JP2015160891A - 粘着剤層付き部材 - Google Patents

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Abstract

【課題】フッ素系樹脂を粘着剤層として用いる粘着剤層付き部材に関し、より優れた粘着性を有し、固定性に優れた粘着剤層付き部材を提供すること。
【解決手段】部材の少なくとも一面に粘着剤層が貼着された粘着剤層付き部材であって、粘着剤層がフッ素系樹脂を含み、粘着剤層中の残留ひずみが0.05%以下で貼着されていることを特徴とする、粘着剤層付き部材。
【選択図】図1

Description

本発明は、部材の少なくとも一面に粘着剤層が貼着された粘着剤層付き部材に関する。
部材を接合するために粘着剤層を用いることが知られている。粘着剤層による接合の適用範囲は、紙やプラスチック板といった家庭用、文房具用から、自動車、家電製品等の産業機械用、住宅用等、幅広い用途で使用されている。
また近年、電子デバイスの軽量化、薄型化に伴い、当該電子デバイスに用いられる基板の薄型化が進んでいる。薄型基板は、加工、処理、搬送等において、ハンドリングしづらいという問題がある。例えば、薄型基板にパターンを形成する際に薄型基板を単体で加工に供すると、ハンドリング性の悪さに起因して薄型基板にゆがみが生じやすく、精度よく安定的にパターンを形成することが困難である。
上記のような問題を解決するため、所定の台座に、粘着剤層を介して、薄型基板を貼着して、当該台座に仮固定された状態の薄型基板を、加工、処理、搬送等に供することが行われている。
例えば、薄膜基板としての半導体ウエハと台座としての支持ウエハとを、両面粘着シートにより貼り合わせ、形成された積層体を搬送等する技術が知られている(例えば、特許文献1〜3)。当該技術においては、処理後、台座から半導体ウエハを剥離することを考慮し、両面粘着シートとして、熱膨張型粘着剤または紫外線感光性粘着剤が用いられている。
熱膨張型粘着剤はマイクロカプセルを含む粘着剤であり、加熱により当該マイクロカプセルが発泡して粘着力が低下する。しかしながら、熱膨張型粘着剤を用いて薄型基板(半導体ウエハ)を仮固定した場合、薄膜基板を真空条件下での処理(例えば、スパッタ処理、CVD処理)に供する際に、当該マイクロカプセル中のガスが放出され、不要に粘着力が低下したり、真空チャンバーを汚染するという問題がある。また、剥離時の加熱温度(すなわちマイクロカプセルが発泡する温度)より高い温度で、薄型基板の処理を行うことができないという問題がある。さらに、剥離時に粘着剤由来の不純物が薄型基板に残るという問題がある。
紫外線感光性粘着剤は、紫外線硬化型の樹脂および光重合開始剤を含む粘着剤であり、紫外線照射により粘着力が低下する。紫外線感光性粘着剤においては、光重合開始剤の熱分解性に起因して、薄型基板の処理温度が制約されるという問題、ならびに、高温処理を行った場合には紫外線照射による粘着力低下が不十分になるという問題が生じる。
また、熱膨張型粘着剤、紫外線感光性粘着剤等の従来の樹脂は、高温下において、ガス(例えば、熱分解性ガス)が発生し、被着体、加工・処理装置等を汚染するという問題がある。
さらに、従来の粘着剤は、酸に対する耐久性、および極性溶媒に対する耐久性が不十分であり、例えば、薄型基板にパターンを形成する際のエッチング処理、極性溶媒による洗浄処理等において、当該処理に用いる薬液により不要に粘着性が低下するという問題がある。
特開2005―116948号公報 特開2010―56562号公報 特開平6−216092号公報
本発明者らは、上記問題点に対し、耐熱性、耐薬品性等に優れ、アウトガスが少ない粘着剤層として、フッ素系樹脂を粘着剤層として用いることを見いだした。しかしながらフッ素系樹脂を粘着剤層として用いる場合、同じ粘着剤層であっても貼付け条件により粘着力が異なる場合が確認されている。本発明における目的は、より優れた粘着性を有し、固定性に優れた粘着剤層付き部材を提供することにある。
