JP2015196640A - カーボンナノチューブアレイの転移方法及びカーボンナノチューブ構造体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のカーボンナノチューブアレイの転移方法は代替基板及び成長基板を提供し、前記成長基板の表面にカーボンナノチューブアレイを有する、第一ステップと、代替基板をカーボンナノチューブアレイの第二表面に設置し、代替基板とカーボンナノチューブアレイの間に液相状態の媒体を設置する第二ステップと、代替基板とカーボンナノチューブアレイの間に設置された液相状態の媒体を固体の媒体に固化させる第三ステップと、代替基板及び成長基板のうちの少なくとも一方を移動させて、カーボンナノチューブアレイを成長基板から脱離させ、代替基板に転移する第四ステップと、温度を上昇させることによって、代替基板とカーボンナノチューブアレイの第二表面との間の固体の媒体を除去する第五ステップと、を含む。
【選択図】図1
Description
図1を参照すると、本発明のカーボンナノチューブアレイ10の転移方法は、代替基板30及び成長基板20を提供し、成長基板20の表面にカーボンナノチューブアレイ10を有するステップであって、カーボンナノチューブアレイ10が成長基板20と隣接する表面は第一表面102であり、第一表面102と対向する表面は第二表面104であり、カーボンナノチューブアレイ10の形態はカーボンナノチューブ構造体40をカーボンナノチューブアレイ10から連続的に引き出すことを保証できるステップ(S1)と、代替基板30をカーボンナノチューブアレイ10の第二表面104に設置し、代替基板30とカーボンナノチューブアレイ10の第二表面104との間に液相状態の媒体60を設置するステップ(S2)と、代替基板30とカーボンナノチューブアレイ10の第二表面104との間に設置された液相状態の媒体60を固体の媒体60’に固化させるステップ(S3)と、代替基板30及び成長基板20のうちの少なくとも一方を移動させて、代替基板30と成長基板20とを離れさせ、カーボンナノチューブアレイ10を成長基板20から脱離させ、代替基板30に転移するステップ(S4)と、温度を上昇させることによって、代替基板30とカーボンナノチューブアレイ10の第二表面104との間の固体の媒体60’を除去するステップであって、固体の媒体60を除去した後、カーボンナノチューブアレイ10の形態はカーボンナノチューブ構造体40をカーボンナノチューブアレイ10から連続的に引き出すことを保証できるステップ(S5)と、を含む。
図5を参照すると、本発明のカーボンナノチューブ構造体40の製造方法を提供する。カーボンナノチューブ構造体40の製造方法は、前記ステップ(S1)及びステップ(S5)を含み、更に、代替基板30におけるカーボンナノチューブアレイ10からカーボンナノチューブ構造体40を引き出すステップ(S6)と、含む。
102 第一表面
104 第二表面
20 成長基板
30 代替基板
40 カーボンナノチューブ構造体
50 引き工具
60 液相状態の媒体
60’ 固体の媒体
70 低温箱
Claims (2)
- 代替基板及び成長基板を提供する第一ステップであって、前記成長基板の表面にカーボンナノチューブアレイを有し、前記カーボンナノチューブアレイが前記成長基板と隣接する表面は第一表面であり、前記第一表面と対向する表面は第二表面であり、前記カーボンナノチューブアレイの形態はカーボンナノチューブ構造体を前記カーボンナノチューブアレイから連続的に引き出すことを保証する、第一ステップと、
前記代替基板を前記カーボンナノチューブアレイの前記第二表面に設置し、前記代替基板と前記カーボンナノチューブアレイの前記第二表面との間に液相状態の媒体を設置する第二ステップと、
前記代替基板と前記カーボンナノチューブアレイの前記第二表面との間に設置された前記液相状態の媒体を固体の媒体に固化させる第三ステップと、
前記代替基板及び前記成長基板のうちの少なくとも一方を移動させて、前記代替基板と前記成長基板とを離れさせ、前記カーボンナノチューブアレイを前記成長基板から脱離させ、前記代替基板に転移する第四ステップと、
温度を上昇させることによって、前記代替基板と前記カーボンナノチューブアレイの前記第二表面との間の前記固体の媒体を除去する第五ステップであって、前記固体の媒体を除去した後、前記カーボンナノチューブアレイの形態は前記カーボンナノチューブ構造体を前記カーボンナノチューブアレイから連続的に引き出すことを保証する、第五ステップと、含み、
前記カーボンナノチューブ構造体は端と端で接続される複数のカーボンナノチューブを含むことを特徴とするカーボンナノチューブアレイの転移方法。 - 第一基板及び第二基板を提供する第一ステップであって、前記第一基板の表面にカーボンナノチューブアレイを有し、前記カーボンナノチューブアレイが前記第一基板と隣接する表面は第一表面であり、前記第一表面と対向する表面は第二表面であり、前記カーボンナノチューブアレイの形態はカーボンナノチューブ構造体を前記カーボンナノチューブアレイから連続的に引き出すことを保証する、第一ステップと、
前記第二基板を前記カーボンナノチューブアレイの前記第二表面に設置し、前記第二基板と前記カーボンナノチューブアレイの前記第二表面との間に液相状態の媒体を設置する第二ステップと、
前記第二基板と前記カーボンナノチューブアレイの前記第二表面との間に設置された前記液相状態の媒体を固体の媒体に固化させる第三ステップと、
前記第二基板及び前記第一基板のうちの少なくとも一方を移動させて、前記第二基板と前記第一基板とを離れさせ、前記カーボンナノチューブアレイを前記第一基板から脱離させ、前記第二基板に転移する第四ステップと、
温度を上昇させることによって、前記第二基板と前記カーボンナノチューブアレイの前記第二表面との間の前記固体の媒体を除去する第五ステップであって、前記固体の媒体を除去した後、前記カーボンナノチューブアレイの形態は前記カーボンナノチューブ構造体を前記カーボンナノチューブアレイから連続的に引き出すことを保証する、第五ステップと、
