JP2015115083A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】抵抗変化型メモリセルの読み出しマージンを拡大する。
【解決手段】以下の半導体装置が提供される。該半導体装置は、互いに異なる向きの第1及び第2電流を印加することによってそれぞれ第1及び第2抵抗状態に書き込まれ、第1、第2抵抗状態でそれぞれ第1、第2情報を記憶する第1抵抗変化型メモリセルと、互いに異なる向きの第3及び第4電流を印加することによってそれぞれ第3及び第4抵抗状態に書き込まれ、第3、第4抵抗状態でそれぞれ第1、第2情報を記憶する第2抵抗変化型メモリセルと、第1調整抵抗に基づいて第1抵抗変化型メモリセルに記憶される情報を読み出す第1読出回路と、第2調整抵抗に基づいて第2抵抗変化型メモリセルに記憶される情報を読み出す第2読出回路とを備える。第1調整抵抗及び第2調整抵抗は、抵抗値が互いに異なる。
【選択図】図1
【解決手段】以下の半導体装置が提供される。該半導体装置は、互いに異なる向きの第1及び第2電流を印加することによってそれぞれ第1及び第2抵抗状態に書き込まれ、第1、第2抵抗状態でそれぞれ第1、第2情報を記憶する第1抵抗変化型メモリセルと、互いに異なる向きの第3及び第4電流を印加することによってそれぞれ第3及び第4抵抗状態に書き込まれ、第3、第4抵抗状態でそれぞれ第1、第2情報を記憶する第2抵抗変化型メモリセルと、第1調整抵抗に基づいて第1抵抗変化型メモリセルに記憶される情報を読み出す第1読出回路と、第2調整抵抗に基づいて第2抵抗変化型メモリセルに記憶される情報を読み出す第2読出回路とを備える。第1調整抵抗及び第2調整抵抗は、抵抗値が互いに異なる。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体装置に関する。特に、本発明は、抵抗変化型素子を記憶素子として備え、例えば読み出しに好適なリファレンス抵抗を備えた半導体装置に関する。
現在、フラッシュメモリは、不揮発性の半導体記憶装置として広く用いられている。フラッシュメモリのほかにも、様々な不揮発性の半導体記憶装置の開発が進んでいる。中でも、記憶素子に抵抗変化型素子を用いて、その抵抗状態により論理「0」、「1」の2値情報を記憶する抵抗変化型メモリセルが知られている。
例えば、抵抗変化型素子として、磁気トンネル接合(MTJ;Magnetic Tunnel Junction)素子を用いてスピン注入磁化反転書き込みを行うSTT−RAM(Spin Transfer Torque−Random Access Memory)や、金属酸化物等を用いるRe−RAM(Resistive−Random Access Memory)等がある。
例えば、STT−RAMを使用した抵抗変化型メモリセルにおいて、読み出し動作は、ビット線に読み出し電圧を印加し、当該ビット線を介して抵抗変化型メモリセルに流れる電流値を、センスアンプ等の読み出し回路でリファレンス電流IREFと比較・センスすることにより行われる。
一般的に、抵抗変化型メモリセルにおいて、高抵抗状態(論理「1」)と、低抵抗状態(論理「0」)とでは、その抵抗値に差があるため、同一の電流源から電流を印加したとして、ビット線→抵抗変化型メモリセル→グラウンドを流れる印加電流に差が生じる。論理「1」を記憶した抵抗変化型メモリセルを読み出す場合の電流値(以下、「IREAD1」という)は、論理「0」を記憶した抵抗変化型メモリセルを読み出す場合の電流値(以下、「IREAD0」という)よりも小さくなる。
そこで、読み出し時に、読み出し回路において、抵抗変化型メモリセルに記憶されている論理「1」と「0」のセンス動作を成功させる(正しく読み出す)ためには、リファレンス電流IREFの値を、IREAD1とIREAD0の中間レベルに設定する必要がある。読み出し回路は、抵抗変化型メモリセルの読み出し時の上記印加電流と、当該中間レベルに設定したリファレンス電流とを比べ、大であるか小であるかにより、抵抗変化型メモリセルから読み出したデータが、論理「0」又は「1」のいずれかであるかを判定する。
リファレンス電流IREFの生成方法の一例として、以下の方法が知られている。リファレンス用ビット線を2本用意し、一方のビット線に接続されるリファレンスセルに論理「1」(例えば高抵抗状態)を書き込んでおき、他方のビット線に接続されるリファレンスセルに論理「0」(例えば低抵抗状態)を書き込んでおく。読み出し時には、上記2本のリファレンスビット線に読み出し電圧を印加し、上記2本のリファレンスビット線の各々に流れる電流の平均値をリファレンス電流IREFとする。
なお、特許文献1には、STT−RAMのメモリセルにデータを書き込む際に使用する、書き込み回路が開示されている。該書き込み回路では、メモリセルに所望の書き込み電流Iwriteが流れるようにするため、負荷抵抗としてメモリセルのレプリカとなるレプリカセルを使用している(特許文献1の図2を参照)。該書き込み回路によれば、所望の書き込み電流Iwriteをメモリセルに流すための、高精度な書き込み電圧Vwriteを生成することができる。また特許文献1には、STT−RAMのメモリセルからデータを読み出す動作が開示されている。
以下の分析は、本発明によって与えられたものである。
リファレンスセルを利用して、読み出しを行う方式において、リファレンスセルの経時変化等に起因して不具合問題が生じる。リファレンスセルの状態は、一度書き込みを行えば、半永久的に保持されるというものではなく、時間経過等により、リファレンスセルの状態が変化する。リファレンスセルの状態の経時変化に起因して、読み出し時のエラー率(セルデータを誤った値で読み出すエラーの割合)が増加する。よって、読み出し時のエラー率の増加を抑制するためには、リファレンスセルに対して、一定期間毎に再書き込み動作を行うことが必要になる。
また、リファレンスセルの読み出しには、読み出しディスターブの問題もある。読み出しディスターブとは、読み出し動作時には論理「0」(例えば低抵抗状態)を書き込む場合と同じ方向に電流を流すため、論理「1」(例えば高抵抗状態)を記憶したセルが、読み出し動作の際に、論理「0」に反転してしまうことをいう。読み出しディスターブが発生したリファレンスセルでは、高精度な読み出しができなくなる。
また、STT−RAMの場合、チップ間、チップ内の場所等に依存して抵抗値にばらつきがある。そのため、リファレンスセルの抵抗値を1つの代表値で設定すると、十分な読み出しマージンを確保することができない場合がある。例えば、1つのチップ内で、論理「1」を記憶した複数のセルと論理「0」を記憶した複数のセルに、読み出し電圧VREADを印加したときの電流分布を比較した場合を想定する。このとき、論理「1」のセルと論理「0」のセルの電流分布が十分に分離していれば、IREFの設定を最適化することにより、読み出しマージンを確保することができる。しかしながら、チップ内の抵抗値のばらつき等により、論理「1」のセルの電流の最大値が、論理「0」のセルの電流の最小値よりも大きくなる場合(即ち、論理「1」のセルと論理「0」のセルの電流分布が分離していない場合)がある。このような場合には、IREFの設定を最適化しても読み出しエラーを回避することができない。
上記特許文献1では、STT−RAMのメモリセルにおいて、レプリカセルにより高精度な書き込み電圧を生成することを可能としているが、読み出し動作に関する上記した問題については、これらの問題点に関する認識を欠いており、このため、十分な検討はなされていない。
本発明の第1の視点によれば、以下の半導体装置が提供される。該半導体装置は、互いに異なる向きの第1及び第2電流を印加することによって、それぞれ第1抵抗状態及び第2抵抗状態に書き込まれ、前記第1抵抗状態で第1情報を記憶し、前記第2抵抗状態で第2情報を記憶する第1抵抗変化型メモリセルと、互いに異なる向きの第3及び第4電流を印加することによって、それぞれ第3抵抗状態及び第4抵抗状態に書き込まれ、前記第3抵抗状態で前記第1情報を記憶し、前記第4抵抗状態で前記第2情報を記憶する第2抵抗変化型メモリセルと、第1調整抵抗に基づいて、前記第1抵抗変化型メモリセルに記憶される情報を読み出す第1読出回路と、第2調整抵抗に基づいて、前記第2抵抗変化型メモリセルに記憶される情報を読み出す第2読出回路と、を備え、前記第1調整抵抗及び前記第2調整抵抗は、抵抗値が互いに異なる。
本発明の第2の視点によれば、以下の半導体装置が提供される。該半導体装置は、それぞれが1以上の抵抗変化型メモリセルと電気的に接続された複数の読出回路と、前記複数の読出回路に、それぞれ抵抗値が調整可能な調整抵抗を供給する複数のリファレンス回路と、を備える。ここで、各々の前記読出回路は、供給された前記調整抵抗に基づいて、前記抵抗変化型メモリセルに記憶された情報を読み出す。
本発明によれば、抵抗変化型メモリセルの抵抗値のばらつきを補償したリファレンス抵抗の供給を実現し、読み出しマージンを拡大することに貢献し得る半導体装置を提供することが可能になる。
