JP2015118998A - Method of manufacturing connection body, connection method, and connection body - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve poor connection of an electronic component, while suppressing warpage of a substrate by using stage heating.SOLUTION: In a method of manufacturing a connection body where an electronic component 18 is connected onto a substrate 12 via an adhesive 1, by mounting a temporary connection body 21, where the electronic component 18 is mounted on the substrate 12 via an uncured adhesive 1, on a stage 31 having a temperature control mechanism 32, heating the substrate 12 side by means of the stage 31, and hot pressing the electronic component 18 onto the substrate 12 by means of a hot press head 33, the substrate 12 is preheated by means of the stage 31, prior to the hot press process by means of the hot press head 33.

Description

本発明は、接着剤を介して基板上に電子部品が接続された接続体の製造方法、及び接着剤を介して基板上に電子部品を接続する接続方法に関し、特に接着剤を介して電子部品を基板上に加熱加圧することにより接続する接続体の製造方法、電子部品の接続方法及び接続体に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a connection body in which an electronic component is connected on a substrate via an adhesive, and a connection method for connecting an electronic component on a substrate via an adhesive, and more particularly to an electronic component via an adhesive. The present invention relates to a method for manufacturing a connection body, a connection method for an electronic component, and a connection body that are connected by heating and pressing a substrate.

従来から、テレビやPCモニタ、携帯電話、携帯型ゲーム機、タブレットPCあるいは車載用モニタ等の各種表示手段として、液晶表示装置が多く用いられている。近年、このような液晶表示装置においては、ファインピッチ化、軽量薄型化等の観点から、液晶駆動用ICを直接液晶表示パネルのガラス基板上に実装するいわゆるCOG(chip on glass)や、液晶駆動回路が形成されたフレキシブル基板を直接液晶表示パネルの基板上に実装するいわゆるFOG(film on glass)が採用されている。   Conventionally, a liquid crystal display device has been widely used as various display means such as a television, a PC monitor, a mobile phone, a portable game machine, a tablet PC, or an in-vehicle monitor. In recent years, in such liquid crystal display devices, so-called COG (chip on glass) in which a liquid crystal driving IC is directly mounted on a glass substrate of a liquid crystal display panel, or liquid crystal driving, from the viewpoint of fine pitch, light weight and thinning. A so-called FOG (film on glass) is employed in which a flexible substrate on which a circuit is formed is directly mounted on a substrate of a liquid crystal display panel.

例えばCOG実装方式が採用された液晶表示装置100は、図4に示すように、液晶表示のための主機能を果たす液晶表示パネル104を有しており、この液晶表示パネル104は、ガラス基板等からなる互いに対向する二枚の透明基板102,103を有している。そして、液晶表示パネル104は、これら両透明基板102,103が枠状のシール105によって互いに貼り合わされるとともに、両透明基板102,103およびシール105によって囲繞された空間内に液晶106が封入されたパネル表示部107が設けられている。   For example, as shown in FIG. 4, a liquid crystal display device 100 employing a COG mounting system has a liquid crystal display panel 104 that performs a main function for liquid crystal display. The liquid crystal display panel 104 is a glass substrate or the like. And two transparent substrates 102 and 103 facing each other. In the liquid crystal display panel 104, the transparent substrates 102 and 103 are bonded to each other by a frame-shaped seal 105, and the liquid crystal 106 is sealed in a space surrounded by the transparent substrates 102 and 103 and the seal 105. A panel display unit 107 is provided.

透明基板102,103は、互いに対向する両内側表面に、ITO(酸化インジウムスズ)等からなる縞状の一対の透明電極108,109が、互いに交差するように形成されている。そして、両透明基板102,103は、これら両透明電極108,109の当該交差部位によって液晶表示の最小単位としての画素が構成されるようになっている。   The transparent substrates 102 and 103 have a pair of striped transparent electrodes 108 and 109 made of ITO (indium tin oxide) or the like on both inner surfaces facing each other so as to intersect each other. The transparent substrates 102 and 103 are configured such that a pixel as a minimum unit of liquid crystal display is constituted by the intersection of the transparent electrodes 108 and 109.

両透明基板102,103のうち、一方の透明基板103は、他方の透明基板102よりも平面寸法が大きく形成されており、この大きく形成された透明基板103の縁部103aには、透明電極109の端子部109aが形成されている。また、両透明電極108,109上には、所定のラビング処理が施された配向膜111,112が形成されており、この配向膜111,112によって液晶分子の初期配向が規制されるようになっている。さらに、両透明電極108,109の外側には、一対の偏光板118,119が配設されており、これら両偏光板118,119によってバックライト等の光源120からの透過光の振動方向が規制されるようになっている。   Of the two transparent substrates 102 and 103, one transparent substrate 103 is formed to have a larger planar dimension than the other transparent substrate 102, and the transparent electrode 109 is formed on the edge 103a of the transparent substrate 103 formed to be large. Terminal portion 109a is formed. Further, alignment films 111 and 112 subjected to a predetermined rubbing process are formed on both transparent electrodes 108 and 109, and the initial alignment of liquid crystal molecules is regulated by the alignment films 111 and 112. ing. Further, a pair of polarizing plates 118 and 119 are disposed outside the transparent electrodes 108 and 109, and the vibration direction of transmitted light from the light source 120 such as a backlight is regulated by the polarizing plates 118 and 119. It has come to be.

端子部109a上には、異方性導電フィルム114を介して液晶駆動用IC115が熱圧着されている。異方性導電フィルム114は、熱硬化型のバインダー樹脂に導電性粒子を混ぜ込んでフィルム状としたもので、2つの導体間で加熱圧着されることにより導電粒子で導体間の電気的導通がとられ、バインダー樹脂にて導体間の機械的接続が保持される。液晶駆動用IC115は、画素に対して液晶駆動電圧を選択的に印加することにより、液晶の配向を部分的に変化させて所定の液晶表示を行うことができるようになっている。なお、異方性導電フィルム114を構成する接着剤としては、通常、信頼性の高い熱硬化性の接着剤を用いるようになっている。   On the terminal portion 109a, a liquid crystal driving IC 115 is thermocompression bonded via an anisotropic conductive film 114. The anisotropic conductive film 114 is a film formed by mixing conductive particles in a thermosetting binder resin, and heat conduction is performed between the two conductors so that the electrical conduction between the conductors is achieved by the conductive particles. And the mechanical connection between the conductors is maintained by the binder resin. The liquid crystal driving IC 115 can perform predetermined liquid crystal display by selectively changing the alignment of the liquid crystal by selectively applying a liquid crystal driving voltage to the pixels. In addition, as an adhesive which comprises the anisotropic conductive film 114, a highly reliable thermosetting adhesive is normally used.

このような異方性導電フィルム114を介して液晶駆動用IC115を端子部109aへ接続する場合は、先ず、透明電極109の端子部109a上に異方性導電フィルム114を図示しない仮圧着手段によって仮圧着する。続いて、異方性導電フィルム114上に液晶駆動用IC115を載置し仮接続体を形成した後、図5に示すように熱圧着ヘッド121等の熱圧着手段によって液晶駆動用IC115を異方性導電フィルム114とともに端子部109a側へ押圧しつつ熱圧着ヘッド121を発熱させる。この熱圧着ヘッド121による加熱によって、異方性導電フィルム114は熱硬化反応を起こし、これにより、異方性導電フィルム114を介して液晶駆動用IC115が端子部109a上に接着される。   When the liquid crystal driving IC 115 is connected to the terminal portion 109a through such an anisotropic conductive film 114, first, the anisotropic conductive film 114 is attached to the terminal portion 109a of the transparent electrode 109 by a temporary crimping means (not shown). Temporarily crimp. Subsequently, after the liquid crystal driving IC 115 is placed on the anisotropic conductive film 114 to form a temporary connection body, the liquid crystal driving IC 115 is anisotropically applied by thermocompression bonding means such as a thermocompression bonding head 121 as shown in FIG. The thermocompression bonding head 121 is caused to generate heat while being pressed together with the conductive conductive film 114 toward the terminal portion 109a. Heating by the thermocompression bonding head 121 causes the anisotropic conductive film 114 to undergo a thermosetting reaction, whereby the liquid crystal driving IC 115 is bonded onto the terminal portion 109a via the anisotropic conductive film 114.

しかし、このような異方性導電フィルムを用いた接続方法においては、熱加圧温度が高く、液晶駆動用IC115等の電子部品や透明基板103に対する熱衝撃が大きくなる。加えて、異方性導電フィルムが接続された後、常温まで温度が低下する際に、熱圧着ヘッド121に加熱された液晶駆動用IC115とステージ上に載置された透明基板103との温度差及びバインダーと透明基板103の熱膨張率の差に起因して、透明基板103に反りが生じうる。そのため、表示ムラを引き起こしてしまう不具合が生じる他、反りが大きくなると液晶駆動用IC115の接続不良等の不具合を引き起こすおそれがあった。この現象はICやガラス基板の薄型化が進んだことにより、顕著な問題となってきている。   However, in such a connection method using an anisotropic conductive film, the heat pressing temperature is high, and the thermal shock to the electronic components such as the liquid crystal driving IC 115 and the transparent substrate 103 is increased. In addition, the temperature difference between the liquid crystal driving IC 115 heated by the thermocompression bonding head 121 and the transparent substrate 103 placed on the stage when the temperature drops to room temperature after the anisotropic conductive film is connected. Further, the transparent substrate 103 may be warped due to a difference in thermal expansion coefficient between the binder and the transparent substrate 103. For this reason, there is a problem that non-uniformity of display is caused, and there is a possibility that problems such as poor connection of the liquid crystal driving IC 115 occur when the warp is large. This phenomenon has become a prominent problem as ICs and glass substrates are made thinner.

