JP2015210851A - 真空開閉装置の放電検出装置及び放電検出方法 - Google Patents

Abstract

【課題】真空バルブの真空度低下や真空バルブの絶縁部材等の絶縁劣化を判定することができる真空開閉装置の放電検出装置を得る。【解決手段】遮断器１の真空バルブ１６は容器１３に収容されている。真空バルブ１６に発生した放電による電磁波をアンテナ２で検出して、分波部４、検波部５でピーク値Ｓ３を求める。計数部６にて所定時間Δｔの間にピーク値Ｓ３が所定の閾値Ｋを越える超過数Ｎｎを計数する。この動作をＭ回繰り返し、Ｍ個の超過数データＸｎ（ｎ＝１〜Ｍ）を得る。判定部７は、このＭ個の超過数データＸ１〜ＸＭのうちその超過数が閾値Ｃを越えるデータ数Ｄを求め、割合γ＝Ｄ／Ｍが所定値Ｇよりも大きい場合は真空バルブ１６の真空度低下と判定し、割合γが所定値Ｇ以下の場合は絶縁部材等の絶縁劣化と判定する。【選択図】図１

Description

本発明は、真空開閉装置の放電検出装置及び放電検出方法に関する。

真空バルブは、固定接点とこの固定接点に対向して配置された可動接点との一対の接点を備え、一対の接点は、接点の周囲が真空に保たれた真空容器の中に配置されている。真空バルブの接点が投入されて主回路導体に電流が流れている状態から真空バルブの接点を開極して主回路に流れる電流を遮断する場合、真空容器内の真空度が高ければ真空の高い消弧能力により電流は遮断される。しかし、真空容器の亀裂発生や、金属・絶縁物に吸着していた気体分子の放出、さらには雰囲気ガスの透過などの要因によって真空容器内の真空度が低下すると、接点を開極する際に絶縁破壊が生じて電流を遮断できず、最悪の場合機器が破損する。そこで、真空バルブを用いた遮断器およびその周辺機器を破損させることなく真空バルブの状態を把握するため、真空容器内の真空度が劣化しているかを判定する真空度劣化監視装置が検討されてきた。

例えば、従来の真空開閉装置の放電検出装置としての真空度監視装置は、真空バルブとしての真空遮断器の真空度が劣化し、耐電圧性能が低下することで放電が起き、放電に伴う電磁波をプローブ又はアンテナによって検出することによって真空度の良否の判定を行う（例えば、特許文献１参照）。また、他の従来の真空開閉装置の放電検出装置としての絶縁診断装置は、放電時の音波を測定し、一定の時間帯において受信される放電回数を計数することを経時的に繰り返して実行し、得られたデータを統計処理して累積頻度分布から絶縁劣化診断を実施する（例えば、特許文献２参照）。さらに、他の従来の真空開閉装置の放電検出装置としての真空不良検出装置として、真空バルブの外沿面、遮断器内の絶縁部材等が経年劣化により放電が発生する可能性があり、この放電と真空度劣化による放電とを判別するため、０．１−０．２Ｔｏｒｒでは半サイクルに１回放電が発生し、０．２−０．５Ｔｏｒｒでは半サイクルに２回以上放電が発生し、絶縁劣化の場合は間欠的に放電が発生することから、真空度低下なのか絶縁劣化なのかを判断するものがある（例えば、特許文献３参照）。

特開昭５９−１６０９２４号公報（第４頁第１３行〜第３０行及び第１３図） 特開昭６０−０１０１８４号公報（第２頁左上欄第１７行〜第３頁左下欄第１３行及び第１図〜第４図） 特開平０２−０４４６２４号公報（第３頁右下欄第５行〜第５頁左上欄第２行、第１図及び第２図）

特許文献１に記載された真空度監視装置においては、真空バルブ（真空遮断器）の真空度の良否の判定について記載されているが、絶縁劣化にともなう放電の検出方法や真空度劣化による放電との識別方法については考慮されていないという問題点があった。特許文献２に記載された絶縁診断装置では電気機器の固体絶縁物の絶縁診断について記載されているが、真空バルブ内の真空度低下の検知や真空バルブの絶縁物の絶縁劣化の検知については触れられていない。また、特許文献３に記載された真空不良検出装置においては、半サイクルに発生する放電回数で判別する場合、真空度低下時に発生する放電は必ずしも半サイクルに１回とは限らず、また０．１−０．５Ｔｏｒｒの範囲でしか判別できず、０．１Ｔｏｒｒ以下もしくは０．５Ｔｏｒｒ以上の場合は、真空度低下か絶縁劣化なのか確認作業を行う必要があり、確認作業に時間がかかるという問題点があった。

