JP2015225940A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】少ない部品点数で、容易に半導体モジュールを放熱板に固定し、効率的に放熱することを目的とする。
【解決手段】ガルウイングタイプのバネ12で半導体モジュール30を押圧し、バネ12の突出部16を放熱板21の切り欠き部13に差込んで、バネ12で半導体モジュール30を放熱板21に押圧固定することにより、容易に半導体モジュール30を放熱板21に固定し、効率的に放熱することができる。
【選択図】図1
【解決手段】ガルウイングタイプのバネ12で半導体モジュール30を押圧し、バネ12の突出部16を放熱板21の切り欠き部13に差込んで、バネ12で半導体モジュール30を放熱板21に押圧固定することにより、容易に半導体モジュール30を放熱板21に固定し、効率的に放熱することができる。
【選択図】図1
Description
本発明は、放熱板を有する半導体装置に関するものである。
パワー半導体素子を絶縁樹脂により封止したパワー半導体モジュールは、動作中の発熱量が多く、放熱板に固定して使用されることがある。
以下、図10を用いて、従来の、パワー半導体モジュールが放熱板に固定された半導体装置の構成を説明する。
以下、図10を用いて、従来の、パワー半導体モジュールが放熱板に固定された半導体装置の構成を説明する。
図10は従来のパワー半導体モジュールが放熱板に固定された半導体装置の構成を示す斜視図である。
図10に示すように、従来の半導体装置は、次のような構成を有していた。あらかじめ、パワー半導体モジュール9に貫通孔9a設け、放熱板8にも孔8aを設ける。また、押さえ用板状バネ10にも貫通孔10aを設けておく。そして、貫通孔10a,貫通孔9a,孔8aの位置を揃えて、下から放熱板8,パワー半導体モジュール9,押さえ用板状バネ10の順で重ね合わせ、貫通孔10a,貫通孔9a,孔8aに固定用ネジ11をねじ込むことで、放熱板8,パワー半導体モジュール9,押さえ用板状バネ10を固定している。このように、押さえ用板状バネ10で、パワー半導体モジュール9を放熱板8に押圧することにより、パワー半導体モジュール9で発生する熱を放熱板8に伝え、放出している(例えば、特許文献1参照)。
図10に示すように、従来の半導体装置は、次のような構成を有していた。あらかじめ、パワー半導体モジュール9に貫通孔9a設け、放熱板8にも孔8aを設ける。また、押さえ用板状バネ10にも貫通孔10aを設けておく。そして、貫通孔10a,貫通孔9a,孔8aの位置を揃えて、下から放熱板8,パワー半導体モジュール9,押さえ用板状バネ10の順で重ね合わせ、貫通孔10a,貫通孔9a,孔8aに固定用ネジ11をねじ込むことで、放熱板8,パワー半導体モジュール9,押さえ用板状バネ10を固定している。このように、押さえ用板状バネ10で、パワー半導体モジュール9を放熱板8に押圧することにより、パワー半導体モジュール9で発生する熱を放熱板8に伝え、放出している(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、前記従来の半導体装置では、パワー半導体モジュール9の貫通孔9aが必要となるため、貫通孔9aを形成できないパワー半導体モジュールには利用できない。また、押さえ用板状バネ10と放熱板8は直接接触しないため、パワー半導体モジュール9から押さえ用板状バネ10に伝熱された熱は十分に放熱されず、パワー半導体モジュールの放熱の効率が悪くなる可能性がある。
本発明は、上記問題点を解決するために、貫通孔を形成できないパワー半導体モジュールを放熱板に固定することも可能であると共に、効率的な放熱が可能な半導体装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明の半導体装置は、放熱板上に搭載された半導体モジュールを1つの板状のバネで前記放熱板に固定してなる半導体装置であって、前記バネが、ネジ固定部と、前記半導体モジュールの方向に突出して湾曲する接触部と、突出部と、前記接触部から傾斜しながら前記突出部に接続する傾斜部と、を有し、前記放熱板が、その内壁において内部方向に突出すると共に斜面を有する突起が形成された溝状の切り欠き部を有し、前記バネは、前記ネジ固定部においてネジにより前記放熱板に固定され、前記バネの前記傾斜部が前記切り欠き部の前記斜面と接することを特徴とする。
