 2 cools and contracts, the PPS resin molded product 2 and the aluminum plate 3 are caused to have a difference in linear expansion coefficient. Internal stress is generated in the resin molded product 2. By interposing the elastic body 4 between the PPS resin molded product 2 and the aluminum plate 3, it is possible to absorb the influence due to the difference in linear expansion coefficient, thereby joining the PPS resin molded product 2 and the aluminum plate 3. Internal stress that occurs sometimes can be relieved.

弾性体4の材質としては、伸びが良く、アルミニウムおよびPPS樹脂との間で反応性が良い材質を選択する。
また、弾性体4の材質としては、引張破断時の伸び率が600%以上の材質を用いるのが好適であり、また、分子構造の末端にエポキシ基や無水マレイン酸基を有するものを採用するが好適である。
本実施形態では、弾性体4の材質として、引張破断時の伸び率が600%以上であり、分子構造の末端にグリシジルメタクリレートを有する変性ポリエチレン(以下、変性PEとも呼ぶ)を採用している。
As the material of the elastic body 4, a material that has good elongation and good reactivity with aluminum and PPS resin is selected.
Further, as the material of the elastic body 4, it is preferable to use a material having an elongation at break of 600% or more and a material having an epoxy group or a maleic anhydride group at the end of the molecular structure. Is preferred.
In this embodiment, as the material of the elastic body 4, a modified polyethylene (hereinafter also referred to as a modified PE) having an elongation at break of 600% or more and having a glycidyl methacrylate at the end of the molecular structure is employed.

弾性体4は、アルミプレート3に対して、所定の厚みで変性PEを射出成形することによって、予め付与しておく。
アルミプレート3に対して変性PEを射出成形するときには、剥離強度の向上を目的として、アルミプレート3の表面に微細な凹部を形成しておくのが好適であり、あるいは、アルミプレート3の表面にシランカップリング剤を塗布し、OH基を付与しておくのが好適である。
The elastic body 4 is previously applied to the aluminum plate 3 by injection-molding the modified PE with a predetermined thickness.
When the modified PE is injection molded to the aluminum plate 3, it is preferable to form fine concave portions on the surface of the aluminum plate 3 for the purpose of improving the peel strength, or on the surface of the aluminum plate 3. It is preferable to apply a silane coupling agent and add an OH group.

次に、半導体モジュール冷却器1のさらに詳細な実施形態について、図2〜図4を用いて説明をする。
半導体モジュール冷却器1を構成するアルミプレート3には、図2に示すように、射出成形により、変性PE製の弾性体4の層を予め形成しておく。変性PE製の弾性体4の層は、少なくともアルミプレート3におけるPPS樹脂成形品2との接合部分に形成しておく。
尚、半導体モジュール冷却器1を構成するアルミプレート3は、熱伝達効率の向上を図るべく、図2に示すように、冷却媒体に接する側の面に、複数の冷却フィン6・6・・・を形成しておくのが好適である。冷却フィン6は、アルミプレート3における半導体モジュール10に接する面とは反対側の、即ち、冷却媒体に接する側の面に植設する。
Next, a more detailed embodiment of the semiconductor module cooler 1 will be described with reference to FIGS.
As shown in FIG. 2, a layer of modified PE elastic body 4 is formed in advance on the aluminum plate 3 constituting the semiconductor module cooler 1 by injection molding. The layer of the elastic body 4 made of modified PE is formed at least at the joint portion of the aluminum plate 3 with the PPS resin molded product 2.
Incidentally, the aluminum plate 3 constituting the semiconductor module cooler 1 has a plurality of cooling fins 6, 6... On the surface in contact with the cooling medium, as shown in FIG. Is preferably formed. The cooling fins 6 are implanted on the surface of the aluminum plate 3 opposite to the surface in contact with the semiconductor module 10, that is, on the surface in contact with the cooling medium.

図3(a)(b)には、PPS樹脂成形品2にアルミプレート3を接合して製造した半導体モジュール冷却器1を示している。
半導体モジュール冷却器1におけるPPS樹脂成形品2とアルミプレート3の接合は、予め変性PE製の弾性体4を付与してあるアルミプレート3を、PPS樹脂成形品2を射出成形するための金型内にセットしておき、その後射出成形することによって、変性PEを溶かしながら各部材2・3・4を射出溶着させて、一体化することにより行う。
FIGS. 3A and 3B show a semiconductor module cooler 1 manufactured by joining an aluminum plate 3 to a PPS resin molded product 2.
For joining the PPS resin molded product 2 and the aluminum plate 3 in the semiconductor module cooler 1, a mold for injection-molding the PPS resin molded product 2 on the aluminum plate 3 to which the elastic body 4 made of modified PE is applied in advance. It is set by injecting each member 2, 3, 4 while melting the modified PE, and then integrating them by injection molding.

