JP2015166492A - 蒸発セルを再装填する方法 - Google Patents

Abstract

【課題】真空蒸着装置によって実施される堆積方法における休止期間を短縮するか又は破棄することさえも可能にする蒸発セルを再装填する方法の提供。【解決手段】第１るつぼ１１０が、蒸発セルの蒸発チャンバ１００に係合し、材料の蒸気の流れ１１６を発生させるために第１るつぼを蒸発条件下に置く蒸発手段１０１、１３１、１３２が設けられる。第２るつぼ１２０を予め隔離され装填チャンバ２００内に装填する段階であって、装填チャンバ内の圧力が、その時点で真空蒸着チャンバ内のものよりも実質的に高い第２るつぼを装填する段階と、装填チャンバ内の圧力を第１るつぼの蒸発中の蒸発チャンバのものと同等なレベルまで引き戻すことを意図する密閉段階と、第１るつぼが装填チャンバまでその間に移送される解除段階と、第２るつぼを蒸発チャンバに係合させる段階と、第２るつぼを蒸発条件下に置く段階とを含む方法。【選択図】図４

Description

本発明は、材料の蒸発及び基板上へのその真空蒸着の分野に関する。

より具体的に、本発明は、真空蒸着チャンバに置かれた基板上に材料を堆積させるために材料を蒸発させることを意図する蒸発セルを再装填する方法に関する。

真空蒸着装置は、蒸発チャンバ内で蒸発させた半導体材料又は化合物（例えば、シリコン、ヒ化ガリウム、リン化インジウム等）、無機材料（例えば、セレン、アンチモン、リン）、又は有機材料（例えば、トリス（８−ヒドロキシキノリン）アルミニウム（ＩＩＩ）又はＡｌｑ３、．．．）のような材料を真空下に維持された堆積チャンバに置かれた基板上に堆積させることを可能にする。

そのような装置は、特に、材料を蒸発させることを意図する蒸発セルと、この蒸発セルの蒸発チャンバに次に係合して蒸発される材料を含有する第１るつぼと、この第１るつぼを蒸発条件下に置いて真空蒸着チャンバ内への蒸気の注入のためのインジェクタに接続した蒸発チャンバ出口を通る材料の蒸気の流れを発生させるように設けられた蒸発手段とを含む。

準連続的な生産を確実にするために、多数の連続する基板上に材料を堆積させることが次に可能であるように蒸発される大量の材料を含有する大容量るつぼを使用する蒸発セルを利用することが可能である。

しかし、大容量るつぼを使用する時には、その交換に対して、高温るつぼの除去と低温るつぼの蒸発チャンバ内への導入とによって蒸発チャンバの熱安定性を乱さないように、蒸発セルを再装填することができる前に大容量るつぼが低温になるのを待つことが必要である。

従って、蒸発セルの再装填は、蒸発セルから第１るつぼを解除することができるようになる前に装填物の蒸発に向けて新しいるつぼを準備することが可能ではないので生産の長い中断を導く。

るつぼのサイズに応じて数時間から数日までのものである場合があるこの生産の中断は、生産率を低下させて基板上への材料堆積の運用コストを増大させる。

連続生産を確実にするために、２つの別々の蒸発セルを含む文献ＷＯ２００６／００１２０５に記載されているような真空蒸着装置を使用することもできると考えられる。

ＷＯ２００６／００１２０５

それにも関わらず、同じ真空蒸着装置内へのいくつかの蒸発セルの統合は、複雑かつ高価である。

上述の従来技術の欠点を解消するために、本発明は、蒸発セルを再装填する方法を提案し、本方法は、この蒸発セルを使用する真空蒸着装置によって実施される堆積方法における休止期間を短縮するか又は破棄することさえも可能にするものである。

この目的のために、本発明は、真空下に維持された堆積チャンバに置かれた基板上に材料を堆積させるために材料を蒸発させることを意図する蒸発セルを再装填する方法に関連し、蒸発される材料を含有する第１るつぼが、蒸発セルの蒸発チャンバに係合し、蒸発手段が、第１るつぼを蒸発条件下に置いて蒸発チャンバの出口を通る材料の蒸気の流れを発生させるために設けられ、この出口は、真空蒸着チャンバ内への蒸気の注入のためのインジェクタに接続されており、この再装填する方法は、
− 装填チャンバの内側の圧力が、真空蒸着チャンバの内側のものよりも実質的に高い状態で、蒸発される材料を含有する第２るつぼを隣接する蒸発チャンバから予め隔離された装填チャンバ内に装填する段階と、
− この導入段階の後に、装填チャンバの内側の圧力を第１るつぼの蒸発中の蒸発チャンバのものと同等なレベルまで引き戻すことを意図して装填チャンバを密閉する段階と、
− この密閉段階の後に、第１るつぼを蒸発チャンバから解除し、その間に第１るつぼが蒸発チャンバから装填チャンバに移送される段階と、
− 第１るつぼを解除するこの段階の後に、第２るつぼを蒸発チャンバに係合させる段階と、
− 第２るつぼを係合させるこの段階の後に、第２るつぼを蒸発条件下に置いて蒸発チャンバの出口を通る材料の蒸気の流れを発生させる段階
とを含む。

本発明により、第２るつぼを係合させる段階中に、装填チャンバは、蒸発チャンバからかつ真空蒸着チャンバから隔離される。

第１るつぼの蒸発チャンバとの係合によって得られる隔離に起因して、本発明による再装填方法は、単一蒸発チャンバと単一装填チャンバを用いて堆積方法の長い中断なしにるつぼの高速交換を行うことを可能にする。

実際に、蒸発チャンバから予め隔離された装填チャンバに起因して、第１るつぼを解除する段階の前に、第１るつぼが蒸発セル内で蒸発下にある間に第２るつぼを準備することが可能である。

