JP2015229165A - 複合体大量合成装置、複合体合成装置用反応器及びこれを用いた複合体合成方法 - Google Patents

複合体大量合成装置、複合体合成装置用反応器及びこれを用いた複合体合成方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2015229165A
JP2015229165A JP2015113403A JP2015113403A JP2015229165A JP 2015229165 A JP2015229165 A JP 2015229165A JP 2015113403 A JP2015113403 A JP 2015113403A JP 2015113403 A JP2015113403 A JP 2015113403A JP 2015229165 A JP2015229165 A JP 2015229165A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sample
reactor
composite
metal
complex
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2015113403A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6106212B2 (ja
Inventor
キム ヒ−ヨン
Hee Yeon Kim
キム ヒ−ヨン
クウォン グク−ヒョン
Guk-Hyeon Kwon
クウォン グク−ヒョン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Korea Institute of Energy Research KIER
Original Assignee
Korea Institute of Energy Research KIER
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Korea Institute of Energy Research KIER filed Critical Korea Institute of Energy Research KIER
Publication of JP2015229165A publication Critical patent/JP2015229165A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6106212B2 publication Critical patent/JP6106212B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J37/00Processes, in general, for preparing catalysts; Processes, in general, for activation of catalysts
    • B01J37/02Impregnation, coating or precipitation
    • B01J37/0215Coating
    • B01J37/0225Coating of metal substrates
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J12/00Chemical processes in general for reacting gaseous media with gaseous media; Apparatus specially adapted therefor
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J12/00Chemical processes in general for reacting gaseous media with gaseous media; Apparatus specially adapted therefor
    • B01J12/02Chemical processes in general for reacting gaseous media with gaseous media; Apparatus specially adapted therefor for obtaining at least one reaction product which, at normal temperature, is in the solid state
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J19/00Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J19/02Apparatus characterised by being constructed of material selected for its chemically-resistant properties
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J19/00Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J19/06Solidifying liquids
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J19/00Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J19/24Stationary reactors without moving elements inside
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J19/00Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J19/26Nozzle-type reactors, i.e. the distribution of the initial reactants within the reactor is effected by their introduction or injection through nozzles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J4/00Feed or outlet devices; Feed or outlet control devices
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J4/00Feed or outlet devices; Feed or outlet control devices
    • B01J4/02Feed or outlet devices; Feed or outlet control devices for feeding measured, i.e. prescribed quantities of reagents
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2204/00Aspects relating to feed or outlet devices; Regulating devices for feed or outlet devices
    • B01J2204/002Aspects relating to feed or outlet devices; Regulating devices for feed or outlet devices the feeding side being of particular interest
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2204/00Aspects relating to feed or outlet devices; Regulating devices for feed or outlet devices
    • B01J2204/007Aspects relating to the heat-exchange of the feed or outlet devices
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00049Controlling or regulating processes
    • B01J2219/00051Controlling the temperature
    • B01J2219/00074Controlling the temperature by indirect heating or cooling employing heat exchange fluids
    • B01J2219/00105Controlling the temperature by indirect heating or cooling employing heat exchange fluids part or all of the reactants being heated or cooled outside the reactor while recycling
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/02Apparatus characterised by their chemically-resistant properties
    • B01J2219/025Apparatus characterised by their chemically-resistant properties characterised by the construction materials of the reactor vessel proper
    • B01J2219/0254Glass
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/02Apparatus characterised by their chemically-resistant properties
    • B01J2219/025Apparatus characterised by their chemically-resistant properties characterised by the construction materials of the reactor vessel proper
    • B01J2219/0277Metal based
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/02Apparatus characterised by their chemically-resistant properties
    • B01J2219/025Apparatus characterised by their chemically-resistant properties characterised by the construction materials of the reactor vessel proper
    • B01J2219/0277Metal based
    • B01J2219/0286Steel
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/19Details relating to the geometry of the reactor
    • B01J2219/194Details relating to the geometry of the reactor round
    • B01J2219/1941Details relating to the geometry of the reactor round circular or disk-shaped
    • B01J2219/1946Details relating to the geometry of the reactor round circular or disk-shaped conical

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)
  • Catalysts (AREA)

Abstract

【課題】多重金属又は金属-炭素ハイブリッド粒子のような異種複合体の粉末状大量生産及び応用拡大のために、従来よりも単純な同時気化工程を経て複合体粉末を効果的に合成できる複合体大量合成装置、その反応器及びこれを用いた複合体合成方法を提供する。
【解決手段】2つ以上の試料を気化器でそれぞれ気化させた後、気体状態の試料が伝送される連結管に比べて大きな寸法の横断面直径を有し、連結管の温度よりも低い温度に維持される反応器に試料を流入させ、粉末状の複合体を生成し、生成された複合体を被着面に静電気的に付着された状態で合成する。その結果、多重金属又は金属-炭素ハイブリッド粒子のような異種複合体の大量生産が可能であり、合成された複合体を容易に回収して他の工程に適用できる。また、連結管の直径と複合体粒子が合成される反応器の横断面の直径を調節することで、金属板の表面に合成される複合体粒子の量を容易に制御できる。
【選択図】図1