本発明は、部材の少なくとも一面に粘着剤層が貼着された粘着剤層付き部材であって、
粘着剤層がフッ素系樹脂を含み、
粘着剤層中の残留ひずみが0.05%以下で貼着されていることを特徴とする、粘着剤層付き部材を提供する。
特に前記フッ素系樹脂が、ポリテトラフルオロエチレンであることを特徴とし、またポリテトラフルオロエチレンの結晶化度が80%以上であることを特徴とする。
また本発明は、前記粘着剤層の厚みが、40μm以上であることを特徴とする。
本発明の粘着剤層付き部材の粘着剤層の残留ひずみは、0.05%以下であり、0.03%以下であることが好ましく、0.002%以下であることがより好ましい。粘着剤層中の残留ひずみが0.05%以下であると、高い接着力を得ることができ、安定した部材の固定性を得ることが出来る。
粘着剤層中の残留ひずみが接着力に及ぼす理由は明らかではないが、以下のように推測される。すなわちフッ素樹脂は結晶性分子鎖の運動性が高く、圧力を加えることで被着体に追従し、接着することができる。すなわち圧力を高くすることで被着体との接着面積が増加し接着力は大きくなる。しかし圧力が高すぎるとフッ素樹脂に残留ひずみが発生する。残留ひずみがあることで、外力に対してわずかな力で界面が剥がれる力を満たすため、接着力は低下すると考えられる。
粘着剤層中の残留ひずみは、X線散乱法により測定された結晶格子歪みから求めることができる。粉末X線回折装置により、測定散乱角2θ=17.6〜18.6°の範囲で0.01°おきに回折強度を測定し、得られた回折像のピーク角2θ、およびX線源の波長λから、PTFEの結晶格子間隔dを算出し、dを基に格子歪みεを算出した。各測定角度における積算時間(露光時間)は10秒とした。算出にあたっては下記式(1)、(2)を用いた。
2dsinθ=λ (1)
ε=(d−d)/d (2)
ここで、λはX線源(Cu Kα線)の波長(=0.15418nm)であり、dは接着していない態のPTFEの格子面間隔(=0.4846nm)を使用しうる。
本発明の粘着剤層付き部材においては、粘着剤層中の残留ひずみが0.05%以下とすることで、粘着力の低下がなく、安定した固定性を得ることが出来る。
図1は、本発明の1つの実施形態による粘着剤層付き部材の概略断面図である。
(粘着剤層付き部材)
本発明の粘着剤層付き部材について、図面を用いて説明する。
図1(a)は、本発明の1つの実施形態による粘着剤層付き部材の概略断面図である。図1(a)に示す粘着剤層付き部材100は、部材20の一方の面に粘着剤層10が貼着されている。図1(b)は、本発明の別の実施形態による粘着剤層付き部材の概略断面図である。図1(b)に示す粘着剤層付き部材200は、部材20の一方の面に粘着剤層10が貼着されており、さらに粘着剤層10のもう一方の面に別の部材30が貼着されている。図1(b)において部材20と部材30は異なる部材であるが、同じ部材同士を粘着剤層10により接合しているものであっても良い。
本発明の粘着剤層付き部材100(200)は、任意の適切な形状であり得る。例えば、長さが10m〜3000m程度の長尺状であってもよく、任意の適切な形状に成形または切断された形状であってもよい。また粘着剤層10は、部材20(30)の全面に設けられていても良く、部分的に設けられていても良い。
(粘着剤層)
本発明の粘着剤層付き部材における粘着剤層10は、フッ素系樹脂を含む。フッ素系樹脂としては、例えば、完全フッ素化樹脂であるポリテトラフルオロエチレン(以下、PTFEともいう);ポリクロロトリフルオロエチレン(PCTFE)、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)、ポリフッ化ビニル(PVF)等の部分フッ素化樹脂;ペルフルオロアルコキシフッ素樹脂(PFA)、四フッ化エチレン・六フッ化プロピレン共重合体(FEP)、エチレン・四フッ化エチレン共重合体(ETFE)、エチレン・クロロトリフルオロエチレン共重合体(ECTFE)等のフッ素化樹脂共重合体;含フッ素アクリル系樹脂;フッ素ゴム等が挙げられる。これらの樹脂は単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。フッ素系樹脂を用いれば、耐熱性、耐薬品性等に優れ、アウトガスが少ない粘着剤層を形成することができる。
