JP2015147922A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015147922A5 JP2015147922A5 JP2014238783A JP2014238783A JP2015147922A5 JP 2015147922 A5 JP2015147922 A5 JP 2015147922A5 JP 2014238783 A JP2014238783 A JP 2014238783A JP 2014238783 A JP2014238783 A JP 2014238783A JP 2015147922 A5 JP2015147922 A5 JP 2015147922A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- frictional heat
- slurry
- range
- measured value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 3
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- 229910018119 Li 3 PO 4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005296 abrasive Methods 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000001139 pH measurement Methods 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014238783A JP5997235B2 (ja) | 2014-11-26 | 2014-11-26 | 複合砥粒とその製造方法と研磨方法と研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014238783A JP5997235B2 (ja) | 2014-11-26 | 2014-11-26 | 複合砥粒とその製造方法と研磨方法と研磨装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014021392 Division | 2014-02-06 | 2014-02-06 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015147922A JP2015147922A (ja) | 2015-08-20 |
JP2015147922A5 true JP2015147922A5 (de) | 2016-01-14 |
JP5997235B2 JP5997235B2 (ja) | 2016-09-28 |
Family
ID=53891551
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014238783A Active JP5997235B2 (ja) | 2014-11-26 | 2014-11-26 | 複合砥粒とその製造方法と研磨方法と研磨装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5997235B2 (de) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015129776A1 (ja) * | 2014-02-27 | 2015-09-03 | 堺化学工業株式会社 | 複合金属酸化物研磨材料の製造方法及び複合金属酸化物研磨材料 |
JP6458554B2 (ja) * | 2015-02-26 | 2019-01-30 | 堺化学工業株式会社 | 複合金属酸化物研磨材料の製造方法及び複合金属酸化物研磨材料 |
JP6916634B2 (ja) * | 2017-02-28 | 2021-08-11 | アサヒ化成工業株式会社 | 研磨用砥粒 |
CN110400742B (zh) * | 2019-07-29 | 2020-07-28 | 北京大唐智创科技有限公司 | 一种5g通信关键射频芯片材料 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CA2039998A1 (en) * | 1990-10-09 | 1992-04-10 | Donald C. Zipperian | Mechanochemical polishing abrasive |
JPH04176556A (ja) * | 1990-11-13 | 1992-06-24 | Daido Steel Co Ltd | 磁気研摩方法、磁気研摩用砥粒およびその製造方法 |
JPH11263968A (ja) * | 1998-03-19 | 1999-09-28 | Nec Kansai Ltd | 研磨用スラリ及び研磨方法 |
JP2000265160A (ja) * | 1999-03-12 | 2000-09-26 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 高速鏡面研磨用研磨材 |
JP4345746B2 (ja) * | 1999-11-16 | 2009-10-14 | 株式会社デンソー | メカノケミカル研磨装置 |
JP3563017B2 (ja) * | 2000-07-19 | 2004-09-08 | ロデール・ニッタ株式会社 | 研磨組成物、研磨組成物の製造方法及びポリシング方法 |
JP2003113370A (ja) * | 2001-07-30 | 2003-04-18 | Toshiba Corp | 化学的機械的研磨用スラリー、半導体装置の製造方法、半導体装置の製造装置、及び化学的機械的研磨用スラリーの取り扱い方法 |
JP2005081485A (ja) * | 2003-09-08 | 2005-03-31 | Tube Systems:Kk | 高温メカノケミカル研磨方法と装置 |
EP2215175A1 (de) * | 2007-10-05 | 2010-08-11 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Verfahren zum polieren von saphir mit verbundaufschlämmungen |
JP5384037B2 (ja) * | 2008-06-11 | 2014-01-08 | 山口精研工業株式会社 | サファイア基板用研磨液組成物、及びサファイア基板の研磨方法 |
JP2013099831A (ja) * | 2011-11-09 | 2013-05-23 | Femutekku:Kk | 砥石 |
JP2013111725A (ja) * | 2011-11-30 | 2013-06-10 | Admatechs Co Ltd | 研磨材およびその製造方法 |
JP5860776B2 (ja) * | 2012-07-04 | 2016-02-16 | 株式会社ノリタケカンパニーリミテド | 研磨材の製造方法およびその研磨材の比表面積の調整方法 |
-
2014
- 2014-11-26 JP JP2014238783A patent/JP5997235B2/ja active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2015147922A5 (de) | ||
PL406919A1 (pl) | Sposób otrzymywania nanoporowatych materiałów węglowych | |
JP2015054857A5 (de) | ||
TH166702B (th) | ตัวกลางเพื่อการขัดท่อ และวิธีการผลิตตัวกลางที่ว่านี้ | |
CN302494286S (zh) | 被面(1) | |
CN302536767S (zh) | 防冲刷生态砌块(b) | |
CN302072165S (zh) | 清洗机(abw—vab) | |
CN302051915S (zh) | 多功能家用磨刀器 | |
CN302535775S (zh) | 抛光机(2) | |
CN302590119S (zh) | 脊瓦(1) | |
CN302590120S (zh) | 脊瓦(2) | |
CN302579900S (zh) | 空气杀菌机 | |
CN302040917S (zh) | 把手(梅花形) | |
CN302435978S (zh) | 磨片 | |
CN302586383S (zh) | 卡式炉(13-c) | |
CN302464854S (zh) | 执手面板(v系列) | |
CN302586837S (zh) | 酒瓶(水浒英雄) | |
CN302579541S (zh) | 超声波换能器 | |
CN302487153S (zh) | 储物盒分类格(pb8868) | |
CN302540628S (zh) | 倒水锅(可立系列) | |
CN302452197S (zh) | 胶枪(g-10) | |
CN302120639S (zh) | 油漆桶(墙面漆) | |
CN302526832S (zh) | 电视机(610) | |
CN302579147S (zh) | 方形旋转橡皮擦(ry-8020) | |
CN302589799S (zh) | 加湿器(6l) |