Description

本発明は、多重金属ハイブリッド複合体又は金属-炭素異種複合体などの合成装置、複合体合成装置用反応器及びこれを用いた複合体合成方法に関し、更に詳しくは、互いに異なる2つ以上の成分からなる粉末状複合体を被着面に静電気的に付着された状態で合成するための複合体大量合成装置、複合体合成装置用反応器及びこれを用いた複合体合成方法に関する。
近年、触媒研究分野において多重金属触媒を効果的に合成するために触媒支持体の表面に金属触媒粒子を効果的にデコレーションする分野や、多重金属触媒粒子を効果的に合金化して反応活性や耐久性を向上させる分野が注目を浴びている。また、炭素を基盤としたナノ金属触媒構造体を合成して反応活性や耐久性を向上させ、反応後に炭素成分を焼却して金属成分を回収又はリサイクルする技術も注目されている。
このような複合体を合成する技術として、下記の特許文献1には、イオン溶液状態で混合してリチウムマンガン酸化物-炭素ナノ複合体を製造する技術が開示されている。しかし、このような方法は、複合体の合成のために、溶液反応、結晶の成長、テンプレート成分の除去のための強酸、強アルカリ処理工程及び合金化のための熱処理など複数の工程を経なければならないという問題があった。
そのため、本発明者らは、従来よりも単純な同時気化工程を経て金属-炭素ハイブリッド粒子のような異種複合体を合成する方法及び合成装置に関する技術を下記の特許文献2及び特許文献3として出願した。
更に、本発明者らは、前記のような異種複合体粒子の大量生産及び応用拡大のために、多重金属又は金属-炭素ハイブリッド粒子のような異種複合体を大量生産できる装置及び方法を開発するに至った。前記開発された装置及び方法によれば、今後、粉末状複合体の使用や複合体粉末が分散されたペーストなどの製造に有利であることが期待される。また、このような工程で合成された多重金属又は金属-炭素ハイブリッド粒子は、気相反応用触媒、燃料電池及び二次電池の電極素材として活用が容易であり、使用後の簡単な焼却だけで高価な金属成分を100%回収できるという長所を有している。
韓国公開特許第10-2011-0139994号公報 韓国公開特許第10-2013-0122102号公報 韓国公開特許第10-2013-0122299号公報
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであって、その目的は、多重金属又は金属-炭素ハイブリッド粒子のような異種複合体の粉末状大量生産及び応用拡大のために、従来よりも単純な同時気化工程を経て複合体粉末を効果的に合成できる複合体大量合成装置、複合体合成装置用反応器及びこれを用いた複合体合成方法を提供することにある。
前記目的を達成するために、本発明に係る複合体大量合成装置は、合成するための第1試料を気化させる第1気化器と、前記第1試料と合成するための第2試料を気化させる第2気化器と、前記第1気化器を加熱する第1加熱器と、前記第2気化器を加熱する第2加熱器と、前記第1気化器及び前記第2気化器と反応器を連結する連結管と、前記第1気化器及び前記第2気化器でそれぞれ気化された前記第1試料及び前記第2試料が流入して複合体が合成される前記反応器を備える複合体合成装置であって、前記反応器は、前記連結管に比べて相対的に大きな寸法の横断面直径を有し、前記連結管の温度よりも低い温度に維持され、前記連結管から前記反応器に気体状態の前記第1試料および前記第2試料が流入するとき、瞬間的に圧力差と温度差によって気体状態の前記第1試料および前記第2試料が分散されながら粉末状の複合体が生成され、生成された粉末状の前記複合体が被着面に静電気的に付着された状態で合成されることを特徴とする。
一実施形態において、前記反応器の下部には、硝子類からなる板又は金属板が更に設置され、前記生成された粉末状の前記複合体は、前記硝子類からなる板又は金属板上に静電気的に付着され得る。この場合、前記反応器の下部には、石英又は炭素素材のフィルタが更に設置され、前記硝子類からなる板又は金属板は、前記フィルタの上部に装着されるようになされ得る。
一方、他の実施形態において、前記生成された粉末状複合体が静電気的に付着される被着面は、硝子類又は金属類からなる反応器の内部壁面全体であり得る。
前記2つの実施形態において、反応器の横断面の直径は、前記連結管の直径よりも15倍以上大きいことが好ましく、例えば前記連結管の直径は約3mmであり、前記反応器の直径は約50mmとなるように構成できる。
また、前記反応器の周囲には加熱炉が更に備えられることができ、前記反応器の内部は、60℃以下に維持されるようにすることが好ましい。また、前記連結管には、前記連結管を介して反応器に伝送される気体状態の第1試料及び第2試料を一定温度に維持するための熱線が更に備えられ、前記連結管の内部は、60〜250℃に維持されることが好ましい。
前記反応器は、石英、パイレックス(登録商標)などの硝子類やステンレス、アルミニウムなどの金属類などからなり得る。また、複合体を形成する前記第1試料及び第2試料は、それぞれ互いに異なる2種類の金属、又はそれぞれ金属及び炭素であり得る。
前記反応器に第1試料と第2試料の反応に必要な反応気体供給器が更に含まれ得、前記反応器から流出される排ガスを前記反応器に再び供給するリサイクル器が更に含まれ得る。また、前記第1気化器及び第2気化器に第1試料及び第2試料を気化させるためのガスを供給するガス供給器が更に備えられることができる。