アルミプレート3は、冷却水路5内に冷却フィン6が配置されるように、冷却フィン6を内側に向けた状態でPPS樹脂成形品2の所定位置に配置され、弾性体4を介して、PPS樹脂成形品2に対して接合(より詳しくは、射出溶着)されている。アルミプレート3から連続する冷却フィン6を冷却水路5中に配置することで、アルミプレート3に接する半導体モジュール10(図3では図示せず)から、より効率よく放熱がなされる。   The aluminum plate 3 is arranged at a predetermined position of the PPS resin molded product 2 with the cooling fins 6 facing inward so that the cooling fins 6 are arranged in the cooling water channel 5, and the PPS is interposed via the elastic body 4. Joined to the resin molded product 2 (more specifically, injection welding). By disposing the cooling fins 6 continuous from the aluminum plate 3 in the cooling water channel 5, heat can be radiated more efficiently from the semiconductor module 10 (not shown in FIG. 3) in contact with the aluminum plate 3.

また、図3(a)に示すように、本実施形態で示す半導体モジュール冷却器1では、PPS樹脂成形品2の上下両側の面にアルミプレート3・3を配置する構成としている。尚、図3(b)では、下面側のアルミプレート3の図示は省略している。   Further, as shown in FIG. 3A, the semiconductor module cooler 1 shown in the present embodiment has a configuration in which the aluminum plates 3 and 3 are arranged on both upper and lower surfaces of the PPS resin molded product 2. In addition, in FIG.3 (b), illustration of the aluminum plate 3 of a lower surface side is abbreviate | omitted.

PPS樹脂成形品2の上下両側の面にアルミプレート3・3を配置した半導体モジュール冷却器1は、図4に示すように、複数個を積層した状態で使用することができる。尚、図4では、弾性体4および冷却フィン6の図示を省略している。   The semiconductor module cooler 1 in which the aluminum plates 3 and 3 are arranged on both the upper and lower surfaces of the PPS resin molded product 2 can be used in a state where a plurality of the laminated plates are stacked as shown in FIG. In FIG. 4, illustration of the elastic body 4 and the cooling fin 6 is omitted.

図4に示す如く、半導体モジュール冷却器1は、PPS樹脂成形品2の上下両側の面にアルミプレート3・3を配置する構成(図3(a)参照)としており、積層した一対の半導体モジュール冷却器1・1の間において、半導体モジュール10・10・・・を配置するための空間(モジュール配置部7)が形成される。そして、モジュール配置部7に半導体モジュール10を配置することにより、半導体モジュール10・10・・・からの排熱を、上下2方向から効率よく行うことが可能になる。   As shown in FIG. 4, the semiconductor module cooler 1 has a configuration (see FIG. 3A) in which aluminum plates 3 and 3 are arranged on both upper and lower surfaces of a PPS resin molded product 2, and a pair of stacked semiconductor modules. Between the coolers 1 and 1, spaces (module placement portions 7) for placing the semiconductor modules 10, 10... Are formed. Then, by disposing the semiconductor module 10 in the module disposition portion 7, it becomes possible to efficiently exhaust heat from the semiconductor modules 10, 10.

即ち、図3(a)(b)に示す半導体モジュール冷却器1は、図4に示すように、複数個を積層しヘッダー状に組み合わせることで、一連の冷却水路5を形成することができ、省スペース化を実現しながら、複数の半導体モジュール10・10・・・を、一度に効率よく冷却することができる半導体モジュール冷却器群として構成することができる。   That is, as shown in FIG. 4, the semiconductor module cooler 1 shown in FIGS. 3 (a) and 3 (b) can form a series of cooling water channels 5 by laminating a plurality and combining them in a header shape. A plurality of semiconductor modules 10, 10... Can be configured as a semiconductor module cooler group capable of efficiently cooling at a time while realizing space saving.

次に、PPS樹脂成形品2とアルミプレート3の剥離強度の確認結果について、図5を用いて説明をする。
図5(a)に示す剥離強度の測定結果は、図5(b)に示すようなPPS材とアルミ板を、直接積層した(即ち、弾性体4が無い)場合と弾性体4を介して積層した(即ち、弾性体4が有る)場合の2種類のテストピースを用いて、JISK6829に基づいて接着強度(剥離強度)の測定を行ったものである。
テストピースに用いたPPS材とアルミ板は、幅25mm、長さ100mmの共通した大きさであり、両材を長さ方向に12.5mmラップさせた状態で射出溶着させて得たものである。
Next, the confirmation result of the peel strength between the PPS resin molded product 2 and the aluminum plate 3 will be described with reference to FIG.
The peel strength measurement results shown in FIG. 5 (a) are obtained when the PPS material and the aluminum plate as shown in FIG. 5 (b) are directly laminated (that is, there is no elastic body 4) and through the elastic body 4. The adhesive strength (peeling strength) was measured based on JISK6829 using two types of test pieces in the case of being laminated (that is, having the elastic body 4).
The PPS material and the aluminum plate used for the test piece have a common size of 25 mm in width and 100 mm in length, and are obtained by injection welding in a state where both materials are wrapped 12.5 mm in the length direction. .

