JP2015133307A - Euv光源 - Google Patents
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Abstract
【課題】レチクルに均一高輝度なEUV光を得られ、EUV光コレクターミラーの汚染が少ないEUV光源を提供する。
【解決手段】EUV光を得るターゲットに照射するレーザー光を集光する集光鏡に多数のスリット又は多数の細管を設け、小範囲から発生したEUV光を多数のスリット又は多数の細管内部で全反射を繰り返すことでEUV光を発散さして、EUV光コレクターミラー1枚もしくはほんの数枚の照明鏡によって、レチクルに均一で高光強度かつ照射開口数の大きな照明光を得る。
【選択図】図1
【解決手段】EUV光を得るターゲットに照射するレーザー光を集光する集光鏡に多数のスリット又は多数の細管を設け、小範囲から発生したEUV光を多数のスリット又は多数の細管内部で全反射を繰り返すことでEUV光を発散さして、EUV光コレクターミラー1枚もしくはほんの数枚の照明鏡によって、レチクルに均一で高光強度かつ照射開口数の大きな照明光を得る。
【選択図】図1
Description
本発明は、EUV露光装置のEUV光源に関する。
従来のEUV光源は、Xe又はSnにレーザー光を照射又は放電によりEUV光を得ていた。
EUV光源の開発と応用 監修 豊田浩一、岡崎信次
従来のEUV光源は、点状発光であり発生するEUV光強度が低かった。又EUV光と励起用レーザー光の分離による取り出すEUV光の減弱があり、そしてEUV光と共に放出される高速粒子による高価なEUV光コレクターミラーの損傷が激しかった。その上レチクルに均一で大きな照射開口数を得るためには多数の照射光学系が必要であった。
そして本発明は上記目的を達成するため、EUV光を発生さすターゲットに照射するレーザー光反射鏡に多数のスリット又は細管を設け、
発生したEUV光をスリット又は細管にて全反射さすことにより発散さす。そしてこの時、スリット又は細管のEUV光入射口より出射口の方を少し広くしているので、EUV光の発散角度がましてゆく。
このEUV光は発光源とレチクルの照明部を共焦点とする回転楕円体反射鏡にてレチクルに照明開口数の大きくて均一なEUV光を照明する。
レーザー反射鏡とEUV光発生源間に、レーザー反射鏡とEUV光発生源の側面から高周波電圧をかけEUV光発生時に発生した中性原子や中性粒子をイオン化する。
そしてレーザー反射鏡を陽極にEUV光発生源側を陰極にして高電圧をかけることにより、EUV光生成時に発生したデブリがEUV光コレクターミラーにふ着するのを防いでいる。
EUV光発生源を線状にした場合は、レーザー光反射鏡には多数のスリットを、そしてEUV光発生源を点状にした場合は、レーザー光反射鏡には多数の細管を設置している。EUV光発光源を線状に形成すると、強力なEUV光を発生さすことができる。
EUV光を得るため固体ターゲットを採用する場合は、固体ターゲット表面に照射レザー光の波長の1/2の深さの溝を設けて、照射レーザー光を集光したそのスポット光の半分が溝の上に来る時だけに、照射レーザ光を照射している。
そしてレーザー光照射によって破壊された固体ターゲット表面を修復するため、固体ターゲットを構成している物質を溶融して塗布し、回転刻印器でその表面に溝をつけている。
本発明EUV光源は上記の様な形態をとっているので、EUV光発生源を線状にすることができ、EUV光発生強度を上げることができている。
レーザー光反射鏡にEUV光の入射口の幅又は口径より出射口の幅又は口径が大きい多数のスリット又は多数の細管内で、EUV光を全反射を繰り返してEUV光を取り出しているので、EUV光の分散を図り、レチクルに均一で開口数の大きなEUV光の照射ができている。
レーザー光反射鏡を陽極にEUV光発生源側を陰極に設定し、側面から高周波電圧をかけることで、ほぼ全部の原子又は中性粒子をイオン化してレーザー光反射鏡に飛来するのを防いでいる。
