JP2015119777A - 滅菌装置、滅菌方法 - Google Patents

Abstract

【課題】滅菌プロセスで用いられる滅菌剤の経路から漏れ出した滅菌剤を分解するための仕組みを提供すること。
【解決手段】 滅菌剤を用いて対象物を滅菌する滅菌装置であって、滅菌プロセスで用いられる滅菌剤の経路と、前記経路ではない位置に設けられ滅菌剤を分解する分解手段と、を備えることを特徴とする。
【選択図】図２

Description

本発明は、滅菌装置、滅菌方法に関する。特に、滅菌装置における滅菌剤の経路から漏れ出した滅菌剤を分解するための技術に関する。

注射器や手術道具などの医療器具を使用した後に、当該医療器具に病原菌等が付着していることがあるため、次回、使用する前までに滅菌を行っておく必要がある。
そこで、医療器具等の滅菌が必要な対象物を滅菌処理する滅菌装置が一般に知られている。
このように医療で使用する医療用器具を滅菌する方法として、過酸化水素ガスを用いて滅菌する滅菌装置が知られている。

この滅菌装置では、一般的に、過酸化水素水溶液を蒸発させることで過酸化水素ガスを発生させ、発生させた過酸化水素ガスが滅菌室に投入して被対象物に接触することで、被対象物を滅菌することが可能とする。

そして、滅菌処理が終了すると、滅菌室内に投入された過酸化水素ガスを、触媒を用いて分解する滅菌装置が知られている。
例えば、特許文献１には、滅菌チャンバ内の過酸化水素ガスを、触媒を用いて分解することが記載されている。
特許３７８３３３７号公報

しかしながら、従来、滅菌装置による滅菌プロセスで滅菌剤（過酸化水素ガス）が流れる経路（管）に、滅菌剤（過酸化水素ガス）を分解する分解触媒が設けられているものは開示されているものの、その経路から漏れた滅菌剤（過酸化水素ガス）を分解する仕組みについては開示されてない。

たとえば、地震や滅菌装置の移動の際に転倒する等、滅菌装置に意図しない衝撃が与えられる可能性がある。そのような衝撃により滅菌プロセスで滅菌剤（過酸化水素ガス）が流れる経路（管）の一部の部品の接合部が緩み、当該経路から意図しない漏気が発生する可能性も考えられる。
また、この漏気に滅菌剤（過酸化水素ガス）が含まれている場合には、当該漏気に含まれる滅菌剤（過酸化水素ガス）を分解処理することが求められる。

本発明の目的は、滅菌プロセスで用いられる滅菌剤の経路から漏れ出した滅菌剤を分解するための仕組みを提供することである。

本発明は、滅菌剤を用いて対象物を滅菌する滅菌装置であって、滅菌プロセスで用いられる滅菌剤の経路と、前記経路ではない位置に設けられ滅菌剤を分解する分解手段と、を備えることを特徴とする。

また、本発明は、滅菌剤を用いて対象物を滅菌する滅菌装置における制御方法であって、滅菌プロセスで滅菌剤の経路に滅菌剤を流すステップと、前記経路ではない位置に設けられた分解手段により滅菌剤を分解する分解ステップと、を備えることを特徴とする。

本発明により、滅菌プロセスで用いられる滅菌剤の経路から漏れ出した滅菌剤を分解することができる。

本発明に係る滅菌装置の外観の正面図である。 本発明に係る滅菌装置のハードウエアの構成の一例を示す図である。 滅菌装置１００の表示部１０２に表示される画面の一例を示す図である。 本発明に係る滅菌装置による滅菌処理の各工程の一例を示す図である。 図４のＳ１１１に示す滅菌処理の詳細処理の一例を示す図である。 図５のＳ５０１に示す滅菌前工程の詳細処理の一例を示す図である。 図５のＳ５０２に示す滅菌工程の詳細処理の一例を示す図である。 図５のＳ５０３に示す換気工程の詳細処理の一例を示す図である。 図４のＳ１１４に示す滅菌排出処理の詳細処理の一例を示す図である。 滅菌装置１００の表示部１０２に表示されるカートリッジ取付要求画面１００１の一例を示す図である。 本発明に係る、滅菌装置に用いられる滅菌剤のカートリッジ２０５を横側から見た図（側面図）である。 カートリッジ内の滅菌剤を吸引するために、カートリッジの底、又は底近傍まで抽出針２０３−Ａの先が挿入された際のカートリッジの断面１の断面図である。 湿度測定部２２８の詳細な構成を示す図の一例である。 湿度測定部２２８による測定の結果得られた水の成分の湿度の値を縦軸にとり、時間を横軸にとったグラフである。 滅菌剤を滅菌室２１９内に追加投入した場合の、滅菌室２１９内の水の成分の湿度の測定結果の一例を示す図である。 図７のステップＳ７１７−１の滅菌ガス濃度測定処理の詳細処理の一例を示す図である。 図１６のステップＳ１６０３に示す滅菌剤追加投入処理の詳細処理の一例を示す図である。 図１３に示した湿度測定部２２８の変形例の一例を示す図である。 滅菌装置１００のメモリに記憶されたテーブルの一例を示す図である。 滅菌室２１９内の過酸化水素のガスの濃度（％）と、滅菌室２１９内の水のガスの湿度（％）の一定の相関関係を示す図である。 漏気滅菌剤分解装置２２９のファン２２９１と分解触媒２２９２との位置関係を示す漏気滅菌剤分解装置２２９の構成図である。 本発明に係る漏気滅菌剤分解装置２２９の動作処理の各工程の一例について説明する。 本発明に係る漏気滅菌剤分解装置２２９の動作処理の各工程の一例について説明する。 漏気滅菌剤分解装置２２９のハードウェアブロック図の一例を示す図である。

図面を用いて、本発明の滅菌装置、及び滅菌方法について、説明する。
＜図１の説明＞
まず、図１を用いて、本発明に係る滅菌装置の外観について説明する。
図１は、本発明に係る滅菌装置の外観を正面から見た正面図である。

１００は、本発明に係る滅菌装置であり、１０１は、カートリッジ取付用扉であり、１０２は、表示部であり、１０３は、印刷部１０３であり、１０４は、滅菌室の扉である。

カートリッジ取付用扉１０１は、滅菌剤（例えば、過酸化水素溶液の液体）が充填された容器であるカートリッジを取り付けるための扉である。
カートリッジ取付用扉１０１を開くと、カートリッジの取り付け場所があり、ユーザは、そこにカートリッジを取り付けることができるようになる。
表示部１０２は、液晶ディスプレイなどのタッチパネルの表示画面である。

印刷部１０３は、滅菌処理の履歴や処理の結果を印刷用紙に印刷するプリンタであり、適宜、滅菌処理の履歴や処理の結果を印刷用紙に印刷する。

滅菌室の扉１０４は、例えば医療用器具などの被滅菌対象物（被滅菌物）を滅菌するために、該被滅菌物を滅菌室に入れるための扉である。滅菌室の扉１０４を開くと、滅菌室があり、そこに該被滅菌物を入れて、滅菌室の扉１０４を閉じることで、滅菌室内に被滅菌対象物を入れることができる。このように、滅菌室には、被滅菌対象物（単に対象物とも言う）が格納される。

滅菌室は、所定の容量の筐体である。滅菌室内の圧力は大気圧から真空圧までの圧力を維持することが可能である。また、滅菌室内の温度は、滅菌処理中において、所定の範囲の温度に維持されている。

＜図２の説明＞
次に、図２を用いて、本発明に係る滅菌装置のハードウエアの構成の一例について説明する。
図２は、本発明に係る滅菌装置のハードウエアの構成の一例を示す図である。

本発明に係る滅菌装置１００は、演算処理部（ＭＰＵ等）２０１と、表示部１０２と、印刷部１０３と、ロック動作制御部２０２と、抽出針動作制御部２０３と、滅菌室の扉１０４と、液センサ２０４と、カートリッジ２０５と、ＲＦ−ＩＤリーダ／ライタ２０６と、液送ロータリーポンプ２０７と、濃縮炉２０８と、気送加圧ポンプ２０９と、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０と、弁（Ｖ１）２１１と、弁（Ｖ３）２１２と、弁（Ｖ４）２１３と、計量管２１４と、弁（Ｖ２）２１５と、気化炉２１６と、弁（Ｖ５）２１７と、弁（Ｖ９）２２７と、弁（Ｖ７）２２６と、滅菌室（真空チャンバーとも言う）２１９と、湿度測定部２２８と、気送真空ポンプ２２０と、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１と、滅菌剤分解装置２２２と、液送ロータリーポンプ２２３と、排気蒸発炉２２４と、漏気滅菌剤分解装置２２９とから構成されている。

演算処理部（ＭＰＵ等）２０１は、演算処理を行い、滅菌装置１００を構成する各ハードウエアを制御する。

表示部１０２、印刷部１０３、滅菌室の扉１０４は、既に図１を用いて説明しているため、ここでは説明を省略する。

ロック動作制御部２０２は、カートリッジ取付用扉１０１の施錠、開錠の動作を行う部であり、カートリッジ取付用扉１０１を施錠することにより、カートリッジ取付用扉１０１を開かないようにし、また、カートリッジ取付用扉１０１を開錠することにより、カートリッジ取付用扉１０１を開けることができるようにする。

カートリッジ２０５は、滅菌剤（例えば、過酸化水素水溶液の液体であって、過酸化水素の濃度が６０％の水溶液）が充填され、密閉された容器である。カートリッジ２０５に充填されている滅菌剤は、滅菌の効果を生じさせる滅菌成分として過酸化水素（溶質）を含んでおり、この過酸化水素を水（溶媒）に溶けた液体の滅菌剤である。
本実施例では、水を溶媒として説明し、過酸化水素を滅菌成分としての溶質として説明する。

また、カートリッジ２０５の下側にはＲＦ−ＩＤ等の記憶媒体を備えており、その記憶媒体には、該カートリッジを識別する情報としてのシリアル番号と、該カートリッジの製造年月日、該カートリッジが初めて滅菌装置で使用された日時（初回使用日時）、該カートリッジ内に充填されている滅菌剤の残量が記憶されている。

抽出針動作制御部２０３は、カートリッジ内の滅菌剤を吸引するための抽出針（滅菌剤をカートリッジから取り出すための管）をカートリッジの上部から刺すために、当該抽出針を動作する部である。

すなわち、カートリッジ内の滅菌剤を吸引するための抽出針（注射針）をカートリッジの上部から刺す場合は、抽出針（注射針）をカートリッジに向けて、該カートリッジの上部から降ろすように動作することで、抽出針（注射針）をカートリッジの上部から刺すことができる。また、抽出針（注射針）をカートリッジから抜く場合は、該カートリッジの上部に抽出針（注射針）を上げるように動作することで、抽出針（注射針）をカートリッジから抜くことができる。

液センサ２０４は、カートリッジ２０５内の液体の滅菌剤が、抽出針（注射針）から液送ロータリーポンプ２０７、液送ロータリーポンプ２２３に導通している管（導管）を通っているかを検出する装置である。具体的には、該管に赤外線を照射して得られるスペクトルから滅菌剤が該管を通っているかを検出することができる。

ＲＦ−ＩＤリーダ／ライタ２０６は、カートリッジ２０５の下側に備え付けられているＲＦ−ＩＤから、シリアル番号、製造年月、初回使用日時、滅菌剤の残量を読み取ることができる装置である。また、ＲＦ−ＩＤリーダ／ライタ２０６から、カートリッジ２０５の下側に備え付けられているＲＦ−ＩＤに、初回使用日時、滅菌剤の残量を書き込むことができる装置である。また、ＲＦ−ＩＤリーダ／ライタ２０６は、カートリッジ取付用扉１０１の裏にあるカートリッジの取り付け場所の下部に設置されており、カートリッジ２０５の下側に備え付けられているＲＦ−ＩＤを読み取ること、及び初回使用日時、滅菌剤の残量等のデータをＲＦ−ＩＤに書き込むことが可能である。

液送ロータリーポンプ２０７は、濃縮炉２０８と導管により導通しており、また、液センサ２０４と導管により導通している。液送ロータリーポンプ２０７は、カートリッジ２０５内の液体の滅菌剤をロータリーポンプにより吸引して、導管を通して滅菌剤を濃縮炉２０８に送る装置である。また、液送ロータリーポンプ２０７は、液センサ２０４と連携して、カートリッジ２０５から、滅菌剤の所定量を吸引することができる。

濃縮炉２０８は、液送ロータリーポンプ２０７と、気送加圧ポンプ２０９と、計量管２１４と、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１と、それぞれ導管により導通している。濃縮炉２０８は、液送ロータリーポンプ２０７から導管を通じて導入された滅菌剤を、ヒーターを用いて加熱し、滅菌剤に含まれる水分などを蒸発（気化）させ滅菌剤を濃縮する。また、気化した水（ガス）は、気送加圧ポンプ２０９から導管を通して送り込まれる空気により、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１に導通している導管に押し出され、濃縮炉２０８内から排気される。また、計量管２１４と濃縮炉２０８との間の導管の間には弁（１）２１１が設けられている。

