JP2015158200A - ポンプ - Google Patents

Abstract

【課題】あらゆる空間的状態、または略あらゆる空間的状態においてレシーバーに対して設けられ、そして作動させられることが可能である、柔軟に使用可能なポンプを提供することである。【解決手段】ポンプ、特に真空ポンプであって、回転軸１４を中心として回転可能な一つの回転シャフト１２を有し、回転シャフトの回転可能なサポートの為に使用される回転支承部８４に潤滑媒体を搬送するための搬送ポンプ１１０を有し、該搬送ポンプには、作動媒体の為の第一の逆流部１１４および第二の逆流部１１６を有し、回転軸が垂直に対して０度から１８０度の範囲の角度を形成する各空間的状態において、ポンプがレシーバーに接続可能であること、および各空間的状態において潤滑媒体が、両方の逆流部の少なくとも一方を介して回転支承部から搬送ポンプへと逆流可能であるよう、搬送ポンプと両方の逆流部が、ポンプに設けられた構成を有する。【選択図】図３

Description

本発明は、一つの回転軸を中心として回転可能な回転シャフト、回転シャフトの回転可能なサポートに使用される回転支承部に作動媒体を供給するために、作動媒体、特に潤滑媒体を搬送するための搬送ポンプを有するポンプ、特に真空ポンプに関する。

そのようなポンプは、レシーバー（または真空チャンバー、独語：Ｒｅｚｉｐｉｅｎｔ）の汲み出し（またはポンプアウト、独語：Ａｕｓｐｕｍｐｅｎ）、または真空引きの為に使用される。ポンプは、このため一つのフランジを有している。このフランジを介してこれはレシーバーに接続されている。先行技術から公知のポンプにおいて注意すべきは、これが各状態でレシーバーに接続されておらず、作動させられることが可能であるという点である。例えば、基本的に上に向かって向けられたフランジとともにのみ運転させられることが可能であるというポンプが公知である。このポンプが下に向かって向けられたフランジと共に、つまりある意味、逆立ち状態でレシーバーに接続され、作動させられると、作動媒体は搬送ポンプと回転支承部の間を循環できない。というのは、回転支承部の重力によって搬送ポンプに向かって逆流する作動媒体が、逆立ちしたポンプにおいては、搬送ポンプに向かって戻る方向へと流れることができないからである。これによってポンプは、逆立ち運転の際に損傷を受ける可能性がある。

他のポンプは、逆に、下に向かって向けられたフランジ、つまり逆立ちした状態でレシーバーに接続される必要がある。というのは、作動媒体がこの状態でのみ重力によって回転支承部から搬送ポンプへと戻って搬送されることが可能だからである。

よって先行技術において公知のポンプにおいては、該状態または向きにおいて、ポンプがレシーバーに設けられ、そして作動させられることが可能である、その空間的状態または向きが注意される必要がある。状態または向きが注意されないままであることができるポンプは、よって望まれているであろう。

独国特許出願公開第１４７７７２１Ａ２号明細書

よって本発明の課題は、あらゆる空間的状態、または略あらゆる空間的状態においてレシーバーに対して設けられ、そして作動させられることが可能である、柔軟に使用可能なポンプを提供することである。特に、改造（または組み換え、独語：Ｕｍｂａｕ）せずに直立した状態でも逆立ちした状態でもレシーバーに接続され、そして作動させられることが可能であるポンプが提供されるべきである。

該課題は、請求項１に記載の特徴を有するポンプによって解決される。本発明の好ましい実施形および改良形は、従属請求項に記載される。

発明に係るポンプは、一つの回転軸を中心として回転可能な回転シャフト、作動媒体、特に潤滑媒体を搬送し、回転シャフトの回転可能なサポートの為に使用される回転支承部に作動媒体を供給する搬送ポンプ、および作動媒体の為の少なくとも一つの第一の逆流部および第二の逆流部を有し、その際、ポンプは回転軸が垂直に対して０度（含む）から１８０度（含む）の領域の角度を成す各空間的状態でレシーバーに接続可能であり、およびその際、搬送ポンプと両方の逆流部は、あらゆる空間的状態において作動媒体が両方の逆流部の少なくとも一方を介して回転支承部から搬送ポンプへと戻るよう案内可能である。

よってポンプは、あらゆる空間的状態でレシーバーに接続され、そして作動させられることが可能である。というのは、あらゆる空間的状態において少なくとも一つの逆流部を介して、回転支承部から搬送ポンプへの、特に重力に補助された作動媒体の戻り案内が保証されるからである。よってポンプはある意味、全ての状態で機能する。よってこれはあらゆる空間的状態で、意図に応じて使用することが可能である。特に、これは直立した状態でも、逆立ちした状態でも使用されることが可能である。