この発明は前記のような問題点を解決するためになされたものであり、真空バルブの真空度低下や真空バルブの絶縁部材や真空バルブに接触して配置された接触絶縁部材の絶縁劣化を判定することができる真空開閉装置の放電検出装置を得ること及び放電検出方法を提供することを目的とする。さらに、真空度低下であれば真空バルブ内の真空度を求めることができ、絶縁劣化によるものであれば放電電荷量を求めることができる真空開閉装置の放電検出装置を得ることを目的とする。

この発明に係る真空開閉装置の放電検出装置においては、
主回路を開閉する真空バルブと前記真空バルブに接触して設けられた接触絶縁部材とを有する真空開閉装置の放電を検出するものであって、電磁波検出部と計数部と判定部とを有し、
前記電磁波検出部は、前記真空開閉装置における放電による電磁波の大きさを検出するものであり、
前記計数部は、前記電磁波の大きさが所定時間の間に予め設定された閾値を越えた数である超過数Ｎを計数する動作を所定回数Ｍ回繰り返しＭ個の超過数データを得、前記Ｍ個の超過数データのうちその超過数Ｎが所定値を越える超過数データのデータ数Ｄを求めるものであり、
前記判定部は、前記所定回数Ｍ回に対する前記データ数Ｄの割合γ＝Ｄ／Ｍが所定値を越えるときは前記真空バルブの真空度低下と判定し、前記割合γが所定値以下のときは前記真空バルブの絶縁部材または前記接触絶縁部材の絶縁劣化と判定するものである。

この発明に係る真空開閉装置の放電検出方法においては、主回路を開閉する真空バルブと前記真空バルブに接触して設けられた接触絶縁部材とを有する真空開閉装置の放電を検出する方法であって、次の工程を有するものである。
ア．前記真空バルブにおける放電による電磁波の大きさを検出する工程。
イ．前記電磁波の大きさが所定時間の間に予め設定された閾値を越えた数である超過数Ｎを計数する動作を所定回数Ｍ回繰り返しＭ個の超過数データを得、前記Ｍ個の超過数データのうちその超過数Ｎが所定値を越える超過数データのデータ数Ｄを求める工程。
ウ．前記所定回数Ｍ回に対する前記データ数Ｄの割合γ＝Ｄ／Ｍが所定値を越えるときは前記真空バルブの真空度低下と判定し、前記割合γが所定値以下のときは前記真空バルブの絶縁部材または前記接触絶縁部材の絶縁劣化と判定する工程。

この発明に係る真空開閉装置の放電検出装置は、以上のように構成されているので、真空バルブの真空度低下及び真空バルブの絶縁材料や真空バルブに接触して設けられた接触絶縁部材の絶縁劣化を判定することができる。

この発明に係る真空開閉装置の放電検出方法は、以上のような工程を有するので、真空バルブの真空度低下及び真空バルブの絶縁材料や真空バルブに接触して設けられた接触絶縁部材の絶縁劣化を判定することができる。

この発明の実施の形態１である真空開閉装置の放電検出装置の構成を示すブロック図である。 図２（ａ）は図１の真空開閉装置の放電検出装置を遮断器へ取り付けた状態を示す斜視図、図２（ｂ）は真空バルブの支持状態の詳細を示す断面図である。 真空開閉装置の放電検出装置の動作を示すフローチャートである。 真空度低下時の超過数データを示す図である。 絶縁劣化時の超過数データを示す図である。 実施の形態２による真空開閉装置の放電検出装置の構成を示すブロック図である。 図６の真空度算出部の動作を示すフローチャートである。 電磁波のピーク値と真空バルブの真空度との関係を示す特性図である。 実施の形態３による真空開閉装置の放電検出装置の構成を示すブロック図である。 図９の放電電荷量算出部の動作を示すフローチャートである。 電磁波のピーク値と絶縁部材の劣化による放電電荷量との関係を示す特性図である。 実施の形態４による真空開閉装置の放電検出装置の構成を示すブロック図である。 図１２の真空開閉装置の放電検出装置の動作を示すフローチャートである。 図１３のステップＳ４０の詳細を示すフローチャートである。

