JP2015182717A - 宇宙環境試験装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1のシュラウド31内に収容され、両端が閉塞端とされ、X方向に延在する筒状の第2のシュラウド42と、第2のシュラウド42内に配置され、被試験体14が載置される被試験体載置台45と、第1のシュラウド31よりも内側に配置され、第2のシュラウド42を介して、被試験体14を冷却するコールドヘッド56−3を含む冷凍機56と、を有する。
【選択図】図1
Description
また、特許文献1には、真空容器内に収容されたシュラウド(内部に被試験体が配置される温調プレートを収容する宇宙環境試験装置の構成要素)を液体窒素等の冷媒で冷却することが開示されている。
また、特許文献2には、本体部シュラウドを冷却する際に、液化窒素を用いることが開示されている。
しかしながら、上記特許文献1,2に開示された宇宙環境試験装置では、真空容器内に収容された1つのシュラウド(特許文献2の場合は、本体部シュラウド)を液体窒素のみで冷却させていたため、80〜100K程度までしかシュラウドを冷却させることができなかった。
つまり、特許文献1,2に開示された宇宙環境試験装置では、10Kよりも温度の高い80〜100K程度の模擬宇宙空間でしか被試験体の試験を行うことができなかった。
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る宇宙環境試験装置の概略構成を模式的に示す図(その1)であり、具体的には、宇宙環境試験装置の構成要素のうち、真空容器、第1のシュラウド、第2のシュラウド、被試験体載置台、及びリング状部材等の一部の構成要素を断面で図示した図である。
図1において、X方向は、真空容器15、第1のシュラウド31、及び第2のシュラウド42の延在方向を示しており、Z方向は、鉛直方向を示している。
図2において、Y方向は、真空容器15、第1のシュラウド31、及び第2のシュラウド42の半径方向を示している。
真空容器15は、X方向(所定の方向)に延在しており、気密されている。真空容器15は、両端が塞がれた円筒状の部材である。真空容器15のうち、X方向の端部を構成する部分は、開閉可能な構成とされており、蓋体として機能する。
真空容器15は、冷凍機56の配設領域に対応する部分に設けられた第1の貫通部15Aを有する。第1の貫通部15Aは、冷凍機56を構成するディスプレーサ56−2を挿入させるための穴である。
観察用窓部17−1は、真空容器15のうち、X方向に位置する部分に設けられている。観察用窓部17−2は、真空容器15のうち、Y方向に位置する部分に設けられている。観察用窓部17−2は、第2のシュラウド42内に収容された被試験体14の様子を観察するためのものである。
ターボ分子ポンプ21は、真空容器15の外部に配置されている。油回転ポンプ23は、ターボ分子ポンプ21を介して、真空排気用ライン18と接続されている。
ターボ分子ポンプ21、及び油回転ポンプ23は、真空容器15内を真空引きするためのポンプである。
クライオポンプ26は、真空容器15の外部に配置されている。ヘリウム圧縮機28は、クライオポンプ26を介して、真空排気用ライン24と接続されている。
クライオポンプ26、及びヘリウム圧縮機28は、真空容器15内を真空引きするためのポンプである。
なお、第1の実施の形態の宇宙環境試験装置10において、クライオポンプ26及びヘリウム圧縮機28を構成要素から除き、ターボ分子ポンプ21及び油回転ポンプ23のみを用いて真空引きを行ってもよい。この場合の真空容器15内の真空度は、例えば、1×10−3Pa程度にすることができる。
第1のシュラウド31の外径R2(言い換えれば、第2の円筒部材(図示せず)の外径)は、真空容器15の内径R1よりも小さくなるように構成されている。
第1のシュラウド31は、例えば、その中心軸(図示していないX方向に延在する中心軸)が真空容器15のX方向に延在する中心軸(図示せず)と一致するように、真空容器15内に収容されている。
第1のシュラウド31は、第1の貫通部15Aと対向する位置に設けられた第2の貫通部31Aを有する。第2の貫通部31Aは、冷凍機56を構成するディスプレーサ56−2を挿入させるための穴である。
第1のシュラウド31は、筒状空間に充填された冷媒(例えば、液体窒素)により、80K程度の温度まで冷却される。これにより、第1のシュラウド31内に形成された空間も80K程度の温度まで冷却される。