また、本発明の合成装置において、前記第1気化器又は第2気化器は、試料が収容される本体部と、前記本体部の一側に形成され、試料が供給される試料供給部と、前記本体部の一側に形成され、前記試料を気化させるためのガスが供給されるガス供給部と、前記本体部の上部に形成され、前記試料が気化されて排出される排出部とを含む構成からなる。ここで、前記本体部は、パイレックス(登録商標)又は石英素材の硝子類又は金属素材で形成され得る。また、前記ガス供給部又は排出部には、試料が空気と接触しないようにするストップコック(stopcock)が備えられることができる。
一方、前記目的を達成するために、本発明に係る複合体大量合成装置用反応器は、気体状態の第1試料及び第2試料が通過する連結管と連結されて気体状態の第1試料及び第2試料が流入する流入部と、前記連結管に比べて相対的に大きな寸法の直径を有し、連結管の温度よりも低い温度に維持され、前記連結管から本体に気体状態の第1試料及び第2試料が流入するとき、瞬間的に圧力差及び温度差によって気体状態の第1試料及び第2試料が分散されながら粉末状複合体の生成反応がなされ、前記生成された粉末状複合体が被着面に静電気的に付着されるようになされる本体と、複合体の生成反応後に排ガスが排出される排出部と、を含むことを特徴とする。
一実施形態において、前記反応器本体の下部には、硝子類からなる板又は金属板が更に設置され、前記生成された粉末状複合体は、前記硝子類からなる板又は金属板上に静電気的に付着され得る。この場合、前記反応器の下部には、石英又は炭素素材のフィルタが更に設置され、前記硝子類からなる板又は金属板は、前記フィルタの上部に装着されるようになされ得る。
一方、他の実施形態において、前記生成された粉末状複合体が静電気的に付着される被着面は、反応器の内部壁面全体であり得る。反応器の素材としては、石英、パイレックス(登録商標)などの硝子類やステンレス、アルミニウムなどの金属類などが使用され得る。
前記2つの実施形態において、反応器の流入部は、連結管から本体に向かって横断面の直径が次第に大きくなる形状からなることが好ましい。また、反応器の横断面の直径は、前記連結管の直径よりも15倍以上大きいことが好ましく、例えば前記連結管の直径は約3mmであり、前記反応器の直径は約50mmとなるように構成できる。
また、前記反応器の周囲には、加熱炉が更に備えられ、前記反応器の内部は、60℃以下に維持されることが好ましい。
複合体を形成する前記第1試料及び第2試料は、それぞれ互いに異なる2種類の金属であり得、又はそれぞれ金属及び炭素であり得る。
一方、本発明の目的を達成するために、前述した構成の複合体大量合成装置による複合体の合成方法は、第1試料を加熱して気化する第1試料の気化工程と、第2試料を加熱して気化する第2試料の気化工程と、前記気化された第1試料及び第2試料が連結管を介して反応器の内部に流入する工程と、前記流入した気体状態の第1試料及び第2試料が連結管と反応器間の圧力差及び温度差によって分散されながら粉末状複合体が生成される工程と、前記生成された複合体が被着面に静電気的に付着される工程とを含むことを特徴とする。ここで、前記被着面は、硝子類からなる板又は金属板であるか、このような板構造が反応器内に設置されていない場合には、硝子類又は金属類からなる反応器の内部壁面全体であり得る。
前記複合体の合成方法には、前記反応器から流出される排ガスを再び前記反応器に供給するリサイクル工程が更に含まれ得る。また、前記第1試料の気化工程及び第2試料の気化工程はそれぞれ、前記気化器に試料を気化させるためのガスが供給されるガス供給工程を更に含むことができる。更に、前記粉末状複合体の生成工程は、前記反応器に第1試料と第2試料の反応に必要な反応気体を供給する工程を更に含むことができる。前記複合体の合成方法において、前記第1試料及び第2試料は、それぞれ互いに異なる2種類の金属であるか、又はそれぞれ金属及び炭素であり得る。
本発明に係る複合体大量合成装置、反応器及びこれを用いた合成方法によれば、金属-金属又は金属-炭素ハイブリッド粒子のような異種複合体を被着面に化学的結合なしに静電気的に付着された状態で合成できるようになるので、複合体の大量生産が可能であり、簡単な捕集作業だけで合成された複合体を容易に回収して他の工程に適用できるようになるという利点がある。また、気体状態の前駆体が伝送される連結管の直径と複合体粒子が合成される反応器の横断面の直径を調節することで、合成される複合体粒子の量を容易に制御できるという効果を奏する。
また、2種類以上の気体状態の前駆体を流しながら反応器の温度を調節するだけで、多重金属ハイブリッド複合体や金属-炭素異種複合体などを効果的に合成でき、複合体の性状を制御できるという効果があり、複合体合成装置の簡単なスケール変化だけでも別途の設計がなくても複合体を大量に生産できるという効果がある。
更に、本発明によれば、多重金属や金属-炭素異種複合体を製造でき、その適用範囲が金属及び炭素を基盤とした各種吸着剤、吸収剤、気体及び液体分離膜や各種触媒工程に広範囲に適用が可能であり、金属成分の変化や炭素構造の変化を通じてその適用対象を具体化できるという効果がある。