まず、本発明の一実施形態の概要について説明する。なお、実施形態の概要の説明において付記した図面参照符号は専ら理解を助けるための例示であり、図示の態様に限定することを意図するものではない。
一実施形態における半導体装置は、図1に示すように、互いに異なる向きの第1及び第2電流を印加することによって、それぞれ第1抵抗状態(例えば、低抵抗状態)及び第2抵抗状態(例えば、高抵抗状態)に書き込まれ、第1抵抗状態で第1情報(例えば、論理「0」)を記憶し、第2抵抗状態で第2情報(例えば、論理「1」)を記憶する第1抵抗変化型メモリセル2aと、互いに異なる向きの第3及び第4電流を印加することによって、それぞれ第3抵抗状態(例えば、低抵抗状態)及び第4抵抗状態(例えば、高抵抗状態)に書き込まれ、第3抵抗状態で第1情報(例えば、論理「0」)を記憶し、第4抵抗状態で第2情報(例えば、論理「1」)を記憶する第2抵抗変化型メモリセル2bと、第1調整抵抗4aに基づいて、第1抵抗変化型メモリセル2aに記憶される情報を読み出す第1読出回路3aと、第2調整抵抗4bに基づいて、第2抵抗変化型メモリセル2bに記憶される情報を読み出す第2読出回路3bと、を備える。ここで、第1調整抵抗4a及び第2調整抵抗4bは、抵抗値が互いに異なる。
上記一実施形態によれば、第1抵抗変化型メモリセル2aと第2抵抗変化型メモリセル2bとの間で抵抗値にばらつきがあったとしても、高抵抗、低抵抗の各抵抗状態に対応して調整可能な第1及び第2調整抵抗4a、4bを、それぞれ対応する読出回路3a、3bに供給するようにしている。一実施形態によれば、かかる構成としたことにより、抵抗変化型メモリセル2a、2bの抵抗値のばらつきを補償し、読み出しマージンを拡大することが可能になる。
他の一実施形態における半導体装置は、図2に示すように、第1調整抵抗6aを供給する第1リファレンス回路5aと、第2調整抵抗6bを供給する第2リファレンス回路5bと、を備える。ここで、第1リファレンス回路5aは、第1制御信号C1に応じて、第1基準抵抗107aを生成する第1可変抵抗回路11と、第2制御信号C2に応じて、前記第1基準抵抗107aに第1加算抵抗108aを加算することによって、第1調整抵抗6aを生成する第2可変抵抗回路12と、を含むようにしてもよい。また、第2リファレンス回路5bは、第1制御信号C1に応じて第1基準抵抗107aと同じ抵抗値である第2基準抵抗107bを生成する第3可変抵抗回路13と、第3制御信号C3に応じて、前記第2基準抵抗107bに第2加算抵抗108bを加算することによって、第2調整抵抗6bを生成する第4可変抵抗回路14と、を含むようにしてもよい。
さらに他の一実施形態における半導体装置は、図4、図5のいずれかに示すように、それぞれが1以上の抵抗変化型メモリセル(図5のメモリセルアレイ8の抵抗変化型メモリセルMC)と電気的に接続された複数の読出回路18(図5ではj番目のメモリサブマットに対応した1つの読出回路(センスアンプ)18が図示されている。複数のメモリサブマットに対応して複数の読出回路(センスアンプ)18を備える)と、複数の読出回路18に、それぞれ抵抗値が調整可能な調整抵抗を供給する複数のリファレンス回路19(図5ではj番目のメモリサブマットに対応した1つの読出回路(センスアンプ)18に対する1つのリファレンス回路19が図示されている。複数のメモリサブマットに対応して複数のリファレンス回路19を備える)と、を備える。各々の読出回路(センスアンプ)18は、供給された調整抵抗(図9(A)のリファレンス回路19が供給する抵抗に相当)に基づいて、抵抗変化型メモリセルに記憶された情報を読み出す。例えば、図4、図5の構成では、メモリサブマット_j(j=0〜15)毎に、読出回路18、及びリファレンス19を備えている。
上記半導体装置において、各々のリファレンス回路19は、図9に示すように、複数のリファレンス回路19に供給される共通の第1制御信号(図9(A)、図9(B)のグローバル制御信号CDEC2、c<0>〜c<7>、cb<0>〜cb<7>に対応する)に応じて、調整抵抗(図9(A)のリファレンス回路19が供給する抵抗に相当)を調整する第1可変抵抗回路(図9(A)のグローバル可変抵抗回路97に対応する)と、複数のリファレンス回路19に個別に供給される複数の第2制御信号(図9(A)、図9(B)のローカル制御信号C6、d<1>〜d<3>、db<1>〜db<3>に対応する)に応じて、第1可変抵抗回路(図9(A)のグローバル可変抵抗回路97に相当)により調整された調整抵抗(図9(A)のリファレンス回路19が供給する抵抗に相当)をさらに個別に調整する第2可変抵抗回路(図9(A)のローカル可変抵抗回路98a、98bに相当)と、を含むことが好ましい。なお、図9(A)のローカル可変抵抗回路98a、ローカル可変抵抗回路98b、グローバル可変抵抗回路97の詳細は後述される。
上記半導体装置は、図15に示すように、複数の第2制御信号(図14のローカル制御信号c6<7:0>に相当)を生成するための情報をそれぞれ記憶する、複数のMTJ破壊型のアンチヒューズ回路(MTJトンネル膜破壊型アンチヒューズ73に相当)をさらに備えるようにしてもよい。図15のアンチヒューズ73、アンチヒューズセンス回路72の詳細は後述される。なお、本明細書において、信号名に<m:n>(m、nは整数)が付されている場合、<m:n>の“m”、“n”は(m−n+1)ビット幅のMSB(Most Significant Bit)、LSB(Least Significant Bit)を表している。
上記半導体装置は、図13に示すように、抵抗変化型メモリセルと調整抵抗(図9(A)のリファレンス回路19が供給する抵抗に相当)との抵抗値の温度特性差を補正する補正回路(図10、図13のリード電圧温度補正回路33に相当)をさらに備えることが好ましい。ここで、補正回路(リード電圧温度補正回路33に相当)は、抵抗値の温度特性がメモリセルアレイ(図5の8に相当)の抵抗変化型メモリセル(図5のMCに相当)と実質的に同じであるレプリカメモリセル回路(メモリセルレプリカ群54、55に相当)と、抵抗値の温度特性が調整抵抗(図9(A)のリファレンス回路19が供給する抵抗に相当)と実質的に同じである第5可変抵抗回路(図13の可変抵抗器56、57に相当)と、を含み、第5可変抵抗回路(可変抵抗器56、57に相当)の抵抗値に対するレプリカメモリセル回路(メモリセルレプリカ群54、55に相当)の抵抗値の比率を、読み出し制御電圧(VGG30に相当)に掛け算することにより温度特性差を補正することが好ましい。
上記半導体装置において、図13、図14のいずれかに示すように、各々の読出回路(センスアンプ)18は、抵抗変化型メモリセル(図5の9等)の読み出し経路上にソース・ドレイン経路を有するトランジスタN8を含み、補正回路(図10、図13のリード電圧温度補正回路33に相当)は、上記比率が掛け算された読み出し制御電圧(VGG30Rに相当)によりトランジスタN8のゲートを制御するようにしてもよい。
上記補正回路(図10、図13のリード電圧温度補正回路33)において、第5可変抵抗回路(可変抵抗器56、57に相当)の抵抗値は、レプリカメモリセル回路(メモリセルレプリカ群54、55に相当)の抵抗値に対して、調整可能に構成されることが好ましい。
複数の抵抗変化型メモリセル(図5の各メモリサブマットにおけるMC)は、STT−RAM(Spin Transfer Torque-Random Access Memory)のセルで構成してもよい。
以下に具体的な実施の形態について、図面を参照して説明する。
(第1の実施形態)
第1の実施形態に係る半導体装置1の構成について、図3を参照しながら説明する。
第1の実施形態に係る半導体装置1の構成について、図3を参照しながら説明する。
図3は、半導体装置1の全体構成を示すブロック図である。
半導体装置1は、抵抗変化型メモリセルとしてスピン注入磁化反転書き込みを行うSTT−RAMを使用したメモリセルマット130を備えている。また、半導体装置1は外部端子として外部クロック端子CK/CKB、クロックイネーブル端子CKE、コマンド端子CSB、RASB、CASB、WEB、REB、データ入出力端子DQを備えている。ここで、CK、CKBは互いに相補の信号である。
クロック発生回路122には、外部クロック信号CK/CKBとクロックイネーブル信号CKEが入力され、クロック発生回路122は半導体装置1内部で必要とされる内部クロック信号ICLKを発生し、各部に供給する。
コマンド端子CSB、RASB、CASB、WEB、REBには、それぞれチップセレクト信号CSB、ロウアドレスストローブ信号RASB、カラムアドレスストローブ信号CASB、ライトイネーブル信号WEB、リードイネーブル信号REBが供給される。これらのコマンド信号は、コマンドデコーダ121に供給される。コマンドデコーダ121は、入力されたコマンド信号をデコードし、チップ制御回路120に出力する。
モードレジスタ119には、半導体装置1の動作モードが設定される。チップ制御回路120は、コマンドデコーダ121の出力及びモードレジスタ119に設定された動作モードを入力し、それらに基づいて各種制御信号を生成して、アレイ制御回路112、RW(リードライト)アンプ114、ラッチ回路115、データ入出力バッファ116、カラムアドレスバッファ117、ロウアドレスバッファ118に供給する。