上記フッ素系樹脂の含有割合は、粘着剤層中の樹脂の全重量に対して、好ましくは90重量%〜100重量%であり、より好ましくは95重量〜100重量%であり、さらに好ましくは99重量%〜100重量%である。
より好ましくは、上記粘着剤層は、フッ素系樹脂としてPTFEを含む。PTFEを用いれば、粘着力を高くすることができる。また、耐熱性、耐薬品性、低アウトガス性等の観点からもより優れた粘着シートを得ることができる。
上記PTFEの含有割合は、粘着剤層中の樹脂の全重量に対して、好ましくは80重量%以上であり、より好ましくは90重量%以上であり、さらに好ましくは90重量%〜100重量%である。1つの実施形態においては、上記粘着剤層は、樹脂としてPTFEのみを用いて形成される。
上記PTFEの結晶化度は、好ましくは80%以上であり、より好ましくは90%以上であり、さらに好ましくは95%以上である。このような範囲であれば、十分な粘着力を有する粘着剤層を得ることができる。PTFEの結晶部分はポリエチレンやポリプロピレンなどの結晶とは異なり、分子鎖は剛直ではあるが分子間の相互作用が小さく、配向した分子鎖間が滑りやすい状態になっている。そのため、結晶化度が高いほどPTFEを被着体に粘着させたとき、被着体のミクロな凹凸にPTFEが追従し、その結果、高い粘着力を得ることができると推定される。上記PTFEの結晶化度の上限は、好ましくは100%以下であり、より好ましくは99%以下であり、さらに好ましくは98%以下である。完全に結晶化されたPTFE(結晶化度が100%のPTFE)を得ることは困難であり、生産性を考慮すれば、結晶化度が99%以下のPTFEを用いることが好ましい。なお、本明細書において、結晶化度は、高温示差走査熱量計を用いて測定された、PTFE試料を0℃〜400℃まで昇温させた時の融解熱量(J/g)から求められる。すなわち、PTFEの結晶化度(%)は、(測定したPTFE試料の融解熱量(J/g)/結晶化度100%のPTFEの融解熱量92.84(J/g))×100の式により求められる。
上記粘着剤層を形成する樹脂として、PTFEとその他のフッ素系樹脂とを併用してもよい。PTFE以外のフッ素系樹脂の含有割合は、粘着剤層中の樹脂の全重量に対して、好ましくは20重量%未満であり、より好ましくは10重量%未満である。
上記粘着剤層の厚みは、好ましくは40μm以上であり、より好ましくは100μm〜400μmであり、さらに好ましくは150μm〜300μmである。このような範囲であれば、被着体の変形に対する追従性に優れ、変形しやすい(例えば、たわみやすい)被着体に対しても良好な粘着力を示す粘着剤層を得ることができる。また、粘着剤層の厚みが上記範囲であれば、コストを抑えて、厚みの均一性が高い粘着剤層を形成することができる。なお、ここでいう粘着剤層の厚みとは、粘着剤層を部材に加圧貼着する前の厚みをいう。
上記粘着剤層は、昇温速度10℃/分で25℃から300℃まで加熱した際の重量減少率が、1重量%以下であることが好ましく、0.3重量%以下であることがより好ましい。当該加熱による重量減少率が小さいことは、高温下において粘着剤層から発生するガス(例えば、粘着剤層成分が熱分解されて発生するガス)が少ないことを意味する。このような粘着剤層を備える粘着シートは、高温下での使用に好適であり、例えば、基板を仮固定して高温下で処理する場合に、装置の汚染を防止することができる。