実施の形態１．
図１〜図５は、この発明を実施するための実施の形態１を示すものであり、図１は真空開閉装置の放電検出装置の構成を示すブロック図、図２（ａ）は図１の真空開閉装置の放電検出装置を遮断器へ取り付けた状態を示す斜視図、図２（ｂ）は真空バルブの支持状態の詳細を示す断面図である。図３は真空開閉装置の放電検出装置の動作を示すフローチャート、図４は真空度低下時の超過数データを示す図、図５は絶縁劣化時の超過数データを示す図である。図１及び図２において、真空開閉装置としての遮断器１は、ブッシング１０、容器１３、真空バルブ１６、駆動装置１７を有する。ブッシング１０は、碍管１１とこの碍管１１を貫通するブッシング導体１２と電界緩和シールド１４とを有する。接地電位である鋼板やアルミニウムなどの導体製の円筒状の容器１３に主回路電流や事故電流を遮断する真空バルブ１６が収容されている。容器１３は、気密性を有し、絶縁ガスが封入されている。

真空バルブ１６は、図２（ｂ）に示すように、円筒形の絶縁筒１６ａ、左右の端板１６ｂ，１６ｃ、固定電極１６ｄ、可動電極１６ｅ、ベローズ１６ｆを有する。絶縁筒１６ａの軸方向両端に金属製の端板１６ｂ，１６ｃが蝋付けされ、固定電極１６ｄは左方の端板１６ｂを気密に貫通して設けられており、可動電極１６ｅは固定電極１６ｄと対向配置されるとともに、右方の端板１６ｃとの間に設けられた金属製のベローズに気密にかつ軸方向に移動可能に蝋付けされ、絶縁筒１６ａの内部は真空にされている。真空バルブ１６は、図２（ｂ）に示すように固定電極１６ｄ側が絶縁支持部材１９を介して容器１３の左方の内側面に固定支持されている。真空バルブ１６の固定電極１６ｄ及び可動電極１６ｅは、それぞれブッシング導体１２に接続されている。なお、可動電極１６ｅはブッシング導体１２に対して摺動しながら軸方向に移動するようにされており，両者間の通電が可能となっている。

駆動装置１７は、駆動装置本体１７ａと絶縁ロッド１７ｂを有する。駆動装置本体１７ａは容器１３の右方の端部の外側面（図２（ａ）参照）に固定され、絶縁ロッド１７ｂを介して真空バルブ１６の可動電極１６ｅに結合され、可動電極１６ｅを真空バルブ１６の軸方向に駆動して固定電極１６ｄと接離することにより開閉操作する。以上のように、真空バルブ１６は、真空バルブ１６に接触して設けられた接触絶縁部材としての絶縁支持部材１９並びに絶縁ロッド１７ｂにより対地電位の部材としての容器１３及び駆動装置本体１７ａと絶縁されている。

また、容器１３には外部と接続するためのブッシング１０が取り付けられている。ブッシング導体１２にその外周を一部覆う円筒形状の電界緩和シールド１４が設けられている。電界緩和シールド１４はブッシング導体１２との間に容量成分をもつことから、ローパスフィルタとして働く。放電検出装置は、電磁波検出部としてのアンテナ２と放電検出装置本体１１０とを有する。アンテナ２は容器１３の内部に設置されている。アンテナ２の受信感度の良い帯域を、前記電界緩和シールド（ローパスフィルタ）１４のカットオフ周波数以下で、放電による電磁波の周波数帯域に設定する。放電検出装置本体１１０は、分波部４、検波部５、計数部６、判定部７、表示部８を有する。アンテナ２の出力側は信号線１８により放電検出装置本体１１０の分波部４に接続されている。

