JP2015223014A - 高周波電源装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】水冷ヒートシンクを使用して高周波電力を出力するパワーモジュールを筐体内で適切に冷却するとともに、筐体における容量結合によるノイズの発生を防止して安定動作が可能な高周波電源装置を提供する。
【解決手段】高周波電源装置1は、スイッチング素子を複数含むパワーモジュール2が搭載されて、負荷に高周波電力を供給する高周波回路基板3と、冷却水パイプ11、11を有しパワーモジュール2を冷却する水冷ヒートシンク5と、高周波回路基板3および水冷ヒートシンク5を含む各部を収納する筐体6とを備え、水冷ヒートシンク5の冷却水パイプ11、11が筐体6から電気的に絶縁されている。
【選択図】図1
【解決手段】高周波電源装置1は、スイッチング素子を複数含むパワーモジュール2が搭載されて、負荷に高周波電力を供給する高周波回路基板3と、冷却水パイプ11、11を有しパワーモジュール2を冷却する水冷ヒートシンク5と、高周波回路基板3および水冷ヒートシンク5を含む各部を収納する筐体6とを備え、水冷ヒートシンク5の冷却水パイプ11、11が筐体6から電気的に絶縁されている。
【選択図】図1
Description
本発明は、高周波回路基板に搭載されたパワーモジュールを水冷ヒートシンクにより冷却する高周波電源装置に関するものである。
従来から、高周波の電力変換を行う複数のスイッチング素子を含むパワーモジュールが搭載されて、負荷に高周波電力を供給する高周波回路基板と、冷却水パイプを有しこのパワーモジュールを冷却する水冷ヒートシンクと、これら各部を収納する筐体とを備えた高周波電源装置が知られている(例えば、特許文献1)。
このパワーモジュール内でスイッチング動作を行う例えばパワーMOS−FET素子のようなスイッチング素子は、高温による不安定動作や短寿命化などを防止するために、冷却性能の高い水冷ヒートシンクにより冷却される。
しかし、パワーモジュールを水冷ヒートシンクに取り付け、筐体内に冷却水パイプを配管し、この冷却水パイプにより筐体に接続した状態で、通電してこのパワーモジュールに高周波電流が流れると、冷却水パイプを介して浮遊容量(コンデンサ)が生じて筐体に電圧が誘起される容量結合が起きる場合がある。
しかも、周波数が特に高い高周波電流が流れると、それに伴って冷却水パイプを介して筐体にも電圧変化が起きるので、ノイズ(伝導ノイズ)が発生して、装置に回り込むため、装置の動作が不安定になるという問題があった。すなわち、水冷ヒートシンクを使用した場合に、高周波電力を出力するパワーモジュールの冷却と、装置の安定動作とを両立させることが困難であった。
本発明は、前記課題を解決して、水冷ヒートシンクを使用して高周波電力を出力するパワーモジュールを筐体内で適切に冷却するとともに、筐体における容量結合によるノイズの発生を防止して装置を安定的に動作させることができる高周波電源装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明に係る高周波電源装置は、複数のスイッチング素子を含むパワーモジュールが搭載されて、負荷に高周波電力を供給する高周波回路基板と、冷却水パイプを有し前記パワーモジュールを冷却する水冷ヒートシンクと、前記高周波回路基板および水冷ヒートシンクを含む各部を収納する筐体とを備え、前記水冷ヒートシンクの冷却水パイプが前記筐体から電気的に絶縁されている。
この構成によれば、パワーモジュールを冷却する水冷ヒートシンクの冷却水パイプが筐体内で電気的に絶縁されているので、水冷ヒートシンクを使用して高周波電力を出力するパワーモジュールを筐体内で適切に冷却するとともに、筐体に冷却水パイプを介して容量結合によるノイズが発生するのを防止して装置を安定的に動作させることが可能となる。
本発明において、前記筐体は中板で仕切られた2階構造を有しており、前記高周波回路基板は前記筐体の中板に支持され、前記水冷ヒートシンクの冷却水パイプが前記筐体の中板と底板との間で浮かした状態に設けられていることが好ましい。したがって、2階における中板と1階における底板の間に十分なスペースがあるので、冷却水パイプを浮かしやすくできるから、電気的絶縁がより容易となる。
好ましくは、前記筐体の中板の開口部に前記パワーモジュールが位置するように前記高周波回路基板が配置されており、当該パワーモジュールに水冷ヒートシンクが直結されている。この場合、パワーモジュールを高い熱伝導性で冷却することができる。
本発明によれば、パワーモジュールを冷却する水冷ヒートシンクの冷却水パイプが筐体から電気的に絶縁されているので、水冷ヒートシンクを使用して高周波電力を出力するパワーモジュールを筐体内で適切に冷却するとともに、筐体に冷却水パイプを介して容量結合によるノイズが発生するのを防止して装置を安定的に動作させることが可能となる。