先行技術において公知な真空ポンプにおいては、直立した方向に向けられた運転の為に構成された真空ポンプが、逆立ちした状態で使用されるべきとき、搬送ポンプの向きが真空ポンプに対して変更される必要があるということが必要である可能性がある。つまり、先行技術において公知の真空ポンプにおいては、搬送ポンプが組み替えられる必要がある。発明に係るポンプは、これと反対に、すべての空間的状態において意図に応じて作動させることが可能であり、その際、搬送ポンプは組み替えられる必要がない。

好ましくは搬送ポンプは、一つの回転軸を中心として回転可能な少なくとも一つの搬送部、特に搬送ローターを有している。そして、回転軸が回転軸に対して垂直に推移するよう回転シャフトに設けられている。搬送ポンプの回転シャフトに対するそのように配置される際、搬送ポンプによって簡単に、回転支承部に作動媒体を供給することが保証される。

好ましくは、搬送ポンプは回転シャフトの側方に設けられている。これによって、搬送ポンプがポンプの下側に存在する９０度の空間的状態で作動媒体は、重力により、少なくとも一つの逆流部を通って搬送ポンプへと逆流することが可能である。

作動媒体は、ポンプの０度から９０度の空間的状態において、第一の逆流部を介して、そしてポンプの９０度から１８０度の空間的状態において、第二の逆流部を介して、回転支承部から搬送ポンプへと戻り案内可能であることが可能である。よって、作動媒体は、すべての可能な空間的状態で第一または第二の逆流部を通って搬送ポンプへと逆流可能である。

ポンプの０度の空間的状態に関して、第一の逆流部が第一の逆流部チャネルを有し、この逆流部チャネルが回転支承部から離れ、放射方向外側かつ下に向かって第一のリザーバーへと案内されており、そして、第二の逆流部が第二の逆流部チャネルを有し、この逆流部チャネルが回転支承部から離れ、放射方向外側に向かってかつ上に向かって第二のリザーバーへと案内されていると、特に有利である。よって作動媒体は、直立して配置されたポンプにおいては重力の効果により、下に向かって傾斜した第一の逆流部チャネルを通って回転支承部を離れ、第一のリザーバーへと流れることができる。相応して、逆立ちしたポンプにおいては、作動媒体は、その際下に向かって傾斜した第二の逆流部チャネルを通って第二のリザーバーへと流れることが可能である。

本発明の好ましい態様においては、搬送ポンプは少なくとも一つの第一のインレットと第二のインレットを有する一つの作動室を有しており、そして搬送ポンプは第一のインレットを介して第一の逆流部と、特に第一の逆流部の第一のリザーバーと、そして第二のインレットを介して第二の逆流部と、特に第二の逆流部の第二のリザーバーと接続されている。作動媒体は、よって各リザーバーから搬送ポンプへと至ることが可能である。これを介して、作動媒体は再度回転支承部へと供給されることが可能である。搬送ポンプは、その際、各逆流部を介して戻り案内される作動媒体が、搬送ポンプによって収容され、そして流入部（この流入部を介して作動媒体が回転支承部へと供給されることが可能である）へと搬送されるよう形成されている。

両方のインレットは、搬送ポンプの搬送部の回転方向でみて少なくとも略１８０度互いにずらされて設けられていることが可能である。これによって、直立するよう向けられたポンプにおいても、逆立ちした状態のポンプにおいても、作動媒体は両方のインレットの各一方を介して搬送ポンプ内へと至ることができる。

好ましくは、ポンプの０度の空間的状態において、第一のインレットは搬送ポンプの下の領域中に位置し、そして第二のインレットは搬送ポンプの上の領域中に位置している。作動媒体は、よって０度の空間的状態において第一のリザーバーから第一のインレットを介して、そして逆のポンプにおいては、つまり１８０度の空間的状態においては、第二のインレットを介して第二のリザーバーから搬送ポンプへと至ることができる。

搬送ポンプは、第一の逆止部を介して戻り案内される作動媒体、または第二の逆流部を介して戻り案内される作動媒体を、作動媒体の為の少なくとも一つの流入部へと搬送するよう形成されていることが可能である。よって作動媒体は、流入部を介して回転支承部に供給されることができる。

本発明の一つの好ましい態様に従い、ポンプの０度から９０度の空間的状態において第一の逆流部を介して戻り案内される作動媒体を第一の流入部へと搬送し、そしてポンプの９０度は１８０度の空間的状態において第二の逆流部を介して戻り案内される作動媒体を第二の流入部へと搬送するよう、搬送ポンプが形成されている。これにより、あらゆる空間的状態において、回転支承部に作動媒体を確実に供給することが達成されることが可能である。

