JP2015216338A - Multilayer electronic component and method of manufacturing the same - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、積層型電子部品及びその製造方法に関する。 The present invention relates to a multilayer electronic component and a method for manufacturing the same.
電子部品の一つであるインダクター(inductor)は、抵抗、キャパシターとともに電子回路をなして、ノイズ(Noise)を除去する代表的な受動素子である。上記インダクターは、その電磁気的特性を用いて、キャパシターと組み合わされて、特定周波数帯域の信号を増幅させる共振回路やフィルター(Filter)回路などの構成に用いられる。 An inductor, which is one of electronic components, is a typical passive element that forms an electronic circuit together with a resistor and a capacitor to remove noise. The inductor is used in a configuration of a resonance circuit, a filter circuit, or the like that amplifies a signal in a specific frequency band in combination with a capacitor using its electromagnetic characteristics.
最近、電子機器の小型化及び高性能化に対するニーズにより、消費電力が増加している。このような消費電力の増加に伴い、電子機器の電源回路に用いられるPMIC(Power Management Integrated Circuit)またはDC−DCコンバーター(DC−DC Converter)は、スイッチング周波数(Switching Frequency)が高周波化し、出力電流が増加している。したがって、PMICまたはDC−DCコンバーターの出力電流の安定化のために用いられるパワーインダクター(Power Inductor)の使用が増加する傾向にある。 Recently, power consumption has increased due to the need for downsizing and higher performance of electronic devices. With such an increase in power consumption, the switching frequency (Switching Frequency) of a PMIC (Power Management Integrated Circuit) or a DC-DC converter (DC-DC Converter) used in a power supply circuit of an electronic device is increased, and an output current is increased. Has increased. Therefore, the use of a power inductor used for stabilizing the output current of the PMIC or the DC-DC converter tends to increase.
このような傾向において、DC−DCコンバーター回路に用いられるパワーインダクターとしては、金属系磁性材料に導線を巻回した形態の巻線型インダクターが従来から多く用いられてきた。しかし、このような形態のインダクターは、小型化において根本的な限界を有する。したがって、近年では、巻線型インダクターに代わり、積層型インダクターの使用が増大している。 In such a tendency, as a power inductor used in a DC-DC converter circuit, a wound inductor having a form in which a conductive wire is wound around a metal-based magnetic material has been widely used. However, such an inductor has a fundamental limitation in miniaturization. Therefore, in recent years, the use of multilayer inductors is increasing instead of wire wound inductors.
積層型インダクターは、磁性体シート上に内部導体を印刷し、ビアホール穿孔、積層、及び焼成などの一連の工程を経て製造する。 The multilayer inductor is manufactured through a series of processes such as via hole drilling, lamination, and firing by printing an internal conductor on a magnetic sheet.
この際、内部導体の酸化を防止するために、N2、H2などの還元雰囲気で熱処理焼成工程を行う場合、磁性体材料であるフェライト(ferrite)の還元によって磁性特性が劣化するという問題点がある。したがって、フェライト積層型インダクターの焼成は、Ni/NiO平衡酸素分圧などの弱還元雰囲気で行わなければならない。 At this time, in order to prevent oxidation of the inner conductor, when the heat treatment firing process is performed in a reducing atmosphere such as N 2 and H 2 , the magnetic characteristics are deteriorated due to the reduction of ferrite, which is a magnetic material. There is. Therefore, firing of the ferrite multilayer inductor must be performed in a weak reducing atmosphere such as Ni / NiO equilibrium oxygen partial pressure.
しかし、上記のようにフェライトの還元による磁性特性の劣化を防止するために弱還元雰囲気で焼成を行う場合、内部コイルの引き出し部が酸素と接触して酸化が発生し、電気伝導性が減少するという問題があった。 However, when firing in a weak reducing atmosphere to prevent the deterioration of magnetic properties due to the reduction of ferrite as described above, the lead portion of the internal coil comes into contact with oxygen and oxidation occurs, reducing electrical conductivity. There was a problem.
