JP2015142901A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2015142901A5
JP2015142901A5 JP2014179288A JP2014179288A JP2015142901A5 JP 2015142901 A5 JP2015142901 A5 JP 2015142901A5 JP 2014179288 A JP2014179288 A JP 2014179288A JP 2014179288 A JP2014179288 A JP 2014179288A JP 2015142901 A5 JP2015142901 A5 JP 2015142901A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
electric field
field generator
micro
micro object
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2014179288A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2015142901A (ja
JP6438241B2 (ja
Filing date
Publication date
Priority claimed from US14/031,468 external-priority patent/US9431283B2/en
Application filed filed Critical
Publication of JP2015142901A publication Critical patent/JP2015142901A/ja
Publication of JP2015142901A5 publication Critical patent/JP2015142901A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6438241B2 publication Critical patent/JP6438241B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Claims (20)

  1. マイクロ物体を操作するシステムであって、
    空間と時間の両方で変化して、前記マイクロ物体を操作する力場を生成するように構成された電界生成器と、
    前記マイクロ物体がその上で前記電界生成器によって操作される基板と、
    を備え、
    前記基板は、前記電界生成器に恒久的には取り付けられてなく、
    前記電界生成器は、前記基板における前記マイクロ物体が位置する側とは反対側に位置し、且つ
    前記基板は、前記力場が前記基板を通過可能とされている
    システム。
  2. 前記力場は、電場及び磁場の少なくとも1つである、請求項1に記載のシステム。
  3. 前記電界生成器は、電場を生成するための感光体材料を含む、請求項2に記載のシステム。
  4. 前記基板は、電気絶縁材料からなる、請求項2に記載のシステム。
  5. 前記基板は、ポリマーまたはセラミクスである、請求項に記載のシステム。
  6. 前記電界生成器は、前記磁場を生成するための複数のコイルを含む、請求項に記載のシステム。
  7. 前記電界生成器は、電界生成器上の摩耗を低減させるための可動ベルトを有している、請求項2に記載のシステム。
  8. 前記基板は、非強磁性または常磁性の材料からなる、請求項2に記載のシステム。
  9. 第2の基板と、
    前記マイクロ物体の相対位置と相対方向を保持するよう、前記基板から前記第2の基板に前記マイクロ物体を移動させる装置と、をさらに含む請求項1に記載のシステム。
  10. 前記電界生成器に恒久的には取り付けられてなく、且つ前記マイクロ物体が定着される最終基板である前記基板と、
    前記最終基板に前記マイクロ物体を定着させるように構成された定着装置と、
    をさらに含む、請求項1に記載のシステム。
  11. 前記マイクロ物体が、前記最終基板に、
    前記基板の局所的加熱、
    接着剤の局所的硬化、及び
    エンボス加工
    の少なくとも1つによって定着される、請求項10に記載のシステム。
  12. 前記基板が、前記電界生成器を通過する、請求項1に記載のシステム。
  13. 前記基板のある領域が、複数回に亘って前記電界生成器を通過する、請求項12に記載のシステム。
  14. マイクロ物体を操作する方法であって
    力場を生成させるための複数の電極を有する電界生成器によって、空間と時間の両方で変化して前記マイクロ物体を操作する力場を生成するステップと、
    その上で前記マイクロ物体が前記電界生成器により操作される基板であって、前記電界生成器が前記基板における前記マイクロ物体が位置する側とは反対側に位置し、前記電界生成器に恒久的には取り付けられてなく、前記力場が通過可能な基板を供給するステップと、を含む方法。
  15. 前記力場は、電場及び磁場の少なくとも一方である、請求項14に記載の方法。
  16. 前記マイクロ物体の相対位置と相対方向を保持するよう、前記基板から第2の基板に前記マイクロ物体を移動させるステップをさらに含む、請求項14に記載の方法。
  17. 前記電界生成器に恒久的には取り付けられない基板上に前記マイクロ物体を位置させるステップを含み、前記基板は、最終基板である、請求項14に記載の方法。
  18. 前記マイクロ物体が載置される前記最終基板は、複数の領域に分割され、それぞれが特定のマイクロ組立体に対応し、前記マイクロ組立体の少なくともあるものは、少なくともあるミクロ物体間の配線を含む加工がされる、請求項17に記載の方法。
  19. 前記基板を、前記電界生成器に通過させるステップを含む、請求項14に記載の方法。
  20. 前記電界生成器は、前記電界生成器上の摩耗を低減させるための可動ベルトを有する、請求項14に記載の方法。
JP2014179288A 2013-09-19 2014-09-03 静電結合した電極を有する直接静電組立体 Active JP6438241B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US14/031,468 US9431283B2 (en) 2013-09-19 2013-09-19 Direct electrostatic assembly with capacitively coupled electrodes
US14/031,468 2013-09-19