この装填方法は、るつぼの頻繁な交換を必要とする小さい容積のるつぼが使用される場合に特に適応される。

それ以外に、本発明による他の有利で非限定的な特性は以下のものである。
−第２るつぼを装填する段階中に、装填チャンバのトラップドアが開けられ、第２るつぼが、蒸発セルの外側からトラップドアを通して装填チャンバ内に導入される。
−密閉段階中に、トラップドアは、蒸発セルの外側に対して気密に閉じられ、装填チャンバの内側でポンプ排気が実施される。
−第１るつぼを解除する段階中に、第１るつぼは、装填チャンバと蒸発チャンバとを互いに連通状態に置く挿入開口部を通過させることによって蒸発チャンバから取り出され、第２るつぼを係合させる段階中に、第２るつぼは、挿入開口部を通過させることによって蒸発チャンバ内に挿入され、挿入開口部は、装填チャンバを蒸発チャンバから隔離するために気密に閉じられる。
−装填方法は、第２るつぼを蒸発チャンバと係合させる段階の前に、第２るつぼを蒸発条件下に置く段階の持続時間を短縮することを意図して第２るつぼを装填チャンバ内に準備する段階を含む。
−準備段階は、装填チャンバ内の第２るつぼを予め決められた予熱温度まで予熱する段階を含む。

図面を参照して本発明の実施形態を詳細に以下に説明する。

蒸発セル及び真空蒸着チャンバを含む本発明の実施形態による真空蒸着装置の垂直平面内の略全体断面図である。 第１満杯るつぼが係合した蒸発チャンバと空きるつぼを含む隣接装填チャンバとを含む蒸発セルの第１の例の垂直平面内の概略断面図である。 図２ＡのゾーンＩＩの詳細図である。 第２満杯るつぼによる装填チャンバの初期装填時の図２Ａの蒸発セルの垂直平面内の概略断面図である。 第１るつぼの蒸発中の図２Ａの蒸発セルの垂直平面内の概略断面図である。 蒸発チャンバからの第１空きるつぼの解除前の図２Ａの蒸発セルの垂直平面内の概略断面図である。 蒸発チャンバからの第１空きるつぼの解除後の図２Ａの蒸発セルの垂直平面内の概略断面図である。 第２満杯るつぼの蒸発チャンバとの係合前の図２Ａの蒸発セルの垂直平面内の概略断面図である。 第２るつぼの蒸発チャンバとの係合後で第２るつぼを調整する段階中の図２Ａの蒸発セルの垂直平面内の概略断面図である。 蒸発セルの第２の例の垂直平面内の概略断面図である。 図９Ａの蒸発セルの蒸発チャンバと装填チャンバの間の挿入開口部を閉じるための手段を示す図９ＡのゾーンＩＸの詳細図である。 蒸発チャンバとインジェクタの間に気密弁を含む蒸発セルの第３の例の概略図である。 蒸発チャンバの外側エンクロージャが真空蒸着チャンバから隔離された図１０の蒸発セルの第３の例の変形の概略図である。 ２つの異なる蒸発チャンバを含む蒸発セルの第４の例の概略図である。

以下に続く開示では、真空蒸着装置が設置された部屋に対する垂直に関して「上部」及び「底部」という表現を使用することにし、上部は、部屋の天井の方向を向く側を指し、底部は、床の方向を向く側を指す。同様に、「下側」及び「上側」という表現は、底部及び上部それぞれの方向を向く側を指すことになる。

図１は、一方で蒸発セル１０を含み、他方で真空蒸着チャンバ２０を含む真空蒸着装置１の垂直平面内の略全体断面図を示している。

一般的に、真空蒸着装置１の蒸発セル１０は、材料を真空蒸着チャンバ２０に、本明細書ではその底部２３に配置された基板２上に堆積させるために材料を蒸発させることを意図したものである。

以下では、蒸発セル１０は、材料の蒸気の上流流れ３を発生させるようになっており、この蒸気の上流流れ３は、注入ダクト１４により、蒸発セル１０から真空蒸着チャンバ２０の上部２２に位置付けられたインジェクタ１３まで搬送されることが分かるであろう。

蒸発セル１０と真空蒸着チャンバ２０は、注入ダクト１４が通過する管状コネクタ５によって互いに接続される。

蒸発セル１０のインジェクタ１３は、材料がインジェクタ１３の方向に向けられた基板２の上面２Ａ上に堆積されるように、注入ダクト１４によって搬送された材料の蒸気を基板２の方向に下方に向けられた蒸気の下流流れ４に沿って真空蒸着チャンバ２０内に注入する。

インジェクタ１３は、基板２の上面２Ａ上に堆積される材料の層が、厚み、面状態、伝導率などのような必要とされる性質を意図する用途に応じて有するように、基板２の方向に向けられた蒸気の下流流れ４の特性、例えば、その流量又は空間分布を最適化するようになっている。

インジェクタ１３の内側には、その良好な作動を損なう可能性があるインジェクタ１３の内側の材料蒸気の凝縮を回避することを意図する特定の加熱手段（図示せず）が設けられる。

真空蒸着チャンバ２０の内側に真空を作り出して維持するために、真空蒸着装置１は、真空蒸着チャンバ２０に接続され、真空蒸着チャンバ２０の内側容積２９に応じて調節されるポンプ排気容量を有するポンプ排気手段６を含む。

この場合に、これらのポンプ排気手段６は、真空蒸着チャンバ２０の内側の圧力レベルを１０^−３トルから１０^−８トルまで低下させるターボ分子ポンプ又は低温ポンプを含む。

ここで、インジェクタ１３に向う蒸気の下流流れ３を生成することを意図する蒸発セル１０の第１の例を図２から図９Ｂを参照して以下に説明する。蒸気の下流流れ３の生成の休止時間を制限することにより、この蒸発セル１０を準連続的に利用することを可能にする、本発明による装填方法を以下に説明する。

図２Ａに示すように、真空蒸着装置１の蒸発セル１０は、第１に、横壁１１Ａと、上側壁１１Ｂ（又は「屋根」）と、下側壁１１Ｃ（又は「底部」）とを含む本明細書ではほぼ円筒形の外側エンクロージャを含む。

外側エンクロージャ１１の横壁１１Ａ及び上側壁１１Ｂの内側面上、また、管状コネクタ５の内側面上には、蒸発セル１０の低温部分上で材料蒸気が凝縮されることを回避するために、外側エンクロージャ１１の内側容積１９、特に注入ダクト１４を実質的に均一に加熱することを意図する加熱要素、例えば、加熱抵抗１６が設けられる。

横壁１１Ａ及び上側壁１１Ｂ、また、管状コネクタ５の外側面上には、蒸発セル１０の外側エンクロージャ１１が外側からの接触に対して低温であるように、冷却要素（図示せず）、例えば、冷水コイルが設けられる。

