JP2015222332A - 表示パネルの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】製造コストの増加を抑制しながら、検査対象画素の輝度の測定精度を向上させることができる表示パネルの製造方法を提供する。【解決手段】複数の感度ムラ検出用画素Ｐｉｊの各々の輝度を測定する輝度測定工程を含む表示パネルの製造方法であって、輝度測定工程は、複数の感度ムラ検出用画素Ｐｉｊと同じ解像度および同じ配列ピッチで撮影可能な複数の撮像画素ＬＳｉｊを有する撮像装置３０を用い、複数の撮像画素ＬＳｉｊと複数の感度ムラ検出用画素Ｐｉｊとを１対１に対応させた上で、複数の感度ムラ検出用画素Ｐｉｊの各々の輝度を複数の撮像画素ＬＳｉｊの各々を用いて測定する第一測定工程と、複数の撮像画素ＬＳｉｊの各々の領域内で対応する複数の感度ムラ検出用画素Ｐｉｊの各々を移動させ、複数の感度ムラ検出用画素Ｐｉｊの各々の輝度を複数の撮像画素ＬＳｉｊの各々を用いて測定する第二測定工程とを含む。【選択図】図７

Description

本開示は、表示パネルの製造方法に関する。

一般的に、有機エレクトロルミネッセンス（Ｏｒｇａｎｉｃ Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ、以下「有機ＥＬ」と略称する）パネル等の自発光素子を備える表示パネルは、マトリクス状に配置された複数の表示画素を備えて構成されている。

表示パネルの製造では、例えば、発光層の膜厚のばらつき等の製造ばらつきにより、複数の表示画素の間で輝度に差異が生じる場合がある。このため、表示パネルの製造では、映像品質の向上のために、例えば、同じ階調値を与えて個々の表示画素の輝度を測定し、測定結果から輝度を略均一にするための階調値の補正値を求める輝度補正が行われている（例えば、特許文献１参照）。個々の表示画素の輝度を測定する方法としては、例えば、複数の表示画素のうちの検査対象画素を発光させ、複数の撮像画素（受光素子）を備える撮像装置（ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）カメラ等）により表示パネルを撮像し、撮影画像から検査対象画素の輝度を求める方法がある。

上述した撮像装置による表示パネルの撮影では、個々の撮像画素を表示画素の１つに対応させて撮影を行う。しかし、撮像装置には、レンズの収差（特に、球面収差）により、例えば、一部の撮像画素とこれに対応する表示画素との間で位置がずれてしまう場合があるという問題がある。

このような問題に対し、例えば、表示パネルの１つの表示画素に対し、複数の撮像画素を割り当てる方法がある。複数の撮像画素を１つの表示画素に割り当てることで、一部の撮像画素と対応する表示画素との間で位置ずれが生じた場合でも、表示画素の輝度を精度良く測定することが可能になる。

特開２００５−３１６４０８号公報

しかしながら、従来の方法では、検査対象画素の輝度の測定精度が十分ではないという問題があった。

本開示は、製造コストの増加を抑制しながら、検査対象画素の輝度の測定精度を向上させることができる表示パネルの製造方法を提供する。

本開示における表示パネルの製造方法は、表示パネルに対する輝度補正工程の実行前に予め実行される感度ムラ補正工程であって、複数の撮像画素の各々における感度ムラを補正するための感度ムラ補正工程を実行する表示パネルの製造方法であって、前記複数の撮像画素は、前記複数の撮像画素と複数の感度ムラ補正用画素とを１対１に対応させて前記複数の感度ムラ補正用画素を撮影可能であり、また、前記感度ムラ補正工程は、前記複数の撮像画素と前記複数の感度ムラ補正用画素とを１対１に対応させた上で、前記複数の感度ムラ補正用画素の各々の輝度を前記複数の撮像画素の各々を用いて測定する第一測定工程と、前記複数の撮像画素の各々の領域内で対応する前記複数の感度ムラ補正用画素の各々を移動させ、前記複数の感度ムラ補正用画素の各々の輝度を前記複数の撮像画素の各々を用いて測定する第二測定工程とを含む。

本開示における表示パネルの製造方法は、製造コストの増加を抑制しながら、検査対象画素の輝度の測定精度を向上させることができる。

有機ＥＬディスプレイの外観を示す外観図 実施の形態における有機ＥＬディスプレイの構成の一例を示すブロック図 実施の形態における有機ＥＬパネルを構成する表示画素の一例を示す図 表示画素を構成する３色のサブ画素の構成の一例を示す回路図 実施の形態における製造システムの構成の一例を示すブロック図 インターライン型のＣＣＤカメラにおける撮像画素の構成の一例を示す図 フルフレーム型のＣＣＤカメラにおける撮像画素の構成の一例を示す図 実施の形態の製造システムにおいて、撮像装置とステージとの位置関係を示す図 実施の形態における撮像画素内での感度ムラの補正（表示パネルの製造方法）の処理手順の一例を示すフローチャート 実施の形態におけるアライメントパターンの一例を示す図 実施の形態における検査パターンの一例を示す図 実施の形態における検査パターンの他の例を示す図 実施の形態における検査パターンの他の例を示す図 実施の形態における撮影領域の位置の再設定方法の一例を示す図 実施の形態における撮影領域の位置の再設定方法の一例を示す図 実施の形態における撮影領域の位置の再設定方法の一例を示す図 実施の形態における撮影領域の位置の再設定方法の一例を示す図 実施の形態における輝度測定工程の処理手順の一例を示すフローチャート 実施の形態の変形例における検査パターンの他の例を示す図 輝度補正工程の概要を示すグラフ シェーディング補正および輝度補正工程の実行前の有機ＥＬパネルの状態を示す図 シェーディング補正および輝度補正工程を実行した場合の有機ＥＬパネルの状態を示す図 シェーディング補正および輝度補正工程に加え、本実施の形態の感度ムラ補正工程を行った場合の有機ＥＬパネルの状態を示す図