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2015142901A JP2015142901A (ja) 2015-08-06
JP2015142901A5 true JP2015142901A5 (ja) 2017-10-12
JP6438241B2 JP6438241B2 (ja) 2018-12-12

Family

ID=51625788

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014179288A Active JP6438241B2 (ja) 2013-09-19 2014-09-03 静電結合した電極を有する直接静電組立体

Country Status (3)

Country Link
US (1) US9431283B2 (ja)
EP (1) EP2851337B1 (ja)
JP (1) JP6438241B2 (ja)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9473047B2 (en) 2013-09-19 2016-10-18 Palo Alto Research Center Incorporated Method for reduction of stiction while manipulating micro objects on a surface
US10141285B2 (en) 2013-09-19 2018-11-27 Palo Alto Research Center Incorporated Externally induced charge patterning using rectifying devices
DE112016000447T5 (de) * 2015-01-23 2017-11-16 Gholamreza Chaji Selektiver Mikrovorrichtungstransfer zu einem Empfängersubstrat
US10700120B2 (en) 2015-01-23 2020-06-30 Vuereal Inc. Micro device integration into system substrate
US10519037B2 (en) * 2016-01-18 2019-12-31 Palo Alto Research Center Incorporated Multipass transfer surface for dynamic assembly
KR102510934B1 (ko) 2016-10-04 2023-03-16 뷰리얼 인크. 도너 기판 내의 마이크로 디바이스 배열
US10043687B2 (en) * 2016-12-27 2018-08-07 Palo Alto Research Center Incorporated Bumped electrode arrays for microassemblers
US11302554B2 (en) * 2018-12-17 2022-04-12 Palo Alto Research Center Incorporated Micro assembler with fine angle control
US11203525B2 (en) * 2018-12-31 2021-12-21 Palo Alto Research Center Incorporated Method of controlling the placement of micro-objects