気送加圧ポンプ２０９は、それぞれ、濃縮炉２０８と、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０と、導管により導通している。気送加圧ポンプ２０９は、滅菌装置１００の外気（空気）を、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０を介して、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０との導管により導入して濃縮炉２０８に送る装置である。

吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０は、それぞれ、気送加圧ポンプ２０９と、滅菌室２１９と、気化炉２１６と、導管により導通している。吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０は、滅菌装置１００の外の外気（空気）中のちりやほこり、雑菌などを、ＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉｒ Ｆｉｌｔｅｒ）フィルタでフィルタリングして空気を清浄する。そして、その清浄された空気は、気送加圧ポンプ２０９により導管を通して濃縮炉２０８に導入される。

また、清浄された空気は、気化炉２１６との導管により導通して気化炉２１６に導入されたり、滅菌室２１９との導管により導通して滅菌室２１９に導入される。

すなわち、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０は、滅菌装置１００の外の外気（空気）と導通している。そのため、気送加圧ポンプ２０９と吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０との間の導管と、滅菌室２１９と吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０との間の導管と、気化炉２１６と吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０との間の導管は、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０を介して、外気（空気）と導通している。

また、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０と気化炉２１６との間の導管には、弁（Ｖ９）２２７が設けられている。また、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０と滅菌室２１９との間の導管には、弁（Ｖ７）２２６が設けられている。

弁（Ｖ１）２１１は、濃縮炉２０８と計量管２１４との間の導管に設けられた弁であって、弁を開けることで濃縮炉２０８と計量管２１４との間の導管による導通を可能にし、弁を閉めることで濃縮炉２０８と計量管２１４との間の導管による導通を不可能にする弁である。

弁（Ｖ３）２１２は、計量管２１４と滅菌室２１９との間の導管に設けられた弁であって、弁を開けることで計量管２１４と滅菌室２１９との間の導管による導通を可能にし、弁を閉めることで計量管２１４と滅菌室２１９との間の導管による導通を不可能にする弁である。また、この弁は、計量管２１４の近くに設けられており、少なくとも後述する弁（Ｖ４）よりも計量管２１４側の位置に設けられている。

弁（Ｖ４）２１３は、計量管２１４と滅菌室２１９との間の導管に設けられた弁であって、弁を開けることで計量管２１４と滅菌室２１９との間の導管による導通を可能にし、弁を閉めることで計量管２１４と滅菌室２１９との間の導管による導通を不可能にする弁である。また、この弁は、滅菌室２１９の近くに設けられており、少なくとも後述する弁（Ｖ３）よりも滅菌室２１９側の位置に設けられている。

本実施例では、弁（Ｖ４）２１３、弁（Ｖ３）２１３の開け閉めにより、計量管と滅菌室との間の導管の導通を可能にするか、不可能にするかを行っているが、弁（Ｖ４）２１３、弁（Ｖ３）２１３のどちらか一方の弁の開け閉めにより、計量管と滅菌室との間の導管の導通を可能にするか、不可能にするかを行うようにしてもよい。

計量管２１４は、濃縮炉２０８と、気化炉２１６と、滅菌室２１９のそれぞれとの間の導管により導通している。

計量管２１４は、弁（Ｖ１）２１１を開くことにより、濃縮炉２０８から滅菌剤が流入し、弁（Ｖ３）２１２、及び弁（Ｖ４）２１３を開くことにより、カートリッジ２０５内から吸入した不要な空気、及び／又は濃縮炉２０８内から流入した不要な空気を、計量管２１４により取り除く装置である。

弁（Ｖ２）２１５は、計量管２１４と、気化炉２１６との間の導管に設けられた弁であって、弁を開けることで計量管２１４と気化炉２１６との間の導管による導通を可能にし、弁を閉めることで計量管２１４と気化炉２１６との間の導管による導通を不可能にする弁である。

弁（Ｖ２）２１５、及び／又は弁（Ｖ５）２１７、及び／又は液送ロータリーポンプ２０７は、気化手段により気化された滅菌剤を滅菌室に導入する、本発明の導入手段の適用例である。

気化炉２１６（気化室とも言う）は、計量管２１４と、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０と、滅菌室２１９とのそれぞれとの間の導管により導通している。気化炉２１６は、液体の滅菌剤を気化するための本発明の気化手段の適用例である。

気化炉２１６の中は、気送真空ポンプ２２０により減圧され、減圧された気化炉２１６内に液体の滅菌剤を導入することで、当該滅菌剤を気化させる装置である。

弁（Ｖ５）２１７は、気化炉２１６と、滅菌室２１９との間の導管に設けられた弁であって、弁を開けることで気化炉２１６と滅菌室２１９との間の導管による導通を可能にし、弁を閉めることで気化炉２１６と滅菌室２１９との間の導管による導通を不可能にする弁である。

弁（Ｖ９）２２７は、気化炉２１６と吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０との間の導管に設けられた弁であって、弁を開けることで気化炉２１６と吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０との間の導管による導通を可能にし、弁を閉めることで気化炉２１６と吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０との間の導管による導通を不可能にする弁である。すなわち、弁（Ｖ９）２２７は、気化炉２１６と外気（大気）との導通を開閉できる弁である。

弁（Ｖ７）２２６は、滅菌室２１９と吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０との間の導管に設けられた弁であって、弁を開けることで滅菌室２１９と吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０との間の導管による導通を可能にし、弁を閉めることで滅菌室２１９と吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０との間の導管による導通を不可能にする弁である。すなわち、弁（Ｖ７）２２６は、滅菌室２１９と外気（大気）との導通を開閉できる弁である。

滅菌室（真空チャンバーとも言う）２１９は、図１でも説明したが、例えば医療用器具などの被滅菌対象物を滅菌する所定の容量の筐体である。滅菌室内の圧力は大気圧から真空圧までの圧力を維持することが可能である。また、滅菌室内の温度は、滅菌処理中において、所定の範囲の温度に維持されている。また、滅菌室２１９内には、圧力センサが備えられており、圧力センサにより滅菌室２１９内の圧力（気圧）を測定することができる。滅菌装置１００の演算処理部２０１は、この圧力センサにより測定された滅菌室２１９内の気圧を用いて、滅菌室２１９内等の圧力（気圧）が所定の気圧になっているかを判定する。

気送真空ポンプ２２０は、滅菌室２１９内、気化炉２１６内、計量管２１４内、計量管２１４と気化炉２１６との間の導管内、気化炉２１６と滅菌室２１９との間の導管内、計量管２１４と滅菌室２１９との間の導管内の空間の気体を吸引して、それぞれの空間内を減圧し真空状態（大気圧より低い圧力の気体で満たされた空間内の状態）にする装置である。気送真空ポンプ２２０は、滅菌室を真空引き（減圧）する、本発明の真空手段の適用例である。

気送真空ポンプ２２０は、滅菌室２１９との間で導管により導通されており、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１との間で導管により導通されている。

排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１は、気送真空ポンプ２２０との間で導管により導通されている。また、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１は、排気蒸発炉２２４との間で導管により導通されている。また、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１は、滅菌剤分解装置２２２との間で導管により導通されている。また、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１は、濃縮炉２０８との間で導管により導通されている。

排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１は、気送真空ポンプ２２０により、滅菌室２１９内等から吸引された気体を、気送真空ポンプ２２０との間の導管から送られてきた気体内のちりやほこり、雑菌などを、ＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉｒ Ｆｉｌｔｅｒ）フィルタでフィルタリングして、吸引された気体を清浄する。

そして、清浄された気体は、滅菌剤分解装置２２２と排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１との間の導管を通り、滅菌剤分解装置２２２に送られ、滅菌剤分解装置２２２により該気体に含まれる滅菌剤（薬剤）の分子を分解し、分解後の分子を滅菌装置１００の外に放出する。

また、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１は、濃縮炉２０８と排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１との間の導管により濃縮炉２０８から排気される気体を清浄する。

この気体は、濃縮炉２０８で滅菌剤が過熱されて気化されたガスは、水を主成分としたものではあるが、微量の滅菌剤を含むため、滅菌剤分解装置２２２と排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１との間の導管を通り、滅菌剤分解装置２２２に送られる。そして、滅菌剤分解装置２２２により該気体に含まれる滅菌剤の分子を分解し、分解後の分子を滅菌装置１００の外に放出する。

また、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１は、排気蒸発炉２２４から、排気蒸発炉２２４と排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１との間の導管を通り送られてくる気化された滅菌剤を清浄する。

そして、その洗浄された滅菌剤（気体）は、滅菌剤分解装置２２２と排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１との間の導管を通り、滅菌剤分解装置２２２に送られ、滅菌剤分解装置２２２により該気体に含まれる滅菌剤の分子を分解し、分解後の分子を滅菌装置１００の外に放出する。

滅菌剤分解装置２２２は、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１との間の導管により導通されている。滅菌剤分解装置２２２は、滅菌剤分解装置２２２と排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１との間の導管から送られてくる気体に含まれる滅菌剤の分子を分解して、分解して生成される分子（水、酸素）を滅菌装置１００の外に放出する。

滅菌剤分解装置２２２は、例えば、滅菌剤が過酸化水素水溶液である場合、気化された過酸化水素を、触媒（例えば、二酸化マンガン）を用いて、水と酸素に分解することができる装置である。

液送ロータリーポンプ２２３は、排気蒸発炉２２４と導管により導通しており、また、液センサ２０４と導管により導通している。

液送ロータリーポンプ２２３は、カートリッジ２０５内の全ての液体の滅菌剤をロータリーポンプにより吸引して、液センサ２０４と液送ロータリーポンプ２２３との間の導管を通して送られるその全ての滅菌剤を、液送ロータリーポンプ２２３と排気蒸発炉２２４との間の導管を通して、排気蒸発炉２２４に送る装置である。

排気蒸発炉２２４は、液送ロータリーポンプ２２３と導管により導通しており、また、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１と導管により導通している。

排気蒸発炉２２４は、液送ロータリーポンプ２２３と排気蒸発炉２２４との間の導管を通して送られる、カートリッジ２０５内の全ての液体の滅菌剤を、排気蒸発炉２２４に備え付けられたヒーターにより加熱し、その滅菌剤の全てを気化させる。そして、気化された滅菌剤は、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１と排気蒸発炉２２４との間の導管を通して、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１に送られる。

また、漏気滅菌剤分解装置２２９は、滅菌装置１００内の全ての管（滅菌剤の経路）や、滅菌装置１００内の全ての装置（各ハードウエア）の何れかから漏れた滅菌剤を分解する装置である。漏気滅菌剤分解装置２２９の具体的な構成、及び具体的な処理については、図２１〜２４を用いて説明する。

また、湿度測定部２２８は、滅菌室内に投入されたガス状の滅菌剤を、触媒（例えば二酸化マンガン）を用いて分解された水、及び当該滅菌剤に含まれる水の湿度を測定することにより、当該滅菌室内に投入された滅菌剤の濃度を測定する装置である。

また、湿度測定部２２８は、滅菌室内に投入されたガス状の滅菌剤に含まれる水の湿度を測定することにより、当該滅菌室内に投入された滅菌剤の濃度を測定する装置である。
湿度測定部２２８の具体的構成については、図１３から図１８の図面を用いて説明する。

図２で説明した各導管（管）、及び各装置（各ハードウェア）は、滅菌プロセスで用いられる滅菌剤の経路であり、漏気滅菌剤分解装置２２９が、滅菌剤が流れる管、装置（滅菌剤の経路）ではない滅菌装置内の位置に、滅菌剤を分解する分解手段として設けられている。
次に、図１１、図１２を用いて、カートリッジ２０５、及びカートリッジ２０５に抽出針２０３−Ａが挿入された様子について説明する。

図１１は、本発明に係る、滅菌装置に用いられる滅菌剤のカートリッジ２０５を横側から見た図（側面図）である。

図１１に示すカートリッジは、１つのボトルに滅菌処理を複数回行える量の滅菌剤が入ったカートリッジである。

図１１に示すカートリッジには、滅菌剤として用いられる過酸化水素（薬剤）を含む薬液が入っている。

図１１に示すように、カートリッジは、第１の容器と、その第１の容器の蓋とから構成されている。

第１の容器の外観は、コップの形状をしている。また、この第１の容器の材質（材料）は、滅菌剤である過酸化水素に対して耐性のあるポリプロピレン（プラスチック）である。この第１の容器は、後述する第２の容器を保護するためにも設けられている。

蓋は、第１の容器の上側に第１の容器を閉じるため蓋である。すなわち、蓋は、第１の容器の外周の淵と接着している。また、この蓋の材質は、滅菌剤である過酸化水素に対して耐性のあるポリプロピレン（プラスチック）である。

カートリッジの上側から見て、カートリッジの中心点でのカートリッジの断面を断面１とする。

次に、図１２を用いて、カートリッジ内の滅菌剤を吸引するために、カートリッジの底、又は底近傍まで抽出針２０３−Ａの先が挿入された際のカートリッジの内部の構造について説明する。

図１２は、カートリッジ内の滅菌剤を吸引するために、カートリッジの底、又は底近傍まで抽出針２０３−Ａの先が挿入された際のカートリッジの断面１の断面図である。

滅菌装置１００が、抽出針２０３−Ａ（注射針）をカートリッジに向けて、該カートリッジの上部（上側）から下部（下側）に降ろすように動作することで、蓋の穴、キャップの穴（開封部）に抽出針２０３−Ａ（注射針）が挿入される。