特開2005−206220号公報JP-A-2005-206220

COG接続による透明基板103の反りの本質的な原因は、熱圧着ヘッド121とステージの温度差にある。このため、ステージ温度を高くする方法によっても、熱圧着ヘッド121とステージの温度差を小さくすることができる。   An essential cause of the warp of the transparent substrate 103 due to the COG connection is a temperature difference between the thermocompression bonding head 121 and the stage. For this reason, the temperature difference between the thermocompression bonding head 121 and the stage can be reduced also by the method of increasing the stage temperature.

しかし、ステージ加熱を用いる接続方法においては、ステージの加熱温度を上げることにより、効果的に透明基板の反りを抑制することができる反面、ステージの熱が透明基板に仮貼りされたバインダー樹脂に伝わり、本圧着前において当該バインダー樹脂の硬化が進行してしまい、本圧着工程において熱圧着ヘッドによる加熱押圧によっても導電性粒子を押し込むことができず、導通抵抗が上昇するおそれがあった。   However, in the connection method using stage heating, it is possible to effectively suppress the warping of the transparent substrate by raising the heating temperature of the stage, but the heat of the stage is transmitted to the binder resin temporarily attached to the transparent substrate. Further, the binder resin is cured before the main press bonding, and the conductive particles cannot be pushed in even by the heat pressing by the thermocompression bonding head in the main press bonding step, which may increase the conduction resistance.

本発明は、上述した課題を解決するものであり、ステージ加熱を用いることで基板の反りを抑えるとともに、電子部品の接続不良を改善する接続体の製造方法、電子部品の接続方法、及びこれを用いて製造された接続体を提供することを目的とする。   The present invention solves the above-mentioned problems, and suppresses the warping of the substrate by using stage heating and improves the connection failure of the electronic component, the connection method of the electronic component, and this An object of the present invention is to provide a connection body manufactured using the same.

上述した課題を解決するために、本発明に係る接続体の製造方法は、基板上に未硬化の接着剤を介して電子部品が搭載された仮接続体を、温度制御機構を有するステージ上に載置し、上記ステージによって上記基板側を加熱するととともに、熱圧着ヘッドによって上記電子部品を上記基板上に加熱押圧し、上記接着剤を介して上記電子部品が上記基板上に接続された接続体の製造方法において、上記熱圧着ヘッドによる加熱押圧工程よりも先に、上記ステージによって上記基板の予備加熱を行うものである。   In order to solve the above-described problems, a connection body manufacturing method according to the present invention includes a temporary connection body in which an electronic component is mounted on a substrate via an uncured adhesive on a stage having a temperature control mechanism. A connected body in which the electronic component is heated and pressed on the substrate by a thermocompression bonding head, and the electronic component is connected to the substrate via the adhesive. In this manufacturing method, the substrate is preheated by the stage prior to the heating and pressing step by the thermocompression bonding head.

また、本発明に係る接続方法は、基板上に未硬化の接着剤を介して電子部品が搭載された仮接続体を、温度制御機構を有するステージ上に載置し、上記ステージによって上記基板側を加熱するととともに、熱圧着ヘッドによって上記電子部品を上記基板上に加熱押圧し、上記接着剤を介して上記電子部品を上記基板上に接続する接続方法において、上記熱圧着ヘッドによる加熱押圧工程よりも先に、上記ステージによって上記基板の予備加熱を行うものである。   Further, the connection method according to the present invention is such that a temporary connection body in which an electronic component is mounted on a substrate via an uncured adhesive is placed on a stage having a temperature control mechanism, and the substrate side is placed by the stage. In the connection method in which the electronic component is heated and pressed onto the substrate by the thermocompression bonding head and the electronic component is connected to the substrate through the adhesive, the heating and pressing step by the thermocompression bonding head is used. First, the substrate is preheated by the stage.

また、本発明に係る接続体は、上記方法により製造されたものである。   Moreover, the connection body which concerns on this invention is manufactured by the said method.

本発明によれば、熱圧着ヘッドによる加熱押圧に先立って、ステージ加熱によって仮接続体の基板を加熱する予備加熱を行うことにより、予め基板の温度を高め、熱圧着ヘッドによって加熱押圧される電子部品との温度差を縮小させて反りの発生を抑えることができた。また、本発明によれば、所定の温度プロファイルで予備加熱を行うことで、予備加熱によるバインダー樹脂の硬化反応を抑え、熱圧着ヘッドによる熱加圧工程において、電子部品と基板との導通性を向上させることができる。   According to the present invention, prior to the heat pressing by the thermocompression bonding head, preheating is performed to heat the substrate of the temporary connection body by stage heating, so that the temperature of the substrate is raised in advance, and the electrons heated and pressed by the thermocompression bonding head. The temperature difference from the parts was reduced, and the occurrence of warpage could be suppressed. In addition, according to the present invention, by performing preheating with a predetermined temperature profile, the curing reaction of the binder resin due to preheating is suppressed, and in the heat pressing process by the thermocompression bonding head, the electrical conductivity between the electronic component and the substrate is improved. Can be improved.

図1は、本発明が適用された実装工程を示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing a mounting process to which the present invention is applied. 図2は、異方性導電フィルムを示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing an anisotropic conductive film. 図3は、予備加熱工程における異方性導電フィルムの温度プロファイルを示すグラフである。FIG. 3 is a graph showing a temperature profile of the anisotropic conductive film in the preheating step. 図4は、従来の液晶表示パネルを示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing a conventional liquid crystal display panel. 図5は、従来の液晶表示パネルのCOG実装工程を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing a COG mounting process of a conventional liquid crystal display panel.

以下、本発明が適用された接続体の製造方法、接続方法、及び接続体について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、本発明は、以下の実施形態のみに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々の変更が可能であることは勿論である。また、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは異なることがある。具体的な寸法等は以下の説明を参酌して判断すべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。   Hereinafter, a method for manufacturing a connection body, a connection method, and a connection body to which the present invention is applied will be described in detail with reference to the drawings. It should be noted that the present invention is not limited to the following embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention. Further, the drawings are schematic, and the ratio of each dimension may be different from the actual one. Specific dimensions should be determined in consideration of the following description. Moreover, it is a matter of course that portions having different dimensional relationships and ratios are included between the drawings.

以下では、液晶表示パネルのガラス基板に、電子部品として液晶駆動用のICチップを実装するいわゆるCOG(chip on glass)実装を行う場合を例に説明する。この液晶表示パネル10は、図1に示すように、ガラス基板等からなる二枚の透明基板11,12が対向配置され、これら透明基板11,12が枠状のシール13によって互いに貼り合わされている。そして、液晶表示パネル10は、透明基板11,12によって囲繞された空間内に液晶14が封入されることによりパネル表示部15が形成されている。   Hereinafter, a case where so-called COG (chip on glass) mounting in which an IC chip for driving a liquid crystal as an electronic component is mounted on a glass substrate of a liquid crystal display panel will be described as an example. As shown in FIG. 1, the liquid crystal display panel 10 includes two transparent substrates 11 and 12 made of a glass substrate and the like, and the transparent substrates 11 and 12 are bonded to each other by a frame-shaped seal 13. . In the liquid crystal display panel 10, the liquid crystal 14 is sealed in a space surrounded by the transparent substrates 11 and 12 to form a panel display unit 15.

透明基板11,12は、互いに対向する両内側表面に、ITO(酸化インジウムスズ)等からなる縞状の一対の透明電極16,17が、互いに交差するように形成されている。そして、両透明電極16,17は、これら両透明電極16,17の当該交差部位によって液晶表示の最小単位としての画素が構成されるようになっている。   The transparent substrates 11 and 12 have a pair of striped transparent electrodes 16 and 17 made of ITO (indium tin oxide) or the like on both inner surfaces facing each other so as to intersect each other. The transparent electrodes 16 and 17 are configured such that a pixel as a minimum unit of liquid crystal display is configured by the intersection of the transparent electrodes 16 and 17.

両透明基板11,12のうち、一方の透明基板12は、他方の透明基板11よりも平面寸法が大きく形成されており、この大きく形成された透明基板12の縁部12aには、電子部品として液晶駆動用IC18が実装されるCOG実装部20が設けられている。   Of the transparent substrates 11 and 12, one transparent substrate 12 is formed to have a larger planar dimension than the other transparent substrate 11, and an edge 12a of the formed transparent substrate 12 has an electronic component. A COG mounting unit 20 on which the liquid crystal driving IC 18 is mounted is provided.

なお、液晶駆動用IC18は、画素に対して液晶駆動電圧を選択的に印加することにより、液晶の配向を部分的に変化させて所定の液晶表示を行うことができるようになっている。   Note that the liquid crystal driving IC 18 can selectively apply a liquid crystal driving voltage to the pixels to partially change the alignment of the liquid crystal and perform a predetermined liquid crystal display.

COG実装部20には、透明電極17の端子部17aが形成されている。端子部17a上には、回路接続用接着剤として異方性導電フィルム1を用いて液晶駆動用IC18が接続される。異方性導電フィルム1は、導電性粒子4を含有しており、液晶駆動用IC18の電極と透明基板12の縁部12aに形成された透明電極17の端子部17aとを、導電性粒子4を介して電気的に接続させるものである。この異方性導電フィルム1は、熱硬化型の接着剤であり、後述する熱圧着ヘッド33により熱圧着されることによりバインダー樹脂が流動化して導電性粒子4が端子部17aと液晶駆動用IC18の各電極との間で押し潰され、この状態でバインダー樹脂が硬化する。これにより、異方性導電フィルム1は、透明基板12と液晶駆動用IC18とを電気的、機械的に接続する。   In the COG mounting part 20, a terminal part 17a of the transparent electrode 17 is formed. On the terminal portion 17a, a liquid crystal driving IC 18 is connected using the anisotropic conductive film 1 as a circuit connecting adhesive. The anisotropic conductive film 1 contains conductive particles 4, and the conductive particles 4 include the electrodes of the liquid crystal driving IC 18 and the terminal portions 17 a of the transparent electrodes 17 formed on the edge 12 a of the transparent substrate 12. It is electrically connected via The anisotropic conductive film 1 is a thermosetting adhesive, and is thermally bonded by a thermocompression bonding head 33 to be described later, so that the binder resin is fluidized and the conductive particles 4 are connected to the terminal portions 17a and the liquid crystal driving IC 18. In this state, the binder resin is cured. Thereby, the anisotropic conductive film 1 electrically and mechanically connects the transparent substrate 12 and the liquid crystal driving IC 18.