搬送ポンプは、少なくとも一つのアウトレットを有する一つの作動室を有しうる。これを介して搬送ポンプは少なくとも一つの流入部と接続されている。よって作動媒体は、アウトレットを介して作動室から流入部へと、そしてこれにより回転支承部へとポンピングされることが可能である。

特に有利には、アウトレットが搬送ポンプの搬送部の回転方向でみて、インレットの一方に対して少なくとも略９０度ずらされていると、特に有利である。搬送ポンプは、これによって構造的に簡単に、例えばロータリーベーンポンプの形式で形成されることが可能である。これは、各インレットの一方を介して回転支承部から戻り案内される作動媒体を収容し、そして９０度分各アウトレットの一方へ搬送する。このアウトレットを介して作動媒体は流入部内に至り、よって再び回転支承部へ供給される。

搬送ポンプは、第一のアウトレットを介して第一の流入部と、そして第二のアウトレットを介して第二の流入部と接続されていることが可能である。第一の逆流部を介して戻ってくる作動媒体は、よって第一の流入部へ、そして第二の逆流部を介して戻ってくる作動媒体は、よって搬送ポンプから第二の流入部へとポンピングされることができる。

特に好ましくは、搬送ポンプには両方のアウトレットが、搬送ポンプの搬送部の回転方向でみて、其々各インレットに対して９０度ずらされて設けられている。搬送ポンプは、これによって、例えばロータリーベーンポンプの形式で構造的に簡単に構成されることが可能である。

両方の流入部は、一つの共通の流入部内に開口している。よって作動媒体は、該共通の流入部を介して回転支承部に供給されることが可能である。

少なくとも一つの逆流防止装置は、両方の流入部の開口領域に設けられることが可能である。これは、第一の流入部を介して供給される作動媒体が第二の流入部に至り、そして逆に、第二の流入部を介して供給される作動媒体が第一の流入部に至ることを防止する。第一の流入部を介して回転支承部の方へと搬送される作動媒体は、よって、第二の流入部内に至ることができない。対応して、逆流防止装置は、第二の流入部を介して回転支承部の方へと搬送される作動媒体が第一の流入部内に至ることを防止する。

逆流防止装置は、例えば逆止要素または遮断要素である。これは、例えばバルブのようなものである。逆流防止装置は、よって簡単かつ安価に実現されることが可能である。

本発明の一つの好ましい発展形においては、少なくとも一つの逆流部が搬送ポンプに対して閉鎖可能である。これは特に、少なくとも一つの手動式に操作可能、または重力操作可能、圧力操作可能または電気的に操作可能な遮断要素である。逆流部が必要とされないとき、これはよって閉じられることができる。

搬送ポンプは、ロータリーベーンポンプ、スクロールポンプ、ジーグバーンポンプ、またはメンブランポンプ、特に二重メンブランポンプであることが可能である。

好ましくは、ポンプはターボ分子ポンプである。

本発明を以下に図面を参照しつつ説明する。図は、それぞれ以下を簡略的に示している。

真空ポンプの断面図 発明に係る真空ポンプの側方外面図 図２の真空ポンプの断面部分図 図３の真空ポンプの為の搬送ポンプの好ましいバリエーションの断面図 図３のポンプの一つの共通の流入部に開口する、二つの流入部チャネルの開口領域の断面図 図３のポンプの為の搬送ポンプの別の好ましいバリエーションの断面図

図１に示された真空ポンプは、一つのインレットフランジ６８を取り囲む一つのポンプインレット７０および、ポンプインレット７０におよぶ（、待機している、または留まっている、独語：ａｎｓｔｅｈｅｎｄ）ガスを、図１に図示されていないポンプアウトレットへと搬送するための複数のポンプステージを有している。真空ポンプは、静的な（または静止状態の、独語：ｓｔａｔｉｓｃｈ）ハウジング７２を有するステータと、ハウジング７２内に設けられ、一つの回転軸１４を中心として回転可能に支承された回転シャフト１２を有するローターを有している。

真空ポンプは、ターボ分子ポンプとして形成されており、ポンプ作用を奏する、互いに直列に接続され、回転シャフト１２と接続された複数のターボ分子的なローターディスク１６を有するターボ分子的な複数のポンプステージと、軸方向においてローターディスク１６の間に設けられ、かつハウジング７２内に固定されたターボ分子的な複数のステータディスク２６を有している。これらステータディスクは、スペーサリング３６によってお互い所望の軸方向間隔で保持されている。ローターディスク１６とステータディスク２６は、汲み上げ領域（または吸い込み領域、独語：Ｓｃｈｏｅｐｆｂｅｒｅｉｃｈ）５０において、矢印５８の方向に向けられた軸方向のポンプ作用を提供する。