このとき、滅菌装置１００は、注射針が蓋の穴、キャップの穴を貫通し、第２の容器４０９に下部に注射針の先端が来るように動作する。

図１２に示すように、ステップＳ１０３では、注射針をカートリッジの底、又は底近傍まで挿入することで、カートリッジ内の滅菌剤を抽出することが可能となる。
＜図４の説明＞
次に、図４を用いて、本発明に係る滅菌装置による滅菌処理の各工程の一例について説明する。

図４に示す各工程（処理）は、滅菌装置１００の演算処理部２０１により滅菌装置内の各装置（各ハードウエア）の動作を制御することにより行われる。
図４は、本発明に係る滅菌装置による滅菌処理の各工程の一例を示す図である。

滅菌装置１００は、電源が入れられると、まず、ＲＦ−ＩＤリーダ／ライタ２０６が、カートリッジ２０５の下側に設けられたＲＦ−ＩＤ（記憶媒体）から、データを読み取る（ステップＳ１０１）。

ステップＳ１０１で、ＲＦ−ＩＤ（記憶媒体）から読み取られるデータとしては、該カートリッジを識別する情報としてのシリアル番号と、該カートリッジの製造年月日と、該カートリッジが滅菌装置で初めて使用された日時（初回使用日時）と、該カートリッジ内に充填されている滅菌剤の残量とがある。すなわち、カートリッジ２０５に設けられたＲＦ−ＩＤ（記憶媒体）には、予め、シリアル番号、製造年月日、初回使用日時、滅菌剤の残量が記憶されている。

次に、滅菌装置１００は、ステップＳ１０１でＲＦ−ＩＤからデータが読み取れたと判定された場合は（ステップＳ１０２：ＹＥＳ）、滅菌装置１００内のカートリッジの取り付け場所にカートリッジが設置されていると判断し、カートリッジ取付用扉１０１を施錠する（ステップＳ１０３）。

そして、滅菌装置１００は、カートリッジ内に滅菌１回分の滅菌剤の所定の量があるか否かを判定する。具体的には、ＲＦ−ＩＤから取得した滅菌剤の残量が、滅菌１回分の所定の量よりも多いか否かを判定する。すなわち、滅菌剤の残量が、滅菌１回分の所定の量よりも多いと判定された場合は、カートリッジ内に滅菌１回分の滅菌剤の所定の量がある（十分な滅菌処理を実行できる）と判断し（ステップＳ１０４：ＹＥＳ）、ステップＳ１０５の処理を行う。一方、滅菌剤の残量が、滅菌１回分の所定の量（例えば、８ミリリットル）よりも少ないと判定され場合は、カートリッジ内に滅菌１回分の滅菌剤の所定の量がない（十分な滅菌処理を実行できない）と判断し（ステップＳ１０４：ＮＯ）、ステップＳ１１２の処理を行う。

滅菌装置１００は、ステップＳ１０５において、ＲＦ−ＩＤから取得したカートリッジの製造年月日から、所定の期間（例えば、１３か月）を経過しているかを判断する。

そして、製造年月日から所定の期間を経過していると判定された場合は（ステップＳ１０５：ＹＥＳ）、十分な滅菌処理を実行できないと判定し、ステップＳ１１２の処理を行う。一方、製造年月日から所定の期間を経過していないと判定された場合は（ステップＳ１０５：ＮＯ）、十分な滅菌処理を実行できると判定し、ステップＳ１０６の処理を行う。

滅菌装置１００は、ステップＳ１０６において、ＲＦ−ＩＤから取得した初回使用日時から、所定の期間（例えば、２週間）を経過しているかを判断する。

そして、ＲＦ−ＩＤから取得した初回使用日時から、所定の期間（例えば、２週間）を経過していると判定された場合は（ステップＳ１０６：ＹＥＳ）、十分な滅菌処理を実行できないと判定し、ステップＳ１１２の処理を行う。一方、所定の期間（例えば、２週間）を経過していないと判定された場合は（ステップＳ１０６：ＮＯ）、十分な滅菌処理を実行できると判定し、ステップＳ１０７の処理を行う。

滅菌装置１００は、ステップＳ１０７において、滅菌開始画面（図３の３０１）を表示部１０２に表示する。
図３は、滅菌装置１００の表示部１０２に表示される画面の一例を示す図である。

滅菌開始画面３０１には、「滅菌開始ボタン」が表示されている。ステップＳ１０７で表示される滅菌開始画面３０１内の「滅菌開始ボタン」３０２は、ユーザにより押下可能に（アクティブに）なっている。

そして、滅菌装置１００は、ユーザにより、「滅菌開始ボタン」３０２が押下されると（ステップＳ１０８：ＹＥＳ）、滅菌モード選択画面（図３の３０３）を表示部１０２に表示する。

滅菌モード選択画面３０３には、「滅菌剤を濃縮して滅菌するモード」ボタン３０４と、「滅菌剤を濃縮しないで滅菌するモード」ボタン３０５とが表示されている。

滅菌装置１００は、「滅菌剤を濃縮して滅菌するモード」ボタン３０４と、「滅菌剤を濃縮しないで滅菌するモード」ボタン３０５のどちらか一方の選択をユーザから受け付け（ステップＳ１１０）、ユーザにより選択されたボタンのモードに従った滅菌処理（ステップＳ１１１）を行う。滅菌処理（ステップＳ１１１）の詳細は、図５を用いて、後で説明する。

このように、ユーザの指示により、滅菌処理するモードを１台の滅菌装置で切り替えて使用することが可能となる。すなわち、「滅菌剤を濃縮して滅菌するモード」ボタン３０４がユーザにより押下された場合は、滅菌剤を濃縮して、滅菌処理を行い、「滅菌剤を濃縮しないで滅菌するモード」ボタン３０５が押下された場合は、滅菌剤を濃縮しないで、滅菌処理を行う。

そして、滅菌装置１００は、滅菌処理（ステップＳ１１１）が終了すると、ステップＳ１０１に処理を戻す。

また、滅菌装置１００は、ステップＳ１１２において、滅菌開始画面（図３の３０１）を表示部１０２に表示する。ただし、ステップＳ１１２で表示される滅菌開始画面（図３の３０１）内の「滅菌開始ボタン」３０２は、ユーザにより押下出来ないように表示されている（「滅菌開始ボタン」３０２がアクティブではない）。そのため、ユーザによる、滅菌処理の開始指示を受け付けないようにすること可能となる。

そして、滅菌装置１００は、ステップＳ１０１でＲＦ−ＩＤから取得したシリアル番号から、カートリッジの取り付け場所に設置してあるカートリッジが、既に滅菌剤の排出処理済みのカートリッジであるか否かを判定する（ステップＳ１１３）。具体的には、滅菌装置１００内のメモリ（記憶部）には、既に滅菌剤の排出処理済みのカートリッジを識別するシリアル番号が記憶されており、ステップＳ１０１でＲＦ−ＩＤから取得したシリアル番号が、該メモリ（記憶部）に記憶されているシリアル番号に一致するか否かを判定することにより、現在、滅菌装置１００に取り付けられているカートリッジが、既に滅菌剤の排出処理済みのカートリッジであるか否かを判定する。

現在、滅菌装置１００に取り付けられているカートリッジが、既に滅菌剤の排出処理済みのカートリッジであると判定された場合は（ステップＳ１１３：ＹＥＳ）、ステップＳ１１５の処理を行う。一方、既に滅菌剤の排出処理済みのカートリッジではないと判定された場合は（ステップＳ１１３：ＮＯ）、カートリッジ内に残っている液体の滅菌剤の残量の全てを吸い取り、その全ての滅菌剤を分解処理して、滅菌装置１００の外に放出する、滅菌剤の排出処理（ステップＳ１１４）を行い、その後、ステップＳ１１５の処理を行う。ステップＳ１１４の滅菌剤の排出処理の詳細は、図９を用いて、後で説明する。

ステップＳ１１４の処理を行うと、滅菌装置１００内のメモリ（記憶部）に、既に滅菌剤の排出処理済みのカートリッジを識別するシリアル番号として、ステップＳ１０１で読み取ったシリアル番号を記憶する。
滅菌装置１００は、ステップ１１５において、カートリッジ取付用扉１０１を開錠する。

また、滅菌装置１００は、ステップＳ１０２において、ステップＳ１０１でＲＦ−ＩＤからデータが読み取れなかったと判定された場合は（ステップＳ１０２：ＮＯ）、滅菌装置１００内のカートリッジの取り付け場所にカートリッジが設置されていないと判断し、図１０に示すカートリッジ取付要求画面１００１を表示する（ステップＳ１１６）。

図１０は、滅菌装置１００の表示部１０２に表示されるカートリッジ取付要求画面１００１の一例を示す図である。
カートリッジ取付要求画面１００１には、「ＯＫ」ボタン１００２が表示されている。

そして、滅菌装置１００は、カートリッジ取付要求画面１００１の「ＯＫ」ボタン１００２がユーザにより押下されたかを判定し（ステップＳ１１７）、「ＯＫ」ボタン１００２が押下された場合は（ＹＥＳ）、カートリッジ取付用扉１０１を開錠し（ステップＳ１１８）、処理をステップＳ１０１に戻す。一方、「ＯＫ」ボタン１００２が押下されていない場合は（ＮＯ）、カートリッジ取付要求画面１００１を表示し続ける。

カートリッジ取付用扉１０１の開錠、及び施錠の処理は、ロック動作制御部２０２による動作により行われる。

＜図５の説明＞
次に、図５を用いて、図４のＳ１１１に示す滅菌処理の詳細処理の一例について説明する。
図５は、図４のＳ１１１に示す滅菌処理の詳細処理の一例を示す図である。

図５に示す各工程（処理）は、滅菌装置１００の演算処理部２０１により滅菌装置内の各装置の動作を制御することにより行われる。

まず、滅菌装置１００は、ステップＳ５０１において、気送真空ポンプ２２０を動作し、滅菌室２１９の気体を吸引し、滅菌室２１９内の気圧が所定の気圧（例えば、４５パスカル）まで減圧する滅菌前工程の処理を行う。滅菌前工程の処理の詳細な処理は、図６を用いて後で説明する。

そして、滅菌装置１００は、ステップＳ５０２において、滅菌室２１９に、滅菌剤を入れて、被滅菌対象物を滅菌する滅菌工程の処理を行う。滅菌工程の処理の詳細な処理は、図７を用いて後で説明する。

次に、滅菌装置１００は、ステップＳ５０３において、滅菌室２１９内、及び気化炉２１６内に含まれている滅菌剤を取り除くための換気工程の処理を行う。換気工程の処理の詳細な処理は、図８を用いて後で説明する。

＜図６の説明＞
次に、図６を用いて、図５のＳ５０１に示す滅菌前工程の詳細処理の一例について説明する。
図６は、図５のＳ５０１に示す滅菌前工程の詳細処理の一例を示す図である。

図６に示す各工程（処理）は、滅菌装置１００の演算処理部２０１により滅菌装置内の各装置（各ハードウエア）の動作を制御することにより行われる。

まず、滅菌装置１００は、気送真空ポンプ２２０を動作し、滅菌室２１９の気体を吸引する処理を開始する（ステップＳ６０１）。ここで、滅菌装置１００の全ての弁は閉じているものとする。

そして、滅菌装置１００は、ステップＳ６０２において、滅菌室２１９内の圧力（気圧）が、所定の気圧（例えば、４５パスカル）まで減圧されているかを判定する。具体的には、滅菌室２１９内に備えられた圧力センサにより測定されている滅菌室２１９内の圧力（気圧）が、所定の気圧（例えば、４５パスカル）まで減圧されているかを判定する。

ステップＳ６０２において、滅菌室２１９内の圧力（気圧）が、所定の気圧（例えば、４５パスカル）まで減圧されていないと判定された場合は（ＮＯ）、気送真空ポンプ２２０を引き続き動作させ、滅菌室２１９の気体を吸引し、滅菌室２１９内の圧力（気圧）を減圧する。

一方、ステップＳ６０２において、滅菌室２１９内の圧力（気圧）が、所定の気圧（例えば、４５パスカル）まで減圧されていると判定された場合は（ＹＥＳ）、気送真空ポンプ２２０を引き続き動作させ、滅菌室２１９の気体を吸引し、ステップＳ５０２の処理を開始する。ステップＳ５０２の処理を開始する際にも、引き続き気送真空ポンプ２２０により滅菌室２１９の気体を吸引し減圧する。

＜図７の説明＞
次に、図７を用いて、図５のＳ５０２に示す滅菌工程の詳細処理の一例について説明する。
図７は、図５のＳ５０２に示す滅菌工程の詳細処理の一例を示す図である。

図７に示す各工程（処理）は、滅菌装置１００の演算処理部２０１により滅菌装置内の各装置（各ハードウエア）の動作を制御することにより行われる。

まず、滅菌装置１００は、弁（Ｖ５）２１７を開けて、滅菌室２１９と気化炉２１６との間の導管を導通させる（ステップＳ７０１）。これにより、現在、気送真空ポンプ２２０により滅菌室２１９の気体を吸引し減圧しているため、滅菌室２１９内、及び気化炉２１６内の減圧を開始する（ステップＳ７０２）。