また、第1のシュラウド31の材料としては、100K以下の温度において、熱伝導率が80W/(m・K)以上を有する材料が好ましい。このように、第1のシュラウド31の材料として、100K以下の温度において、熱伝導率が80W/(m・K)以上を有する材料を用いることで、筒状空間に充填された冷媒の量が減少した場合でも第1のシュラウド31全体を均一に冷却することができる。このような材料としては、例えば、銅やアルミニウム等を用いることができる。
冷媒導入部本体33−1は、真空容器15上に配置された第1の部分と、第1の部分の下端に配置され、真空容器15を貫通することで、第1のシュラウド31と接続された第2の部分と、を有する。
冷媒導出部33−3は、一部が冷媒導入部本体33−1から上方に突出しており、残りの部分が冷媒導入部本体33−1内に配置されている。冷媒導出部33−3は、その一端が冷媒導出ライン36と接続されており、他端が冷媒用配管(図示せず)の他端と接続されている。
冷媒導出ライン36は、その一端が冷媒導出部33−3と接続されている。冷媒導出ライン36は、冷媒導出部33−3を介して、第1のシュラウド31の冷却に寄与した冷媒を真空容器15の外に導出するためのラインである。
冷媒供給源38は、第1のシュラウド31を冷却する冷媒を供給する。該冷媒としては、例えば、液体窒素を用いることができる。
つまり、第2のシュラウド42は、両端が閉塞端とされた部材である。
第2のシュラウド42の外径R3は、第1のシュラウド31の内径R4(言い換えれば、第1の円筒部材(図示せず)の内径)よりも小さくなるように構成されている。
第2のシュラウド42は、例えば、その中心軸(図示していないX方向に延在する中心軸)が第1のシュラウド31のX方向に延在する中心軸(図示せず)と一致するように、第1のシュラウド31内に収容することができるが、これに限定されない。
X方向における第2のシュラウド42の長さは、X方向における第1のシュラウド31の長さよりも短くなるように構成されている。
この場合、第1のシュラウド31と第2のシュラウド42との間隔は、例えば、9.4cmとすることができる。
第2のシュラウド42のX方向に位置する両端は、開放端とされている。これにより、第2のシュラウド42内に形成された空間(円柱形状とされた空間)の真空度は、真空容器15内の真空度と略等しくなる。
第3の貫通部42Aは、冷凍機56を構成するコールドヘッド56−2と接続される接続部材61が装着される穴である。
第2のシュラウド42は、コールドヘッド56−2により、第1のシュラウド31の温度(具体的には、80K程度の温度)よりも低い温度(具体的には、10K)まで冷却される。
また、第2のシュラウド42の材料としては、100K以下の温度において、熱伝導率が80W/(m・K)以上となるような材料が好ましい。このように、第2のシュラウド42の材料として、100K以下の温度において熱伝導率が80W/(m・K)以上となるような材料を用いることで、第2シュラウド42全体を均一に冷却することができる。このような材料としては、例えば、銅やアルミニウム等を用いることができる。
複数の脚部45−1は、その下端が第2のシュラウド42の底部に固定されている。平板部45−2は、複数の脚部45−1の上端と接続されている。平板部45−2は、被試験体14が固定されるステージである。
これにより、複数のリング状部材47は、円筒状部材42−1の外周面から離間する円筒状部材42−1の半径方向に突出している。
一対の切欠き部47Aは、第2のシュラウド42に到達しないように設けられている。 一対の切欠き部47Aは、断熱部材51が配置される部分である。第2のシュラウド42は、複数のリング状部材47に設けられた一対の切欠き部47Aに配置された断熱部材51、及び断熱部材51と接触するシュラウド支持部材49を介して、第1のシュラウド31に支持されている。
このように、第1のシュラウド31と第2のシュラウド42とが直接接触しない構造とすることで、第1のシュラウド31から第2のシュラウド42への熱的な影響を抑制することができる。
また、リング状部材47の材料としては、例えば、第2のシュラウド42を構成する材料と同様な材料を用いることが可能であり、好ましくは、第2のシュラウド42を構成する材料と同一の材料を用いることが好ましい。