前記第二基板に転移したカーボンナノチューブアレイからカーボンナノチューブ構造体を引き出す第六ステップと、含み、
前記カーボンナノチューブ構造体は端と端で接続される複数のカーボンナノチューブを含むことを特徴とするカーボンナノチューブ構造体の製造方法。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5878249B1 (ja) * | 2014-12-05 | 2016-03-08 | ツィンファ ユニバーシティ | 接合したカーボンナノチューブアレイの製造方法及びカーボンナノチューブフィルムの製造方法 |
JP2018172250A (ja) * | 2017-03-31 | 2018-11-08 | 日立造船株式会社 | カーボンナノチューブウェブの作製方法、およびカーボンナノチューブ糸の製造方法 |
CN114644330A (zh) * | 2020-12-17 | 2022-06-21 | 清华大学 | 电子黑体材料及电子探测结构 |
JP2022096581A (ja) * | 2020-12-17 | 2022-06-29 | ツィンファ ユニバーシティ | 電子黒体構造体と電子黒体構造体の製造方法 |
US11527335B2 (en) | 2020-12-17 | 2022-12-13 | Tsinghua University | Electronic blackbody cavity and secondary electron detection device using the same |
US11874414B2 (en) | 2020-12-17 | 2024-01-16 | Tsinghua University | Device and method for measuring electron beam |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010280559A (ja) * | 2009-06-02 | 2010-12-16 | Qinghua Univ | カーボンナノチューブフィルムの製造方法 |
JP2012246209A (ja) * | 2011-05-27 | 2012-12-13 | Qinghua Univ | グラフェン−カーボンナノチューブ複合構造体の製造方法 |
JP2013144627A (ja) * | 2012-01-16 | 2013-07-25 | Industry-Academic Cooperation Foundation At Namseoul Univ | 炭素ナノチューブの水平成長方法、これを用いた水平配線及びこれを用いた電界効果トランジスタ |
JP2015086094A (ja) * | 2013-10-30 | 2015-05-07 | 日立造船株式会社 | カーボンナノチューブシートの製造方法 |
JP2015098418A (ja) * | 2013-11-20 | 2015-05-28 | 日立造船株式会社 | カーボンナノチューブシートの製造方法 |
JP2015103797A (ja) * | 2013-11-27 | 2015-06-04 | ツィンファ ユニバーシティ | 微構造体及びその製造方法 |
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2014
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010280559A (ja) * | 2009-06-02 | 2010-12-16 | Qinghua Univ | カーボンナノチューブフィルムの製造方法 |
JP2012246209A (ja) * | 2011-05-27 | 2012-12-13 | Qinghua Univ | グラフェン−カーボンナノチューブ複合構造体の製造方法 |
JP2013144627A (ja) * | 2012-01-16 | 2013-07-25 | Industry-Academic Cooperation Foundation At Namseoul Univ | 炭素ナノチューブの水平成長方法、これを用いた水平配線及びこれを用いた電界効果トランジスタ |
JP2015086094A (ja) * | 2013-10-30 | 2015-05-07 | 日立造船株式会社 | カーボンナノチューブシートの製造方法 |
JP2015098418A (ja) * | 2013-11-20 | 2015-05-28 | 日立造船株式会社 | カーボンナノチューブシートの製造方法 |
JP2015103797A (ja) * | 2013-11-27 | 2015-06-04 | ツィンファ ユニバーシティ | 微構造体及びその製造方法 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5878249B1 (ja) * | 2014-12-05 | 2016-03-08 | ツィンファ ユニバーシティ | 接合したカーボンナノチューブアレイの製造方法及びカーボンナノチューブフィルムの製造方法 |
JP2018172250A (ja) * | 2017-03-31 | 2018-11-08 | 日立造船株式会社 | カーボンナノチューブウェブの作製方法、およびカーボンナノチューブ糸の製造方法 |
CN114644330A (zh) * | 2020-12-17 | 2022-06-21 | 清华大学 | 电子黑体材料及电子探测结构 |
JP2022096582A (ja) * | 2020-12-17 | 2022-06-29 | ツィンファ ユニバーシティ | 電子黒体材料及び電子検出構造体 |
JP2022096581A (ja) * | 2020-12-17 | 2022-06-29 | ツィンファ ユニバーシティ | 電子黒体構造体と電子黒体構造体の製造方法 |
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