JP2015209290A - 化学処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】長尺シート状ワーク10の異常搬送を検知できる化学処理装置を提供する。
【解決手段】長尺シート状のワークを連続的に供給するワーク供給装置とワーク巻取装置並びにこれら間に配置された化学処理槽と、ワーク上端と下端をクランプする上下端搬送クランプ7,9群を有しこれ等クランプ群は上側エンドレスベルト6と下側エンドレスベルト8に等間隔で取付けられて定寸毎にワークを搬送かつ終了時にクランプ群が順次開放されるワーク搬送装置を備え、上側エンドレスベルトと下側エンドレスベルトが同期搬送されるようになっている化学処理装置であって、各エンドレスベルトには搬送方向に亘り複数の検知マークが等間隔で設けられ、各エンドレスベルトの検知マークを上側と下側センサーにより検出した時点の１番目およびｎ番目の各マーク検出時間差が「許容差分値」を越えたときに同期搬送の異常が検知されるようになっていることを特徴とする。
【選択図】図３

Description

本発明は、ＣＯＦ（Chip On Flexible）等に用いられるフレキシブル回路基板のように極めて薄く柔軟性のある長尺シート状のワークを一定速度で搬送しながらめっき等の化学処理を施す化学処理装置に係り、特に、長尺シート状ワークの異常搬送を検知できる化学処理装置の改良に関するものである。

フレキシブル回路基板の製造に用いられるこの種の化学処理装置には、従来、長尺シート状のワークを一定速度で搬送させるワーク搬送装置が組み込まれている（特許文献１〜２参照）。

すなわちこの種の化学処理装置は、図１〜図２に示すように長尺シート状のワーク１０を連続的に供給するワーク供給装置（図示せず）と、上記ワーク１０を連続的に巻き取るワーク巻取装置（図示せず）と、ワーク供給装置から供給されるワーク１０の上端をクランプする上端搬送クランプ７群と下端をクランプする下端搬送クランプ９群を有し、上下端搬送クランプ７、９群は上側エンドレスベルト６と下側エンドレスベルト８にそれぞれ等間隔で取付けられて定寸毎に上記ワーク１０をクランプしながらその幅方向を上下方向にして搬送しかつ搬送終了時に上下端搬送クランプ７、９が順次開放されて上記ワーク１０をワーク巻取装置に巻き取らせるワーク搬送装置と、ワーク供給装置とワーク巻取装置との間に配置されかつワーク搬送装置によりその幅方向を上下方向にして搬送されるワーク１０に対し化学処理を行う化学処理槽（図示せず）を備え、上側エンドレスベルト６は上側駆動プーリー１１と上側折り返しプーリー１３等に巻架されかつ下側エンドレスベルト８は下側駆動プーリー１２と下側折り返しプーリー１４等に巻架されて上側エンドレスベルト６と下側エンドレスベルト８が同期搬送されるようになっている。

尚、図１〜図２に示す化学処理装置においては上側折り返しプーリーと下側折り返しプーリーがそれぞれ２個以上組み込まれ、上側エンドレスベルト６と下側エンドレスベルト８が占める設置面を略正方形状に近づけて化学処理装置の小型化が実現されている。

特開２００９−１２０８８９号公報 特開２０１２−２５１１８２号公報

ところで、上記化学処理装置に組み込まれるワーク搬送装置においては、図１〜図２に示すように、独立駆動する上下独立したサーボモータ４１、４２と、これ等サーボモータ４１、４２に直結されかつ外周面にゴムを被覆した上側駆動プーリー１１並びに下側駆動プーリー１２によって上側エンドレスベルト６と下側エンドレスベルト８が滑り無く搬送され、かつ、上側エンドレスベルト６と下側エンドレスベルト８に設けられたマークが光電センサー（共に図示せず）により検出されて各エンドレスベルトの移動量に変換され、この移動量に基づき上下独立したサーボモータ４１、４２により上側エンドレスベルト６と下側エンドレスベルト８の搬送速度を制御して同期搬送されるため、通常、上側エンドレスベルト６と下側エンドレスベルト８の同期がずれることは無い。