次に、動作を説明する。容器１３内で絶縁上の問題が生じた場合、例えば真空バルブ１６における高電界部への金属異物の付着や、真空バルブ１６周辺の固体絶縁部材（例えば可動電極を駆動する絶縁ロッド、セラミック製の真空容器等）の絶縁不良、真空バルブ１６内での真空度劣化等が発生した場合、容器１３内部で部分放電が発生し電磁波が放射される。この時、放電による電磁波はアンテナ２に伝播する。アンテナ２で受信された電磁波は、信号線１８を介して、分波部４へ電磁波Ｓ１として入力される。分波部４によって、電界緩和シールド（ローパスフィルタ）１４のカットオフ周波数以下の電磁波Ｓ２を取り出し、取り出された電磁波Ｓ２（例えば、周波数２００〜３００ＭＨｚ）のピーク値（電圧）Ｓ３を検波部５によって取り出す。

以下、検波して取り出した電磁波Ｓ２のピーク値Ｓ３に基づいて真空バルブ１６の放電検出を行う方法を図３のフローチャートにより説明する。図３において、初期化（測定回数ｎ＝１とおく）を行い（ステップＳ１）、計数部６により予め決められた時間である所定時間Δｔを１回当たりの測定時間とし、所定時間Δｔ内にピーク値Ｓ３の大きさが予め設定した所定の閾値Ｋを越えた超過数Ｎｎを計測し超過数データＸｎ（Ｘｎ＝Ｎｎ）を得る（ステップＳ２）。得られた超過数データＸｎは計数部６に記録される（ステップＳ３）。次にｎに１を加え（ステップＳ４）、ステップＳ５からステップＳ２へ戻り、次の所定時間Δｔ内にピーク値Ｓ３の大きさが設定した閾値Ｋを越えた数を計測し超過数データＸｎ＋１を得る。この動作を予め決められた回数であるＭ回繰り返す（ステップＳ５）。

Ｍ回分の超過数データＸ１〜ＸＭが得られると（ステップＳ５）、判定部７は超過数データＸ１〜ＸＭのうちその超過数Ｎ１〜ＮＭが閾値Ｃを越えるデータ数Ｄを求める（ステップＳ６）。次に、繰り返し回数Ｍに対するデータ数Ｄの割合γ＝Ｄ／Ｍを求める（ステップＳ７）。割合γが予め決められた値である所定値Ｇ以上となる場合は放電が継続して発生していることから、真空バルブ１６の真空度低下と判定する（ステップＳ９）。そうでない場合は、放電が間欠的に発生していることから、真空バルブ１６の絶縁部材の絶縁劣化によるものと判定する。そして、判定結果を表示部８に表示する（ステップＳ１１）。なお、以上のような判定に要する１サイクルの時間Ｔは、Ｔ＝Δｔ×Ｍとなる。

次に、上記のようにして放電源すなわち放電の原因が真空度低下によるものか絶縁部材の絶縁劣化によるものか判定できる理由について以下に説明する。図４は、真空度低下時の実測した超過数データＸ１〜ＸＭの超過数Ｎ１〜ＮＭ（Ｍ＝６０）を示す特性図であり、図５は絶縁劣化時の実測した超過数データＸ１〜ＸＭの超過数Ｎ１〜ＮＭ（Ｍ＝６０）を示す特性図である。図４，５から真空度低下時は超過数Ｎｎ（ｎ＝１〜Ｍ）の値が大きい超過数データＸｎが継続して発生しているのに対して、絶縁劣化時は超過数Ｎｎの値が零である超過数データＸｎが連続する区間や、超過数Ｎｎの値が比較的小さい超過数データＸｎが連続する区間があることが分かる。この結果から、超過数データＸｎの超過数Ｎｎが閾値Ｃを越えるデータ数Ｄを計数し、全体の繰り返し回数Ｍに対するデータ数Ｄの割合γから、放電源を判定することが可能となる。なお、図５においては、割合γが約０．８７、図６においては割合γが約０．５５である。

実施の形態２．
図６〜図８は実施の形態２を示すものであり、図６は真空開閉装置の放電検出装置の構成を示すブロック図、図７は真空度算出部の動作を示すフローチャート、図８は電磁波のピーク値と真空バルブ１６の真空度との関係を示す特性図である。図６において、放電検出装置本体２１０は記憶部２１と真空度算出部２２とを有する。その他の構成については、図１に示す実施の形態１と同様のものであるので、相当するものに同じ符号を付して説明を省略する。