真空ポンプは、その上、放射方向において相互に入り込んで設けられ、かつポンプ作用を奏し、直列に接続された三つのホルベックポンプステージ（独語：Ｈｏｌｗｅｃｋ−Ｐｕｍｐｓｔｕｆｅｎ）を有する。ホルベックポンプステージのローター側の部分は、回転シャフト１２と接続されたローターハブ７４と、該ローターハブ７４に固定され、そしてこれによって担持されるシリンダー側面形状の二つのホルベックロータースリーブ７６，７８を有している。これらホルベックロータースリーブは、回転軸１４の方に向けられ、そして放射方向において相互に入り込んで接続されている。更に、二つのシリンダー側面形状のホルベックステータスリーブ８０，８２が設けられている。これらホルベックステータスリーブは、同様に回転軸１４に同軸に向けられており、そして放射方向において相互に入り込んで接続されている。ホルベックポンプステージのポンプ効果を有する表面は、其々、ホルベックロータースリーブ７６，７８とホルベックステータスリーブ８０，８２の、狭い放射方向のホルベック間隙を形成しつつ互いに向かい合っている放射方向の各側面によって形成されている。その際、ポンプ効果を有する表面の一方、この場合、ホルベックロータースリーブ７６または７８のそれは滑らかに形成されており、そして、ホルベックステータスリーブ８０，８２の向かい側のポンプ効果を有する表面は、ねじ線形状に回転軸１４の周りを軸方向に推移する複数の溝を有する構造化部を有している。これらの中で、ローターの回転によってガスが促進され、そしてそれによってポンピングが行われる。

真空ポンプは、ローターの回転駆動の為の一つの駆動モーター１０４を有している。その回転子は、回転シャフト１２によって形成されている。制御ユニット１０６は、モーター１０４を駆動する。

回転シャフト１２の回転可能な支承は、ポンプアウトレットの領域におけるローラー支承部として形成された回転支承部８４と、ポンプインレット７０の領域の永久磁石支承部８６によって実現される。

永久磁石支承部８６は、ローター側の支承半部８８とステータ側の支承半部９０を有する。これらは、其々、軸方向に互いに積み重ねられた永久磁石の複数のリング９２，９４からなるリング積層部を有する。その際、マグネットリング９２，９４は、放射方向の支承間隙９６を形成しつつ向かい合っている。

マグネット支承部８６内部には、緊急用又は安全用支承部９８が設けられている。これは、潤滑されていないローラー支承部として形成されており、かつ真空ポンプの通常の運転中非接触式に空転をし、そしてローターがステータに対して放射方向で過剰に移動した際に初めて接触するに至り、ローターに対する放射方向のストッパーを形成する。このストッパーは、ローター側の構造がステータ側の構造に衝突することを防止する。

回転支承部８４は、例えば潤滑媒体のような作動媒体を供給される。その際、図１に示されるように、回転シャフト１２における回転支承部８４の領域に、回転支承部８４に向かって増加する外直径を有するすい形（または円すい形、独語：ｋｏｎｉｓｃｈ）のスプラッシュナット（独語：Ｓｐｒｉｔｚｍｕｔｔｅｒ）１００が設けられることが可能である。これは、例えば潤滑媒体のような作動媒体を入れられた、吸収性の複数のディスク１０２を有する複数の作動媒体貯蔵部の、少なくとも一つのスキマー（独語：Ａｂｓｔｒｅｉｆｅｒ）となめらかな接触状態にある。運転中、作動媒体は毛細管効果によって作動媒体貯蔵部からスキマーを介して回転するスプラッシュナット１００へと伝達され、そして、スプラッシュナット１００の大きくなる外直径の方向の遠心力の結果、スプラッシュナット１００に沿って回転支承部８４へと搬送され、そこで例えば潤滑機能を満足させる。

図２に示された描写においては、図１におけるように、ポンプのインレットフランジ６８は、上に向けられており、そして図２に示されていない回転シャフト１２の回転軸１４は、垂直方向に対して０度の角度に配置されている。この空間的状態（または空間的位置、独語：Ｒａｕｍｌａｇｅ）において、ポンプは直立した方向に向けられている。逆にポンプが逆立ちさせられると、インレットフランジ６８は下へと向けられる。回転軸１４は、垂直に対して１８０度の角度で存在する。