加熱要素１６と冷却要素の間には、加熱と冷却が各々独立して効率的であるように、例えば、耐火材料として製造された放射遮蔽体が挿入される。

横壁１１Ａは、開口部１１Ｄを含み、そこから管状コネクタ５が、真空蒸着装置１の蒸発セル１０と真空蒸着チャンバ２０との接続に向けて外向きに延びる。

この構成では（図１から図１０まで及び図１２に対して共通）、外側エンクロージャ１１と真空蒸着チャンバ２０は、互いに連通しており、同一の真空を共有するので、真空蒸着チャンバ２０内が真空にされると、蒸発セル１０の外側エンクロージャ１１内も真空にされる。従って、外側エンクロージャ１１内の圧力レベルは、真空蒸着チャンバ２０内のものに等しい。

変形として、図１１に示すように、蒸発セル１０の外側エンクロージャ１１が真空蒸着チャンバ２０と同じ真空を共有しないように、蒸発セル１０の管状コネクタ５と注入ダクト１４の間に気密溶接部１８を設けることができる。この場合に、蒸発セル１０は、それに専用ものであり、外側エンクロージャ１１の内側容積１９をポンプ排気して圧力を１０^−２トルから１０^−３トル程度のレベルまで降下させることを意図するエンクロージャポンプ１９Ａを含む。

図２Ａ及び図２Ｂから分かるように、以下で挿入開口部１２と呼ぶ開口部は、外側エンクロージャ１１の下側壁１１Ｃ内の切開部である。

この挿入開口部１２は、本明細書では形状が円形である内縁１２Ａを有し、この上方で、外側エンクロージャ１１の内側に向けて蒸発セル１０の蒸発チャンバ１００が延びている。

蒸発チャンバ１００は、一方で挿入開口部１２と同軸の円筒本体１０１を含み、他方で蒸発チャンバ１００の出口１０３に至るまで本体１０１を延続させる切端円錐ネック１０２を含む気密壁によって境界が定められる。

蒸発チャンバ１００のこの本体１０１は、挿入開口部１２の内縁１２Ａに沿って中断することなく延びる下縁１０１Ａを有する。蒸発セル１０の外側エンクロージャ１１の内側容積１９が蒸発チャンバ１００の内側容積１０４と連通状態にないように、下縁１０１Ａは、蒸発セル１０の外側エンクロージャ１１の下側壁１１Ｃに密閉固定されている。

蒸発チャンバ１００の出口１０３は、本明細書ではこの出口１０３の場所に曲げ部１４Ａを形成する蒸発セル１０の注入ダクト１４に気密に接続される。気密接続は、例えば、溶接を用いて行うことができる。

蒸発セル１０の蒸発チャンバ１００は、第１るつぼ１１０（図２Ａを参照されたい）及び第２るつぼ１２０（図３参照）のようなるつぼを受け入れることを意図したものである。これらのるつぼ１１０、１２０は、蒸発チャンバ１００内に受け入れることができるように適応された形状及びサイズを有する。

有利なことに、るつぼ１１０、１２０は、１リットル（Ｌ）よりも少なく、好ましくは０．５Ｌよりも少なく、例えば、０．３３Ｌに等しい低容積容量を有する。

るつぼ１１０、１２０は、ほぼボトル形状を有し、かつ底部１１５、１２５によって下方に閉じられて、るつぼ１１０、１２０の開口部１１３、１２３の境界を定めるネック１１２、１２２内に上方に幅狭になる横壁１１１、１２１を含む。

るつぼ１１０、１２０は、好ましくは、赤外線に対して良好な透明性を有し、かつ高温に対して耐性を有する材料から単一部品として製造される。るつぼ１１０、１２０は、例えば、熱分解性窒化ホウ素又はＰＢＮのようなセラミック材料、又は石英のようなガラス質材料で製造することができる。

るつぼ１１０、１２０は、液体形態、粉末形態、又は更に鋳塊形態とすることができる蒸発される材料７で充填されることを意図する。

るつぼ（図３の第１るつぼ１１０の場合、図８の第２るつぼ１２０の場合）が蒸発チャンバと係合された時に、すなわち、それが蒸発チャンバ１００の内側容積１０４の内側に受け入れられた時に、るつぼの横壁１１１、１２１は、次に、蒸発チャンバ１００の本体１０１に対向する。

蒸発チャンバ１００に係合したるつぼ１１０、１２０を蒸発条件下に置くために、蒸発セルは、更に、このるつぼ１１０、１２０を受け入れる蒸発チャンバ１００の周りに配置された蒸発手段を含む。

図２から図１２に示されたすべての例において、これらの蒸発手段は、第１に、蒸発チャンバ１００を取り囲んで外側エンクロージャ１１の底部１１Ｃから蒸発チャンバ１００の本体１０１に対して実質的に平行に蒸発チャンバ１００のネック１０２に至るまで延びる電気抵抗１３１を含む。

これらの電気抵抗１３１は、給電され、高温で加熱されて、主に赤外線として熱を放射する。

変形として、蒸発手段は、蒸発チャンバ内に係合したるつぼを直接照射するように、蒸発チャンバの本体に対して、蒸発チャンバの内側容積内に直接配置された赤外線ランプを備えることができる。

蒸発手段は、外側エンクロージャ１１の内側に位置付けられて蒸発チャンバ１００の本体１０１と電気抵抗１３１の間に挿入された熱遮蔽体１３２を更に含む。

図９Ｂに同じく示すように、この熱遮蔽体１３２は、「伸縮自在」タイプのものであり、かつ本明細書では熱遮蔽体１３２の高さを自在に調節することができるように互いの中に入れ子にすることができる円筒形で互いに同軸の５つの可動要素１３２Ａ、１３２Ｂ、１３２Ｃ、１３２Ｄ、１３２Ｅを含む。

例えば、図２Ａは、全ての可動要素１３２Ａ、１３２Ｂ、１３２Ｃ、１３２Ｄ、１３２Ｅが延ばされた時の最大高さにある熱遮蔽体１３２を示している。図６は、全ての可動要素１３２Ａ、１３２Ｂ、１３２Ｃ、１３２Ｄ、１３２Ｅが互いの中に入れ子になった時の熱遮蔽体１３２、２３０を示している。

可動要素１３２Ａ、１３２Ｂ、１３２Ｃ、１３２Ｄ、１３２Ｅは、本明細書では同じ材料、例えば、鋼鉄又はアルミニウムのような金属材料で製造された円筒体で形成される。

変形として、可動要素は、例えば、電気抵抗によって放出される熱放射線を反射する層、例えば、銀、アルミニウム、又は金の層のような金属層で被覆された電気抵抗の方向を向く外部面を有する石英、ガラス、又はシリカで製造された円筒体で構成することができる。