そして、滅菌装置１００は、ステップＳ１１０で、「滅菌剤を濃縮して滅菌するモード」ボタン３０４と、「滅菌剤を濃縮しないで滅菌するモード」ボタン３０５のどちらが押下されたのかを判定する（ステップＳ７０３）。「滅菌剤を濃縮して滅菌するモード」ボタン３０４が押下されたと判定された場合は（ＹＥＳ）、ステップＳ７０４の処理を行い、「滅菌剤を濃縮しないで滅菌するモード」ボタン３０５が押下されたと判定された場合は（ＮＯ）、ステップＳ７２８の処理を行う。

ここでは、まず、「滅菌剤を濃縮して滅菌するモード」ボタン３０４が押下された場合（滅菌剤を濃縮して滅菌処理する場合）について、説明する。

滅菌装置１００は、ステップＳ７０４において、液送ロータリーポンプ２０７を動作し、カートリッジ２０５内の滅菌剤を、所定量（例えば、２ミリリットル）吸い取る。そして、吸い取られた所定量の滅菌剤を、濃縮炉２０８に入れる。ここで吸い取る所定量の滅菌剤は、滅菌室２１９内の空間を滅菌剤で飽和状態にさせることができる量である。

そして、滅菌装置１００は、ステップＳ７０５において、カートリッジの取り付け場所に取り付けられているカートリッジ２０５のＲＦ−ＩＤに、カートリッジ２０５内に残っている滅菌剤の残量を書き込む。具体的には、ステップＳ１０１で読み取ったカートリッジ２０５内の滅菌剤の残量から、ステップＳ７０４でカートリッジ２０５から吸い取った所定量（例えば、２ミリリットル）を引いた値をＲＦ−ＩＤに記憶する。

また、滅菌装置１００は、ステップＳ１０１でＲＦ−ＩＤから読み取られた初回使用日時（カートリッジが滅菌装置で初めて使用された日時）に、日時を示す情報が含まれていない場合は、今回、カートリッジが滅菌装置で初めて使用されたと判定する。このようにカートリッジが滅菌装置で初めて使用されたと判定された場合のみ、現在の日時情報もＲＦ−ＩＤに書き込む。

次に、滅菌装置１００は、滅菌装置１００に電源が入っているときは、常に、濃縮炉２０８に備え付けられたヒータを加熱するため、ステップＳ７０４で濃縮炉２０８に入れられた滅菌剤は、そのヒータの熱により、加熱され、濃縮炉２０８内の滅菌剤に含まれる水分を蒸発させる（ステップＳ７０６）。

滅菌装置１００に電源が入っている場合に、常に、濃縮炉２０８に備え付けられたヒータを加熱する理由は、例えば、手術等ですぐに滅菌を行う必要がある場合に備えるためである。

滅菌剤が、例えば、過酸化水素水溶液である場合、濃縮炉２０８に備え付けられたヒータを、ここでは、具体的には、８０度で温める。これにより、主に水分を蒸発（気化）させることができ、滅菌剤を濃縮させることが可能となる。

次に、滅菌装置１００は、ステップＳ７０７において、ステップＳ７０４で濃縮炉２０８に滅菌剤を入れてから所定の時間（例えば、６分）が経過したかを判定する。そして、濃縮炉２０８に滅菌剤を入れてから所定の時間が経過したと判定されると（ＹＥＳ）、ステップＳ７０８の処理を行う。一方、濃縮炉２０８に滅菌剤を入れてから所定の時間が経過していない場合は（ＮＯ）、引き続き、濃縮炉２０８に滅菌剤を入れたままにしておき、引き続き滅菌剤を濃縮する。

次に、滅菌装置１００は、ステップＳ７０８において、滅菌室２１９内、及び気化炉２１６内の気圧が、所定の気圧（例えば、５００パスカル）まで減圧されたかを判定する。

そして、滅菌装置１００は、滅菌室２１９内、及び気化炉２１６内の気圧が、所定の気圧まで減圧された場合は（ＹＥＳ）、ステップＳ７０９において、弁（Ｖ３）２１２と、弁（Ｖ４）２１３とを所定時間開ける（弁（Ｖ３）２１２と、弁（Ｖ４）２１３とを所定時間（例えば、３秒）開けて弁（Ｖ３）２１２と、弁（Ｖ４）２１３を閉じる）ことで、計量管２１４内を減圧する。一方、滅菌室２１９内、及び気化炉２１６内の気圧が、所定の気圧まで減圧されていない場合は（ＮＯ）、引き続き滅菌剤の濃縮を行う。

そして、次に、滅菌装置１００は、ステップＳ７１０において、ステップＳ７０９で、弁（Ｖ３）２１２と弁（Ｖ４）２１３とを所定時間開けて弁（Ｖ３）２１２と弁（Ｖ４）２１３を閉じた後に、弁（Ｖ１）を所定時間（例えば３秒）開けると、濃縮炉２０８（外部）の気圧よりも計量管２１４内の気圧の方が低いので濃縮炉２０８に入っている滅菌剤が計量管２１４に吸い込まれて入る（ステップＳ７１０）。ここでは、弁（Ｖ１）を所定時間開けて閉じることで、濃縮炉２０８に入っている滅菌剤が計量管２１４に吸い込まれて入る。ここでは、滅菌剤だけではなく、濃縮炉２０８内の空気も一緒に計量管２１４内に吸い込まれてくる。
そして、この後も、引き続き、気送真空ポンプ２２０により、滅菌室２１９内が減圧されている。

そのため、滅菌室２１９内の気圧は、計量管内の気圧よりも低くなる。具体的には、滅菌室２１９内の気圧は、例えば、４００Ｐａであり、計量管内の気圧は大気圧（例えば、１０１３２５Ｐａ）位の値である。計量管内の気圧は大気圧近くまで上がる理由は、滅菌剤だけではなく、濃縮炉２０８内の空気も一緒に計量管２１４内に吸い込まれてくるためである。

次に、滅菌装置１００は、ステップＳ７１１において、弁（Ｖ３）２１２と、弁（Ｖ４）２１３とを所定時間（例えば、３秒）開けて、計量管内の空気（液体の滅菌剤は含まない）を滅菌室２１９に吸い出される。すなわち、ここでは、弁（Ｖ３）２１２と弁（Ｖ４）２１３とを開けて該所定時間が経過すると、弁（Ｖ３）２１２と弁（Ｖ４）２１３とを閉じる。これにより、計量管２１４内の空気は、滅菌室２１９に吸い出され、このときも、引き続き、気送真空ポンプ２２０により、滅菌室２１９内が減圧されているため、滅菌室２１９に吸い出された空気は、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１を介して滅菌室外に排出されることとなる。

次に、滅菌装置１００は、滅菌室２１９内、及び気化炉２１６内の気圧が所定の気圧（例えば、８０Ｐａ）まで減圧されているかを判定し、減圧されていると判定された場合に（ステップＳ７１２）、弁（Ｖ５）２１７を閉める（ステップＳ７１３）。

そして、滅菌装置１００は、弁（Ｖ２）２１５を開ける（ステップＳ７１４）。これにより、計量管２１４内の滅菌剤は、気化炉２１６に吸い込まれ、気化炉２１６内で気化する。
ここで、滅菌剤は、分子クラスターとして気化炉内で気化する。

滅菌室内は、気化炉よりも大きい容積であり、気化炉内では、滅菌剤は、分子クラスターとして気化される。これは、気化炉の容積が滅菌室内より小さいため、滅菌室内の滅菌剤の分子間の距離が近く分子間力により、分子クラスターを形成しやすいためである。

このときも引き続き、気送真空ポンプ２２０は、滅菌室２１９内の気体を吸引し、滅菌室２１９内を減圧している。計量管２１４内の滅菌剤が吸い込まれた気化炉２１６内は、気圧が上昇する。
すなわち、気化炉２１６内の気圧は、滅菌室２１９内の気圧よりも高くなる。
次に、滅菌装置１００は、湿度測定部２２８のフラッシング弁１１０７を開ける（ステップＳ７１４−１）。
図１３に、湿度測定部２２８の詳細な構成を示す。
図１３は、湿度測定部２２８の詳細な構成を示す図の一例である。

湿度測定部２２８は、ガス導入弁１１０２、ニードル弁１１０３、触媒チャンバ１１０４、半導体湿度センサ１１０８、測定チャンバ１１０５、加温装置１１０９、陰圧チャンバ１１０６、フラッシング弁１１０７、管（ステンレス管）を含む装置により構成される。

ここで、加温装置１１０９内には、触媒チャンバ１１０４と、測定チャンバ１１０５が設けられており、測定チャンバ１１０５内には、半導体湿度センサ１１０８が設けられている。
滅菌室２１９に管（例えばステンレス管）でガス導入弁１１０２と導通している。
また、ガス導入弁１１０２とニードル弁１１０３とが管（例えばステンレス管）で導通している。
また、ニードル弁１１０３と触媒チャンバ１１０４とが管（例えばステンレス管）で導通している。
また、触媒チャンバ１１０４と測定チャンバ１１０５とが管（例えばステンレス管）で導通している。
また、測定チャンバ１１０５と陰圧チャンバ１１０６とが管（例えばステンレス管）で導通している。
また、陰圧チャンバ１１０６とフラッシング弁１１０７とが管（例えばステンレス管）で導通している。
また、フラッシング弁１１０７と滅菌室２１９とが管（例えばステンレス管）で導通している。

ここで説明したステンレス管は、滅菌室から気化された滅菌剤を吸引する、本発明の経路の適用例である。また、このステンレス管は、滅菌室から気化された滅菌剤を吸引して滅菌室に排出する、本発明の経路の適用例である。

すなわち、ガス導入弁１１０２は、経路に設けられている。また、ニードル弁１１０３は、経路に吸引される気化された滅菌剤を所定の流量で吸引するニードル弁であって経路に設けられている。また、フラッシング弁１１０７は、ガス導入弁１１０２を介して吸引され滅菌室に排出される経路に設けられた本発明のフラッシング弁の適用例である。
ステップＳ５０１の滅菌前工程処理を開始する際には、ガス導入弁１１０２、フラッシング弁１１０７は閉じているものとする。

ステップＳ７１４−１で、滅菌装置１００が、湿度測定部２２８のフラッシング弁１１０７を開けることで、湿度測定部２２８内の全ての管、陰圧チャンバ１１０６が減圧される。これは、滅菌室２１９内が気送真空ポンプ２２０により引き続き減圧されているためである。

次に、滅菌装置１００は、滅菌室２１９内の気圧が、所定の気圧（例えば、５０Ｐａ）まで減圧され、かつ、ステップＳ７１４で弁（Ｖ２）２１５を開けてから所定時間が経過したかを判定し（ステップＳ７１５）、滅菌室２１９内の気圧が、所定の気圧（例えば、５０Ｐａ）まで減圧され、かつ、ステップＳ７１４で弁（Ｖ２）２１５を開けてから所定時間が経過した場合は（ＹＥＳ）、フラッシング弁１１０７を閉めてガス導入弁１１０２を開け（ステップＳ７１５−１）、気送真空ポンプ２２０による滅菌室２１９内の吸引（真空引き）を停止して（ステップＳ７１６）、弁（Ｖ５）２１７を開ける（ステップＳ７１７）。これにより、滅菌室２１９内に気化した滅菌剤が拡散し、被滅菌対象物を滅菌することができる。
これは、気化炉２１６内の気圧よりも、滅菌室２１９内の気圧（例えば５０Ｐａ）の方が、低いため拡散する。

ここで拡散する滅菌剤は、気化炉内の分子クラスターが更に細分化され、より滅菌剤を滅菌室内に拡散させることができ、滅菌作用を高めることが可能となる。
また、被滅菌対象物などの細かい内腔などを効果的に滅菌することが出来るようになる。

ステップＳ７１４−１でフラッシング弁１１０７を開ける。そのため、ガス導入弁１１０２を閉めておりフラッシング弁が開いた状態となる。そして、このときも、引き続き、、気送真空ポンプ２２０による滅菌室の真空引きが行われており、少なくともこのときに滅菌室の真空引きが行われた後（または行われている最中）に、Ｓ７１５−１において、フラッシング弁１１０７を閉めてガス導入弁１１０２を開ける。

これにより、経路内は、陰圧状態（減圧されている状態）となり、Ｓ７１７で気化された滅菌剤が滅菌室に導入されると、ガス導入弁が開いているため、陰圧状態の経路内にも、滅菌剤が吸い込まれて導入されることとなる。
このように、経路内が、陰圧状態（減圧されている状態）であることは、滅菌室に導入された滅菌剤を経路に吸引する手段（吸引手段の適用例）となる。
また、２２８は、陰圧チャンバ１１０６（吸引手段の適用例）を設けているため、滅菌室に導入された滅菌剤を経路に持続的に吸引し易くなる。

