JP2015170843A - Chip electronic component and manufacturing method thereof - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a chip electronic component improved in magnetic powder dispersibility and sedimentation stability by applying a new type of dispersant, and a manufacturing method thereof.SOLUTION: A magnetic substance main body contains an unsaturated carboxylic acid based polymer and also a siloxane-based copolymer, and thus realizes improved dispersibility of magnetic powder, thereby having an improved filling factor of 80% or more and improved inductance capacity characteristics.

Description

本発明は、チップ電子部品及びその製造方法に関する。 The present invention relates to a chip electronic component and a manufacturing method thereof.

チップ電子部品の一つであるインダクタ(inductor)は、抵抗、キャパシタとともに電子回路を成してノイズ(Noise)を除去する代表的な受動素子であり、電磁気的特性を利用してキャパシタと組み合わせることで、特定周波数帯域の信号を増幅させる共振回路、フィルタ(Filter)回路などの構成に用いられる。 An inductor, which is one of chip electronic components, is a typical passive element that forms an electronic circuit together with a resistor and a capacitor to remove noise, and is combined with a capacitor using electromagnetic characteristics. Therefore, it is used for a configuration of a resonance circuit, a filter circuit, or the like that amplifies a signal in a specific frequency band.

最近では、様々な通信デバイスまたはディスプレイデバイスなどのITデバイスの小型化及び薄膜化が加速しており、該ITデバイスに採用されるインダクタ、キャパシタ、トランジスタなどの各種素子も小型化及び薄型化するための研究が継続的に行われている。 Recently, IT devices such as various communication devices or display devices have been miniaturized and thinned, and various elements such as inductors, capacitors, and transistors used in the IT devices are also miniaturized and thinned. Research is ongoing.

また、電子機器の小型化及び高性能化が求められるにつれ、消費電力が増加している。このような消費電力の増加に伴って電子機器の電源回路に用いられるPMIC(Power Management Integrated Circuit)またはDC−DCコンバータ(DC−DC Converter)は、スイッチング周波数(Switching Frequency)が高周波化し、出力電流が増加しており、そのため、PMICまたはDC−DCコンバータの出力電流の安定化に用いられるパワーインダクタ(Power Inductor)の使用が増加している傾向にある。 Further, as electronic devices are required to be smaller and have higher performance, power consumption is increasing. With such an increase in power consumption, a switching frequency (Switching Frequency) of a PMIC (Power Management Integrated Circuit) or a DC-DC converter (DC-DC Converter) used in a power supply circuit of an electronic device is increased, and an output current is increased. Therefore, the use of power inductors used to stabilize the output current of the PMIC or DC-DC converter tends to increase.

パワーインダクタの開発方向は、小型化、高電流化及び低直流抵抗に合わせられているが、従来の積層型パワーインダクタではこれを具現するのに限界があるため、絶縁基板の上下面にめっきにより形成されるコイルパターン上に磁性粉末を樹脂と混合させて形成した磁性体シート(sheet)を積層、加圧及び硬化して製造する薄膜型インダクタが開発されつつある。 The development direction of power inductors is tailored to miniaturization, high current, and low DC resistance. However, since conventional multilayer power inductors have limitations in realizing this, plating on the upper and lower surfaces of the insulating substrate Thin film inductors are being developed that are manufactured by stacking, pressing and curing a magnetic sheet formed by mixing magnetic powder with resin on a coil pattern to be formed.

このとき、磁性体シートを形成するスラリー(Slurry)は、磁性粉末と熱硬化性ポリマー樹脂、硬化剤、増粘剤、有機溶媒及び粉末の分散性を向上させることができる分散剤などからなる。 At this time, the slurry (Slurry) forming the magnetic sheet is made of a magnetic powder, a thermosetting polymer resin, a curing agent, a thickening agent, an organic solvent, a dispersant capable of improving the dispersibility of the powder, and the like.

磁性粉末をより効率的に分散させるために、分散剤を使用した化学的分散だけでなく、特定設備で機械的な力を加えることもある。 In order to disperse the magnetic powder more efficiently, not only chemical dispersion using a dispersing agent but also mechanical force may be applied in specific equipment.

磁性粉末は、より高機能を具現するために、次第にサイズが減少して微粒化しており、サイズの異なる2種以上またはそれ以上の粉末を混合して使用している。従って、磁性粉末の分散がより困難となるため、より効果的な分散性を具現することができる方法が求められている。 In order to realize a higher function, the magnetic powder is gradually reduced in size and atomized, and two or more kinds of powders having different sizes are mixed and used. Therefore, since dispersion of magnetic powder becomes more difficult, a method capable of realizing more effective dispersibility is demanded.

従来では、重量平均分子量が700〜2,500のポリマーからなるリン酸系分散剤を使用したが、密度の高い金属磁性体粉末の沈降安定性を保持し、1次分散後に粉末同士が再凝集する2次凝集を防止するには分散力が足りないという欠点があった。 Conventionally, a phosphoric acid-based dispersant composed of a polymer having a weight average molecular weight of 700 to 2,500 is used. However, the sedimentation stability of a high-density metal magnetic powder is maintained, and the powders are re-aggregated after primary dispersion. In order to prevent secondary agglomeration, there is a drawback that the dispersion force is insufficient.

韓国公開特許第2013−0072816号公報Korean Published Patent No. 2013-0072816 特開2008−166455号公報JP 2008-166455 A

本発明の一実施形態は、新しいタイプの分散剤を適用して、磁性粉末の分散性及び沈降安定性を改善したチップ電子部品及びその製造方法に関する。 One embodiment of the present invention relates to a chip electronic component that improves the dispersibility and sedimentation stability of a magnetic powder by applying a new type of dispersant, and a method for manufacturing the same.

本発明の一実施形態では、絶縁基板の少なくとも一面に形成された内部コイルパターンを含む磁性体本体と、上記磁性体本体の少なくとも一端面に形成され、上記内部コイルパターンの端部と接続するように形成された外部電極と、含み、上記磁性体本体は、不飽和カルボン酸系重合体を含むチップ電子部品を提供する。 In one embodiment of the present invention, a magnetic body including an internal coil pattern formed on at least one surface of an insulating substrate, and formed on at least one end surface of the magnetic body and connected to an end of the internal coil pattern. The magnetic body includes a chip electronic component including an unsaturated carboxylic acid polymer.