しかし、上側エンドレスベルト６と上側駆動プーリー１１間に滑りが生じ、あるいは、下側エンドレスベルト８と下側駆動プーリー１２間に滑りが生じて上側エンドレスベルト６と下側エンドレスベルト８の同期がずれ（例えば、２〜３ｍｍの搬送ずれ）、かつ、この同期ずれがサーボモータ４１、４２による制御では対応困難な場合、厚みが２５μｍ以下の薄い長尺シート状ワークでは破断してしまったり、あるいは、皺を生ずる等の問題が発生する。そして、ワーク切れや皺を生じたワークは不良品になってしまうが、従来の化学処理装置においてはワークの切れや皺を装置内で確認することができないため、化学処理終了後において品質確認した際、不良ワークの長さが数十ｍに及ぶことになる。

また、従来の化学処理装置においては、上側エンドレスベルト６と下側エンドレスベルト８が占める設置面を略正方形に近づけて装置の小型化を図るため、上側折り返しプーリー１３と下側折り返しプーリー１４等を介してワーク１０を上下端搬送クランプ７、９群にクランプさせたまま折り返し搬送している。しかし、薄物の長尺シート状ワーク、特に厚さが２５μｍ以下のワーク搬送では、上側折り返しプーリー１３と下側折り返しプーリー１４の位置関係が重要となり、上側折り返しプーリー１３と下側折り返しプーリー１４における上側エンドレスベルト６と下側エンドレスベルト８の各搬入側と搬出側間にてワークがずれないように調整する必要がある。

そして、上側折り返しプーリー１３と下側折り返しプーリー１４の位置関係を調整する場合、従来、各プーリーの芯出しを機械的に行って各プーリーの中心軸が同軸上に揃うように調整した後、試験搬送を行ってワークの皺、切れの状態等を確認しながら経験的に上側折り返しプーリー１３と下側折り返しプーリー１４の位置合わせを行っているが、経験に基づく調整作業には非常に時間がかかるという問題があった。

本発明はこのような問題点に着目してなされたもので、その課題とするところは、上側エンドレスベルトと上側駆動プーリー間並びに下側エンドレスベルトと下側駆動プーリー間の滑り等に起因して同期搬送の継続が困難となるような場合にも対応が可能で、かつ、上側折り返しプーリーと下側折り返しプーリーの位置関係の調整作業を簡略化できる化学処理装置を提供することにある。

すなわち、請求項１に係る発明は、
長尺シート状のワークを連続的に供給するワーク供給装置と、
上記ワークを連続的に巻き取るワーク巻取装置と、
上記ワーク供給装置から供給されるワークの上端および下端をそれぞれクランプする上下端搬送クランプ群を有し、上下端搬送クランプ群は上側エンドレスベルトと下側エンドレスベルトにそれぞれ等間隔で取付けられて定寸毎に上記ワークをクランプしながらその幅方向を上下方向にして搬送し、かつ、搬送終了時に上下端搬送クランプが順次開放されて上記ワークをワーク巻取装置に巻き取らせるワーク搬送装置と、
上記ワーク供給装置とワーク巻取装置との間に配置されかつワーク搬送装置によりその幅方向を上下方向にして搬送されるワークに対し化学処理を行う化学処理槽を備え、
かつ、上記上側エンドレスベルトは上側駆動プーリーと上側折り返しプーリーに巻架され、上記下側エンドレスベルトは下側駆動プーリーと下側折り返しプーリーに巻架されて上側エンドレスベルトと下側エンドレスベルトが同期搬送されるようになっている化学処理装置において、
上側エンドレスベルトと下側エンドレスベルトにはその搬送方向に亘り複数の検知マークがそれぞれ連続して等間隔で設けられ、各検知マークを検出する一組の上側並びに下側センサーが上側エンドレスベルトと下側エンドレスベルトの近傍に設けられていると共に、上側エンドレスベルトと下側エンドレスベルトの各検知マークからそれぞれ任意に選ばれた一番目測定用検知マークとｎ番目測定用検知マークを上記上側並びに下側センサーによりそれぞれ検出し、かつ、上側エンドレスベルトと下側エンドレスベルトの上記一番目測定用検知マークをそれぞれ検出した時点における「一番目マーク検出時間差」と上記ｎ番目測定用検知マークをそれぞれ検出した時点における「ｎ番目マーク検出時間差」を比較し、「ｎ番目マーク検出時間差」から「一番目マーク検出時間差」を差し引いた値が「許容差分値」を越えたときを基準にして上記同期搬送の異常が検知されるようになっていることを特徴とする。