また、ここでは、経路内を陰圧状態（減圧されている状態）にして、滅菌室に導入された滅菌剤を吸引しているが、吸引装置（吸引手段の適用例）を用いて経路内に、滅菌室に導入された滅菌剤を吸引するようにしてもよい。
次に、滅菌装置１００は、滅菌室２１９内に拡散された滅菌剤のガスの濃度を測定する処理を実行する（ステップＳ７１７−１）。
ステップＳ７１７−７の滅菌ガス濃度測定処理の詳細処理を図１６に示す。
ここで、図１６を用いて、図７のＳ７１７−１に示す滅菌ガス濃度測定処理の詳細処理の一例について説明する。
図１６は、図７のステップＳ７１７−１の滅菌ガス濃度測定処理の詳細処理の一例を示す図である。
図１６に示す各工程（処理）は、滅菌装置１００の演算処理部２０１により滅菌装置内の各装置（各ハードウエア）の動作を制御することにより行われる。

ステップＳ７１４−１で、フラッシング弁１１０７を開けたことで、湿度測定部２２８内の全ての管、及び陰圧チャンバ１１０６内が減圧されており、ステップＳ７１５−１でフラッシング弁を閉めてガス導入弁１１０２を開け、ステップ７１７で弁（Ｖ５）２１７を開けて滅菌剤のガスを滅菌室２１９内に導入したことで、滅菌室２１９内に導入された滅菌剤のガスが、滅菌室２１９とガス導入弁１１０２と導通している管を通じて、湿度測定部２２８内に吸い込まれて導入される。

陰圧チャンバ１１０６は、測定手段とフラッシング弁との間の経路に、導入手段により滅菌室に導入された滅菌剤を吸引するための本発明の陰圧チャンバの適用例である。

ここで、湿度測定部２２８内に吸い込まれるガスの量は、滅菌効果に大きな影響を与えない僅かな量であり、滅菌室２１９内よりも、湿度測定部２２８内の方が、気圧が低いため、湿度測定部２２８内に吸い込まれたガスが滅菌室２１９内に戻らない。

そして、吸い込まれたガスは、ガス導入弁１１０２を介してニードル弁１１０３に到達する。ニードル弁１１０３は、流入したガスの流量と流速を調整する弁であり、所定の流量、流速を維持して、加温装置１１０９内の触媒チャンバ１１０４に導入される。

そして、触媒チャンバ１１０４には、二酸化マンガン等の滅菌剤（例えば、過酸化水素）を分解する触媒が充填されており、滅菌剤のガスは、触媒チャンバ１１０４を通過中に水と酸素のガスに変換される。
このように、触媒チャンバ１１０４は、ニードル弁と測定手段との間の経路に、滅菌成分を分解する触媒が設けられている。

そして、水と酸素に変換されたガスは、触媒チャンバ１１０４から、触媒チャンバ１１０４と測定チャンバ１１０５とが導通している管を通じて、測定チャンバ１１０５に流入する。

測定チャンバ１１０５内には、半導体湿度センサ１１０８が設けられており、半導体湿度センサ１１０８が、通過する水（ガス）の成分の湿度を検出して（ステップ１６０１）、その検出結果のデータを演算処理部２０１に送信する。そして、演算処理部２０１は、その検出結果として示される水（ガス）の湿度が所定値（例えば６５％）以下であるか否かを判定する（ステップ１６０２）。

ここで、半導体湿度センサ１１０８は、導入手段により滅菌室に導入された気化された滅菌剤に含まれる溶媒（水）の湿度を測定する、本発明の測定手段の適用例である。

そして、この測定手段は、ガス導入弁１１０２とフラッシング弁１１０７との間の経路内に設けられており、吸引手段により経路（ステンレス管）に吸引された滅菌剤に含まれる溶媒の湿度を測定する。
このように、レーザや分光装置を用いずに、半導体湿度センサ１１０８を用いることで、滅菌成分の濃度測定に係る装置のコストを低減させることができる。

また、半導体湿度センサ１１０８は、過酸化水素の湿度を直接測定するものではなく、水（溶媒）の湿度を測定するものであるため、滅菌装置の製作コストを低減させることが可能となる。

また、測定チャンバ１１０５を通過したガスは、陰圧チャンバ１１０６内の陰圧に引かれ、測定チャンバ１１０５と陰圧チャンバ１１０６とが導通している管を通じて、陰圧チャンバ１１０６に達する。

陰圧チャンバ１１０６は、検出済みのガスの貯留庫としても機能し、滅菌室２１９と陰圧チャンバ１１０６が同圧になるまで、半導体湿度センサ１１０８は水の湿度の測定を続けることが出来る。

演算処理部２０１は、水（ガス）の湿度が所定値（例えば６５％）以下であると判定された場合には（ステップＳ１６０２：ＹＥＳ）、滅菌剤を追加投入する処理を実行する（ステップＳ１６０３）。一方、水（ガス）の湿度が所定値（例えば６５％）以下ではないと判定された場合には（ステップＳ１６０２：ＮＯ）、滅菌剤を追加投入する処理を実行することなく、処理を図７のステップＳ７１８に戻す。

ここで、ステップＳ１６０２は、測定手段により測定された溶媒（水）の湿度に従って、滅菌室に追加の滅菌剤を導入手段により導入するかを決定する、本発明の追加決定手段、及び、測定手段により測定された溶媒の湿度が所定値以下であるかを判定する、本発明の判定手段の適用例である。この追加決定手段は、測定手段により測定された溶媒の湿度が所定値以下であると判定されたことを条件に、滅菌室に追加の滅菌剤を導入手段により導入することを決定し、導入手段は、追加決定手段で、滅菌室に追加の滅菌剤を前記導入手段により導入すると決定されたことを条件に、追加の滅菌剤を滅菌室に導入する。

ステップＳ７１７で弁（Ｖ５）２１７を開けてから、所定時間（例えば、３３０秒）が経過したかを判定し（ステップ７１８）、弁（Ｖ５）２１７を開けてから、所定時間（例えば、３３０秒）が経過していないと判定されると、引き続きステップＳ７１７−１の処理を実行する。
ここで、図１７を用いて、図１６のＳ１６０３に示す滅菌剤追加投入処理の詳細処理の一例について説明する。
図１７は、図１６のステップＳ１６０３に示す滅菌剤追加投入処理の詳細処理の一例を示す図である。
図１７に示す各工程（処理）は、滅菌装置１００の演算処理部２０１により滅菌装置内の各装置（各ハードウエア）の動作を制御することにより行われる。

図１７に示すステップＳ７０３〜７０７、Ｓ７０９、Ｓ７１０、Ｓ７２９、Ｓ７３０は、図７の処理に対応した処理であるため、同一の符号を付している。以下の図１７の説明で用いるＳ７０３〜７０７、Ｓ７０９、Ｓ７１０、Ｓ７２９、Ｓ７３０は、図１７のステップの符号として説明する。

まず、滅菌装置１００は、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度に従って、滅菌室２１９に滅菌剤を追加投入する滅菌剤の量を決定する（ステップＳ１７０１）。

具体的には、例えば、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度が４５％以下であった場合には、滅菌室２１９に滅菌剤を追加投入する滅菌剤の量が１．５ミリリットル、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度が４６％〜５５％であった場合には、滅菌室２１９に滅菌剤を追加投入する滅菌剤の量が１ミリリットル、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度が５６％〜６５％であった場合には、滅菌室２１９に滅菌剤を追加投入する滅菌剤の量が０．５ミリリットル、と定められたテーブル（図１９の１９０１）を滅菌装置１００のメモリに記憶しておき、このテーブルを参照して、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度に従って、追加投入する滅菌剤の量を決定する。すなわち、例えば、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度が６４％であった場合には、滅菌室２１９に滅菌剤を追加投入する滅菌剤の量を０．５ミリリットルと決定する。
また、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度から、滅菌室２１９に滅菌剤を追加投入する滅菌剤の量を、所定の計算式を用いて算出して、決定してもよい。

ステップＳ１７０１は、測定手段により測定された溶媒の湿度に従って、導入手段により滅菌室に追加で導入する滅菌剤の量を決定する、本発明の追加量決定手段の適用例である。
これにより、滅菌室に追加で滅菌剤を導入することができ、滅菌室内の滅菌成分が低下する場合であっても、適切な滅菌処理を行えることが可能となる。

カートリッジ２０５に充填されている滅菌剤は、過酸化水素の濃度が６０％の水溶液であるため、過酸化水素と水の割合は、６（過酸化水素）：４（水）である。

また、過酸化水素（Ｈ２Ｏ２）と水（Ｈ２Ｏ）は、水素結合で結合しており、親和性が高く分子クラスターを形成しやすい。そのため、滅菌剤がゴムなどの対象物への、過酸化水素（Ｈ２Ｏ２）と水（Ｈ２Ｏ）の吸着割合は、それぞれ、滅菌剤の濃度と同一の割合である。

すなわち、過酸化水素と水の割合は、６（過酸化水素）：４（水）の場合、過酸化水素と水が、６（過酸化水素）：４（水）の割合で、ゴムなどの対象物に吸着されることとなる。

そのため、過酸化水素の濃度が６０％の水溶液の場合、滅菌室内の水の成分の湿度（計測された値）に１．５を乗算した値が、過酸化水素の成分の湿度として推定することが可能となる。

次に、滅菌装置１００は、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度に従って、図７のステップＳ７１８で計時している所定時間をどれくらい伸ばすかを決定する（ステップＳ１７０２）。

具体的には、例えば、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度が４５％以下であった場合には、ステップＳ７１８で判定する所定時間を２倍に伸ばすこと、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度が４６％〜５５％であった場合には、ステップＳ７１８で判定する所定時間を１．５倍に伸ばすこと、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度が５６％〜６５％であった場合には、ステップＳ７１８で判定する所定時間を１．２倍に伸ばすことが、それぞれ定められたテーブル（図１９の１９０１）を滅菌装置１００のメモリに記憶しておき、このテーブルを参照して、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度に従って、ステップＳ７１８で判定する所定時間をどれくらい伸ばすかを決定する。

また、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度から、ステップＳ７１８で判定する所定時間をどれくらい伸ばすかを、所定の計算式を用いて算出して決定してもよい。

ステップＳ１７０２は、測定手段により測定された溶媒の湿度に従って、導入手段により滅菌室に気化された滅菌剤が導入されてから、真空手段により滅菌室の真空引きを開始することにより滅菌室からの当該滅菌剤の排出を開始するまでの時間を決定する、本発明の時間決定手段の適用例である。

そして、滅菌装置１００は、ステップＳ７１８で判定する所定時間を、ステップＳ１７０２で決定された時間に伸ばす。例えば、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度が６４％であった場合には、ステップＳ７１８で判定する所定時間（例えば、規定値である３３０秒）を１．２倍に伸ばして３９６秒に設定変更する（ステップＳ１７０３）。

すなわち、ステップＳ１７０３は、時間決定手段で決定された時間を経過したことを条件に、滅菌室の真空引きを開始することにより滅菌室からの当該滅菌剤の排出を開始できるように、ステップＳ７１８で判定する所定時間を設定変更している。

これにより、滅菌室内の対象物に滅菌成分が接触しやすくなるため、滅菌室内の滅菌成分が低下する場合であっても、適切な滅菌処理を行えることが可能となる。
次に、滅菌装置１００は、弁（Ｖ２）２１５を閉める（ステップＳ１７０４）。

そして、滅菌装置１００は、ステップＳ１１０で、「滅菌剤を濃縮して滅菌するモード」ボタン３０４と、「滅菌剤を濃縮しないで滅菌するモード」ボタン３０５のどちらが押下されたのかを判定する（ステップＳ７０３）。「滅菌剤を濃縮して滅菌するモード」ボタン３０４が押下されたと判定された場合は（ＹＥＳ）、ステップＳ７０４の処理を行い、「滅菌剤を濃縮しないで滅菌するモード」ボタン３０５が押下されたと判定された場合は（ＮＯ）、ステップＳ７２９の処理を行う。

ここでは、まず、「滅菌剤を濃縮して滅菌するモード」ボタン３０４が押下された場合（滅菌剤を濃縮して滅菌処理する場合）について、説明する。

滅菌装置１００は、ステップＳ７０４において、液送ロータリーポンプ２０７を動作し、カートリッジ２０５内の滅菌剤を、ステップＳ１７０１で決定された量（例えば、０．５ミリリットル）吸い取る。そして、吸い取られた所定量の滅菌剤を、濃縮炉２０８に入れる。
このようにして、導入手段は、追加決定手段（ステップＳ１７０１）により決定された量の滅菌剤を滅菌室に導入することとなる。

そして、滅菌装置１００は、ステップＳ７０５において、カートリッジの取り付け場所に取り付けられているカートリッジ２０５のＲＦ−ＩＤに、カートリッジ２０５内に残っている滅菌剤の残量を書き込む。具体的には、ステップＳ１０１で読み取ったカートリッジ２０５内の滅菌剤の残量から、ステップＳ７０４でカートリッジ２０５から吸い取った量（例えば、０．５ミリリットル）を引いた値をＲＦ−ＩＤに記憶する。

次に、滅菌装置１００は、ステップＳ７０４で濃縮炉２０８に入れられた滅菌剤は、そのヒータの熱により、加熱され、濃縮炉２０８内の滅菌剤に含まれる水分を蒸発させる（ステップＳ７０６）。

