JP2015185562A - 電子機器とその組み立て方法、及びシート状構造体とその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
電子部品と、
放熱体と、
前記電子部品と前記放熱体の間に配置されるシート状構造体と、
を有し、
前記シート状構造体は、
前記シート状構造体の面内方向に対して垂直な方向に延びる複数の炭素元素の線状構造体と、
前記線状構造体の成長端が埋め込まれ、前記シート状構造体を前記放熱体に対して接合する接着層と、
前記接着層から突出する各前記線状構造体の表面を覆う原子層堆積された被膜と
前記接着層の前記放熱体との接合面と反対側の面に形成されて、前記線状構造体を前記面内方向に結合する固定層と、
を有し、
前記線状構造体の前記成長端が前記放熱体と接触しており、
前記被膜が施された前記線状構造体の根本が前記電子部品と接触している。
複数の被覆カーボンナノチューブ35が面内方向でつながることを可能にする。カーボンナノチューブ31の成長端31tは、ALD被膜で覆われていない状態で樹脂層32内にある。
(付記1)
電子部品と、
放熱体と、
前記電子部品と前記放熱体の間に配置されるシート状構造体と、
を有し、
前記シート状構造体は、
前記シート状構造体の面内方向に対して垂直な方向に延びる複数の炭素元素の線状構造体と、
前記線状構造体の成長端が埋め込まれ、前記シート状構造体を前記放熱体に対して接合する接着層と、
前記接着層から突出する各前記線状構造体の表面を覆う原子層堆積された被膜と、
前記接着層の前記放熱体との接合面と反対側の面に形成されて、前記線状構造体を前記面内方向に結合する固定層と、
を有し、
前記線状構造体の前記成長端が前記放熱体と接触しており、
前記被膜が施された前記線状構造体の根本が前記電子部品と接触している、
ことを特徴とする電子機器。
(付記2)
前記電子部品は、厚さの異なる複数の半導体素子を含み、
各前記半導体素子と前記放熱体との間に、個別の前記シート状構造体が配置されていることを特徴とする付記1に記載の電子機器。
(付記3)
前記被膜と前記固定層は同じ熱伝導性材料で形成されていることを特徴とする付記1に記載の電子機器。
(付記4)
前記線状構造体は、前記成長端から、前記線状構造体の長さの1/4〜1/6の部分が前記樹脂層に埋め込まれていることを特徴とする付記1に記載の電子機器。
(付記5)
前記放熱体は前記電子部品と対向する面に溝を有し、
前記接着層の一部が前記溝内にあることを特徴とする付記1に記載の電子機器。
(付記6)
前記被膜がなされた前記線状構造体は、前記電子部品の動作状態に応じて撓み可能であることを特徴とする付記1に記載の電子機器。
(付記7)
第1の方向に延びる複数の炭素元素の線状構造体と、
前記の線状構造体の成長端が埋め込まれている樹脂層と、
前記樹脂層から突出する各前記線状構造体の表面を覆う原子層堆積による被膜と、
前記樹脂層の前記成長端から離れる側の面に形成されて、前記線状構造体を前記第1の方向と直交する第2の方向に結合する固定層と、
を有することを特徴とするシート状構造体。
(付記8)
前記被膜と前記固定層は同じ熱伝導性材料で形成されていることを特徴とする付記7に記載のシート状構造体。
(付記9)
前記線状構造体は、前記成長端から、前記線状構造体の長さの1/4〜1/6の部分が前記樹脂層に埋め込まれていることを特徴とする付記7に記載のシート状構造体。
(付記10)
基板上に複数の炭素元素の線状構造体を成長し、
前記線状構造体の成長端に樹脂層を形成し、
前記線状構造体を前記基板から剥離して、原子層堆積法により前記樹脂層から突出する前記線状構造体の根本側から各前記線状構造体に被膜(34)を形成すると同時に、前記樹脂層の表面に前記線状構造体を前記樹脂層の面内方向に結合する固定層を形成する、
ことを特徴とするシート状構造体の製造方法。
(付記11)
前記線状構造体を覆う前記被膜の膜厚を調整することによって前記被膜が施された前記線状構造体の撓み性を制御する、
ことを特徴とする付記10に記載のシート状構造体の製造方法。
(付記12)
付記7に記載のシート状構造体を準備し、
前記シート状構造体を、前記樹脂層が放熱体の側を向くようにして前記放熱体上に配置し、
前記加熱加圧により、前記線状構造体の前記成長端を前記放熱体に接触させて前記シート状構造体を前記放熱体に接合し、
前記放熱体に接着された前記シート状構造体を電子部品上に配置して、前記線状構造体の根本を前記電子部品に接触させる、
ことを特徴とする電子機器の組み立て方法。
(付記13)