また、請求項２に係る発明は、
長尺シート状のワークを連続的に供給するワーク供給装置と、
上記ワークを連続的に巻き取るワーク巻取装置と、
上記ワーク供給装置から供給されるワークの上端および下端をそれぞれクランプする上下端搬送クランプ群を有し、上下端搬送クランプ群は上側エンドレスベルトと下側エンドレスベルトにそれぞれ等間隔で取付けられて定寸毎に上記ワークをクランプしながらその幅方向を上下方向にして搬送し、かつ、搬送終了時に上下端搬送クランプが順次開放されて上記ワークをワーク巻取装置に巻き取らせるワーク搬送装置と、
上記ワーク供給装置とワーク巻取装置との間に配置されかつワーク搬送装置によりその幅方向を上下方向にして搬送されるワークに対し化学処理を行う化学処理槽を備え、
かつ、上記上側エンドレスベルトは上側駆動プーリーと上側折り返しプーリーに巻架され、上記下側エンドレスベルトは下側駆動プーリーと下側折り返しプーリーに巻架されて上側エンドレスベルトと下側エンドレスベルトが同期搬送されるようになっている化学処理装置において、
上側エンドレスベルトと下側エンドレスベルトにはその搬送方向に亘り複数の検知マークがそれぞれ連続して等間隔で設けられ、上記上側折り返しプーリーにおける上側エンドレスベルトの搬入側と搬出側には検知マークを検出する二組の上側センサーがそれぞれ設けられ、下側折り返しプーリーにおける下側エンドレスベルトの搬入側と搬出側には検知マークを検出する二組の下側センサーがそれぞれ設けられていると共に、上側エンドレスベルトと下側エンドレスベルトの各検知マークからそれぞれ任意に選ばれた特定の測定用検知マークを二組の上側センサー並びに下側センサーによりそれぞれ検出し、かつ、上記特定の測定用検知マークを上側センサー並びに下側センサーで一番目に検出した時点における「一番目マーク検出時間差」とｎ番目に検出した時点における「ｎ番目マーク検出時間差」を比較し、「ｎ番目マーク検出時間差」から「一番目マーク検出時間差」を差し引いた値が「許容差分値」を越えたときを基準にして上記同期搬送の異常が検知されるようになっていることを特徴とする。

本発明に係る化学処理装置によれば、
上側エンドレスベルトと下側エンドレスベルトにそれぞれ設けられた検知マークから任意に選ばれた測定用検知マークを上側並びに下側センサーにより検出した時点における「一番目マーク検出時間差」と「ｎ番目マーク検出時間差」を比較し、「ｎ番目マーク検出時間差」から「一番目マーク検出時間差」を差し引いた値が「許容差分値」を越えたときを基準にして上側エンドレスベルトと下側エンドレスベルトにおける同期搬送の異常が検知されるようになっている。