図２のポンプの構造は、図１のポンプの構造に相当する。但し、図２のポンプにおいては回転支承部８４が、回転シャフト１２の側方に配置された搬送ポンプ１１０を介して作動媒体が供給される。これは、図３に詳細に説明されるように行われる。

搬送ポンプ１１０は、作動媒体を、少なくとも一つの流入部１１２へと搬送するよう形成されていることが可能である。この流入部を介して作動媒体が回転支承部８４へと供給される。作動媒体を回転支承部８４から搬送ポンプへと戻すために、第一の逆流部１１４と第二の逆流部１１６が設けられている。

第一の逆流部１１４は、側方、回転支承部８４の下に一つの間隙１１８を有する。この間隙は、その放射方向外側の端部において、第一の逆流部チャネル１２０内へと開口している。逆流部チャネルは、放射方向外側および下に向かって離れるように第一のリザーバー１２２へと案内されている。

流入部１１２を介して供給される作動媒体は、スプラッシュナット１００の下のじょうご形状の貯蔵部１２４に至る。スプラッシュナットは、図１に関して説明したように、作動媒体をローラー支承部８４に向かって搬送する。そこで、例えば潤滑機能を満足させる。ローラー支承部８４から作動媒体は滴下され、そして基本的に重力によって、間隙１１８および第一の逆流部チャネル１２０を介して第一のリザーバー１２２へと至る。

図３の表現において、ポンプは図１および２の表現におけるように起立した方向にむけられている。図３に示されていないフランジ６８は、その結果、ポンプの上側に位置し、そして回転シャフト１２の回転軸１４は、垂直に対して０度の角度を有する。ポンプのそのような向きは、０度の空間的状態と称される。

図３に示されるように、搬送ポンプ１１０は第一のインレット１２６を有している。このインレットを介して作動媒体が第一のリザーバー１２２から搬送ポンプの第一の作動室１２８へと至ることができる。第一のインレット１２６は、その際、分離壁１３０内に形成されている。この分離壁は、第一のリザーバー１２２を第一の作動室１２８から分離している。その上、第一のインレット１２６は、０度の空間状態において基本的に分離壁１３０内の最も深い箇所に存在しているので、作動媒体は、第一のリザーバー１２２が少ない液位の場合においても第一の作動室１２８内に至ることが可能である。

搬送ポンプ１１０は、図４と関連して詳細に説明される。搬送ポンプ１１０は、ロータリーベーンポンプの形式で形成されており、ハウジング１３２内で回転軸１３４を中心として回転可能な一つのローターを有している。このローターは、以下では搬送ローター１３６と称される。搬送ローター１３６には、遠心力およびばね力を介して放射方向に移動可能なスライダー１３８が設けられている。ハウジング１３２の内部には、第一の作動室１２８が存在しており、該作動室は、ハウジング１３２、搬送ローター１３６、および、搬送ローターの回転方向１４０に共に移動するスライダー１３８を空間的に制限している。

搬送ローター１３６が搬送方向１４０に回転すると、第一のインレット１２６を介して第一の作動室１２８内に至る作動媒体は搬送ローターによって９０度横になっている第一のアウトレット１４２を介して第一の流入部チャネル１４４内へと搬送される。この搬送チャネルは、流入部１１２内に開口している（図５参照）。

搬送ポンプの起立した向きにおいては、第二の逆流部１１６は機能しない。逆にポンプが逆立ち状態であるとき、フランジ６８（図２参照）は下に位置し、そして回転軸１４は垂直に対して１８０度の角度を成す。その際、第一の逆流部１１４は機能せず、そして作動媒体は第二の逆流部１１６を介して搬送ポンプ１１０へと戻される。これは以下に説明される。

第二の逆流部１１６は、第二の逆流部チャネル１４６を有している。この逆流部チャネルは、図３に相当するポンプの０度の空間的状態に関して、回転支承部８４の上および放射方向側方に位置する、作動媒体の為の捕集領域１４８から離れ、放射方向外側および上に向かって第二のリザーバー１５０の方へと案内され、このリザーバーは、ここでもまた分離壁１３０を介して、搬送ポンプ１１０の別の第二の作動室１５２と分離されている。

分離壁１３０内には、第二のインレット１５４が設けられている。このインレットを介して、作動媒体が第二のリザーバー１５０から第二の作動室１５２内へと至る。第二のインレット１５４は、逆立ち状態のポンプ（頭を下にして起立するポンプ）において、つまりポンプの１８０度の空間的状態において、ポンプの下の領域に存在する。作動媒体は、よって、第二のリザーバー１５０が低い液位の場合においても第二の作動室１５２内へと至ることができる。