次に、動作について図７により説明する。図７のフローチャートは、実施の形態１の図３のフローチャートのステップＳ９とステップＳ１１との間に挿入されるものである。なお、記憶部２１は、電磁波Ｓ２のピーク値（電圧）Ｓ３を常時記憶する。図３のステップＳ８においてγ（Ｄ／Ｍ）＞Ｇか否か判定され、γ＞Ｇであれば真空度低下と判定する（ステップＳ９）が、真空度低下と判定された場合、図７のステップＳ２１において記憶部２１に記憶された電磁波Ｓ２のピーク値Ｓ３に基づいて真空バルブ１６の真空度を求める（詳細後述）。そして、求めた真空度を表示部８に表示する（ステップＳ２２）。なお、ステップＳ２１における真空度は図８に示す特性に基づいて求める。図８は容器１３内に真空度を変更可能な真空バルブを設置し、真空度を変更しつつ、開極した状態の主電極（固定電極と可動電極）間に電圧を印加して放電させ、その際に容器１３内に設置したアンテナ２で取得した電磁波Ｓ１を分波部４、検波部５を介して電磁波Ｓ２のピーク値Ｓ３（電圧）と真空バルブの真空度Ｐとの関係を求めた特性図である。両者の関係は、例えば最小二乗法等により回帰直線を算出し、この真空度Ｐと電磁波Ｓ２のピーク値Ｓ３との関係を真空度算出部２２に記憶しておき、この回帰直線に基づき真空度Ｐを求める。

図８に示すようにアンテナからの電磁波のピーク値はほぼ真空度に比例する傾向にある。本形態により、アンテナからの電磁波のピーク値（大きさ）から真空バルブ内の真空度が判明するので、真空バルブの開閉が可能かすなわち主回路電流の遮断が可能か、真空バルブの交換が必要か等の判断が直ちに可能となり、放電発生時にその発生源を判定するための作業工程を削減し、作業時間を低減することができる。

実施の形態３．
図９〜図１１は実施の形態３を示すものであり、図９は真空開閉装置の放電検出装置の構成を示すブロック図、図１０は放電電荷量算出部の動作を示すフローチャート、図１１は電磁波のピーク値と放電電荷量との関係を示す特性図である。図９において、放電検出装置本体３１０は真空度算出部２２の代わりに放電電荷量算出部３１とを有する。その他の構成については、図６に示す実施の形態２と同様のものであるので、相当するものに同じ符号を付して説明を省略する。

次に、動作について図１０により説明する。図１０のフローチャートは、実施の形態１の図３のフローチャートのステップＳ１０とステップＳ１１との間に挿入されるものである。図３のステップＳ８においてγ（Ｄ／Ｍ）＞Ｇ（Ｇは所定値）か否か判定され、γ＞Ｇでなければ絶縁劣化と判定する（ステップＳ１０）が、絶縁劣化と判定された場合、図１０のステップＳ３１において、記憶部２１に記憶された電磁波Ｓ２のピーク値Ｓ３に基づいて放電の放電電荷量を求める（詳細後述）。求めた放電電荷量が問題ないレベルであれば（ステップＳ３２）そのまま求めた放電電荷量を表示部８に表示し終了する（ステップＳ３４）。そのレベルに問題があれば絶縁劣化の警報を発し（ステップＳ３３）、求めた放電電荷量を表示部８に表示する（ステップＳ３４）。絶縁劣化の可能性の高い絶縁部材として、真空バルブ１６の絶縁筒１６ａ、真空バルブ１６に接触して設けられた接触絶縁部材としての絶縁支持部材１９、絶縁ロッド１７ｂが考えられるが、本実施の形態によればこれらのいずれが絶縁劣化しても検出が可能である。

図１１は容器１３内に予め絶縁劣化させた絶縁部材を設置し、課電電圧等を変更することで放電電荷量を変更しつつ、容器１３内に設置されたアンテナ２で受信した電磁波の大きさ（ピーク値Ｓ３）と放電電荷量Ｑとの関係を測定した結果を示す特性図である。図１１によれば、アンテナ２からの電磁波（ピーク値Ｓ３）は放電電荷量Ｑが大きいほど高くなる傾向がある。この測定結果を基に、実施の形態２で説明した真空度計算と同様に最小二乗法等により放電電荷量Ｑとアンテナ２からの電磁波のピーク値Ｓ３との関係を示す回帰直線を求めて放電電荷量算出部３１に記憶しておき、この回帰直線を用いてピーク値Ｓ３から放電電荷量Ｑを求める。