本発明の複合体合成装置を示すブロック図である。 本発明の複合体合成装置用反応器の断面を示す図である。 本発明の複合体合成装置用反応器の斜視図である。 本発明の複合体合成装置により中央ホールがある金属板の表面に生成された金属-炭素ナノ複合体の性状を示す図である。 本発明の複合体合成装置により金属板の表面に生成された金属-炭素異種複合体の走査電子顕微鏡の分析結果を示す図である。 本発明の複合体合成装置により金属板の表面に生成された白金-炭素異種複合体の透過電子顕微鏡の分析結果を示す図である。
本発明の好適な実施形態について、添付の図1〜図5に示す図面を参照して更に具体的に説明する。
図1に示すように、本発明に係る粉末状複合体の合成装置100は、第1気化器110、第2気化器120、第1加熱器130、第2加熱器140、反応器160、反応気体供給器170、ガス供給器180及びリサイクル器190を含んで構成され得る。
第1気化器110及び第2気化器120は、本体部112、試料供給部114、ガス供給部116、排出部118及びストップコック(stopcock、SC)を含んで構成され得る。
本体部112は、内部に試料が収容され得るように空間が形成され、内部試料の状態及び残量を確認できるように透明な素材を用いることが好ましいが、圧力調節及び耐久性の向上のために金属素材で成形された反応器を用いることもできる。そして、本発明に用いられる試料は前駆体であって、有機物や金属と反応を起こし得る前駆体を用いる場合には、それに適した安定した素材を用いることが好ましい。それにより、本発明の実施形態では、パイレックス(登録商標)や石英素材などの硝子類を採択できる。
試料供給部114は、本体の一側に連結形成され、外部から試料を供給できるように形成される。そして、試料供給部114の端部には、本体部112の内部を密閉するために密閉器114aを装着できる。密閉器114aは、テフロン(登録商標)素材などの隔壁(septum)が形成され得る。
本発明の第1気化器110及び第2気化器120に供給される試料は、固体相の前駆体及び液体相の前駆体が試料として利用され得る。このうち、固体相の前駆体を第1気化器110や第2気化器120に供給する場合には、密閉器114aを試料供給部114から分離した後、粉末形態の固体前駆体を入れて再び密閉器114aを試料供給部114に装着する。このようにすることで、固体相の前駆体を第1気化器110や第2気化器120に供給し、本体部112の内部が外部空気と接触しないようにする。
そして、液体相の前駆体を第1気化器110や第2気化器120に供給する場合には、本体部112の内部を窒素雰囲気にした後に密閉器114aに形成されたテフロン(登録商標)素材の隔壁(septum)を通じて気密シリンジなどを用いて液体相の前駆体を本体部112の内部に供給できる。
ガス供給部116は、ガス供給器から供給されたガスが本体部112の内部に供給されるようにするためのものであって、本体部112の上部に連結形成される。この際に供給されるガスは、固体状態や液体状態の第1試料や第2試料を気化させるために供給されるガスである。
排出部118は、気化された試料が排出される部分であって、本体部112の上部に連結形成される。そのため、排出部118は反応器160と連結され、本体部112で気化された試料が排出部118を介して反応器160に移動され得る。
ストップコック(SC)は、ガス供給部116及び排出部118にそれぞれ備えられる。そのため、ストップコック(SC)は、本体部112の内部をガス供給器や反応器160と遮断できる。これは、試料として用いられる金属又は炭化水素系有機物前駆体が空気と接触すれば変質されるおそれがあるためであり、試料が本体部112に供給される前後に外部空気と試料が接触するのを防止する。
即ち、液体相の前駆体を本体部112に供給する場合、本体部112の内部を窒素雰囲気にするとき、ガス供給器から供給された窒素がガス供給部116を介して本体部112の内部に供給された後は、ガス供給部116に装着されているストップコック(SC)が閉鎖され、これ以上窒素が供給されないようにする。このとき、排出部118に装着されているストップコック(SC)は、閉じられている状態であることが好ましい。
そして、試料が気化された後は、排出部118に装着されているストップコック(SC)を開放し、気化された試料が反応器160に移動され得るようにする。
ここで、第1気化器110に供給される試料を第1試料、第2気化器120に供給される第2試料とし、第1試料及び第2試料は互いに反対に供給され得、互いに異なる金属や金属、炭化水素系有機物成分を有する試料であり得る。
一方、第1気化器110及び第2気化器120を加熱するために、第1加熱器130及び第2加熱器140が備えられることができる。本実施形態では、オーブン(oven)型加熱器が採択された場合を例示的に示した。
即ち、第1加熱器130及び第2加熱器140は、第1気化器110又は第2気化器120を内部に収容できる空間を有する本体部132と、本体部132の内部側面に形成され、外部から電力の供給を受けて熱を発生させて本体部132の内部を加熱する熱線部134、及び本体部132内部の空気を循環させるファン136を含んで構成され得る。前記ファン136を介して気化器を収容する本体部132内部の温度が常に一定に維持され得る。