アレイ制御回路112は、ロウデコーダ113、及びカラムデコーダ111を制御する。また、アレイ制御回路112は、各センスアンプ18内部の差動増幅器64に供給するセンスアンプイネーブル信号SAEを制御する(図14を参照)。
アドレス信号ADDは、ロウアドレスrow_addと、カラムアドレスcol_addと、を含んでいる。ロウアドレスrow_addはロウアドレスバッファ118に供給され、カラムアドレスcol_addはカラムアドレスバッファ117に供給される。
ロウアドレスバッファ118が出力するロウアドレスrow_addは、ロウデコーダ113によりデコードされる。また、カラムアドレスバッファ117が出力するカラムアドレスcol_addは、カラムデコーダ111によりデコードされる。
ロウアドレスrow_add、及びカラムアドレスcol_addにより選択された抵抗変化型メモリセルMC(図5)からの読み出しデータは、IO線対(IOT/IOB)を介してRW(リードライト)アンプ114に出力される。また、ロウアドレスrow_add、及びカラムアドレスcol_addにより選択された抵抗変化型メモリセルMCへ書き込むデータは、IO線対(IOT/IOB)を介してRW(リードライト)アンプ114から供給される。RWアンプ114は、ラッチ回路115及びデータ入出力バッファ116を介して、外部端子であるデータ入出力端子DQと接続されている。ここで、ラッチ回路115及びデータ入出力バッファ116には、クロック発生回路122から内部クロック信号ICLKが供給されメモリセルマット130とデータ入出力端子DQの間のデータの入出力のタイミングが制御される。
ここで、半導体装置1は、コード調整回路10及びグローバル制御信号生成回路15を備える。コード調整回路10は、図3に示す各信号、例えば、MODE2等、を出力する。
グローバル制御信号生成回路15は、図3に示す各信号、例えば、モード選択信号MODE2、調整コードD2<2:0>、モード選択信号MODE4、調整コードD4<3:0>を入力し、グローバル制御信号として、制御電圧VGG30、VGG30R、及びCDEC2<7:0>を出力する。
半導体製造工程のウエハテスト等において、ウエハ状態の半導体装置1はテスタ(不図示)と接続され、調整が行われる。半導体装置1は、テスタにより、3つの調整が可能に構成されている。1つ目の調整は、グローバルリファレンス回路34(図11参照)、及び各リファレンス回路19のグローバル可変抵抗回路97(図9参照)の調整である。この調整は、テスタが調整コマンドCOM1を発行することにより開始される。2つ目の調整は、リード電圧温度補正回路33の可変抵抗器56、57(図13参照)の調整である。この調整は、テスタが調整コマンドCOM2を発行することにより開始される。3つ目の調整は、各リファレンス回路19のローカル可変抵抗回路98a、98b(図9(A)参照)の調整である。この調整は、テスタが調整コマンドCOM3を発行することにより行われる。
図3において、半導体装置1は、テスタからの調整コマンドを受けると、コマンドデコーダ121が調整コマンドをデコードし、チップ制御回路120に出力する。チップ制御回路120は、デコードされた調整コマンドをコード調整回路10に出力する。コード調整回路10は、調整コマンド(COM1、COM2、COM3)に応じて、調整コード(D2<2:0>、D4<3:0>、D6<7:0>)の調整を行う。なお、コード調整回路10、及び調整コマンドCOM1、COM2、COM3による調整の詳細は後述される。
図4は、図3に示したメモリマット130の構成を示す図である。
メモリマット130は、複数のメモリサブマット_j(j=0〜15)により構成される。各メモリサブマットにはカラムデコーダ111(図3)の出力から選択信号YSW<j>が供給されており、選択信号YSW<j>のうちのいずれかをHighレベルに活性化することにより、アクセスするメモリサブマットが選択される。
また、各メモリサブマットには、図4に示すように、ワード線WL_0〜511、ビット線/ソース線選択信号SELT_0〜31、SELB_0〜31が供給される。ここで、ワード線WL_0〜511には、ロウデコーダ113(図3)の出力が供給される。また、ビット線/ソース線選択信号SELT_0〜31は、カラムデコーダ111(図3)の出力から供給される。また、ビット線/ソース線選択信号SELB_0〜31は、それぞれビット線/ソース線選択信号SELT_0〜31を論理反転した信号である。
また、各メモリサブマットには、図4に示すように、ライトイネーブル信号WEB、リードイネーブル信号REBが供給される。ライトイネーブル信号WEB、リードイネーブル信号REBは、それぞれ、コマンド端子WEB、REB(図3を参照)が受ける信号である。ここで、ライトイネーブル信号WEB、リードイネーブル信号REBは、ロウアクティブの信号である。
また、各メモリサブマットには、図4に示すように、センスアンプイネーブル信号SAEが供給される。センスアンプイネーブル信号SAEは、前述したように、アレイ制御回路112から供給され、Highレベル時に、センスアンプ18の差動増幅器64(図14)を活性化する制御信号である。
また、各メモリサブマットは、図4に示すように、図3で示したIO線対(IOT/IOB)と接続され、IO線対(IOT/IOB)を介してデータが入出力される。
また、各メモリサブマットには、図3で示したコード調整回路10から制御信号CENT、調整コードD6<7:0>、モード選択信号MODE6が供給される。また、各メモリサブマットには、図3で示したグローバル制御信号生成回路15からグローバル制御信号CDEC2<7:0>が供給される。
また、各メモリサブマットには、不図示のコントローラ等より、制御信号LDTが供給される。制御信号LDTは、例えば、リセット信号RSTB(図12参照)がLowレベルに活性化したことを受けて、一定期間Highレベルに遷移する信号である。
図5は、複数のメモリサブマットのうち、j番目のメモリサブマットの構成を示す図である。
図5に示されるメモリサブマットは、2次元的に配置された複数の抵抗変化型メモリMCを有するメモリセルアレイ8を備えている。メモリセルアレイ8内では、512本のワード線WL_0〜511と、32本のビット線BL_0〜31及びソース線SL_0〜31とが、互いに直交する方向に延在している。そして、複数の抵抗変化型メモリMCは、ワード線WL_0〜511とビット線/ソース線(BL_0〜31/SL_0〜31)の交点位置に対応して配置される。なお、図4では、メモリサブマットの数は16とされ、図5では、ワード線は512本、ビット線/ソース線は32本とされているが、メモリサブマットの数(図5の_jのjの最大値)や、図5におけるワード線、ビット線/ソース線の数等は、あくまで例示であり、これらに限定されるものでなく、他の数としてもよいことは勿論である。
ビット線/ソース線用スイッチ16は、32本のビット線BL_0〜31、32本のソース線SL_0〜31から、選択ビット線及び選択ソース線を選択し、それぞれBL_IO、SL_IOと電気的に接続する機能を有する。ビット線/ソース線用スイッチ16の詳細は後述される。
書き込みドライバ17は、書き込み動作時(ライトイネーブル信号WEがアクティブ時)に、選択ビット線/選択ソース線、及び選択ワード線(ワード線WL_0〜511のいずれか)により選択された抵抗変化型メモリセルMCに書き込み電圧を印加することにより、論理「0」又は論理「1」を書き込む機能を有する。書き込みドライバ17の詳細は後述される。
センスアンプ(読出回路)18は、読み出し動作時(リードイネーブル信号REがアクティブ時)に、選択ビット線/選択ソース線、及び選択ワード線により選択された抵抗変化型メモリセルMCに記憶された情報を読み出す機能を有する。センスアンプ(読出回路)18の詳細は後述される。
リファレンス回路19は、読み出し動作時のリファレンス抵抗として使用する抵抗(「ハーフ抵抗」ともいう)をセンスアンプ(読出回路)18に供給する機能を有する(なお、リファレンス回路19が供給するハーフ抵抗は、図1の調整抵抗4a、4b、図2の調整抵抗6a、6bに相当する)。また、上記ハーフ抵抗の抵抗値を「ハーフ抵抗値」ともいう。リファレンス回路19のハーフ抵抗値は、抵抗変化型メモリセルMCの低抵抗状態(論理「0」を記憶した状態)の抵抗値と高抵抗状態(論理「1」を記憶した状態)の抵抗値との中間の抵抗値になるように調整される。リファレンス回路19の詳細な構成、及びその調整方法は後述される。なお、本明細書では、論理「0」を低抵抗状態、論理「1」を高抵抗状態としているが、それに限定されず、逆に定義してもよい。
ローカル制御信号生成回路20は、各メモリサブマット内のリファレンス回路19が供給するハーフ抵抗を個別に調整するためのローカル制御信号C6<7:0>をリファレンス回路19に供給する機能を有する。ローカル制御信号生成回路20の詳細な構成は後述する。
