JP2015174761A - Holding jig of plate glass - Google Patents

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武 櫻井
Takeshi Sakurai
武 櫻井
久紘 出口
Hisahiro Deguchi
久紘 出口
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a holding jig which enables a small number of clamp means to hold a plate glass in a proper condition, and can be lightweight and low-cost.SOLUTION: A holding jig 1 comprises a frame body 3 surrounding the periphery of a plate glass 2, and clamp means 4a, 4b attached to the frame body 3 and disposed from the frame body 3 toward the plate glass 2. The clamp means 4a, 4b comprise clampers 41 for clamping only all corner parts of the plate glass 2 respectively. Thus, by clamping only all corner parts of the plate glass 2, the occurrence of bending and warping between the corner parts of the plate glass 2 can be prevented, and thereby it is possible to hold the plate glass 2 efficiently in a proper condition. Also, as compared to those holding the plate glass 2 at the sides, since a number of clamp means can be reduced, it is possible to facilitate the work upon clamping the plate glass 2, and the holding jig 1 can be lightweight and low-cost.

Description

本発明は、板ガラスに対して適切な処理や良好な搬送を行わせるために、板ガラスの保持を最適化し得る保持治具に関する。   The present invention relates to a holding jig capable of optimizing the holding of a plate glass in order to cause the plate glass to perform appropriate processing and good conveyance.

周知のように、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ(サーフェイスエミッションディスプレイを含む)およびエレクトロルミネッセンスディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ(FPD)やセンサの基板、あるいは固体撮像素子やレーザーダイオード等の半導体パッケージ用カバー、さらには薄膜化合物太陽電池の基板等に用いられる板ガラスは、大型化や薄肉化が推進されているのが実情である。   As is well known, for flat panel displays (FPD) such as liquid crystal displays, plasma displays, field emission displays (including surface emission displays) and electroluminescence displays, sensor substrates, or semiconductor packages such as solid-state imaging devices and laser diodes. The actual situation is that plate glass used for a cover, a substrate of a thin film compound solar cell, and the like is being increased in size and thickness.

上記の板ガラスは、その製造工程において、成膜や洗浄等の各種処理が施される。しかし、大型化、薄肉化された板ガラスは、撓みや反り等によって板ガラスの表面にうねりが生じ易い。そのため、板ガラスの表面にうねりが生じたままの状態で成膜や洗浄等の処理を行うと、板ガラス表面の成膜不良や、洗浄ムラが生じ板ガラスの品位低下を招く。   The plate glass is subjected to various processes such as film formation and cleaning in the manufacturing process. However, the plate glass that has been increased in size and reduced in thickness is likely to swell on the surface of the plate glass due to bending or warping. For this reason, if a film forming process or a cleaning process is performed in a state where the surface of the plate glass remains wavy, a film formation defect on the surface of the plate glass or uneven cleaning occurs, leading to a reduction in the quality of the plate glass.

この様な問題に対処するための保持治具として、例えば、下記特許文献1の図5に開示の検査装置に備えられた基板固定手段がある。この基板固定手段は、板ガラスを縦姿勢で定位置に固定する固定フレームに、板ガラスの四辺全てを上下方向及び左右方向に引っ張った状態でクランプ可能なクランプ手段が設けられている。   As a holding jig for coping with such a problem, for example, there is a substrate fixing means provided in the inspection apparatus disclosed in FIG. The substrate fixing means is provided with clamping means capable of clamping in a state where all four sides of the plate glass are pulled in the vertical direction and the horizontal direction on a fixed frame that fixes the plate glass in a vertical position at a fixed position.

特開2005−172782号公報JP 2005-172882 A

しかし、大型化、薄肉化された板ガラスを保持する場合、板ガラスの端部である四辺は破損し易い。そのため、上記特許文献1に開示されている基板固定手段では、板ガラスの各辺を保持した際に、不当な引張応力が部分的に集中して作用することによって、板ガラスが破損するのを防ぐため、各辺毎にそれぞれ二箇所ずつクランプ手段が対向して設けられている。しかし、板ガラスに洗浄等の処理を行う場合、クランプされている領域は処理が施されないため、クランプする箇所が多いと、処理を施す場合に不都合が生じる。しかも、クランプ手段の個数が多いと、板ガラスをクランプする際の作業が面倒且つ、煩雑になると共に、基板固定手段の重量増や構造の複雑化を招き、製作コストの高騰も余儀なくされる。   However, when holding an enlarged and thin plate glass, the four sides which are the end portions of the plate glass are easily damaged. Therefore, in the substrate fixing means disclosed in the above-mentioned Patent Document 1, in order to prevent the plate glass from being damaged when the sides of the plate glass are held, the undue tensile stress is partially concentrated and acts. Two clamping means are provided opposite to each side. However, when a process such as cleaning is performed on the plate glass, the clamped region is not processed. Therefore, if there are many places to be clamped, inconvenience occurs when the process is performed. In addition, when the number of clamping means is large, the work for clamping the plate glass becomes troublesome and complicated, and the weight of the substrate fixing means is increased and the structure becomes complicated, so that the manufacturing cost is inevitably increased.

本発明の解決すべき課題は、少ない個数のクランプ手段で板ガラスを適正な状態で保持でき、軽量化や低コスト化をも図り得る保持治具を提供することにある。   The problem to be solved by the present invention is to provide a holding jig that can hold a plate glass in an appropriate state with a small number of clamping means, and can achieve weight reduction and cost reduction.