前記のように、第1加熱器130及び第2加熱器140の内部に第1気化器110及び第2気化器120をそれぞれ位置させて加熱することで、加熱炉やジャケット形式で製作されたヒーティングマントル(heating mantle)、等温に維持されるヒーティングバス(heating bath)に気化器を浸して用いる場合よりも第1気化器110及び第2気化器120の本体部112だけでなく、試料供給部114、ガス供給部116及び排出部118までも一定の温度に加熱できる。更に、加熱炉のように温度偏差が発生しないようにして気化器の素材によって比熱差による温度の変動が発生しないようにすることができ、約100℃以下の低い温度でも容易に温度を制御できる。
そして、第1気化器110及び第2気化器120でそれぞれ気化された試料は、連結管150を介して反応器160に伝送される。即ち、連結管150の一側は第1気化器110及び第2気化器120の排出口と連結され、他側は反応器160と連結される。そして、連結管150には熱線HLが形成されて連結管150を加熱することで、第1気化器110及び第2気化器120での温度が維持された状態で反応器160まで移動できるようにする。
これは、気体状態の試料が連結管150を介して移動するとき、移動する過程で凝縮現象なしに反応器160まで移動しなければならないためである。そのため、連結管150の温度は、第1加熱器130及び第2加熱器140で加熱した温度と同一であることが好ましく、連結管150は、最大限短く形成されることが好ましい。
反応器160は、第1気化器110及び第2気化器120で気化された気体状態の試料が捕集される部分であって、反応器160の入口には、第1気化器110及び第2気化器120から気化された試料以外に試料を反応させるための反応気体が反応気体供給器170から供給され得る。この反応気体は、酸素や水素などが利用され、酸素や水素などの反応気体により凝集又は副反応が起こり得る場合には窒素が使用され得る。
図2Aに本発明の複合体合成装置に用いられる反応器の断面構造を示し、図2Bに前記反応器の形状を斜視図として示した。図2A及び図2Bに示すように、本発明の反応器160は大きく、連結管150と連結されて気体状態の第1試料及び第2試料が流入する流入部160-1、気体状態の第1試料及び第2試料の複合体合成反応が起きる本体160-2、複合体の生成反応後に排ガスが排出される排出部160-3に区分され得る。また、図2Aに示すように、連結管150と反応器160は、密閉器155を介在させて固定連結され得る。
具体的に、本発明の反応器160は、気体状態の第1試料と第2試料が流入するとき、ノズル効果によって金属-炭素ハイブリッドのような異種複合体が生成され、生成された複合体は、被着面に静電気的に付着された状態で合成され得る構造及び温度条件を備える構成からなる。即ち、反応器本体160-2は、連結管150の直径Aに比べて相対的に大きな寸法の横断面直径Bを有し、気体状態の第1試料と第2試料が運搬される連結管の温度よりも低い温度に維持されなければならない。
また、生成された多重金属又は金属-炭素ハイブリッド粒子を静電気的に付着された状態で合成するために、図2Aに示すように、反応器本体160-2の下部には、硝子類又は金属素材の板162が設置され得る。この場合、前記硝子類又は金属素材の板162は、本体の下部に反応生成物を捕集するために設置された石英又は炭素フィルタ164の上に装着され得る。選択的に、反応器本体の下部に硝子類又は金属素材の板を設置せず、反応器を石英、パイレックス(登録商標)などの硝子類又はステンレス、アルミニウムなどの金属類素材で構成して生成された複合体が前記反応器の内部壁面全体に静電気的に付着されるようにすることも可能である。
更に、反応器内で特定方向にノズル効果を発生させ、その方向に対面する被着面に複合体を合成するために、連結管の端部から反応器の流入部に該当する区間に特定方向に誘導管を延設するか、反応器の構造を多様に変形できる。例えば、図2の実施形態では、反応器流入部が下方へ対称的に傾斜しているが、設定しようとするノズルの方向によって反応器流入部の構造を非対称的に形成してもよく、反応器流入部の構造によって本体の構造も多様に変更できる。
一方、本発明に係る反応器本体の横断面の内部直径Bは、連結管の内部直径Aよりも15倍以上大きな寸法で形成することが好ましい。例えば、連結管150の内部直径Aは約3mm、本体160-2横断面の内部直径Bは約50mmで形成されることができ、この場合、反応器の全長は約50mm、硝子素材の板又は金属板の直径は40mm前後で構成できる。しかし、連結管と反応器本体の寸法は、前記特定数値に限定されるものではないため、金属-金属又は金属-炭素ハイブリッド粒子のような異種複合体を生成できるノズル効果を誘導できる寸法であれば、制限なしに適用され得る。従って、連結管の直径と複合体粒子が合成される反応器本体の横断面の直径を調節することで、硝子素材の板又は金属板の表面、又は反応器の内部壁面のような被着面に合成される複合体粒子の量を容易に制御できる。
また、本体160-2の内部温度は、連結管よりも低い温度、例えば、60℃以下に維持されることが好ましく、気化された試料の反応がなされ得るように反応器本体の温度を一定に維持するために、反応器の周囲には加熱炉が備えられることができる。気体状態の第1試料及び第2試料を運搬する連結管の内部は、60〜250℃に維持されることが好ましい。