このように、第2のシュラウド42を構成する材料と同一の材料を用いてリング状部材47を構成することで、極低温となるように第2のシュラウド42を冷却した際、第2のシュラウド42及びリング状部材47の熱的性質が同一であるため、第2のシュラウド42が変形することを抑制できる。
また、一対の切欠き部47を配設位置や形状についても、図1に示す一対の切欠き部47を配設位置や形状に限定されない。
シュラウド支持部材49は、その角部(断熱部材51と接触する角部)が切欠き部47Aの角部(角度が90度とされた角部)よりも外側に位置するように配置されている。シュラウド支持部材49は、第1のシュラウド31のX方向に延在して配置されている。
シュラウド支持部材49は、切欠き部47Aに配置された断熱部材51と接触している。シュラウド支持部材49は、断熱部材51及びリング状部材47を介して、第2のシュラウド42を支持している。
これにより、第2のシュラウド42内に形成される模擬宇宙空間の温度が10K以下となるように、第2のシュラウド42を安定して冷却することができる。
このように、シュラウド支持部材49の材料として、第1のシュラウド31を構成する材料と同一の材料を用いることで、シュラウド支持部材49及び第1のシュラウド31の熱的性質が同一となるため、極低温となるように第1のシュラウド31を冷却した際、第1のシュラウド31が変形することを抑制できる。
断熱部材51の材料としては、例えば、100K以下の温度において、熱伝導率が0.4W/(m・K)以下となるような材料が好ましい。このように、断熱部材51の材料として熱伝導率が0.4W/(m・K)以下となるような材料を用いることで、第1のシュラウド31から第2のシュラウド42への熱的影響を抑制できる。このような材料としては、例えば、ガラスエポキシ樹脂を用いることができる。
ディスプレーサガイド部材54の内径は、貫通用円筒部材54内に収容されるディスプレーサ56−2の外径よりも大きくなるように構成されている。これにより、貫通用円筒部材54とディスプレーサ56−2との間には、円筒状の空間が形成されている。
冷凍機本体56−1は、真空容器15の外側に配置されている。冷凍機本体56−1は、ヘリウムガスが導入されるヘリウムガス導入口56−1Aと、ヘリウムガスが導出されるヘリウムガス導出口56−1Bと、を有する。
ディスプレーサ56−2は、その一端(上端)が冷凍機本体56−1と接続されている。ディスプレーサ56−2は、その一部が第1のベローズ取付用部材53に設けられた貫通穴(図示せず)、及び貫通用円筒部材54内に収容されている。
コールドヘッド56−3は、ディスプレーサ56−2の他端(下端)に固定されている。コールドヘッド56−3は、接続部材61を介して、第2のシュラウド42と接続されている。
冷凍機56としては、接続部材61及び第2のシュラウド42を介して、第2のシュラウド42内の模擬宇宙空間を10K以下(言い換えれば、被試験体14を10K以下)まで)まで冷却することが可能なものであればよい。
具体的には、冷凍機56としては、例えば、パルスチューブ冷凍機、GM冷凍機(ギフォード・マクマホン冷凍機)、及びGM−JT冷凍機等を用いることができるが、パルスチューブ冷凍機が好ましい。
パルスチューブ冷凍機は、他の冷凍機と比較して振動が小さく、振動要求が厳しい被試験体に好適である。
第2のベローズ取付用部材58は、ボルト66の雄ねじ部(図4参照)と螺合される複数の雌ねじ部(図示せず)を有する。
板状部61Aは、第3の貫通部を塞ぐように、円筒状部材42−1上に配置されている。つまり、板状部61Aは、第2のシュラウド42の外側に配置されている。板状部61Aは、コールドヘッド56−3が接続される平坦なヘッド接続面61a(上面)を有する。
上記説明したように、コールドヘッド56−3は、接続部材61を介して、第2のシュラウド42と接触し、冷凍機56は、第2のシュラウド42により支持されている。
上記インジウム層は、例えば、コールドヘッド56−3に直接塗布することで形成することが可能である。該インジウム層の厚さは、例えば、0.1mmとすることができる。
突出部61Bの外周側面のうち、第2のシュラウド42と接触する部分には、インジウム層(図示せず)を配置させるとよい。このように、突出部61Bの外周側面のうち、第2のシュラウド42と接触する部分にインジウム層(図示せず)を配置させることで、均一で高い熱伝導性を得ることが可能となるので、第2のシュラウド42を効率良く冷却することができる。