上記磁性体本体は、シロキサン系共重合体をさらに含んでもよい。 The magnetic body may further include a siloxane copolymer.

上記磁性体本体は、金属系軟磁性材料を含んでもよい。 The magnetic body may include a metallic soft magnetic material.

上記金属系軟磁性材料の粒子径は、0.1μm〜30μmであってもよい。 The particle size of the metal-based soft magnetic material may be 0.1 μm to 30 μm.

上記不飽和カルボン酸系重合体は、重量平均分子量が500〜2,300であってもよい。 The unsaturated carboxylic acid polymer may have a weight average molecular weight of 500 to 2,300.

上記シロキサン系共重合体は、重量平均分子量が500〜2,300であってもよい。 The siloxane-based copolymer may have a weight average molecular weight of 500 to 2,300.

上記不飽和カルボン酸系重合体は、上記磁性体本体に含まれる金属系軟磁性材料100重量部に対して、0.5重量部〜2重量部の含量で含まれてもよい。 The unsaturated carboxylic acid polymer may be included in an amount of 0.5 to 2 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the metal soft magnetic material included in the magnetic body.

上記シロキサン系共重合体は、上記磁性体本体に含まれる金属系軟磁性材料100重量部に対して、0.05重量部〜0.2重量部の含量で含まれてもよい。 The siloxane-based copolymer may be included in an amount of 0.05 to 0.2 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the metal-based soft magnetic material included in the magnetic body.

上記磁性体本体の充填率は、80%以上であってもよい。 The filling factor of the magnetic body may be 80% or more.

本発明の他の一実施形態は、絶縁基板の少なくとも一面に内部コイルパターンを形成する段階と、上記内部コイルパターンが形成された絶縁基板の上部及び下部に磁性体シートを積層して磁性体本体を形成する段階と、上記磁性体本体の少なくとも一端面に上記内部コイルパターンの端部と接続するように外部電極を形成する段階と、を含み、上記磁性体シートは、不飽和カルボン酸系重合体を含んで形成するチップ電子部品の製造方法を提供する。 In another embodiment of the present invention, a magnetic body is formed by forming an internal coil pattern on at least one surface of an insulating substrate, and laminating magnetic sheets on an upper portion and a lower portion of the insulating substrate on which the internal coil pattern is formed. And forming an external electrode on at least one end surface of the magnetic body so as to be connected to an end of the internal coil pattern, and the magnetic sheet is made of an unsaturated carboxylic acid based weight. Provided is a method of manufacturing a chip electronic component formed including a united body.

上記磁性体シートは、シロキサン系共重合体をさらに含んで形成してもよい。 The magnetic sheet may further include a siloxane copolymer.

上記磁性体シートは、金属系軟磁性材料を含んで形成してもよい。 The magnetic sheet may be formed including a metallic soft magnetic material.

上記金属系軟磁性材料の粒子径は、0.1μm〜30μmであってもよい。 The particle size of the metal-based soft magnetic material may be 0.1 μm to 30 μm.

上記不飽和カルボン酸系重合体は、重量平均分子量が500〜2,300であってもよい。 The unsaturated carboxylic acid polymer may have a weight average molecular weight of 500 to 2,300.

上記シロキサン系共重合体は、重量平均分子量が500〜2,300であってもよい。 The siloxane-based copolymer may have a weight average molecular weight of 500 to 2,300.

上記磁性体シートは、上記磁性体シートに含まれる金属系軟磁性材料100重量部に対して、上記不飽和カルボン酸系重合体を0.5重量部〜2重量部含んでもよい。 The magnetic sheet may include 0.5 to 2 parts by weight of the unsaturated carboxylic acid polymer with respect to 100 parts by weight of the metallic soft magnetic material included in the magnetic sheet.

上記磁性体シートは、上記磁性体シートに含まれる金属系軟磁性材料100重量部に対して、上記シロキサン系共重合体を0.05重量部〜0.2重量部含んでもよい。 The magnetic sheet may include 0.05 to 0.2 parts by weight of the siloxane copolymer with respect to 100 parts by weight of the metal soft magnetic material included in the magnetic sheet.

上記磁性体本体の充填率は、80%以上であってもよい。 The filling factor of the magnetic body may be 80% or more.

本発明の一実施形態によると、磁性粉末の優れた分散特性及び沈降防止効果が同時に得られる。 According to one embodiment of the present invention, excellent dispersion characteristics and anti-settling effect of the magnetic powder can be obtained at the same time.

また、磁性粉末のスリップ性(slip)、レベリング(leveling)特性の向上及びベナールセル(Benard cell)現象防止効果をともに具現して、磁性体シートの表面粗さが減少することができる。 In addition, the magnetic powder sheet surface roughness can be reduced by implementing the improvement of slip property and leveling property of the magnetic powder and the effect of preventing the Benard cell phenomenon.

また、磁性粉末の分散性が改善するに伴って充填率が向上し、インダクタンス容量が向上する効果がある。 In addition, as the dispersibility of the magnetic powder is improved, the filling rate is improved and the inductance capacity is improved.

本発明の一実施形態によるチップ電子部品の内部コイルパターンが示されるように図示した概略斜視図である。1 is a schematic perspective view illustrating an internal coil pattern of a chip electronic component according to an embodiment of the present invention. 図1のI−I’線による断面図である。It is sectional drawing by the I-I 'line | wire of FIG. 従来の分散剤を用いて製造した磁性体シート(a)及び本発明の一実施形態によるチップ電子部品の製造時に用いられる磁性体シート(b)の充填率を比較するために、走査電子顕微鏡(SEM、Scanning Electron Microscope)で磁性体シートの断面を観察した写真である。In order to compare the filling rate of a magnetic sheet (a) manufactured using a conventional dispersant and a magnetic sheet (b) used in manufacturing a chip electronic component according to an embodiment of the present invention, a scanning electron microscope ( It is the photograph which observed the cross section of the magnetic material sheet by SEM and Scanning Electron Microscope. 従来の分散剤を使用して製造したチップ電子部品(c)及び本発明の一実施形態によるチップ電子部品(d)のインダクタンスを示したグラフである。It is the graph which showed the inductance of the chip electronic component (c) manufactured using the conventional dispersing agent, and the chip electronic component (d) by one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態によるチップ電子部品の製造方法を示す工程図である。It is process drawing which shows the manufacturing method of the chip electronic component by one Embodiment of this invention. 従来の分散剤を用いたスラリー(slurry)(e)及び本発明の一実施形態によるチップ電子部品の製造時に用いられる磁性体シートを形成するスラリー(slurry)(f)の沈降安定性を比較したグラフである。Comparison was made between the settling stability of a slurry (e) using a conventional dispersant (e) and a slurry (slurry) (f) forming a magnetic sheet used in the manufacture of a chip electronic component according to an embodiment of the present invention. It is a graph. 従来の分散剤を使用して製造した磁性体シート(g)及び本発明の一実施形態によるチップ電子部品の製造時に用いられる磁性体シート(h)の表面粗さを比較するために、走査電子顕微鏡(SEM、Scanning Electron Microscope)で磁性体シートの表面を観察した写真である。In order to compare the surface roughness of a magnetic sheet (g) manufactured using a conventional dispersant and the magnetic sheet (h) used in manufacturing a chip electronic component according to an embodiment of the present invention, scanning electrons are compared. It is the photograph which observed the surface of the magnetic material sheet with the microscope (SEM, Scanning Electron Microscope).