上記課題を解決するためになされた本発明は、板ガラスを保持するための保持治具であって、板ガラスの周囲を囲う枠体と、枠体に取付られ、枠体から板ガラスに向かって配されたクランプ手段とを備え、クランプ手段は、板ガラスの全てのコーナー部のみをそれぞれクランプするクランパを有していることをもって特徴付けられる。   The present invention made to solve the above problems is a holding jig for holding a plate glass, and is attached to the frame body surrounding the plate glass, and is arranged from the frame body toward the plate glass. The clamping means is characterized by having a clamper that clamps only all corners of the glass sheet.

このように、枠体にクランプ手段を設け、板ガラスの全てのコーナー部のみをクランプする構成としている。そのため、板ガラスの全てのコーナー部のみをクランプすることで、板ガラスが撓みや反りなどに起因して板ガラス表面にうねりが生じるのを抑えつつ、枠体の内周側に保持させることができる。また、クランプ手段は、板ガラスの全てのコーナー部をクランプするだけでよいので、クランプ領域を減らすことができると共に、クランプ手段の数を減らすことができ、効率よく板ガラスを保持することが可能となる。   In this manner, the frame body is provided with clamping means, and only the corners of the plate glass are clamped. Therefore, by clamping only all corner portions of the plate glass, the plate glass can be held on the inner peripheral side of the frame body while suppressing the plate glass surface from being wavy due to bending or warping. Further, since the clamping means only needs to clamp all the corners of the plate glass, the clamping area can be reduced, the number of clamping means can be reduced, and the plate glass can be efficiently held. .

クランプ手段は、板ガラスのそれぞれ対向するコーナー部を互いに離反する方向に付勢する付勢手段を有していると好適である。   The clamp means preferably includes biasing means for biasing the opposing corner portions of the plate glass in directions away from each other.

このようにすれば、板ガラスのそれぞれ対向するコーナー部が互いに離反する方向に引っ張られた状態で枠体に保持されることによって、引張力が作用している周辺の撓みや反りが防止される。さらには、4つのコーナー部におけるそれぞれ隣接するコーナー部間も引っ張られることになるため、板ガラスの四辺にも引張力を作用させて撓みや反りが生じるのを防止することが可能となる。その結果、板ガラスの全域における表面にうねりが生じるのをより効果的に抑制することができる。   If it does in this way, the corner part which each plate glass will mutually oppose is hold | maintained at the frame body in the state pulled apart, and the bending and curvature of the periphery where the tensile force is acting are prevented. Furthermore, since the corner portions adjacent to each other in the four corner portions are also pulled, it is possible to prevent the bending and warping from occurring by applying a tensile force to the four sides of the plate glass. As a result, it is possible to more effectively suppress the occurrence of waviness on the surface of the entire plate glass.

クランパは、クランプ手段の枠体への取付部から板ガラスへのクランプ部に至る仮想直線の周りに回転可能に設けると好適である。   It is preferable that the clamper is provided so as to be rotatable around an imaginary straight line extending from the attachment portion of the clamp means to the frame to the clamp portion to the plate glass.

このようにすれば、クランパがクランプ手段の枠体への取付部から板ガラスへのクランプ部に至る仮想直線の周りに回転するため、板ガラスをクランプする際及びクランプした後においても、クランプされる板ガラスのコーナー部に局部的に不当な曲げ応力が作用するのを回避することができる。   In this way, the clamper rotates around an imaginary straight line from the attachment portion of the clamp means to the frame to the clamp portion of the plate glass, so that the plate glass that is clamped even when and after clamping the plate glass It is possible to avoid an unreasonable bending stress locally acting on the corner portion of the.

クランプ手段は、枠体に沿ってスライド可能に取り付けても好適である。   It is also preferable that the clamp means is slidably attached along the frame.

このようにすれば、保持対象の板ガラスの大きさに変更があった場合、クランプ手段を枠体に沿ってスライドさせて位置調整するだけで済むため、枠体の大きさを変えなくても種々のサイズの板ガラスを確実に保持させることができる。   In this way, if there is a change in the size of the glass sheet to be held, it is only necessary to adjust the position by sliding the clamp means along the frame, so various types of frames can be used without changing the size of the frame. It is possible to reliably hold a plate glass of the size.

クランパの内側には、板ガラスの表面側と裏面側とに当接する弾性部材が取り付られていると好適である。   It is preferable that an elastic member that is in contact with the front side and the back side of the plate glass is attached to the inside of the clamper.

このようにすれば、クランプ手段で板ガラスのコーナー部をクランプしたとき、クランパから板ガラスに作用する衝撃が弾性部材によって緩和されると共に、クランプした後においても搬送時などにクランプ部位に生じる衝撃が弾性部材によって緩和される。そのため、板ガラスのコーナー部が破損或いは、損傷する事態を適切に防止することができる。   In this way, when the corner portion of the plate glass is clamped by the clamping means, the impact acting on the plate glass from the clamper is alleviated by the elastic member, and the impact generated at the clamp portion during transportation is also elastic after clamping. Relieved by the member. Therefore, it is possible to appropriately prevent the corner portion of the plate glass from being broken or damaged.

枠体の内周側であって、枠体の表面側端部に接する仮想面と裏面側端部に接する仮想面との間に、板ガラスが配置されるようにすると好適である。   It is preferable that the glass sheet is disposed between the virtual surface in contact with the front surface side end portion of the frame body and the virtual surface in contact with the back surface side end portion of the frame body.