また、両透明電極16,17上には、所定のラビング処理が施された配向膜24が形成されており、この配向膜24によって液晶分子の初期配向が規制されるようになっている。さらに、両透明基板11,12の外側には、一対の偏光板25,26が配設されており、これら両偏光板25,26によってバックライト等の光源(図示せず)からの透過光の振動方向が規制されるようになっている。   Further, an alignment film 24 subjected to a predetermined rubbing process is formed on both the transparent electrodes 16 and 17, and the initial alignment of liquid crystal molecules is regulated by the alignment film 24. In addition, a pair of polarizing plates 25 and 26 are disposed outside the transparent substrates 11 and 12, and these polarizing plates 25 and 26 allow transmitted light from a light source (not shown) such as a backlight to be transmitted. The vibration direction is regulated.

[異方性導電フィルム]
次いで、異方性導電フィルム1について説明する。異方性導電フィルム(ACF:Anisotropic Conductive Film)1は、図2に示すように、通常、基材となる剥離フィルム2上に導電性粒子4を含有するバインダー樹脂層(接着剤層)3が形成されたものである。異方性導電フィルム1は、図1に示すように、液晶表示パネル10の透明基板12に形成された透明電極17と液晶駆動用IC18との間にバインダー樹脂層3を介在させることで、液晶表示パネル10と液晶駆動用IC18とを接続し、導通させるために用いられる。
[Anisotropic conductive film]
Next, the anisotropic conductive film 1 will be described. As shown in FIG. 2, an anisotropic conductive film (ACF) 1 usually has a binder resin layer (adhesive layer) 3 containing conductive particles 4 on a release film 2 as a base material. It is formed. As shown in FIG. 1, the anisotropic conductive film 1 is formed by interposing a binder resin layer 3 between a transparent electrode 17 formed on the transparent substrate 12 of the liquid crystal display panel 10 and a liquid crystal driving IC 18. It is used to connect the display panel 10 and the liquid crystal driving IC 18 so as to be conductive.

バインダー樹脂層3の接着剤組成物は、例えば膜形成樹脂、熱硬化性樹脂、潜在性硬化剤、シランカップリング剤等を含有する通常のバインダー成分からなる。   The adhesive composition of the binder resin layer 3 is composed of a normal binder component containing, for example, a film-forming resin, a thermosetting resin, a latent curing agent, a silane coupling agent, and the like.

膜形成樹脂としては、平均分子量が10000〜80000程度の樹脂が好ましく、特にエポキシ樹脂、変形エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、フェノキシ樹脂等の各種の樹脂が挙げられる。中でも、膜形成状態、接続信頼性等の観点からフェノキシ樹脂が好ましい。   As the film-forming resin, a resin having an average molecular weight of about 10,000 to 80,000 is preferable, and various resins such as an epoxy resin, a modified epoxy resin, a urethane resin, and a phenoxy resin are particularly mentioned. Among these, phenoxy resin is preferable from the viewpoint of film formation state, connection reliability, and the like.

熱硬化性樹脂としては特に限定されず、例えば市販のエポキシ樹脂を用いることができる。このようなエポキシ樹脂としては、例えば、ナフタレン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノール型エポキシ樹脂、スチルベン型エポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、フェノールアラルキル型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリフェニルメタン型エポキシ樹脂等が挙げられる。これらは単独でも、2種以上の組み合わせであってもよい。   It does not specifically limit as a thermosetting resin, For example, a commercially available epoxy resin can be used. Examples of such epoxy resins include naphthalene type epoxy resins, biphenyl type epoxy resins, phenol novolac type epoxy resins, bisphenol type epoxy resins, stilbene type epoxy resins, triphenolmethane type epoxy resins, phenol aralkyl type epoxy resins, and naphthols. Type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, triphenylmethane type epoxy resin and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

潜在性硬化剤としては、加熱硬化型の硬化剤を好適に用いることができる。潜在性硬化剤は、通常では反応せず、熱、加圧等の用途に応じて選択される各種のトリガにより活性化し、反応を開始する。熱活性型潜在性硬化剤の活性化方法には、加熱による解離反応などで活性種(カチオンやアニオン)を生成する方法、室温付近ではエポキシ樹脂中に安定に分散しており高温でエポキシ樹脂と相溶及び溶解し、硬化反応を開始する方法、モレキュラーシーブ封入タイプの硬化剤を高温で溶出して硬化反応を開始する方法、マイクロカプセルによる溶出・硬化方法等が存在する。熱活性型潜在性硬化剤としては、イミダゾール系、ヒドラジド系、三フッ化ホウ素−アミン錯体、スルホニウム塩、アミンイミド、ポリアミン塩、ジシアンジアミド等や、これらの変性物があり、これらは単独でも、2種以上の混合体であってもよい。中でも、マイクロカプセル型イミダゾール系潜在性硬化剤が好適である。   As the latent curing agent, a heat curing type curing agent can be suitably used. The latent curing agent does not normally react, but is activated by various triggers selected according to applications such as heat and pressure, and starts the reaction. The activation method of the thermally activated latent curing agent includes a method of generating active species (cations and anions) by a dissociation reaction by heating, and the like. There are a method of starting a curing reaction by dissolving and dissolving, a method of starting a curing reaction by eluting a molecular sieve encapsulated type curing agent at a high temperature, and a method of elution / curing using a microcapsule. Thermally active latent curing agents include imidazole, hydrazide, boron trifluoride-amine complexes, sulfonium salts, amine imides, polyamine salts, dicyandiamide, etc., and modified products thereof. The above mixture may be sufficient. Among these, a microcapsule type imidazole-based latent curing agent is preferable.

シランカップリング剤としては、エポキシ系、アミノ系、メルカプト・スルフィド系、ウレイド系等を挙げることができる。シランカップリング剤を添加することにより、有機材料と無機材料との界面における接着性が向上される。   Examples of the silane coupling agent include epoxy-based, amino-based, mercapto-sulfide-based, and ureido-based agents. By adding the silane coupling agent, the adhesion at the interface between the organic material and the inorganic material is improved.

導電性粒子4としては、例えば、ニッケル、鉄、銅、アルミニウム、錫、鉛、クロム、コバルト、銀、金等の各種金属や金属合金の粒子、金属酸化物、カーボン、グラファイト、ガラスやセラミック、プラスチック等の粒子の表面に金属をコートしたもの、或いはこれらの粒子の表面に更に絶縁薄膜をコートしたもの等を使用することができる。樹脂粒子の表面に金属をコートしたものを用いる場合、樹脂粒子としては、例えばエポキシ樹脂、フェノール樹脂、アクリル樹脂、アクリロニトリル・スチレン(AS)樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、ジビニルベンゼン系樹脂、スチレン系樹脂等の粒子を挙げることができる。なお、導電性粒子4は、粒子全体が導電性材料のみで形成されていてもよい。   Examples of the conductive particles 4 include particles of various metals and metal alloys such as nickel, iron, copper, aluminum, tin, lead, chromium, cobalt, silver and gold, metal oxides, carbon, graphite, glass and ceramics, The surface of particles of plastic or the like coated with metal, or the surface of these particles further coated with an insulating thin film can be used. When using a resin particle surface coated with metal, the resin particles include, for example, epoxy resin, phenol resin, acrylic resin, acrylonitrile / styrene (AS) resin, benzoguanamine resin, divinylbenzene resin, styrene resin, etc. Particles can be mentioned. In addition, as for the electroconductive particle 4, the whole particle | grain may be formed only with the electroconductive material.

バインダー樹脂層3を構成する接着剤組成物は、このように膜形成樹脂、熱硬化性樹脂、潜在性硬化剤、シランカップリング剤等を含有する場合に限定されず、通常の異方性導電フィルムの接着剤組成物として用いられる何れの材料から構成されるようにしてもよい。   The adhesive composition constituting the binder resin layer 3 is not limited to the case where it contains a film-forming resin, a thermosetting resin, a latent curing agent, a silane coupling agent, etc. You may make it comprise from any material used as an adhesive composition of a film.

バインダー樹脂層3を支持する剥離フィルム2は、例えば、PET(Poly Ethylene Terephthalate)、OPP(Oriented Polypropylene)、PMP(Poly-4-methylpentene-1)、PTFE(Polytetrafluoroethylene)等にシリコーン等の剥離剤を塗布してなり、異方性導電フィルム1の乾燥を防ぐとともに、異方性導電フィルム1の形状を維持する。   The release film 2 that supports the binder resin layer 3 includes, for example, a release agent such as silicone on PET (Poly Ethylene Terephthalate), OPP (Oriented Polypropylene), PMP (Poly-4-methylpentene-1), PTFE (Polytetrafluoroethylene), and the like. It coats and prevents the anisotropic conductive film 1 from drying, and maintains the shape of the anisotropic conductive film 1.

異方性導電フィルム1は、何れの方法で作製するようにしてもよいが、例えば以下の方法によって作製することができる。膜形成樹脂、熱硬化性樹脂、潜在性硬化剤、シランカップリング剤、導電性粒子等を含有する接着剤組成物を調整する。調整した接着剤組成物をバーコーター、塗布装置等を用いて剥離フィルム2上に塗布し、オーブン等によって乾燥させることにより、剥離フィルム2にバインダー樹脂層3が支持された異方性導電フィルム1を得る。   Although the anisotropic conductive film 1 may be produced by any method, for example, it can be produced by the following method. An adhesive composition containing a film-forming resin, a thermosetting resin, a latent curing agent, a silane coupling agent, conductive particles and the like is prepared. An anisotropic conductive film 1 in which the binder resin layer 3 is supported on the release film 2 by applying the adjusted adhesive composition onto the release film 2 using a bar coater, a coating apparatus, and the like, and drying the oven composition or the like. Get.