蒸発手段は、更に、熱遮蔽体１３２の高さを調節するために可動要素１３２Ａ、１３２Ｂ、１３２Ｃ、１３２Ｄ、１３２Ｅを互いに対して摺動させることを可能にする作動手段を含む。

図２から図１２では、可動要素１３２Ａ、１３２Ｂ、１３２Ｃ、１３２Ｄ、１３２Ｅは個数が５個であり、全てが同じ高さを有するが、蒸発手段がより多くの可動要素又はより少ない可動要素を含み、これらの可動要素が異なる高さのものであることを変形と考えることができる。これは、特に、熱遮蔽体の高さを蒸発チャンバの高さに適応させて、この高さを大なり小なりの精度で調節するのに有利とすることができる。

蒸発手段は、最後に、電気抵抗１３１によって放出された赤外線放射線を透過するように選択された透明壁を有する蒸発チャンバ１００の円筒形本体１０１を本明細書では含む。

外側エンクロージャ１１の内側の圧力条件下では、外側エンクロージャ１１の内側の真空に起因して対流交換が強く制限されるので、電気抵抗１３１と蒸発チャンバ１００に係合したるつぼ１１０、１２０の本体１１１、１２１との間の熱交換は、本質的に放射線によって発生する。

透明壁は、例えば、石英、ガラス、又はシリカで製造され、時に透明壁の赤外線透過率を改善する層で被覆された中空円筒体で形成することができる。

電気抵抗１３１と蒸発チャンバ１００の本体１０１のこの透明壁との間に配置された熱遮蔽体１３２は、従って、蒸発チャンバ１００に位置付けられたつぼ１１０、１２０の本体１１１、１２１に向けて電気抵抗１３１によって放射された赤外線光に対するミラーとして作用することになる。

従って、熱遮蔽体１３２により、るつぼ１１０、１２０の上側部分１１４、１２４に含まれた材料７の僅かな部分のみが、電気抵抗によって放出された放射線を受けて、材料７の蒸発を可能にするほど十分な加熱温度まで蒸発チャンバ内の圧力に応じて加熱されるように、電気抵抗１３１の全て又は一部を露出することが可能である。

更に、可動要素１３２Ａ、１３２Ｂ、１３２Ｃ、１３２Ｄ、１３２Ｅを摺動させる作動手段により、るつぼ１１０、１２０の開口部１１３、１２３を通る蒸気の流れ１１６、１２６（図４及び図８参照）を実時間で調節するために、熱遮蔽体１３２の高さを微調節することができる。

特に、蒸気の流れ１１６、１２６が、るつぼ１１０、１２０に含まれた材料７の蒸発中にわたって実質的に一定に留まる蒸発条件を得ることが可能である。これは、真空蒸着チャンバ２０に配置された基板２上への均一層の堆積に対して特に関連があることを明らかにしている。

蒸発チャンバ１００に位置付けられたるつぼ１１０、１２０を加熱する蒸発手段１３１、１３２、１０１に起因して発生された材料７の蒸気の流れ１１６、１２６は、次に、蒸発チャンバ１００の出口１０３を通過し、次に、蒸発セル１０の注入ダクト１４に沿って上記で見られたようなインジェクタ１３のようなインジェクタ１３まで搬送され、真空蒸着チャンバ２０に配置された基板２に向う蒸気の上流流れ４が発生する。

図２から図１２に示すように、蒸発セル１０はまた、蒸発チャンバ１００に隣接して本明細書では蒸発セル１０の外側エンクロージャ１１の下に位置付けられた装填チャンバ２００を更に含む。

この装填チャンバ２００は、密閉エンクロージャ２０２によって境界が定められ、かつ開放位置において装填チャンバ２００の内側容積２０９を蒸発セル１０の外側、例えば、真空蒸着装置１が保存される部屋と連通状態に置き、閉鎖位置において装填チャンバ２００の内側容積２０９を蒸発セル１０の外側から隔離することを可能にするトラップドア２０１を含む。

有利なことに、装填チャンバに接してその上流に、例えば、大気に近い圧力にある不活性ガスを有する中性雰囲気下に置かれたロックチャンバを設けることができる。このロックチャンバは、次に、装填チャンバ内に導入することを意図するつぼに、自由空気によって酸化された例えば有機材料のような材料を充填することを可能にする。

蒸発セル１０の外側エンクロージャ１１に関して、密閉エンクロージャ２０２の内側面上には、装填エンクロージャの内側容積２０９、特に装填エンクロージャが含むことができるるつぼ１１０、１２０のような異なる要素を実質的に均一に加熱することを意図する加熱要素、例えば、加熱抵抗２０６が設けられる。

装填チャンバ２００の密閉エンクロージャ２０２は、挿入開口部１２が閉じられていない時に装填チャンバ２００が挿入開口部１２を通して蒸発チャンバ１００と連通状態になるように、蒸発チャンバ１００を担持するこの挿入開口部１２に対向して位置付けられた開口部をその上側壁上に含む。

装填チャンバ２００は、更に、例えば、装填チャンバ２００がトラップドア２０１の開口部を通して再通気された時にこの装填チャンバ２００を減圧するために、ポンプ排気ダクト２２１を通して密閉エンクロージャ２０２に接続した追加ポンプ２２２を含む。

更に、装填チャンバ２００には、るつぼ装填及び除荷手段１１０、１２０、本明細書ではカルーセル及びピストンシステムが設けられる。

より正確には、装填チャンバ２００は、第１に、第１るつぼ１１０又は第２るつぼ１２０を受け入れることを意図するプレート２１２がその上端に固定されたピストン２１２Ａを含む。

ピストン２１２Ａは、垂直平行移動で可動であり、これにより、プレート２１２は、プレート２１２が密閉エンクロージャ２０２の下側壁に近い「底部」位置（図２、図６、及び図７の場合）と、プレート２１２が蒸発セル１０の挿入開口部１２に位置付けられた「上部」位置（図３、図４、図５、図８、図１０、図１１、及び図１２の場合）との間で、ピストン２１２Ａの軸に沿って、上下に進むことができる。