1つの実施形態においては、上記粘着剤層は、上記PTFEを含む樹脂シート(以下、PTFEシートともいう)から形成される。すなわち、本発明における粘着剤層は、PTFEシートのみから形成されている。また本発明における粘着剤層は、PTFEシートが他の基材層を備えていても良い。
上記PTFEシートは、多孔質であってもよく、無孔質であってもよい。多孔質PTFEシートを用いれば、被着体を貼り付ける際にPTFEシートが容易に変形するため、低い圧力で、粘着力を得ることができる。一方、無孔質PTFEシートを用いる場合、粘着力を得るために同膜厚の多孔質PTFEシートで要する圧力よりも高い圧力で圧着する必要があるが、同膜厚の多孔質PTFEシートよりも高い粘着力を得ることができる。
上記PTFEシートが多孔質である場合、当該PTFEシートの気孔率は、好ましくは50%〜90%であり、より好ましくは60%〜85%であり、さらに好ましくは65%〜80%である。気孔率が50%未満の場合、被着体を貼り付ける際にPTFEシートが変形し難くなり、十分な粘着力を得ることができないおそれがある。気孔率が90%を超える場合、被着体を貼り付ける際の条件(例えば、プレスして圧着したときの厚み)を制御することが難しくなるおそれがある。なお、気孔率(%)は、{1−PTFEシートの見かけ密度(g/cm)/PTFEシートの真密度(g/cm)}×100の式から求めることができる。PTFEシートがPTFEのみから形成される場合、PTFEシートの真密度は2.18g/cmである。
上記PTFEシートの製造方法としては、任意の適切な方法が採用され得る。上記PTFEを含む樹脂シートは、例えば、PTFEパウダーと液状潤滑剤とを含むペースト状の混和物を得、当該混和物を予備成形し、予備成形体をさらに押し出し成形し、当該押し出し成形体を加熱して得ることができる。当該加熱の前に、押し出し成形体を圧延してもよい。また、PTFEシートは、所定の延伸工程を経て、多孔質化されていてもよい。
上記PTFEパウダーの形態としては、ファインパウダー、モールディングパウダー、ディスパージョン等が挙げられる。好ましくは、PTFEパウダーとして、ファインパウダーが用いられる。ファインパウダーを用いれば、成形性よく、高結晶化度のPTFEシートを得ることができる。ファインパウダーとは、乳化重合法で得られたPTFEの水性分散液から、PTFEを凝集、分離、乾燥して得られる粉末を意味する。ファインパウダーの粒径は、例えば、100μm〜1000μmである。
上記液状潤滑剤としては、PTFEパウダー(例えば、PTFEファインパウダー)の表面を濡らすことができ、抽出や加熱により除去できるものであれば特に制限されず、任意の適切な液体を用いることができる。液状潤滑剤としては、例えば、流動パラフィン、ナフサ、ホワイトオイル等の炭化水素系溶剤が用いられる。上記液状潤滑剤の添加量は、PTFEパウダー100重量部に対して、好ましくは5重量部〜50重量部である。このような範囲であれば、粘着力が大きいPTFEシートを得ることができる。
上記ペースト状の混和物は、上述したPTFE以外のフッ素系樹脂をさらに含んでいてもよい。
上記ペースト状の混和物を得た後、当該混和物を予備成形する。予備成形は、所定の圧力をかけて当該混和物を押し固めて成形される。予備成形時の圧力は、液状潤滑剤が絞り出されない程度の圧力であることが好ましい。予備成形により得られた予備成形体の形状は、例えば、棒状である。
上記予備成形体を、さらに押し出し成形して押し出し成形体を得る。押し出し成形体の形状は、例えば、長尺テープ状である。押し出し成形体の厚みは、所望とするPTFEシートの厚み、後工程としての延伸工程の有無等に応じて、調整され得る。押し出し成形体の厚みは、例えば、0.5mm〜4mmである。押し出し成形においては、例えば、50℃〜80℃の温度で加熱しながら、上記予備成形体を押し出すことが好ましい。加熱しながら押し出すことにより、粘着力が高いPTFEシートを得ることができる。