以上のように、この実施の形態によれば放電電荷量Ｑが判明するので、絶縁部材がどの程度劣化しているのか、絶縁部材の交換が必要か等の判断が即時に可能となり、放電発生時の原因究明等の作業工程を削減することができる。

実施の形態４．
図１２〜図１４は、実施の形態４を示すものであり、図１２は真空開閉装置の放電検出装置の構成を示すブロック図、図１３は真空開閉装置の放電検出装置の動作を示すフローチャート、図１４は図１３のステップＳ４０の詳細を示すフローチャートである。図１２において、放電検出装置本体４１０は真空度算出部２２と放電電荷量算出部３１と開閉動作禁止部としてのロック部４１とを有する。その他の構成については、図６に示す実施の形態２あるいは図９に示す実施の形態３と同様のものであるので、相当するものに同じ符号を付して説明を省略する。

この実施の形態は、実施の形態２と実施の形態３とを組み合わせるとともに、ロック部４１を設けて必要なときに真空バルブ１６の開閉動作を禁止するようにしたものである。図１３のフローチャートにおいて、ステップＳ１〜Ｓ７までは、実施の形態１と同様であるが、その後のステップＳ４０における動作が異なる。ステップＳ４０の詳細を示す図１４において、ステップＳ８からステップＳ３４までは実施の形態１〜３と同様のステップである。図１４において、真空度算出部２２で得られた真空度の計算結果が、所定の電流例えば遮断器１の定格電流を遮断可能な真空度でない、すなわち開極可能な真空度でない場合は（ステップＳ４１）、ロック部４１により駆動装置１７が動作しないように図示しない開閉回路をロックして開閉動作を禁止し（ステップＳ４２）、ロックした旨及び真空度低下の警報を発する（ステップＳ４３）とともに、ロックした旨及び真空度を表示部８に表示する（ステップＳ４５）。開極可能な真空度すなわち主回路電流は遮断可能であるが事故電流等定格電流を越える大きな電流は遮断できないおそれのある真空度であれば（ステップＳ４１）、真空度低下の警報を発し（ステップＳ４４）、真空度が低下し事故電流は遮断できないおそれのある旨及び真空度を表示部８に表示する（ステップＳ４５）。

なお、前記各実施の形態では、電磁波Ｓ１のピーク値Ｓ３に基づいて真空バルブの放電の監視及び真空度や放電電荷量を求めるものを示したが、ピーク値Ｓ３から求めるものに限られるものではなく、電磁波Ｓ１を適宜処理して得られた別の形の電磁波の大きさに基づいて求めることもできる。

以上のように、この実施の形態によれば真空バルブの真空度が劣化して、負荷電流を遮断できないレベルすなわち開極した瞬間に閃絡するレベルになっている場合に、誤って開極することを防止できるので、より安全性を向上させることができる。また、負荷電流は遮断できるが事故電流等負荷電流を越える大きな電流は遮断できないおそれのあるレベルに真空度が低下した場合は、真空度劣化の警報を発してその旨報知するので、前広に対策が可能である。

なお、以上では、真空バルブ１６が導体製の容器１３に収容されているので容器１３内に設置されたアンテナ２は、外部から電磁波ノイズが入らないので電磁波ノイズ対策が容易であるが、容器１３に収容されていない場合であっても適用できる。また、以上では真空開閉装置が真空遮断器の場合について説明したが、真空電磁接触器等他の真空開閉装置であっても同様の効果を奏する。
また、本発明は、その発明の範囲内において、上述した各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変更、省略したりすることが可能である。

１ 遮断器、２ アンテナ、６ 計数部、７ 判定部、８ 表示部、１３ 容器、
１６ 真空バルブ、１６ａ 絶縁筒、１７ 駆動装置、１７ｂ 絶縁ロッド、
１９ 絶縁支持部材、２１ 記憶部、２２ 真空度算出部、３１ 放電電荷量算出部、
４１ ロック部、１１０，２１０，３１０，４１０ 放電検出装置本体。

Claims (8)