以上のように、本発明の半導体装置によれば、貫通孔を形成できないパワー半導体モジュールを放熱板に固定することも可能であると共に、効率的な放熱が可能な半導体装置を提供することができる。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、以下の説明において、同じ構成には同じ符号を付けて、適宜説明を省略している。
(実施の形態1)
図1は実施の形態1における半導体装置の構成を示す斜視図であり、実施の形態1の半導体装置における、ガルウイングタイプのバネと放熱板の構成を説明する斜視図である。図2は実施の形態1におけるバネの構成を示す断面図であり、放熱板の切り欠き部にバネを固定する工程を示す図である。図3は実施の形態1におけるバネの構成を示す断面図であり、放熱板の切り欠き部にバネが固定された状態を示す図である。
(実施の形態1)
図1は実施の形態1における半導体装置の構成を示す斜視図であり、実施の形態1の半導体装置における、ガルウイングタイプのバネと放熱板の構成を説明する斜視図である。図2は実施の形態1におけるバネの構成を示す断面図であり、放熱板の切り欠き部にバネを固定する工程を示す図である。図3は実施の形態1におけるバネの構成を示す断面図であり、放熱板の切り欠き部にバネが固定された状態を示す図である。
図1、図2、図3において、21は放熱板であり、30はパワー半導体素子を絶縁樹脂により封止したパワー半導体モジュールである。パワー半導体モジュール30は、放熱板21の上に配置される。12はパワー半導体モジュール30を放熱板21に固定するガルウイングタイプの板状のバネで、16はバネ中央部の突出部である。11はバネ12と放熱板21とを固定するネジである。また、放熱板21には2段階に形状の異なる溝状の切り欠き部13が設けられている。切り欠き部13は、溝部15と、その内壁において内部に突出するように形成された突起14からなる。突起14は、放熱板21におけるパワー半導体モジュール30の搭載面から溝部15に向かって傾斜する斜面14bを有しており、斜面14bと放熱板21の搭載面のなす角度を14aとする。
ガルウイングタイプのバネ12は、中央のくぼみ状の突出部16を中心として、傾斜部12fを介して左右に伸びた接触部12aとネジ固定部12cとを有する。接触部12aは、固定時に半導体モジュール30側(突出部16側)に向けて突出した湾曲部を有する。突出部16において傾斜部12fから連続する上部には平坦部があり、この平坦部はバネ12の中央部からそれぞれの接触部12aの向きに突出している。バネ12を放熱板21に装着した際、この突出部16の平坦部が、放熱板21の切り欠き部13の突起14に噛み合わされる。また、突出部16は、図2に示すように、全体として断面が平坦部分を含む半円形等の形状になる。ただし、放熱板21の突起14とバネ12の突出部16が十分に噛み合う形状であれば、突出部16の平坦部の形状はゆるやかな曲面であっても良い。
バネ12は、SUSなどの鋼や、りん青銅、銅などの縦弾性係数100GPa以上かつ200GPa以下程度、熱伝導率10W/m・K以上の弾性を有する金属で一体的に形成される。放熱板21に差し込み使用する前のバネ12の形状は、図2に示すように、バネ12の2つの傾斜部12fがなす角度16bが90°より小さい。また、バネ12の中央の突出部16の最大幅16aは、放熱板21の切り欠き部13に挿入可能なように、放熱板21の2つの突起14間の幅13aよりも小さく形成されている。さらに、左右対称であるバネ12の突出部16の中央には、レーザー等で溝17が形成されている。この溝17により、バネ12を放熱板21の切り欠き部13に差込んでパワー半導体モジュール30を固定する際に、バネ12が溝17から左右均等に広がることが可能であり、バネ12の固定が容易である。