［課題の詳細］
本発明者は、レンズの収差に起因する影響を除去するためのシェーディング補正および上述した輝度補正工程を行った場合でも、表示パネルに輝度ムラが残ることを見いだした。

ここで、図１５Ａは、シェーディング補正および輝度補正工程を実行する前の有機ＥＬパネルの状態を示す図である。また、図１５Ｂは、シェーディング補正および輝度補正工程を実行した後の有機ＥＬパネルの状態を示す図である。

図１５Ａから、シェーディング補正および輝度補正工程を実行しない場合は、有機ＥＬパネルには、全体的に輝度ムラが生じていることが分かる。また、図１５Ｂから、シェーディング補正および輝度補正工程を実行した場合でも、輝度ムラが生じていることがわかる。

さらに、本発明者は、当該輝度ムラが、１つの撮像画素内の位置に依存する感度ムラに起因することを見いだした。

例えば、ある撮像画素では、中央部分の感度が比較的高く、周辺部では感度が比較的低くなり、他の撮像画素では、一部の角部の感度が低くなる等が考えられる。１つの撮像画素内での感度のばらつきの状態は、撮像画素によって異なると考えられる。

この場合、１つの撮像画素を用いて１つの表示画素を撮影すると、撮像画素と表示画素とのアライメントによっては、検出される輝度に誤差が生じる場合があると考えられる。

ここで、感度の良好な部分で表示画素の中心を撮影することが可能な撮像画素では、表示画素の輝度を良好に測定できる。しかし、感度の低い部分で表示画素の中心を撮影することになる撮像画素では、検出される輝度が実際の輝度よりも小さくなる場合があるという問題がある。

しかしながら、特許文献１には、１つの撮像画素内で生じる感度ムラを除去する方法については開示されていない。

なお、特許文献１に記載の装置の構成では、１つの表示画素に複数の撮像画素を割り当てる場合には、１つの撮像画素の中での感度ムラの影響を除去することは可能である。但し、感度ムラを除去するためには、１つの表示画素に対して、複数の撮像画素を割り当てる必要があると考えられる。

しかしながら、１つの表示画素に複数の撮像画素を割り当てるためには、高精細な撮像装置が必要になる。高精細な撮像装置は高価であるため、製造コストが増大するという問題がある。

さらに、４Ｋ２Ｋパネル等の高精細な表示パネルでは、高精細な撮像装置を用いても、１台の撮像装置では、１つの表示画素に感度ムラを良好に除去するために十分な数の撮像画素を割り当てることができないという問題がある。

これに対し、複数台の撮像装置を組み合わせて利用すれば、１つの表示画素に対し十分な数の撮像画素を割り当てられるが、複数台の撮像装置が必要となるため、製造システムのコストが増加するという問題がある。

以下、適宜図面を参照しながら、実施の形態を詳細に説明する。但し、必要以上に詳細な説明は省略する場合がある。例えば、既によく知られた事項の詳細説明や実質的に同一の構成に対する重複説明を省略する場合がある。これは、以下の説明が不必要に冗長になるのを避け、当業者の理解を容易にするためである。

なお、発明者は、当業者が本開示を十分に理解するために添付図面および以下の説明を提供するのであって、これらによって特許請求の範囲に記載の主題を限定することを意図するものではない。

（実施の形態）
以下、図１〜図１２、図１４を用いて、実施の形態を説明する。

本実施の形態にかかる表示パネルの製造方法では、有機ＥＬパネル１１に対する輝度補正工程の実行前に、予め撮像画素の感度ムラの影響を除去するための感度ムラ補正工程を実行する。この感度ムラ補正工程では、複数の撮像画素と複数の感度ムラ補正用画素とを１対１に対応させて、複数回の感度ムラ補正用画素の撮影を行う。これにより、より安価な撮像装置を利用することが可能になる。さらに、感度ムラ補正工程では、複数の撮像画素の各々の領域内で対応する複数の感度ムラ補正用画素の各々を移動させながら、複数回の撮影を行う。これにより、撮像装置が１台であっても、感度ムラを良好に除去することができる。

［１．表示パネルの構成］
まず、上述した輝度補正工程および輝度補正工程を実行するために必要なデータを取得するための輝度測定工程の実行対象となる有機ＥＬパネル（表示パネルの一例）の構成について図１および図２を用いて説明する。

図１は、本実施の形態の有機ＥＬパネルが搭載される有機ＥＬディスプレイ１０の外観を示す外観図である。図２は、本実施の形態における有機ＥＬディスプレイの構成の一例を示すブロック図である。

有機ＥＬディスプレイ１０は、映像を表示する表示装置の一例であり、図２に示すように、制御回路１２と、有機ＥＬパネル１１とを備える。

制御回路１２は、走査信号線駆動回路１１１およびデータ信号線駆動回路１１２を用いて有機ＥＬパネル１１の制御を行う回路であり、メモリ１２１を備える。制御回路１２は、例えば、タイミングコントローラ等で構成される。制御回路１２は、製造工程においては、製造システムを構成する情報処理装置と通信することにより、当該情報処理装置の指示に従って有機ＥＬパネル１１を駆動する機能を有する。