このように、接続部材61、及び接続部材固定用部材63の材料として、100K以下の温度において、熱伝導率が80W/(m・K)以上の材料を用いることで、コールドヘッド56−3の冷熱を第2のシュラウド42に効率良く伝導させることが可能となるので、第2のシュラウド42を効率良く冷却することができる。このような材料としては、例えば、銅やアルミニウム等を用いることができる。
第1のフランジ部71は、円形板状の部材であり、ボルト76を構成する雄ねじ部(雄ねじを有する軸部)と螺合される雌ねじ部(図示していない雌ねじが形成された穴)を複数有する。第1のフランジ部71は、第1のベローズ取付用部材53上に固定されている。
貫通穴72Aは、第1のフランジ部71を構成する雌ねじ部(図示せず)と対向するように配置されている。貫通穴72Aの直径は、ボルト76を構成する雄ねじ部(雄ねじを有する軸部)の直径よりも大きくなるように構成されている。つまり、貫通穴72Aは、ボルト76を構成する雄ねじ部(雄ねじを有する軸部)と接触していない。
第2のフランジ部72を構成する雌ねじ部、及び第2のベローズ取付用部材58を構成する雌ねじ部には、ボルト66が挿入されており、該ボルト66の下端(具体的には、第2のフランジ部72よりも下方に突出したボルト66)にはナット86が締結されている。
これにより、第2のフランジ部72は、第2のベローズ取付用部材58に固定されている。
ボルト76は、第1のフランジ部71の下側から第1のフランジ部71の雌ねじ部に螺合されており、第1のフランジ部71の上方に配置された第2のフランジ部72の貫通穴72Aを貫通している。
第2のナット82は、第2のフランジ部72と第1のナット81との間に位置するボルト76の雄ねじ部に螺合されている。第2のナット82は、第2のフランジ部72と接触しないように配置されている。
第1のシュラウド31と第2のシュラウド42とが室温の状態において、第2のフランジ部72と第2のナット82との間隔は、例えば、4mmとすることができる。
第1のシュラウド31と第2のシュラウド42とが室温の状態において、第2のフランジ部72と第3のナット83との間隔は、例えば、4mmとすることができる。
上記第2及び第3のナット82,83の外径は、貫通穴72Aよりも大きくなるように構成されている。貫通穴72Aの直径が12mmの場合、第2及び第3のナット82,83の外径は、例えば、14mmとすることができる。
これにより、第2のシュラウド42の熱収縮や熱膨張により、接続部材61とコールドヘッド56−3との接続部分が破損することを防止できる。
ヘリウムガス供給源69は、ヘリウムガス供給ライン68、及びヘリウムガス導入口56−1Aを介して、ヘリウムガスを冷凍機56に供給する。
ヘリウムガス戻りライン73は、その一端がヘリウムガス導出口56−1Bと接続されている。ヘリウムガス戻りライン73は、冷凍機56内において、不要となったヘリウムガスを冷凍機56に戻すためのラインである。
これにより、10K以下の温度とされた模擬宇宙空間において、被試験体14の試験を行うことができる。
図6は、本発明の第2の実施の形態に係る宇宙環境試験装置の概略構成を模式的に示す図であり、宇宙環境試験装置の一部の構成要素を断面で図示した図である。図6において、図2に示す第1の実施の形態の宇宙環境試験装置10と同一構成部分には、同一符号を付す。
図7は、図6に示す宇宙環境試験装置のうち、領域Fで囲まれた部分を拡大した図である。図7において、図6に示す構造体と同一構成部分には、同一符号を付す。
なお、第2の実施の形態では、断熱部材51が「第2の断熱部材」に相当する。
金属ワイヤ91は、接続部材61を介して、コールドヘッド56−3の冷熱を直接被試験体14に伝導させるための部材である。
このように、接続部材61を介して、コールドヘッド56−3の冷熱を直接被試験体14に伝導させる金属ワイヤ91を有することで、被試験体14の冷却を効率良く行うことができる。
金属ワイヤ91を銅で構成する場合、金属ワイヤ91の直径は、例えば、3〜6mmの範囲内とすることができる。
このように、接続部材61、及び接続部材固定用部材63と第2のシュラウド42との間に断熱部材92を配置することで、コールドヘッド56−3の冷熱が第2のシュラウド42に伝導されにくくなるので、被試験体14の冷却にコールドヘッド56−3の冷熱を効率良く用いることができる。