所望とするPTFEシートの厚み、後工程としての延伸工程の有無等に応じて、上記押し出し成形体を圧延してもよい。圧延は、例えば、所定のギャップで配置された一対のロール間に押し出し成形体を通過させて行うことができる。圧延後の押し出し成形体の厚みは、圧延前の押し出し成形体の厚みに対して、好ましくは5%〜80%であり、より好ましくは10%〜60%である。
上記のようにして形成された押し出し成形体を加熱する。当該加熱により、液状潤滑剤が除去される。当該加熱の方法としては、例えば、所定の加熱温度に昇温したロール上で加熱する方法、所定の加熱温度に昇温した雰囲気内で加熱する方法等が挙げられる。好ましくは、当該加熱の後、任意の適切な条件で冷却する。1つの実施形態においては、当該加熱・冷却により得られた乾燥成形体が、PTFEシートとなる。この実施形態(すなわち、延伸工程を含まない実施形態)においては、無孔質PTFEシートを得ることができる。
押し出し成形体を加熱する際の加熱温度は、PTFEの融点以下であることが好ましい。具体的には、当該加熱温度は、340℃以下であることが好ましく、25℃〜280℃であることがより好ましく、80℃〜250℃であることがさらに好ましく、100℃〜200℃であることが特に好ましい。このような範囲であれば、結晶化度が高いPTFEを含むPTFEシート、具体的には結晶化度が80%以上のPTFEを含むPTFEシートを得ることができる。押し出し成形体の加熱は、加熱温度を段階的に昇温または降温させて行ってもよい。加熱時間は、押し出し成形体の厚み、押し出し成形体中の液状潤滑剤の量等に応じて、適切に設定され得る。加熱時間は、例えば、1秒〜10分である。
1つの実施形態においては、上記PTFEシートは、上記押し出し成形体、または、押し出し成形体を加熱して得られた乾燥成形体を延伸させて得られ得る。延伸工程を経れば、多孔質PTFEシートを得ることができる。
上記延伸工程における延伸は、一軸延伸であってもよく、二軸延伸であってもよい。延伸は、一段階で行ってもよいし、多段階で行ってもよい。
一軸延伸を行う場合の延伸方法としては、例えば、ロール延伸機を用いて長手方向(MD)に延伸する方法、テンター延伸機を用いて幅方向(TD)に延伸する方法を用いた方法等が挙げられる。一軸延伸を行う場合、延伸倍率は、好ましくは2倍〜15倍であり、より好ましくは5倍〜10倍である。このような範囲であれば、延伸ムラまたは破断を防止して、安定的に、厚み等の特性が均一なPTFEシートを得ることができる。延伸温度は、PTFEの融点以下であることが好ましい。具体的には、延伸温度は、340℃以下であることが好ましく、25℃〜300℃であることがより好ましく、150℃〜300℃であることがさらに好ましく、240℃〜300℃であることが特に好ましく、270℃〜290℃であることが最も好ましい。このような範囲であれば、結晶化度が高いPTFEを含むPTFEシート、具体的には結晶化度が80%以上のPTFEを含むPTFEシートを得ることができる。
二軸延伸を行う場合の延伸方法としては、例えば、MD延伸した一軸延伸シートをさらにTD延伸する方法、二軸延伸機を用いる方法等が挙げられる。二軸延伸を行う場合、面積延伸倍率(MD延伸倍率とTD延伸倍率との積)は、好ましくは50倍〜900倍であり、より好ましくは100倍〜300倍である。二軸延伸を行う場合においても、延伸温度は、340℃以下であることが好ましく、25℃〜300℃であることがより好ましく、150℃〜300℃であることがさらに好ましく、240℃〜300℃であることが特に好ましく、270℃〜290℃であることが最も好ましい。
延伸工程の後、任意の適切な条件でPTFEシートを冷却することが好ましい。
上記のように、PTFEシートは、PTFEの融点(340℃)以上の熱履歴を経ずに製造されることが好ましい。PTFEの融点以上の熱履歴を経ずに製造することにより、結晶化度の高いPTFEシートを得ることができる。より詳細には、PTFEの融点以上の熱履歴を経ずに製造することにより、原料としてのPTFEパウダーの結晶化度を低下させることなく、結晶化度の高いPTFEを得ることができる。