そしてEUV光コレクターミラーをレーザー光反射鏡の鏡面の反対側に置くことで、高速粒子によるEUV光コレクターミラーの損傷又は汚染を防いでいる。
EUV光を得るため固体ターゲットを用いる実施例では、装置が簡単で安価になる。発生する多量のデブリ対策として固体ターゲットの表面に照射レーザー光の1/2波長の深さの溝をつけ、その溝の位置を検出し、その位置にだけレーザー光を照射している。
そのため照射レーザー光のほぼ全部が固体ターゲットに吸収され、又プラズマ化してもそのまま段差がついたまま発散するので、照射EUV光はほぼ全部吸収されて反射光がほとんど発生しない。そのためターゲットからの原子はイオン化したのが多い。
その上、多数の溝があることで、固体ターゲットにレーザー光を照射してEUV光を得る時に発生する衝撃波の広がりを防いで、デブリ生成が少なくなっている。
レーザー光反射鏡の表面を固体ターゲットと同じ物質を塗布することで、レーザー光反射鏡の表面にデブリが沈着してもレーザー光反射鏡効果に変化がない。レーザー光反射鏡の表面にSnを塗布すると、レーザー光照射により一瞬Snは溶融するが直ちに固体になる。
レーザー光反射鏡の多数のスリット又多数の細管の互いに隣りあった側壁間に互交に陽極、陰極とする電圧をかけることにより、その間隙を通ったイオンは壁に引き寄せられ、又中性粒子も分極することにより壁に引きつけられる。
レーザ光反射鏡にカーボンナノチューブを含ませているので、軽く強じんで熱伝導率が高い、そのためレーザー光をレーザー光反射鏡に照射することにより発生する熱をすばやくにがしている。
レーザー光反射鏡の多数のスリット又は多数の細管内壁をEUV光全反射角度の大きな物質たとえば白金等でコーテイグしているので、EUV光の発散効果が大きくなっている。
レーザ光反射鏡のスリットの幅又は細管の口径を照射するレーザー光の波長以下にすることで、照射されたレーザー光は、レーザー光反射鏡のスリット又は細管から漏れ出ない
以下本発明の実施例を図1、図2、図3に基づいて説明する。
図1に示すように、30個のSnドロップレットを一直線状に射出し、位置1に集中するプリパルスYAGレーザー光により30個のSnドロップレットが破壊、分散され、口径1.0mm程度長さ30mm程度の円柱状に分散する。
分散された円柱状Snドロップレットは位置2に到達した時、位置2位置3を共焦点とする回転楕円体レーザー光反射鏡4にて位置3に集束するメインパルスである偏光された炭酸ガスレーザー光が位置2に集束し、分散された円柱状Snドロップレットが加熱を受け、EUV光を発生する。
回転楕円体レーザー光反射鏡4には、位置2を中心とする方向に向う回転楕円体レーザー光反射鏡4の鏡面で幅が炭酸ガスレーザー光以下でEUV光の射出口の幅が少し広くなっている多数のスリット5が設置されている。
又照射される炭酸ガスレーザー光はその電気振動方向は多数のスリット5の幅方向にあるので、この多数のスリット5は炭酸ガスレーザー光は透過させずEUV光だけを透過さす。この時多数のスリット5内では、EUV光をスリット方向と垂直方向の成分だけ全反射して発散する。
そしてレチクル6のEUV光照射面内の位置7と位置2を共焦点とする回転楕円体EUV光反射鏡8にてレチクル6の位置7付近に短辺が30mm程度で長辺が150mm程度の長方形に照明することが出来ている。
この時、レチクル6のEUV光照明面の各点は、光度が均一で照明開口数は大きくなっている。
この回転楕円体レーザー光反射鏡4は、アルミニュームとカーボンナノチューブの合材でできているので、軽く強じんでかつ電気抵抗が小さく熱伝導率が良いので、炭酸ガスレーザー光照射又電子の衝突による発熱をすばやく放射できている。
又回転楕円体レーザー光反射鏡4の多数のスリット5の内壁は全反射角度の大きな物質たとえば白金等を塗布している実施例がある。
回転楕円体レーザー光反射鏡4の鏡面9にSnを塗布しておけば、強力なパルス炭酸ガスレーザー光と電子の衝突とでSnが一瞬は溶融するが、たちまち固体となりEUV光発生源からのSnデブリが付着しても、炭酸ガスレーザー光反射効果に変化はない。