底部位置は、るつぼ１１０、１２０を有するプレート２１２の装填又は除荷を可能にする。

るつぼ１１０、１２０がプレート２１２上に置かれた状態で、プレート２１２は、ピストン２１２Ａによって垂直に上に進むことができ、従って、蒸発セル１０の挿入開口部１２を通過することによってるつぼ１１０、１２０を蒸発チャンバ１００と係合させることができる。

装填チャンバ２００はまた、カルーセル２１１を駆動して回転させる回転軸２１１Ａ上に装着されたカルーセル２１１を含む。

このカルーセル２１１は、プレート２１２上へのるつぼ１１０、１２０の装填とそこからのその除荷とのためにるつぼ１１０、１２０を受け入れることを意図したものである。

カルーセル２１１及びプレート２１２のシステムは、それが、与えられた個数のるつぼに対して縮小サイズを提供するので特に有利である。従って、装填チャンバ２００のサイズと、装填チャンバ２００に接続した追加ポンプ２２２のポンプ排気容量とを制限することができる。

図２Ｂに示すように、蒸発セル１０の外側エンクロージャ１１と装填チャンバ２００の間に挿入された熱遮蔽手段が設けられる。

より正確には、これらの熱遮蔽手段は、本明細書では、装填チャンバ２００の上側壁への外側エンクロージャ１１の下側壁１１Ｃの取り付けを可能にする接続フランジ１７を含む。この接続フランジ１７は、挿入開口部１２と同軸の接続開口部１７Ａを有し、かつ冷却液（水、窒素等）を循環させるコイルネットワーク１７Ｂを含む。

この接続フランジ１７は、蒸発中にるつぼ１１０、１２０内の熱勾配を乱さないように、特に、装填チャンバ２００から蒸発チャンバ１００を熱的に隔離し、かつ蒸発セル１０の異なる加熱手段１６によって放出された熱が、装填チャンバ２００に配置されたるつぼ１１０、１２０に対して外乱効果を有するか又は後者が前者に対して外乱効果を有することを回避することを可能にする。

このようにして、蒸発チャンバ１００から第１るつぼ１１０を第１るつぼ１１０の冷却を待たずにそれが高温である時に「高温条件下で」取り出すことが可能である。次に、第１るつぼ１１０が取り出されると直ぐに第２るつぼ１２０を蒸発チャンバ１００内に導入することができ、この第２るつぼ１２０が適温になると直ぐに蒸発を再開することができる。

更に、熱遮蔽手段１７により、第１るつぼ１１０が蒸発中である間に第２るつぼ１２０を装填チャンバ２００内に装填することができ、この装填は、第１るつぼ１１０を加熱する蒸発手段１３１、１３２によって放出される熱に関係なく行われる。この放出熱は、装填チャンバ２００に位置付けられた第２るつぼ１２０に対しては顕著かつ有害な熱効果を持たない。特に、るつぼ１２０に存在する蒸発される材料１２０の温度は、材料７の蒸発温度よりも低い状態に留まる。

本発明による装填方法を実施するために、最後に、るつぼ１１０、１２０と蒸発チャンバの係合時に有利に実施される蒸発セル１０の挿入開口部１２を閉じるための手段が存在する。

図２から図８及び図１０から図１２に示す例示的実施形態において、これらの閉じる手段は、るつぼ１１０、１２０の底部１１５、１２５の近くのるつぼ１１０、１２０の下側部分にるつぼ１１０、１２０の横壁１１１、２１２に沿って固定されたＯリングジョイント１１７、１２７を含む。

ジョイント１１７、１２７の外径は、るつぼ１１０、１２０が装填チャンバ２００のピストン２１２Ａ及び板１２１を用いて蒸発チャンバ１００内に挿入された時に、ジョイント１１７、１２７が蒸発チャンバ１００の本体１０１と接触状態になるように選択される。

このようにして、るつぼ１１０、１２０が蒸発チャンバ１００の内側に装填されると、ジョイント１１７、１２７は、装填チャンバ２００に対する蒸発チャンバ１００の気密性を確実にすることを可能にする。

言い換えれば、るつぼ１１０、１２０上に設けられたジョイント１１７、１２７により、るつぼ１１０、１２０と蒸発チャンバ１００の係合時に装填チャンバ２００を蒸発チャンバ１００に対して隔離することが可能である。

図９Ａ及び図９Ｂに示す別の例示的実施形態において、閉じる手段は、プレート２１２の周りに取り付けられたジョイント２１２Ｂを含む。

上記と同様に、ジョイント２１２Ｂの外径は、るつぼ（図９Ａ及び図９Ｂの場合は第１るつぼ１１０）が装填チャンバ２００のピストン２１２Ａ及びプレート２１２を用いて蒸発チャンバ１００内に挿入された時に、ジョイント２１２Ｂが蒸発セル１０の挿入開口部１２を気密に閉じるように蒸発チャンバ１００の本体１０１と接触状態になるように選択される。

図１０に示すように、蒸発セル１０の注入ダクト１４上に配置された弁１７を設けることもできる。

有利なことに、この弁１７は、例えば、開放位置及び閉鎖位置という２つの位置を有し、これが、閉鎖位置において蒸発チャンバ１００が空である時に蒸気の流れが蒸発チャンバ１００に向けて逆進してより低温である装填チャンバ２００に向けて進み、装填エンクロージャ２０２の下側壁上で凝縮するのを回避することを可能にする気密の「全か無か」の弁とすることができる。

変形として、注入ダクト上に直列に配置された２つの弁、すなわち、「全か無か」タイプの第１の気密弁と、第１の気密弁の下流にある第２の調整弁とを設けることができる。

蒸発手段によって蒸発チャンバの出口における蒸気の流れの流量が調節されるが、この調整弁は、材料７の蒸気の流量をより微細に調節することを更に可能にすることができる。

好ましくは、これらの弁は、その中での凝縮の問題を回避するために、その使用中に加熱されるように蒸発セル１０の外側エンクロージャ１１に配置される。

次に、真空蒸着装置１の蒸発セル１０を装填する方法の実施例を図２から図８を参照して以下に説明する。

以下に続く説明は、真空蒸着装置１の休止時間を短縮するそのような装填方法の利点を理解することを可能にするであろう。

本明細書では、図２Ａに示すように、真空蒸着装置１が作動状態にあることと、第１るつぼ１１０が、蒸発セル１０の蒸発チャンバ１００に係合し、蒸発チャンバ１００の出口１０３を通る蒸気の流れ１１６を発生させるように蒸発手段１３１、１３２によって加熱され、かつその内容物が既に蒸発した前のるつぼ１３０が、装填チャンバ２００の内側にあることとを以下で考察する。