上記粘着剤層は、任意の適切な添加剤をさらに含み得る。添加剤の具体例としては、ガラスビーズ、バルーン、フィラー、顔料等が挙げられる。これらの添加剤は、例えば、PTFEパウダー(例えば、ファインパウダー)と混合し、その後、成形することにより添加され得る。添加剤の含有割合は、粘着剤層の重量に対して、好ましくは50重量%以下であり、より好ましくは40重量%以下であり、さらに好ましくは30重量%以下であり、特に好ましくは20重量%以下である。また、上記粘着剤層は、上記液状潤滑剤が残存していてもよい。粘着剤層中の液状潤滑剤の含有割合は、粘着剤層の重量に対して、例えば、0.01重量%〜5重量%である。
本発明において粘着剤層は基材を含んでいてもよい。基材層の厚みは、好ましくは15μm〜50μmであり、より好ましくは25μm〜38μmである。
(部材)
本発明の粘着剤層付き部材における部材20(30)は、特に限定されないが、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ−1−ブテン、ポリ−4−メチル−1−ペンテン、エチレン・プロピレン共重合体、エチレン・1−ブテン共重合体、エチレン・酢酸ビニル共重合体、エチレン・エチルアクリレート共重合体、エチレン・ビニルアルコール共重合体等のポリオレフィン系樹脂から形成される樹脂フィルム;ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンテレフタレート等のポリエステル系樹脂から形成される樹脂フィルム;ポリアクリレートから形成される樹脂フィルム;ポリスチレンから形成される樹脂フィルム;ナイロン6、ナイロン6,6、部分芳香族ポリアミド等のポリアミド系樹脂から形成される樹脂フィルム;ポリ塩化ビニルから形成される樹脂フィルム;ポリ塩化ビニリデンから形成される樹脂フィルム、ポリカーボネートから形成される樹脂フィルム;ポリウレタンフォーム、ポリエチレンフォーム等のフォーム基材;クラフト紙、クレープ紙、和紙等の紙;綿布、スフ布等の布;ポリエステル不織布、ビニロン不織布等の不織布;アルミニウム箔、銅箔等の金属箔等が挙げられる。
また本発明においては、部材20(30)として、電子デバイス用の部材(例えば、基板)が好適に用いられ得る。上記部材としては、例えば、シリコン製の部材、サファイヤ製の部材、炭化ケイ素製の部材、ガラス製(例えば、ソーダライム製、強化ガラス製)の部材、樹脂製(例えば、ポリイミド製、ポリカーボネート製、ポリーテルスルホン製)の部材、金属製(例えば、ステンレス製)の部材、ガラス繊維を含む部材、有機無機ハイブリッド材料から構成される部材(例えば、シルセスキオキサンとポリカーボネート等の熱可塑性樹脂とから構成される基板)等が挙げられる。また、ガラス製(例えば、ソーダライム製、強化ガラス製)の台座、シリコン製の台座、サファイヤ製の台座、金属製(例えば、ステンレス製)の台座等が挙げられる。
(貼着方法)
本発明の粘着剤層付き部材は、部材の少なくとも一面に、前記粘着剤層が貼着されており、粘着剤層中の残留ひずみが0.05%以下で貼着されていることを特徴とする。粘着剤層中の残留ひずみは、粘着剤層を貼着する際に粘着剤層が変形した場合に発生し、貼り付け圧力が高くなりすぎると発生する。このため、本発明において粘着剤層の貼付圧力は、25MPa以下であることが好ましく、20MPa以下であることがより好ましい。貼付圧力が25MPaを超えると、PTFEシートの変形が大きく、残留ひずみが発生し、粘着力は低下する場合がある。また貼付圧力は、5MPa以上が好ましく、10MPa以上がより好ましい。
粘着剤層を貼着する際に圧力を加える時間は、特に限定されないが、1秒〜1分程度であるのが好ましく、5秒〜30秒程度であるのがより好ましい。またその際の温度は、特に限定されないが、10℃〜100℃程度であるのが好ましく、20℃〜50℃程度であるのがより好ましい。