また、図5において、IO線対(IOT/IOB)は、書き込みドライバ17及びセンスアンプ18と接続され、相補のIO線IOT/IOBを介して書き込みデータ・読み出しデータを入出力する。
図6は、メモリセルアレイ8内の抵抗変化型メモリセル9の構成の一例を示す図である。
図6に示すように、抵抗変化型メモリセル9は、MTJ(Magnetic Tunnel Junction)素子21を用いてスピン注入磁化反転書き込みを行うSTT−RAM(Spin Transfer Torque−Random Access Memory)のメモリセルである。MTJ素子21は、磁性体であるフリー層(強磁性層)22及び固定層(強磁性層)23と、それらの間に挟まれた絶縁層(「トンネル絶縁層」ともいう)24とを含んで構成される。そして、スピン注入磁化反転書き込み方式では、フリー層22に対して、固定層23の磁気モーメントによりスピン偏極させた電子流を供給することによりデータの書き込みを行う。
また、MTJ素子21とセルトランジスタN14は、ビット線BLとソース線SLの間に直列に接続される。セルトランジスタN14のゲートは、ワード線WLと接続され、ワード線WLが選択されるとセルトランジスタN14が導通し、MTJ素子21のフリー層22と固定層23の間にビット線BLとソース線SLの電位差が印加される。
図7(A)は、図5で示したビット線/ソース線用スイッチ16の構成を示す図である。
図7(A)に示すように、ビット線/ソース線用スイッチ16は、32本のビット線BL_0〜31(図5)、及び32本のソース線SL_0〜31(図5)のそれぞれに対応した64個のスイッチ回路(CMOSトランスファゲート)25を備えている。
図7(A)において、SELT_i、SELB_i(i=0〜31)のうちのいずれか1つ、例えば、i0が選択される(SELT_i0がHighレベル、SELB_i0がLowレベル)と、対応するビット線BL_i0、ソース線SL_i0がそれぞれBL_IO、SL_IOと電気的に接続される。
図7(B)は、図7(A)に示されるスイッチ回路25の構成を示す図である。
スイッチ回路25は、NMOSトランジスタとPMOSトランジスタを抱き合わせて接続したCMOSトランスファゲートである。NMOSトランジスタのゲート、PMOSトランジスタのゲートにはそれぞれソース線/ビット線選択信号SELT_i、SELB_i(i=0〜31)が供給される。ここで、SELT_iとSELB_iは互いに相補の信号である。
一般に、NMOSトランジスタのみで構成されるNMOSトランスファゲートを使用した場合には、Highレベルの信号を通したときに、しきい値電圧の分だけ電圧が低下してしまう。また、PMOSトランジスタのみで構成されるPMOSトランスファゲートを使用した場合には、Lowレベルの信号を通したときに、しきい値電圧の分だけ電圧が上昇してしまう。図7(B)のCMOSトランスファゲートは、上記した電圧低下/電圧上昇の問題がなく、ビット線/ソース線スイッチ16のスイッチ回路25として好適である。
図8(A)は、図5で示した書き込みドライバ17の構成を示す図である。
書き込みドライバ17は、書き込み動作時に、選択ビット線、選択ソース線とそれぞれ電気的に接続されるBL_IO及びSL_IOを書き込みデータに応じて駆動する回路である。
図8(A)の書き込みドライバ17の構成について説明する。図8(A)のBL_IO、SL_IOは、それぞれ、選択ビット線、選択ソース線が電気的に接続される信号線である(図7参照)。書き込みドライバ17では、電圧源VWT0とBL_IOの間に、PMOSトランジスタP1とP2が縦積み(cascode)に接続される。また、低電位電源VSSとBL_IOの間に、NMOSトランジスタN1とN2が縦積みに接続される。また、低電位電源VSSとSL_IOの間に、NMOSトランジスタN3とN4が縦積みに接続される。また、電圧源VWT1とSL_IOの間に、PMOSトランジスタP3とP4が縦積みに接続される。
図8(B)は、選択信号YSW<j>及びライトイネーブル信号WEから、制御信号WE_B、WE_Tを生成する回路である(ここで、図4で示したロウアクティブなライトイネーブル信号WEBは、不図示のインバータ回路等により、ハイアクティブなライトイネーブル信号WEに変換されているものとする)。図8(B)において、選択信号YSW<j>は、NAND回路26の一方の入力端子に供給される。また、ライトイネーブル信号WEは、NAND回路26の他方の入力端子に供給される。制御信号WE_Bの信号線は、NAND回路26の出力端子と接続される。また、制御信号WE_Tの信号線は、インバータ回路27を介してNAND回路26の出力端子と接続される。上記の構成により、ライトイネーブル信号WE及びYSW<j>信号がHighレベルの場合(即ち、書き込み動作時でj番目のサブマットが選択されている場合)、制御信号WE_B、WE_Tは、それぞれLowレベル、Highレベルに制御される。
図8(C)は、IO線IOBの信号から、制御信号D0B、D0Tを生成する回路である。図8(C)において、IO線IOBは、インバータ回路28の入力端子と接続される。制御信号D0Bの信号線はインバータ回路28の出力端子と接続される。制御信号D0Tの信号線はインバータ回路29を介してインバータ回路28の出力端子と接続される。上記の構成により、IO線IOBがHighレベルのとき(即ち、書き込みデータが論理「0」のとき)、制御信号D0B、D0Tが、それぞれLowレベル、Highレベルになる。また、IO線IOBがLowレベルのとき(即ち、書き込みデータが論理「1」のとき)、制御信号D0B、D0Tが、それぞれHighレベル、Lowレベルになる。
図8(D)は、IO線IOTの信号から、制御信号D1B、D1Tを生成する回路である。図8(D)において、IO線IOTは、インバータ回路30の入力端子と接続される。制御信号D1Bの信号線はインバータ回路30の出力端子と接続される。制御信号D1Tの信号線はインバータ回路31を介してインバータ回路30の出力端子と接続される。上記の構成により、IO線IOTがHighレベルのとき(即ち、書き込みデータが論理「1」のとき)、制御信号D1B、D1Tが、それぞれLowレベル、Highレベルになる。また、IO線IOTがLowレベルのとき(即ち、書き込みデータが論理「0」のとき)、制御信号D1B、D1Tが、それぞれHighレベル、Lowレベルになる。
図8(B)〜(D)のように生成した制御信号WE_B、WE_T、D0B、D0T、D1B、D1Tを、それぞれ、PMOSトランジスタP2及びP3のゲート、NMOSトランジスタN2及びN3のゲート、PMOSトランジスタP1のゲート、NMOSトランジスタN4のゲート、PMOSトランジスタP4のゲート、NMOSトランジスタN1のゲートに供給する。これにより、書き込み時で、書き込みデータが論理「0」の場合、PMOSトランジスタP1及びP2、NMOSトランジスタN3及びN4が導通し、BL_IO、SL_IOがそれぞれ電圧源VWT0、低電位電源VSSで駆動される。また、書き込み時で、書き込みデータが論理「1」の場合、NMOSトランジスタN1及びN2、PMOSトランジスタP3及びP4が導通し、BL_IO、SL_IOがそれぞれ低電位電源VSS、電圧源VWT1で駆動される。このように駆動することで、書き込みデータが論理「0」の場合と論理「1」の場合とで、抵抗変化型メモリセルのMTJ素子21内を逆方向に電流が流れる。具体的には、書き込みデータが論理「0」の場合には、フリー層22から固定層23の方向に電流が流れ(電子流は、固定層23からフリー層22の方向に流れ)、書き込みデータが論理「1」の場合には、固定層23からフリー層22の方向に電流が流れる(電子流は、フリー層22から固定層23の方向に流れる)。
図9(A)は、図5で示したリファレンス回路19の回路構成を例示する図である。
リファレンス回路19は、前述したように、ハーフ抵抗を供給する回路である。図9(A)において、リファレンス回路19は、ベースとなる抵抗ΔRG(145a)及びRBASE(144)と、各リファレンス回路19で共通に調整されるグローバル可変抵抗回路97と、各リファレンス回路19で個別に調整される2つのローカル可変抵抗回路(98a、98b)と、を含んで構成される。
ローカル可変抵抗回路98aは、CMOSトランスファゲート81a(NX、NXBでオン、オフ)、抵抗83b(抵抗値:1×ΔR)とCMOSトランスファゲート81b(d<4>、db<4>でオン、オフ)の直列回路、抵抗83c(抵抗値:2×ΔR)とCMOSトランスファゲート81c(d<5>、db<5>でオン、オフ)の直列回路、抵抗83d(抵抗値:3×ΔR)とCMOSトランスファゲート81d(d<6>、db<6>でオン、オフ)の直列回路、抵抗83e(抵抗値:4×ΔR)とCMOSトランスファゲート81e(d<7>、db<7>でオン、オフ)の直列回路を並列接続して構成される。
図9(B)は、コード演算回路を示す図である。図9(B)に示すように、NXは、d<0>〜d<3>をOR演算した結果、NXBはNXの反転信号である。