この時点では、上述したように、真空蒸着チャンバ２０と、真空蒸着チャンバ２０に直接連通している外側エンクロージャ１１と、蒸発チャンバ１００とは、真空レベルに近い１０^−３トルと１０^−８トルの間で構成される実質的に同一の圧力にある。

蒸発セル１０の蒸発チャンバ１００に係合した第１るつぼ１１０は、そのジョイント１１７により、隣接する蒸発チャンバ１００及び真空蒸着チャンバ２００に対して装填チャンバ２００を隔離することを可能にする。

従って、装填チャンバ２００は、真空蒸着チャンバ２０の真空に影響を及ぼすことなく再通気することができる。

従って、本方法の装填段階では、既に空になったるつぼ１３０を取り出すために装填チャンバ２００のトラップドア２０１が開かれる。装填チャンバ２００内の圧力は、次に、真空蒸着チャンバ２０の内側のものよりも実質的に高く、典型的には１気圧に近い。

次に、第２るつぼ１２０は、蒸発セル１０の外側から、時に中性雰囲気下にある一般的に「グローブボックス」と呼ばれるロックチャンバからトラップドア２０１を通して装填チャンバ２００の内側に導入され、この第２るつぼ１２０は、装填チャンバ２００のカルーセル２１１上に置かれる。

装填チャンバ２００内への第２るつぼ１２０の導入段階の後に、装填チャンバ２００を密閉する段階が実施される。

密閉段階は、装填チャンバ２００の内側の圧力を第１るつぼ１１０の蒸発中の蒸発チャンバ１００のものと同等なレベル、すなわち、約１０^−３トルから１０^−８トルまで引き戻すことを意図したものである。

この密閉段階中に、装填チャンバのトラップドア２０１は、次に、蒸発セル１０の外側に対して気密に閉じられ、追加ポンプ２２２により、装填チャンバ２００の内側は、上述の圧力レベルに到達するようにポンプ排気される。

装填チャンバ２００及び蒸発チャンバ１００内の圧力レベルは、次に、第１るつぼ１１０を支持するプレート２１２をそれ程の手間なくかつ破損の危険性なく取り出すことができるように同等である。

装填段階及び密閉段階中には、電気抵抗１３１及び熱遮蔽体１３２によって加熱された第１るつぼ１１０によって発生される蒸気の流れ１１６は停止されず、従って、第１るつぼ１１０内の材料７のレベルは、第１るつぼ１１０が空になる（図５の場合）まで、又は第１るつぼ１１０内の材料７のレベルが予め決められた最小閾値よりも下がるまで低下する（図３及び図４の場合）ことが理解される。

次に、第１るつぼ１１０を蒸発チャンバ１００から装填チャンバ２００に向けて移送することを可能にするピストン２１２Ａの下方作動により、第１るつぼ１１０を蒸発チャンバ１００から解除することができる。

言い換えれば、解除段階中に、第１るつぼ１１０は、装填チャンバ２００を蒸発チャンバ１００との連通状態に置く蒸発セル１０の挿入開口部１２を通過させることによって蒸発チャンバ１００から取り出される。

その後の状況は、空の第１るつぼ１１０が、底部位置にあるプレート２１２上に載っており、満杯の第２るつぼ１２０が装填カルーセル２１１上にある図６に示すものである。

次に、カルーセル２１１の回転（図７参照）により、第２るつぼ１２０が装填チャンバ２００のプレート２１２上に配置されるように第１るつぼ１１０を第２るつぼ１２０と逆転させることが可能である。

次に、ピストン２１２Ａの上方作動により、第２るつぼ１２０を蒸発チャンバ１００と係合させることができる。

第２るつぼ１２０は、次に、挿入開口部１２を通して蒸発チャンバ１００内に挿入される（図８参照）。

第２るつぼ１２０の本体１２１に取り付けられたジョイント１２７により、第２るつぼを係合させる段階は、挿入開口部１２を気密密閉することを可能にし、それによってこの係合段階が、蒸発セルの蒸発チャンバ１００に対して、かつ真空蒸着装置１の真空蒸着チャンバ２０に対して装填チャンバ２００の隔離を導くことに本明細書では注意されたい。

第１るつぼ１１０に対して上述したように、第２るつぼ１２０の係合によって隔離が与えられた状態で、例えば、１つ又はいくつかの新しい満杯るつぼを蒸発セル２０の再装填に向けて導入するために、第１るつぼ１１０を装填チャンバ２００から除荷することができる。

第２るつぼ１２０は、蒸発チャンバ１００に係合すると（図８参照）、蒸発チャンバ１００の出口を通る材料の蒸気の流れ１２６を発生させるために蒸発手段によって蒸発条件下に置くことができる。

従って、本発明による再装填方法は、材料の蒸気の流れが中断される時間を短縮することを可能にすることが理解される。実際に、この中断は、第１るつぼ１１０を解除する作動と、第２るつぼ１２０を係合させる作動と、第２るつぼ１２０を蒸発条件下に置く作動とによって時間制限を受ける。第１るつぼ１１０、１２０が小容積のものである時に、加熱される材料７の量が限られるので、蒸発条件下に置く段階を高速にすることができる。

このようにして、本発明による蒸発セル１０を再装填する方法は、真空蒸着装置１が準連続的生産状況で作動することを可能にすると考えることができる。

有利なことに、第２るつぼ１２０の蒸発チャンバ１００との係合の前に、蒸気の流れの中断の持続時間を更に短縮するように、その時に装填チャンバ２００に置かれている第２るつぼ１２０を準備することが更に可能である。

この準備段階は、第２るつぼ１２０を蒸発条件下に置く段階の持続時間を短縮することを意図したものである。

より具体的には、本明細書では、従って、装填チャンバ２００の加熱手段２０６により、第２るつぼ１２０の予熱が、予め決められた予熱温度に至るまで実施される。

好ましくは、材料７の蒸発の開始を阻止するために、予熱温度が第２るつぼ１２０に含まれるこの材料７の蒸発温度よりも低いように加熱手段の電力が調節される。

本発明による再装填方法を装填チャンバ内で待機する単一るつぼだけを用いて記述したが、この再装填方法は、いくつかのるつぼを用いて容易に実施することができる。

例えば、再装填段階中に、カルーセルが受け入れることができる限り多くのるつぼを導入することが可能である。この場合に、装填チャンバのトラップドアの開放及び追加ポンプの使用は頻度が低く、装填チャンバ内の温度及び圧力の条件はより安定する。空きるつぼの各交換時に、カルーセル上に残っている満杯るつぼのうちの１つが挿入される。カルーセル上に存在する全てのるつぼが空である時に（るつぼは、蒸発チャンバ内で蒸発行程中である）。