部材に粘着剤層を貼着する際の粘着剤層の圧縮率は、20%以下であることが好ましく、15%以下であることがより好ましい。圧縮率が20%を超えると、粘着剤層中に残留ひずみが発生する場合がある。なお本発明において粘着剤層の圧縮率とは、部材に貼着する前後の粘着剤層の厚み(μm)から、以下の式により算出される値をいう。
圧縮率(%)=100×[(部材に貼り付ける前の粘着剤層の厚さ)−(部材に貼着後の粘着剤層の厚さ)]/(部材に貼り付ける前の粘着剤層の厚さ)
本発明の粘着剤層付き部材は、例えば、電子デバイスに用いられる部材を搬送、加工、処理等する際に、好適に用いることができる。
以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれら実施例になんら限定されるものではない。
実施例1
PTFEファインパウダー(商品名「ポリフロンPTFE F−104」、圧縮強さ(ASTM D695、1%変形、25℃)5〜6MPa、ダイキン工業社製)100重量部と、液状潤滑剤としてn−ドデカンを20重量部とを混合して、ペースト状の混和物を得た。得られた混和物をペースト押し出しにより成形して、押し出し成形体(厚み200μm)を得た。次いで、得られた押し出し成形体を、150℃で60秒間加熱して、液状潤滑剤を乾燥除去して、その後、100℃で5分間加熱し、その後、25℃の室温下で冷却して、厚み196μmのPTFEシートからなる粘着剤層を得た。なお後述する方法で測定されるPTFEシートの結晶化度は95%であった。
得られたPTFEシートを厚さ50μmのPETフィルム(商品名「ダイヤホイルT100−50S」、三菱化学ポリエステルフィルム社製)で挟み、真空プレス機(装置名「MS−VPF−50」、名庄プレス社製)により圧力5MPa、温度25℃で10秒間圧力を加え、PTFEシートとPETフィルムを貼着した。貼着後のPTFEシートの厚みは、189μmであった。
実施例2
PTFEシートとPETフィルムの貼着時の圧力を10MPaとした以外は実施例1と同様にしてPTFEシートとPETフィルムを貼着した。貼着後のPTFEシートの厚みは、182μmであった。
実施例3
PTFEシートとPETフィルムの貼着時の圧力を15MPaとした以外は実施例1と同様にしてPTFEシートとPETフィルムを貼着した。貼着後のPTFEシートの厚みは、174μmであった。
実施例4
PTFEシートとPETフィルムの貼着時の圧力を20MPaとした以外は実施例1と同様にしてPTFEシートとPETフィルムを貼着した。貼着後のPTFEシートの厚みは、167μmであった。
実施例5
PTFEシートとPETフィルムの貼着時の圧力を25MPaとした以外は実施例1と同様にしてPTFEシートとPETフィルムを貼着した。貼着後のPTFEシートの厚みは、160μmであった。
比較例1
PTFEシートとPETフィルムの貼着時の圧力を30MPaとした以外は実施例1と同様にしてPTFEシートとPETフィルムを貼着した。貼着後のPTFEシートの厚みは、152μmであった。
比較例2
PTFEシートとPETフィルムの貼着時の圧力を40MPaとした以外は実施例1と同様にしてPTFEシートとPETフィルムを貼着した。貼着後のPTFEシートの厚みは、139μmであった。
比較例3
PTFEシートとPETフィルムの貼着時の圧力を50MPaとした以外は実施例1と同様にしてPTFEシートとPETフィルムを貼着した。貼着後のPTFEシートの厚みは、137μmであった。
[評価]
実施例および比較例で得られた粘着剤層付き部材を以下の評価に供した。結果を表1に示す。
<結晶化度>
高温示差走査熱量計(装置名「Q2000」、TAインスツルメント社製)を用い、0℃〜400℃まで昇温させた時の融解熱量[J/g]を測定した。昇温速度は20℃/minで実施した。粘着シートを構成するPTFEの結晶化度はPTFEの完全結晶時の融解熱量を92.84[J/g]として(測定した融解熱量/92.84)×100(%)の式から算出した。