このような構成で、連結管150から本体160-2に気体状態の第1試料及び第2試料が流入するとき、細い管を介して伝送された気体が相対的に広い断面の反応器本体で広がる効果、即ち、ノズル効果が発生するようになる。また、これと同時に気体状態で伝送された第1試料及び第2試料が瞬間的にノズル効果によって連結管に比べて相対的に低い温度に維持される反応器本体の内部に分散されながら、ナノ規模の複合体粒子が生成される。このとき、生成された複合体粒子は、本体の下部に設置された硝子素材の板又は金属板の表面、又は前記板構造が設置されていない場合には、硝子又は金属素材の反応器の内部壁面のような被着面にファンデルワールス(Van der Waals)力によって静電気的に付着される。これにより、金属-炭素ハイブリッド粒子のような異種複合体を被着面との化学的結合なしに被着面に静電気的に付着された状態で合成できるようになる。
本発明に係る反応器160は、金属素材を成形するか、又は硝子類の反応器を用いることが可能であるが、合成された複合体粒子と親和力がなく、且つ、反応器の内部を観察できるように石英ガラス又はパイレックス(登録商標)素材が用いられることが好ましい。このように反応器を硝子類素材で構成し、反応器の下部に金属素材の板を設置する場合、合成された複合体粒子が反応器の壁面に付着されることなく、合成された全量が金属素材の板上に付着され得るという利点がある。また、特に制限されるものではないが、前記金属素材としては、アルミニウム、ニッケル、シリコン及びアルミニウムにニッケル、マグネシウム、鉄、シリコン、硫黄元素が含まれている合金の中から選択された何れか1つを用いることができる。
このように本発明に係る粉末状複合体の合成装置、反応器及びこれを用いた合成方法によれば、金属-金属、金属-炭素ハイブリッド粒子のような異種複合体を被着面との化学的結合なしに硝子類からなる板又は金属板、又は硝子類又は金属類からなる反応器の内部壁面に静電気的に付着された状態で合成できるようになるので、複合体の大量生産が可能であり、合成された複合体を容易に回収して他の工程に適用できるようになる。
一方、特に制限されるものではないが、反応器160上部の流入部160-1は、連結管150から本体160-2に向かってその横断面の直径が次第に大きくなる形状で構成し、気体状態の試料が連結管から反応器の本体に効果的に分散されるようにすることが好ましい。また、反応器160下部の排出部160-3は、下方へ行くほど横断面の直径が次第に小さくなる形状で構成し、複合体の合成後の排ガスが効果的に排出されるようにすることが好ましい。
反応気体供給器170は、反応器160に反応気体を供給するために備えられる。この際の反応気体は、気化された試料の反応を活性化するために、酸素、水素又は窒素であり得る。図1に示すように、第1気化器110及び第2気化器120で気化された試料は、反応器160に到達する前に混合され、別途の経路を介して反応気体が反応気体供給器170を介して流入する。
ガス供給器180は、第1気化器110及び第2気化器120のガス供給部116と連結され、試料を気化させるためのガスが供給される。このとき、供給されるガスとしては、窒素が供給され得る。
一方、反応器160を通過して反応器160の排出部160-3を介して排出される排ガスを再び反応器160に供給するためにリサイクル器190が備えられることができる。リサイクル器190としては、ミニポンプ(recycling pump)やソレノイドバルブ(solenoid valve)が利用され、このようなリサイクル器190を介して排出される排ガスを再び反応器160に供給して排出される排ガスを再び反応させることができる。このとき、圧力の維持のためにリリースバルブ(release valve)などが追加で装着され得る。
前述した構成からなる複合体大量合成装置を用いて、中央ホールがある金属板の表面に生成された金属-炭素ナノ複合体の性状を図3に示した。また、図4には、本発明の複合体合成装置により硝子素材の板又は金属板の表面に生成された金属-炭素異種複合体の走査電子顕微鏡の分析結果を示し、図5には、金属板の表面に生成された白金-炭素異種複合体の透過電子顕微鏡の分析結果を示した。
以上、本発明に係る複合体大量合成装置の特徴的な構成を説明した。また、出願人の先出願第10-2012-0045516号(特許文献3)と重複する構成と関連してここに説明されていない内容は、前記先出願の内容を参照して理解され得る。
また、前記本発明に関する具体的な説明は、添付の図面を参照した実施形態によって行われたが、前述した実施形態は、本発明の好適な例を挙げて説明しただけであるので、本発明が前記実施形態にのみ限定されるものとして理解されてはならず、本発明の権利範囲は、後述する請求範囲及びその等価概念として理解されるべきである。
100 複合体合成装置
110 第1気化器
120 第2気化器
112 本体部
114 試料供給部
114a 密閉器
116 ガス供給部
118 排出部
SC ストップコック
130 第1加熱器
140 第2加熱器
132 本体部
134 熱線部
136 ファン
150 連結管
HL 熱線
160 反応器
162 金属板
164 フィルタ
A 連結管150の内部直径
B 反応器の内部直径
170 反応気体供給器
180 ガス供給器
190 リサイクル器