特に、製造コストの低減のために、内部コイルの材料を高価な銀(Ag)から安価な銅(Cu)に代替する傾向にある。しかし、銅(Cu)は銀(Ag)より酸化されやすいため、内部コイルの材料を銅(Cu)に代替するためには、上記のような弱還元雰囲気における内部コイルの酸化問題を解決する必要がある。 In particular, there is a tendency to replace the material of the internal coil from expensive silver (Ag) to inexpensive copper (Cu) in order to reduce manufacturing costs. However, since copper (Cu) is more easily oxidized than silver (Ag), in order to replace the material of the internal coil with copper (Cu), it is necessary to solve the internal coil oxidation problem in the weak reducing atmosphere as described above. There is.
本発明の一実施形態は、弱還元雰囲気で焼成を行う場合にも、内部コイル部の酸化による電気伝導性の減少などの問題を防止することができる積層型電子部品及びその製造方法を提供することをその目的とする。 One embodiment of the present invention provides a multilayer electronic component that can prevent problems such as a decrease in electrical conductivity due to oxidation of an internal coil portion even when firing in a weak reducing atmosphere, and a method for manufacturing the same. That is the purpose.
本発明の一実施形態によれば、複数の磁性体層が積層されて形成された磁性体本体と、上記複数の磁性体層上に形成された複数の内部コイルパターンが電気的に接続され、上記磁性体本体の内部に形成された内部コイル部と、上記磁性体本体の端面に形成され、上記内部コイル部と接続する外部電極と、を含み、上記複数の内部コイルパターンのうち、上記内部コイル部の引き出し部を含む内部コイルパターンには酸化防止部が形成され、上記酸化防止部の空隙率が3%〜25%である積層型電子部品が提供される。 According to one embodiment of the present invention, a magnetic body formed by laminating a plurality of magnetic layers and a plurality of internal coil patterns formed on the plurality of magnetic layers are electrically connected, An internal coil portion formed inside the magnetic body, and an external electrode formed on an end surface of the magnetic body and connected to the internal coil portion, and the internal coil pattern among the plurality of internal coil patterns. An antioxidant part is formed in the internal coil pattern including the lead part of the coil part, and a multilayer electronic component in which the porosity of the antioxidant part is 3% to 25% is provided.
上記酸化防止部は、上記内部コイル部の引き出し部を含む内部コイルパターンのうち、上記内部コイル部の引き出し部を含む一部領域にのみ形成されることができる。 The antioxidant portion may be formed only in a partial region including the lead portion of the internal coil portion of the internal coil pattern including the lead portion of the internal coil portion.
上記酸化防止部は、上記内部コイル部の引き出し部を含む内部コイルパターンの全体に形成されることができる。 The antioxidant portion may be formed on the entire internal coil pattern including the lead portion of the internal coil portion.
上記酸化防止部の空隙率は、酸化防止部が形成されていない内部コイルパターンの空隙率より3%〜25%大きいことができる。 The porosity of the antioxidant portion may be 3% to 25% greater than the porosity of the internal coil pattern in which the antioxidant portion is not formed.
上記酸化防止部の空隙の直径は0.3μm〜15μmであることができる。 The diameter of the space of the antioxidant portion may be 0.3 μm to 15 μm.
上記内部コイル部は銅(Cu)を含有することができる。 The internal coil portion can contain copper (Cu).
上記磁性体本体は、Mn−Zn系フェライト、Ni−Zn系フェライト、Ni−Zn−Cu系フェライト、Mn−Mg系フェライト、Ba系フェライト、及びLi系フェライトからなる群から選択される何れか一つ以上を含有することができる。 The magnetic body is selected from the group consisting of Mn—Zn ferrite, Ni—Zn ferrite, Ni—Zn—Cu ferrite, Mn—Mg ferrite, Ba ferrite, and Li ferrite. Can contain more than one.