以下では、添付の図面を参照し、本発明の好ましい実施形態について説明する。しかし、本発明の実施形態は様々な他の形態に変形されることができ、本発明の範囲は以下で説明する実施形態に限定されない。また、本発明の実施形態は、当該技術分野で平均的な知識を有する者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。図面における要素の形状及び大きさなどはより明確な説明のために誇張されることがある。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. However, the embodiments of the present invention can be modified in various other forms, and the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below. In addition, the embodiments of the present invention are provided to more fully explain the present invention to those skilled in the art. The shape and size of elements in the drawings may be exaggerated for a clearer description.

チップ電子部品
以下では、本発明の一実施形態によるチップ電子部品を、特に、薄膜型インダクタで説明するが、これに限定されない。
Hereinafter, the chip electronic component according to the embodiment of the present invention will be described using a thin film inductor, but the present invention is not limited thereto.

図1は本発明の一実施形態によるチップ電子部品の内部コイルパターンが示されるように図示した概略斜視図であり、図2は図1のI−I’線による断面図である。 FIG. 1 is a schematic perspective view illustrating an internal coil pattern of a chip electronic component according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line I-I 'of FIG.

図1及び図2を参照すると、チップ電子部品の一例として、電源供給回路の電源ラインに用いられる薄膜型インダクタ100が開示されている。上記チップ電子部品は、チップインダクタの他にもチップビーズ(chip bead)、チップフィルタ(chip filter)などであってもよい。 Referring to FIGS. 1 and 2, a thin film inductor 100 used for a power supply line of a power supply circuit is disclosed as an example of a chip electronic component. In addition to the chip inductor, the chip electronic component may be a chip bead, a chip filter, or the like.

上記薄膜型インダクタ100は、磁性体本体50と、絶縁基板20と、内部コイルパターン40と、外部電極80と、を含む。 The thin film inductor 100 includes a magnetic body 50, an insulating substrate 20, an internal coil pattern 40, and an external electrode 80.

磁性体本体50は、薄膜型インダクタ100の外観を成し、六面体状であってもよい。本発明の実施形態を明確に説明するために、六面体の方向を定義すると、図1に示されたL、W及びTは、それぞれ長さ方向、幅方向、厚さ方向を示す。上記磁性体本体50は、長さ方向が幅方向より長い直六面体状であってもよい。 The magnetic body 50 forms the appearance of the thin film inductor 100 and may be hexahedral. In order to clearly describe the embodiment of the present invention, if the direction of a hexahedron is defined, L, W, and T shown in FIG. 1 indicate a length direction, a width direction, and a thickness direction, respectively. The magnetic body 50 may have a rectangular parallelepiped shape in which the length direction is longer than the width direction.

磁性体本体50は、磁性粉末を含んでシート状に製造される磁性体シートを積層し、圧着及び硬化して形成することができる。 The magnetic body 50 can be formed by laminating magnetic sheets made of sheet containing magnetic powder, press-bonding and curing.

磁性体本体50を成す磁性粉末としては、金属系軟磁性材料を用いてもよい。 As the magnetic powder constituting the magnetic body 50, a metallic soft magnetic material may be used.

上記金属系軟磁性材料としては、Fe、Si、Cr、Al及びNiからなる群より選択された何れか一つ以上を含む合金であってもよく、例えば、Fe−Si−B−Cr系非晶質金属粒子を含むことができるが、これに制限されない。 The metallic soft magnetic material may be an alloy containing at least one selected from the group consisting of Fe, Si, Cr, Al, and Ni. Crystalline metal particles can be included, but are not limited thereto.

上記金属系軟磁性材料の粒子径は0.1μ〜30μmであってもよく、エポキシ(epoxy)樹脂またはポリイミド(polyimide)などの高分子上に分散された形態で含まれてもよい。 The metal-based soft magnetic material may have a particle size of 0.1 μm to 30 μm, and may be included in a dispersed form on a polymer such as an epoxy resin or a polyimide.

上記磁性体本体50は、磁性粉末の分散性を向上させるための分散剤として、不飽和カルボン酸系重合体を含んでもよい。 The magnetic body 50 may contain an unsaturated carboxylic acid polymer as a dispersant for improving the dispersibility of the magnetic powder.

従来では、薄膜型インダクタの磁性体本体を成す磁性粉末を分散させるために、重量平均分子量が700〜2,500のリン酸系重合体分散剤を主に用いたが、分散性の向上に限界があった。特に、密度の高い金属磁性粉末を使用する薄膜型インダクタの場合、沈降安定性を保持し、優れた分散性を具現することが困難であった。 Conventionally, in order to disperse the magnetic powder constituting the magnetic body of the thin film type inductor, a phosphoric acid polymer dispersant having a weight average molecular weight of 700 to 2,500 has been mainly used, but there is a limit to improving the dispersibility. was there. In particular, in the case of a thin film type inductor using a metal magnetic powder having a high density, it is difficult to maintain sedimentation stability and realize excellent dispersibility.

そこで、本発明の一実施形態は、脂肪酸系分散剤として不飽和カルボン酸系重合体を新たに適用して、薄膜型インダクタの磁性体本体を成す金属磁性粉末の分散性を著しく改善した。 Therefore, in one embodiment of the present invention, an unsaturated carboxylic acid polymer is newly applied as a fatty acid dispersant to significantly improve the dispersibility of the metal magnetic powder constituting the magnetic body of the thin film inductor.