図４から見て取れるように、第二の作動室１５２内に至った作動媒体は、各スライダー１３８によって、回転方向１４０に回転する搬送ローター１３６のもと、２７０度に配置された第二のアウトレット１５６へと搬送される。第二のアウトレット１５６は、第二の流入部チャネル１５８内へと開口し、この流入部チャネルは、第一の流入部チャネル１４４と同様に、流入部１１２内に開口している。

図５に示されるように、第一および第二の流入部チャネル１４４，１５８の開口領域内には、逆流防止装置１６０が設けられている。これは、第一の逆流部チャネル１４４を介して共通な流入部１１２内へと流れる作動媒体が、第二の流入部チャネル１５８内へ至り、逆に、第二の逆流部チャネル１５８を介して供給される作動媒体が第一の流入部チャネル１４４内へと至るのを防止するよう形成されている。よってある意味、逆流防止装置１６０は両方の逆流部チャネル１４４，１５８の間にショートカットが発生しないことを保証する。

逆流防止装置１６０は、機能的観点では、空圧式のＯＲバルブ（Ｏｄｅｒ−Ｖｅｎｔｉｌ）の形式で形成されている。逆流防止装置１６０は、両方の流入部チャネル１４４および１５８の開口領域内に、一つの拡大された空間領域１６２を有しており、この空間領域内に、一つのボール１６４が配置されている。このボールは、作動媒体流に応じて、両方の流入部チャネル１４４，１５８の一方を閉じることができる。図５に例示的に示されているように、ボール１６４は、第一の流入部チャネル１４４から来る作動媒体流によって、第二の流入部チャネル１５８の開口に対向して押圧されており、そしてこれによってこれを閉じる。

逆流防止装置１６０は、例えば遮断バルブのような遮断要素の形式、または逆止要素の形式で形成されていることが可能である。逆流防止装置１６０は、手動式の要素、重力駆動式の要素、圧力駆動式の要素、または電気駆動式の要素として形成されていることが可能である。これは、真空ポンプの状態に応じて、第一または第二の流入部チャネル１４４，１５８をスライダーまたはフラップ（図示されていない）によって閉じる。

搬送ポンプ１１０の図６に示されたバリエーションは、図４のバリエーションに対して、９０度に位置する第一のアウトレット１４２のもと、第一のアウトレット１４２から離れて案内される第一の流入部チャネル１４４のみを有する。この流入部チャネルが、流入部１１２内に開口している。図４のバリエーションにおいて存在する２７０度における第二のアウトレット１５６と、これに引き続く第二の流入部チャネル１５８は、これと反対にもはや存在しない。

第一のインレット１２６を介して搬送ポンプ１１０内に至る作動媒体は、上述した通り、第一の流入部チャネル１４４内に搬送される。第二のインレット１５４を介して搬送ポンプ１１０内に至る作動媒体は、逆立ちしたポンプにおいては、同様に第一のアウトレット１４２まで、およびこれに引き続く９０度における第一の流入部チャネル１４４まで、回転方向１４０に四分の三回転分だけ搬送される。この為、使用されていないインレット１２６は、示されていない手動操作可能な遮断要素、または重力操作可能、圧力操作可能または電気操作可能な遮断要素によって閉じられることが可能であり、これによって作動媒体がインレット１２６から押し出されるのを防止する。

上述した実施形に相当して、図２から６と関連して説明されるポンプにおいては、ポンプの０度の空間的状態において、つまり図２におけるように起立した方向に向けられたポンプにおいて、作動媒体は第一の逆止部１１４を介して搬送ポンプ１１０へと至る。これと反対に、逆立ちしたポンプにおいて、つまり回転軸１４が垂直に対して１８０度の角度を成すポンプの空間的状態においては、作動媒体は、第二の逆流部１１６を介して回転支承部８４から搬送ポンプ１１０へと至る。

容易に見ることができるように、作動媒体は、回転軸が垂直に対して０度から１８０度の間の角度を成す、その間の空間的状態においては、両方の逆流部１１４，１１６の少なくとも一方を介して、同様に回転支承部８４から搬送ポンプ１１０へと至ることができる。特に、作動媒体は、０度から９０度のポンプの空間的状態において、第一の逆流部１１４を介して、そして９０度から１８０度の空間的状態において第二の逆流部１１６を介して搬送ポンプ１１０へと逆流することが可能である。９０度の空間的状態において、つまり側方に位置するフランジ６８において、およびポンプの下方の領域中に位置する搬送ポンプ１１０において、作動媒体は、逆流部１１４，１１６の両方または一方を介して搬送ポンプ１１０へと至ることができる。発明に係るポンプは、よって直立して配置され、つまり、上に向けられたフランジ６８によってレシーバーに接続され、そして意図に応じて作動させるか、または逆立ちして、つまり下に向けられたフランジ６８によってそのようにするか、または各中間状態においてそのようにすることが可能である。