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04159920A (ja) * 1990-10-24 1992-06-03 Mitsubishi Kasei Corp 物品搬送機構
JPH05116757A (ja) * 1991-10-24 1993-05-14 Ricoh Co Ltd 搬送機構
JPH05184163A (ja) * 1991-12-27 1993-07-23 Masafumi Yano 静電アクチュエータ
JPH07203689A (ja) * 1993-12-31 1995-08-04 Toshiro Higuchi 静電アクチュエータ
JPH07213077A (ja) * 1994-01-18 1995-08-11 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光制御型静電気駆動アクチュエータ
JP3215335B2 (ja) * 1996-10-29 2001-10-02 株式会社富士電機総合研究所 リニア電磁型マイクロアクチュエータ
JPH10271850A (ja) * 1997-03-26 1998-10-09 Oki Electric Ind Co Ltd 媒体搬送装置
JPH1155963A (ja) * 1997-08-01 1999-02-26 Oki Electric Ind Co Ltd 媒体搬送装置
JP2000143024A (ja) * 1998-11-10 2000-05-23 Oki Electric Ind Co Ltd 媒体搬送装置
JP2000209877A (ja) * 1999-01-13 2000-07-28 Dainippon Printing Co Ltd 静電アクチュエ―タにおける電極配線板、及びその製造方法
US6923979B2 (en) * 1999-04-27 2005-08-02 Microdose Technologies, Inc. Method for depositing particles onto a substrate using an alternating electric field
GB2354114A (en) * 1999-09-13 2001-03-14 Gareth John Monkman Micro-scale electrostatic gripper
US6687987B2 (en) 2000-06-06 2004-02-10 The Penn State Research Foundation Electro-fluidic assembly process for integration of electronic devices onto a substrate
JP2002068477A (ja) * 2000-08-30 2002-03-08 Hitachi Metals Ltd 微小粒体搬送装置
US7629026B2 (en) 2004-09-03 2009-12-08 Eastman Kodak Company Thermally controlled fluidic self-assembly
US7332361B2 (en) 2004-12-14 2008-02-19 Palo Alto Research Center Incorporated Xerographic micro-assembler
US7728427B2 (en) * 2007-12-07 2010-06-01 Lctank Llc Assembling stacked substrates that can form cylindrical inductors and adjustable transformers
US7861405B2 (en) * 2008-03-03 2011-01-04 Palo Alto Research Center Incorporated System for forming a micro-assembler
US8581167B2 (en) 2010-11-16 2013-11-12 Palo Alto Research Center Incorporated Optically patterned virtual electrodes and interconnects on polymer and semiconductive substrates
US10014261B2 (en) 2012-10-15 2018-07-03 Palo Alto Research Center Incorporated Microchip charge patterning
US10141285B2 (en) 2013-09-19 2018-11-27 Palo Alto Research Center Incorporated Externally induced charge patterning using rectifying devices
US9473047B2 (en) 2013-09-19 2016-10-18 Palo Alto Research Center Incorporated Method for reduction of stiction while manipulating micro objects on a surface

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2015142901A5 (ja)
GB2556372B (en) Haptic actuator, electronic apparatus, and haptic feedback generating method
RU2019121269A (ru) Устройство привода и способ
WO2016007207A3 (en) System and methods for additive manufacturing of electromechanical assemblies
JP2015061509A5 (ja)
WO2013124052A3 (en) Lithography device with eddy-current brake
EA201790815A1 (ru) Электромагнитно-акустический преобразователь
JP2016522985A5 (ja)
EP2492928A3 (en) Electromagnetic actuator, stage apparatus and lithographic apparatus
GB201518430D0 (en) Magnet apparatus for generating high gradient magnetic field
EP4243571A3 (en) Induction heating device and induction heating method
EP3806298C0 (en) METHOD AND DEVICE FOR PRODUCING AN ELECTRICAL DEVICE COIL
EP3405964A4 (en) METHOD AND DEVICE FOR GENERATING MAGNETIC FIELDS
GB201611595D0 (en) Transferring energy by magnetic induction using a primary unit conductor arrangement and a layer comprising magnetic and/or magnetizable material
FR3046695B1 (fr) Generateur de champ magnetique
MA49624A (fr) Appareils de séparation magnétique et procédés associés
CY1124555T1 (el) Συσκευη για θεραπεια μαγνητικου συντονισμου πυρηνα
ATE447651T1 (de) Vorrichtung zum betätigen eines sperrgliedes mit einem elektrischen generator
IL268573B (en) Method for monitoring an electromagnetic actuator type apparatus
EP2975744A3 (de) Vorrichtung zur optimierten berührungslosen stromerzeugung an metallischen gegenelementen
WO2015169308A3 (de) Kupplungseinrichtung mit wirbelstrombremse mit reduziertem luftspalt
FR3030935B1 (fr) Dalle productrice d&#39;energie electrique, appareil de production d&#39;energie electrique comprenant une matrice de dalles et infrastructure productrice d&#39;energie electrique equipee de tels appareils
FR3016727B1 (fr) Procede de fabrication d&#39;un conducteur electrique en cuivre et nanotubes de carbone
EP3423851C0 (en) MAGNETIC RESONANCE FORCE DETECTION DEVICE AND RELATED METHODS
ES2585848A1 (es) Generador eléctrico de pequeña potencia