このようにすれば、板ガラスが保持された枠体を搬送しているときなどに、枠体が工場内の設備と近接した位置を通過しても、枠体から板ガラスが突出していないため、板ガラスが工場内の設備と衝突することが回避され、板ガラスの破損を防止することができる。   In this way, when the frame holding the plate glass is being transported, the plate glass does not protrude from the frame even if the frame passes through a position close to the equipment in the factory. Can be avoided from colliding with the equipment in the factory, and breakage of the glass sheet can be prevented.

板ガラスの厚みは、300μm以下、さらには200μm以下、特に50μm以下であると好適である。   The thickness of the plate glass is preferably 300 μm or less, more preferably 200 μm or less, and particularly preferably 50 μm or less.

このようにすれば、板ガラスの全てのコーナー部のみが保持されたとき、板ガラスに撓みや反りが生じるのをより一層効果的に抑制することができる。   If it does in this way, when only all the corner parts of sheet glass are held, it can control still more effectively that bending and curvature arise in sheet glass.

本発明の板ガラスの保持治具によれば、板ガラスの全てのコーナー部のみをクランプすることにより、板ガラスのコーナー部間に撓みや反りが生じることを回避できるため、効率良く板ガラスを適正な状態で保持することが可能となる。さらに、板ガラスを辺で保持するものと比較して、クランプ手段の数を少なくすることができるので、板ガラスをクランプする際の作業が容易化できると共に、保持治具の低コスト化や軽量化を図ることが可能となる。   According to the plate glass holding jig of the present invention, it is possible to avoid bending and warping between the corner portions of the plate glass by clamping only all the corner portions of the plate glass. It becomes possible to hold. Furthermore, since the number of clamping means can be reduced compared with the one that holds the plate glass by the side, the work for clamping the plate glass can be facilitated, and the cost and weight of the holding jig can be reduced. It becomes possible to plan.

本発明の保持治具であって、保持治具に板ガラスが保持された状態を示す正面図である。It is a holding jig of the present invention, and is a front view showing a state where a plate glass is held by a holding jig. 図1のA−A線断面図である。It is the sectional view on the AA line of FIG. 図1の部分拡大図であって、枠体に取り付けられたクランプ手段の概略を示す図である。It is the elements on larger scale of FIG. 1, Comprising: It is a figure which shows the outline of the clamp means attached to the frame. 図2の部分拡大図であって、板ガラスをクランプする態様を示す概略図である。It is the elements on larger scale of FIG. 2, Comprising: It is the schematic which shows the aspect which clamps plate glass. 図1の部分拡大図であって、クランプ手段が板ガラスのコーナー部をクランプした状態を示す図である。It is the elements on larger scale of FIG. 1, Comprising: It is a figure which shows the state which the clamp means clamped the corner part of plate glass. 本発明の保持治具の変形例を示す正面図である。It is a front view which shows the modification of the holding jig of this invention. 図6のB−B線断面図である。It is the BB sectional view taken on the line of FIG. 図7の部分拡大図であって、クランプ手段の概略を示す図である。It is the elements on larger scale of FIG. 7, Comprising: It is a figure which shows the outline of a clamp means.

以下、本発明に係る板ガラスの保持治具(以下、単に保持治具という。)の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、本実施形態では、板ガラスの高さ方向を上下方向とし、板ガラスの幅方向を左右方向とする。   Embodiments of a glass sheet holding jig (hereinafter simply referred to as a holding jig) according to the present invention will be described below with reference to the drawings. In the present embodiment, the height direction of the glass sheet is defined as the vertical direction, and the width direction of the glass sheet is defined as the horizontal direction.

図1の保持治具1は、成形された板ガラス2を洗浄などを行う際に、板ガラス2を縦姿勢の状態で保持するための治具である。保持治具1は、板ガラス2の周囲を囲う枠体3と、枠体3に取り付けられ、板ガラス2の全てのコーナー部のみをそれぞれクランプするクランプ手段4a、4bとを備えている。   The holding jig 1 in FIG. 1 is a jig for holding the plate glass 2 in a vertical state when the formed plate glass 2 is cleaned. The holding jig 1 includes a frame 3 that surrounds the periphery of the plate glass 2, and clamp means 4 a and 4 b that are attached to the frame 3 and clamp only all corner portions of the plate glass 2.

図1に示すように、枠体3は、その内周側に厚み100μmの板ガラス2を収容して保持するものであり、その上側と下側にそれぞれ位置する上部フレーム3aと下部フレーム3bとが一対の側部フレーム3cによって支持されている。   As shown in FIG. 1, the frame 3 accommodates and holds a plate glass 2 having a thickness of 100 μm on its inner peripheral side, and an upper frame 3a and a lower frame 3b positioned on the upper side and the lower side, respectively. It is supported by a pair of side frames 3c.

図1及び図2に示すように、上部フレーム3aの左右方向両端部には、板ガラス2の上側のコーナー部をクランプする上部クランプ手段4aがそれぞれ取り付けられている。また、下部フレーム3bの左右方向両端部にも、板ガラス2の下側のコーナー部をクランプする下部クランプ手段4bがそれぞれ取り付けられている。クランプ手段4a、4bは、枠体3への取付部5から枠体3の内周側に向かって設けられている。なお、上部クランプ手段クランプ手段4a及び下部クランプ手段4bは、方向性が相違しているのみで、構造は全て同一である。   As shown in FIG.1 and FIG.2, the upper clamp means 4a which clamps the upper corner part of the plate glass 2 is attached to the both ends of the left-right direction of the upper frame 3a, respectively. Further, lower clamp means 4b for clamping the lower corner portion of the glass sheet 2 are also attached to both left and right ends of the lower frame 3b. The clamp means 4 a and 4 b are provided from the attachment portion 5 to the frame body 3 toward the inner peripheral side of the frame body 3. Note that the upper clamp means clamp means 4a and the lower clamp means 4b have the same structure except for the directionality.