本発明の他の一実施形態によれば、複数の磁性体シートを製造する段階と、上記磁性体シート上に内部コイルパターンを形成する段階と、上記内部コイルパターンが形成された磁性体シートを積層することで、内部コイル部が形成された磁性体本体を形成し、焼結する段階と、上記焼結された磁性体本体の端面に上記内部コイル部の引き出し部と接続する外部電極を形成する段階と、を含み、上記内部コイルパターンを形成する段階は、上記内部コイルパターンのうち、上記内部コイル部の引き出し部を含む内部コイルパターンに酸化防止部を形成することを含む、積層型電子部品の製造方法が提供される。 According to another embodiment of the present invention, a step of manufacturing a plurality of magnetic sheets, a step of forming an internal coil pattern on the magnetic sheet, and a magnetic sheet on which the internal coil pattern is formed. By laminating, a magnetic body having an internal coil portion is formed and sintered, and an external electrode connected to the lead portion of the internal coil portion is formed on the end surface of the sintered magnetic body. And forming the internal coil pattern includes forming an antioxidant portion in the internal coil pattern including the lead portion of the internal coil portion of the internal coil pattern. A method for manufacturing a component is provided.
上記酸化防止部は、上記内部コイル部の引き出し部を含む内部コイルパターンのうち、上記内部コイル部の引き出し部を含む一部領域にのみ形成することができる。 The antioxidant portion may be formed only in a partial region including the lead portion of the internal coil portion in the internal coil pattern including the lead portion of the internal coil portion.
上記酸化防止部は、上記内部コイル部の引き出し部を含む内部コイルパターンの全体に形成することができる。 The antioxidant portion may be formed on the entire internal coil pattern including the lead portion of the internal coil portion.
上記内部コイルパターンは、銅(Cu)を含有する導電性ペーストで形成することができる。 The internal coil pattern can be formed of a conductive paste containing copper (Cu).
上記酸化防止部は、銅(Cu)、及び炭素(carbon)、グラフェン(graphene)、BN(boron nitride)及びNaHS(sodium hydrogen sulfide)からなる群から選択される何れか一つ以上の還元剤を含有する導電性ペーストで形成することができる。 The antioxidant may include copper (Cu), and one or more reducing agents selected from the group consisting of carbon, graphene, BN (boron nitride), and NaHS (sodium hydrogen sulfide). The conductive paste can be formed.
上記酸化防止部を形成する導電性ペーストは、上記還元剤を0.1重量%〜30重量%含有することができる。 The conductive paste that forms the antioxidant part may contain 0.1 to 30% by weight of the reducing agent.
上記還元剤は、焼結段階中に熱分解されて、上記酸化防止部に空隙を形成することができる。 The reducing agent can be thermally decomposed during the sintering step to form voids in the antioxidant portion.
上記酸化防止部の空隙率は3%〜25%であることができる。 The porosity of the antioxidant portion may be 3% to 25%.
上記磁性体本体は、Mn−Zn系フェライト、Ni−Zn系フェライト、Ni−Zn−Cu系フェライト、Mn−Mg系フェライト、Ba系フェライト、及びLi系フェライトからなる群から選択される何れか一つ以上を含有することができる。 The magnetic body is selected from the group consisting of Mn—Zn ferrite, Ni—Zn ferrite, Ni—Zn—Cu ferrite, Mn—Mg ferrite, Ba ferrite, and Li ferrite. Can contain more than one.
上記焼結する段階は850℃〜1100℃で行うことができる。 The sintering step can be performed at 850 ° C to 1100 ° C.
本発明の一実施形態によれば、弱還元雰囲気で焼成を行う場合にも、内部コイル部の酸化による電気伝導性の減少などの問題を防止することができる。 According to one embodiment of the present invention, problems such as a decrease in electrical conductivity due to oxidation of the internal coil portion can be prevented even when firing is performed in a weak reducing atmosphere.
また、弱還元雰囲気で焼成を行うため、フェライトの還元による磁性特性の減少を防止することができ、内部コイル部の材料を安価の銅(Cu)に代替できるため、製造コストを低減することができる。 In addition, since the firing is performed in a weak reducing atmosphere, it is possible to prevent a decrease in magnetic properties due to the reduction of ferrite, and the material of the internal coil portion can be replaced with inexpensive copper (Cu), thereby reducing the manufacturing cost. it can.