次に、滅菌装置１００は、ステップＳ７０７において、ステップＳ７０４で濃縮炉２０８に滅菌剤を入れてから所定時間（例えば、１．５分）が経過したかを判定する。

ステップＳ７０７で滅菌剤を入れてから所定時間が経過するかを判定しているが、ここでの所定時間についても、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度に従って決定される。

すなわち、滅菌装置１００は、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度が４５％以下であった場合には、ステップＳ７０７で判定する所定時間を４．５分にすること、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度が４６％〜５５％であった場合には、ステップＳ７０７で判定する所定時間を３分にすること、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度が５６％〜６５％であった場合には、ステップＳ７０７で判定する所定時間を１．５分にすることが、それぞれ定められたテーブル（図１９の１９０１）を滅菌装置１００のメモリに記憶しておき、このテーブルを参照して、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度に従って、ステップＳ７０７で判定する所定時間を決定する。また、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度から、ステップＳ７０７で判定する所定時間を、所定の計算式を用いて算出して決定してもよい。
ここでは、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度が６４％であった場合を例に説明する。
そのため、ステップＳ７０７では、ステップＳ７０４で濃縮炉２０８に滅菌剤を入れてから所定時間（例えば、１．５分）が経過したかを判定している。

そして、濃縮炉２０８に滅菌剤を入れてから所定の時間が経過したと判定されると（ステップＳ７０７：ＹＥＳ）、ステップＳ７０９の処理を行う。一方、濃縮炉２０８に滅菌剤を入れてから所定の時間が経過していない場合は（ステップＳ７０７：ＮＯ）、引き続き、濃縮炉２０８に滅菌剤を入れたままにしておき、引き続き滅菌剤を濃縮する。

次に、滅菌装置１００は、ステップＳ７０９において、弁（Ｖ３）２１２と、弁（Ｖ４）２１３とを所定時間開ける（弁（Ｖ３）２１２と、弁（Ｖ４）２１３とを所定時間（例えば、３秒）開けて弁（Ｖ３）２１２と、弁（Ｖ４）２１３を閉じる）ことで、計量管２１４内を減圧する。ここでは、計量管２１４内の気圧よりも滅菌室２１９内の気圧の方が低いことを前提に説明する。

そして、次に、滅菌装置１００は、ステップＳ７１０において、ステップＳ７０９で、弁（Ｖ３）２１２と弁（Ｖ４）２１３とを所定時間開けて弁（Ｖ３）２１２と弁（Ｖ４）２１３を閉じた後に、弁（Ｖ１）を所定時間（例えば３秒）開けると、濃縮炉２０８内の気圧よりも計量管２１４内の気圧の方が低いので濃縮炉２０８に入っている滅菌剤が計量管２１４に吸い込まれて入る（ステップＳ７１０）。ここでは、弁（Ｖ１）を所定時間開けて閉じることで、濃縮炉２０８に入っている滅菌剤が計量管２１４に吸い込まれて入る。

そして、滅菌装置１００は、弁（Ｖ２）を開けて、計量管２１４内の滅菌剤を、気化炉２１６に導入する。このとき、弁（Ｖ５）２１７は開いているため、気化炉２１６を介して、滅菌室２１９に滅菌剤が追加投入されることとなる。
そして、滅菌装置１００は、処理をステップＳ７１８に移行する。

次に、ステップＳ７０３で、「滅菌剤を濃縮しないで滅菌するモード」ボタン３０５が押下されたと判定された場合（滅菌剤を濃縮しないで滅菌処理する場合）について、説明する。

滅菌装置１００は、液送ロータリーポンプ２０７を動作し、カートリッジ２０５内の滅菌剤を、ステップＳ１７０１で決定された量（例えば、０．５ミリリットル）吸い取る。そして、吸い取られた所定量の滅菌剤を、濃縮炉２０８に入れる（ステップＳ７２９）。

次に、滅菌装置１００は、ステップＳ７３０において、カートリッジの取り付け場所に取り付けられているカートリッジ２０５のＲＦ−ＩＤに、カートリッジ２０５内に残っている滅菌剤の残量を書き込む。具体的には、ステップＳ１０１で読み取ったカートリッジ２０５内の滅菌剤の残量から、ステップＳ７２９でカートリッジ２０５から吸い取った所定量（０．５ミリリットル）を引いた値をＲＦ−ＩＤに記憶する。

そして、滅菌装置１００は、ステップＳ７３０の処理を行うと、既に説明したステップＳ７０９の処理に移行する。

ステップＳ７２９で滅菌剤を吸い取り、吸い取られた滅菌剤を濃縮炉２０８に入れ、直ぐにステップＳ７０９で計量管２１４内を減圧して、ステップＳ７１０で濃縮炉２０８内の滅菌剤を計量管に入れるので、濃縮炉２０８から、計量管２１４に直ぐに滅菌剤を入れることが可能となる。すなわち、滅菌剤が濃縮炉２０８で濃縮されることなく、計量管２１４に入れることが可能となる。
以上が、図１７に示す図の説明である。
図７の説明に戻る。

滅菌装置１００は、ステップＳ７１７で、弁（Ｖ５）２１７を開けてから、所定時間が経過したかを判定し（ステップＳ７１８）、弁（Ｖ５）２１７を開けてから、所定時間（例えば、３３０秒）が経過していないと判定されると（ステップＳ７１８：ＮＯ）、処理をステップＳ７１７−１に戻す。

ステップＳ７１８では、ステップＳ１７０３で当該所定時間の設定変更されている場合には、その設定変更された所定時間を、弁（Ｖ５）２１７を開けてから経過したか否かを判定することとなる。

すなわち、滅菌装置１００は、時間決定手段で決定された時間を経過したことを条件に（ステップＳ７１８：ＹＥＳ）、滅菌室の真空引きを開始することにより滅菌室からの当該滅菌剤の排出を開始する（ステップＳ７２４）こととなる。

また、滅菌装置１００は、ステップＳ７１７で、弁（Ｖ５）２１７を開けてから、所定時間が経過したかを判定し（ステップＳ７１８）、弁（Ｖ５）２１７を開けてから、所定時間（例えば、３３０秒）が経過したと判定されると（ステップＳ７１８：ＹＥＳ）、弁（Ｖ９）２２７を開ける（ステップＳ７１９）。

これにより、滅菌装置１００の外の気圧よりも気化炉２１６内、及び滅菌室２１９内の気圧の方が低いため、吸気用ＨＥＰＡフィルタで清浄された、滅菌装置１００の外の外気（空気）が、気化炉２１６内に吸い込まれる。そして、気化炉２１６内に送り込まれた空気により、気化炉２１６内に気体として充満している滅菌剤、及び、気化炉２１６の内部の表面に付着した滅菌剤が、滅菌室２１９内に送り込まれ、滅菌室２１９内にある被滅菌対象物に対する滅菌作用が高まる。すなわち、例えば、これにより、被滅菌対象の細いチューブなどの奥などの滅菌し難い部分についての滅菌作用が高まる。

そして、滅菌装置１００は、ステップＳ７１９で、弁（Ｖ９）２２７を開けてから所定の時間（例えば１５秒）が経過すると、弁（Ｖ７）２２６を開けて、更に、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０で清浄された、滅菌装置１００の外の外気（空気）が、滅菌室２１９内に吸い込まれる。これは、滅菌装置１００の外の気圧よりも滅菌室２１９内、気化炉２１６内の気圧の方が低いため、滅菌装置１００の外の外気（空気）が、滅菌室２１９内に吸い込まれる。
これにより、被滅菌対象の細いチューブなどの奥などの滅菌し難い部分についての滅菌作用が高まる。

次に、滅菌装置１００は、滅菌室２１９内、及び気化炉２１６内が大気圧まで上昇したかを判定し、大気圧まで上昇したと判定した場合に（ステップＳ７２１：ＹＥＳ）、弁（Ｖ２）２１５を閉める。

次に、滅菌装置１００は、弁（Ｖ７）２２６を閉め（ステップＳ７２３）、フラッシング弁１１０７を開けて、ガス導入弁１１０２を閉める（ステップＳ７２３−１）。

そして、滅菌装置１００は、気送真空ポンプ２２０による滅菌室２１９内の吸引（真空引き）を再開する（ステップＳ７２４）。これにより、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０で清浄された、滅菌装置１００の外の外気（空気）が、気化炉２１６内に吸い込まれる。

そして、気化炉２１６内に送り込まれた空気により、気化炉２１６内に気体として充満している滅菌剤、及び、気化炉２１６の内部の表面に付着した滅菌剤が、更に、滅菌室２１９内に送り込まれる。

これにより、被滅菌対象の細いチューブなどの奥などの滅菌し難い部分についての滅菌作用が高まると共に、気化炉２１６内の滅菌剤を効果的に減少させることが可能となる。

滅菌装置１００は、ステップＳ７２４で、気送真空ポンプ２２０による滅菌室２１９内の吸引（真空引き）を再開する。

これにより、フラッシング弁１１０７を介して、湿度測定部２２８のガスが導入する経路の全て（管、及び陰圧チャンバ）に存在するガスが、気送真空ポンプ２２０により、滅菌室２１９内に吸い込まれ、滅菌装置１００の外部に排出される。

このように、湿度測定部２２８内に導入されたガスは、Ｓ７１８でＹＥＳと判定される（滅菌中）までは、滅菌室２１９内に導入されないため、被滅菌対象物の滅菌を妨げることはない。
気送真空ポンプ２２０による滅菌室２１９内の吸引（真空引き）を再開して所定時間（例えば１５秒）後に、弁（Ｖ９）２２７を閉める（ステップＳ７２５）。

このときも引き続き、気送真空ポンプ２２０による滅菌室２１９内の吸引（真空引き）を行っており、ステップＳ７２５により、滅菌室２１９内、及び気化炉２１６内が密閉され、滅菌室２１９内、及び気化炉２１６内を減圧することとなる（ステップＳ７２６）。

次に滅菌装置１００は、所定回数（例えば、４回）、ステップＳ７０２からステップＳ７２６の処理を実行したかを判定し（ステップＳ７２７）、実行したと判定された場合は（ＹＥＳ）、ステップＳ５０３の処理を行う。一方、ステップＳ７０２からステップＳ７２６の処理を、所定回数実行していないと判定された場合は（ＮＯ）、ステップＳ７０２以降の処理を再度行う。このように、所定回数、ステップＳ７０２からステップＳ７２６の処理を実行することで、被滅菌対象物に対する滅菌作用の効果が高まり、被滅菌対象物を十分に滅菌することが可能となる。

次に、ステップＳ７０３で、「滅菌剤を濃縮しないで滅菌するモード」ボタン３０５が押下されたと判定された場合（滅菌剤を濃縮しないで滅菌処理する場合）について、説明する。

滅菌装置１００は、ステップＳ７０３で、「滅菌剤を濃縮しないで滅菌するモード」ボタン３０５が押下されたと判定された場合（ＮＯ）、滅菌室２１９内と気化炉２１６内の気圧が所定の気圧（例えば、１０００Ｐａ）にまで減圧されたかを判定する（ステップＳ７２８）。

そして、滅菌装置１００は、滅菌室２１９内と気化炉２１６内の気圧が所定の気圧（１００Ｐａ）にまで減圧されたと判定された場合に（ステップＳ７２８：ＹＥＳ）、液送ロータリーポンプ２０７を動作し、カートリッジ２０５内の滅菌剤を、所定量（例えば、２ミリリットル）吸い取る。そして、吸い取られた所定量の滅菌剤を、濃縮炉２０８に入れる（ステップＳ７２９）。

ここで吸い取る所定量の滅菌剤は、滅菌室２１９内の空間を滅菌剤で飽和状態にさせることができる量である。

次に、滅菌装置１００は、ステップＳ７３０において、カートリッジの取り付け場所に取り付けられているカートリッジ２０５のＲＦ−ＩＤに、カートリッジ２０５内に残っている滅菌剤の残量を書き込む。具体的には、ステップＳ１０１で読み取ったカートリッジ２０５内の滅菌剤の残量から、ステップＳ７２９でカートリッジ２０５から吸い取った所定量（例えば、２ミリリットル）を引いた値をＲＦ−ＩＤに記憶する。

また、滅菌装置１００は、ステップＳ７３０において、ステップＳ１０１でＲＦ−ＩＤから読み取られた初回使用日時（カートリッジが滅菌装置で初めて使用された日時）に、日時を示す情報が含まれていない場合は、今回、カートリッジが滅菌装置で初めて使用されたと判定する。このようにカートリッジが滅菌装置で初めて使用されたと判定された場合のみ、現在の日時情報もＲＦ−ＩＤに書き込む。

そして、滅菌装置１００は、ステップＳ７３０の処理を行うと、既に説明したステップＳ７０９以降の処理を行う。

ステップＳ７２８では、滅菌室２１９内が１０００Ｐａになったら、ステップＳ７２９で滅菌剤を吸い始め、ステップＳ７２９で滅菌剤を吸い終わる頃には５００Ｐａを下回るため、効率的にＳ７０９へ移行することができる。