バネ12は、図2,図3に示すように、中央のくぼみ状の突出部16を放熱板21の切り欠き部13に挿入した状態で、バネ12の傾斜部12fが放熱板21の切り欠き部13の上側の斜面14bと接するまで左右均等に広げられ、この状態で、ネジ11により放熱板21に固定される。バネ12の接触部12aはパワー半導体モジュール30の幅よりも長い。バネ成分を持たせるために、無加重時のバネ12の接触部12aの湾曲部最下点12dからネジ固定部12cの延長線上に垂直に降ろした距離12eは、パワー半導体モジュール30の厚みよりも短い。また、バネ12の側部12bの長さは、パワー半導体モジュール30の厚みよりも長い。つまり、バネ12の固定部12aは、パワー半導体モジュール30側に突出する弓なり形状である。距離12eをパワー半導体モジュール30の厚みよりも短くすることにより、バネ12でパワー半導体モジュール30を放熱板21に装着したときに、バネ12の弾性力で、パワー半導体モジュール30を放熱板21に押圧することができ、放熱効率を向上させることができる。
また、バネ12を固定する際、ガルウイングタイプのバネ12は、放熱板21の切り欠き部13の斜面14bに傾斜部12fが接触するまで広げられた状態で、ネジ11で放熱板21に固定される。この時、ガルウイングタイプのバネ12は、中央の突出部16が広げられ、放熱板21の切り欠き部13の突起14に引っかかり固定される。このとき、バネ12,パワー半導体モジュール30および放熱板21のそれぞれの接触部においては、パワー半導体モジュール30の熱をバネ12を通して放熱板21に伝熱させるために、バネ12の接触面12d’(図3参照)とパワー半導体モジュール30、バネ12の傾斜部12fと放熱板21の切り欠き部14の斜面14b、バネ12のネジ固定部12cと放熱板21、がそれぞれ接触していればよい。
ガルウイングタイプのバネ12と放熱板21の切り欠き部13の接触面積は、パワー半導体モジュール30の上面から放射される熱を、放熱板21の斜面14bおよびネジ固定部12cの2面へ温度勾配を付けて熱輸送できるように、パワー半導体モジュール30とガルウイングタイプのバネ12の接触面積の半分以上になるのが好ましい。そのため、本実施の形態では、切り欠き部13の角度14aを、45°以下としている。
さらに、切り欠き部13の突起14の斜面14bは、ガルウイングタイプのバネ12の厚み以上の距離を有することが好ましい。バネ12と放熱板21の切り欠き部13の接触面積を、パワー半導体モジュール30とガルウイングタイプのバネ12の接触面積の半分以上とすることにより、バネ12の接触面12d’でパワー半導体モジュール30から吸熱した熱を、バネ12と放熱板21の切り欠き部13の斜面14bへ放熱することが可能になる。
このように構成された半導体装置では、パワー半導体モジュール30の熱は、上面からガルウイングタイプのバネ12を伝って放熱板21へと輸送されるため、効率よく冷却することが可能となる。また、ガルウイングタイプのバネ12の中央部の突出部16を放熱板21の切り欠き部13に差し込み、突起14に突出部16を引っ掛けて固定するため、少ない部品点数で、容易に複数のパワー半導体モジュール30を固定可能である。
(実施の形態1の別形態)
さらに、バネ12による冷却効果をより高める構成を図4、5に示す。
図4、5は、実施の形態1の半導体装置の別形態の構成例を示す断面図であり、図3の斜面14bの変形例を示す接触部の断面図である。
さらに、バネ12による冷却効果をより高める構成を図4、5に示す。
図4、5は、実施の形態1の半導体装置の別形態の構成例を示す断面図であり、図3の斜面14bの変形例を示す接触部の断面図である。
図4、5に示す構成が図3の構成と異なる点は、バネ12の傾斜部12fと放熱板21の切り欠き部13の斜面14bとの接触部分である。具体的には、切り欠き部13の突起14の斜面14bに、屈曲する、くの字部14cまたは湾曲するアール部14dが形成されており、バネ12の傾斜部12fも、放熱板21の切り欠き部13の形状に合わせて、くの字状やアール状に曲げ加工される点である。このような構成にすることで、固定時におけるバネ12と放熱板21の接触面積が増えるので、放熱効果がより顕著になる。すなわち、パワー半導体モジュール30の冷却効果が高くなる。
(実施の形態2)