以下では、添付の図面を参照して本発明の好ましい実施形態について説明する。しかし、本発明の実施形態は様々な他の形態に変形されることができ、本発明の範囲は以下で説明する実施形態に限定されない。また、本発明の実施形態は、当該技術分野で平均的な知識を有する者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。したがって、図面における要素の形状及び大きさなどはより明確な説明のために誇張されることがある。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. However, the embodiments of the present invention can be modified in various other forms, and the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below. In addition, the embodiments of the present invention are provided to more fully explain the present invention to those skilled in the art. Accordingly, the shape and size of elements in the drawings may be exaggerated for a clearer description.
積層型電子部品
以下、本発明の一実施形態による積層型電子部品を説明するにあたり、特に積層型インダクター(inductor)を例として説明するが、これに制限されるものではない。
Multilayer Electronic Component Hereinafter, a multilayer electronic component according to an embodiment of the present invention will be described using a multilayer inductor as an example, but the present invention is not limited thereto.
図1は本発明の一実施形態による積層型電子部品の斜視図であり、図2は図1のA−A´線に沿った断面図である。 FIG. 1 is a perspective view of a multilayer electronic component according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG.
図1及び図2を参照すると、本発明の一実施形態の積層型電子部品100は、磁性体本体110、内部コイル部120、外部電極130と、を含む。
Referring to FIGS. 1 and 2, a multilayer
上記磁性体本体110は、複数の磁性体層が積層されて形成される。磁性体本体110を成す複数の磁性体層は、焼結された状態であって、隣接する磁性体層の間の境界は走査型電子顕微鏡(SEM:Scanning Electron Microscope)を用いずには確認できないほど一体化されていることができる。
The
磁性体本体110は六面体形状であることができる。本発明の実施形態を明確に説明するために六面体の方向を定義すると、図1に表示されたL、W及びTはそれぞれ、長さ方向、幅方向、厚さ方向を示す。
The
上記磁性体本体110は、Mn−Zn系フェライト、Ni−Zn系フェライト、Ni−Zn−Cu系フェライト、Mn−Mg系フェライト、Ba系フェライト、Li系フェライトなどの公知のフェライトを含有することができる。
The
上記内部コイル部120は、磁性体本体110を成す複数の磁性体層上に、 導電性金属を含有する導電性ペーストを所定の厚さに印刷することで形成された内部コイルパターン121を含むことができる。
The
内部コイルパターン121が印刷された各磁性体層の所定の位置にはビア(via)が形成されており、各磁性体層に形成された内部コイルパターン121が上記ビアを介して電気的に互いに連結されて、一つのコイルを形成することができる。
Vias are formed at predetermined positions of the magnetic layers on which the
上記内部コイルパターン121を形成する導電性金属は、電気伝導度に優れた金属であれば特に制限されず、例えば、銀(Ag)、パラジウム(Pd)、アルミニウム(Al)、ニッケル(Ni)、チタン(Ti)、金(Au)、銅(Cu)、または白金(Pt)などの単独または混合形態であることができる。電気伝導性の向上及び製造コストの低減の両面を考慮すると、銅(Cu)を用いることが最も好ましい。
The conductive metal forming the
内部コイル部120を形成する複数の内部コイルパターン121のうち、上記内部コイル部120の引き出し部123を含む内部コイルパターン121には、酸化防止部125が形成されることができる。
Of the plurality of
弱還元雰囲気で熱処理焼成工程を行う時に、外部に露出された内部コイル部120の引き出し部123が酸化されて、電気伝導性が減少するようになる。特に、内部コイル部120を銅(Cu)で形成する場合には、さらに酸化されやすくなる。
When the heat treatment baking process is performed in a weak reducing atmosphere, the lead-out
そこで、本発明の一実施形態によると、内部コイル部120の引き出し部123を含む内部コイルパターン121に酸化防止部125を形成することで、弱還元雰囲気で焼成を行う場合にも、内部コイル部120の酸化による電気伝導性の減少を防止することができる。
Therefore, according to an embodiment of the present invention, the internal coil portion is formed even when firing is performed in a weak reducing atmosphere by forming the
上記酸化防止部125は、導電性金属を含有する導電性ペーストに、炭素(carbon)、グラフェン(graphene)、BN(boron nitride)、及びNaHS(sodium hydrogen sulfide)からなる群から選択される何れか一つ以上の還元剤を添加し、印刷することで形成することができる。上記還元剤は、焼成過程で熱分解されて空隙を形成することができる。これにより、上記酸化防止部125の空隙率は3%〜25%であることができる。
The
空隙率の測定は、透過型電子顕微鏡(TEM)、走査型電子顕微鏡(SEM)などを用いて行うことができる。電子顕微鏡で測定する場合、電子顕微鏡写真を撮り、その断面を解析することで空隙率を決定することができる。また、空孔サイズが100nmより小さい場合の空隙率は、ウルトラミクロトーム(Ultramicrotome)法やイオンミリング(Ion Milling)法などにより薄片化することで、透過型電子顕微鏡で観察して測定することができる。 The measurement of the porosity can be performed using a transmission electron microscope (TEM), a scanning electron microscope (SEM), or the like. When measuring with an electron microscope, the porosity can be determined by taking an electron micrograph and analyzing the cross section. In addition, the porosity when the pore size is smaller than 100 nm can be measured by observing with a transmission electron microscope by slicing by an ultramicrotome method or an ion milling method. .