このように、滅菌室２１９内、及び気化炉２１６内の気圧が、計量管２１４内の減圧を開始する所定の気圧（１０００パスカル）まで減圧された後に、吸い取られた所定量の滅菌剤を濃縮炉２０８に入れ、直ぐにステップＳ７０９で計量管２１４内を減圧することができ、その後、ステップＳ７１０で濃縮炉２０８内の滅菌剤を計量管に入れるので、濃縮炉２０８から、計量管２１４に直ぐに滅菌剤を入れることが可能となる。すなわち、滅菌剤が濃縮炉２０８で濃縮されることなく、計量管２１４に入れることが可能となる。

＜図８の説明＞
次に、図８を用いて、図５のＳ５０３に示す換気工程の詳細処理の一例について説明する。
図８は、図５のＳ５０３に示す換気工程の詳細処理の一例を示す図である。

図８に示す各工程（処理）は、滅菌装置１００の演算処理部２０１により滅菌装置内の各装置の動作を制御することにより行われる。
滅菌装置１００は、気送真空ポンプ２２０による滅菌室２１９内の吸引（真空引き）をステップＳ７２４で再開して以降、引き続き実行している。
まず、滅菌装置１００は、弁Ｖ（７）２２６を開ける（ステップＳ８０１）。

そして、弁Ｖ（７）２２６を開けてから、所定時間を経過すると、弁Ｖ（７）２２６を閉めて（ステップＳ８０３）、気送真空ポンプ２２０による滅菌室２１９内の吸引（真空引き）を行う。これにより、滅菌室２１９内が減圧される。

次に、滅菌装置１００は、滅菌室２１９内が所定の気圧（例えば、５０Ｐａ）まで減圧されると（ステップＳ８０４：ＹＥＳ）、弁Ｖ（７）２２６を開ける（ステップＳ８０５）。これにより、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０で清浄された、滅菌装置１００の外の外気（空気）が、滅菌室２１９内に吸い込まれる。これは、滅菌装置１００の外の気圧よりも滅菌室２１９内の気圧の方が低いため、滅菌装置１００の外の外気（空気）が、滅菌室２１９内に吸い込まれる。

そして、滅菌装置１００は、滅菌室２１９内の気圧が、大気圧まで上昇したかを判定し、滅菌室２１９内の気圧が、大気圧まで上昇したと判定された場合（ステップＳ８０６：ＹＥＳ）、ステップＳ８０３からステップＳ８０５の処理を所定回数（例えば、４回）行ったかを判定し（ステップＳ８０７）、ステップＳ８０３からステップＳ８０５の処理を所定回数（例えば、４回）行った場合は（ＹＥＳ）、弁Ｖ（７）２２６を閉めて（ステップＳ８０９）、換気工程を終了し、処理をステップＳ１０１に戻す。

一方、ステップＳ８０３からステップＳ８０５の処理を所定回数（例えば、４回）行っていない場合は（ＮＯ）、再度、ステップＳ８０３の処理から行う。

これにより、滅菌室２１９内の表面に付着している滅菌剤、及び、滅菌室２１９内に気体として残っている滅菌剤を気送真空ポンプ２２０により吸引される。ここで吸引された気体（滅菌剤を含む）は、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１を通り、滅菌剤分解装置２２２で滅菌剤は分解され、分解後の分子が外部に放出される。

＜図９の説明＞
次に、図９を用いて、図４のＳ１１４に示す滅菌排出処理の詳細処理の一例について説明する。
図９は、図４のＳ１１４に示す滅菌排出処理の詳細処理の一例を示す図である。

図８に示す各工程（処理）は、滅菌装置１００の演算処理部２０１により滅菌装置内の各装置の動作を制御することにより行われる。

まず、滅菌装置１００は、液送ロータリーポンプ２２３により、カートリッジ２０５内の全ての液体の滅菌剤をロータリーポンプにより吸引して、液センサ２０４と液送ロータリーポンプ２２３との間の導管を通して送られるその全ての滅菌剤を、液送ロータリーポンプ２２３と排気蒸発炉２２４との間の導管を通して、排気蒸発炉２２４内に導入する（ステップＳ９０１）。

そして、滅菌装置１００は、排気蒸発炉２２４により、液送ロータリーポンプ２２３と排気蒸発炉２２４との間の導管を通して送られる全ての液体の滅菌剤（排気蒸発炉２２４内に溜められた滅菌剤）を、排気蒸発炉２２４に備え付けられたヒーターにより加熱し、その滅菌剤の全てを気化させる。そして、気化された滅菌剤は、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１と排気蒸発炉２２４との間の導管を通して、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１に送られる（ステップＳ９０２）。

ここで、排気蒸発炉２２４に備え付けられたヒーターは、滅菌剤（過酸化水素）の沸点（過酸化水素の沸点は１４１度）よりも高い温度に加熱されている。そのため、排気蒸発炉２２４により、滅菌剤は全て気化されることとなる。

そして、滅菌装置１００は、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１により、排気蒸発炉２２４と排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１との間の導管を通り送られてくる気化された滅菌剤を清浄し、清浄された気体（滅菌剤を含む）は、滅菌剤分解装置２２２と排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１との間の導管を通り、滅菌剤分解装置２２２に送られる。

そして、滅菌剤分解装置２２２は、滅菌剤分解装置２２２と排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１との間の導管から送られてくる気体に含まれる滅菌剤の分子を分解して、分解して生成される分子を滅菌装置１００の外に放出する（ステップＳ９０３）。
次に、漏気滅菌剤分解装置２２９について説明する。
図２４は、漏気滅菌剤分解装置２２９のハードウェアブロック図の一例を示す図である。
図２４に示すように、漏気滅菌剤分解装置２２９は、演算処理部１７０１、電池２２９３（電源）、ファン２２９１、分解触媒２２９２から構成されている。
漏気滅菌剤分解装置２２９は、本発明の分解手段の適用例である。
また、分解触媒２２９２は、滅菌剤の滅菌成分を分解する、本発明の触媒の適用例である。
また、ファン２２９１は、触媒の方向に風を発生させる動作を行う、本発明の送風手段の適用例である。

漏気滅菌剤分解装置２２９は、電池２２９３（電源）から供給される電気により、稼動することも出来るし、滅菌装置１００から電気の供給を受けて稼動することもできる。

そして、漏気滅菌剤分解装置２２９の演算処理部１７０１は、図２２、図２３に示す処理を実行する。また、漏気滅菌剤分解装置２２９の演算処理部１７０１ではなく、滅菌装置１００の演算処理部２０１により、図２２、図２３に示す処理を実行することもできる。

また、ファン２２９１は、気体を送風する送風機であり、漏気滅菌剤分解装置２２９の演算処理部１７０１により制御されるものである。また、滅菌装置１００の演算処理部２０１が、ファン２２９１を制御することもできる。
図２１は、漏気滅菌剤分解装置２２９のファン２２９１と分解触媒２２９２との位置関係を示す漏気滅菌剤分解装置２２９の構成図である。

図２１（Ａ）に示す漏気滅菌剤分解装置２２９は、ファン２２９１が分解触媒２２９２の方向に滅菌装置１００内の気体を送風し、分解触媒２２９２が、送風された気体に含まれる過酸化水素（滅菌剤の滅菌成分）を分解することを示している。

また、図２１（Ｂ）に示す漏気滅菌剤分解装置２２９は、ファン２２９１が分解触媒２２９２から滅菌装置１００内の気体を吸い込み、分解触媒２２９２が、吸い込まれた気体に含まれる過酸化水素を分解することを示している。
滅菌装置１００内には、図２１（Ａ）に示す漏気滅菌剤分解装置２２９、又は図２１（Ｂ）に示す漏気滅菌剤分解装置２２９が設けられている。

漏気滅菌剤分解装置２２９は、滅菌装置１００内の全ての管（滅菌剤が流れる経路）や、滅菌装置１００内の全ての、滅菌剤が流れる装置（各ハードウエア）の、何れかから漏れた滅菌剤を分解する装置であるため、図２に示すように、滅菌剤が流れる経路ではない位置に設けられている。
次に、図２２を用いて、本発明に係る漏気滅菌剤分解装置２２９の動作処理の各工程の一例について説明する。

図２２に示す各工程（処理）は、滅菌装置１００の演算処理部２０１、又は漏気滅菌剤分解装置２２９の演算処理部１７０１により漏気滅菌剤分解装置２２９の各装置（各ハードウエア）の動作を制御することにより行われる。
図２２は、本発明に係る漏気滅菌剤分解装置２２９の動作処理の各工程の一例を示す図である。

ここでは、漏気滅菌剤分解装置２２９の演算処理部１７０１により漏気滅菌剤分解装置２２９の各装置（各ハードウエア）の動作を制御する例について説明する。

滅菌装置１００は、滅菌装置１００の電源が入れられると、滅菌装置１００の演算処理部２０１が、電源が入れられたことを、漏気滅菌剤分解装置２２９の演算処理部１７０１に通知し、漏気滅菌剤分解装置２２９の演算処理部１７０１が、その通知に基づいて、電源が入れられたか否かを判定する（ステップＳ１５０１）。

そして、漏気滅菌剤分解装置２２９の演算処理部１７０１が、電源が入れられたと判定すると（ステップＳ１５０１：ＹＥＳ）、ファン２２９１に設けられた羽根の回転を開始して、風を発生させて送風する（ステップＳ１５０２）。

ステップＳ１５０２で、ファン２２９１に設けられた羽根の回転を開始することで、滅菌剤が流れる経路ではない滅菌装置１００内に当該経路から漏れた過酸化水素を分解触媒２２９２に接触し易くし、当該漏れた過酸化水素を分解触媒２２９２により水や酸素に分解することが可能となる。

そして、滅菌装置１００は、滅菌装置１００の電源が切られると、滅菌装置１００の演算処理部２０１が、電源が切られたことを、漏気滅菌剤分解装置２２９の演算処理部１７０１に通知し、漏気滅菌剤分解装置２２９の演算処理部１７０１が、その通知に基づいて、電源が切られたか否かを判定する（ステップＳ１５０３）。

漏気滅菌剤分解装置２２９の演算処理部１７０１が、滅菌装置１００の電源が切られたと判定されると（ステップＳ１５０３：ＹＥＳ）、ファン２２９１に設けられた羽根の回転を停止する（ステップＳ１５０４）。

また、滅菌装置１００の電源が切られてから、所定時間、ファン２２９１に設けられた羽根の回転をし続けるようにすることもできる。この場合には、電池２２９３の電気を用いて稼動する。
これにより、滅菌装置１００の電源が切られた場合であっても、滅菌剤の経路から漏れた過酸化水素を分解することが可能となる。

このように、分解手段は、滅菌装置の電源が入れられている間に、送風手段により風を発生させる動作を行う。また、分解手段は、滅菌装置の電源が入れられてから、滅菌装置の電源が切られて所定時間が経過するまで、送風手段により風を発生させる動作を行うこともできる。
気送真空ポンプ２２０は、滅菌室２１９内を真空引きするものであるため、気送真空ポンプ２２０内が、最も過酸化水素（ガス）が高圧状態で存在する。

そのため、例えば、地震などの災害等により、気送真空ポンプ２２０に亀裂が入ってしまった場合には、気送真空ポンプ２２０から過酸化水素が漏れる量が増えるおそれも考えられる。

そこで、次に、気送真空ポンプ２２０が稼動すると、漏気滅菌剤分解装置２２９が稼動して、気送真空ポンプ２２０の稼動が停止すると、それから所定時間経過した場合に、漏気滅菌剤分解装置２２９の稼動を停止する仕組みについて図２３を用いて説明する。
次に、図２３を用いて、本発明に係る漏気滅菌剤分解装置２２９の動作処理の各工程の一例について説明する。

図２３に示す各工程（処理）は、滅菌装置１００の演算処理部２０１、又は漏気滅菌剤分解装置２２９の演算処理部１７０１により漏気滅菌剤分解装置２２９の各装置（各ハードウエア）の動作を制御することにより行われる。
図２３は、本発明に係る漏気滅菌剤分解装置２２９の動作処理の各工程の一例を示す図である。

ここでは、漏気滅菌剤分解装置２２９の演算処理部１７０１により漏気滅菌剤分解装置２２９の各装置（各ハードウエア）の動作を制御する例について説明する。

滅菌装置１００の演算処理部２０１は、滅菌装置１００の気送真空ポンプ２２０が稼動しているか（真空引きしているか）を判定し、その判定結果を、漏気滅菌剤分解装置２２９の演算処理部１７０１に通知し、漏気滅菌剤分解装置２２９の演算処理部１７０１が、その判定結果に基づいて、滅菌装置１００の気送真空ポンプ２２０が稼動しているか（真空引きしているか）否かを判定する（ステップＳ１６０１）。

そして、漏気滅菌剤分解装置２２９の演算処理部１７０１が、滅菌装置１００の気送真空ポンプ２２０が稼動している（真空引きしている）と判定すると（ステップＳ１６０１：ＹＥＳ）、ファン２２９１に設けられた羽根の回転を開始して、風を発生させて送風する（ステップＳ１６０２）。

ステップＳ１６０２で、ファン２２９１に設けられた羽根の回転を開始することで、滅菌剤が流れる経路ではない滅菌装置１００内に当該経路から漏れた過酸化水素を分解触媒２２９２に接触し易くし、当該漏れた過酸化水素を分解触媒２２９２により水や酸素に分解することが可能となる。