また、断熱部材92の厚さは、例えば、5mmとすることができる。
また、金属ワイヤ91を介して、コールドヘッド56−3の冷熱を直接被試験体14に伝導させることで、短時間の装置の駆動で効率良く試験環境を形成することができる。
さらに、図1に示す宇宙環境試験装置10を用いた場合よりも被試験体14の温度を低温にした上で、被試験体14の試験を行うことができる。
また、この場合、金属ワイヤ91の一端を被試験体14の上面に接触させた場合と比較して、短時間で、模擬宇宙空間の温度を10Kに到達させることができる。
このように、接続部材61と被試験体14とを接続する複数の金属ワイヤ91を設けることで、より短時間で被試験体14を冷却することができる。
また、複数の金属ワイヤ91を設ける場合には、被試験体14の周囲にも金属ワイヤ91を接続(接触)させてもよい。これにより、複数の金属ワイヤ91を介して、コールドヘッド56−3に冷却される被試験体14内の温度勾配を小さくすることができる。
実施例では、図1及び図2に示す宇宙環境試験装置10を用いた。
このとき使用した宇宙環境試験装置10の主要な構成要素の条件、窒素ガス及びヘリウムガスの流量、及び真空度等については、下記条件を用いた。
第1のシュラウド31としては、アルミニウム(A5052)製のシュラウドを用いた。第1のシュラウド31は、外径R2を85.4cm、厚さを27mm、X方向の長さを120cmとした。
第1及び第のシュラウド31,42の上部及び下部には、それぞれ図示していない温度センサ(Lake Shore Cryogenic製のSillcon 600 Series Cu Puckage)を配置した。
リング状部材47としては、アルミニウム(A1050)製のリング状部材を用いた。リング状部材47のZ方向の厚さは、29mmとし、X方向の厚さは、6mmとした。
シュラウド支持部材49としては、アルミニウム(A5052)製の支持部材を用いた。断熱部材51の材料としては、ガラスエポキシ樹脂を用いた。
この結果を、図8に示す。
Claims (19)
- 所定の方向に延在すると共に、気密された真空容器と、
前記真空容器内に収容され、両端が開放端とされ、前記所定の方向に延在する筒状の第1のシュラウドと、
前記第1のシュラウドに配置され、該第1のシュラウドを冷却する冷媒が流れる冷媒用配管と、
前記第1のシュラウド内に収容され、両端が閉塞端とされ、前記所定の方向に延在する筒状の第2のシュラウドと、
前記第2のシュラウド内に配置され、被試験体が載置される被試験体載置台と、
前記第1のシュラウドよりも内側に配置され、前記第2のシュラウドを介して、前記被試験体を冷却するコールドヘッドを含む冷凍機と、
を有することを特徴とする宇宙環境試験装置。 - 前記第2のシュラウドの上部に装着され、上面に前記コールドヘッドが接続されるヘッド接続面を有し、前記第2のシュラウドに前記コールドヘッドの冷熱を伝導させる接続部材を有することを特徴とする請求項1記載の宇宙環境試験装置。
- 前記接続部材は、前記第2のシュラウドを貫通し、該第2のシュラウドの内側に突出する突出部を有することを特徴とする請求項2記載の宇宙環境試験装置。
- 前記接続部材は、熱伝導率が80W/(m・K)以上の材料で構成されていることを特徴とする請求項2または3記載の宇宙環境試験装置。
- 前記第2のシュラウドは、シュラウド支持部材を介して、前記第1のシュラウドに支持されており、
前記シュラウド支持部材は、断熱部材を介して、前記第2のシュラウドを支持することを特徴とする請求項1ないし4のうち、いずれか1項記載の宇宙環境試験装置。 - 前記断熱部材は、熱伝導率が0.4W/(m・K)以下の材料で構成されていることを特徴とする請求項5記載の宇宙環境試験装置。
- 前記第2のシュラウドの外周面に設けられ、前記所定の方向に複数配置されたリング状部材と、
前記リング状部材の下部に設けられ、前記断熱部材が配置される一対の切り欠き部と、
を有することを特徴とする請求項5または6記載の宇宙環境試験装置。 - 前記冷凍機は、冷凍機本体と、該冷凍機本体の下方に延在するディスプレーサと、該ディスプレーサの下端に配置された前記コールドヘッドと、を含み、
前記真空容器は、その上部に前記ディスプレーサを挿入させるための第1の貫通部を有し、
前記第1のシュラウドは、その上部に前記第1の貫通部と対向配置され、前記ディスプレーサを挿入させるための第2の貫通部を有し、