メモリ１２１は、制御回路１２における有機ＥＬパネル１１の制御に必要なデータを記憶するメモリであり、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）等を用いて構成される。なお、メモリ１２１は、制御回路１２の内部ではなく、表示装置内であって制御回路１２の外部に配置されていても構わない。メモリ１２１には、製造工程の完了後に、有機ＥＬ素子の輝度の輝度ムラを補正するための輝度補正用パラメータが記憶される。制御回路１２は、表示動作時には、メモリ１２１に書き込まれた輝度補正用パラメータを読み出し、外部から入力された映像信号データを、その輝度補正用パラメータに基づいて補正して、データ信号線駆動回路１１２へと出力する。

有機ＥＬパネル１１は、走査信号線駆動回路１１１と、データ信号線駆動回路１１２と、表示部１１３とを備える。

表示部１１３は、行列状に配置された表示画素ＰＤ_ｉｊ（ｉ＝１〜表示画素の列数、ｊ＝１〜表示画素の行数）を備え、外部から有機ＥＬディスプレイ１０へ入力された映像信号に基づいて画像を表示する。さらに、表示部１１３には、画素行ごとに走査信号線ＧＬが配置され、画素列ごとにデータ信号線ＳＬが配置されている。

図３Ａは、本実施の形態における有機ＥＬパネル１１を構成する表示画素ＰＤ_ｉｊの一例を示す図である。図３Ａに示すように、個々の表示画素ＰＤ_ｉｊは、赤（Ｒ）のサブ画素ＰＲ_ｉｊ、緑（Ｇ）のサブ画素ＰＧ_ｉｊ、青（Ｂ）のサブ画素ＰＢ_ｉｊの３種類のサブ画素を１つずつ備えている。個々の表示画素ＰＤ_ｉｊは、サブ画素ＰＲ_ｉｊ、サブ画素ＰＢ_ｉｊおよびサブ画素ＰＢ_ｉｊがこの順に横方向に並べて配置されている。このため、図３Ａに示す有機ＥＬパネル１１では、同じサブ画素列には同じ色のサブ画素が配置されている。なお、本実施の形態では、個々の表示画素ＰＤ_ｉｊが、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３種類のサブ画素を１つずつ備える場合について示しているが、これに限るものではない。個々の表示画素ＰＤ_ｉｊが、例えば、赤（Ｒ）および青（Ｂ）のサブ画素を１個、緑（Ｇ）のサブ画素を２個等、４以上のサブ画素を備えていても構わない。あるいは、個々の表示画素ＰＤ_ｉｊが、シアン（Ｃ）、マゼンダ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の３種類のサブ画素を備えていても構わない。

図３Ｂは、本実施の形態における表示画素ＰＤ_ｉｊを構成するサブ画素ＰＲ_ｉｊ、ＰＧ_ｉｊ、ＰＢ_ｉｊの構成の一例を示す回路図である。なお、サブ画素ＰＲ_ｉｊ、ＰＧ_ｉｊ、ＰＢ_ｉｊの３種類のサブ画素は、有機ＥＬ素子ＯＥＬの上部に形成されるカラーフィルタの色を除き、全て同じ構成である。図３Ｂに示すように、サブ画素ＰＲ_ｉｊ、ＰＧ_ｉｊ、ＰＢ_ｉｊは、有機ＥＬ素子ＯＥＬ、コンデンサＣ１、選択トランジスタＴ１および駆動トランジスタＴ２を備えて構成されている。

有機ＥＬ素子ＯＥＬは、電流量に応じた輝度で発光する素子であり、アノード端子が駆動トランジスタＴ２のソース端子に接続され、カソード端子が接地されている。

コンデンサＣ１は、選択トランジスタＴ１を介して入力されるデータ信号に応じた電荷を保持するコンデンサであり、一端がノードＮ１に、他端が駆動トランジスタＴ２のソース端子にそれぞれ接続されている。

選択トランジスタＴ１は、サブ画素の選択および非選択を切り替えるトランジスタであり、薄膜トランジスタ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ、ＴＦＴ）で構成されている。選択トランジスタＴ１は、ゲート端子が走査信号線ＧＬに、ソース端子がデータ信号線ＳＬに、ドレイン端子がノードＮ１にそれぞれ接続されている。選択トランジスタＴ１は、走査信号線ＧＬに印加される走査信号に応じて、データ信号線ＳＬとコンデンサＣ１との間の導通および非導通を切り替える。

駆動トランジスタＴ２は、コンデンサＣ１に保持された電荷に応じた電流を有機ＥＬ素子ＯＥＬに供給する。駆動トランジスタＴ２は、ゲート端子がノードＮ１、つまり、コンデンサＣ１の一端に、ソース端子が有機ＥＬ素子ＯＥＬのアノード端子およびコンデンサＣ１の他端にそれぞれ接続され、ドレイン端子に電圧ＶＴＦＴが入力されている。

走査信号線駆動回路１１１は、走査信号線ＧＬに接続されており、表示画素へデータ信号を書き込むタイミングを制御する機能を有する。

データ信号線駆動回路１１２は、データ信号線ＳＬに接続されており、走査信号線駆動回路１１１と同期して、データ信号を表示画素へ出力する機能を有する。

［２．製造システムの構成］
輝度測定工程および輝度補正工程を実行する製造システムについて、図４、図５Ａおよび図５Ｂを基に説明する。

図４は、本実施の形態における製造システム１００の構成の一例を示すブロック図である。

製造システム１００は、図４に示すように、撮像装置３０と、ステージ５０と、情報処理装置２０とを備える。

［２−１．撮像装置の構成］
撮像装置３０は、輝度測定工程において、有機ＥＬパネル１１を構成する個々の表示画素ＰＤ_ｉｊの輝度を測定するための装置の一例であり、本実施の形態では、インターライン型のＣＣＤカメラである。なお、撮像装置３０は、インターライン型のＣＣＤカメラに限られるものではない。撮像装置３０は、フルフレーム型のＣＣＤカメラであっても構わないし、ＣＣＤカメラ以外の撮像装置であっても構わない。