そして、上側エンドレスベルトと上側駆動プーリー間および下側エンドレスベルトと下側駆動プーリー間の滑りや各エンドレスベルトの伸び等に起因して上側エンドレスベルトと下側エンドレスベルトにおける同期搬送の継続が困難となる場合にもその異常を瞬時に検知して警報を発する等の対応が可能となり、かつ、上側折り返しプーリーと下側折り返しプーリーの位置関係を調整する作業を行う場合においても、各折り返しプーリーの芯出しを機械的に行って各プーリーの中心軸が同軸上に揃うように調整した後、試験搬送を行って上側エンドレスベルトと下側エンドレスベルトの異常搬送の有無を検知することで再度調整を行えるため、位置関係の調整作業の簡略化を図ることが可能となる。

従来の化学処理装置に組み込まれたワーク搬送装置を上側エンドレスベルトと下側エンドレスベルト側から眺めた斜視図。 従来の化学処理装置に組み込まれたワーク搬送装置を上側エンドレスベルトと下側エンドレスベルトとは反対側から眺めた斜視図。 図３（Ａ）は本発明に係る化学処理装置に組み込まれたワーク搬送装置の一部の構成を示す正面図、図３（Ｂ）は図３（Ａ）の部分拡大図、図３（Ｃ）は図３（Ａ）の側面図。 本発明に係る化学処理装置に組み込まれたワーク搬送装置における上側折り返しプーリーと下側折り返しプーリー、および、各折り返しプーリーにおけるエンドレスベルトの搬入側と搬出側にそれぞれ設けられたセンサーを示す斜視図。

以下、本発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。

尚、本発明に係る化学処理装置に組み込まれたワーク搬送装置を説明する際、従来の化学処理装置に組み込まれたワーク搬送装置と同一の構成については、従来のワーク搬送装置を示している図１と図２を用い、かつ、同一箇所は同一符号を用いて説明する。

まず、本発明に係る化学処理装置は、長尺シート状のワークを連続的に供給するワーク供給装置と、上記ワークを連続的に巻き取るワーク巻取装置と、ワーク供給装置とワーク巻取装置との間に配置されかつ上記ワークに対しメッキ等の化学処理を行う化学処理槽と、この化学処理槽内に未処理のワークをその幅方向を上下方向にして搬入しかつ処理後のワークをその幅方向を上下方向にして搬出するワーク搬送装置とでその主要部が構成されている。

また、本発明に係る化学処理装置に組み込まれたワーク搬送装置は、図１〜図２に示すようにワーク１０の上端をクランプする複数の上端搬送クランプ７並びにワーク１０の下端をクランプする複数の下端搬送クランプ９と、外周面にゴムが被覆された上側駆動プーリー１１と１つ以上の上側折り返しプーリー１３との間に巻架され上記上端搬送クランプ７群が取付けられた上側エンドレスベルト６と、外周面にゴムが被覆された下側駆動プーリー１２と１つ以上の下側折り返しプーリー１４との間に巻架され上記下端搬送クランプ９群が取付けられた下側エンドレスベルト８と、上記上側駆動プーリー１１と下側駆動プーリー１２にそれぞれ設けられて上側エンドレスベルト６と下側エンドレスベルト８を独立駆動する上下独立した一対のサーボモータ４１、４２と、上記上側エンドレスベルト６と下側エンドレスベルト８の近傍に付設されかつ上側エンドレスベルト６と下側エンドレスベルト８に設けられたマークを検知して各エンドレスベルトの移動量をそれぞれ検出する光電センサー（共に図示せず）を備えており、上側エンドレスベルト６と下側エンドレスベルト８は同期搬送されるようになっている。また、上記上下端搬送クランプ７、９群は、上側エンドレスベルト６と下側エンドレスベルト８にそれぞれ等間隔で取付けられて定寸毎に上記ワーク１０をクランプしながらその幅方向を上下方向にして搬送し、かつ、搬送終了時に上下端搬送クランプ７、９が順次開放されて上記ワーク１０をワーク巻取装置に巻き取らせるように構成されている。