そして、図5(a)によると、弾性体4が有る場合の剥離強度は約11.2MPaであり、弾性体4が無い場合の剥離強度は約0.4MPaであることから、弾性体4が有る場合の剥離強度が、無い場合に比して約28倍となっている。
本発明の一実施形態に係る半導体モジュール冷却器1は、PPS樹脂成形品2とアルミプレート3の間に弾性体4を介設して接合する構成としており、従来に比してPPS樹脂成形品2とアルミプレート3の剥離強度の大幅な改善を実現するものであるが、上記測定結果から、このような改善効果が得られることの裏付けが得られた。
According to FIG. 5A, the peel strength when the elastic body 4 is present is approximately 11.2 MPa, and the peel strength when the elastic body 4 is absent is approximately 0.4 MPa. The peel strength when present is about 28 times that when there is no peel strength.
A semiconductor module cooler 1 according to an embodiment of the present invention has a configuration in which an elastic body 4 is interposed between a PPS resin molded product 2 and an aluminum plate 3, and is bonded to a PPS resin molded product as compared with the conventional one. 2 and the aluminum plate 3 can be greatly improved in peel strength. From the above measurement results, it was confirmed that such an improvement effect was obtained.

また、剥離強度の測定以外にも、PPS材とアルミ板の溶着面の状態を確認した。
PPS材とアルミ板の溶着面の状態確認は、超音波探傷検査により行った。
超音波探傷検査の結果によると、弾性体4が無い場合には、溶着面に空隙部が生じている様子が確認できたが、弾性体4が有る場合には、溶着面に空隙部の存在は認められなかった。溶着面に空隙部が生じていると、接合面積の減少による剥離強度の低下が生じると考えられるが、弾性体4を設けた場合には、接合面積の減少が生じないため、剥離強度の確保が確実になると考えられる。
即ち、斯かる超音波探傷検査による確認結果からも、弾性体4を介してPPS樹脂成形品2とアルミプレート3を接合することの有効性が裏付けられた。
Moreover, the state of the welding surface of a PPS material and an aluminum plate was confirmed besides the measurement of peeling strength.
The state of the welded surface between the PPS material and the aluminum plate was confirmed by ultrasonic inspection.
According to the results of the ultrasonic flaw detection, it was confirmed that when there was no elastic body 4, a void was formed on the weld surface, but when there was an elastic body 4, there was a void on the weld surface. Was not recognized. If there is a void in the weld surface, it is considered that the peel strength is reduced due to the reduction in the bonding area. However, when the elastic body 4 is provided, the reduction in the bonding area does not occur. Will be certain.
That is, the effectiveness of joining the PPS resin molded product 2 and the aluminum plate 3 via the elastic body 4 was confirmed also from the confirmation result by the ultrasonic flaw detection.

即ち、本発明の一実施形態に係る半導体モジュール冷却器1は、溝部2aが形成されたPPS樹脂成形品2と、溝部2aを覆うアルミプレート3と、を備え、溝部2aとアルミプレート3によって冷却水路5が形成され、冷却水路5に流通する冷却媒体によって、アルミプレート3に接する半導体モジュール10を冷却するものであって、PPS樹脂成形品2とアルミプレート3を、弾性体4を介して接合するものである。
このような構成により、PPS樹脂成形品2とアルミプレート3を直接接合した場合に比して、PPS樹脂成形品2に対するアルミプレート3の剥離強度を増大させることができる。
That is, the semiconductor module cooler 1 according to an embodiment of the present invention includes a PPS resin molded product 2 in which a groove 2a is formed and an aluminum plate 3 that covers the groove 2a, and is cooled by the groove 2a and the aluminum plate 3. A water channel 5 is formed to cool the semiconductor module 10 in contact with the aluminum plate 3 by a cooling medium flowing through the cooling water channel 5, and the PPS resin molded product 2 and the aluminum plate 3 are joined via the elastic body 4. To do.
With such a configuration, the peel strength of the aluminum plate 3 with respect to the PPS resin molded product 2 can be increased as compared with the case where the PPS resin molded product 2 and the aluminum plate 3 are directly joined.

1 半導体モジュール冷却器
2 PPS樹脂成形品
2a 溝部
3 アルミプレート
4 弾性体
5 冷却水路
10 半導体モジュール
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Semiconductor module cooler 2 PPS resin molded product 2a Groove part 3 Aluminum plate 4 Elastic body 5 Cooling water channel 10 Semiconductor module

Claims (1)

溝部が形成されたPPS樹脂成形品と、前記溝部を覆うアルミプレートと、を備え、
前記溝部と前記アルミプレートによって冷却水路が形成され、
前記冷却水路に流通する冷却媒体によって、前記アルミプレートに接する半導体モジュールを冷却する半導体モジュール冷却器であって、
前記PPS樹脂成形品と前記アルミプレートを、
弾性体を介して接合する、
ことを特徴とする半導体モジュール冷却器。
A PPS resin molded product in which a groove is formed, and an aluminum plate that covers the groove,
A cooling water channel is formed by the groove and the aluminum plate,
A semiconductor module cooler that cools the semiconductor module in contact with the aluminum plate by a cooling medium flowing through the cooling water channel,
The PPS resin molded product and the aluminum plate,
Joining via elastic body,
A semiconductor module cooler characterized by that.
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