撮像装置３０は、行列状に配置された複数の撮像画素を備えている。

撮像装置３０を構成する複数の撮像画素の解像度および配列ピッチは、撮像装置３０と有機ＥＬパネル１１との距離の調整、焦点の調整等により、撮影時に表示画素ＰＤ_ｉｊと撮像画素とを１対１に対応させることができる解像度および配列ピッチに設定されている。また、撮像画素の数は、検査対象となる有機ＥＬパネル１１を構成する表示画素の数以上であればよい。

ここで、図５Ａは、インターライン型のＣＣＤカメラにおける撮像画素の構成の一例を示す図であり、図５Ｂは、フルフレーム型のＣＣＤカメラにおける撮像画素の構成の一例を示す図である。インターライン型のＣＣＤカメラは、図５Ａに示すように、撮像画素の開口部が制限されているが、撮像画素間に配置された転送ラインごとに受光データを転送すること可能であり、転送時間を短縮できる。

撮像装置３０は、１台の装置で構成されている。撮像装置３０は、複数の表示画素ＰＤ_ｉｊに対応して、複数の撮像画素ＬＳ_ｉｊを備えている。なお、撮像装置３０は、表示画素ＰＤ_ｉｊよりも多くの数の撮像画素ＬＳ_ｉｊを備えていても構わない。

撮像装置３０は、情報処理装置２０の通信部２３からの制御信号により、有機ＥＬパネル１１を撮像し、撮像した撮影画像を通信部２３へ出力する。

図６は、本実施の形態の製造システム１００において、撮像装置３０と後述するステージ５０（輝度測定工程における有機ＥＬパネル１１）との位置関係を示す図である。図６に示すように、撮像装置３０は、幅方向（Ｘ方向）、奥行き方向（Ｙ方向）及び高さ方向（Ｚ方向）に移動可能となっている。さらに、撮像装置３０は、撮像装置３０の撮影方向を、Ｚ軸に対しθの角度で傾けることができる。

［２−２．ステージの構成］
ステージ５０は、有機ＥＬパネル１１を載せて固定するための部材である。

より詳細には、本実施の形態では、ステージ５０は、撮像対象の有機ＥＬパネル１１を吸着（真空引き）固定する。また、ステージ５０は、情報処理装置２０の指示に従い有機ＥＬパネル１１を固定した状態で、幅方向（Ｘ方向）、奥行き方向（Ｙ方向）及び高さ方向（Ｚ方向）に移動可能となっている。これにより、有機ＥＬパネル１１と撮像装置３０とのアライメントが可能である。

［２−３．情報処理装置の構成］
情報処理装置２０は、製造システム側の調整を行うキャリブレーション工程、有機ＥＬパネル１１の輝度を測定する輝度測定工程、および、輝度測定工程の結果を用いて有機ＥＬパネル１１の輝度補正を行う輝度補正工程の制御を行うように構成されている。情報処理装置２０は、演算部２１と、記憶部２２と、通信部２３とを備える。情報処理装置２０は、パーソナルコンピュータであっても構わないし、ＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ Ｓｃａｌｅ Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）あるいはＡＳＩＣ（ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ ｓｐｅｃｉｆｉｃ ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ ｃｉｒｃｕｉｔ）等を用いて構成されていても構わない。

キャリブレーション工程では、撮像画素内での感度ムラを補正するための感度ムラ補正工程を行う。

輝度測定工程では、実際に有機ＥＬパネル１１の検査を行う。

輝度補正工程では、個々の表示画素（有機ＥＬ素子）について、同じデータ信号に対する発光量が均一になるようにデータ信号を補正するための輝度補正用パラメータを求め、有機ＥＬディスプレイ内のメモリ１２１に記憶する。

情報処理装置２０は、有機ＥＬディスプレイ１０の制御回路１２に対し、通信部２３を介してデータ信号および走査信号を出力することにより、有機ＥＬパネル１１の点灯制御を行う。また、情報処理装置２０は、撮像装置３０およびステージ５０に対し、通信部２３を介して制御信号を出力することにより、撮像装置３０の姿勢制御、および、撮影制御を行う。情報処理装置２０は、撮像装置３０から通信部２３を介して撮影画像を取得する。

情報処理装置２０の詳細な動作については、後述する。

［３．製造システムの動作］
図７〜図１２を用いて製造システムの動作について説明する。

製造システムの制御は、上述したように、情報処理装置２０によって実行される。

［３−１．キャリブレーション工程］
本実施の形態では、上述したように、キャリブレーション工程において、感度ムラ補正工程を実行する。

キャリブレーション工程では、情報処理装置２０は、撮像装置３０に輝度が均一なパネルで構成される基準光源（図示せず）を撮影させ、当該基準光源の撮影結果を用いて感度ムラ補正工程を行う。

基準光源を用いることにより、感度ムラ補正工程に必要なデータを取得する際に、撮影対象側の輝度ムラを考慮する必要がなくなる。なお、基準光源における画素の解像度および配列ピッチは、図３Ａに示す有機ＥＬパネルの表示画素ＰＤ_ｉｊの解像度および配列ピッチと同じである。