更に、図１２に示すように、本発明による再装填方法は、２つの蒸発チャンバ１００、３００を有する蒸発セル１０を備えた真空蒸着装置１に対して実施することができる。

以下に続く説明から、この蒸発セルにより、材料蒸気の連続生産が可能であることが理解されるであろう。

ここで説明する例では、これらの２つの蒸発チャンバ１００、３００は、上述の蒸発チャンバ１００（図２から図１１参照）に同一であり、それぞれの蒸発手段１３１、１３２、３１１、３１２も同一である。蒸発チャンバ１００、３００は、それぞれ、これらの蒸発チャンバ１００、３００の出口１０３、３０３に接続したダクト部分１４１、１４２により、注入ダクト１４上に平行に装着される。

蒸発セル１０内の２つの蒸発チャンバ１００、３００の間には、これらの２つの蒸発チャンバ１００、３００を熱的に互いに独立されるように、アルミニウムのような耐火材料で製造された熱遮蔽体が配置される。

蒸発セル１０の外側エンクロージャ１１は、るつぼの係合及び解除を可能にする２つの挿入開口部１２、１２Ｂを含む。

相応に、装填チャンバ２００の密閉エンクロージャ２０２は、装填チャンバ２００が、第１の蒸発チャンバ１００及び第２の装填チャンバ３００とそれぞれ第１の挿入開口部１２及び第２の挿入開口部１２Ｂを通してこれらの挿入開口部が閉じられていない時に連通状態になるように、これらの挿入開口部１２、１２Ｂに対向して位置付けられた２つの開口部をその上側壁上に含む。

更に、装填チャンバ２００は、カルーセル２１１及び第１のプレート２１２に加えて、第２の蒸発チャンバ３００内のるつぼの解除及び挿入を可能にするピストン２１３Ａに関連付けられた第２のプレート２１３を含む。カルーセル２１１は、プレート２１２、２１３のいずれの上にもるつぼを置くことができるように装填チャンバ２００に配置される。

ここで、本発明による再装填方法及び本発明が連続生産を可能にする方法を以下に説明する。

本明細書では、蒸発セルの初期状況は、図１２に示すものであり、すなわち：
− 第１の蒸発チャンバ１００に置かれた殆ど空の第１るつぼ１１０が、蒸発下にあり、かつ出口１０３を通る材料７の蒸気の流れ１１６を発生させ、この流れ１１６は、それから、ダクト部分１４１及び注入ダクト１４を通ってインジェクタ１３（図示せず）まで誘導され、
− 追加ポンプ２２２を用いて減圧された装填チャンバ２００に置かれた満杯の第２るつぼ１２０が、カルーセル２１１上で待機しており、かつ装填チャンバ２００の加熱手段２０６によって予熱され、
− 第２の蒸発チャンバ３００に係合した満杯の第３るつぼ３３０が、熱遮蔽体３１２及び蒸発チャンバ３００の本体３０１を通して第３るつぼ３３０を加熱する電気抵抗３１１によって蒸発条件下に徐々に置かれる
と考える。

有利なことに、注入ダクト１４内でインジェクタ１３まで誘導される材料の流れに対して一定の流量を維持するために、第２の蒸発チャンバ３００に係合した第３るつぼ３３０は、第１るつぼ１１０内に残っている蒸発される材料７の量が予め決められた最小閾値よりも少ない時に蒸発を開始するという条件が与えられる。

注入ダクトの内側の蒸気の流れを制御するか、又は蒸発チャンバの一方から流出する蒸気の流れが他方の蒸発チャンバを汚染するのを阻止するかのいずれかの目的で、注入ダクト１３の部分１４１、１４２上に「全か無か」タイプの気密弁及び／又は調整弁を装着するという条件も与えることができる。

第１るつぼ１１０が空の時に、又は第１るつぼ１１０内に残っている蒸発される材料７の量が予め決められた下限（この下限は、上述の最小閾値よりも低い）よりも少ない時に、第１るつぼ１１０は、蒸発セル１０の再装填によって交換される。この時点で、第２の蒸発チャンバ３００は、真空蒸着チャンバ２０内で注入される蒸気の流れ量が中断されないように、インジェクタ１３に向けられている第３るつぼ３３０によって発生された蒸気の流れを受け持つ。

この再装填中に、第１るつぼ１１０は、プレート２１２を用いて第１の挿入開口部１２を通過させることにより、第１の蒸発チャンバ１００から解除される。

次に、第１るつぼ１１０は、プレート２１２からカルーセル２１１上に除荷され、カルーセル２１１の第２るつぼ１２０がプレート２１２上に装填される。

第２るつぼ１２０は、次に、第１の蒸発チャンバ１００に係合し、第２の蒸発チャンバ３００内で蒸発中にある第３るつぼ１１０内に残っている蒸発される材料７の量が予め決められた最小閾値よりも少ない時に、蒸発条件下に徐々に置かれる。

第２るつぼ１２０が第１の蒸発チャンバ１００に係合されると、装填チャンバ２００は、２つの蒸発チャンバ１００、３００からかつ真空蒸着チャンバ２０からも隔離される。

次に、第１るつぼ１１０を取り出して第４るつぼ（図示せず）を再通気された装填チャンバ２００内に導入するために、装填チャンバ２００のトラップドア２０１を開ける時になり、装填チャンバ２００内の圧力は、次に、真空蒸着チャンバ２０内のものよりも実質的に高くなる。

最後に、装填チャンバ２００の内側の圧力を蒸発チャンバ１００、３００のものと同等なレベルまで引き戻すために、この装填チャンバ２００を密閉する段階に進めることができる。

第３るつぼ３３０が空になると、本発明による再装填方法に従って第３るつぼ３３０を解除する段階、第４るつぼを係合させる段階、及び第２の蒸発チャンバ３００に係合した第４るつぼを蒸発条件下に置く段階を実施することができる。