図3は、クランプ手段4a、4bの構造を説明するための一例として取り上げた上部クランプ手段4aを示している。上部クランプ手段4aは、板ガラス2のコーナー部をクランプするクランパ41と、クランパ41を上部クランプ手段4aの枠体3への取付部5から板ガラス2へのクランプ部41aに至る仮想直線Lの周りに回転させる回転部材42と、クランパ41でクランプされた板ガラス2の対向するコーナー部を互いに離反する方向に付勢する付勢手段43とで構成される。   FIG. 3 shows the upper clamping means 4a taken as an example for explaining the structure of the clamping means 4a, 4b. The upper clamp means 4a includes a clamper 41 that clamps a corner portion of the plate glass 2, and a virtual straight line L that extends from the attachment portion 5 of the upper clamp means 4a to the frame 3 to the clamp portion 41a of the plate glass 2. The rotating member 42 is configured to rotate, and biasing means 43 that biases opposing corner portions of the glass sheet 2 clamped by the clamper 41 in directions away from each other.

クランパ41の先端部は、開閉可能に設けられ、板ガラス2の表裏面をクランプするクランプ部41aが設けられている。また、クランパ41の後端部には、例えば、板ガラス2の表裏面に当接しているクランプ部41aにクランプ力を付与して、板ガラス2を保持するためのばね44が設けられている。付勢手段43は、つるまきばね等で構成されるが、本実施形態では、それを覆う蛇腹状の伸縮自在なカバー部材を有している。   The front end portion of the clamper 41 is provided so as to be openable and closable, and a clamp portion 41 a that clamps the front and back surfaces of the plate glass 2 is provided. In addition, a spring 44 is provided at the rear end of the clamper 41 to hold the plate glass 2 by applying a clamping force to the clamp portion 41 a that is in contact with the front and back surfaces of the plate glass 2, for example. The urging means 43 is constituted by a helical spring or the like. In the present embodiment, the urging means 43 has a bellows-like stretchable cover member that covers it.

上部クランプ手段4aは、枠体3に沿ってスライド可能に設けられており、上記した取付部5としてのスライド部材を介して枠体3に取り付けられている。本実施形態では、スライド部材が上部フレーム3a及び下部フレーム3bにそれぞれ取り付けられている。   The upper clamp means 4 a is provided so as to be slidable along the frame body 3, and is attached to the frame body 3 via the slide member as the mounting portion 5 described above. In the present embodiment, slide members are attached to the upper frame 3a and the lower frame 3b, respectively.

また、取付部5には、図1における紙面と直交する図外の軸(以下、X軸という)が設けられており、そのX軸の周りにクランプ手段4a、4bがそれぞれ回転可能とされている。従って、クランパ41は、X軸の周りに搖動可能となっている。尚、クランパ41を搖動させるX軸は、クランプ手段4a、4bのクランパ41よりも取付部5側の部位に設けてもよい。さらに、取付部5には、図2における紙面と直交する図外の軸(以下、Y軸という)が設けられており、そのY軸の周りにクランプ手段4a、4bがそれぞれ回転可能とされている。従って、クランパ41は、Y軸の周りにも搖動可能となっている。尚、クランパ41を搖動させるY軸も、クランプ手段4a、4bのクランパ41よりも取付部5側の部位に設けてもよい。   Further, the attachment portion 5 is provided with an unshown axis (hereinafter referred to as the X axis) orthogonal to the paper surface in FIG. 1, and the clamp means 4a and 4b are respectively rotatable around the X axis. Yes. Therefore, the clamper 41 can swing around the X axis. Note that the X-axis for swinging the clamper 41 may be provided at a position closer to the mounting portion 5 than the clamper 41 of the clamp means 4a, 4b. Further, the attachment portion 5 is provided with an unshown axis (hereinafter referred to as a Y axis) orthogonal to the paper surface in FIG. 2, and the clamp means 4a and 4b are rotatable around the Y axis. Yes. Therefore, the clamper 41 can also swing around the Y axis. Note that the Y axis for swinging the clamper 41 may also be provided at a position closer to the mounting portion 5 than the clamper 41 of the clamp means 4a, 4b.

また、上部クランプ手段4a及び下部クランプ手段4bに設けられたクランパ41の先端の内側には、板ガラス2の表面側と裏面側とに当接する弾性部材6が取り付けられている。   In addition, an elastic member 6 that is in contact with the front surface side and the back surface side of the glass sheet 2 is attached to the inside of the tip of the clamper 41 provided in the upper clamp means 4a and the lower clamp means 4b.

次に、本発明の保持治具1に、板ガラス2を保持させる作業の一例を図4、図5に基づいて説明する。   Next, an example of the operation | work which hold | maintains the plate glass 2 in the holding jig 1 of this invention is demonstrated based on FIG. 4, FIG.