[2層ACF]
また、本発明に係る異方性導電フィルム1は、導電性粒子4を含有するバインダー樹脂層3と、導電性粒子が含まれない絶縁性の接着剤組成物からなる絶縁性接着剤層とを積層されてなる2層構造の異方性導電フィルムとしてもよい。
[2-layer ACF]
Moreover, the anisotropic conductive film 1 which concerns on this invention has the binder resin layer 3 containing the electroconductive particle 4, and the insulating adhesive layer which consists of an insulating adhesive composition which does not contain electroconductive particle. It is good also as an anisotropic conductive film of the 2 layer structure laminated | stacked.

絶縁性接着材層を構成する絶縁性の接着剤組成物は、膜形成樹脂、熱硬化性樹脂、潜在性硬化剤、シランカップリング剤等を含有する通常のバインダー成分からなり、上述したバインダー樹脂層3の接着剤組成物と同様の材料で構成することができる。   The insulating adhesive composition constituting the insulating adhesive layer is composed of a normal binder component containing a film-forming resin, a thermosetting resin, a latent curing agent, a silane coupling agent, and the like. It can be comprised with the material similar to the adhesive composition of the layer 3. FIG.

この2層構造の異方性導電フィルム1は、絶縁性接着剤層を構成する接着剤組成物を剥離フィルムに塗布、乾燥させた後、上述した剥離フィルム2に支持されたバインダー樹脂層3と貼り合わせることにより形成することができる。   The anisotropic conductive film 1 having a two-layer structure is formed by applying an adhesive composition constituting an insulating adhesive layer to a release film and drying the binder resin layer 3 supported by the release film 2 described above. It can be formed by bonding.

[製造方法]
次いで、異方性導電フィルム1を介して液晶駆動用IC18が透明基板12の透明電極17上に接続された接続体の製造工程について説明する。先ず、異方性導電フィルム1を透明電極17上に仮圧着する。異方性導電フィルム1を仮圧着する方法は、液晶表示パネル10の透明基板12の透明電極17上に、バインダー樹脂層3が透明電極17側となるように、異方性導電フィルム1を配置する。
[Production method]
Next, a manufacturing process of a connection body in which the liquid crystal driving IC 18 is connected to the transparent electrode 17 of the transparent substrate 12 through the anisotropic conductive film 1 will be described. First, the anisotropic conductive film 1 is temporarily pressure-bonded onto the transparent electrode 17. The method for temporarily pressing the anisotropic conductive film 1 is to dispose the anisotropic conductive film 1 on the transparent electrode 17 of the transparent substrate 12 of the liquid crystal display panel 10 so that the binder resin layer 3 is on the transparent electrode 17 side. To do.

そして、バインダー樹脂層3を透明電極17上に配置した後、剥離フィルム2側からバインダー樹脂層3を仮貼り用の加熱押圧ヘッドで加熱及び加圧し、加熱押圧ヘッドを剥離フィルム2から離し、剥離フィルム2を透明電極17上のバインダー樹脂層3から剥離することによって、バインダー樹脂層3のみが透明電極17上に仮貼りされる。加熱押圧ヘッドによる仮圧着は、剥離フィルム2の上面を僅かな圧力(例えば0.1MPa〜2MPa程度)で透明電極17側に押圧しながら加熱(例えば70〜100℃程度)することにより行う。   And after arrange | positioning the binder resin layer 3 on the transparent electrode 17, the binder resin layer 3 is heated and pressurized with the heating press head for temporary attachment from the peeling film 2 side, a heating press head is released from the peeling film 2, and it peels. By peeling the film 2 from the binder resin layer 3 on the transparent electrode 17, only the binder resin layer 3 is temporarily attached on the transparent electrode 17. Temporary pressure bonding by the heating and pressing head is performed by heating (for example, about 70 to 100 ° C.) while pressing the upper surface of the release film 2 to the transparent electrode 17 side with a slight pressure (for example, about 0.1 to 2 MPa).

次に、透明基板12の透明電極17と液晶駆動用IC18の電極端子とがバインダー樹脂層3を介して対向するように、液晶駆動用IC18を配置することにより、仮接続体21を形成し、この仮接続体21を、接続装置30のステージ31に載置する(図1参照)。   Next, the temporary connection body 21 is formed by arranging the liquid crystal driving IC 18 so that the transparent electrode 17 of the transparent substrate 12 and the electrode terminal of the liquid crystal driving IC 18 face each other with the binder resin layer 3 therebetween. The temporary connection body 21 is placed on the stage 31 of the connection device 30 (see FIG. 1).

[接続装置]
接続装置30は、異方性導電フィルム1を介して液晶駆動用IC18が透明基板12の透明電極17上に接続された接続体の製造工程に用いるものであり、図1に示すように、仮接続体21が載置されるステージ31と、ステージ31を加熱する加熱機構32と、ステージ31上に載置された透明基板12に異方性導電フィルム1を介して搭載された液晶駆動用IC18を加熱押圧する熱圧着ヘッド33と、熱圧着ヘッド33を移動するヘッド移動機構34とを有する。
[Connecting device]
The connection device 30 is used in a manufacturing process of a connection body in which the liquid crystal driving IC 18 is connected to the transparent electrode 17 of the transparent substrate 12 through the anisotropic conductive film 1. As shown in FIG. A stage 31 on which the connection body 21 is placed, a heating mechanism 32 for heating the stage 31, and a liquid crystal driving IC 18 mounted on the transparent substrate 12 placed on the stage 31 via the anisotropic conductive film 1 And a head moving mechanism 34 that moves the thermocompression bonding head 33.

ステージ31は、表面に透明基板12の縁部12aが載置されるとともに、熱圧着ヘッド33と対峙されている。また、ステージ31は、ヒータ等の加熱機構32によって、バインダー樹脂層3が硬化しない程度の高温(例えば80〜100℃)に加熱される。これにより、ステージ31は、表面に載置される透明基板12と、熱圧着ヘッド33に加熱押圧される液晶駆動用IC18及び異方性導電フィルム1のバインダー樹脂層3との加熱温度差を縮小することができる。このため、ステージ31は、例えばセラミック等の熱伝導性の良好な材料により形成することが好ましい。   The stage 31 has the edge 12 a of the transparent substrate 12 placed on the surface thereof and is opposed to the thermocompression bonding head 33. Further, the stage 31 is heated to a high temperature (for example, 80 to 100 ° C.) such that the binder resin layer 3 is not cured by a heating mechanism 32 such as a heater. Thereby, the stage 31 reduces the heating temperature difference between the transparent substrate 12 placed on the surface and the liquid crystal driving IC 18 heated and pressed by the thermocompression bonding head 33 and the binder resin layer 3 of the anisotropic conductive film 1. can do. For this reason, it is preferable to form the stage 31 with a material having good thermal conductivity such as ceramic.

ステージ31を加熱する加熱機構32は、後述するように、液晶駆動用IC18の本圧着工程における熱圧着ヘッド33による加熱押圧処理に先立って、PID制御(Proportional Integral Derivative Controller)等の公知の制御方法でステージ31の加熱温度を制御することにより、所定の温度プロファイルで仮接続体21の予備加熱を行う。   The heating mechanism 32 for heating the stage 31 is, as will be described later, a known control method such as PID control (Proportional Integral Derivative Controller) prior to the heat pressing process by the thermocompression bonding head 33 in the main pressure bonding process of the liquid crystal driving IC 18. By controlling the heating temperature of the stage 31, the preliminary connection body 21 is preheated with a predetermined temperature profile.

熱圧着ヘッド33は、透明基板12に異方性導電フィルム1を介して搭載された液晶駆動用IC18を加熱押圧するものであり、ヒータによって異方性導電フィルム1のバインダー樹脂が硬化する所定の温度(例えば200〜250℃)に加熱される。また、熱圧着ヘッド33は、ヘッド移動機構34に保持されることにより、ステージ31に近接、離間自在とされている。   The thermocompression bonding head 33 heats and presses the liquid crystal driving IC 18 mounted on the transparent substrate 12 with the anisotropic conductive film 1 interposed therebetween, and a predetermined resin that cures the binder resin of the anisotropic conductive film 1 by the heater. Heated to a temperature (eg 200-250 ° C.). Further, the thermocompression bonding head 33 is held by the head moving mechanism 34 so as to be close to and away from the stage 31.

熱圧着ヘッド33は、液晶駆動用IC18の接続時には、ヘッド移動機構34によって液晶駆動用IC18を透明基板12に対して加熱押圧する。熱圧着ヘッド33に加熱押圧されることにより、異方性導電フィルム1のバインダー樹脂は流動性を示し、透明電極17の端子部17aと液晶駆動用IC18の端子部との間から流出するとともに、導電性粒子4が挟持され、この状態でバインダー樹脂が硬化する。また、熱圧着ヘッド33は、液晶駆動用IC18の接続工程が終了すると、ヘッド移動機構34によってステージ31の上方に離間され、新たにステージ31に仮接続体21が載置されるまで待機する。   The thermocompression bonding head 33 heats and presses the liquid crystal driving IC 18 against the transparent substrate 12 by the head moving mechanism 34 when the liquid crystal driving IC 18 is connected. By being heated and pressed by the thermocompression bonding head 33, the binder resin of the anisotropic conductive film 1 exhibits fluidity and flows out from between the terminal portion 17a of the transparent electrode 17 and the terminal portion of the liquid crystal driving IC 18; The conductive particles 4 are sandwiched, and the binder resin is cured in this state. When the connection process of the liquid crystal driving IC 18 is completed, the thermocompression bonding head 33 is separated above the stage 31 by the head moving mechanism 34 and waits until the temporary connection body 21 is newly placed on the stage 31.