図9(A)に戻り、ローカル可変抵抗回路98bは、抵抗145b(抵抗値:1/3×ΔRG)とCMOSトランスファゲート80a(d<1>、db<1>でオン、オフ)の直列回路、抵抗145c(抵抗値:ΔRG)とCMOSトランスファゲート80b(d<2>、db<2>でオン、オフ)の直列回路、抵抗145d(抵抗値:3×ΔRG)とCMOSトランスファゲート80c(d<3>、db<3>でオン、オフ)の直列回路を並列接続して構成される。また、ローカル可変抵抗回路98bは、ベースとなる抵抗145a(抵抗値:ΔRG)と並列接続される。
グローバル可変抵抗回路97は、抵抗146a(抵抗値:ΔRG)とCMOSトランスファゲート143a(c<0>、cb<0>でオン、オフ)の直列回路、抵抗146b(抵抗値:2×ΔRG)とCMOSトランスファゲート143b(c<1>、cb<1>でオン、オフ)の直列回路、・・・、抵抗146c(抵抗値:8×ΔRG)とCMOSトランスファゲート143c(c<7>、cb<7>でオン、オフ)の直列回路を並列接続して構成される。
リファレンス回路19に含まれる抵抗(83b〜e、146a〜c、145a〜d)は、各抵抗値が固定の抵抗(即ち、抵抗変化型素子でない)であり、安定したハーフ抵抗値を供給するために、温度依存性が小さい素子を使用する。例えば、N−抵抗は、温度依存性が小さく、好適である。これにより、リファレンス抵抗を抵抗変化型素子で構成した場合のリファレンス抵抗の抵抗状態の経時変化や読み出しディスターブの問題を解消することができる。また、リファレンス抵抗に対する再書き込みも不要になる。
リファレンス回路19に含まれる各CMOSトランスファゲート(81a〜e、143a〜c、80a〜c)をオン・オフ制御する信号は、図9(B)に示すように生成される。c<7:0>は各リファレンス回路19に共通のグローバル制御信号CDEC2<7:0>である。また、cb<7:0>は、インバータ回路87a〜bにより、c<7:0>の論理を反転した信号である。また、d<7:0>は、リファレンス回路19毎に異なるローカル制御信号c6<7:0>である。また、db<7:0>は、インバータ回路88a〜bにより、d<7:0>の論理を反転した信号である。CMOSトランスファゲートは、前述したように、導通時に信号を通す場合の電圧低下/電圧上昇の問題がなく、リファレンス回路19において使用されるスイッチ回路として好適である。
図9(A)のグローバル可変抵抗回路97において、グローバル可変抵抗回路97に供給されるグローバル制御信号CDEC2<7:0>は、グローバル可変抵抗回路97の調整結果に応じて、8bitのうちのいずれか1つが“1”で、残りの7bitが“0”である(調整の詳細は後述される)。グローバル制御信号CDEC2<7:0>に対応して、c<j>(j=0〜7)のうちの1つが“1”、残りの7つが“0”となる。ここで、グローバル可変抵抗回路97の8つのCMOSトランスファゲート143a〜cに対して、c<j>=“1”、cb<j>=“0”が供給される1つのCMOSトランスファゲートが導通し、それ以外の7つのCMOSトランスファゲートは非導通となる。これにより、グローバル可変抵抗回路97の抵抗値は、導通したCMOSトランジスタと直列に接続された抵抗の抵抗値となる。具体的には、例えば、c<0>=“1”のとき、CMOSトランスファゲート143aが導通し、グローバル可変抵抗回路97の抵抗値は抵抗146aの抵抗値ΔRGとなる。c<1>=“1”のとき、CMOSトランスファゲート143bが導通し、グローバル可変抵抗回路97の抵抗値は抵抗146bの抵抗値2×ΔRGとなる。また、c<7>=“1”のとき、CMOSトランスファゲート143cが導通し、グローバル可変抵抗回路97の抵抗値は抵抗146cの抵抗値8×ΔRGとなる。そして、抵抗144(抵抗値:RBASE)と抵抗145a(抵抗値:ΔRG)の直列接続に対して、グローバル可変抵抗回路97の抵抗がさらに直列接続され、ハーフ抵抗が生成される。グローバル可変抵抗回路97は、チップ内を代表してハーフ抵抗値の調整を行う抵抗として使用する。
図9(A)のローカル可変抵抗回路98a、98bにおいて、ローカル可変抵抗回路98a、98bに供給されるローカル制御信号C6<7:0>は、ローカル可変抵抗回路98a、98bの調整結果に応じて、8bitのうちのいずれか1つが“1”で、残りの7bitが“0”である(調整の詳細は後述される)。ローカル制御信号C6<7:0>に対応して、d<j>(j=0〜7)のうちの1つが“1”、残りの7つが“0”となる。
d<j>(j=4〜7)のいずれかが“1”となる場合、ローカル可変抵抗回路98a、98bにおいて、d<j>=“1”、db<j>=“0”が供給される1つのCMOSトランスファゲートが導通し、それ以外のCMOSトランスファゲートは非導通となる。これにより、ローカル可変抵抗回路98aの抵抗値は、導通したCMOSトランジスタと直列に接続された抵抗の抵抗値となる。具体的には、d<4>=“1”のとき、CMOSトランスファゲート81bが導通し、ローカル可変抵抗回路98aの抵抗値は抵抗83bの抵抗値1×ΔRLとなる。また、d<5>=“1”のとき、CMOSトランスファゲート81cが導通し、ローカル可変抵抗回路98aの抵抗値は抵抗83cの抵抗値2×ΔRLとなる。また、d<6>=“1”のとき、CMOSトランスファゲート81dが導通し、ローカル可変抵抗回路98aの抵抗値は抵抗83dの抵抗値3×ΔRLとなる。また、d<7>=“1”のとき、CMOSトランスファゲート81eが導通し、ローカル可変抵抗回路98aの抵抗値は抵抗83eの抵抗値4×ΔRLとなる。以上により、d<j>(j=4〜7)のいずれかが“1”となる場合、各々の場合のローカル可変抵抗回路98aの抵抗が、グローバル可変抵抗回路97の抵抗に直列に接続され、ハーフ抵抗値が増加する。
次に、d<j>(j=1〜3)のいずれかが“1”となる場合、NX=“1”となり、CMOSトランスファゲート81aが導通し、ローカル可変抵抗回路98aによる抵抗値の調整は行われない。一方、ローカル可変抵抗回路98bにおいて、d<j>=“1”、db<j>=“0”が供給される1つのCMOSトランスファゲートが導通し、それ以外のCMOSトランスファゲートは非導通となる。これにより、ローカル可変抵抗回路98bの抵抗値は、導通したCMOSトランジスタと直列に接続された抵抗の抵抗値となる。具体的には、d<1>=“1”のとき、CMOSトランスファゲート80aが導通し、ローカル可変抵抗回路98bの抵抗値は抵抗145bの抵抗値1/3×ΔRGとなる。また、d<2>=“1”のとき、CMOSトランスファゲート80bが導通し、ローカル可変抵抗回路98bの抵抗値は抵抗145cの抵抗値ΔRGとなる。また、d<3>=“1”のとき、CMOSトランスファゲート80cが導通し、ローカル可変抵抗回路98bの抵抗値は抵抗145dの抵抗値3×ΔRGとなる。上記した各々の場合において、ローカル可変抵抗回路98bの抵抗は、抵抗145a(抵抗値:ΔRG)と並列に接続され、抵抗値は減少する。具体的には、d<1>=“1”のとき、抵抗145aにローカル可変抵抗回路98bを並列接続することにより、抵抗値は1/4に減少する。また、d<2>=“1”のとき、抵抗145aにローカル可変抵抗回路98bを並列接続することにより、抵抗値は1/2に減少する。また、d<3>=“1”のとき、抵抗145aにローカル可変抵抗回路98bを並列接続することにより、抵抗値は3/4に減少する。以上により、d<j>(j=1〜3)のいずれかが“1”となる場合、各々の場合のローカル可変抵抗回路98bの抵抗により、ハーフ抵抗値が減少する。
次に、d<0>=“1”となる場合、ローカル可変抵抗回路98a、98bにおいて、CMOSトランスファゲート81aが導通し、それ以外のCMOSトランスファゲートは非導通になる。この場合は、2つのローカル可変抵抗回路98a、98bをいずれも使用せず、ベースとなる抵抗144、145a、及びグローバル可変抵抗回路97のみが使用される。
ローカル可変抵抗回路98a、98bは、チップ内の場所に依存してハーフ抵抗値を加減する回路である。ローカル可変抵抗回路98a、98bは、センスアンプ18毎にハーフ抵抗値を調整可能に構成している。これにより、各センスアンプ18に対応した抵抗変化型メモリセルの領域毎にハーフ抵抗値を個別に調整することが可能になる。
なお、調整の刻み幅となるΔRG、ΔRLの値は、ハーフ抵抗値の要求精度に応じて適宜設定すればよい。
図10は、図3に示したグローバル制御信号生成回路15の構成を示す図である。
グローバル制御信号生成回路15は、各センスアンプ18及び各リファレンス回路19に共通のグローバル制御信号を生成する。まず、制御電圧VGG30を生成する部分について説明する。図10において、ソースが高電位電源VDDに共通に接続されたPMOSトランジスタP5、P6のゲートが共通接続される。また、PMOSトランジスタP5のドレインとゲートは接続されている。PMOSトランジスタP5、P6はカレントミラー回路を構成し、PMOSトランジスタP5のドレイン電流のミラー電流がPMOSトランジスタP6のドレイン電流となる。PMOSトランジスタP5のドレインには、電流値IREFの定電流源32が接続され、PMOSトランジスタP6には、そのミラー電流が流れる。