Claims (27)

  1. 合成するための第1試料を気化させる第1気化器と、
    前記第1試料と合成するための第2試料を気化させる第2気化器と、
    前記第1気化器を加熱する第1加熱器と、
    前記第2気化器を加熱する第2加熱器と、
    前記第1気化器及び前記第2気化器と反応器を連結する連結管と、
    前記第1気化器及び前記第2気化器でそれぞれ気化された前記第1試料及び前記第2試料が流入して複合体が合成される前記反応器を備える複合体合成装置であって、
    前記反応器は、前記連結管に比べて相対的に大きな寸法の横断面直径を有し、前記連結管の温度よりも低い温度に維持され、
    前記連結管から前記反応器に気体状態の前記第1試料および前記第2試料が流入するとき、瞬間的に圧力差と温度差によって気体状態の前記第1試料および前記第2試料が分散されながら粉末状の複合体が生成され、生成された粉末状の前記複合体が被着面に静電気的に付着された状態で合成されることを特徴とする複合体大量合成装置。
  2. 前記反応器の下部には、硝子類からなる板又は金属板が更に設置され、
    前記生成された粉末状の前記複合体は、前記硝子類からなる板又は金属板上に静電気的に付着されることを特徴とする請求項1に記載の複合体大量合成装置。
  3. 前記金属板は、アルミニウム、ニッケル、シリコン及びアルミニウムにニッケル、マグネシウム、鉄、シリコン、又は硫黄元素が含まれている合金の中から選択された何れか1つからなることを特徴とする請求項2に記載の複合体大量合成装置。
  4. 前記反応器の下部には、石英又は炭素素材のフィルタが更に設置され、前記硝子類からなる板又は金属板は、前記フィルタの上部に装着されることを特徴とする請求項2に記載の複合体大量合成装置。
  5. 前記反応器の横断面の直径は、前記連結管の直径よりも15倍以上大きいことを特徴とする請求項1に記載の複合体大量合成装置。
  6. 前記反応器の周囲には、加熱炉が更に備えられ、前記反応器の内部は、60℃以下に維持されることを特徴とする請求項1に記載の複合体大量合成装置。
  7. 前記連結管には、前記連結管を介して前記反応器に伝送される気体状態の前記第1試料及び前記第2試料を加熱するための熱線が更に備えられ、前記連結管の内部は、60〜250℃に維持されることを特徴とする請求項1に記載の複合体大量合成装置。
  8. 前記反応器の素材は、硝子類又は金属類であることを特徴とする請求項1に記載の複合体大量合成装置。
  9. 前記第1試料及び前記第2試料は、それぞれ互いに異なる2種類の金属であるか、それぞれ金属及び炭素であることを特徴とする請求項1に記載の複合体大量合成装置。
  10. 前記反応器に前記第1試料と前記第2試料の反応に必要な反応気体供給器を更に含むことを特徴とする請求項1に記載の複合体大量合成装置。
  11. 前記被着面は、硝子類又は金属類からなる前記反応器の内部壁面全体であることを特徴とする請求項1に記載の複合体大量合成装置。
  12. 前記反応器から流出する排ガスを前記反応器に再び供給するリサイクル器を更に含むことを特徴とする請求項1に記載の複合体大量合成装置。
  13. 前記第1気化器又は前記第2気化器は、
    試料が収容される本体部と、
    前記本体部の一側に形成され、前記試料が供給される試料供給部と、
    前記本体部の一側に形成され、前記試料を気化させるためのガスが供給されるガス供給部と、
    前記本体部の上部に形成され、前記試料が気化されて排出される排出部と
    を含むことを特徴とする請求項1に記載の複合体大量合成装置。
  14. 前記ガス供給部又は排出部には、試料が空気と接触しないようにするストップコック(stopcock)が備えられることを特徴とする請求項13に記載の複合体大量合成装置。
  15. 気体状態の第1試料及び第2試料が通過する連結管と連結されて気体状態の前記第1試料及び前記第2試料が流入する流入部と、
    前記連結管に比べて相対的に大きな寸法の横断面直径を有し、前記連結管の温度よりも低い温度に維持され、前記連結管から気体状態の前記第1試料及び前記第2試料が流入するとき、瞬間的に圧力差及び温度差によって気体状態の前記第1試料及び前記第2試料が分散されながら粉末状複合体の生成反応がなされ、前記生成された粉末状複合体が被着面に静電気的に付着するようになされる本体と、
    複合体の生成反応後に排ガスが排出される排出部と、
    を含むことを特徴とする複合体大量合成装置用反応器。
  16. 前記本体の下部には、硝子類からなる板又は金属板が更に設置され、
    前記生成された粉末状複合体は、前記硝子類からなる板又は金属板上に静電気的に付着されることを特徴とする請求項15に記載の複合体大量合成装置用反応器。
  17. 前記金属板は、アルミニウム、ニッケル、シリコン及びアルミニウムにニッケル、マグネシウム、鉄、シリコン、又は硫黄元素が含まれている合金の中から選択された何れか1つからなることを特徴とする請求項16に記載の複合体大量合成装置用反応器。
  18. 前記本体の下部には、石英又は炭素素材のフィルタが更に設置され、前記硝子類からなる板又は金属板は、前記フィルタの上部に装着されることを特徴とする請求項16に記載の複合体大量合成装置用反応器。
  19. 前記流入部は、前記連結管から前記本体に向かって横断面の直径が次第に大きくなる形状からなることを特徴とする請求項15に記載の複合体大量合成装置用反応器。
  20. 前記本体の横断面の直径は、前記連結管の直径よりも15倍以上大きいことを特徴とする請求項15に記載の複合体大量合成装置用反応器。
  21. 前記反応器の周囲には、加熱炉が更に備えられ、前記反応器の内部は、60℃以下に維持されることを特徴とする請求項15に記載の複合体大量合成装置用反応器。
  22. 前記反応器の素材は、硝子類又は金属類であることを特徴とする請求項15に記載の複合体大量合成装置用反応器。
  23. 前記第1試料及び前記第2試料は、それぞれ互いに異なる2種類の金属であるか、それぞれ金属及び炭素であることを特徴とする請求項15に記載の複合体大量合成装置用反応器。
  24. 前記被着面は、硝子類又は金属類からなる反応器の内部の壁面であることを特徴とする請求項15に記載の複合体大量合成装置用反応器。
  25. 請求項1乃至請求項14の何れか1項に記載の複合体大量合成装置による複合体の合成方法において、
    前記第1試料を加熱して気化する前記第1試料の気化工程と、
    前記第2試料を加熱して気化する前記第2試料の気化工程と、
    気化された前記第1試料及び前記第2試料が前記連結管を介して前記反応器の内部に流入させる工程と、
    前記流入した気体状態の前記第1試料及び前記第2試料が前記連結管と前記反応器間の圧力差及び温度差によって分散されながら粉末状の前記複合体を生成する工程と、
    生成された前記複合体が硝子類からなる板又は金属板、又は硝子類又は金属類からなる前記反応器の内部壁面全体に静電気的に付着させる工程と
    を備えることを特徴とする複合体の合成方法。
  26. 前記反応器から流出される排ガスを再び前記反応器に供給するリサイクル工程を更に含むことを特徴とする請求項25に記載の複合体の合成方法。
  27. 前記粉末状の複合体の生成工程は、
    前記反応器に前記第1試料と前記第2試料の反応に必要な反応気体を供給する工程を更に含むことを特徴とする請求項25に記載の複合体の合成方法。
JP2015113403A 2014-06-03 2015-06-03 複合体大量合成装置、複合体合成装置用反応器及びこれを用いた複合体合成方法 Active JP6106212B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140067439A KR101688512B1 (ko) 2014-06-03 2014-06-03 복합체 대량 합성장치, 복합체 합성장치용 반응기 및 이를 이용한 복합체 합성방법
KR10-2014-0067439 2014-06-03