1. 主回路を開閉する真空バルブと前記真空バルブに接触して設けられた接触絶縁部材とを有する真空開閉装置の放電を検出するものであって、電磁波検出部と計数部と判定部とを有し、
   前記電磁波検出部は、前記真空開閉装置における放電による電磁波の大きさを検出するものであり、
   前記計数部は、前記電磁波の大きさが所定時間の間に予め設定された閾値を越えた数である超過数Ｎを計数する動作を所定回数Ｍ回繰り返しＭ個の超過数データを得、前記Ｍ個の超過数データのうちその超過数Ｎが所定値を越える超過数データのデータ数Ｄを求めるものであり、
   前記判定部は、前記所定回数Ｍ回に対する前記データ数Ｄの割合γ＝Ｄ／Ｍが所定値を越えるときは前記真空バルブの真空度低下と判定し、前記割合γが所定値以下のときは前記真空バルブの絶縁部材または前記接触絶縁部材の絶縁劣化と判定するものである
   真空開閉装置の放電検出装置。
2. 記憶部と真空度算出部とを有し、
   前記記憶部は、前記所定時間の間の前記電磁波の大きさを記憶する動作を前記所定回数Ｍ回繰り返すものであり、
   前記真空度算出部は、前記判定部が前記真空バルブの真空度低下と判定した場合に、前記記憶部に記憶された前記電磁波の大きさに基づいて前記真空バルブの真空度を求めるものである
   請求項１に記載の真空開閉装置の放電検出装置。
3. 記憶部と放電電荷量算出部とを有し、
   前記記憶部は、前記所定時間の間の前記電磁波の大きさを記憶する動作を前記所定回数Ｍ回繰り返すものであり、
   前記放電電荷量算出部は、前記判定部が前記真空バルブの絶縁部材または前記接触絶縁部材の絶縁劣化と判定した場合に、前記記憶部に記憶された前記電磁波の大きさに基づいて放電電荷量を求めるものである
   請求項１に記載の真空開閉装置の放電検出装置。
4. 記憶部と真空度算出部と放電電荷量算出部とを有し、
   前記記憶部は、前記所定時間の間の前記電磁波の大きさを記憶する動作を前記所定回数Ｍ回繰り返すものであり、
   前記真空度算出部は、前記判定部が前記真空バルブの真空度低下と判定した場合に、前記記憶部に記憶された前記電磁波の大きさに基づいて前記真空バルブの真空度を求めるものである
   前記放電電荷量算出部は、前記判定部が前記真空バルブの絶縁部材または前記接触絶縁部材の絶縁劣化と判定した場合に、前記記憶部に記憶された前記電磁波の大きさに基づいて放電電荷量を求めるものである
   請求項１に記載の真空開閉装置の放電検出装置。
5. 開閉禁止部を有するものであって、
   前記開閉禁止部は、前記真空度に基づいて前記真空バルブの開閉動作を禁止するものである
   請求項２または請求項４に記載の真空開閉装置の放電検出装置。
6. 前記真空開閉装置は、前記真空バルブを支持する絶縁支持部材及び前記真空バルブを駆動装置により開閉操作するための絶縁ロッドのうちの少なくとも一方を有するものであり、
   前記接触絶縁部材は、前記絶縁支持部材及び前記絶縁ロッドのうちの少なくとも一方である
   請求項１または請求項３または請求項４に記載の真空開閉装置の放電検出装置。
7. 前記真空バルブは、絶縁性のガスが封入された容器に収容されたものであり、
   前記電磁波検出部は、前記容器内に設置されたものである
   請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の真空開閉装置の放電検出装置。
8. 主回路を開閉する真空バルブと前記真空バルブに接触して設けられた接触絶縁部材とを有する真空開閉装置の放電を検出する方法であって、次の工程を有する真空開閉装置の放電検出方法。
   ア．前記真空バルブにおける放電による電磁波の大きさを検出する工程。
   イ．前記電磁波の大きさが所定時間の間に予め設定された閾値を越えた数である超過数Ｎを計数する動作を所定回数Ｍ回繰り返しＭ個の超過数データを得、前記Ｍ個の超過数データのうちその超過数Ｎが所定値を越える超過数データのデータ数Ｄを求める工程。
   ウ．前記所定回数Ｍ回に対する前記データ数Ｄの割合γ＝Ｄ／Ｍが所定値を越えるときは前記真空バルブの真空度低下と判定し、前記割合γが所定値以下のときは前記真空バルブの絶縁部材または前記接触絶縁部材の絶縁劣化と判定する工程。

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