図７は、本実施の形態における撮像画素内での感度ムラの補正工程の処理手順の一例を示すフローチャートである。

なお、感度ムラ補正は少なくとも最初の輝度測定工程の実行前に行えばよい。

感度ムラ補正工程では、複数の感度ムラ補正用画素の各々の輝度を測定する第一測定工程および第二測定工程（図７のＳ１１〜Ｓ１５）と、第一測定工程および第二測定工程において測定された輝度値を用いて感度ムラ補正用係数を算出する感度ムラ補正用係数算出工程（図７のＳ１６、Ｓ１７）とを実行する。

情報処理装置２０は、先ず、撮像装置３０の複数の撮像画素と基準光源の複数の感度ムラ補正用画素とを１対１に対応させた上で、基準光源の複数の感度ムラ補正用画素の各々の輝度を複数の撮像画素の各々を用いて測定する第一測定工程（Ｓ１１、Ｓ１２および１回目のＳ１３）を実行する。

具体的には、情報処理装置２０は、図７に示すように、基準光源と撮像装置３０とのアライメントを行い、初期の撮影領域を設定する（Ｓ１１）。基準光源と撮像装置３０とのアライメントは、例えば、アライメントマークの位置に基づいて行われる。アライメントマークは、基準光源の周囲に形成された図形等であっても構わない。あるいは、４角の撮像画素に対応する感度ムラ検出用画素に含まれる３つのサブ画素のうちの少なくとも１つのサブ画素を点灯させてアライメントマークとしても構わない。

また、撮影領域の各々は、サブ画素ではなく、感度ムラ補正用画素（表示画素）の各々と１対１に対応している。

図８は、サブ画素を用いたアライメントマークの一例を示す図である。

情報処理装置２０は、図６に示すように、撮像装置３０のＸＹＺ軸方向の位置、および、軸ＡＸに対する角度θを制御することにより、撮像装置３０を最適な位置にアライメントする。

情報処理装置２０は、結果的に、当該アライメントにより設定された撮影領域を、最初の撮影領域として設定することになる。

情報処理装置２０は、基準光源に検査パターンを表示させる（Ｓ１２）。

図９Ａは、本実施の形態における検査パターンの一例を示す図である。基準光源は、検査対象である有機ＥＬパネル１１と同様に、表示画素ＰＤ_ｉｊがマトリクス状に配置されている。以下、基準光源の表示画素について、適宜「感度ムラ検出用画素」と称する。

基準光源の個々の感度ムラ検出用画素は、検査対象である有機ＥＬパネル１１と同様に、３種類のサブ画素ＰＲ_ｉｊ、ＰＧ_ｉｊ、ＰＢ_ｉｊが横方向に並べて配置された構成となっている。

感度ムラ補正工程では、基準光源を色毎に点灯させる。言い換えると、本実施の形態では、赤（Ｒ）のサブ画素ＰＲ_ｉｊが点灯している検査パターンＲと、緑（Ｇ）のサブ画素ＰＧ_ｉｊが点灯している検査パターンと、青（Ｂ）のサブ画素ＰＢ_ｉｊが点灯している検査パターンＢの３つの検査パターンが用意されている。これらの検査パターンを構成する各サブ画素の階調は、複数の階調Ｖｋ（ｋ＝０〜α、αは階調値の最大値）のうちの代表とする階調Ｖ０に設定されている。なお、階調Ｖ０は、例えば、複数の階調Ｖｋの中央値である。

なお、検査パターンの種類はこれに限られるものではない。隣接サブ画素の発光の影響を抑えるため、間引き点灯させても構わない。図９Ｂおよび図９Ｃは、本実施の形態における検査パターンの他の例を示す図である。図９Ｂに示す検査パターンは、１つの色について、列方向に１つ置きに点灯させている。なお、行方向については、他の２色が消灯しているため、点灯している２つの感度ムラ検出用画素の間に一定の領域があることから、間引きは行っていない。図９Ｂの場合、検査パターン数は６になる。これに対し、図９Ｃでは、行方向についても、１つ置きに点灯させている。図９Ｃの場合、検査パターン数は１２になる。

図９Ａ、図９Ｂ、図９Ｃでは、一点鎖線で囲まれる撮影領域Ａ０のそれぞれが、初期の撮影領域となっている。撮影領域Ａ０は、感度ムラ検出用画素を構成する３つのサブ画素が全て撮影領域Ａ０内に位置するように、アライメントされている。

情報処理装置２０は、撮像装置３０により基準光源を撮影し、撮影画像Ｉ０から撮影領域Ａ０の輝度値を取得する（Ｓ１３）。ここでは、上述したように、１つの撮影領域（＝１つの感度ムラ補正用画素）を１つの撮像画素で撮影するように構成されている。このため、本実施の形態では、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３種類のサブ画素ＰＲ_ｉｊ、ＰＧ_ｉｊ、ＰＢ_ｉｊのうち、点灯させている１種類のサブ画素の全てについて、１度の撮影で輝度値を取得できる。なお、撮影画像Ｉ０から得られる感度ムラ検出用画素Ｐ_ｉｊの輝度値をＬ_ｉｊ０（Ｖ０）とする。

情報処理装置２０は、第一測定工程の実行後、複数の撮像画素の各々の領域内で対応する複数の感度ムラ補正用画素の各々を移動させ、複数の感度ムラ補正用画素の各々の輝度を複数の撮像画素の各々を用いて測定する第二測定工程を実行する（２回目以降のＳ１３、並びに、Ｓ１４およびＳ１５）。なお、本実施の形態では、撮像装置３０を移動（または姿勢を変更）させる場合を例に説明するが、基準光源側を移動させても構わない。