酸化防止部125の空隙率が3%未満である場合には、内部コイル部120の酸化を防止するための還元剤が不足して内部コイル部120の引き出し部123が酸化され、電気伝導性が減少する恐れがある。また、酸化防止部125の空隙率が25%を超過する場合には、抵抗値が増加する恐れがある。
When the porosity of the
上記酸化防止部125の空隙率は、酸化防止部125が形成されていない内部コイルパターン121の空隙率より3%〜25%大きいことができる。
The porosity of the
上記酸化防止部125に形成される空隙の直径は0.3μm〜15μmであることができる。
The diameter of the air gap formed in the
図3は図2の本発明の一実施形態による積層型電子部品の分解斜視図である。 3 is an exploded perspective view of the multilayer electronic component of FIG. 2 according to an embodiment of the present invention.
図3を参照すると、上記酸化防止部125は、内部コイル部120の引き出し部123を含む内部コイルパターンの全体に形成されることができる。例えば、引き出し部123を含む内部コイル部120の最も外側の層の内部コイルパターンに酸化防止部125が形成されることができる。
Referring to FIG. 3, the
図4は本発明の一実施形態による積層型電子部品の断面図であり、図5は図4の本発明の一実施形態による積層型電子部品の分解斜視図である。 FIG. 4 is a cross-sectional view of a multilayer electronic component according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5 is an exploded perspective view of the multilayer electronic component according to the embodiment of the present invention of FIG.
図4及び図5を参照すると、上記酸化防止部125は、内部コイル部120の引き出し部123を含む内部コイルパターン121のうち、上記内部コイル部120の引き出し部123を含む一部領域にのみ形成されることができる。
Referring to FIGS. 4 and 5, the
内部コイルパターン121のうち、外部に露出された内部コイル部120の引き出し部123を含む一部領域にのみ酸化防止部125を形成することで、内部コイル部120の酸化を防止するとともに、酸化防止部125の形成による抵抗の上昇を最小化することができる。
By forming the
上記外部電極130は、上記磁性体本体110の両端面に露出された内部コイル部120の引き出し部123と接続するように、磁性体本体110の両端面に形成されることができる。
The
外部電極130は、磁性体本体110の長さ方向の両端面に形成されることができ、磁性体本体110の厚さ方向の両端面及び/または幅方向の両端面に延びて形成されることができる。
The
上記外部電極130は、電気伝導性に優れた金属を含有して形成されることができる。例えば、上記外部電極130は、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、スズ(Sn)、または銀(Ag)などの単独またはこれらの合金などで形成されることができる。
The
積層型電子部品の製造方法
図6は本発明の一実施形態による積層型電子部品の製造方法を示した工程図である。
Manufacturing Method for Multilayer Electronic Component FIG. 6 is a process diagram showing a method for manufacturing a multilayer electronic component according to an embodiment of the present invention.