位置3付近に陰極を、回転楕円体レーザー光反射鏡4の鏡面9を陽極として、位置3と鏡面9方向と垂直方向にある2枚の電極10間に高周波電圧をかける。
そうすると、EUV光発生時に発生するSn中性原子、中性Sn粒子も電離し、発生したSnデブリは鏡面9から位置3方向にかけている高電位により移動し除かれる。
多数のスリット5の相対する壁が交互に陰極と陽極とになる様に電圧をかけていれば、多数のスリット間5間に中性Sn粒子が通過しようとしても、中性Sn粒子が分極させられ捕獲される。
円柱状に分散する多数のSnドロップレットのかわりに、1個のドロップレットを使用する場合は、回転楕円体レーザー光反射鏡4に位置2に集中する方向に、鏡面9に開いている口径が炭酸ガスレーザー光の波長以下で、EUV光射出口の口径が少し大きい多数の細管を設置して多数の細管内でEUV光を全反射する事でEUV光を発散さしている。
固体ターゲットにレーザー光を照射してEUV光を発生さす実施例として、図2に示す様に基板11の表面にSn板12を載せて、
Sn板12の表面は、照射炭酸ガスレーザー光の1/2波長程度の深さの溝13を多数設けている。
そして、EUV光を得る時、集光した炭酸ガスレーザー光の半分がSn板12の溝13に当たる様に、Sn板12の他の位置で赤外線半導体レーザー光で測定している。
この時、炭酸ガスレーザー光はほとんど全部Sn板12を温めるために使用され、反射光は発生していない。又この時発生発生したSnプラズマも高低差がついていて、Snプラズマ表面からの反射光も少なくなっている。
非特許文献1に記載されている様にSn板12の炭酸ガスレーザー光集光部から強力な衝撃波が発生するが、Sn板12に形成されている溝13が防波堤となり、衝撃波でSn板12が破壊されデブリが発生する範囲が減少している。
図3に示すように、炭酸ガスレーザー光が位置14に線状の焦点を結び、位置14と位置15を共焦点とする回転楕円体レーザー光反射鏡16で位置15に線状の焦点を結ぶ、
そこには、円板状の基板11の上にSn板12があり、Sn板12の表面は図2に示されているように、多数の溝13があり炭酸ガスレーザー光の焦点の半分は溝13にある。
このため照射炭酸ガスレーザー光の反射がほとんどなく、Sn板12にほとんど吸収され発熱する。そこでEUVとSnプラズマが発生する。
集光する炭酸ガスレーザー光の両側にある2枚の電極17間に高周波電圧をかけ、位置15で発生した中性Sn原子、中性Sn粒子がイオン化する。
そこで回転楕円体レーザー光反射鏡16を陽極にSn板12側を陰極とする高電圧をかけると、回転楕円体レーザー光反射鏡16方向飛来するSn原子、Sn粒子は減少する。
回転楕円体レーザー光反射鏡16には、位置15から放射状の位置に配置された回転楕円体レーザー光反射鏡16の鏡面18における開口幅が炭酸ガスレーザー光の波長以下でEUV光射出側の幅が少し広い多数のスリット19がある。そしてこの多数のスリット19内でEUV光が全反射を繰り返して発散している。
そして、この発散したEUV光で、位置15とレチクル20のEUV光円弧状照明部21を共焦点とする回転楕円体EUV光反射鏡22でレチクル20を照明する。
この時レチクル20上に長方形の範囲に均一で照明開口数の大きな照明が得られている。炭酸ガスレーザー光は偏光さして、その電気振動方向は回転楕円体レーザー光反射鏡16にある多数のスリット19の幅方向に設定している。そのため炭酸ガスレーザー光は多数のスリット19からは漏れ出ない。
基板11は、軸23を中心に高速回転していて、Sn板12がEUV光発生時、破壊された表面を、非特許文献1に記載されている様に、Sn再塗布器24にて溶融Snを塗布して修復している。
そして、回転刻印器25で図2に示す様な深さが炭酸ガスレーザー光の波長の半分の多数の溝13を連続してつけ、溝13の位置を半導体レーザー光位置検出器26にて検出している。