PMOSトランジスタP6のドレインは、NMOSトランジスタN5を介して、グローバルリファレンス回路34と接続される。これにより、グローバルリファレンス回路34に電流値IREFの電流が供給される。また、NMOSトランジスタN5のゲートとドレインは接続されている。なお、グローバルリファレンス回路34の詳細は後述される。
グローバルリファレンス回路34に電流IREFが流れると、電圧降下により電位VREADが生成される。そして、電位VREADにNMOSトランジスタN5のゲートソース間電圧が加算された電圧VGG30が各センスアンプ18に出力される。
次に、図10において、第1制御信号生成回路35は、グローバルリファレンス回路34、及び各リファレンス回路19のグローバル可変抵抗回路97(図9(A))が供給するハーフ抵抗を調整するグローバル制御信号CDEC2<7:0>を生成する回路である。なお、第1制御信号生成回路35の詳細は後述される。
次に、図10において、リード電圧温度補正回路33は、メモリセルアレイ8(図5)内の抵抗変化型メモリセルMCの抵抗値の温度依存性を補正する回路である。リード電圧温度補正回路33は、制御電圧VGG30に対して抵抗変化型メモリセルMCの温度依存性(温度係数)に応じた補正を行い、補正された制御電圧VGG30Rを出力する。なお、リード電圧温度補正回路33の詳細は後述される。
図11は、図10に示したグローバルリファレンス回路34の構成を示す図である。
グローバルリファレンス回路34は、ハーフ抵抗を生成する回路である。グローバルリファレンス回路34は、抵抗46a(抵抗値:ΔRG)とCMOSトランスファゲート43a(c<0>、cb<0>でオン、オフ)の直列回路、抵抗46b(抵抗値:2×ΔRG)とCMOSトランスファゲート43b(c<1>、cb<1>でオン、オフ)の直列回路、・・・、抵抗46c(抵抗値:8×ΔRG)とCMOSトランスファゲート43c(c<7>、cb<7>でオン、オフ)の直列回路を並列接続して構成される。図11(A)を図9(A)のリファレンス回路19と比較すると分かるように、グローバルリファレンス回路34は、リファレンス回路19の抵抗144(抵抗値:RBASE)、145a(抵抗値:ΔRG)と、グローバル可変抵抗回路97とで構成される部分と同様の構成を有している。そのため、重複する説明は省略する。また、図11(A)のグローバルリファレンス回路34を調整するための制御信号は、図9(A)の場合と同様に、グローバル制御信号CDEC2<7:0>である。
図12(A)は、図10に示した第1制御信号生成回路35の構成を示す図である。
第1制御信号生成回路35は、前述したように、グローバル制御信号CDEC2<7:0>を生成する回路である。図12(A)において、第1制御信号発生回路35は、コード3bit・トリミング回路36とデコーダ37とにより構成される。また、コード3bit・トリミング回路36は、3ビットコードを記録する3個のヒューズラッチ回路38a〜cとバスセレクタ39により構成される。
図12(B)は、1個のヒューズラッチ回路38aの回路構成を例示する図である。
図12(B)に示すように、ヒューズラッチ回路38aは、低電位電源VSSとノードNF間に接続されたヒューズ40と、ソースが高電位電源VDDに共通接続され、ドレインがノードNFに共通接続されたPMOSトランジスタP7、P8と、入力端子がノードNFに接続されたインバータ回路41と、インバータ回路41の出力に入力端子が接続されたインバータ回路42とを備え、PMOSトランジスタP7のゲートには、リセット信号RSTB(Lowアクティブ)が入力され、PMOSトランジスタP8のゲートはインバータ回路41の出力端子に接続され、インバータ回路42の出力はiビット目のC20T<i>として出力される。なお、リセット信号RSTB(Lowアクティブ)は不図示の外部端子から、不図示のコントローラ等より供給される。
図12(B)に示すように、情報の記録は、ヒューズ40の溶断をする/しないにより行う(ウエハテスト等において電気溶断もしくはレーザ照射等により溶断。詳細は後述)。そして、3個のヒューズ40のコードをデコーダ37により8ビットにデコードしたものがグローバル制御信号CDEC2<7:0>となる。
ヒューズ40が切断(溶断)されている場合、デバイス電源投入時等に、RSTB信号がHighレベルからLowレベル(活性状態)に遷移すると、PMOSトランジスタP7がオンし、ノードNFがHighレベルになる。これを受けてPMOSトランジスタP8のゲートがLowレベルとなり、PMOSトランジスタP8もオンする。このとき、インバータ回路42の出力はHighレベルである。次に、RSTB信号がHighレベルに戻った場合、PMOSトランジスタP7はオフするが、ノードNFはHighレベルを維持し、PMOSトランジスタP8はオン状態を保持する。これにより、インバータ回路42の出力C20T<i>はHighレベルを保持する。
一方、ヒューズが切断(溶断)されていない場合には、ノードNFは常にLowレベルとなるため、インバータ回路42の出力C20T<i>は常にLowレベルとなる。
以上のようにして第1制御信号生成回路35で生成されたグローバル制御信号CDEC2<7:0>は、グローバルリファレンス回路34及び各リファレンス回路19に供給される。
図12(A)において、調整時にモード選択信号MODE2はアクティブ(Highレベル)に設定され、これを受けてバスセレクタ39は、調整コードD2<2:0>を選択出力する。一方、通常動作モード時にモード選択信号MODE2はLowレベルに設定され、MODE2の値に基づき、バスセレクタ39はヒューズラッチ回路38a〜cの出力C20T<i>を選択出力する。なお、モード選択信号MODE2をアクティブにして行う調整の詳細は、後述される。
図13は、図10に示したリード電圧温度補正回路33の構成を示す図である。
まず、リード電圧温度補正回路33が必要とされる理由について説明する。抵抗変化型メモリセルMCはMTJ素子21、及びセルトランジスタN14の直列抵抗を有するため、抵抗変化型メモリセルMCのハーフ抵抗値(論理「0」状態のリードパス寄生抵抗値と、論理「1」状態のリードパス寄生抵抗値の中間抵抗値)は、温度依存性が高い。一方、グローバルリファレンス回路34(図11(A))及びリファレンス回路19(図9(A))には、温度依存性をほとんど持たせていない。そのため、ビット線BL側のリードパス寄生抵抗と、グローバルリファレンス回路34・リファレンス回路19側のハーフ抵抗との間で、温度依存性に差が生じる。そこで、リード電圧温度補正回路33は、グローバルリファレンス回路34側に温度依存性(温度係数)を掛け算することにより、上記した温度依存性の差をキャンセルするようにしている。具体的には、リード電圧温度補正回路33は、抵抗変化型メモリセルMCの抵抗値が、現在の温度において室温時の何倍になっているかの比率を算出し、算出された比率に応じて電圧VGG30を補正し、補正した電圧VGG30Rを出力する機能を有する。
図13を参照すると、リード電圧温度補正回路33は、差動増幅器50、メモリセルレプリカ群54、55、可変抵抗器56、57、可変抵抗器制御信号生成回路58、電圧監視回路101を備えている。差動増幅器50は、差動増幅器50に接続される抵抗により減算増幅回路を構成している。ここで、差動増幅器50は、例えば、オペアンプ(演算増幅器)から構成される。上記の減算増幅回路は、オペアンプの応用回路として知られている回路である。
図13において、差動増幅器50には、以下の4つの抵抗が接続されている。1つ目は、差動増幅器50の反転入力端子(−)と低電位電源VSSの間に接続される可変抵抗器56(抵抗値をR1とする)である。2つ目は、差動増幅器50の反転入力端子(−)と出力端子の間の帰還路に挿入されたメモリセルレプリカ群54(抵抗値をR2とする)である。3つ目は、差動増幅器50の非反転入力端子(+)と、入力電圧VGG30の入力端子の間に接続される可変抵抗器57(抵抗値をR3とする)である。4つ目は、差動増幅器50の非反転入力端子(+)と低電位電源VSSの間に接続されるメモリセルレプリカ群55(抵抗値をR4とする)である。
ここで、R1=R3(=R0)、R2=R4(=R(rep))とおくと、リード電圧温度補正回路33の出力電圧VGG30Rは、(1)により表される。即ち、(1)は、電圧VGG30と電圧VSSの差を増幅する減算増幅回路の式となっている。さらに、式(1)において、VSS=0とすると、(2)になる。
VGG30R = (R(rep)/R0)×(VGG30−VSS) ・・・(1)
VGG30R = (R(rep)/R0)×VGG30 ・・・(2)
VGG30R = (R(rep)/R0)×(VGG30−VSS) ・・・(1)
VGG30R = (R(rep)/R0)×VGG30 ・・・(2)