[接続工程]
次いで、接続装置30を用いた接続工程について説明する。接続工程では、図1に示すように、先ずステージ31に仮接続体21が載置される。仮接続体21は、透明基板12がステージ31上に載置され、液晶駆動用IC18がステージ31の上方に待機する熱圧着ヘッド33と対峙される。
[Connection process]
Next, a connection process using the connection device 30 will be described. In the connection process, as shown in FIG. 1, first, the temporary connection body 21 is placed on the stage 31. The temporary connection body 21 is opposed to a thermocompression bonding head 33 on which the transparent substrate 12 is placed on the stage 31 and the liquid crystal driving IC 18 stands by above the stage 31.

[予備加熱]
ここで、本接続工程では、熱圧着ヘッド33による加熱押圧処理に先行してステージ31による予備加熱を所定の温度プロファイルで開始し、その後、熱圧着ヘッド33による加熱押圧処理を行う。具体的に、ステージ31の温度制御は加熱機構32によって行われ、温度プロファイルは、ステージ31上に仮接続体21が載置されてから熱圧着ヘッド33による加熱押圧が開始されるまでの全予備加熱時間の50%経過時におけるバインダー樹脂層3の昇温率が、予備加熱による全昇温温度の50%以下とされ、より好ましくは全予備加熱時間の50%経過時におけるバインダー樹脂層3の昇温率が予備加熱による全昇温温度の25%以下とされる。
[Preheating]
Here, in this connection process, preheating by the stage 31 is started with a predetermined temperature profile prior to the heat pressing process by the thermocompression bonding head 33, and then the heat pressing process by the thermocompression bonding head 33 is performed. Specifically, the temperature control of the stage 31 is performed by the heating mechanism 32, and the temperature profile is set for all preliminary operations from when the temporary connection body 21 is placed on the stage 31 until the heat pressing by the thermocompression bonding head 33 is started. The rate of temperature increase of the binder resin layer 3 when 50% of the heating time has elapsed is set to 50% or less of the total temperature increase due to preheating, and more preferably, the temperature of the binder resin layer 3 when 50% of the total preheating time has elapsed. The temperature increase rate is set to 25% or less of the total temperature increase due to the preheating.

図3に、予備加熱によるバインダー樹脂層3の温度プロファイルを示す。図3中、温度勾配1は、全予備加熱時間の50%経過時におけるバインダー樹脂層3の昇温率が予備加熱による全昇温温度の25%とした場合の温度プロファイルである。図3中、温度勾配2は、全予備加熱時間の50%経過時におけるバインダー樹脂層3の昇温率が予備加熱による全昇温温度の50%とした場合の温度プロファイルである。なお、温度勾配3は、全予備加熱時間の50%経過時におけるバインダー樹脂層3の昇温率が予備加熱による全昇温温度の75%とした場合の温度プロファイルである。   In FIG. 3, the temperature profile of the binder resin layer 3 by preheating is shown. In FIG. 3, temperature gradient 1 is a temperature profile when the rate of temperature increase of the binder resin layer 3 when 50% of the total preheating time has elapsed is 25% of the total temperature increase due to preheating. In FIG. 3, the temperature gradient 2 is a temperature profile when the rate of temperature increase of the binder resin layer 3 when 50% of the total preheating time has elapsed is 50% of the total temperature increase due to preheating. The temperature gradient 3 is a temperature profile when the rate of temperature increase of the binder resin layer 3 at the time of 50% of the total preheating time is 75% of the total temperature increase due to preheating.

図3に示すように、加熱機構32は、ステージ31に仮接続体21が載置されると、漸次ステージ温度を上昇させていき、所定の予備加熱時間の経過時に、バインダー樹脂層3を所定の温度に到達するように加熱する。このとき、温度勾配1の温度プロファイルによれば、全予備加熱時間の50%経過時において、バインダー樹脂層3を全昇温温度の25%まで昇温させ、その後の50%の予備加熱時間で全昇温温度の75%を昇温させる。また、温度勾配2の温度プロファイルによれば、全予備加熱時間の50%経過時において、バインダー樹脂層3を全昇温温度の50%まで昇温させ、その後の50%の予備加熱時間で全昇温温度の50%を昇温させる。   As shown in FIG. 3, when the temporary connection body 21 is placed on the stage 31, the heating mechanism 32 gradually increases the stage temperature, and when the predetermined preheating time has elapsed, the binder resin layer 3 is predetermined. Heat to reach a temperature of. At this time, according to the temperature profile of the temperature gradient 1, when 50% of the total preheating time has elapsed, the binder resin layer 3 is heated to 25% of the total temperature increase temperature, and the subsequent preheating time is 50%. Increase the temperature by 75% of the total temperature increase. Further, according to the temperature profile of the temperature gradient 2, when 50% of the total preheating time has elapsed, the binder resin layer 3 is heated to 50% of the total temperature increase temperature, and then the entire preheating time is 50%. Raise the temperature by 50% of the temperature rise.

温度勾配1及び温度勾配2に係る温度プロファイルとなるようにステージ31の温度を制御することにより、仮接続体21の熱圧着ヘッド33による加熱押圧処理の前に行う予備加熱において、透明基板12の温度を高め、本圧着工程において熱圧着ヘッド33によって加熱押圧される液晶駆動用IC18との温度差を縮小し、反りの発生を抑えるとともに、本圧着前にバインダー樹脂層3が硬化することを防止することができる。したがって、本圧着工程において、熱圧着ヘッド33による加熱押圧により、バインダー樹脂を液晶駆動用IC18の端子と透明電極17の端子部17aとの間から流出させるとともに、両端子間で導電性粒子4を押しつぶした状態で硬化させることができる。   By controlling the temperature of the stage 31 so that the temperature profiles according to the temperature gradient 1 and the temperature gradient 2 are obtained, in the preheating performed before the heat pressing process by the thermocompression bonding head 33 of the temporary connection body 21, The temperature is increased and the temperature difference with the liquid crystal driving IC 18 heated and pressed by the thermocompression bonding head 33 in the main compression bonding step is reduced to suppress the occurrence of warpage and to prevent the binder resin layer 3 from being cured before the main compression bonding. can do. Therefore, in the main press-bonding step, the binder resin is caused to flow out from between the terminal of the liquid crystal driving IC 18 and the terminal portion 17a of the transparent electrode 17 by heating and pressing with the thermo-compression head 33, and the conductive particles 4 are placed between both terminals. It can be cured in a crushed state.

一方、温度勾配3に示すように、予備加熱におけるバインダー樹脂層3の温度プロファイルとして、全予備加熱時間の50%経過時におけるバインダー樹脂層3の昇温率が、予備加熱による全昇温温度の50%よりも高いと、本圧着前にバインダー樹脂層3の硬化反応が進み、本圧着工程において熱圧着ヘッド33による加熱押圧によっても、バインダー樹脂を液晶駆動用IC18の端子と透明電極17の端子部17aとの間から流出させることができず、両端子間で導電性粒子4を押し込むことができず、導通抵抗が上昇する。   On the other hand, as shown in the temperature gradient 3, as the temperature profile of the binder resin layer 3 in the preheating, the temperature increase rate of the binder resin layer 3 when 50% of the total preheating time has elapsed is the total temperature increase temperature by the preheating. If it is higher than 50%, the curing reaction of the binder resin layer 3 proceeds before the main press bonding, and the binder resin is also removed from the terminals of the liquid crystal driving IC 18 and the transparent electrode 17 by the heat pressing by the thermocompression bonding head 33 in the main press bonding step. It cannot flow out from between the portions 17a, and the conductive particles 4 cannot be pushed between both terminals, and the conduction resistance increases.

[本圧着]
予備加熱の後、液晶駆動用IC18の上面を所定の加熱温度に昇温された熱圧着ヘッド33により、所定の温度、圧力及び時間で熱加圧することにより、本圧着を行う。熱圧着ヘッド33による熱加圧条件は、バインダー樹脂層3を硬化させる所定の温度(例えば230℃)、圧力(例えば60MPa)、時間(例えば5秒間)に設定される。
[Main crimping]
After preliminary heating, the upper surface of the liquid crystal driving IC 18 is subjected to main pressure bonding by heat-pressing at a predetermined temperature, pressure and time with a thermocompression bonding head 33 which has been heated to a predetermined heating temperature. The heat and pressure conditions by the thermocompression bonding head 33 are set to a predetermined temperature (for example, 230 ° C.), pressure (for example, 60 MPa), and time (for example, 5 seconds) for curing the binder resin layer 3.

その結果、透明電極17の端子部17aと液晶駆動用IC18との電極端子とは、導電性粒子4を介して電気的に接続され、この状態で熱圧着ヘッド33によって加熱されたバインダー樹脂が硬化する。両端子間にない導電性粒子4は、バインダー樹脂に分散されており、電気的に絶縁した状態を維持している。これにより、透明基板12の透明電極17と液晶駆動用IC18の電極端子との間のみで電気的導通が図られる。   As a result, the terminal portion 17a of the transparent electrode 17 and the electrode terminal of the liquid crystal driving IC 18 are electrically connected via the conductive particles 4, and the binder resin heated by the thermocompression bonding head 33 in this state is cured. To do. The conductive particles 4 that are not between the terminals are dispersed in the binder resin and maintain an electrically insulated state. Thereby, electrical conduction is achieved only between the transparent electrode 17 of the transparent substrate 12 and the electrode terminal of the liquid crystal driving IC 18.

このとき、本発明に係る製造工程では、上述したようにステージ31の温度を制御することにより、予備加熱においてバインダー樹脂層3の硬化を抑えつつ所定の温度プロファイルで加熱しているため、バインダー樹脂を液晶駆動用IC18の電極端子と透明電極17の端子部17aとの間から流出させるとともに、両端子間で導電性粒子4を押しつぶした状態で硬化させることができる。また、予備加熱により透明基板12と液晶駆動用IC18との温度差が縮小されているため、接続後においても透明基板12の反りが抑制され、表示ムラ等の不具合を防止することができる。   At this time, in the manufacturing process according to the present invention, the temperature of the stage 31 is controlled as described above to heat the binder resin layer 3 in the preheating while suppressing the curing of the binder resin layer 3. Can flow out from between the electrode terminal of the liquid crystal driving IC 18 and the terminal portion 17a of the transparent electrode 17, and the conductive particles 4 can be cured while being crushed between the two terminals. Further, since the temperature difference between the transparent substrate 12 and the liquid crystal driving IC 18 is reduced by the preheating, the warp of the transparent substrate 12 is suppressed even after connection, and problems such as display unevenness can be prevented.