以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照しながら説明する。図1は本発明の一実施形態に係る高周波電源装置を示す概略側面図である。高周波電源装置1は、例えば高周波の電力変換を行うハーフブリッジモジュールのようなパワーモジュール2が搭載されて、負荷に高周波電力を供給する高周波回路基板3と、2本の冷却水パイプ11、11を有しパワーモジュール2を冷却する水冷ヒートシンク5と、高周波回路基板3および水冷ヒートシンク5を含む各部を収納する筐体(シャーシ)6とを備えている。この高周波電源装置1は、例えばプラズマを発生させるために使用される。
筐体(シャーシ)6は、例えばアルミニウム製で略直方体の形状を有する。筐体6は、中板7で仕切られた2階構造を有しており、中板7および底板8上に高周波回路基板3の他に複数の回路基板15、16が設けられている。
この例では、パワーモジュール2は、10MHz以上の高周波電力を出力するFET−MOSのようなスイッチング素子を2個もつハーフブリッジモジュールを使用しているが、FET−MOSを4個もつフルブリッジモジュールなどを使用してもよい。
水冷ヒートシンク5は、ヒートシンク本体10と冷却水を給排水する2本の冷却水パイプ(配管)11、11とを有している。ヒートシンク本体10は、その内部に冷却水の流路を形成しており、この流路に筐体6内に配管された2本の冷却水パイプ11、11が接続されている。ヒートシンク本体10は、樹脂製の容器(カバー)12に収納されている。冷却水パイプ11、11は、筐体6内の1階部分で、それぞれヒートシンク本体10に接続された例えば銅製のパイプ11aと、ナイロン製のパイプ11bとが継手13で接続されており、ナイロン製のパイプ11bは筐体6の1階端部に固定された継手14を介して冷却水出入口パイプ11cに接続されている。
図2に示すように、筐体6の中板7は開口部7aを有して、この開口部7aにパワーモジュール2が位置するように高周波回路基板3が取り付けられている。高周波回路基板3の開口3aの位置にパワーモジュール2が搭載され、パワーモジュール2の下面とヒートシンク本体10の上面とが図示しないボルトにより直結され、ヒートシンク本体10が容器12に収納されて、この容器12が図示しないボルトにより高周波回路基板3に固定されている。
パワーモジュール2にヒートシンク本体10を直結して、熱伝導性を高くしているが、さらにパワーモジュール2の下面とヒートシンク本体10の上面との間にシリコングリス17を塗布し、この間に気泡が残存しないようにすることにより、熱伝導性をより高めることができる。
図1のように、水冷ヒートシンク5の冷却水パイプ11、11が筐体6の中板7と底板8との間で浮かした状態に配置されており、水冷ヒートシンク5の冷却水パイプ11、11と筐体6との間に、冷却水パイプ11、11と底板8との間のスペースSを含めた絶縁スペースが確保されて、水冷ヒートシンク5の冷却水パイプ11、11が筐体6から電気的に絶縁されている。しかも、2階における中板7と1階における底板8の間の1階部分に十分なスペースがあるので、冷却水パイプ11、11を筐体6の底板8から浮かしやすくできるから、筐体6からの電気的絶縁がより容易となる。
このように、本発明は、パワーモジュールを冷却する水冷ヒートシンクの冷却水パイプが筐体から電気的に絶縁されているので、水冷ヒートシンクを使用して高周波電力を出力するパワーモジュールを筐体内で適切に冷却するとともに、筐体に冷却水パイプを介して容量結合によるノイズが発生して装置に回り込むのを防止して装置を安定的に動作させることが可能となる。
なお、この実施形態では、筐体を2階構造としているが、冷却水パイプを筐体から電気的に絶縁できれば、1階構造としてもよい。
なお、この実施形態では、冷却水パイプを浮かしているが、冷却水パイプと底板の間に絶縁材を設けて、筐体から電気的に絶縁するようにしてもよい。
本発明は、以上の実施形態に限定されるものでなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で、種々の追加、変更または削除が可能である。したがって、そのようなものも本発明の範囲内に含まれる。
1:高周波電源装置
2:パワーモジュール
3:高周波回路基板
5:水冷ヒートシンク
6:筐体(シャーシ)
7:中板
7a:開口部
8:底板
10:ヒートシンク本体
11、11:冷却水パイプ
2:パワーモジュール
3:高周波回路基板
5:水冷ヒートシンク
6:筐体(シャーシ)
7:中板
7a:開口部
8:底板
10:ヒートシンク本体
11、11:冷却水パイプ
Claims (3)
- 複数のスイッチング素子を含むパワーモジュールが搭載されて、負荷に高周波電力を供給する高周波回路基板と、冷却水パイプを有し前記パワーモジュールを冷却する水冷ヒートシンクと、前記高周波回路基板および水冷ヒートシンクを含む各部を収納する筐体とを備え、
前記水冷ヒートシンクの冷却水パイプが前記筐体から電気的に絶縁されている、高周波電源装置。 - 請求項1において、