固体ターゲットのSn板12に作った点状EUV光発生源でEUV露光する場合には、回転楕円体レーザー光反射鏡16に、鏡面18側が炭酸ガスレーザー光の波長以下の口径で、EUV光射出口である反対側側が少し大きい多数の細管を位置15の方向に集中するように設置している。
この様に固体ターゲットにてEUV光を発生さす場合は、照射に必要なレーザー光は炭酸ガスレーザー光1本で良い。
EUV光を発生さす物質として他にLi、Xe等の実施例がある。
本発明は、EUV光露光装置のEUV光源に利用できる。
1、2、3、7、14、15 位置
4、16 回転楕円体レーザー光反射鏡
5、19 多数のスリット
6、20 レチクル
9、18 鏡面
8、22 回転楕円体EUV光反射鏡
10、17 2枚の電極
21 円弧状照明部
23 軸
24 Sn再塗布器
25 回転刻印器
26 半導体レーザー光位置検出器
4、16 回転楕円体レーザー光反射鏡
5、19 多数のスリット
6、20 レチクル
9、18 鏡面
8、22 回転楕円体EUV光反射鏡
10、17 2枚の電極
21 円弧状照明部
23 軸
24 Sn再塗布器
25 回転刻印器
26 半導体レーザー光位置検出器
Claims (10)
- レーザー光反射鏡にスリット又は細管を設けスリット又は細管を通してEUV光を得るEUV光源。
- スリット又は細管内にてEUV光を全反射さしてEUV光を得る請求項1記載のEUV光源。
- 一方向に高周波電圧をかけその方向と垂直方向に一定方向の電圧をかけて、レーザー光反射鏡とEUV光反射鏡のEUV光発光源からの汚染又は損傷を防ぐ機構を有する請求項1記載のEUV光源。
- レーザー光を照射してEUV光を得る固体ターゲットの表面に照射レーザー光の1/2波長の深さの溝を設けた請求項1記載のEUV光源。
- レーザー光反射鏡にカーボンナノチューブを含ませたことを特徴とする請求項1記載のEUV光源。
- レーザ光反射鏡に設置されたスリット又は細管内壁にEUV光の全反射角度が大きい物質を塗布した請求項1記載のEUV光源。
- レーザー光反射鏡のスリットの幅又は細管の口径が照射するレーザー光の波長以下にした請求項1記載のEUV光源。
- レーザー光反射鏡のスリットの幅又は細管の口径がEUV光入射口より出射口の方が大きくしたことを特徴とする請求項7記載のEUV光源。
- レーザー光反射鏡のスリット又は細管の向いあった側壁が両極となる電圧をかけた請求項1記載のEUV光源。
- レーザー光反射鏡に照射するレーザー光を偏向したことを特徴とする請求項1記載のEUV光源。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014032277A JP2015133307A (ja) | 2014-01-14 | 2014-01-14 | Euv光源 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014032277A JP2015133307A (ja) | 2014-01-14 | 2014-01-14 | Euv光源 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015133307A true JP2015133307A (ja) | 2015-07-23 |
Family
ID=53900352
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014032277A Pending JP2015133307A (ja) | 2014-01-14 | 2014-01-14 | Euv光源 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2015133307A (ja) |
-
2014
- 2014-01-14 JP JP2014032277A patent/JP2015133307A/ja active Pending
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