図6は、実施の形態2における半導体装置の構成を示す斜視図であり、実施の形態2の半導体装置におけるバネと放熱板の構成を説明する斜視図である。図6では、3つのパワー半導体モジュールと3つの接触部からなる板状のバネと放熱板からなる半導体装置を例示している。図7は実施の形態2におけるバネの構成を示す断面図であり、放熱板の切り欠き部にバネが固定された状態を示す図である。
図6は、実施の形態2における半導体装置の構成を示す斜視図であり、実施の形態2の半導体装置におけるバネと放熱板の構成を説明する斜視図である。図6では、3つのパワー半導体モジュールと3つの接触部からなる板状のバネと放熱板からなる半導体装置を例示している。図7は実施の形態2におけるバネの構成を示す断面図であり、放熱板の切り欠き部にバネが固定された状態を示す図である。
図6,図7に示すように、実施の形態2における半導体装置は、3つのパワー半導体モジュール30と、3つの接触部18aからなる板状のバネ18と、放熱板25と、固定用ネジ11からなる。図6,図7に示す放熱板25では、2箇所の切り欠き部として、切り欠き部13および切り欠き部19とが設けられる。バネ18が放熱板25から外れることを防止するため、切り欠き部13は実施の形態1と同様に2つの突起14を備え、切り欠き部19は2つの突起26,27を備える。
なお、ここで、バネ18をより確実に固定するために、ネジ11によるネジ固定部から遠い側の突起(切り欠き部19では突起27側)の傾斜角度20aを、ネジ11によるネジ固定部に近い側の突起(切り欠き部19では、突起26側)の傾斜角度より大きくして、左右非対称の形状とすることが望ましい。ただし、この場合も傾斜角度20aは45°以下とする必要がある。これにより、中央の半導体モジュールにかかるバネの力点が、切り欠き部13、19で、それぞれネジ11によるネジ固定部に近い側に偏り、バネ18が放熱板25から外れる可能性を軽減することができる。なお、この場合、3つの接触部18aからなる板状のバネ18も、切り欠き部13、19と同様の形状に折り曲げ加工されている。
(実施の形態3)
図8は実施の形態3における半導体装置の構成を示す斜視図であり、実施の形態3の半導体装置における、バネと放熱板の構成を説明する斜視図である。図9は実施の形態3におけるバネの構成を示す断面図であり、放熱板の切り欠き部にバネが固定された状態を示す図である。
図8は実施の形態3における半導体装置の構成を示す斜視図であり、実施の形態3の半導体装置における、バネと放熱板の構成を説明する斜視図である。図9は実施の形態3におけるバネの構成を示す断面図であり、放熱板の切り欠き部にバネが固定された状態を示す図である。
図8,図9に示すように、実施の形態3における半導体装置は、1つのパワー半導体モジュール30と、1つの接触部22aからなる板状のバネ22と、放熱板28と、固定用ネジ11からなる。実施の形態3の放熱板28には、かぎ針状の切り欠き部23が設けられている。切り欠き部23は、パワー半導体モジュール30の搭載領域から傾斜する斜面29を備える突起23aを有する形状であり、少なくともバネ22を引掛ける側が、かぎ針状になっている。また、突起23aは切り欠き部23の側壁に向かい合わせて2つ形成されても良く、この場合、切り欠き部23は左右対称の形状となる。また、バネ22の引掛け部31は折り曲げ加工やアール加工を施し、放熱板28の切り欠き部23の突起23aに引掛けて固定できる形状とする。バネ22の傾斜部32が放熱板28の斜面29に接触するように、バネ22を放熱板28にネジ11で固定する。切り欠き部23の傾斜角度である切り欠き角度26aは、実施の形態1と同様に45°以下の角度にする。また、バネ22の傾斜部32と放熱板28の切り欠き部23の斜面29の接触面積が、バネ22とパワー半導体モジュール30の接触面33の面積の半分以上となるようにする。これにより、パワー半導体モジュール30の熱を、斜面29とバネ22のネジ固定部22cの2面で熱輸送可能となる。
さらに、切り欠き部23とバネ22の斜面29との接続部については、実施の形態1の別形態と同様にすることで、接触面積を増やし、パワー半導体モジュール30の冷却効果を高めることができ、容易に少ない部品点数で固定を行うことが可能となり、両サイドでネジ止めする構成よりも、取付けやすくなる。