これにより、異方性導電フィルム1を介して透明基板12と液晶駆動用IC18とが接続された接続体を製造することができる。   Thereby, a connection body in which the transparent substrate 12 and the liquid crystal driving IC 18 are connected via the anisotropic conductive film 1 can be manufactured.

以上、液晶駆動用ICを直接液晶表示パネルのガラス基板上に実装するCOG実装を例に説明したが、本技術は、ICチップ等の電子部品をガラスエポキシ基板等のリジッド基板に接続するCOB実装等の各種接続にも適用することができる。   As described above, the COG mounting in which the liquid crystal driving IC is directly mounted on the glass substrate of the liquid crystal display panel has been described as an example. However, the present technology is a COB mounting in which electronic components such as an IC chip are connected to a rigid substrate such as a glass epoxy substrate. It can also be applied to various connections such as.

[その他]
上記では、導電性の接着剤としてフィルム形状を有する異方性導電フィルム1について説明したが、ペースト状であっても問題は無い。また、本発明は、導電性粒子4を含有しないバインダー樹脂層からなる絶縁性接着フィルム、及び導電性粒子4を含有しないペースト状のバインダー樹脂を用いた絶縁性接着ペーストによる接続工程に用いてもよい。本発明に係る接着剤は、導電性粒子4の有無や、フィルムやペースト等の形態は問わない。
[Others]
In the above, the anisotropic conductive film 1 having a film shape as the conductive adhesive has been described. Moreover, even if this invention is used for the connection process by the insulating adhesive film which consists of the binder resin layer which does not contain the electroconductive particle 4, and the paste-form binder resin which does not contain the electroconductive particle 4, it uses. Good. The adhesive according to the present invention is not limited to the presence or absence of the conductive particles 4 or the form of a film or paste.

次いで、本発明の実施例について説明する。本実施例では、接続体サンプルとして、異方性導電フィルムの硬化条件を異ならせて評価用のガラス基板上に評価用ICを接続して製造した各接続体サンプルについて、導通抵抗値(Ω)及び反り量を測定、評価した。   Next, examples of the present invention will be described. In this example, as a connection body sample, each connection body sample manufactured by connecting an evaluation IC on a glass substrate for evaluation with different anisotropic conductive film curing conditions was used. The amount of warpage was measured and evaluated.

[異方性導電フィルムの作製]
評価用ICの接続に用いる接着剤として、以下の導電性粒子含有層と絶縁性接着剤層とが積層された2層構造の異方性導電フィルムを作製した。
[Preparation of anisotropic conductive film]
As an adhesive used for connection of the evaluation IC, an anisotropic conductive film having a two-layer structure in which the following conductive particle-containing layer and an insulating adhesive layer were laminated was prepared.

(導電性粒子含有層)
ビスA型フェノキシ樹脂(商品名YP50、新日鐵化学社製)30質量部、ビスフェノールA型液状エポキシ樹脂(商品名EP828、三菱化学社製)30質量部、イミダゾール系潜在性硬化剤(商品名PHX3941HP、旭化成株式会社製)40質量部、エポキシ系シランカップリング剤(商品名A−187、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ株式会社製)1質量部、粒子径3.25μmの導電性粒子(商品名ミクロパールAU、積水化学工業社製)35質量部にトルエンを加え固形分50%の組成物を調整した。調整した組成物を剥離フィルム上に塗布し、オーブンで加熱することにより乾燥させ、厚み8μmの導電性粒子含有層を作製した。
(Conductive particle-containing layer)
30 parts by mass of bis A type phenoxy resin (trade name YP50, manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.), 30 parts by mass of bisphenol A type liquid epoxy resin (trade name EP 828, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), imidazole-based latent curing agent (trade name) PHX3941HP, manufactured by Asahi Kasei Co., Ltd.) 40 parts by mass, epoxy silane coupling agent (trade name A-187, manufactured by Momentive Performance Materials Co., Ltd.) 1 part by mass, conductive particles having a particle diameter of 3.25 μm (trade name) Toluene was added to 35 parts by mass of Micropearl AU (manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd.) to prepare a composition having a solid content of 50%. The adjusted composition was applied onto a release film and dried by heating in an oven to produce a conductive particle-containing layer having a thickness of 8 μm.

(絶縁性接着剤層)
ビスA型フェノキシ樹脂(商品名YP50、新日鐵化学社製)25質量部、ビスフェノールA型液状エポキシ樹脂(商品名EP828、三菱化学社製)35質量部、イミダゾール系潜在性硬化剤(商品名PHX3941HP、旭化成株式会社製)40質量部、エポキシ系シランカップリング剤(商品名A−187、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ株式会社製)1質量部にトルエンを加え固形分50%の組成物を調整した。調整した組成物を剥離フィルム上に塗布し、オーブンで加熱することにより乾燥させ、厚み12μmの絶縁性接着剤層を調整した。
(Insulating adhesive layer)
25 parts by mass of bis A type phenoxy resin (trade name YP50, manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.), 35 parts by mass of bisphenol A type liquid epoxy resin (trade name EP 828, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), imidazole-based latent curing agent (trade name) PHX3941HP (manufactured by Asahi Kasei Co., Ltd.) 40 parts by mass, epoxy-based silane coupling agent (trade name A-187, manufactured by Momentive Performance Materials Co., Ltd.) 1 part by mass of toluene to prepare a composition having a solid content of 50% did. The adjusted composition was applied onto a release film and dried by heating in an oven to prepare an insulating adhesive layer having a thickness of 12 μm.

このように調整した導電性粒子含有層と絶縁性接着剤層とをラミネートすることにより、2層構造の異方性導電フィルムを作製した。   By laminating the conductive particle-containing layer thus adjusted and the insulating adhesive layer, a two-layer anisotropic conductive film was produced.

[評価用IC]
評価素子として、外形;2.0mm×20mm、厚み0.5mm、バンプ間スペース;20μm、バンプ高さ;15μm(Au‐plated)の評価用ICを用いた。
[IC for evaluation]
As an evaluation element, an evaluation IC having an outer shape: 2.0 mm × 20 mm, a thickness of 0.5 mm, a space between bumps: 20 μm, a bump height: 15 μm (Au-plated) was used.

[評価用ガラス基板]
評価用ICが接続される評価用ガラス基板として、外形;30mm×50mm、厚み0.5mm、バンプ間スペース;20μmのITOパターングラスを用いた。
[Evaluation Glass Substrate]
As an evaluation glass substrate to which the evaluation IC is connected, an ITO pattern glass having an outer shape: 30 mm × 50 mm, a thickness of 0.5 mm, and a space between bumps: 20 μm was used.

[仮接続体の製造]
先ず、評価用のガラス基板を仮圧着装置の基板支持台上に載置した。基板支持台に載置されたガラス基板の接続面上に、導電性粒子含有層を接続面と対峙させるようにして異方性導電フィルムを配置した。そして、加圧ボンダーのヘッド部を80℃に加熱し、この加熱したヘッド部の加圧面を剥離フィルムの上から絶縁性接着剤層の上面に押し当てて1MPaで2秒間加圧した。この熱加圧により、ガラス基板上に異方性導電フィルムを仮圧着した。その後、剥離フィルムを剥がし、評価用ICのバンプが形成された接続面を、バンプと配線電極とのアライメントを取りながら異方性導電フィルム上に配置することにより、仮接続体を製造した。
[Manufacture of temporary connections]
First, a glass substrate for evaluation was placed on a substrate support base of a temporary pressure bonding apparatus. An anisotropic conductive film was arranged on the connection surface of the glass substrate placed on the substrate support so that the conductive particle-containing layer was opposed to the connection surface. Then, the head part of the pressure bonder was heated to 80 ° C., and the pressure surface of the heated head part was pressed onto the upper surface of the insulating adhesive layer from above the release film and pressurized at 1 MPa for 2 seconds. An anisotropic conductive film was temporarily pressure-bonded on the glass substrate by this heat and pressure. Thereafter, the release film was peeled off, and the connection surface on which the bump of the evaluation IC was formed was placed on the anisotropic conductive film while aligning the bump and the wiring electrode, thereby manufacturing a temporary connection body.

次いで、以下に示す実施例及び比較例に係る方法で評価用ICをガラス基板に接続し、接続体を製造した。   Subsequently, the IC for evaluation was connected to the glass substrate by the method according to Examples and Comparative Examples shown below to produce a connection body.

[実施例1]
実施例1では、本圧着工程の前に、接続装置の加熱ステージに上に仮接続体のガラス基板を固定し、10秒間の予備加熱を行った。加熱ステージは当初30℃に設定され、異方性導電フィルムの温度が仮接続体の搭載後5秒後に45℃、10秒後に90℃となる温度プロファイルとなるように、加熱機構によってステージ温度を調整した。異方性導電フィルムの温度は、評価用ICとガラス基板の間に熱電対を配置することにより測定した。
[Example 1]
In Example 1, the glass substrate of the temporary connection body was fixed on the heating stage of the connection device before the main pressure bonding step, and preheating was performed for 10 seconds. The heating stage is initially set to 30 ° C., and the stage temperature is adjusted by the heating mechanism so that the anisotropic conductive film has a temperature profile of 45 ° C. 5 seconds after the temporary connection body is mounted and 90 ° C. after 10 seconds. It was adjusted. The temperature of the anisotropic conductive film was measured by placing a thermocouple between the evaluation IC and the glass substrate.