図6を参照すると、先ず、複数の磁性体シート111´を製造することができる。
Referring to FIG. 6, first, a plurality of
磁性体シート111´の製造に用いられる磁性体としては、特に制限されないが、例えば、Mn−Zn系フェライト、Ni−Zn系フェライト、Ni−Zn−Cu系フェライト、Mn−Mg系フェライト、Ba系フェライト、Li系フェライトなどの公知のフェライト粉末を用いることができる。
The magnetic material used for manufacturing the
上記磁性体及び有機物を混合して製造したスラリーをキャリアフィルム(carrier film)上に塗布及び乾燥することで、複数の磁性体シート111´を製造することができる。
A plurality of
次に、上記磁性体シート111´上に内部コイルパターン121を形成することができる。
Next, the
内部コイルパターン121は、導電性金属を含有する導電性ペーストを磁性体シート111´上に印刷法などにより塗布して形成することができる。導電性ペーストの印刷法としては、スクリーン印刷法またはグラビア印刷法などを用いることができるが、本発明はこれに限定されるものではない。
The
上記導電性金属は、電気伝導度に優れた金属であれば特に制限されず、例えば、銀(Ag)、パラジウム(Pd)、アルミニウム(Al)、ニッケル(Ni)、チタン(Ti)、金(Au)、銅(Cu)、または白金(Pt)などの単独または混合形態であることができる。電気伝導性の向上及び製造コストの低減の両方を考慮すると、銅(Cu)を用いることが最も好ましい。 The conductive metal is not particularly limited as long as it has excellent electrical conductivity. For example, silver (Ag), palladium (Pd), aluminum (Al), nickel (Ni), titanium (Ti), gold ( Au), copper (Cu), or platinum (Pt) can be used alone or in a mixed form. In consideration of both improvement of electrical conductivity and reduction of manufacturing cost, it is most preferable to use copper (Cu).
この際、複数の磁性体シート111´上に形成する複数の内部コイルパターン121のうち、内部コイル部120の引き出し部123を含む内部コイルパターン121には酸化防止部125を形成することができる。
At this time, among the plurality of
弱還元雰囲気で熱処理焼成工程を行う時に、外部に露出された内部コイル部120の引き出し部123が酸化されて、電気伝導性が減少することになる。特に、内部コイル部120を銅(Cu)で形成する場合には、さらに酸化されやすい。
When the heat treatment firing process is performed in a weak reducing atmosphere, the lead-out
そこで、本発明の一実施形態によると、内部コイル部120の引き出し部123を含む内部コイルパターン121に酸化防止部125を形成することで、弱還元雰囲気で焼成を行う場合にも、内部コイル部120の酸化による電気伝導性の減少を防止することができる。
Therefore, according to an embodiment of the present invention, the internal coil portion is formed even when firing is performed in a weak reducing atmosphere by forming the
上記酸化防止部125は、導電性金属を含有する導電性ペーストに、炭素(carbon)、グラフェン(graphene)、BN(boron nitride)、及びNaHS(sodium hydrogen sulfide)からなる群から選択される何れか一つ以上の還元剤を添加して印刷することで形成することができる。
The
上記酸化防止部125を形成する導電性ペーストは、上記還元剤を0.1重量%〜30重量%含有することができる。
The conductive paste forming the
還元剤の含量が0.1重量%未満である場合には、内部コイル部120の酸化を防止するための還元剤が不足して内部コイル部120の引き出し部123が酸化され、電気伝導性が減少する恐れがある。また、還元剤の含量が30重量%を超過する場合には、抵抗値が増加する恐れがある。
When the content of the reducing agent is less than 0.1% by weight, the reducing agent for preventing the oxidation of the
上記酸化防止部125は、内部コイル部120の引き出し部123を含む内部コイルパターンの全体に形成することができる。例えば、引き出し部123を含む内部コイル部120の最も外側の層の内部コイルパターンに酸化防止部125を形成することができる。
The
一方、上記酸化防止部125は、内部コイル部120の引き出し部123を含む内部コイルパターン121のうち、上記内部コイル部120の引き出し部123を含む一部領域にのみ形成することができる。
On the other hand, the
内部コイルパターン121のうち、外部に露出された内部コイル部120の引き出し部123を含む一部領域にのみ酸化防止部125を形成することで、内部コイル部120の酸化を防止するとともに、酸化防止部125の形成による抵抗の上昇を最小化することができる。
By forming the
次に、内部コイルパターン121及び酸化防止部125が形成された磁性体シート111´を積層することで、内部コイル部120が形成された磁性体本体110を形成し、焼結することができる。
Next, by laminating the
この際、フェライトを含有する磁性体シート111´を積層してなる磁性体本体110は、還元雰囲気で焼成する場合、フェライトの還元により磁性特性が劣化する恐れがある。したがって、フェライトを含有する磁性体本体110は、弱還元雰囲気で焼結することができる。この際、焼結温度は850℃〜1100℃であることができる。
At this time, when the
