JP2015175926A - アレイ導波路格子及びその製造方法 - Google Patents
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システム)の開発が盛んである。この光波長多重通信システムにおいて、送信側で複数の波長の光信号を合波し、受信側で1本の光ファイバ中の複数の光信号を異なるポートに分波する光波長合分波器として、アレイ導波路格子型光波長合分波器(以下、AWGと略す)が広く使用されている。
BL=constと設計する方法では一本一本のアレイ導波路コア幅が異なるため、それに応じて実効屈折率も異なる。この結果として、隣接するアレイ導波路間の物理的な長さの差は一定になるとは限らない。
複数の光導波路を備え、
前記複数の光導波路は、規則的に長さが変化し、
前記複数の光導波路幅は、TEモードとTMモードの位相差傾きにより決定され、
前記TEモードとTMモードの位相差傾きが、負の値を有する。
前記複数の光導波路は、規則的に長さが変化し、
前記複数の光導波路幅は、TEモードとTMモードの位相差傾きにより決定され、
前記TEモードとTMモードの位相差傾きは、前記複数の光導波路のうちの中央部に配置されている光導波路及び両端部に配置されている光導波路間で差分を有する。
前記複数の光導波路は、前記複数の光導波路列の両端に向かってTEモードとTMモードの位相差傾きが連続的に変化する導波路列であってもよい。
前記複数の光導波路の前記TEモードとTMモードの位相差傾きは、負の値であってもよい。
前記TEモードとTMモードの位相差傾きは、4次関数で表してもよい。
複数の光導波路の長手方向の長さを規則的に変化させ、前記複数の光導波路幅を、前記最短長の前記導波路幅を基に、順次、最長導波路まで、前記TEモードとTMモードの位相差傾きにより決定する工程を行う。
光導波路形成工程において、
複数の光導波路の長手方向の長さを規則的に変化させ、前記複数の光導波路列の中央部及び両端部間で差分を有するTEモードとTMモードの位相差傾きを設定してもよい。
前記光導波路形成工程において、
前記複数の光導波路列の両端に向かって、連続的に変化するTEモードとTMモードの位相差傾きを導波路列に設定してもよい。
前記光導波路形成工程において、
複数の光導波路の前記TEモードとTMモードの位相差傾きは、負の値を複数の光導波路に設定してもよい。
前記光導波路形成工程において、
前記TEモードとTMモードの位相差傾きとの関係を、4次関数で算出した値を用いて複数の光導波路に設定してもよい。
本発明の実施形態1に係るアレイ導波路格子は、一連の導波路アレイに対し、2π/(m・λ)・(Bk+1・Lk+1−Bk・Lk)=一定、つまり、TEモードとTMモードの位相差傾き(TE/TMモード間位相差傾き)を一定と設定する。ここで、TE/TMモード間位相差傾きはアレイ導波路格子(AWG)の中心波長におけるTEモードとTMモードの位相差の傾きであり、アレイ番号kのTE/TMモード間位相差はphase(k)=Bk・Lk・2π/(m・λ)で表せる。このため、TE/TMモード間位相差傾きは、Δphase(k)=phase(k+1)−phase(k)となる。
本発明の実施形態2に係るアレイ導波路格子は、一連の導波路アレイに対し、n次関数に基づくTEモードとTMモードの位相差傾き(TE/TMモード間位相差傾き)分布を設定する(図3の実線:実施形態2)。すなわち、図3の実線は、アレイ番号0を頂点とした4次関数(y=ax4、a<0)であり、アレイ番号0、±140でのTE/TMモード間位相差傾きは、それぞれ−0.010、−0.021である。
102、105:スラブ導波路
103:シリコン基板
104、201、202:アレイ導波路
106:出力導波路
Claims (10)
- 複数の光導波路を備え、
前記複数の光導波路は、規則的に長さが変化し、
前記複数の光導波路幅は、TEモードとTMモードの位相差傾きにより決定され、
前記TEモードとTMモードの位相差傾きが、負の値を有する、
ことを特徴とするアレイ導波路格子。 - 複数の光導波路を備え、
前記複数の光導波路は、規則的に長さが変化し、
前記複数の光導波路幅は、TEモードとTMモードの位相差傾きにより決定され、
前記TEモードとTMモードの位相差傾きは、前記複数の光導波路のうちの中央部に配置されている光導波路及び両端部に配置されている光導波路間で差分を有する、
ことを特徴とするアレイ導波路格子。 - 前記複数の光導波路は、前記複数の光導波路列の両端に向かってTEモードとTMモードの位相差傾きが連続的に変化する導波路列を有する、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のアレイ導波路格子。 - 前記複数の光導波路のTEモードとTMモードの位相差傾きは、負の値である、
ことを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のアレイ導波路格子。 - 前記TEモードとTMモードの位相差傾きは、4次関数で表される、ことを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のアレイ導波路格子。
- 複数の光導波路の長手方向の長さを規則的に変化させ、前記複数の光導波路幅を、前記最短長の前記導波路幅を基に、順次、最長導波路まで、前記TEモードとTMモードの位相差傾きにより決定する工程を、
行うことを特徴とするアレイ導波路格子の製造方法。 - 複数の光導波路の長手方向の長さを規則的に変化させ、前記複数の光導波路列の中央部及び両端部間で差分を有するTEモードとTMモードの位相差傾きを設定する光導波路形成工程を
行うことを特徴とする請求項6に記載のアレイ導波路格子の製造方法。 - 前記光導波路形成工程において、
前記複数の光導波路列の両端に向かって、連続的に変化するTEモードとTMモードの位相差傾きを導波路列に設定する
ことを特徴とする請求項6又は7に記載のアレイ導波路格子の製造方法。 - 前記光導波路形成工程において、
複数の光導波路の前記TEモードとTMモードの位相差傾きは、負の値を複数の光導波路に設定する
ことを特徴とする請求項6から8に記載のアレイ導波路格子の製造方法。 - 前記光導波路形成工程において、
前記TEモードとTMモードの位相差傾きとの関係を、4次関数で算出した値を用いて複数の光導波路に設定する
ことを特徴とする請求項6から9のいずれかに記載のアレイ導波路格子の製造方法。
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---|---|---|---|---|
JP2001051139A (ja) * | 1999-08-12 | 2001-02-23 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光導波路装置 |
US20020181868A1 (en) * | 2001-03-16 | 2002-12-05 | Mcgreer Kenneth | Arrayed waveguide grating with waveguides of unequal widths |
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2014
- 2014-03-14 JP JP2014051153A patent/JP6309793B2/ja active Active
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JP2001051139A (ja) * | 1999-08-12 | 2001-02-23 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光導波路装置 |
US20020181868A1 (en) * | 2001-03-16 | 2002-12-05 | Mcgreer Kenneth | Arrayed waveguide grating with waveguides of unequal widths |
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