本実施形態では、板ガラス2の上側のコーナー部から保持する場合について説明する。まず、枠体3の内周側に保持させる板ガラス2の大きさに合わせて、スライド部材を枠体3に沿ってスライドさせて、上部クランプ手段4a及び下部クランプ手段4bの位置を調整する。クランプ手段4a、4bそれぞれの位置を調整した後、板ガラス2の上側の左右どちらか一方のコーナー部を、上部フレーム3aに取り付けられた上部クランプ手段4aでクランプする。この際、図4(a)に示すように、上部クランプ手段4aに設けられた回転部材42を、上部クランプ手段4aの枠体3への取付部5から板ガラス2のクランプ部41aに至る仮想直線Lの周りに回転させて、板ガラス2の板厚方向と同じ方向にクランパ41が開閉するように、クランパ41の向きを調節する。   In this embodiment, the case where it hold | maintains from the upper corner part of the plate glass 2 is demonstrated. First, in accordance with the size of the plate glass 2 held on the inner peripheral side of the frame body 3, the slide member is slid along the frame body 3 to adjust the positions of the upper clamp means 4a and the lower clamp means 4b. After adjusting the position of each of the clamp means 4a and 4b, either the left or right corner on the upper side of the plate glass 2 is clamped by the upper clamp means 4a attached to the upper frame 3a. At this time, as shown in FIG. 4A, the rotating member 42 provided on the upper clamp means 4a is connected to a virtual straight line extending from the attachment portion 5 of the upper clamp means 4a to the frame 3 to the clamp portion 41a of the plate glass 2. Rotate around L and adjust the direction of the clamper 41 so that the clamper 41 opens and closes in the same direction as the plate thickness direction of the glass sheet 2.

その後、クランパ41を開いて板ガラス2の上側の一方のコーナー部をクランプする。このとき、図4(b)の矢印の方向に示すように、一対のクランパ41を、相互に離反するようにスライドさせクランプ部41aを開く。クランプ部41aを開いた後、板ガラス2をクランプ部41aに移動させる。そして、スライドさせた一対のクランパ41をスライドさせた方向と逆方向にスライドさせて、板ガラス2の表面側及び裏面側にクランパ41のクランプ部41a(弾性部材6)を当接させ、板ガラス2をクランプする。このとき、クランパ41の後端部には、ばね44が設けられているため、ばね44の復元力によって、スライドさせた一対のクランパ41が閉じられると共に、クランプ部41aに、板ガラス2の板厚方向に作用するクランプ力が付与される。これにより、板ガラス2の表面側及び裏面側の一方のコーナー部が上部クランプ手段4aによってクランプされ、板ガラス2の上側の一方のコーナー部が上部フレーム3aに保持される(図5参照)。   Thereafter, the clamper 41 is opened to clamp one upper corner portion of the plate glass 2. At this time, as shown in the direction of the arrow in FIG. 4 (b), the pair of clampers 41 are slid away from each other to open the clamp portion 41a. After opening the clamp part 41a, the plate glass 2 is moved to the clamp part 41a. Then, the pair of slid clampers 41 are slid in the opposite direction to the slid direction, the clamp portions 41a (elastic members 6) of the clamper 41 are brought into contact with the front side and the back side of the plate glass 2, and the plate glass 2 is moved. Clamp. At this time, since the spring 44 is provided at the rear end portion of the clamper 41, the pair of slide clampers 41 are closed by the restoring force of the spring 44, and the plate thickness of the plate glass 2 is fixed to the clamp portion 41a. A clamping force acting in the direction is applied. Thereby, one corner part of the surface side of the plate glass 2 and a back surface side is clamped by the upper clamp means 4a, and one corner part of the upper side of the plate glass 2 is hold | maintained at the upper frame 3a (refer FIG. 5).

その後は、板ガラス2の上側の他方のコーナー部をもう一つの上部クランプ手段4aでクランプする。これにより、板ガラス2の上側の一辺(以下、上辺と呼ぶ。)が上部フレーム3aに保持される。この際、板ガラス2の上側の一方のコーナー部は、既に一方の上部クランプ手段4aによって、上部フレーム3aに保持されている。そのため、板ガラス2の上辺を予め引っ張った状態で他方のコーナー部をクランプすることができる。   Thereafter, the other corner portion on the upper side of the plate glass 2 is clamped by another upper clamp means 4a. Thereby, the upper side of the glass sheet 2 (hereinafter referred to as the upper side) is held by the upper frame 3a. At this time, one corner portion on the upper side of the plate glass 2 is already held on the upper frame 3a by one upper clamp means 4a. Therefore, the other corner part can be clamped in a state where the upper side of the plate glass 2 is pulled in advance.