<圧縮率>
粘着剤層の圧縮率とは、部材に貼着する前後の粘着剤層の厚み(μm)から、以下の式により算出した。
圧縮率(%)=100×[(部材に貼り付ける前の粘着剤層の厚さ)−(部材に貼着後の粘着剤層の厚さ)]/(部材に貼り付ける前の粘着剤層の厚さ)
<残留ひずみ>
実施例および比較例で作製した粘着剤層付き部材について、粉末X線回折装置(装置名「RINT2000」、リガク社製)によるX線散乱法測定により結晶格子歪みを測定した。測定散乱角2θ=17.6〜18.6°の範囲で0.01°おきに回折強度を測定し、得られた回折像のピーク角2θ、およびX線源の波長λから、PTFEの結晶格子間隔dを算出し、dを基に格子歪みεを算出した。各測定角度における積算時間(露光時間)は10秒とした。算出にあたっては下記式(1)、(2)を用いた。
2dsinθ=λ (1)
ε=(d−d)/d (2)
ここで、λはX線源(Cu Kα線)の波長(=0.15418nm)であり、dは接着していない態のPTFEの格子面間隔(=0.4846nm)を使用した。
<粘着力>
実施例および比較例で作製した粘着剤層付き部材について、長さ100mm×25mm幅のサイズに切りだして評価サンプルとした。片側のPETフィルムを両面テープ(商品名「No.500」、日東電工社製)でPE板に固定した。反対側のPETフィルムとPTFEシートをチャックで掴み、「山本式変角度ピール試験機」(旭精工社製)で粘着力を測定した。剥離角度は90度、剥離速度は50mm/minとした。粘着力は0.15N/25mm以上であることが好ましい。
<固定性>
実施例および比較例で作製した粘着剤層付き部材について、40mm×100mmに切り出して評価サンプルとした。評価サンプルの片側のPETフィルムを剥がし、PTFEシート面を第1のガラス(松浪ガラス社製、商品名「MICRO SLIDE GLASS S200423」、サイズ65mm×165mm、厚み1.2mm)の片面に2kgハンドローラーにて10往復の条件にて貼り付けた。さらに、評価サンプルの第1のガラスとは反対側の面のPETフィルムを剥がし、PTFシート面を第2のガラス(松浪ガラス社製、商品名「MICRO SLIDE GLASS S1214」、サイズ25mm×75mm、厚み1.2mm)を2kgハンドローラーにて10往復の条件にて貼り付けた。このようにして得られた積層体を、第2のガラスが下側になるようにして、45℃傾けて25℃下で静置した。表1中、1日経過しても第2のガラスが落下しなかった場合を○、1日以内に第2のガラスが自重により落下した場合を×とした。
Figure 2015160891
実施例の粘着剤層付き部材は、粘着剤層中の残留ひずみが0.05%以下であるため、粘着力が高く、固定性に優れることが確認される。一方比較例に係る粘着剤層付き部材は、粘着剤層中の残留ひずみが0.05%を超えており、粘着力が低く固定性に劣ることが分かる。
10 粘着剤層
20、30 部材
100、200 粘着剤層付き部材

Claims (4)

  1. 部材の少なくとも一面に粘着剤層が貼着された粘着剤層付き部材であって、
    粘着剤層がフッ素系樹脂を含み、
    粘着剤層中の残留ひずみが0.05%以下で貼着されていることを特徴とする、粘着剤層付き部材。
  2. 前記フッ素系樹脂が、ポリテトラフルオロエチレンである、請求項1に記載の粘着剤層付き部材。
  3. 前記ポリテトラフルオロエチレンの結晶化度が80%以上である、請求項2に記載の粘着剤層付き部材。
  4. 前記粘着剤層の厚みが、40μm以上である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の粘着剤層付き部材。
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