次に、上記した4つの抵抗について、詳細に説明する。まず、メモリセルレプリカ群54、55は、R2=R4の条件から、同じ抵抗値を持たせるようにする。即ち、メモリセルレプリカ群55は、メモリセルレプリカ群54のレプリカとなるようにする。各々のメモリセルレプリカ群54は、メモリセルアレイ8(図5)内の抵抗変化型メモリセルMCと実質的に同じものを複数個(例えば、8個程度)並列に接続した構成とする。即ち、図13に示すように、メモリセルレプリカ群54において、MTJ素子61a〜61bの一端は共通に接続され、他端にはセルトランジスタN6a〜N6bが接続されている(メモリセルレプリカ群55の構成も同様である)。セルトランジスタN6a〜N6bは常にオン状態となるように電圧VPPが印加される。このように複数のMTJ素子を並列接続するのは、MTJ素子の特性ばらつきを抑制するためである。
各MTJ素子61a〜61bの記憶状態は、温度依存性を算出することができればよく、その抵抗状態は、論理「0」、論理「1」のいずれであってもよい。図13では、フリー層から固定層の方向に電流が流れるように接続されているため、低抵抗状態の論理「0」を記憶した状態となっている。また、予め所定の抵抗状態に書き込んだものを使用するようにしてもよい。
次に、可変抵抗器56、57は、リファレンス回路19やグローバルリファレンス回路34と同様に、温度依存性(温度係数)の小さな素子(例えば、N−抵抗等)を使用する。そして、可変抵抗器56、57は、R1=R3の条件から、同じ抵抗値を持たせるようにする。即ち、可変抵抗器57は可変抵抗器56のレプリカとなるようにする。
次に、可変抵抗器制御信号生成回路58について説明する。可変抵抗器制御信号生成回路58は、可変抵抗器56、57の抵抗値を調整する、例えば16ビットの可変抵抗器制御信号CDEC4<15:0>を生成する。可変抵抗器制御信号生成回路58は、コード4bit・トリミング回路59とデコーダ60とを備えている。コード4bit・トリミング回路59は、4個のヒューズラッチ回路138a〜dとバスセレクタ139とを備えている(各ヒューズラッチ回路138a〜dの構成は図12(B)のヒューズラッチ回路38aと同じである)。コード4bit・トリミング回路59は、4bitのコードCODE4<3:0>を出力し、デコーダ60により16bitの可変抵抗器制御信号CDEC4<15:0>に変換している。
図13において、調整時にモード選択信号MODE4はアクティブ(Highレベル)に設定され、これを受けてコード4bit・トリミング回路59内のバスセレクタ139は、調整コードD4<3:0>を選択出力する。一方、通常動作モード時にモード選択信号MODE4はLowレベルに設定され、MODE4の値に基づき、上記バスセレクタ139はヒューズラッチ回路138a〜dの出力C40T<i>を選択出力する。
モード選択信号MODE4がHighレベルとなる調整モードにおいて、調整コードD4<3:0>の調整は、室温でR0の値(可変抵抗器56、57の抵抗値)が、R(rep)(メモリセルレプリカ群54、55の抵抗値)と同じになるように最適化する。このように調整することで、室温では、(3)が成り立つ。
VGG30R ≒ VGG30 ・・・(3)
VGG30R ≒ VGG30 ・・・(3)
次に、図13において、電圧監視回路101について説明する。電圧監視回路101は、比較器51とバッファ52とが直列に接続され、バッファ52の出力を監視するための観測用PAD53を備えている。比較器51の反転入力端子(−)には電圧VGG30Rが供給され、比較器51の非反転入力端子(+)には電圧VGG30が供給される。また、電圧監視回路101は、比較器51の出力端子に接続された信号反転検出回路102を備えている。信号反転検出回路102は、比較器51の出力が遷移したことを検出して、信号i_REVERSEをHighレベルに活性化する機能を有する回路である。信号反転検出回路102が出力する信号i_REVERSEは、MODE4をアクティブに設定した調整時にD4<3:0>の調整を行う際に使用される(詳細は後述)。
室温時時に(3)が成り立つように調整することにより、リード電圧温度補正回路33による補正を室温時の状態を基準とすることができる。また、温度が室温(例えば300K=27℃)から変化した場合に、メモリセルレプリカ群54、55の抵抗値R(rep)が室温時に比して、現在、何倍になっているかという比率を、電圧比(VGG30R/VGG30)から得ることができる。また、入力電圧VGG30に上記比率を掛け算した電圧を、出力電圧VGG30Rとして出力し、電圧VGG30Rを読み出し動作の制御電圧とすることで、抵抗変化型メモリセルMCの温度特性を補正することができる。。
図3及び図10を参照して、グローバル制御信号生成回路15は、電圧VGG30、及びリード電圧温度補正回路33による電圧VGG30Rを、グローバル制御信号として各センスアンプ18に供給する。
図14(A)は、センスアンプ(読出回路)18の構成の一例を示す図である。
図14では、j番のメモリサブマット(図4のメモリサブマット_jに対応)に対応したセンスアンプが示される。センスアンプ18は、BL_IO、SL_IOと電気的に接続された抵抗変化型メモリセルMCに記憶された情報を読み出し、IO線対(IOT/IOB)に出力する機能を有する。センスアンプ18は、NMOSトランジスタN8、N9と、PMOSトランジスタP9、P10、P11、P12と、差動増幅器64と、ソース線制御回路63とを含んで構成される。
NMOSトランジスタN8のドレインはノードNrefと接続され、NMOSトランジスタN8のソースはリファレンス回路19と接続される。また、NMOSトランジスタN9のドレインはノードNと接続され、NMOSトランジスタN9のソースはBL_IOと接続される。また、NMOSトランジスタN8、N9のゲートには、それぞれ制御電圧VGG60R、VGG60が供給される。
ソース線制御回路63はNMOSトランジスタN12により構成され、読み出し動作時にリードイネーブル信号REがアクティブになると、NMOSトランジスタN12が導通し、SL_IOを電位VSSに制御する(ここで、図4で示したロウアクティブなリードイネーブル信号REBは、不図示のインバータ回路等により、ハイアクティブなリードイネーブル信号REに変換されているものとする)。
また、ノードNrefと高電位電源VDDの間にPMOSトランジスタP11が接続され、ノードNと高電位電源VDDの間にPMOSトランジスタP12が接続される。また、PMOSトランジスタP11及びP12のゲートはノードNrefに共通に接続される。
また、ノードNrefと高電位電源VDDの間、ノードNと高電位電源VDDの間には、それぞれPMOSトランジスタP9、P10が接続される。PMOSトランジスタP9、P10のゲートにはプレチャージ制御信号PCBが供給される。
ノードNref、Nは、それぞれ差動増幅器64の反転入力端子(−)、非反転入力端子(+)と接続され、差動増幅器64はノードNとノードNrefの電位差をセンス増幅する。センスアンプイネーブル信号SAEは、差動増幅器64に供給され、アクティブ時に差動増幅器64を活性化する。
差動増幅器64は、2つの出力端子OT/OBに互いに相補な信号を出力する。出力端子OTはNMOSトランジスタN11を介してIOTと接続され、出力端子OBはNMOSトランジスタN10を介してIOBと接続される。AND回路65にj番目のメモリサブマットを選択する選択信号YSW<j>と、リードイネーブル信号REとが入力され、AND回路65の出力は、NMOSトランジスタN10、N11のゲートと接続される。これにより、読み出し動作時で且つj番目のメモリサブマット選択時には、AND回路65の出力がHighレベルになり、NMOSトランジスタN10、N11が導通し、差動増幅器64によりセンス増幅された電圧がIOT、IOBに出力される。
図14(B)は、制御電圧VGG60、VGG60Rを生成する回路を示している。
読み出し動作時で、リードイネーブル信号REがHighレベルの場合は、CMOSトランスファゲート70a、70bは導通し、NMO SトランジスタN12a、N12bはオフになる。これにより、制御電圧VGG60、VGG60Rは、それぞれセンスアンプ18に供給される電圧VGG30、VGG30Rになる。他方、リードイネーブル信号REがLowレベルのときには、CMOSトランスファゲート70a、70bは非導通になり、制御電圧VGG60、VGG60Rは電位VSSに非活性化され、NMOSトランジスタN8、N9はオフになる。
また、スタンバイ状態等でセンスアンプを動作させない場合には、プリチャージ信号PCBをLowレベルに制御することによりノードNref、Nを中間電位(略VDD)とする。これにより、差動増幅器64のPMOSトランジスタで構成された入力ゲートに該中間電位が伝わり、スタンバイ電流を低減することができる、という効果が得られる。
次に、センスアンプ18のセンス増幅の動作について説明する。読み出し動作時には、前述したように、NMOSトランジスタN8、N9のゲート電圧VGG60R、VGG60Gは、それぞれグローバル制御信号生成回路15(図10)から供給される電圧VGG30R、VGG30になる。