さらに、この後は、板ガラス2の下側の二箇所のコーナー部も、それぞれ上記と同様の手順で、下部クランプ手段4bでクランプする。このとき、板ガラス2は、上辺が上部クランプ手段4aによって上部フレーム3aに吊り下げられた状態で保持されている。つまり、板ガラス2は、板ガラス2の自重によって下方に引っ張られた状態である。そのため、下部クランプ手段4bによって、板ガラス2の下側の一方のコーナー部をクランプすることにより、板ガラス2の下側の一方のコーナー部に向かって垂下する辺は、引っ張った状態で保持することができる。板ガラス2の下側の一方のコーナー部を保持した後、板ガラス2の下側の他方のコーナー部を、板ガラス2の幅方向に引っ張った状態で下部クランプ手段4bでクランプすることにより、板ガラス2の下側の一辺(以下、下辺と呼ぶ。)も下部フレーム3bに保持させることができる。   Further, thereafter, the two corners on the lower side of the plate glass 2 are also clamped by the lower clamp means 4b in the same procedure as described above. At this time, the plate glass 2 is held in a state where the upper side is suspended from the upper frame 3a by the upper clamp means 4a. That is, the plate glass 2 is in a state of being pulled downward by its own weight. Therefore, by clamping one corner portion on the lower side of the glass sheet 2 by the lower clamp means 4b, the side hanging toward the one corner section on the lower side of the glass sheet 2 can be held in a pulled state. it can. After holding one corner portion on the lower side of the plate glass 2, the other corner portion on the lower side of the plate glass 2 is clamped by the lower clamp means 4 b while being pulled in the width direction of the plate glass 2. A lower side (hereinafter referred to as a lower side) can also be held by the lower frame 3b.

上部クランプ手段4aおよび下部クランプ手段4bには、それぞれ板ガラス2の対向するコーナー部を互いに離反する方向に付勢する付勢手段43が取り付けられている。これにより、板ガラス2の全てのコーナー部が互いに離反する方向に引っ張られる。従って、板ガラス2は、対角線上を相反する方向に引っ張られると共に、各辺も延びる方向に引っ張られるため、板ガラス2が全域に亘って引っ張られた状態で保持される。   The upper clamp means 4a and the lower clamp means 4b are attached with urging means 43 for urging the opposing corner portions of the glass sheet 2 in directions away from each other. Thereby, all the corner parts of the plate glass 2 are pulled in a direction away from each other. Therefore, the plate glass 2 is pulled in a direction opposite to the diagonal line, and each side is also pulled in the extending direction, so that the plate glass 2 is held in a stretched state over the entire region.

また、クランプ手段4a、4bのクランパ41には、弾性部材6がそれぞれ取り付けられているため、クランパ41で板ガラス2をクランプする際の衝撃やクランプした後の搬送時等に板ガラス2とクランパ41との間に作用する衝撃が、弾性部材6によって緩和され、板ガラス2のコーナー部が破損或いは損傷するのを防止することができる。   Further, since the elastic members 6 are attached to the clampers 41 of the clamp means 4a and 4b, the plate glass 2 and the clamper 41 are used for impacts when the plate glass 2 is clamped by the clamper 41 or during conveyance after clamping. The impact acting during this period is alleviated by the elastic member 6, and the corner portion of the glass sheet 2 can be prevented from being broken or damaged.

また、枠体3に保持させる板ガラス2の板厚は、300μm以下であることが好ましく、さらに200μm以下であることが好ましい。特に、50μm以下であることが好ましい。枠体3に保持させる板ガラス2の板厚を、このような範囲で設定することにより、板ガラス2に撓みや反りが生じる事態に対する抑制効果をより高めることができる。   Moreover, it is preferable that the plate | board thickness of the plate glass 2 hold | maintained at the frame 3 is 300 micrometers or less, and also it is preferable that it is 200 micrometers or less. In particular, it is preferably 50 μm or less. By setting the plate thickness of the plate glass 2 to be held by the frame body 3 in such a range, it is possible to further enhance the suppression effect against a situation in which the plate glass 2 is bent or warped.

以上のことから、本発明の保持治具1によれば、板ガラス2の全てのコーナー部のみをクランプする構成としているので、板ガラス2の四辺の各辺毎にそれぞれ複数のクランプ手段を設けなくても板ガラス2を上下方向及び左右方向に引っ張た状態で保持することができる。そのため、少ないクランプ手段で確実に板ガラス2を保持することができるので、クランプ作業の高能率化が図られると共に、板ガラス2を保持するための保持治具1の軽量化や低コスト化が図られる。さらに、板ガラス2を縦姿勢で保持することができるので、洗浄等の処理の際に板ガラス2に塗布された処理液等が板ガラス2の表面を伝って下方に流れることになり、これによって、板ガラス2の表面に液溜まりが生じるのを防止することができる。また、クランプ手段4a、4bが板ガラス2を保持している領域も少なくできるため、表面処理が施されている領域を広くとることができるので、板ガラスの品位を著しく損なうことがない。   From the above, according to the holding jig 1 of the present invention, since all the corner portions of the plate glass 2 are clamped, a plurality of clamping means are not provided for each of the four sides of the plate glass 2. Also, the plate glass 2 can be held in a state of being pulled in the vertical direction and the horizontal direction. Therefore, since the plate glass 2 can be reliably held with a small number of clamping means, the efficiency of the clamping work can be improved, and the weight and cost of the holding jig 1 for holding the plate glass 2 can be reduced. . Furthermore, since the plate glass 2 can be held in a vertical position, the treatment liquid applied to the plate glass 2 during the treatment such as cleaning flows down on the surface of the plate glass 2, thereby It is possible to prevent a liquid pool from being generated on the surface of 2. Moreover, since the area | region where the clamp means 4a and 4b hold | maintain the plate glass 2 can also be reduced, since the area | region where surface treatment is given can be taken widely, the quality of plate glass is not impaired remarkably.