また、上記磁性体本体は、シロキサン系共重合体をさらに含んでもよい。 The magnetic body may further include a siloxane copolymer.

シロキサン系共重合体をさらに含むことで、磁性粉末のスリップ性(slip)、レベリング(leveling)特性の向上及びベナールセル(Benard cell)現象防止効果をともに具現することができる。 By further including a siloxane-based copolymer, it is possible to realize both the slip property of the magnetic powder, the improvement of the leveling property, and the effect of preventing the Benard cell phenomenon.

上記不飽和カルボン酸系重合体は、重量平均分子量が500〜2,300であってもよい。 The unsaturated carboxylic acid polymer may have a weight average molecular weight of 500 to 2,300.

上記不飽和カルボン酸系重合体は、上記磁性体本体50に含まれる金属系軟磁性材料100重量部に対して、0.5重量部〜2重量部の含量で含まれてもよい。 The unsaturated carboxylic acid polymer may be included in an amount of 0.5 to 2 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the metallic soft magnetic material included in the magnetic body 50.

不飽和カルボン酸系重合体が0.5重量部未満では、分散性及び沈降安定性が低下して磁性粉末が凝集するため、充填率が減少し、磁性体シートの表面粗さが大きくなる問題が発生する恐れがあり、2重量部を超えると、磁性体シートの乾燥または硬化時に溶剤の揮発通路が確保されないため溶剤が内部にトラップされて物性が低下する恐れがある。 If the unsaturated carboxylic acid polymer is less than 0.5 part by weight, the dispersibility and sedimentation stability are reduced and the magnetic powder is agglomerated, so the filling rate is reduced and the surface roughness of the magnetic material sheet is increased. If the amount exceeds 2 parts by weight, the solvent volatilization passage is not secured when the magnetic sheet is dried or cured, and the solvent may be trapped inside and the physical properties may be deteriorated.

上記シロキサン系共重合体は、重量平均分子量が500〜2,300であってもよい。 The siloxane-based copolymer may have a weight average molecular weight of 500 to 2,300.

上記シロキサン系共重合体は、上記磁性体本体50に含まれる金属系軟磁性材料100重量部に対して、0.05重量部〜0.2重量部の含量で含まれてもよい。 The siloxane copolymer may be included in an amount of 0.05 part by weight to 0.2 part by weight with respect to 100 parts by weight of the metal soft magnetic material included in the magnetic body 50.

シロキサン系共重合体が0.05重量部未満では、磁性粉末のスリップ性(slip)、レベリング(leveling)特性の向上及びベナールセル(Benard cell)現象防止効果が僅かであり、磁性体シートの表面粗さが大きくなる問題が発生する恐れがあり、0.2重量部を超えると、磁性体シートの乾燥または硬化時に溶剤の揮発通路が確保されないため溶剤が内部にトラップされて物性が低下する恐れがある。 When the siloxane-based copolymer is less than 0.05 parts by weight, the magnetic powder has little improvement in slipping and leveling characteristics and the effect of preventing the Benard cell phenomenon, and the surface roughness of the magnetic material sheet is small. If the amount exceeds 0.2 parts by weight, there is a risk that the solvent will be trapped inside and the physical properties may be deteriorated because the solvent volatilization passage is not secured when the magnetic sheet is dried or cured. is there.

このように、本発明の一実施形態によるチップ電子部品の磁性体本体50は不飽和カルボン酸系重合体を含み、シロキサン系共重合体をさらに含むことで、磁性粉末の分散性が向上することができ、これにより、充填率が向上し、インダクタンス容量特性が改善されることができる。 As described above, the magnetic body 50 of the chip electronic component according to the embodiment of the present invention includes the unsaturated carboxylic acid polymer, and further includes the siloxane copolymer, thereby improving the dispersibility of the magnetic powder. Thus, the filling rate can be improved and the inductance capacity characteristics can be improved.

上記磁性体本体50の充填率は80%以上であってもよい。 The filling rate of the magnetic body 50 may be 80% or more.

図3は、従来のリン酸系重合体分散剤であるエトキシ化ノニルフェノールリン酸塩(Ethoxylated Nonylphenol phosphate)を用いて製造した磁性体シート(a)、及び本発明の一実施形態に従って不飽和カルボン酸系重合体及びシロキサン系共重合体を分散剤として添加して製造した磁性体シート(b)の断面を走査電子顕微鏡(SEM)で観察した写真である。 FIG. 3 shows a magnetic sheet (a) produced using ethoxylated nonylphenol phosphate, which is a conventional phosphoric acid polymer dispersant, and an unsaturated carboxylic acid according to an embodiment of the present invention. It is the photograph which observed the cross section of the magnetic material sheet (b) manufactured by adding a styrene polymer and a siloxane copolymer as a dispersing agent with a scanning electron microscope (SEM).

図3から、本発明の一実施形態に従って不飽和カルボン酸系重合体及びシロキサン系共重合体を添加して磁性体シートを製造したとき、磁性粉末の分散性が向上し、充填率が向上することが分かる。従来の場合(a)、充填率が77.09%であるが、本発明の一実施形態の場合(b)は、充填率が87.40%に向上した。 From FIG. 3, when a magnetic sheet is produced by adding an unsaturated carboxylic acid polymer and a siloxane copolymer according to one embodiment of the present invention, the dispersibility of the magnetic powder is improved and the filling rate is improved. I understand that. In the conventional case (a), the filling rate is 77.09%, but in the case of one embodiment of the present invention (b), the filling rate is improved to 87.40%.

図4は、従来のリン酸系重合体分散剤であるエトキシ化ノニルフェノールリン酸塩(Ethoxylated Nonylphenol phosphate)を含むチップ電子部品(c)、及び本発明の一実施形態に従って不飽和カルボン酸系重合体及びシロキサン系共重合体を含むチップ電子部品(d)のインダクタンスを示したグラフである。 FIG. 4 shows a chip electronic component (c) including an ethoxylated nonylphenol phosphate, which is a conventional phosphoric acid polymer dispersant, and an unsaturated carboxylic acid polymer according to an embodiment of the present invention. It is the graph which showed the inductance of the chip electronic component (d) containing a siloxane copolymer.