上記焼結する過程で、上記酸化防止部125に含有された還元剤が熱分解されて空隙を形成することができる。これにより、上記酸化防止部125の空隙率は3%〜25%であることができる。
In the sintering process, the reducing agent contained in the
次に、上記焼結された磁性体本体110の端面に、上記内部コイル部120の引き出し部123と接続する外部電極130を形成することができる。
Next, the
上記外部電極130は、電気伝導性に優れた金属を含有する導電性ペーストを用いて形成することができる。上記導電性ペーストは、例えば、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、スズ(Sn)、または銀(Ag)などの単独またはこれらの合金などを含有することができる。外部電極130を形成する方法は、外部電極130の形状に応じて、印刷法だけでなくディッピング(dipping)法などを行って形成することができる。
The
その他、上述の本発明の一実施形態による積層型電子部品の特徴と同一の部分についての説明は省略する。 In addition, description of the same parts as those of the multilayer electronic component according to the embodiment of the present invention is omitted.
以上、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の権利範囲はこれに限定されず、請求の範囲に記載された本発明の技術的思想から外れない範囲内で多様な修正及び変形が可能であるということは、当技術分野の通常の知識を有する者には明らかである。 The embodiment of the present invention has been described in detail above, but the scope of the present invention is not limited to this, and various modifications and variations can be made without departing from the technical idea of the present invention described in the claims. It will be apparent to those having ordinary knowledge in the art.
100 積層型電子部品
121 内部コイルパターン
110 磁性体本体
123 内部コイル部の引き出し部
111´ 磁性体シート
125 酸化防止部
120 内部コイル部
130 外部電極
DESCRIPTION OF
Claims (17)
前記複数の磁性体層上に形成された複数の内部コイルパターンが電気的に接続され、前記磁性体本体の内部に形成された内部コイル部と、
前記磁性体本体の端面に形成され、前記内部コイル部と接続する外部電極と、を含み、
前記複数の内部コイルパターンのうち、前記内部コイル部の引き出し部を含む内部コイルパターンには酸化防止部が形成されて、前記酸化防止部の空隙率が3%〜25%である、積層型電子部品。 A magnetic body formed by laminating a plurality of magnetic layers;
A plurality of internal coil patterns formed on the plurality of magnetic layers are electrically connected, and an internal coil portion formed inside the magnetic body,
An external electrode formed on an end surface of the magnetic body and connected to the internal coil portion;
Of the plurality of internal coil patterns, an internal coil pattern including a lead-out portion of the internal coil portion has an antioxidant portion, and the porosity of the antioxidant portion is 3% to 25%. parts.
前記磁性体シート上に内部コイルパターンを形成する段階と、
前記内部コイルパターンが形成された磁性体シートを積層することで、内部コイル部が形成された磁性体本体を形成し、焼結する段階と、
前記焼結された磁性体本体の端面に前記内部コイル部の引き出し部と接続する外部電極を形成する段階と、を含み、
前記内部コイルパターンを形成する段階は、前記内部コイルパターンのうち、前記内部コイル部の引き出し部を含む内部コイルパターンに酸化防止部を形成することを含む、積層型電子部品の製造方法。 Producing a plurality of magnetic sheets;
Forming an internal coil pattern on the magnetic sheet;
Laminating and sintering the magnetic body sheet on which the internal coil portion is formed by laminating the magnetic sheet on which the internal coil pattern is formed; and
Forming an external electrode connected to the lead portion of the internal coil portion on the end surface of the sintered magnetic body, and
The step of forming the internal coil pattern includes forming an antioxidant portion on the internal coil pattern including the lead portion of the internal coil portion of the internal coil pattern.
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