なお、複数の撮像画素の各々の撮影領域内で対応する複数の感度ムラ補正用画素の各々を移動させるとは、撮影領域の各々において、対応する感度ムラ補正用画素の一部が含まれている状態で撮影領域と感度ムラ補正画素とのアライメントをずらすことを意味する。撮影領域の各々において、対応しない感度ムラ補正用画素の一部が含まれていても構わない。

具体的には、情報処理装置２０は、第一測定工程の実行後、撮影領域の位置の設定が全て完了したか否かを判定する（Ｓ１４）。

情報処理装置２０は、設定されていない位置がある場合（Ｓ１４のＹｅｓ）、撮影領域の位置を、感度ムラ検出用画素の大きさ以下の値に設定されたずらし量で第一の位置からずらした第二の位置に再設定する（Ｓ１５）。さらに、情報処理装置２０は、第二の位置の撮影領域Ａｈ（ｈ＝１〜撮影位置の設定数−１）を個々の撮像画素ＬＳ_ｉｊが撮影できるように、撮像装置３０のアライメントを行う。

図１０および図１１Ａ〜図１１Ｃは、本実施の形態における第二の位置（撮影領域Ａｈの位置）の再設定方法の一例を示す図である。図１０では、例えば、破線で示す撮影領域Ａ１の位置は、一点鎖線で示す撮影領域Ａ０の位置から、上側にずらし量ｄ１、右側にずらし量ｄ２でずらされている。

情報処理装置２０は、撮影領域の位置を第二の位置に再設定した後、撮像装置３０により基準光源を撮影する（Ｓ１３）。

同様にして、上下方向へのずらし量ｄ１、左右方向へのずらし量ｄ２を用いて、様々な位置（第二の位置）に撮影領域Ａｈを移動させ（Ｓ１５）、撮影領域Ａｈの位置の再設定毎に輝度値を取得する（Ｓ１３）。

撮影領域の位置の再設定方法としては、例えば、第一の位置からずらし量ｄ１で順次上下方向に撮影領域の位置をずらしていく方法、および、第一の位置からずらし量ｄ２で順次左右方向に撮影領域の位置をずらしていく方法が考えられる。情報処理装置２０は、再設定された撮影領域の一部が、第一の位置の撮影領域Ａ０に重なるように、複数の撮影領域を設定する。

図１１Ａは、撮影領域を第一の位置から右方向にずらし量ｄ２でずらした位置に撮影領域Ａ２を設定した場合を例示している。図１１Ｂは、撮影領域Ａ２からさらに右方向にずらし量ｄ２でずらした位置に撮影領域Ａ３を設定した場合を例示している。図１１Ｃは、撮影領域Ａ１からさらに、上方向にｄ１、右方向にｄ２のずらし量でずらした位置に撮影領域Ａ４を設定した場合を例示している。

ステップＳ１３〜Ｓ１５を繰り返し実行することにより、個々の感度ムラ検出用画素Ｐ_ｉｊについて、輝度値Ｌ_ｉｊｈ（Ｖ０）（ｈ＝１〜撮影位置の設定数−１）が得られる。

情報処理装置２０は、複数の撮影領域Ａｈに対する撮影が終了すると（Ｓ１４のＮｏ）、個々の撮像画素ＬＳ_ｉｊについて、測定結果から得られた輝度値Ｌ_ｉｊｈ（Ｖ０）の平均値ＡＬ_ｉｊ（Ｖ０）を算出する（Ｓ１６）。平均値ＡＬ_ｉｊ（Ｖ０）は、撮影位置の設定数−１＝ｑとすると、（Ｌ_ｉｊ０（Ｖ０）＋・・・Ｌ_ｉｊｑ（Ｖ０））／（ｑ＋１）で求められる。

情報処理装置２０は、撮影領域Ａ０の輝度値と撮影領域Ａ１〜Ａｑの輝度値とを用いて、感度ムラを補正するための感度ムラ補正用係数ａ_ｉｊを算出する（Ｓ１７、感度ムラ補正用係数算出工程）。

情報処理装置２０は、例えば、撮影領域Ａ０の輝度値と撮影領域Ａ１〜Ａｑの輝度値とを用いて算出された平均値ＡＬ_ｉｊ（Ｖ０）を用いて、感度ムラ補正用係数ａ_ｉｊを算出する。撮像画素ＬＳ_ｉｊの感度ムラ補正用係数ａ_ｉｊは、ＡＬ_ｉｊ（Ｖ０）／Ｌ_ｉｊ（Ｖ０）で求められる。

情報処理装置２０は、全ての検査パターンについて補正係数の算出が完了したか否かを判定する（Ｓ１８）。補正係数の算出が完了していない検査パターンがある場合は、ステップＳ１１に移行する。本実施の形態では、赤（Ｒ）のサブ画素ＰＲ_ｉｊが点灯している検査パターンＲと、緑（Ｇ）のサブ画素ＰＧ_ｉｊが点灯している検査パターンと、青（Ｂ）のサブ画素ＰＢ_ｉｊが点灯している検査パターンＢの３つの検査パターンのそれぞれについて、ステップＳ１１〜Ｓ１７を実行する。

［３−２．輝度測定工程（感度ムラ補正係数を用いた輝度測定結果の補正）］
図１２は、本実施の形態における輝度測定工程の処理手順の一例を示すフローチャートである。

情報処理装置２０は、製造システム１００において有機ＥＬパネル１１が製造された後、ステージ５０に検査対象パネルである有機ＥＬパネル１１を移動させる。

情報処理装置２０は、表示画素ＰＤ_ｉｊのうちの輝度の測定を行う測定対象画素を点灯させることにより、有機ＥＬパネル１１に測定用パターンを表示させる（Ｓ２１、発光工程）。測定用パターンの画素構成は、検査パターンの画素構成と同じである。検査パターンは、階調Ｖ０のパターンのみであるが、測定用パターンは、階調Ｖ０〜Ｖα（αは階調値の最大値）別に構成されている。