前記第2のシュラウドは、その上部に前記第2の貫通部と対向配置され、前記接続部材が装着される第3の貫通部を有することを特徴とする請求項2ないし7のうち、いずれか1項記載の宇宙環境試験装置。 - 前記第1の貫通部に配置され、前記ディスプレーサを挿入させるための貫通穴を有し、前記真空容器に固定された第1のベローズ取付用部材と、
前記冷凍機本体に取り付けられた第2のベローズ取付用部材と、
前記第1のベローズ取付用部材と前記第2のベローズ取付用部材との間に配置され、一端が前記第1のベローズ取付用部材と接続され、他端が前記第2のベローズ取付用部材と接続されたベローズと、
を有し、
前記冷凍機本体は、前記ベローズを介して、前記第2のシュラウドに支持されていることを特徴とする請求項8記載の宇宙環境試験装置。 - 所定の方向に延在すると共に、気密された真空容器と、
前記真空容器内に収容され、両端が開放端とされ、前記所定の方向に延在する筒状の第1のシュラウドと、
前記第1のシュラウドと接続され、該第1のシュラウドを冷却する冷媒が流れる冷媒用配管と、
前記第1のシュラウド内に収容され、両端が閉塞端とされ、前記所定の方向に延在する筒状の第2のシュラウドと、
前記第2のシュラウド内に配置され、被試験体が載置される被試験体載置台と、
前記第1のシュラウドよりも内側に配置され、前記第2のシュラウドとは断熱されたコールドヘッドを含む冷凍機と、
一端が前記被試験体と接触し、該被試験体に前記コールドヘッドの冷熱を伝導させる金属ワイヤと、
を有することを特徴とする宇宙環境試験装置。 - 前記金属ワイヤは、熱伝導率が80W/(m・K)以上の材料で構成されていることを特徴とする請求項10記載の宇宙環境試験装置。
- 一部が前記第2のシュラウドの内側に配置されるように、第1の断熱部材を介して、前記第2のシュラウドの上部に装着され、上面に前記コールドヘッドが接続されるヘッド接続面を含む接続部材を有し、
前記金属ワイヤの他端は、前記第2のシュラウドの内側に配置された前記接続部材の一部と接続させることを特徴とする請求項10または11記載の宇宙環境試験装置。 - 前記接続部材は、熱伝導率が80W/(m・K)以上の材料で構成されていることを特徴とする請求項12記載の宇宙環境試験装置。
- 前記第1の断熱部材は、熱伝導率が0.4W/(m・K)以下の材料で構成されていることを特徴とする請求項12または13記載の宇宙環境試験装置。
- 前記第2のシュラウドは、シュラウド支持部材を介して、前記第1のシュラウドに支持されており、
前記シュラウド支持部材は、第2の断熱部材を介して、前記第2のシュラウドを支持することを特徴とする請求項10ないし14のうち、いずれか1項記載の宇宙環境試験装置。 - 前記第2の断熱部材は、熱伝導率が0.4W/(m・K)以下の材料で構成されていることを特徴とする請求項15記載の宇宙環境試験装置。
- 前記第2のシュラウドの外周面に設けられ、前記所定の方向に複数配置されたリング状部材と、
前記リング状部材の下部に設けられ、前記第2の断熱部材が配置される一対の切り欠き部と、
を有することを特徴とする請求項15または16記載の宇宙環境試験装置。 - 前記冷凍機は、冷凍機本体と、該冷凍機本体の下方に延在するディスプレーサと、該ディスプレーサの下端に配置された前記コールドヘッドと、を含み、
前記真空容器は、その上部に前記ディスプレーサを挿入させるための第1の貫通部を有し、
前記第1のシュラウドは、その上部に前記第1の貫通部と対向配置され、前記ディスプレーサを挿入させるための第2の貫通部を有し、
前記第2のシュラウドは、その上部に前記第2の貫通部と対向配置され、前記接続部材が装着される第3の貫通部を有することを特徴とする請求項10ないし17のうち、いずれか1項記載の宇宙環境試験装置。 - 前記第1の貫通部に配置され、前記ディスプレーサを挿入させるための貫通穴を有し、前記真空容器に固定された第1のベローズ取付用部材と、
前記冷凍機本体に取り付けられた第2のベローズ取付用部材と、
前記第1のベローズ取付用部材と前記第2のベローズ取付用部材との間に配置され、一端が前記第1のベローズ取付用部材と接続され、他端が前記第2のベローズ取付用部材と接続されたベローズと、
を有し、
前記冷凍機本体は、前記ベローズを介して、前記第2のシュラウドに支持されていることを特徴とする請求項18記載の宇宙環境試験装置。
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