実施例1に係る予備加熱の温度プロファイルは、図3の温度勾配1に示す通りとなる。実施例1では、異方性導電フィルムの温度を、予備加熱によって10秒間で30℃→90℃へ60℃昇温させた。そして、10秒間の全予備加熱時間の50%経過時(5秒後)に、ステージ加熱による昇温温度(60℃)の25%(15℃)昇温させ45℃とした。   The temperature profile of the preheating according to Example 1 is as shown by the temperature gradient 1 in FIG. In Example 1, the temperature of the anisotropic conductive film was increased by 60 ° C. from 30 ° C. to 90 ° C. in 10 seconds by preheating. Then, when 50% of the total preheating time for 10 seconds had elapsed (after 5 seconds), the temperature was raised by 25% (15 ° C.) to the temperature raised by the stage heating (60 ° C.) to 45 ° C.

予備加熱後、評価用IC上面を熱加圧ヘッドにより60MPaの圧力で5秒間加圧しながら異方性導電フィルム中の熱硬化性樹脂の硬化温度(200℃)になるよう加熱し、異方性導電フィルムを硬化させて評価用ICを本圧着させた。これにより評価用ICとガラス基板とが接続された接続体を製造した。   After preheating, the upper surface of the IC for evaluation is heated to the curing temperature (200 ° C.) of the thermosetting resin in the anisotropic conductive film while pressing the upper surface of the evaluation IC with a pressure of 60 MPa for 5 seconds. The conductive film was cured, and the evaluation IC was finally bonded. Thus, a connection body in which the evaluation IC and the glass substrate were connected was manufactured.

[実施例2]
実施例2では、5秒間の予備加熱を行った。加熱ステージは当初30℃に設定され、異方性導電フィルムの温度が仮接続体の搭載後2.5秒後に45℃、5秒後に90℃となる温度プロファイルとなるように、加熱機構によってステージ温度を調整した。
[Example 2]
In Example 2, preheating was performed for 5 seconds. The heating stage is initially set to 30 ° C., and the stage is set by the heating mechanism so that the anisotropic conductive film has a temperature profile of 45 ° C. 2.5 seconds after mounting the temporary connection body and 90 ° C. after 5 seconds. The temperature was adjusted.

実施例2に係る予備加熱の温度プロファイルは、図3の温度勾配1に示す通りとなる。実施例2では、異方性導電フィルムの温度を、予備加熱によって5秒間で30℃→90℃へ60℃昇温させた。そして、5秒間の全予備加熱時間の50%経過時(2.5秒後)に、ステージ加熱による昇温温度(60℃)の25%(15℃)昇温させ45℃とした。予備加熱後、実施例1と同条件で本圧着工程を行い、接続体を製造した。   The temperature profile of the preheating according to Example 2 is as shown by the temperature gradient 1 in FIG. In Example 2, the temperature of the anisotropic conductive film was raised by 60 ° C. from 30 ° C. to 90 ° C. in 5 seconds by preheating. Then, when 50% of the total preheating time for 5 seconds had elapsed (after 2.5 seconds), the temperature was raised by 25% (15 ° C.) to the temperature raised by the stage heating (60 ° C.) to 45 ° C. After preheating, the main press bonding step was performed under the same conditions as in Example 1 to manufacture a connection body.

[実施例3]
実施例3では、10秒間の予備加熱を行った。加熱ステージは当初30℃に設定され、異方性導電フィルムの温度が仮接続体の搭載後5秒後に60℃、10秒後に90℃となる温度プロファイルとなるように、加熱機構によってステージ温度を調整した。
[Example 3]
In Example 3, preheating was performed for 10 seconds. The heating stage is initially set to 30 ° C., and the stage temperature is set by the heating mechanism so that the anisotropic conductive film has a temperature profile of 60 ° C. 5 seconds after mounting the temporary connection body and 90 ° C. after 10 seconds. It was adjusted.

実施例3に係る予備加熱の温度プロファイルは、図3の温度勾配2に示す通りとなる。実施例3では、異方性導電フィルムの温度を、予備加熱によって10秒間で30℃→90℃へ60℃昇温させた。そして、10秒間の全予備加熱時間の50%経過時(5秒後)に、ステージ加熱による昇温温度(60℃)の50%(30℃)昇温させ60℃とした。予備加熱後、実施例1と同条件で本圧着工程を行い、接続体を製造した。   The temperature profile of preheating according to Example 3 is as shown by the temperature gradient 2 in FIG. In Example 3, the temperature of the anisotropic conductive film was increased by 60 ° C. from 30 ° C. to 90 ° C. in 10 seconds by preheating. Then, when 50% of the total preheating time for 10 seconds had elapsed (after 5 seconds), the temperature was raised by 50% (30 ° C.) to the temperature raised by the stage heating (60 ° C.) to 60 ° C. After preheating, the main press bonding step was performed under the same conditions as in Example 1 to manufacture a connection body.

[比較例1]
比較例1では、予備加熱を行わずに、仮接続体に対して直ちに本圧着工程を行った。本圧着条件は実施例1と同じである。
[Comparative Example 1]
In Comparative Example 1, the main crimping process was immediately performed on the temporary connection body without performing preheating. The main pressure bonding conditions are the same as those in Example 1.

[比較例2]
比較例2では、10秒間の予備加熱を行った。加熱ステージは当初30℃に設定され、異方性導電フィルムの温度が仮接続体の搭載後5秒後に75℃、10秒後に90℃となる温度プロファイルとなるように、加熱機構によってステージ温度を調整した。
[Comparative Example 2]
In Comparative Example 2, preheating was performed for 10 seconds. The heating stage is initially set to 30 ° C., and the stage temperature is adjusted by the heating mechanism so that the anisotropic conductive film has a temperature profile of 75 ° C. 5 seconds after mounting the temporary connection body and 90 ° C. after 10 seconds. It was adjusted.

比較例2に係る予備加熱の温度プロファイルは、図3の温度勾配3に示す通りとなる。比較例2では、異方性導電フィルムの温度を、予備加熱によって10秒間で30℃→90℃へ60℃昇温させた。そして、10秒間の全予備加熱時間の50%経過時(5秒後)に、ステージ加熱による昇温温度(60℃)の75%(45℃)昇温させ75℃とした。予備加熱後、実施例1と同条件で本圧着工程を行い、接続体を製造した。   The temperature profile of the preheating according to the comparative example 2 is as shown by the temperature gradient 3 in FIG. In Comparative Example 2, the temperature of the anisotropic conductive film was increased by 60 ° C. from 30 ° C. to 90 ° C. in 10 seconds by preheating. Then, when 50% of the total preheating time for 10 seconds had elapsed (after 5 seconds), the temperature was raised by 75% (45 ° C.) to the temperature raised by the stage heating (60 ° C.) to 75 ° C. After preheating, the main press bonding step was performed under the same conditions as in Example 1 to manufacture a connection body.

[接続体の評価方法]
実施例及び比較例に係る仮接続体及び接続体の本圧着前反応率、反り量、接続抵抗値の測定、評価方法は以下のとおりである。
[Connected body evaluation method]
Measurement and evaluation methods of the pre-bonding reaction rate, warpage amount, and connection resistance value of the temporary connection bodies and connection bodies according to Examples and Comparative Examples are as follows.

[本圧着前反応率の測定]
試料Aとして未硬化の異方性導電フィルム、試料Bとして本圧着工程前に加熱ステージ上から取出した異方性導電フィルムをそれぞれ採取し、各試料10mgを測定セルにそれぞれ精秤する。そして、これらをそれぞれ示差走差熱量計DSC200(機種名、セイコー電子工業社製)により、30℃から230℃まで昇温速度10℃/分で昇温させた場合の発熱ピーク面積から各試料の発熱量を求める。なお、各試料の発熱量を便宜上、A・Bとする。次に、これらA・Bを用いて、加熱加圧直後のDSC反応率R(%)を下記式1により求めた。
R(%)=(1−B/A)×100 ・・・(式1)
[Measurement of reaction rate before final bonding]
An uncured anisotropic conductive film as sample A and an anisotropic conductive film taken out from the heating stage before the main pressure bonding step as sample B are sampled, and 10 mg of each sample is precisely weighed in a measurement cell. And each of these samples from the exothermic peak area when the temperature was raised from 30 ° C. to 230 ° C. at a heating rate of 10 ° C./min with a differential differential calorimeter DSC200 (model name, manufactured by Seiko Denshi Kogyo Co., Ltd.). Find the calorific value. In addition, the calorific value of each sample is set to A and B for convenience. Next, using these A and B, the DSC reaction rate R (%) immediately after heating and pressing was determined by the following formula 1.
R (%) = (1-B / A) × 100 (Formula 1)

[反り量の測定]
触針式表面粗度計(商品名:SE−3H、小阪研究所社製)を用いて、ガラス基板の下側からスキャンし、評価用ICの本圧着後の評価用ガラス基板面の反り量(μm)を測定した。反り量が比較例1と同等もしくは、より増加したものを×、3μm未満減少したものを○、3μm以上減少したものを◎として評価した。
[Measurement of warpage]
Using a stylus type surface roughness meter (trade name: SE-3H, manufactured by Kosaka Laboratory Co., Ltd.), the amount of warpage of the glass substrate surface for evaluation after scanning from the lower side of the glass substrate and the final bonding of the evaluation IC is performed. (Μm) was measured. A case where the amount of warpage was the same as or higher than that of Comparative Example 1 was evaluated.

尚、反り量が比較例1のレベルであると、液晶表示パネルの透明基板が変形することによる輝度ムラが生じる。一方、○、や◎のレベルであれば、輝度ムラは殆ど生じない。   If the amount of warping is at the level of Comparative Example 1, uneven brightness occurs due to deformation of the transparent substrate of the liquid crystal display panel. On the other hand, if the level is ◯ or ◎, luminance unevenness hardly occurs.