情報処理装置２０は、撮像装置３０に測定用パターンを撮影させて撮像画像を取得する（Ｓ２２、第三測定工程）。撮像装置３０による測定用パターンの撮影により、個々の測定対象画素が対応する撮像画素により撮影された撮像画像を取得することができる。撮像画像は、階調別に取得される。

情報処理装置２０は、階調Ｖｋ（ｋ＝０〜α）別に、撮像画像における測定対象画素の各々の輝度値Ｌ_ｉｊ（Ｖｋ）を、測定対象画素の各々の輝度の測定結果として取得する（Ｓ２３）。

情報処理装置２０は、測定対象画素の各々の輝度の測定結果を、対応する感度ムラ補正用係数ａ_ｉｊを用いて補正する（Ｓ２４、補正工程）。ここで、測定対象画素の階調ｋにおける輝度の測定結果をＬ_ｉｊ（Ｖｋ）とすると、階調ｋにおける補正後の輝度ＬＣ_ｉｊ（Ｖｋ）は、ａ_ｉｊ×Ｌ_ｉｊ（Ｖｋ）で表される。また、補正は、全ての階調Ｖ０〜Ｖαで同じ感度ムラ補正用係数ａ_ｉｊを用いる。

［３−３．輝度補正工程］
情報処理装置２０は、輝度補正工程において、個々の画素について、補正後の輝度ＬＣ_ｉｊ（Ｖｋ）を用いて輝度補正工程を行い、輝度補正工程において算出された輝度補正用パラメータを有機ＥＬディスプレイ内のメモリ１２１に記憶する（図１２のＳ２５）。

輝度補正工程では、同じデータ信号に対する各画素の発光量が均一になるようにデータ信号を補正するための輝度補正用パラメータを求める。

図１４は、輝度補正工程の概要を示す図である。図１４において、グラフＦｓは、本来あるべき階調値と輝度値との関係（理論値）を示している。また、図１４において、グラフＦ_１およびグラフＦ_２は、輝度測定工程における実際の表示画素の測定結果の一例に対応している。グラフＦ_１は、輝度値Ｖ_１ｋが本来あるべき輝度値よりも大きい場合の一例である。グラフＦ_２は、輝度値Ｖ_２ｋが本来あるべき輝度値よりも小さい場合の一例である。

グラフＦ_１およびグラフＦ_２のサブ画素の各々について、データ信号の階調値をグラフＦｓに合った階調値となるように変換する。変換に用いる式は、一次関数、二次関数等、任意である。

例えば、Ｖｋ＝ＡＶｓｋ＋Ｂを用いてデータ信号を変換する。Ａはゲイン、Ｂはオフセットである。

メモリ１２１には、サブ画素の各々について、パラメータＡおよびＢを記憶する。

［４．効果等］
本実施の形態の表示パネルの製造方法は、複数の撮像画素と複数の感度ムラ補正用画素とを１対１に対応させて複数の感度ムラ補正用画素を撮影可能な撮像装置３０を用いるので、１台の撮像装置で、感度ムラ補正工程を行うことが可能になる。これにより、撮像装置３０にかかるコストを抑えることが可能になる。

また、本実施の形態の表示パネルの製造方法は、有機ＥＬパネル１１に対する輝度補正工程の実行前に、予め、感度ムラを除去するための感度ムラ補正工程を実行する。また、感度ムラ補正工程では、複数の撮像画素の各々の領域内で対応する複数の感度ムラ補正用画素の各々を移動させながら、複数の感度ムラ補正用画素の各々の輝度を複数の撮像画素の各々を用いて複数回測定する。これにより、１台の撮像装置３０で、１つの撮像画素の中で生じる感度ムラによる影響を除去することが可能になる。さらに、１つの撮像画素の中で生じる感度ムラを除去することで、有機ＥＬパネル１１に対する輝度測定工程をより精度良く実施することが可能になる。輝度測定工程を精度良く行えることから、輝度補正工程についても精度良く行うことが可能になる。

図１５Ｃは、シェーディング補正および感度ムラ補正工程を行った後に、輝度補正工程を実行した場合の有機ＥＬパネル１１を示している。図１５Ｃから、感度ムラ補正工程を実行しない図１５Ｂの場合に比べ、輝度ムラが除去されていることが分かる。

また、本実施の形態では、ずらし量を１表示画素以内に設定しているので、個々の撮像画素の感度ムラ補正用係数を良好に求めることが可能になる。

（他の実施の形態）
以上のように、本出願において開示する技術の例示として、実施の形態を説明した。しかしながら、本開示における技術は、これに限定されず、適宜、変更、置き換え、付加、省略などを行った実施の形態にも適用可能である。また、上記実施の形態で説明した各構成要素を組み合わせて、新たな実施の形態とすることも可能である。

（１）上記実施の形態では、キャリブレーション工程において、基準光源に表された検査パターンを撮影したが、これに限るものではない。紙等の記録媒体に検査パターンを表したもの、あるいは、検査パターンを表示した他の表示パネルを撮影するように構成しても構わない。

図１３は、紙面上に表された検査パターンの一例を示している。図１３では、有機ＥＬパネル１１を用いる場合に対応するため、表示画素が形成されていない領域に対応する領域を黒色にし、表示画素が形成されている領域（図中の楕円の領域）を、階調に応じた色に設定している。図１３では、特に、輝度値が最大（白色）のパターンを例示しているが、検査パターンは階調別に作成される。