前記筐体は中板で仕切られた2階構造を有しており、前記高周波回路基板は、前記筐体の中板に支持され、前記水冷ヒートシンクの冷却水パイプが前記筐体の中板と底板との間で浮かした状態に設けられている、高周波電源装置。 - 請求項2において、
前記筐体の中板の開口部に前記パワーモジュールが位置するように前記高周波回路基板が配置されており、当該パワーモジュールに水冷ヒートシンクが直結されている、高周波電源装置。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2014105816A JP2015223014A (ja) | 2014-05-22 | 2014-05-22 | 高周波電源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014105816A JP2015223014A (ja) | 2014-05-22 | 2014-05-22 | 高周波電源装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2015223014A true JP2015223014A (ja) | 2015-12-10 |
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ID=54785767
Family Applications (1)
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JP2014105816A Pending JP2015223014A (ja) | 2014-05-22 | 2014-05-22 | 高周波電源装置 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101939643B1 (ko) * | 2018-09-20 | 2019-01-17 | (주)하이텍영상 | 전관방송 pa 앰프용 팬리스 방열장치 |
JP2019103316A (ja) * | 2017-12-06 | 2019-06-24 | 株式会社明電舎 | 冷却装置および電力変換装置 |
KR102495049B1 (ko) * | 2022-08-11 | 2023-02-06 | 주식회사 에이티에스 | 반도체 장비 rf 매처의 자동시험장치 및 그 시험방법 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012217316A (ja) * | 2011-03-29 | 2012-11-08 | Denso Corp | 電力変換装置 |
JP2013066259A (ja) * | 2011-09-15 | 2013-04-11 | Toyota Motor Corp | 電気自動車用の電力変換装置および電気自動車 |
JP2013198255A (ja) * | 2012-03-19 | 2013-09-30 | Toyota Motor Corp | 電気自動車用制御装置 |
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2014
- 2014-05-22 JP JP2014105816A patent/JP2015223014A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012217316A (ja) * | 2011-03-29 | 2012-11-08 | Denso Corp | 電力変換装置 |
JP2013066259A (ja) * | 2011-09-15 | 2013-04-11 | Toyota Motor Corp | 電気自動車用の電力変換装置および電気自動車 |
JP2013198255A (ja) * | 2012-03-19 | 2013-09-30 | Toyota Motor Corp | 電気自動車用制御装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019103316A (ja) * | 2017-12-06 | 2019-06-24 | 株式会社明電舎 | 冷却装置および電力変換装置 |
JP7009963B2 (ja) | 2017-12-06 | 2022-01-26 | 株式会社明電舎 | 冷却装置および電力変換装置 |
KR101939643B1 (ko) * | 2018-09-20 | 2019-01-17 | (주)하이텍영상 | 전관방송 pa 앰프용 팬리스 방열장치 |
KR102495049B1 (ko) * | 2022-08-11 | 2023-02-06 | 주식회사 에이티에스 | 반도체 장비 rf 매처의 자동시험장치 및 그 시험방법 |
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