更に、本発明に係る化学処理装置に組み込まれた上記ワーク搬送装置の上側エンドレスベルト６と下側エンドレスベルト８には、図３（Ａ）〜（Ｂ）に示すようにその搬送方向に亘り複数の検知マークがそれぞれ連続して等間隔で設けられ、かつ、上側エンドレスベルト６と下側エンドレスベルト８の近傍位置には、図３（Ｃ）に示すように上記検知マークを検出する光電センサー１５、１６がそれぞれ設けられている。

尚、上記上側エンドレスベルト６と下側エンドレスベルト８はそれぞれステンレス鋼材により構成されている。

また、図３（Ａ）〜（Ｂ）においては検知マークを開孔で構成しているが、上記開孔に代えて、例えば、センサーにより検出可能な反射部を上側エンドレスベルト６と下側エンドレスベルト８に連続して設けてもよい。具体的には、上記開孔と略同形状を有する複数の反射テープを上側エンドレスベルト６と下側エンドレスベルト８に連続して貼り付け、あるいは、メッキにより反射部を形成してもよく、検知マークの構成は任意である。

そして、上側エンドレスベルト６と下側エンドレスベルト８に設けられた各検知マーク（例えば開孔）から任意に選ばれた一番目測定用検知マークに対して光電センサー１５、１６を作動させ、上側エンドレスベルト６と下側エンドレスベルト８の各一番目測定用検知マークをそれぞれ検出した時点における「一番目マーク検出時間差」をワーク搬送装置の制御部（図示せず）に記憶させ、かつ、上側エンドレスベルト６と下側エンドレスベルト８の各ｎ番目（例えば一番目検知マークから数えて１００個目）測定用検知マークをそれぞれ検出した時点における「ｎ番目マーク検出時間差」をワーク搬送装置の制御部に記憶させると共に、上記「ｎ番目マーク検出時間差」から「一番目マーク検出時間差」を差し引いた値が「許容差分値」を越えたときを基準にして警報を出し、上側エンドレスベルト６と下側エンドレスベルト８のずれを作業者へ知らせる構成となっている。尚、警報に代えてワーク搬送装置を停止させる構成にしてもよい。

ところで、本発明に係る化学処理装置に組み込まれたワーク搬送装置は、上側駆動プーリー１１と下側駆動プーリー１２に設けられかつ上側エンドレスベルト６と下側エンドレスベルト８を独立駆動する上下独立した一対のサーボモータ４１、４２の作用により上側エンドレスベルト６と下側エンドレスベルト８は同期搬送されるため、上側エンドレスベルト６と下側エンドレスベルト８の搬送ずれには対応可能である。

しかし、上側エンドレスベルト６と上側駆動プーリー１１間あるいは下側エンドレスベルト８と下側駆動プーリー１２間に滑り（スリップ）が発生し、また、上側エンドレスベルト６と下側エンドレスベルト８が経時劣化等により大きく伸びて、上側エンドレスベルト６と下側エンドレスベルト８の上記同期搬送では修復困難な場合があるため、本発明に係る化学処理装置を適用した場合の効果は絶大である。尚、上記同期搬送では修復困難な場合にのみ警報等がなされるようにするため、上記「許容差分値」の作動基準について予めプログラムしておくことが必要である。

また、上記光電センサーの設置部位と設置個数は基本的に任意であるが、図４に示すように上側折り返しプーリー１３における上側エンドレスベルト６の搬入側と搬出側近傍に二組の光電センサー（上側センサー）１８、２０を設け、かつ、下側折り返しプーリー１４における下側エンドレスベルト８の搬入側と搬出側近傍に二組の光電センサー（下側センサー）１９、２１を設けた場合、上側折り返しプーリー１３と下側折り返しプーリー１４における位置関係の調整作業を簡略化できる別な利点を有している。