図4を参照すると、本発明の一実施形態に従って不飽和カルボン酸系重合体及びシロキサン系共重合体を含むと、磁性粉末の分散性及び充填率が改善されるにつれてインダクタンスが向上することが分かる。 Referring to FIG. 4, it can be seen that the inclusion of an unsaturated carboxylic acid polymer and a siloxane copolymer according to an embodiment of the present invention improves the inductance as the dispersibility and packing ratio of the magnetic powder is improved. .

上記磁性体本体50の内部に形成される絶縁基板20は、例えば、ポリプロピレングリコール(PPG)基板、フェライト基板または金属系軟磁性基板等で形成されてもよい。 The insulating substrate 20 formed inside the magnetic body 50 may be formed of, for example, a polypropylene glycol (PPG) substrate, a ferrite substrate, or a metal soft magnetic substrate.

上記絶縁基板20の中央部を貫通して孔を形成し、上記貫通孔は金属系軟磁性材料などの磁性体で充填されてコア部55を形成することができる。磁性体で充填されるコア部55を形成することにより、インダクタンス(Inductance、L)を向上させることができる。 A hole is formed through the central portion of the insulating substrate 20, and the through hole is filled with a magnetic material such as a metallic soft magnetic material to form the core portion 55. By forming the core portion 55 filled with a magnetic material, inductance (Inductance, L) can be improved.

上記絶縁基板20の一面にはコイル状のパターンを有する内部コイルパターン40が形成され、上記絶縁基板20の反対面にもコイル状のパターンの内部コイルパターン40が形成されてもよい。 An inner coil pattern 40 having a coiled pattern may be formed on one surface of the insulating substrate 20, and a coiled pattern of the inner coil pattern 40 may be formed on the opposite surface of the insulating substrate 20.

上記内部コイルパターン40は、スパイラル(spiral)状にコイルパターンが形成されてもよく、上記絶縁基板20の一面と反対面に形成される内部コイルパターン40は、上記絶縁基板20に形成されるビア電極45を介して電気的に接続されることができる。 The internal coil pattern 40 may be formed in a spiral shape, and the internal coil pattern 40 formed on the surface opposite to the one surface of the insulating substrate 20 is a via formed in the insulating substrate 20. It can be electrically connected through the electrode 45.

上記内部コイルパターン40及びビア電極45は、電気伝導性に優れた金属を含んで形成されてもよく、例えば、銀(Ag)、パラジウム(Pd)、アルミニウム(Al)、ニッケル(Ni)、チタン(Ti)、金(Au)、銅(Cu)、白金(Pt)またはこれらの合金などで形成されてもよい。 The internal coil pattern 40 and the via electrode 45 may include a metal having excellent electrical conductivity. For example, silver (Ag), palladium (Pd), aluminum (Al), nickel (Ni), titanium (Ti), gold (Au), copper (Cu), platinum (Pt), or an alloy thereof may be used.

上記内部コイルパターン40の表面には、内部コイルパターン40を被覆する絶縁膜30が形成されてもよい。 An insulating film 30 that covers the internal coil pattern 40 may be formed on the surface of the internal coil pattern 40.

絶縁膜30は、スクリーン印刷法、フォトレジスト(photo resist、PR)の露光及び現像を通じた工程、スプレー(spray)塗布工程など公知の方法で形成してもよいが、これに限定されない。 The insulating film 30 may be formed by a known method such as a screen printing method, a process through exposure and development of a photoresist (PR), and a spray coating process, but is not limited thereto.

絶縁基板20の一面に形成される内部コイルパターン40の一端部は、磁性体本体50の長さ方向の一断面に露出することができ、絶縁基板20の反対面に形成される内部コイルパターン40の他端部は、磁性体本体50の長さ方向の他端面に露出することができる。 One end portion of the internal coil pattern 40 formed on one surface of the insulating substrate 20 can be exposed in one longitudinal section of the magnetic body 50, and the internal coil pattern 40 formed on the opposite surface of the insulating substrate 20. The other end of the magnetic body 50 can be exposed at the other end surface of the magnetic body 50 in the length direction.

上記磁性体本体50の両端面に露出する上記内部コイルパターン40の引出部とそれぞれ接続するように磁性体本体50の両端面に外部電極80が形成されてもよい。 External electrodes 80 may be formed on both end surfaces of the magnetic body 50 so as to be connected to the lead portions of the internal coil pattern 40 exposed on both end surfaces of the magnetic body 50.

上記外部電極80は磁性体本体50の長さ方向の両端面に形成され、磁性体本体50の厚さ方向の両端面及び/または幅方向の両端面に延長形成されてもよい。 The external electrodes 80 may be formed on both end faces in the length direction of the magnetic body 50 and extended on both end faces in the thickness direction and / or both end faces in the width direction of the magnetic body 50.

上記外部電極80は電気伝導性に優れた金属を含んで形成してもよく、例えば、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、スズ(Sn)または銀(Ag)などの単独またはこれらの合金などで形成することができる。 The external electrode 80 may be formed to include a metal having excellent electrical conductivity, for example, nickel (Ni), copper (Cu), tin (Sn), silver (Ag) or the like alone or an alloy thereof. Can be formed.

チップ電子部品の製造方法
図5は、本発明の一実施形態によるチップ電子部品の製造方法を示す工程図である。
Chip Electronic Component Manufacturing Method FIG. 5 is a process diagram illustrating a chip electronic component manufacturing method according to an embodiment of the present invention.

図5を参照すると、絶縁基板20の少なくとも一面に内部コイルパターン40を形成してもよい。 Referring to FIG. 5, the internal coil pattern 40 may be formed on at least one surface of the insulating substrate 20.

上記絶縁基板20は、特に制限されず、例えば、ポリプロピレングリコール(PPG)基板、フェライト基板または金属系軟磁性基板等を使用することができ、40〜100μmの厚さであってもよい。 The insulating substrate 20 is not particularly limited, and for example, a polypropylene glycol (PPG) substrate, a ferrite substrate, a metal soft magnetic substrate, or the like can be used, and the thickness may be 40 to 100 μm.

