JP2015135300A - 検査装置および計測装置 - Google Patents
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Abstract
Description
(式1) Vo=(I1+I2+I3+I4)・R−4・Vb1
このように、光子計数センサ200におけるNピクセルをM個の領域毎(N>M。M、Nともに自然数)に共通化し、それぞれ独立にIV変換回路で電圧に変換して加算出力することで、光子計数センサ200内部の寄生成分の影響を分散して、レーザ光源2のパルス発振に対する光子計数センサ200の高速応答を実現することが可能となる。
(式2) V1=Vb1−I1・R
(式3) V2=Vb2−I2・R
(式4) V3=Vb3−I3・R
(式5) V4=Vb4−I4・R
(式6) V5=−(Vb1+Vb2+Vb3+Vb4)
(式7) Vo=(I1+I2+I3+I4)・R
本実施例の構成によると、IV変換回路毎に基準電圧を設定することで、光子計数センサの領域毎に増倍率にばらつきがある場合にも、そのばらつきが均一になるように調整できる。さらに、電圧設定手段106の出力電圧を加算する加算回路107を設け、最終的に加算回路105で各IV変換回路の出力と加算回路107の出力とを加算して検出信号Voを検出することで、電圧設定手段106からの電圧の出力をキャンセルすることができるため、微小異物の高精度検出が可能となる。
2 レーザ光源
3 反射板
4、5 レンズ
6 センサ
7 増幅回路
8 A/D変換回路
9 データ処理部
10 CPU
11 マップ出力部
12 ステージ制御部
13 回転ステージ
14 並進ステージ
20 クロック検出部
21 センサ
22 IV変換回路
23 クロック再生回路
24 遅延制御部
50 検査装置
100 バイアス電圧設定手段
101、102、103、104 IV変換回路
105、107 加算回路
106 電圧設定手段
108 加減算回路
200,310、407 光子計数センサ
300 半導体計測装置
301 電子銃
302 集束レンズ
303 電子ビーム
304 偏向制御部
305 対物レンズ
307 ステージ
308 2次電子
309、406 シンチレータ
311 データ処理部
400 質量分析装置
401 試料ガス
402 試料導入室
403 イオン化室
404 イオントラップ部
405 高電圧印加部
408 質量分析部
Claims (6)
- 試料表面を検査または計測する検査または計測装置であって、
前記試料表面にレーザビームを照射する照射手段と、
前記試料表面からの散乱光を検出して検出信号を生成する検出手段と、
を備え、
前記検出手段は、
Nピクセル(Nは自然数)の光検出素子から、M個(Mは自然数、M<N)の出力信号を出力する光子計数センサと、
前記光子計数センサの出力信号をそれぞれ電流電圧変換するM個の電流電圧変換手段と、
前記電流電圧変換手段に基準電圧を印加する電圧印加手段と、
前記電流電圧変換手段の出力に基づいて検出信号を生成する検出信号生成手段と、
を有する検査または計測装置。 - 請求項1に記載の検査または計測装置であって、
前記検出信号生成手段は、前記M個の電流電圧手段の出力を加算して検出信号を生成することを生成することを特徴とする検査または計測装置。 - 請求項1に記載の検査または計測装置であって、
前記電圧印加手段は、前記M個の電流電圧変換手段に同じ基準電圧を印加することを特徴とする検査または計測装置。 - 請求項2に記載の検査または計測装置であって、
前記検出手段は、前記電圧印加手段の出力を加算する加算手段を有し、
前記検出信号生成手段は、前記電流電圧変換手段と前記加算手段との出力に基づいて検出信号を生成する、
ことを特徴とする検査または計測装置。 - 請求項1に記載の検査または計測装置であって、
前記電圧印加手段は、前記電流電圧変換手段に印加する電圧の合計値を出力し、
前記検出信号生成手段は、前記電流電圧手段の出力を加算し、前記合計値を減算することで検出信号を生成することを特徴とする検査または計測装置。 - 請求項1に記載の検査または計測装置であって、
前記光子計数センサは、前記Nピクセルの光検出素子の出力を、前記光検出素子が配置されている領域毎に共通化してM個の出力信号を出力し、
前記電圧印加手段は、前記光検出素子の配置されている領域毎の出力信号のばらつきに基づいて、前記電流電圧変換手段に印加する電圧を設定する、
ことを特徴とする検査または計測装置。
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