また、板ガラス2のコーナー部をクランプするクランプ手段4a、4bに、板ガラス2の対向するコーナー部を互いに離反する方向に付勢する付勢手段43を設けているので、板ガラス2の四辺に撓みや反り等生じさせることなく張った状態で保持することができる。これにより、板ガラス2の表面がうねることなく保持できるため、複数の板ガラス2を相互間に僅かな隙間を介在させて並列に配列させた状態で、各板ガラス2の表面に対して、洗浄等の処理を施している最中に、板ガラス2同士が接触する事態を回避することができる。これにより、板ガラス2の表面に傷が付くのを防止することができるため、板ガラス2の品位の低下を防ぐことができる。   In addition, the clamping means 4a and 4b for clamping the corner portions of the plate glass 2 are provided with the urging means 43 for urging the opposite corner portions of the plate glass 2 away from each other. It can be held in a stretched state without causing warpage or the like. Thereby, since the surface of the plate glass 2 can be held without undulation, a plurality of plate glasses 2 are arranged in parallel with a slight gap between them, and the surface of each plate glass 2 is washed or the like. It is possible to avoid a situation where the glass plates 2 are in contact with each other during the processing. Thereby, since it can prevent that the surface of the plate glass 2 gets damaged, the fall of the quality of the plate glass 2 can be prevented.

さらに、クランパ41を、クランプ手段4a、4bの枠体3への取付部5から板ガラス2へのクランプ部41aに至る仮想直線Lの周りに回転可能に設けているため、板ガラス2を枠体3の内周側でクランプしている時に、クランパ41が仮想直線Lの周りに回転して、板ガラス2のコーナー部に不当な曲げ応力が作用するのを回避することができる。この結果、板ガラス2のコーナー部が破損するのを防止することができる。   Furthermore, since the clamper 41 is rotatably provided around the virtual straight line L from the attachment portion 5 of the clamp means 4a, 4b to the frame body 3 to the clamp portion 41a of the plate glass 2, the plate glass 2 is attached to the frame body 3. When the clamper 41 is clamped on the inner peripheral side, it can be avoided that the clamper 41 rotates around the imaginary straight line L and an unreasonable bending stress acts on the corner portion of the plate glass 2. As a result, it is possible to prevent the corner portion of the plate glass 2 from being damaged.

また、クランプ手段4a、4bは、それぞれ枠体3に沿ってスライド可能なスライド部材に取り付けられているため、板ガラス2の大きさが変更されても、枠体3自体の構造を変更する必要がなくなり、種々のサイズの板ガラス2を保持する上で極めて有利となる。また、クランプ手段4a、4bの位置をぞれぞれ調節するだけでよいので、大きさが変更された後の板ガラス2を迅速に枠体3に保持させることができる。   Moreover, since the clamp means 4a and 4b are each attached to the slide member which can be slid along the frame 3, even if the magnitude | size of the plate glass 2 is changed, it is necessary to change the structure of frame 3 itself. This is extremely advantageous in holding the glass sheets 2 of various sizes. Further, since it is only necessary to adjust the positions of the clamp means 4a and 4b, the plate glass 2 after the size has been changed can be quickly held on the frame body 3.

また、クランパ41には、板ガラス2の表面側と裏面側とに当接する弾性部材6が取り付けられているため、クランプ手段4a、4bで板ガラス2のコーナー部をクランプする際の衝撃やクランプした後の搬送時等に板ガラス2とクランパ41との間に作用する衝撃が、弾性部材6によって緩和される。この結果、板ガラス2のコーナー部に過度な衝撃が作用しないため、コーナー部の破損を防ぐことができる。   Further, since the elastic member 6 that contacts the front surface side and the back surface side of the plate glass 2 is attached to the clamper 41, after the impact or clamping when the corner portion of the plate glass 2 is clamped by the clamping means 4a and 4b The impact acting between the plate glass 2 and the clamper 41 during the transport of the sheet is mitigated by the elastic member 6. As a result, since an excessive impact does not act on the corner portion of the plate glass 2, the corner portion can be prevented from being damaged.

また、枠体3の表面側端部に接する仮想面と裏面側端部に接する仮想面との間に、板ガラス2が配置されているので、例えば、板ガラス2をバッチ洗浄する際に、板ガラス2が保持された枠体3を複数並列に配列せた状態で洗浄槽に浸漬させても、板ガラス2同士が接触することがなくなる。これにより、洗浄時における枠体3の配列ピッチを小さくして一度に多くの板ガラス2を洗浄することができる(図示省略)。   Moreover, since the plate glass 2 is arrange | positioned between the virtual surface which contact | connects the surface side edge part of the frame 3, and the virtual surface which contact | connects a back surface side edge part, when batch-cleaning the plate glass 2, for example, plate glass 2 Even if it is immersed in a washing tank in a state where a plurality of the frame bodies 3 in which the glass is held are arranged in parallel, the plate glasses 2 do not come into contact with each other. Thereby, the arrangement | sequence pitch of the frame 3 at the time of washing | cleaning can be made small, and many plate glass 2 can be wash | cleaned at once (illustration omitted).

また、本実施形態は、上記に限られない。上記実施形態では、上部クランプ手段4a及び下部クランプ手段4bは、それぞれ、上部フレーム3a及び下部フレーム3bに取り付けられているが、この他にも、上部フレーム3aと下部フレーム3bとを支持する一対の側部フレーム3cに取り付けてもよい(図示省略)。   Further, the present embodiment is not limited to the above. In the above embodiment, the upper clamp means 4a and the lower clamp means 4b are attached to the upper frame 3a and the lower frame 3b, respectively, but in addition, a pair of supports for the upper frame 3a and the lower frame 3b. You may attach to the side part frame 3c (illustration omitted).