上記内部コイルパターン40は、例えば、電気めっき法などで形成してもよいが、これに限定されず、内部コイルパターン40は、電気伝導性に優れた金属を含んで形成してもよく、例えば、銀(Ag)、パラジウム(Pd)、アルミニウム(Al)、ニッケル(Ni)、チタン(Ti)、金(Au)、銅(Cu)、白金(Pt)またはこれらの合金などを使用することができる。 The internal coil pattern 40 may be formed by, for example, an electroplating method, but is not limited thereto, and the internal coil pattern 40 may be formed to include a metal having excellent electrical conductivity. , Silver (Ag), palladium (Pd), aluminum (Al), nickel (Ni), titanium (Ti), gold (Au), copper (Cu), platinum (Pt), or an alloy thereof may be used. it can.

上記絶縁基板20の一部に孔を形成し、伝導性材料を充填してビア電極45を形成することができ、上記ビア電極45を介して絶縁基板20の一面と反対面に形成される内部コイル部40を電気的に接続させることができる。 A via electrode 45 can be formed by forming a hole in a part of the insulating substrate 20 and filling with a conductive material, and an internal portion formed on the surface opposite to the one surface of the insulating substrate 20 via the via electrode 45. The coil part 40 can be electrically connected.

上記絶縁基板20の中央部にはドリル、レーザー、サンドブラスト、穿孔加工などによって、絶縁基板を貫通する貫通孔を形成してもよい。 A through-hole penetrating the insulating substrate may be formed in the central portion of the insulating substrate 20 by drilling, laser, sandblasting, drilling, or the like.

次に、内部コイルパターン40を被覆する絶縁膜30を形成することができる。 Next, the insulating film 30 covering the internal coil pattern 40 can be formed.

上記絶縁膜30はスクリーン印刷法、フォトレジスト(photo resist、PR)の露光及び現像による工程、スプレー(spray)塗布工程など、公知の方法により形成することができるが、これに制限されない。 The insulating film 30 may be formed by a known method such as a screen printing method, a photo resist (PR) exposure and development process, or a spray coating process, but is not limited thereto.

次に、内部コイルパターン40が形成された絶縁基板20の上部及び下部に磁性体シートを積層して磁性体本体50を形成する。 Next, the magnetic body 50 is formed by laminating magnetic sheets on the upper and lower portions of the insulating substrate 20 on which the internal coil pattern 40 is formed.

上記磁性体シートの製造に用いられる磁性粉末としては、金属系軟磁性材料を使用することができる。 A metal-based soft magnetic material can be used as the magnetic powder used for manufacturing the magnetic sheet.

上記金属系軟磁性材料は、Fe、Si、Cr、Al及びNiからなる群より選択される何れか一つ以上を含む合金であってもよく、例えば、Fe−Si−B−Cr系非晶質金属粒子を含むことができるが、これに限定されない。 The metal-based soft magnetic material may be an alloy containing any one or more selected from the group consisting of Fe, Si, Cr, Al, and Ni. For example, an Fe-Si-B-Cr-based amorphous material However, the present invention is not limited to this.

上記金属系軟磁性材料の粒子径は0.1μm〜30μmであってもよい。 The particle size of the metallic soft magnetic material may be 0.1 μm to 30 μm.

上記金属系軟磁性材料及びエポキシ(epoxy)樹脂またはポリイミド(polyimide)などの高分子を混合して形成されたスラリーをキャリアフィルム(carrier film)上に塗布及び乾燥して磁性体シートを製造することができる。 Applying and drying a slurry formed by mixing the metal-based soft magnetic material and a polymer such as epoxy resin or polyimide onto a carrier film to produce a magnetic sheet. Can do.

このとき、高分子上に磁性粉末を効果的に分散させるための分散剤として、不飽和カルボン酸系重合体を含んでもよい。 At this time, an unsaturated carboxylic acid polymer may be included as a dispersant for effectively dispersing the magnetic powder on the polymer.

また、上記磁性体シートは、シロキサン系共重合体をさらに含んでもよい。 The magnetic sheet may further contain a siloxane copolymer.

シロキサン系共重合体をさらに含むことで、磁性粉末のスリップ性(slip)、レベリング(leveling)特性の向上及びベナールセル(Benard cell)現象防止効果をともに具現することができる。 By further including a siloxane-based copolymer, it is possible to realize both the slip property of the magnetic powder, the improvement of the leveling property, and the effect of preventing the Benard cell phenomenon.

上記不飽和カルボン酸系重合体は、重量平均分子量が500〜2,300であってもよい。 The unsaturated carboxylic acid polymer may have a weight average molecular weight of 500 to 2,300.

上記不飽和カルボン酸系重合体は、上記磁性体シートに含まれる金属系軟磁性材料100重量部に対して、0.5重量部〜2重量部の含量で含まれてもよい。 The unsaturated carboxylic acid polymer may be included in an amount of 0.5 to 2 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the metallic soft magnetic material included in the magnetic sheet.

不飽和カルボン酸系重合体が0.5重量部未満では、分散性及び沈降安定性が低下して磁性粉末が凝集するため、充填率が減少し、磁性体シートの表面粗さが大きくなる問題が発生する恐れがあり、2重量部を超えると、磁性体シートの乾燥または硬化時に溶剤の揮発通路が確保されないため溶剤が内部にトラップされて物性が低下する恐れがある。 If the unsaturated carboxylic acid polymer is less than 0.5 part by weight, the dispersibility and sedimentation stability are reduced and the magnetic powder is agglomerated, so the filling rate is reduced and the surface roughness of the magnetic material sheet is increased. If the amount exceeds 2 parts by weight, the solvent volatilization passage is not secured when the magnetic sheet is dried or cured, and the solvent may be trapped inside and the physical properties may be deteriorated.

上記シロキサン系共重合体は、重量平均分子量が500〜2,300であってもよい。 The siloxane-based copolymer may have a weight average molecular weight of 500 to 2,300.

上記シロキサン系共重合体は、上記磁性体シートに含まれる金属系軟磁性材料100重量部に対して、0.05重量部〜0.2重量部の含量で含んでもよい。 The siloxane copolymer may be included in an amount of 0.05 part by weight to 0.2 part by weight with respect to 100 parts by weight of the metal soft magnetic material contained in the magnetic sheet.