前記加熱加圧により前記樹脂層を溶融し、溶融した樹脂の一部を前記放熱体に形成された溝に逃がすことを特徴とする付記12に記載の電子機器の組み立て方法。
20 発熱体(電子部品)
30、50 シート状構造体
31 カーボンナノチューブ
31t 成長端
32 樹脂層
33 固定層
34 熱伝導性材料のコーティング(被膜)
35 被覆カーボンナノチューブ
37 接着層
Claims (8)
- 一つの態様では、電子機器は、
電子部品と、
放熱体と、
前記電子部品と前記放熱体の間に配置されるシート状構造体と、
を有し、
前記シート状構造体は、
前記シート状構造体の面内方向に対して垂直な方向に延びる複数の炭素元素の線状構造体と、
前記線状構造体の成長端が埋め込まれ、前記シート状構造体を前記放熱体に対して接合する接着層と、
前記接着層から突出する各前記線状構造体の表面を覆う原子層堆積された被膜と、
前記接着層の前記放熱体との接合面と反対側の面に形成されて、前記線状構造体を前記面内方向に結合する固定層と、
を有し、
前記線状構造体の前記成長端が前記放熱体と接触しており、
前記被膜が施された前記線状構造体の根本が前記電子部品と接触している、
ことを特徴とする電子機器。 - 前記電子部品は、厚さの異なる複数の半導体素子を含み、
各前記半導体素子と前記放熱体との間に、個別の前記シート状構造体が配置されていることを特徴とする請求項1に記載の電子機器。 - 第1の方向に延びる複数の炭素元素の線状構造体と、
前記の線状構造体の成長端が埋め込まれている樹脂層と、
前記樹脂層から突出する各前記線状構造体の表面を覆う原子層堆積による被膜と、
前記樹脂層の前記成長端から離れる側の面に形成されて、前記線状構造体を前記第1の方向と直交する第2の方向に結合する固定層と、
を有することを特徴とするシート状構造体。 - 前記線状構造体は、前記成長端から、前記線状構造体の長さの1/4〜1/6の部分が前記樹脂層に埋め込まれていることを特徴とする請求項3に記載のシート状構造体。
- 基板上に複数の炭素元素の線状構造体を成長し、
前記線状構造体の成長端に樹脂層を形成し、
前記線状構造体を前記基板から剥離して、原子層堆積法により前記樹脂層から突出する前記線状構造体の根本側から各前記線状構造体に被膜を形成すると同時に、前記樹脂層の表面に前記線状構造体を前記樹脂層の面内方向に結合する固定層を形成する、
ことを特徴とするシート状構造体の製造方法。 - 前記線状構造体を覆う前記被膜の膜厚を調整することによって前記被膜が施された前記線状構造体の撓み性を制御する、
ことを特徴とする請求項5に記載のシート状構造体の製造方法。 - 請求項3に記載のシート状構造体を準備し、
前記シート状構造体を、前記樹脂層が放熱体の側を向くようにして前記放熱体上に配置し、
前記加熱加圧により、前記線状構造体の前記成長端を前記放熱体に接触させて前記シート状構造体を前記放熱体に接合し、
前記放熱体に接着された前記シート状構造体を電子部品上に配置して、前記線状構造体の根本を前記電子部品に接触させる、
ことを特徴とする電子機器の組み立て方法。 - 前記加熱加圧により前記樹脂層を溶融し、溶融した樹脂の一部を前記放熱体に形成された溝に逃がすことを特徴とする請求項7に記載の電子機器の組み立て方法。
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JP2019036675A (ja) * | 2017-08-21 | 2019-03-07 | 富士通株式会社 | 放熱シート及びその製造方法、電子装置 |
EP3478045A4 (en) * | 2016-06-28 | 2020-02-19 | Zeon Corporation | HEAT DISSIPATION DEVICE |
CN112930076A (zh) * | 2019-12-05 | 2021-06-08 | 富士通株式会社 | 散热片以及制造散热片的方法 |
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---|---|---|---|---|
JP2011204749A (ja) * | 2010-03-24 | 2011-10-13 | Fujitsu Ltd | シート状構造体、電子機器及び電子機器の製造方法 |
JP2012199335A (ja) * | 2011-03-18 | 2012-10-18 | Fujitsu Ltd | シート状構造体、シート状構造体の製造方法、電子機器及び電子機器の製造方法 |
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