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2015229165A true JP2015229165A (ja) 2015-12-21
JP6106212B2 JP6106212B2 (ja) 2017-03-29

Family

ID=54886253

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015113403A Active JP6106212B2 (ja) 2014-06-03 2015-06-03 複合体大量合成装置、複合体合成装置用反応器及びこれを用いた複合体合成方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US9950317B2 (ja)
JP (1) JP6106212B2 (ja)
KR (1) KR101688512B1 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7236063B1 (ja) * 2021-11-10 2023-03-09 コリア インスティチュート オブ インダストリアル テクノロジー 無機粉末の製造装置及び製造方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59208005A (ja) * 1983-05-10 1984-11-26 Toyota Motor Corp 合金微粉末の製造方法
WO2005040038A1 (ja) * 2003-10-23 2005-05-06 Zempachi Ogumi 微粒子の製造方法及びそのための装置
JP2005513264A (ja) * 2001-12-20 2005-05-12 アベイカ,インコーポレイティド 反応アルミニウム又は銅のナノ粒子を製造する方法
WO2013160874A2 (en) * 2012-04-27 2013-10-31 Reactive Metal Particles As Apparatus and method for manufacturing particles
US20130287643A1 (en) * 2012-04-30 2013-10-31 Korea Institute Of Energy Research Method and Apparatus for Synthetizing Composite Using Simultaneous Vaporization, Vaporizer for Composite Synthesis Apparatus, Vaporizer Heater, and Composite

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3556841A (en) * 1967-04-11 1971-01-19 Matsushita Electronics Corp Process for forming silicon dioxide films
US4014980A (en) * 1972-07-27 1977-03-29 Kureha Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha Method for manufacturing graphite whiskers using condensed polycyclic hydrocarbons
EP0087798B1 (en) * 1982-03-01 1987-05-06 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha A method and apparatus for making a fine powder compound of a metal and another element
JP3112721B2 (ja) * 1991-08-21 2000-11-27 株式会社リンテック 液体原料用気化器
JP2005263606A (ja) * 2004-03-22 2005-09-29 Japan Pionics Co Ltd 酸化物粉末の製造装置及び製造方法
KR100741759B1 (ko) * 2006-03-28 2007-07-24 한국에너지기술연구원 반응장치 내부에서 탄소소스의 직접 분사를 통한탄소나노튜브 합성 방법 및 그 장치
KR101379277B1 (ko) 2011-07-15 2014-03-28 네이버비즈니스플랫폼 주식회사 광고주와 사용자간의 거래에 대해 추가 적립률의 적립금을 제공하는 적립금 관리 시스템 및 방법
KR101381646B1 (ko) 2012-04-30 2014-04-14 한국에너지기술연구원 동시기화법을 이용한 코어-쉘 구조의 금속-탄소 복합체의 제조방법 및 이에 의해 제조된 코어-쉘 구조의 금속-탄소 복합체

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59208005A (ja) * 1983-05-10 1984-11-26 Toyota Motor Corp 合金微粉末の製造方法
JP2005513264A (ja) * 2001-12-20 2005-05-12 アベイカ,インコーポレイティド 反応アルミニウム又は銅のナノ粒子を製造する方法
WO2005040038A1 (ja) * 2003-10-23 2005-05-06 Zempachi Ogumi 微粒子の製造方法及びそのための装置
WO2013160874A2 (en) * 2012-04-27 2013-10-31 Reactive Metal Particles As Apparatus and method for manufacturing particles
US20130287643A1 (en) * 2012-04-30 2013-10-31 Korea Institute Of Energy Research Method and Apparatus for Synthetizing Composite Using Simultaneous Vaporization, Vaporizer for Composite Synthesis Apparatus, Vaporizer Heater, and Composite

Also Published As

Publication number Publication date
KR101688512B1 (ko) 2017-01-03
KR20150139658A (ko) 2015-12-14
US9950317B2 (en) 2018-04-24
JP6106212B2 (ja) 2017-03-29
US20160001281A1 (en) 2016-01-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Shigeta et al. Thermal plasmas for nanofabrication
TWI397605B (zh) 產生碳奈米管之裝置與方法
CN104995134B (zh) 生产碳纳米结构的方法及装置
US11236421B2 (en) Atomic layer deposition device for massively coating micro-nano particles
NO20160755A1 (en) Apparatus for large scale producing 3D graphene and method describing the same
US8609060B1 (en) Method of producing carbon coated nano- and micron-scale particles
CN108946710A (zh) 一种基于爆轰工艺制备石墨烯的方法及制备石墨烯的装置
US8642139B2 (en) Process to make structured particles
RU2007101391A (ru) Способ получения магнитных графитовых материалов и материалов для них
JP6106212B2 (ja) 複合体大量合成装置、複合体合成装置用反応器及びこれを用いた複合体合成方法
KR20060118819A (ko) 액상 물질 기화 장치
Gusel’nikov et al. A laboratory CVD reactor for the synthesis of vertically oriented carbon nanotube arrays
Vissokov et al. Experimental studies on the plasma-chemical synthesis of a catalyst for natural gas reforming
US9259702B2 (en) Method and apparatus for synthetizing composite using simultaneous vaporization, vaporizer for composite synthesis apparatus, vaporizer heater, and composite
KR101625195B1 (ko) 다공성 그래핀 필터의 제조 방법, 이를 이용하여 제조된 다공성 그래핀 필터 및 이를 이용한 필터 장치
JP5075899B2 (ja) カルシウムシアナミドを含む粉体、該粉体の製造方法及びその装置
Long et al. Characterization of activated alumina production via spray pyrolysis
CN213417007U (zh) 等离子流化床装置
US20110165345A1 (en) Process to make structured particles
KR101816450B1 (ko) 에어로졸 화학 기상 증착 방법 및 이를 구현하기 위한 에어로졸 화학 기상 증착 장치
KR20130112997A (ko) 비금속 주형 입자를 이용한 기체상 중공 나노입자의 제조장치 및 제조방법
CN108778493A (zh) 粒子处理装置以及催化剂担载体和/或纤维状碳纳米结构体的制造方法
RU104001U1 (ru) Плазмохимическая установка для синтеза наночастиц
JP2780100B2 (ja) 磁性微小物体混入化学蒸着方法と装置
CN117285032A (zh) 一种碳纳米管制备系统及单壁碳纳米管制备工艺

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20160525

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160628

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160921

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20170221

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20170303

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6106212

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250