シロキサン系共重合体が0.05重量部未満では、磁性粉末のスリップ性(slip)、レベリング(leveling)特性の向上及びベナールセル(Benard cell)現象防止効果が僅かであり、磁性体シートの表面粗さが大きくなる問題が発生する恐れがあり、0.2重量部を超えると、磁性体シートの乾燥または硬化時に溶剤の揮発通路が確保されないため溶剤が内部にトラップされて物性が低下する恐れがある。 When the siloxane-based copolymer is less than 0.05 parts by weight, the magnetic powder has little improvement in slipping and leveling characteristics and the effect of preventing the Benard cell phenomenon, and the surface roughness of the magnetic material sheet is small. If the amount exceeds 0.2 parts by weight, there is a risk that the solvent will be trapped inside and the physical properties may be deteriorated because the solvent volatilization passage is not secured when the magnetic sheet is dried or cured. is there.

図6は、従来のリン酸系重合体分散剤であるエトキシ化ノニルフェノールリン酸塩(Ethoxylated Nonylphenol phosphate)を添加して製造した金属磁性粉末のスラリー(slurry)(e)と、本発明の一実施形態に従って不飽和カルボン酸系重合体及びシロキサン系共重合体を分散剤として添加して製造した金属磁性粉末のスラリー(slurry)(f)の沈降安定性を比較したグラフである。 FIG. 6 shows a slurry (e) of metal magnetic powder produced by adding ethoxylated nonylphenol phosphate, which is a conventional phosphoric acid polymer dispersant, and one embodiment of the present invention. It is the graph which compared the sedimentation stability of the slurry (slurry) (f) of the metal magnetic powder manufactured by adding unsaturated carboxylic acid type polymer and siloxane type copolymer as a dispersing agent according to a form.

図6から、本発明の一実施形態に従って不飽和カルボン酸系重合体及びシロキサン系共重合体を含むと、時間経過による沈降層の高さの減少速度が大幅に減り、沈降安定性が向上することが分かる。 From FIG. 6, when an unsaturated carboxylic acid polymer and a siloxane copolymer are included according to one embodiment of the present invention, the rate of decrease in the height of the sedimentation layer over time is greatly reduced, and sedimentation stability is improved. I understand that.

図7は、従来のリン酸系重合体分散剤であるエトキシ化ノニルフェノールリン酸塩(Ethoxylated Nonylphenol phosphate)を使用して製造した磁性体シート(g)、及び本発明の一実施形態に従って不飽和カルボン酸系重合体及びシロキサン系共重合体を分散剤として添加して製造した磁性体シート(h)の表面を走査電子顕微鏡(SEM)で観察した写真である。 FIG. 7 shows a magnetic sheet (g) produced using ethoxylated nonylphenol phosphate, which is a conventional phosphoric acid polymer dispersant, and an unsaturated carboxylic acid according to an embodiment of the present invention. It is the photograph which observed the surface of the magnetic material sheet (h) manufactured by adding an acid type polymer and a siloxane type copolymer as a dispersing agent with a scanning electron microscope (SEM).

図7から、本発明の一実施形態に従って不飽和カルボン酸系重合体及びシロキサン系共重合体を添加して製造した磁性体シート(g)は、従来の分散剤を添加して製造した磁性体シート(h)に比べて、分散性が向上し、レベリング(leveling)効果及びベナールセル(Benard cell)現象防止効果により、表面粗さが減少することが分かる。 From FIG. 7, the magnetic material sheet (g) produced by adding an unsaturated carboxylic acid polymer and a siloxane copolymer according to one embodiment of the present invention is a magnetic material produced by adding a conventional dispersant. Compared with the sheet (h), the dispersibility is improved, and the surface roughness is reduced due to the leveling effect and the Benard cell phenomenon prevention effect.

このように、本発明の一実施形態により製造された磁性体シートは、不飽和カルボン酸系重合体を含み、シロキサン系共重合体をさらに含むことにより、磁性粉末の分散性が向上することができ、これにより、充填率が向上し、インダクタンス容量特性が改善されることができる。 As described above, the magnetic sheet manufactured according to the embodiment of the present invention includes an unsaturated carboxylic acid polymer, and further includes a siloxane copolymer, thereby improving the dispersibility of the magnetic powder. Thus, the filling rate can be improved and the inductance capacity characteristics can be improved.

上記磁性体シートで製造される本発明の一実施形態による磁性体本体50の充填率は80%以上であってもよい。 The filling rate of the magnetic body 50 according to an embodiment of the present invention manufactured using the magnetic sheet may be 80% or more.

上記磁性体シートを絶縁基板20の両面に積層し、ラミネート法や静水圧プレス法により圧着して磁性体本体50を形成することができる。このとき、上記貫通孔が磁性体で充填されるようにして、コア部55を形成することができる。 The magnetic body main body 50 can be formed by laminating the magnetic sheet on both surfaces of the insulating substrate 20 and press-bonding them by a laminating method or an isostatic pressing method. At this time, the core portion 55 can be formed so that the through hole is filled with a magnetic material.

次に、上記磁性体本体50の少なくとも一断面に露出する内部コイルパターン40の引出部と接続するように磁性体本体50の少なくとも一端面に外部電極80を形成することができる。 Next, the external electrode 80 can be formed on at least one end surface of the magnetic body 50 so as to be connected to the lead portion of the internal coil pattern 40 exposed in at least one section of the magnetic body 50.

上記外部電極80は、電気伝導性に優れた金属を含むペーストを用いて形成することができ、例えば、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、スズ(Sn)または銀(Ag)などの単独またはこれらの合金などを含む導電性ペーストであってもよい。 The external electrode 80 can be formed using a paste containing a metal having excellent electrical conductivity. For example, nickel (Ni), copper (Cu), tin (Sn) or silver (Ag) alone or A conductive paste containing these alloys may also be used.

外部電極80は、外部電極80の形状に沿ってプリンティングするだけではなく、ディッピング(dipping)法などで形成してもよい。 The external electrode 80 may be formed not only by printing along the shape of the external electrode 80 but also by a dipping method or the like.

その他上述した本発明の一実施形態によるチップ電子部品の特徴と同じ部分に対する説明は、省略する。 The description of the same parts as those of the chip electronic component according to the embodiment of the present invention described above is omitted.

以上、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の権利範囲はこれに限定されず、請求の範囲に記載された本発明の技術的思想から外れない範囲内で多様な修正及び変形が可能であるということは、当技術分野の通常の知識を有する者には明らかである。 The embodiment of the present invention has been described in detail above, but the scope of the present invention is not limited to this, and various modifications and variations can be made without departing from the technical idea of the present invention described in the claims. It will be apparent to those having ordinary knowledge in the art.