[接続抵抗値の測定]
デジタルマルチメーター(商品名:デジタルマルチメーター7561、横河電機(株)社製)を用いて、環境試験(85℃/85%/500hr)後の接続抵抗(Ω)の測定を行った。バンプと配線電極との接続部を含む抵抗値が10Ω未満であるものを○、10Ω以上30Ω未満であるものを△、30Ω以上であるものを×として評価した。
[Measurement of connection resistance]
The connection resistance (Ω) after the environmental test (85 ° C./85%/500 hr) was measured using a digital multimeter (trade name: Digital Multimeter 7561, manufactured by Yokogawa Electric Corporation). When the resistance value including the connection portion between the bump and the wiring electrode is less than 10Ω, the resistance value is evaluated as “◯”, when the resistance value is 10Ω or more and less than 30Ω, and when it is 30Ω or more as “X”.

表1に示すように、各実施例に係る接続体は、反り量、接続抵抗値とも良好であった。これは、各実施例では、熱圧着ヘッドによる本圧着工程に先立って、ステージ加熱によって仮接続体の評価用ガラス基板を加熱する予備加熱を行い、その温度プロファイルが、全予備加熱時間の50%経過時における接着剤の昇温率が、予備加熱による全昇温温度の50%以下としたことによる。   As shown in Table 1, the connection bodies according to the respective examples had good warpage and connection resistance values. In each example, prior to the main press-bonding step by the thermocompression-bonding head, preheating is performed to heat the glass substrate for evaluation of the temporary connection body by stage heating, and the temperature profile is 50% of the total preheating time. This is because the temperature rising rate of the adhesive during the lapse of time is 50% or less of the total temperature rising temperature by the preheating.

これにより、各実施例に係る接続体は、予備加熱において評価用ガラス基板の温度を高め、本圧着工程において熱圧着ヘッドによって加熱押圧される評価用ICとの温度差を縮小させることができ、予備加熱を行わない比較例1に係る接続体に比して、反りの発生を抑えることができた。また、各実施例に係る接続体は、温度勾配1又は2のような温度プロファイルで予備加熱を行ったことで、本圧着前におけるバインダー樹脂の硬化反応率が22%以下と低く抑えられた。したがって、各実施例では、本圧着前にバインダー樹脂層が硬化することを防止し、本圧着工程において、熱圧着ヘッドによる加熱押圧により、バインダー樹脂を評価用ICの電極端子と評価用ガラス基板の透明電極との間から流出させるとともに、導電性粒子を押しつぶした状態で硬化させることができ、環境試験後においても接続抵抗値を低く保つことができた。   Thereby, the connection body according to each example can increase the temperature of the glass substrate for evaluation in the preheating, and can reduce the temperature difference from the evaluation IC heated and pressed by the thermocompression bonding head in the main pressure bonding step. The occurrence of warpage could be suppressed as compared with the connection body according to Comparative Example 1 in which no preheating was performed. Moreover, the connection body which concerns on each Example performed the preheating with the temperature profile like the temperature gradient 1 or 2, and the hardening reaction rate of the binder resin before this crimping | compression-bonding was suppressed to 22% or less low. Accordingly, in each example, the binder resin layer is prevented from being cured before the main pressure bonding, and in the main pressure bonding step, the binder resin is heated between the electrode terminal of the evaluation IC and the glass substrate for evaluation by heat pressing with a thermocompression bonding head. While flowing out from between the transparent electrodes, the conductive particles could be hardened in a crushed state, and the connection resistance value could be kept low even after the environmental test.

一方、比較例1では、予備加熱を行わずに本圧着を行ったことから、接続抵抗値は良好であったものの、異方性導電フィルムが接続された後、常温まで温度が低下する際に、熱圧着ヘッドに加熱された評価用ICとステージ上に載置された評価用ガラス基板との温度差及びバインダーと評価用ガラス基板の熱膨張率の差に起因して、評価用ガラス基板に反りが生じた。   On the other hand, in Comparative Example 1, since the main pressure bonding was performed without performing preheating, the connection resistance value was good, but when the temperature dropped to room temperature after the anisotropic conductive film was connected, Due to the temperature difference between the evaluation IC heated by the thermocompression bonding head and the evaluation glass substrate placed on the stage and the difference in thermal expansion coefficient between the binder and the evaluation glass substrate, the evaluation glass substrate Warping occurred.

また、比較例2では、予備加熱の温度プロファイルが、全予備加熱時間の50%経過時における接着剤の昇温温度が、ステージ加熱による全昇温温度の75%と高くしたことから、評価用ガラス基板の反り量は改善されたものの、本圧着前におけるバインダー樹脂の硬化反応率が32%と高く、本圧着工程において熱圧着ヘッドによる加熱押圧によっても、バインダー樹脂を評価用ICの電極端子と評価用ガラス基板の透明電極との間から流出させることができず、両端子間で導電性粒子を押し込むことができず、接続抵抗値が上昇した。   In Comparative Example 2, the temperature profile of the preheating was such that the temperature rising temperature of the adhesive when 50% of the total preheating time had elapsed was as high as 75% of the total temperature rising temperature due to stage heating. Although the amount of warpage of the glass substrate has been improved, the curing reaction rate of the binder resin before the main press bonding is as high as 32%, and the binder resin can be used as the electrode terminal of the IC for evaluation by heat pressing with a thermocompression bonding head in the main press bonding process. It was not possible to flow out from between the transparent electrodes of the glass substrate for evaluation, and the conductive particles could not be pushed in between both terminals, resulting in an increase in connection resistance.

1 異方性導電フィルム、2 剥離フィルム、3 バインダー樹脂層、4 導電性粒子、10 液晶表示パネル、11,12 透明基板、13 シール、14 液晶、15 パネル表示部、16,17 透明電極、17a 端子部、18 液晶駆動用IC、20 COG実装部、21 仮接続体、30 接続装置、31 ステージ、32 加熱機構、33 熱圧着ヘッド DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Anisotropic conductive film, 2 Release film, 3 Binder resin layer, 4 Conductive particle, 10 Liquid crystal display panel, 11, 12 Transparent substrate, 13 Seal, 14 Liquid crystal, 15 Panel display part, 16, 17 Transparent electrode, 17a Terminal part, 18 Liquid crystal driving IC, 20 COG mounting part, 21 Temporary connection body, 30 Connection device, 31 Stage, 32 Heating mechanism, 33 Thermocompression bonding head

Claims (7)

基板上に未硬化の接着剤を介して電子部品が搭載された仮接続体を、温度制御機構を有するステージ上に載置し、
上記ステージによって上記基板側を加熱するととともに、熱圧着ヘッドによって上記電子部品を上記基板上に加熱押圧し、上記接着剤を介して上記電子部品が上記基板上に接続された接続体の製造方法において、
上記熱圧着ヘッドによる加熱押圧工程よりも先に、上記ステージによって上記基板の予備加熱を行う接続体の製造方法。
A temporary connection body in which electronic components are mounted on a substrate via an uncured adhesive is placed on a stage having a temperature control mechanism,
In the method of manufacturing a connection body in which the substrate side is heated by the stage, the electronic component is heated and pressed onto the substrate by a thermocompression bonding head, and the electronic component is connected to the substrate through the adhesive. ,
A method for manufacturing a connector, wherein the substrate is preheated by the stage prior to the heating and pressing step by the thermocompression bonding head.
上記ステージ上に上記仮接続体が載置されてから上記熱圧着ヘッドによる加熱押圧までの予備加熱時間の50%経過時における上記接着剤の昇温率が、上記予備加熱による全昇温温度の50%以下である請求項1記載の接続体の製造方法。   The temperature increase rate of the adhesive at the time of 50% of the preheating time from the temporary connection body being placed on the stage to the heat pressing by the thermocompression bonding head is equal to the total temperature increase temperature due to the preheating. The manufacturing method of the connection body according to claim 1 which is 50% or less. 上記ステージ上に上記仮接続体が載置されてから上記熱圧着ヘッドによる加熱押圧までの予備加熱時間の50%経過時における上記接着剤の昇温率が、上記予備加熱による全昇温温度の25%以下である請求項1記載の接続体の製造方法。   The temperature increase rate of the adhesive at the time of 50% of the preheating time from the temporary connection body being placed on the stage to the heat pressing by the thermocompression bonding head is equal to the total temperature increase temperature due to the preheating. The manufacturing method of the connection body according to claim 1 which is 25% or less. 上記ステージ上に上記仮接続体が載置されてから上記熱圧着ヘッドによる加熱押圧までの間における上記接着剤の温度プロファイルは、漸次上昇するプロファイルを描く請求項1〜3のいずれか1項に記載の接続体の製造方法。   The temperature profile of the adhesive between the time when the temporary connection body is placed on the stage and the time when the thermocompression bonding head is heated presses down a gradually rising profile. The manufacturing method of the connection body of description. 上記基板は、ガラス基板であり、上記電子部品はICチップである請求項1〜4のいずれか1項に記載の接続体の製造方法。   The method for manufacturing a connection body according to claim 1, wherein the substrate is a glass substrate, and the electronic component is an IC chip. 基板上に未硬化の接着剤を介して電子部品が搭載された仮接続体を、温度制御機構を有するステージ上に載置し、
上記ステージによって上記基板側を加熱するととともに、熱圧着ヘッドによって上記電子部品を上記基板上に加熱押圧し、上記接着剤を介して上記電子部品を上記基板上に接続する接続方法において、
上記熱圧着ヘッドによる加熱押圧工程よりも先に、上記ステージによって上記基板の予備加熱を行う接続方法。
A temporary connection body in which electronic components are mounted on a substrate via an uncured adhesive is placed on a stage having a temperature control mechanism,
In the connection method of heating the substrate side by the stage, heating and pressing the electronic component on the substrate by a thermocompression bonding head, and connecting the electronic component to the substrate through the adhesive,
A connection method in which the substrate is preheated by the stage prior to the heating and pressing step by the thermocompression bonding head.
請求項1〜5のいずれか1に記載の方法により製造された接続体。   The connection body manufactured by the method of any one of Claims 1-5.
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