そして、滅菌装置１００の演算処理部２０１は、滅菌装置１００の気送真空ポンプ２２０が稼動しているか（真空引きしているか）を判定し、その判定結果を、漏気滅菌剤分解装置２２９の演算処理部１７０１に通知し、漏気滅菌剤分解装置２２９の演算処理部１７０１が、その判定結果に基づいて、滅菌装置１００の気送真空ポンプ２２０が稼動しているか（真空引きしているか）否かを繰り返し判定する（ステップＳ１６０３）。

そして、漏気滅菌剤分解装置２２９の演算処理部１７０１は、滅菌装置１００の気送真空ポンプ２２０が停止している（真空引きしていない）と判定された場合には（ステップＳ１６０３：ＹＥＳ）、それから所定時間、ファン２２９１に設けられた羽根の回転をし続けて、当該所定時間が経過したと判定された場合には（ステップＳ１６０４：ＹＥＳ）、ファン２２９１に設けられた羽根の回転を停止する（ステップＳ１６０５）。

このように、滅菌装置１００の気送真空ポンプ２２０が停止してから、所定時間は、ファン２２９１に設けられた羽根の回転をし続けて送風するため、例えば、地震などの災害等により、気送真空ポンプ２２０に亀裂が入ってしまった場合でも、気送真空ポンプ２２０から漏れた過酸化水素を分解することが可能となり、気送真空ポンプ２２０から過酸化水素が漏れる量を低減することができる。

また、図２３では、真空手段による真空引きを行っている間に、送風手段により風を発生させる動作を行うこと、及び、真空手段による真空引きを開始してから、真空手段による真空引きを停止して所定時間が経過するまで、送風手段により風を発生させる動作を行うことについて説明したが、滅菌プロセスによる処理を実行中に、送風手段により風を発生させる動作を行うようにすることもできる。
これにより、過酸化水素（滅菌剤）が経路から漏れる量を低減することができる。
以下、図１８を用いて、図１３に示した湿度測定部２２８の変形例について説明する。
図１８は、図１３に示した湿度測定部２２８の変形例の一例を示す図である。

すなわち、図１８では、図１３に示した湿度測定部２２８の触媒チャンバ１１０４を備えておらず、ニードル弁１１０３から直接測定チャンバに導管を通じている構成となっており、他の構成は図１３と同一である。ここでは、図１３と異なる部分について説明する。

図１８に示すように、図１３に示した湿度測定部２２８の触媒チャンバ１１０４を備えていないため、ニードル弁１１０３を通じて滅菌剤のガス（滅菌剤の薬剤の成分のガスと、水の成分のガスを含む）が、測定チャンバ１１０５に導入され、測定チャンバ１１０５内に設けられた半導体湿度センサが水の成分のガスの湿度をステップＳ１６０１で測定する。

すなわち、滅菌剤（ガス）に含まれる水（ガス）の成分の湿度を測定することにより、滅菌室内の滅菌剤（ガス）に含まれる薬剤（過酸化水素ガス）の成分の濃度が十分であるか否かを判定し、滅菌処理を適切に行えるかを判定することが可能となる。
滅菌装置１００は、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度に従って、滅菌室２１９に滅菌剤を追加投入する滅菌剤の量を決定する（ステップＳ１７０１）。

具体的には、例えば、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度が１０％以下であった場合には、滅菌室２１９に滅菌剤を追加投入する滅菌剤の量が１．５ミリリットル、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度が１１％〜２０％であった場合には、滅菌室２１９に滅菌剤を追加投入する滅菌剤の量が１ミリリットル、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度が２１％〜３０％であった場合には、滅菌室２１９に滅菌剤を追加投入する滅菌剤の量が０．５ミリリットル、と定められたテーブル（図１９の１９０２）を滅菌装置１００のメモリに記憶しておき、このテーブルを参照して、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度に従って、追加投入する滅菌剤の量を決定する。すなわち、例えば、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度が２８％であった場合には、滅菌室２１９に滅菌剤を追加投入する滅菌剤の量を０．５ミリリットルと決定する。このように、図１３の湿度測定部２２８を用いた場合では、図１９の１９０１のテーブルを用いたが、図１８の湿度測定部２２８を用いた場合では、図１９の１９０２のテーブルを用いることとなる。

また、滅菌装置１００は、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度に従って、図７のステップＳ７１８で計時している所定時間をどれくらい伸ばすかを決定する（ステップＳ１７０２）。

具体的には、例えば、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度が１０％以下であった場合には、ステップＳ７１８で判定する所定時間を２倍に伸ばすこと、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度が１１％〜２０％であった場合には、ステップＳ７１８で判定する所定時間を１．５倍に伸ばすこと、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度が２１％〜３０％であった場合には、ステップＳ７１８で判定する所定時間を１．２倍に伸ばすことが、それぞれ定められたテーブル（図１９の１９０２）を滅菌装置１００のメモリに記憶しておき、このテーブルを参照して、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度に従って、ステップＳ７１８で判定する所定時間をどれくらい伸ばすかを決定する。

また、滅菌装置１００は、ステップＳ７０７において、ステップＳ７０４で濃縮炉２０８に滅菌剤を入れてから所定時間が経過したかを判定しているが、ここでの所定時間についても、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度に従って決定される。

すなわち、滅菌装置１００は、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度が１０％以下であった場合には、ステップＳ７０７で判定する所定時間を４．５分にすること、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度が１１％〜２０％であった場合には、ステップＳ７０７で判定する所定時間を３分にすること、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度が２１％〜３０％であった場合には、ステップＳ７０７で判定する所定時間を１．５分にすることが、それぞれ定められたテーブル（図１９の１９０２）を滅菌装置１００のメモリに記憶しておき、このテーブルを参照して、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度に従って、ステップＳ７０７で判定する所定時間を決定する。

このように、図１８の湿度測定部２２８を用いる場合では、触媒チャンバ１１０４を用いることなく、滅菌室２１９内に含まれる水の成分の湿度を測定することで、滅菌室２１９内に十分な滅菌剤に含まれる薬剤（過酸化水素）のガスの濃度が、滅菌処理を行ううえで十分であるかを判定し、十分でないと判定された場合には、滅菌剤を追加投入する等の処理を実行することが可能となり、適切に滅菌処理を実行することが可能となる。
また、図２０に示すように、滅菌室２１９内の過酸化水素のガスの濃度（％）と、滅菌室２１９内の水のガスの湿度（％）は、一定の相関関係が確認できる。
図２０は、滅菌室２１９内の過酸化水素のガスの濃度（％）と、滅菌室２１９内の水のガスの湿度（％）の一定の相関関係を示す図である。

そのため、ステップＳ１６０１で測定された水の湿度（％）と、図２０に示す、滅菌室２１９内の過酸化水素のガスの濃度（％）と滅菌室２１９内の水のガスの湿度（％）の一定の相関関係を示すデータ（滅菌装置のメモリに記憶されているデータ）とに従って、滅菌室２１９内の過酸化水素のガスの濃度（％）を決定し、滅菌室２１９内の過酸化水素のガスの濃度（％）に従って、滅菌室２１９に滅菌剤を追加投入する滅菌剤の量をステップＳ１７０１で決定することもできる。
次に、図１４を用いて、上述の実施形態で説明した湿度測定部２２８により測定された測定結果（実験結果）について説明する。
図１４は、湿度測定部２２８による測定の結果得られた水の成分の湿度の値を縦軸にとり、時間を横軸にとったグラフである。
図１４に示す点線は、滅菌室２１９内に被滅菌物を入れていない状態で測定したグラフである。
図１４に示す点線は、滅菌室２１９内に被滅菌物を入れていない状態で測定した測定結果が示されている。
また、図１４に示す一点鎖線は、滅菌室２１９内に吸湿材であるラテックス（天然ゴム）のシート２枚を置いた状態で測定したグラフを示している。

図１４に示す点線、及び一点鎖線を比較して分かるように、滅菌室２１９内に被滅菌物を入れていない場合よりも、滅菌室２１９内にラテックスのシート２枚を置いた場合の方が、明らかに低い測定結果を示している。
これは過酸化水素ガス及び水のガスがラテックスのシートに吸湿され濃度が低下した結果であると考えられる。

すなわち、吸湿材の被滅菌対象物には、過酸化水素ガスと共に水のガスが同一の一定の比率で吸着されるため、水のガスの湿度が低下していることは、過酸化水素ガスの湿度が低下していることを示す。すなわち、滅菌室２１９内の過酸化水素ガスの濃度が低下していることを現している。
このように、水の成分のガスの湿度を測定することにより、滅菌室２１９内の過酸化水素ガスの濃度を相対的に確認できることが可能である。

つまり、滅菌室２１９内の水の成分の湿度を測定した結果、その湿度が所定の湿度以下であると判断された場合には、滅菌剤を滅菌室２１９内に追加投入し、滅菌室２１９内を所定の濃度に維持させることができるようになる。
次に、図１５を用いて、滅菌剤を滅菌室２１９内に追加投入した場合の、滅菌室２１９内の水の成分の湿度の測定結果について説明する。
図１５は、滅菌剤を滅菌室２１９内に追加投入した場合の、滅菌室２１９内の水の成分の湿度の測定結果の一例を示す図である。
図１５に示すグラフは、縦軸に、滅菌室２１９内の水の成分の湿度をとり、横軸に、時間をとってプロットしたものである。

図１５では、（１）のタイミングで滅菌剤が滅菌室２１９内に投入され、滅菌室２１９内の水の成分の湿度が上がっていることを示している。しかしながら、滅菌室２１９内の水の成分の湿度が６５％以下であったため、（２）のタイミングで滅菌剤が滅菌室２１９内に追加投入され、滅菌室２１９内の水の成分の湿度が上がっていることを示している。滅菌剤が滅菌室２１９内に追加投入されることで、滅菌室２１９内の水の成分の湿度が６５％よりも高くなったため、適切に滅菌処理を行うことができると判定し、適切に滅菌処理を実行することが出来るようになる。

そして、（３）のタイミングで大気が滅菌室内に導入され、（４）のタイミングで気送真空ポンプ２２０により滅菌室２１９内が真空引きされ、滅菌室２１９内の水の成分の湿度が低下していることを示している。

上述した実施形態では、液体の滅菌剤を、気化炉２１６に導入して気化して、当該気化した滅菌剤を滅菌室２１９に導入する実施形態について説明したが、気化炉２１６を設けない（または気化炉２１６で液体の滅菌剤を気化しない）構成でもよい。例えば、計量管と滅菌室とが導管により導通しており、当該導管に弁（Ｖ５）２１７が設けられている構成でもよい。

すなわち、気送真空ポンプ２２０により、滅菌室を真空引きして、当該真空引きされた滅菌室に液体の滅菌剤を導入することで、当該液体の滅菌剤が滅菌室内で気化し、当該気化した滅菌剤に含まれる溶媒の湿度を測定手段（１１０８）が測定するようにすることができる。

１００ 滅菌装置
１０１ カートリッジ取付用扉
１０２ 表示部
１０３ 印刷部
１０４ 滅菌室の扉

Claims (10)

1. 滅菌剤を用いて対象物を滅菌する滅菌装置であって、
   滅菌プロセスで用いられる滅菌剤の経路と、
   前記経路ではない位置に設けられ滅菌剤を分解する分解手段と、
   を備えることを特徴とする滅菌装置。
2. 前記分解手段は、前記滅菌剤を分解する触媒を備えることを特徴とする請求項１に記載の滅菌装置。
3. 前記分解手段は、前記触媒の方向に風を発生させる動作を行う送風手段を更に備えることを特徴とする請求項２に記載の滅菌装置。
4. 前記分解手段は、前記滅菌装置の電源が入れられている間に、前記送風手段により風を発生させる動作を行うこと特徴とする請求項３に記載の滅菌装置。
5. 前記分解手段は、前記滅菌装置の電源が入れられてから、前記滅菌装置の電源が切られて所定時間が経過するまで、前記送風手段により風を発生させる動作を行うこと特徴とする請求項４に記載の滅菌装置。
6. 前記分解手段は、前記滅菌プロセスによる処理を実行中に、前記送風手段により風を発生させる動作を行うこと特徴とする請求項３に記載の滅菌装置。
7. 前記経路は、
   対象物を格納する滅菌室と、
   前記滅菌室を真空引きする真空手段と、
   を含み、
   前記分解手段は、前記真空手段による真空引きを行っている間に、前記送風手段により風を発生させる動作を行うこと特徴とする請求項３に記載の滅菌装置。
8. 前記分解手段は、前記真空手段による真空引きを開始してから、前記真空手段による真空引きを停止して所定時間が経過するまで、前記送風手段により風を発生させる動作を行うこと特徴とする請求項７に記載の滅菌装置。
9. 前記分解手段は、前記経路から漏れ出した滅菌剤を分解することを特徴とする請求項１乃至８の何れか１項に記載の滅菌装置。
10. 滅菌剤を用いて対象物を滅菌する滅菌装置における制御方法であって、
    滅菌プロセスで滅菌剤の経路に滅菌剤を流すステップと、
    前記経路ではない位置に設けられた分解手段により滅菌剤を分解する分解ステップと、
    を備えることを特徴とする制御方法。
    
    

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