有機ＥＬパネル１１に検査パターンを表示させる場合は、検査時と同じ構成になるため、より精度良く感度ムラを補正することが可能になる。また、検査パターンを記録媒体に表す場合には、製造装置のコストを安価にすることが可能になる。また、検査パターンを記録媒体に表す場合には、例えば、撮像装置のレンズの球面収差を考慮して検査パターンを作成すれば、当該撮像装置の球面収差による影響を考慮する必要がなくなる。さらに、検査パターンを記録媒体に表す場合には、複数の感度ムラ検出用画素の間で輝度値のムラは生じない。

（２）上記実施の形態では、検査パターンは、階調Ｖ０のパターンのみであるが、測定用パターンと同様に、階調Ｖｋ別に構成しても構わない。

以上のように、本開示における技術の例示として、実施の形態を説明した。そのために、添付図面および詳細な説明を提供した。

したがって、添付図面および詳細な説明に記載された構成要素の中には、課題解決のために必須な構成要素だけでなく、上記技術を例示するために、課題解決のためには必須でない構成要素も含まれ得る。そのため、それらの必須ではない構成要素が添付図面や詳細な説明に記載されていることをもって、直ちに、それらの必須ではない構成要素が必須であるとの認定をするべきではない。

また、上述の実施の形態は、本開示における技術を例示するためのものであるから、特許請求の範囲またはその均等の範囲において種々の変更、置き換え、付加、省略などを行うことができる。

本開示は、有機ＥＬパネル等の自発光素子を備える表示パネルの製造方法あるいは製造装置として適用可能である。

１０ 有機ＥＬディスプレイ
１１ 有機ＥＬパネル
１２ 制御回路
２０ 情報処理装置
２１ 演算部
２２ 記憶部
２３ 通信部
３０ 撮像装置
５０ ステージ
１００ 製造システム
１１１ 走査信号線駆動回路
１１２ データ信号線駆動回路
１１３ 表示部
１２１ メモリ
ＰＤ_ｉｊ 表示画素
Ｐ_ｉｊ 感度ムラ検出用画素
ＰＲ_ｉｊ、ＰＧ_ｉｊ、ＰＢ_ｉｊ 画素
ＧＬ 走査信号線
ＳＬ データ信号線
Ｃ１ コンデンサ
ＯＥＬ 有機ＥＬ素子
Ｔ１ 選択トランジスタ
Ｔ２ 駆動トランジスタ
ＬＳ_ｉｊ 撮像画素

Claims (7)

1. 表示パネルに対する輝度補正工程の実行前に予め実行される感度ムラ補正工程であって、複数の撮像画素の各々における感度ムラを補正するための感度ムラ補正工程を実行する表示パネルの製造方法であって、
   前記複数の撮像画素は、前記複数の撮像画素と複数の感度ムラ補正用画素とを１対１に対応させて前記複数の感度ムラ補正用画素を撮影可能であり、
   また、前記感度ムラ補正工程は、
   前記複数の撮像画素と前記複数の感度ムラ補正用画素とを１対１に対応させた上で、前記複数の感度ムラ補正用画素の各々の輝度を前記複数の撮像画素の各々を用いて測定する第一測定工程と、
   前記複数の撮像画素の各々の領域内で対応する前記複数の感度ムラ補正用画素の各々を移動させ、前記複数の感度ムラ補正用画素の各々の輝度を前記複数の撮像画素の各々を用いて測定する第二測定工程とを含む、
   表示パネルの製造方法。
2. 前記第二測定工程を複数回実行する、
   請求項１に記載の表示パネルの製造方法。
3. さらに、
   前記複数の撮像画素の各々について、前記第一測定工程において測定した前記複数の感度ムラ補正用画素の各々の輝度と前記第二測定工程において測定した前記複数の感度ムラ補正用画素の各々の輝度とを用いて、前記複数の撮像画素の各々における感度ムラを補正するための感度ムラ補正用係数を算出する感度ムラ補正用係数算出工程を有する、
   請求項１または２に記載の表示パネルの製造方法。
4. 前記感度ムラ補正用係数算出工程は、
   前記複数の撮像画素の各々について、前記第一測定工程において測定した前記複数の感度ムラ補正用画素の各々の輝度と前記第二測定工程において測定した前記複数の感度ムラ補正用画素の各々の輝度との平均値を算出する工程と、
   前記感度ムラ補正用係数として、前記平均値と前記第一測定工程において測定した前記複数の感度ムラ補正用画素の各々の輝度との比を算出する工程とを含む、
   請求項１〜３の何れか１項に記載の表示パネルの製造方法。
5. 前記輝度補正工程は、
   表示パネルを構成する複数の表示画素のうちの輝度の測定を行う複数の測定対象画素を発光させる発光工程と、
   前記複数の撮像画素の各々を用いて前記複数の測定対象画素の各々を撮影し、前記複数の測定対象画素の各々の輝度を取得する第三測定工程と、
   測定された前記複数の測定対象画素の各々の輝度を、対応する前記感度ムラ補正用係数を用いて補正する補正工程とを含む、
   請求項３または４に記載の表示パネルの製造方法。
6. 前記複数の感度ムラ補正用画素は、輝度が均一なパネルで構成される基準光源の複数の画素である、
   請求項１〜５の何れか１項に記載の表示パネルの製造方法。
7. 前記複数の感度ムラ補正用画素は、記録媒体上に表された複数の画素である、
   請求項１〜５の何れか１項に記載の表示パネルの製造方法。