従って、少なくとも２つの蒸発チャンバとこれらの蒸発チャンバに隣接する装填チャンバとを含む蒸発セルを有する本発明による再装填方法を実施することにより、真空蒸着装置の真空蒸着チャンバ内に注入されるようにインジェクタまで搬送される材料の蒸気の流れを決して中断しないことが可能である。従って、このインジェクタに対向する基板の流動で、連続生産を提供することが可能である。

蒸発セルの再装填率を制限するために、各々に独自の蒸発手段が設けられた多数の蒸発チャンバを含み、時に独自の弁システムがこれらのチャンバの出口に設けられた筒体を蒸発セルの外側エンクロージャに有利に設けることができる。

この筒体は、蒸発チャンバの個数に対応する個数のるつぼを一緒にまとめる「装填器」を用いて一度だけ装填することができ、装填器を設けることにより、全てのるつぼをそれらのそれぞれの蒸発チャンバに同時に係合させることが可能になる。

次に、蒸発セルの再装填方法は、
− それぞれが蒸発される材料を収容する複数のるつぼを、筒体に隣接する蒸発チャンバから予め隔離された装填チャンバ装填チャンバへまとめる、第２の装填器を装填する段階であって、この第２の装填器内の圧力が、その時点で真空蒸着チャンバ内のものよりも実質的に高い第２の装填器を装填する段階、
− この導入段階の後に、装填チャンバの内側の圧力を筒体の蒸発チャンバ内のものと同等なレベルまで引き戻すことを意図して装填チャンバを密閉する段階と、
− この密閉段階の後に、筒体から第１の装填器を解除し、その間に第１の装填器が筒体から装填チャンバに向けて移送される段階と、
− この第１の装填器を解除する段階の後に、第２の装填器を蒸発チャンバの筒体に係合させる段階と、
−この第２るつぼを係合させる段階の後に、第２の装填器のるつぼを蒸発条件下に置く段階
とを備えている。

７ 材料
１０ 蒸発セル
１１ 外側エンクロージャ
２０ 真空蒸着チャンバ
１００ 蒸発チャンバ
１０３ 蒸発チャンバ１００の出口
１１０、１２０ るつぼ
１２６ 材料７の蒸気の流れ
２００ 装填チャンバ
２０１ トラップドア

Claims (6)

1. 真空蒸着チャンバ（２０）に配置された基板（２）上に材料（７）を堆積させるために材料（７）を蒸発させることを意図して蒸発セル（１０）を再装填する方法であって、蒸発される該材料（７）を含有する第１るつぼ（１１０）が、該蒸発セル（１０）の蒸発チャンバ（１００）に係合し、該蒸発チャンバ（１００）の出口（１０３）を通る該材料（７）の蒸気の流れ（１１６）を発生させるために該第１るつぼ（１１０）を蒸発条件下に置く蒸発手段（１０１、１３１、１３２）が設けられ、該出口（１０３）が、真空蒸着チャンバ（２０）内への該蒸気の注入のためのインジェクタ（１３）に接続されている、蒸発セル（７）を再装填する方法であって、
   前記再装填する方法は、
   蒸発される前記材料（７）を含有する第２るつぼ（１２０）を隣接する前記蒸発チャンバ（１００）から予め隔離され装填チャンバ（２００）内に装填する段階であって、該装填チャンバ（２００）内の圧力がその時点で前記真空蒸着チャンバ（２０）内のものよりも実質的に高い第２ルツボを装填する段階と、
   前記導入段階の後に、前記装填チャンバ（２００）内の前記圧力を前記第１るつぼ（１１０）の前記蒸発中の前記蒸発チャンバ（１００）のものと同等なレベルまで引き戻すことを意図して該装填チャンバ（２００）を密閉する段階と、
   前記密閉段階の後に、前記第１るつぼ（１１０）を前記蒸発チャンバ（１００）から解除し、その間に該第１るつぼ（１１０）が該蒸発チャンバ（１００）から前記装填チャンバ（２００）まで移送される段階と、
   前記第１るつぼ（１１０）を解除する前記段階の後に、前記第２るつぼ（１２０）を前記蒸発チャンバ（１００）と係合させる段階と、
   前記第２るつぼ（１２０）を係合させる前記段階の後に、前記蒸発チャンバ（１００）の前記出口（１０３）を通る前記材料（７）の蒸気の流れ（１２６）を発生させるために該第２るつぼ（１２０）を蒸発条件下に置く段階と
   を含み、
   前記第２るつぼ（１２０）を係合させる前記段階中に、前記装填チャンバ（２００）は、前記蒸発チャンバ（１００）からかつ前記真空蒸着チャンバ（２０）から隔離される
   ことを特徴とする方法。
2. 前記第２るつぼ（１２０）を装填する前記段階中に、前記装填チャンバ（２００）のトラップドア（２０１）が開けられ、該第２るつぼ（１２０）は、前記蒸発セル（１０）の外側から該トラップドア（２０１）を通して該装填チャンバ（２００）内に導入されることを特徴とする請求項１に記載の再装填する方法。
3. 前記密閉段階中に、前記トラップドア（２０１）は、前記蒸発セル（１０）の外側に対して気密に閉じられ、ポンプ排気が、前記装填チャンバ（２００）の内側で行われることを特徴とする請求項２に記載の再装填する方法。
4. 前記第１るつぼ（１１０）を解除する前記段階中に、該第１るつぼ（１１０）は、前記装填チャンバ（２００）を前記蒸発チャンバ（１００）との連通状態に置く挿入開口部（１２）を通過させることにより、該蒸発チャンバ（１００）から取り出され、
   前記第２るつぼ（１２０）を係合させる前記段階中に、該第２るつぼ（１２０）は、前記挿入開口部（１２）を通過させることによって前記蒸発チャンバ（１００）内に挿入され、該挿入開口部（１２）は、前記装填チャンバ（２００）を該蒸発チャンバ（１００）から隔離するために気密に閉じられる、
   ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の再装填する方法。
5. 前記第２るつぼ（１２０）を前記蒸発チャンバ（１００）と係合させる前記段階の前に、該第２るつぼ（１２０）を蒸発条件下に置く前記段階の持続時間を短縮することを意図して該第２るつぼ（１２０）を前記装填チャンバ（２００）内に準備する段階を含むことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の再装填する方法。
6. 前記準備段階は、前記装填チャンバ（２００）内の前記第２るつぼ（１２０）を予め決められた予熱温度まで予熱する段階を含むことを特徴とする請求項５に記載の再装填する方法。