搬送ポンプ１１０の図４および６に示されたバリエーションは、ロータリーベーンポンプの形式で形成されている。搬送ポンプ１１０は、しかしスクロールポンプ（独語：Ｓｃｒｏｌｌｐｕｍｐｅ）、ジーグバーンポンプ（独語：Ｓｉｅｇｂａｈｎｐｕｍｐｅ）、またはメンブランポンプ（独語：Ｍｅｍｂｒａｎｐｕｍｐｅ）の形式で形成されることも可能である。

１２ 回転シャフト
１４ 回転軸
１６ ローターディスク
２６ ステータディスク
３６ スペーサリング
５０ 汲み上げ領域（または吸い込み領域）
５８ 矢印
６８ インレットフランジ
７０ ポンプインレット
７２ ハウジング
７４ ローターハブ
７６，７８ ホルベックロータースリーブ
８０，８２ ホルベックステータスリーブ
８４ 回転支承部
８６ 永久磁石支承部
８８ ローター側の支承半部
９０ ステータ側の支承半部
９２，９４ 永久磁石のリング
９６ 半径方向の支承間隙
９８ 安全用支承部
１００ スプラッシュナット
１０２ 吸収性のディスク
１０４ 駆動モーター
１０６ 制御ユニット
１０８ ポンプアウトレット
１１０ 搬送ポンプ
１１２ 流入部
１１４ 第一の逆流部
１１６ 第二の逆流部
１１８ 間隙
１２０ 第一の逆流部チャネル
１２２ 第一のリザーバー
１２４ 貯蔵部
１２６ 第一のインレット
１２８ 第一の作動室
１３０ 分離壁
１３２ ハウジング
１３４ 回転軸
１３６ 搬送ローター
１３８ スライダー
１４０ 回転方向
１４２ 第一のアウトレット
１４４ 第一の流入部チャネル
１４６ 第二の逆流部チャネル
１４８ 捕集領域
１５０ 第二のリザーバー
１５２ 第二の作動室
１５４ 第二のインレット
１５６ 第二のアウトレット
１５８ 第二の流入部チャネル
１６０ 逆流防止装置
１６２ 空間領域
１６４ ボール
１６６ 駆動モーター

Claims (15)