すなわち、従来同様、上側折り返しプーリー１３と下側折り返しプーリー１４の芯出しを機械的に行って上側折り返しプーリー１３と下側折り返しプーリー１４の中心軸が同軸上に揃うように調整した後、試験搬送により折り返し前における特定の測定用検知マークについて、光電センサー（上側センサー）１８と光電センサー（下側センサー）１９によりそれぞれ検出した時点における「一番目マーク検出時間差」をワーク搬送装置の制御部（図示せず）に記憶させ、かつ、同一の測定用検知マークについて光電センサー（上側センサー）２０と光電センサー（下側センサー）２１によりそれぞれ検出した時点における「ｎ番目マーク検出時間差」をワーク搬送装置の制御部に記憶させると共に、上記「ｎ番目マーク検出時間差」から「一番目マーク検出時間差」を差し引いた値が「許容差分値」を越えたときを基準にして上側エンドレスベルト６と下側エンドレスベルト８のずれを確認することができる。このような方法を採用することにより、今までは経験に頼っていた折り返し部におけるエンドレスベルトのずれを機械的に確認でき、上側折り返しプーリー１３と下側折り返しプーリー１４における位置関係の調整作業に要する時間を大幅に短縮することができる。

以下、本発明の実施例について具体的に説明する。

本発明に係る化学処理装置に組み込まれた図３〜図４に示すワーク搬送装置を用いて以下の確認実験を行った。

尚、上側エンドレスベルト６と下側エンドレスベルト８はステンレス鋼材で構成されており、各ベルトに設けた開孔の大きさを５ｍｍ、隣り合う開孔の間隔を１０ｍｍに設定し、かつ、上側エンドレスベルト６と下側エンドレスベルト８の搬送速度は５ｍ／分である。

また、同期搬送では修復困難な条件として、「１００番目マーク検出時間差」から「一番目マーク検出時間差」を差し引いた値の「許容差分値」が「±０．０３秒以内」のずれとしている。

そして、確認実験を行ったところ、エンドレスベルトと駆動プーリー間に発生した滑り（スリップ）、あるいは、エンドレスベルトの伸び等が原因となって上側エンドレスベルト６と下側エンドレスベルト８の搬送ずれが顕著になったとき警報が鳴り、ワークの破断や皺の発生を防止できることが確認された。

本発明に係る化学処理装置によれば、ワーク搬送装置のエンドレスベルトと駆動プーリー間に発生した滑り（スリップ）等により上側エンドレスベルトと下側エンドレスベルトにおける同期搬送の継続が困難となった場合にもその異常を瞬時に検知して対応できるため、フレキシブル基板のメッキ等化学処理装置に用いられる産業上の利用可能性を有している。

６ 上側エンドレスベルト
７ 上端搬送クランプ
８ 下側エンドレスベルト
９ 下端搬送クランプ
１０ ワーク
１１ 上側駆動プーリー
１２ 下側駆動プーリー
１３ 上側折り返しプーリー
１４ 下側折り返しプーリー
１５ 光電センサー（上側センサー）
１６ 光電センサー（下側センサー）
１８ 光電センサー（上側センサー）
１９ 光電センサー（下側センサー）
２０ 光電センサー（上側センサー）
２１ 光電センサー（下側センサー）
４１ サーボモータ
４２ サーボモータ

Claims (2)