なお、本発明は、車載用半導体装置や、パワーコンディショナーなどの大電流用途の電力変換装置等に、特に有用である。ただし、以上の説明では、パワー半導体モジュールを搭載する半導体装置について説明したが、搭載する半導体モジュールはパワー半導体モジュールに限らず、種々の半導体モジュールを搭載する半導体装置に適用可能である。
また、放熱板は、半導体モジュールを冷却する装置であり、単に熱伝導性の高い材質からなる放熱板であっても良い。
本発明は、少ない部品点数で、容易にパワー半導体モジュールを放熱板に固定し、効率的に放熱することができ、半導体モジュールが放熱板に搭載される半導体装置等に有用である。
8 放熱板
8a、9a、10a 貫通孔
9、30 パワー半導体モジュール
10 押さえ用板状バネ
11 ネジ
12、18、22 バネ
12a、18a、22a 接触部
12b 側部
12c ネジ固定部
12d 最下点
12d’、33 接触面
12f、32 傾斜部
13、19、23 切り欠き部
13a、16a 幅
14、23a、26、27 突起
14a、16b、20a、26a 角度
14b、29 斜面
14c くの字部
14d アール部
15 溝部
16 突出部
17 溝
21、25、28 放熱板
31 引掛け部
8a、9a、10a 貫通孔
9、30 パワー半導体モジュール
10 押さえ用板状バネ
11 ネジ
12、18、22 バネ
12a、18a、22a 接触部
12b 側部
12c ネジ固定部
12d 最下点
12d’、33 接触面
12f、32 傾斜部
13、19、23 切り欠き部
13a、16a 幅
14、23a、26、27 突起
14a、16b、20a、26a 角度
14b、29 斜面
14c くの字部
14d アール部
15 溝部
16 突出部
17 溝
21、25、28 放熱板
31 引掛け部
Claims (5)
- 放熱板上に搭載された半導体モジュールを1つの板状のバネで前記放熱板に固定してなる半導体装置であって、
前記バネが、ネジ固定部と、前記半導体モジュールの方向に突出して湾曲する接触部と、突出部と、前記接触部から傾斜しながら前記突出部に接続する傾斜部と、を有し、
前記放熱板が、その内壁において内部方向に突出すると共に斜面を有する突起が形成された溝状の切り欠き部を有し、
前記バネは、前記ネジ固定部においてネジにより前記放熱板に固定され、
前記バネの前記傾斜部が前記切り欠き部の前記斜面と接する、
半導体装置。 - 前記放熱板には前記半導体モジュールが複数搭載され、
前記切り欠き部の前記突起は、前記切り欠き部において向かい合って2つ形成される、
請求項1記載の半導体装置。 - 前記放熱板には前記半導体モジュールが3つ搭載され、
前記バネには、前記突出部が2つ設けられ、
前記切り欠き部は、前記バネの2つの前記突出部に対応する位置に2つ形成され、
前記切り欠き部における前記突起は、前記ネジ固定部に遠い側の突起の傾斜角度が、前記ネジ固定部に近い側の突起の傾斜角度よりも大きい、
請求項2記載の半導体装置。 - 前記切り欠き部の前記突起の前記斜面は、屈曲して突出している、
請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記切り欠き部の前記突起の前記斜面は、湾曲して突出している、
請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の半導体装置。
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---|---|---|---|---|
WO2019214944A1 (de) * | 2018-05-07 | 2019-11-14 | Siemens Aktiengesellschaft | Anordnung elektrischer module, stromrichter und luftfahrzeug mit einer derartigen anordnung sowie verfahren zur herstellung der anordnung |
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2014
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