100 薄膜型インダクタ
20 絶縁基板
30 絶縁膜
40 内部コイルパターン
45 ビア電極
50 磁性体本体
55 コア部
80 外部電極
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Thin film type inductor 20 Insulating substrate 30 Insulating film 40 Internal coil pattern 45 Via electrode 50 Magnetic body 55 Core part 80 External electrode

Claims (18)

絶縁基板の少なくとも一面に形成された内部コイルパターンを含む磁性体本体と、
前記磁性体本体の少なくとも一端面に形成され、前記内部コイルパターンの端部と接続するように形成された外部電極と、を含み、
前記磁性体本体は、不飽和カルボン酸系重合体を含むチップ電子部品。
A magnetic body including an internal coil pattern formed on at least one surface of the insulating substrate;
An external electrode formed on at least one end surface of the magnetic body and connected to an end of the internal coil pattern;
The magnetic body is a chip electronic component including an unsaturated carboxylic acid polymer.
前記磁性体本体はシロキサン系共重合体をさらに含む、請求項1に記載のチップ電子部品。 The chip electronic component according to claim 1, wherein the magnetic body further includes a siloxane copolymer. 前記磁性体本体は金属系軟磁性材料を含む、請求項1に記載のチップ電子部品。 The chip electronic component according to claim 1, wherein the magnetic body includes a metallic soft magnetic material. 前記金属系軟磁性材料の粒子径は0.1μm〜30μmである、請求項3に記載のチップ電子部品。 The chip electronic component according to claim 3, wherein a particle diameter of the metal-based soft magnetic material is 0.1 μm to 30 μm. 前記不飽和カルボン酸系重合体は重量平均分子量が500〜2,300である、請求項1に記載のチップ電子部品。 The chip electronic component according to claim 1, wherein the unsaturated carboxylic acid polymer has a weight average molecular weight of 500 to 2,300. 前記シロキサン系共重合体は重量平均分子量が500〜2,300である、請求項2に記載のチップ電子部品。 The chip electronic component according to claim 2, wherein the siloxane copolymer has a weight average molecular weight of 500 to 2,300. 前記不飽和カルボン酸系重合体は前記磁性体本体に含まれる金属系軟磁性材料100重量部に対して0.5重量部〜2重量部の含量で含まれる、請求項1に記載のチップ電子部品。 2. The chip electron according to claim 1, wherein the unsaturated carboxylic acid polymer is included in an amount of 0.5 to 2 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the metallic soft magnetic material included in the magnetic body. parts. 前記シロキサン系共重合体は前記磁性体本体に含まれる金属系軟磁性材料100重量部に対して0.05重量部〜0.2重量部の含量で含まれる、請求項2に記載のチップ電子部品。 3. The chip electronic according to claim 2, wherein the siloxane-based copolymer is included in an amount of 0.05 part by weight to 0.2 part by weight with respect to 100 parts by weight of the metallic soft magnetic material included in the magnetic body. parts. 前記磁性体本体の充填率は80%以上である、請求項1に記載のチップ電子部品。 The chip electronic component according to claim 1, wherein a filling factor of the magnetic body is 80% or more. 絶縁基板の少なくとも一面に内部コイルパターンを形成する段階と、
前記内部コイルパターンが形成された絶縁基板の上部及び下部に磁性体シートを積層して磁性体本体を形成する段階と、
前記磁性体本体の少なくとも一端面に前記内部コイルパターンの端部と接続するように外部電極を形成する段階と、を含み、
前記磁性体シートは、不飽和カルボン酸系重合体を含んで形成するチップ電子部品の製造方法。
Forming an internal coil pattern on at least one surface of the insulating substrate;
Forming a magnetic body by laminating magnetic sheets on the upper and lower portions of the insulating substrate on which the internal coil pattern is formed;
Forming an external electrode on at least one end surface of the magnetic body to be connected to an end of the internal coil pattern,
The magnetic sheet is a method for manufacturing a chip electronic component formed by including an unsaturated carboxylic acid polymer.
前記磁性体シートはシロキサン系共重合体をさらに含んで形成する、請求項10に記載のチップ電子部品の製造方法。 The method of manufacturing a chip electronic component according to claim 10, wherein the magnetic sheet further includes a siloxane copolymer. 前記磁性体シートは金属系軟磁性材料を含んで形成する、請求項10に記載のチップ電子部品の製造方法。 The method of manufacturing a chip electronic component according to claim 10, wherein the magnetic sheet includes a metal-based soft magnetic material. 前記金属系軟磁性材料の粒子径は0.1μm〜30μmである、請求項12に記載のチップ電子部品の製造方法。 The chip electronic component manufacturing method according to claim 12, wherein a particle diameter of the metal-based soft magnetic material is 0.1 μm to 30 μm. 前記不飽和カルボン酸系重合体は重量平均分子量が500〜2,300である、請求項10に記載のチップ電子部品の製造方法。 The method for manufacturing a chip electronic component according to claim 10, wherein the unsaturated carboxylic acid polymer has a weight average molecular weight of 500 to 2,300. 前記シロキサン系共重合体は重量平均分子量が500〜2,300である、請求項11に記載のチップ電子部品の製造方法。 The method for manufacturing a chip electronic component according to claim 11, wherein the siloxane copolymer has a weight average molecular weight of 500 to 2,300. 前記磁性体シートは、前記磁性体シートに含まれる金属系軟磁性材料100重量部に対して、前記不飽和カルボン酸系重合体を0.5重量部〜2重量部含む、請求項10に記載のチップ電子部品の製造方法。 The said magnetic body sheet | seat contains 0.5 weight part-2 weight part of the said unsaturated carboxylic acid type polymer with respect to 100 weight part of metallic soft magnetic materials contained in the said magnetic material sheet. Manufacturing method for chip electronic components. 前記磁性体シートは、前記磁性体シートに含まれる金属系軟磁性材料100重量部に対して、前記シロキサン系共重合体を0.05重量部〜0.2重量部含む、請求項11に記載のチップ電子部品の製造方法。 The said magnetic material sheet is 0.05 weight part-0.2 weight part of said siloxane-type copolymers with respect to 100 weight part of metallic soft magnetic materials contained in the said magnetic material sheet. Manufacturing method for chip electronic components. 前記磁性体本体の充填率は80%以上である、請求項10に記載のチップ電子部品の製造方法。 The method of manufacturing a chip electronic component according to claim 10, wherein a filling rate of the magnetic body is 80% or more.
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