また、図6、図7に示すように、上部クランプ手段4a及び下部クランプ手段4bを、枠体3のコーナー部に設けてもよい。   Moreover, as shown in FIGS. 6 and 7, the upper clamp means 4 a and the lower clamp means 4 b may be provided at the corner portion of the frame 3.

また、本実施形態では、クランプ手段4a、4bに設けられている一対のクランパ41を平行状態でスライドさせて開閉させる構成としているが、この他にも、図8に示すように、クランパ41の後端部に設けられた開閉駆動部45によってクランパ41が板ガラス2の厚さ方向に相互に開閉可能な構造としてもよい。   In the present embodiment, the pair of clampers 41 provided on the clamp means 4a and 4b are slid in a parallel state to be opened and closed. In addition to this, as shown in FIG. The clamper 41 may be configured to be openable and closable with respect to each other in the thickness direction of the glass sheet 2 by an opening / closing drive unit 45 provided at the rear end.

1 保持治具
2 板ガラス
3 枠体
3a 上部フレーム
3b 下部フレーム
4a 上部クランプ手段
4b 下部クランプ手段
41 クランパ
42 回転部材
43 付勢手段
5 取付部
6 弾性部材
L 仮想直線
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Holding jig 2 Plate glass 3 Frame 3a Upper frame 3b Lower frame 4a Upper clamp means 4b Lower clamp means 41 Clamper 42 Rotating member 43 Energizing means 5 Mounting part 6 Elastic member L Virtual straight line

Claims (7)

板ガラスを保持するための保持治具であって、
前記板ガラスの周囲を囲う枠体と、前記枠体に取付られ、前記枠体から前記板ガラスに向かって配されたクランプ手段とを備え、
前記クランプ手段は、前記板ガラスの全てのコーナー部のみをそれぞれクランプするクランパを有していることを特徴とする板ガラスの保持治具。
A holding jig for holding a plate glass,
A frame body that surrounds the periphery of the plate glass; and a clamp unit that is attached to the frame body and disposed from the frame body toward the plate glass;
The plate glass holding jig, wherein the clamp means includes clampers for clamping only all corner portions of the plate glass.
前記クランプ手段は、前記クランパが前記板ガラスのそれぞれ対向するコーナー部を互いに離反する方向に付勢する付勢手段を有していることを特徴とする請求項1に記載の板ガラスの保持治具。   2. The plate glass holding jig according to claim 1, wherein the clamp means includes biasing means for biasing the corner portions of the plate glass facing each other in directions away from each other. 前記クランパは、前記クランプ手段の枠体への取付部から板ガラスへのクランプ部に至る仮想直線の周りに回転可能に設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の板ガラスの保持治具。   The holding | maintenance of the plate glass of Claim 1 or 2 with which the said clamper is rotatably provided around the virtual straight line from the attachment part to the frame of the said clamp means to the clamp part to plate glass. jig. 前記クランプ手段は、前記枠体に沿ってスライド可能に取り付けられていることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の板ガラスの保持治具。   The plate glass holding jig according to any one of claims 1 to 3, wherein the clamp means is slidably attached along the frame body. 前記クランパの内側には、前記板ガラスの表面側と裏面側とに当接する弾性部材が取り付けられていることを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載の板ガラスの保持治具。   The plate glass holding jig according to any one of claims 1 to 4, wherein an elastic member that is in contact with a front surface side and a back surface side of the plate glass is attached inside the clamper. 前記枠体の内周側であって、前記枠体の表面側端部に接する仮想面と裏面側端部に接する仮想面との間に、前記板ガラスが配置されることを特徴とする請求項1〜5の何れか1項に記載の板ガラスの保持治具。   The said glass sheet is arrange | positioned between the virtual surface which is an inner peripheral side of the said frame, and contact | connects the virtual surface which contact | connects the surface side edge part of the said frame body, and a back surface side edge part. The plate glass holding jig according to any one of 1 to 5. 前記板ガラスの厚みは、300μm以下であることを特徴とする請求項1〜6の何れか1項に記載の板ガラスの保持治具。
The thickness of the said plate glass is 300 micrometers or less, The holding jig of the plate glass of any one of Claims 1-6 characterized by the above-mentioned.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017138082A1 (en) * 2016-02-08 2017-08-17 堺ディスプレイプロダクト株式会社 Seal pattern forming device
CN109084145A (en) * 2018-09-10 2018-12-25 江苏三科精工机械有限公司 A kind of curved groove adjustment balladeur train
CN111453422A (en) * 2020-04-03 2020-07-28 张勇 Tool for carrying large-size rectangular glass
CN114536996A (en) * 2022-02-14 2022-05-27 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 Substrate baking device

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017138082A1 (en) * 2016-02-08 2017-08-17 堺ディスプレイプロダクト株式会社 Seal pattern forming device
CN108604031A (en) * 2016-02-08 2018-09-28 堺显示器制品株式会社 Seal pattern forming apparatus
CN109084145A (en) * 2018-09-10 2018-12-25 江苏三科精工机械有限公司 A kind of curved groove adjustment balladeur train
CN111453422A (en) * 2020-04-03 2020-07-28 张勇 Tool for carrying large-size rectangular glass
CN111453422B (en) * 2020-04-03 2021-10-12 湘乡市亚美玻璃建材有限公司 Tool for carrying large-size rectangular glass
CN114536996A (en) * 2022-02-14 2022-05-27 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 Substrate baking device
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