1. ポンプ、特に真空ポンプであって、
   回転軸（１４）を中心として回転可能な一つの回転シャフト（１２）を有し、
   回転シャフト（１２）の回転可能なサポートの為に使用される回転支承部（８４）に作動媒体を供給するために、作動媒体、特に潤滑媒体を搬送するための搬送ポンプ（１１０）を有し、そして、
   作動媒体の為の第一の逆流部（１１４）および第二の逆流部（１１６）を有するポンプにであって、
   その際、回転軸（１４）が垂直に対して０度から１８０度の範囲の角度を形成する各空間的状態において、ポンプがレシーバーに接続可能であること、および、
   その際、各空間的状態において作動媒体が、両方の逆流部（１１４、１１６）の少なくとも一方を介して回転支承部（８４）から搬送ポンプ（１１０）へと逆流可能であるよう、搬送ポンプ（１１０）と両方の逆流部（１１４，１１６）が、ポンプに設けられていること、
   を特徴とするポンプ。
2. 搬送ポンプ（１１０）が、回転軸（１３４）を中心として回転可能な搬送部、特に一つの搬送ローター（１３６）を有し、かつ、回転軸（１３４）が、回転軸（１４）に対して垂直に推移するよう、回転シャフト（１２）に対して設けられていることを形成することを特徴とする請求項１に記載のポンプ。
3. 搬送ポンプ（１１０）が、回転シャフト（１２）の側方に設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載のポンプ。
4. 作動媒体が、０度から９０度のポンプの空間的状態においては第一の逆流部（１１４）を介して、そして９０度から１８０度のポンプの空間的状態においては第二の逆流部（１１６）を介して、回転支承部（８４）から搬送ポンプ（１１０）へと逆流可能であることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のポンプ。
5. ０度のポンプの空間的状態に関して、第一の逆流部（１１４）が第一の逆流部チャネル（１２０）を有し、この逆流部チャネルが、回転支承部（８４）から離れて放射方向外側に向かってかつ下に向かって、第一のリザーバー（１２２）へと案内されており、そして第二の逆流部（１１６）が、第二の逆流部チャネル（１４６）を有し、この逆流部チャネルが、回転支承部（８４）から離れて放射方向外側に向かってかつ上に向かって第二のリザーバー（１５０）へと案内されていることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載のポンプ。
6. 搬送ポンプ（１１０）が、少なくとも一つの第一のインレット（１２６）と第二のインレット（１５４）を有する少なくとも一つの作動室（１２８，１５２）を有し、第一のインレット（１２６）を介して第一の逆流部（１１４）、特に第一の逆流部（１１４）の第一のリザーバー（１２２）と、そして、第二のインレット（１５４）を介して第二の逆流部（１１６）、特に第二の逆流部（１１６）の第二のリザーバー（１５０）と接続されていることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載のポンプ。
7. 両方のインレット（１２６，１５４）が、搬送ポンプの搬送部、特に搬送ローター（１３６）の回転方向（１４０）で見て、少なくとも略１８０度だけ互いにずらされて設けられていることを特徴とする請求項６に記載のポンプ。
8. ポンプの０度の空間的状態において、第一のインレット（１２６）が、搬送ポンプ（１１０）の下方の領域に、そして第二のインレット（１５４）が搬送ポンプ（１１０）の上方の領域に位置していることを特徴とする請求項６または７に記載のポンプ。
9. 搬送ポンプ（１１０）が、第一の逆流部（１１４）を介して逆流する作動媒体または第二の逆流部（１１６）を介して逆流する作動媒体を作動媒体のための少なくとも一つの流入部（１１２，１４４，１５８）内に搬送するよう形成されていることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載のポンプ。
10. 搬送ポンプ（１１０）が、ポンプの０度から９０度の空間的状態において、第一の逆流部（１１４）を介して逆流する作動媒体を第一の流入部（１４４）へ、そして９０度から１８０度のポンプの空間的状態において、第二の逆流部（１１６）を介して逆流する作動媒体を第二の流入部（１５８）へと搬送するよう形成されていることを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載のポンプ。
11. 搬送ポンプ（１１０）が、少なくとも一つのアウトレット（１４２，１５６）を有する少なくとも一つの作動室（１２８，１５２）を有し、これを介して搬送ポンプ（１１０）が少なくとも一つの流入部（１１２，１４４，１５８）と接続されており、
    その際、好ましくは、アウトレット（１４２，１５６）が、搬送ポンプ（１１０）の搬送部、特に搬送ローター（１３６）の回転方向でみて、少なくとも略９０度だけインレット（１２６，１５４）に対してずらされていることを特徴とする請求項９または１０に記載のポンプ。
12. 搬送ポンプ（１１０）が、第一のアウトレット（１４２）を介して第一の流入部（１４４）と、および第二のアウトレット（１５６）を介して第二の流入部（１５８）と接続されており、および好ましくは、両方のアウトレット（１５６，１５８）が、搬送ポンプ（１１０）の搬送部、特に搬送ローター（１３８）の回転方向で見て其々９０度分、両方の逆流部（１１４，１１６）の為の各インレット（１２６，１５４）に対してずらされて搬送ポンプ（１１０）に設けられていることを特徴とする請求項１０または１１に記載のポンプ。
13. 両方の流入部（１４４，１５８）が、一つの共通な流入部（１１２）内に開口しており、その際、好ましくは、少なくとも一つの逆流防止装置（１６０）、特に、例えばバルブのような逆止要素または遮断要素が、両方の流入部（１４４，１５８）の開口領域内に設けられており、その際、逆流防止装置（１６０）が、第一の流入部（１４４）を介して供給される作動媒体が、第二の逆流部（１５８）内へと至ること、および逆に、第二の流入部（１５８）を介して供給される作動媒体が第一の流入部（１４４）内へと至ることを防止することを特徴とする請求項１０から１２のいずれか一項に記載のポンプ。
14. 少なくとも一つの逆流部（１１４，１１６）が、搬送ポンプ（１１０）に対して閉鎖可能であり、特に少なくとも一つの手動操作可能な遮断要素、または重力操作可能、圧力操作可能または電気操作可能な遮断要素によって閉鎖可能であることを特徴とする請求項１から１３のいずれか一項に記載のポンプ。
15. 搬送ポンプ（１１０）が、ロータリーベーンポンプ、スクロールポンプ、ジーグバーンポンプ、またはメンブランポンプ、特に二重メンブランポンプであることを特徴とする請求項１から１４のいずれか一項に記載のポンプ。

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