1. 長尺シート状のワークを連続的に供給するワーク供給装置と、
   上記ワークを連続的に巻き取るワーク巻取装置と、
   上記ワーク供給装置から供給されるワークの上端および下端をそれぞれクランプする上下端搬送クランプ群を有し、上下端搬送クランプ群は上側エンドレスベルトと下側エンドレスベルトにそれぞれ等間隔で取付けられて定寸毎に上記ワークをクランプしながらその幅方向を上下方向にして搬送し、かつ、搬送終了時に上下端搬送クランプが順次開放されて上記ワークをワーク巻取装置に巻き取らせるワーク搬送装置と、
   上記ワーク供給装置とワーク巻取装置との間に配置されかつワーク搬送装置によりその幅方向を上下方向にして搬送されるワークに対し化学処理を行う化学処理槽を備え、
   かつ、上記上側エンドレスベルトは上側駆動プーリーと上側折り返しプーリーに巻架され、上記下側エンドレスベルトは下側駆動プーリーと下側折り返しプーリーに巻架されて上側エンドレスベルトと下側エンドレスベルトが同期搬送されるようになっている化学処理装置において、
   上側エンドレスベルトと下側エンドレスベルトにはその搬送方向に亘り複数の検知マークがそれぞれ連続して等間隔で設けられ、各検知マークを検出する一組の上側並びに下側センサーが上側エンドレスベルトと下側エンドレスベルトの近傍に設けられていると共に、上側エンドレスベルトと下側エンドレスベルトの各検知マークからそれぞれ任意に選ばれた一番目測定用検知マークとｎ番目測定用検知マークを上記上側並びに下側センサーによりそれぞれ検出し、かつ、上側エンドレスベルトと下側エンドレスベルトの上記一番目測定用検知マークをそれぞれ検出した時点における「一番目マーク検出時間差」と上記ｎ番目測定用検知マークをそれぞれ検出した時点における「ｎ番目マーク検出時間差」を比較し、「ｎ番目マーク検出時間差」から「一番目マーク検出時間差」を差し引いた値が「許容差分値」を越えたときを基準にして上記同期搬送の異常が検知されるようになっていることを特徴とする化学処理装置。
2. 長尺シート状のワークを連続的に供給するワーク供給装置と、
   上記ワークを連続的に巻き取るワーク巻取装置と、
   上記ワーク供給装置から供給されるワークの上端および下端をそれぞれクランプする上下端搬送クランプ群を有し、上下端搬送クランプ群は上側エンドレスベルトと下側エンドレスベルトにそれぞれ等間隔で取付けられて定寸毎に上記ワークをクランプしながらその幅方向を上下方向にして搬送し、かつ、搬送終了時に上下端搬送クランプが順次開放されて上記ワークをワーク巻取装置に巻き取らせるワーク搬送装置と、
   上記ワーク供給装置とワーク巻取装置との間に配置されかつワーク搬送装置によりその幅方向を上下方向にして搬送されるワークに対し化学処理を行う化学処理槽を備え、
   かつ、上記上側エンドレスベルトは上側駆動プーリーと上側折り返しプーリーに巻架され、上記下側エンドレスベルトは下側駆動プーリーと下側折り返しプーリーに巻架されて上側エンドレスベルトと下側エンドレスベルトが同期搬送されるようになっている化学処理装置において、
   上側エンドレスベルトと下側エンドレスベルトにはその搬送方向に亘り複数の検知マークがそれぞれ連続して等間隔で設けられ、上記上側折り返しプーリーにおける上側エンドレスベルトの搬入側と搬出側には検知マークを検出する二組の上側センサーがそれぞれ設けられ、下側折り返しプーリーにおける下側エンドレスベルトの搬入側と搬出側には検知マークを検出する二組の下側センサーがそれぞれ設けられていると共に、上側エンドレスベルトと下側エンドレスベルトの各検知マークからそれぞれ任意に選ばれた特定の測定用検知マークを二組の上側センサー並びに下側センサーによりそれぞれ検出し、かつ、上記特定の測定用検知マークを上側センサー並びに下側センサーで一番目に検出した時点における「一番目マーク検出時間差」とｎ番目に検出した時点における「ｎ番目マーク検出時間差」を比較し、「ｎ番目マーク検出時間差」から「一番目マーク検出時間差」を差し引いた値が「許容差分値」を越えたときを基準にして上記同期搬送の異常が検知されるようになっていることを特徴とする化学処理装置。

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