各センスアンプ18に対応した各リファレンス回路19に供給される電流をIREFj’(j=0〜15)とする。また、室温における場合(VGG30R≒VGG30の場合)を、IREFj(j=0〜15)とする。また、各リファレンス回路19が供給するハーフ抵抗値をRhj(j=0〜15)とする。また、グローバルリファレンス回路34(図10、図11(A))が供給するハーフ抵抗値をRhとする。以下に、(a)〜(c)の場合についてそれぞれ説明する。
(a)Rhj=Rhの場合
IREFj=IREFとなる。
(b)Rhj>Rhの場合
IREFj<IREFとなる。
(c)Rhj<Rhの場合
IREFj>IREFとなる。
(a)Rhj=Rhの場合
IREFj=IREFとなる。
(b)Rhj>Rhの場合
IREFj<IREFとなる。
(c)Rhj<Rhの場合
IREFj>IREFとなる。
上記(a)〜(c)のように、リファレンス回路19毎(j=0〜15)に調整されたハーフ抵抗値を使用することで、各電流値IREFj(j=0〜15)がセンスアンプ18毎に最適化されている。さらに、温度が室温から変化した場合には、各電流値は、IREFj’に補正される。
次に、j番目のセンスアンプ18において、NMOSトランジスタN9を介して、BL_IO(図5)からBL_IOと電気的に接続された抵抗変化型メモリセルMCに流れる電流をIREADjとする。リードパス寄生抵抗値がリファレンス回路19のハーフ抵抗値と等しい場合には、IREADj=IREFj’となる。
また、抵抗変化型メモリセルMCに、論理「0」が記憶されており、リードパス寄生抵抗値がリファレンス回路19のハーフ抵抗値よりも小さい場合には、IREADj>IREFj’となる。この場合、ノードNの電位は、ノードNrefの電位に対して大幅に低下する。差動増幅器64は、ノードNとノードNrefの電位差を増幅し、差動増幅器64の出力端子OTは低い電圧を出力する。
一方、抵抗変化型メモリセルMCに低抵抗状態である論理「1」が記憶されており、リードパス寄生抵抗値がリファレンス回路19のハーフ抵抗値よりも大きい場合には、IREADj<IREFj’となる。この場合、ノードNの電位は、ノードNrefの電位に対して大幅に上昇する。差動増幅器64は、ノードNとノードNrefの差を増幅し、差動増幅器64の出力端子OTは高い電圧を出力する。
次に、図14(A)において、ローカル制御信号C6<7:0>を生成する部分の構成について説明する。 図14(A)において、調整時にモード選択信号MODE6はアクティブ(Highレベル)に設定され、これを受けてバスセレクタ68は、調整コードD6<7:0>を選択出力する。一方、通常動作モード時にモード選択信号MODE6はLowレベルに設定され、MODE6の値に基づき、上記バスセレクタ68はローカル制御信号生成回路20の出力SOUT<7:0>を選択出力する。なお、調整コードD6<7:0>の調整の詳細は、後述される。
図14(A)において、制御信号CUTBは、YSW<j>と制御信号CENTが入力されたNAND回路66の出力信号である。ここで、制御信号CENTは、アンチヒューズの破壊を命令する信号である。これにより、YSW<j>が選択され(Highレベル)、制御信号CENTがHighレベル(アンチヒューズの破壊を指示)になると、制御信号CUTBがLowレベルに活性化される。また、レベルシフタ67は、制御信号CUTBの電圧レベルをVDDからVPPに変換するために設けたものである。生成された制御信号CUTBは、8個のローカル制御信号生成回路20に供給される。
図15は、図14で示したローカル制御信号生成回路20の構成を示す図である。
図15では、8個のローカル制御信号生成回路20のうち、i番目のローカル制御信号生成回路20が示される。ローカル制御信号生成回路20は、MTJトンネル膜破壊型アンチヒューズ73とアンチヒューズセンス回路72とを備えている。図15において、MTJトンネル膜破壊型アンチヒューズ73は、不図示の昇圧電源回路からの昇圧電源VPPとノードNAF1間に縦積みされ、ゲートに調整コードD6<i>と制御信号CUTBをそれぞれ入力するPMOSトランジスタP14、P15と、ノードNAFと低電位電源VSS間に接続されたMTJ素子74a、74bを備えている。
図15では、8個のローカル制御信号生成回路20のうち、i番目のローカル制御信号生成回路20が示される。ローカル制御信号生成回路20は、MTJトンネル膜破壊型アンチヒューズ73とアンチヒューズセンス回路72とを備えている。図15において、MTJトンネル膜破壊型アンチヒューズ73は、不図示の昇圧電源回路からの昇圧電源VPPとノードNAF1間に縦積みされ、ゲートに調整コードD6<i>と制御信号CUTBをそれぞれ入力するPMOSトランジスタP14、P15と、ノードNAFと低電位電源VSS間に接続されたMTJ素子74a、74bを備えている。
MTJトンネル膜破壊型アンチヒューズ73では、図12(B)のヒューズ40のような汎用的なヒューズに代えて、MTJ素子74a、74bを使用し、最適化した調整コードD6<7:0>の永久保存(少なくともデバイス寿命期間の保存)を行っている。
抵抗変化型メモリセルMCのMTJ素子では、通常は、論理「0」の書き込み、論理「1」の書き込み、読み出しのいずれかの動作が行われる。これらの動作でMTJ素子に印加される電圧は、それぞれ、VWT0、VWT1、VREADである。書き込み電圧VWT0、VWT1よりも高い電圧VPP(例えば、ワード線を駆動する電圧)を印加することにより、MTJ素子のトンネル膜が破壊され、破壊/非破壊により情報を記録することができる。トンネル膜を破壊したMTJ素子は導通状態となり、トンネル膜を破壊しないMTJ素子は抵抗を持つ状態となることで、情報を記憶することができる。破壊電圧は、トンネル膜の膜厚で決まるが、大体0.5〜1V程度である。この電圧は、ヒューズ40(図12(B))を切断する電圧に比べると低く、特別な高電圧を用意する必要がなく、メモリセルアレイ8内の既存の電圧(例えば、ワード線を駆動する昇圧電圧(高電圧)VPP)などを流用でき、センスアンプ18毎に低コストでMTJトンネル膜破壊型アンチヒューズ73を配置することが可能になる。
MTJトンネル膜破壊型アンチヒューズ73において、制御信号CUTBと調整コードD6<i>が共にLowレベルの場合、MTJ素子74a、74bに電圧VPPが印加されてMTJ素子74a、74bのトンネル膜が破壊される。
次に、図15のアンチヒューズセンス回路72について説明する。アンチヒューズセンス回路72は、ノードNAF3に入力が接続され、SOUT<i>に出力が接続されたインバータ回路79、ノードNAF2に入力が接続され、ノードNAF3に出力が接続されたインバータ回路78、ノードNAF3に入力が接続されたインバータ回路77、インバータ回路77の出力とNAF2間に接続されゲートに制御信号LDBを入力するNMOSトランジスタN13、電圧源VSETとノードNAF2間に接続されたPMOSトランジスタP13、ノードNAF2とアンチヒューズ73のノードNAF1間に接続され、相補信号LDT/LDBで導通、非導通が制御されるCMOSトランスファゲート75を備えている。
アンチヒューズセンス回路72は、制御信号LDTがHighレベルのときに、MTJ素子74a、74bに記録されたコードをロードし、SOUT<i>として出力する機能を有する。
制御信号LDTをHighレベルにすると、スイッチ回路75が導通し、ノードNAF2の電位はノードNAF1の電位に等しくなる。MTJ素子74a、74bのトンネル膜が破壊されている場合はMTJ素子74a、74bは導通状態になるので、ノードNAF2は電位VSSに近い低電圧となり、SOUT<i>はLowレベルとなる。一方、MTJ素子74a、74bのトンネル膜が破壊されていない場合は電源VSETからMTJ素子74a、74bに電流が流れ、ノードNAF2の電位はMTJ素子74a、74bによる電圧降下によりVSETに近い高電位となり、SOUT<i>はHighレベルとなる。制御信号LDTをLowレベルにすると、CMOSトランスファゲート75が非導通、PMOSトランジスタP13がオフになるが、NMOSトランジスタN13がオンになり、インバータ回路77、78によって機能するラッチ回路によりSOUT<i>が保持される。
MTJトンネル膜破壊型アンチヒューズ73において、2つのMTJ素子74a、74bを直列に接続しているのは、ロード動作(LDT:Highレベル)の際に、MTJ素子のトンネル膜破壊を起こさせないためである。電圧VSETは、インバータ回路77、78で構成されるラッチ回路の入力閾値以上でなければならないが、電圧VSETを大きくし過ぎると、ロード動作時にMTJ素子のトンネル膜破壊が生じてしまう。VSETをラッチ回路の入力閾値以上にし、且つ、MTJ素子のトンネル膜破壊が生じないVSETを設定することが条件によっては難しい場合がある。そこで、2つのMTJ素子を直列接続することにより、VSETをラッチ回路の入力閾値に対して十分大きくした場合であっても、ロード動作時に、1つのMTJ素子に印加される電圧は半分になるため、トンネル膜破壊が生じる問題を回避することができる。尚、直列に接続するMTJ素子の数は2つに限定されず、トンネル膜破壊が生じる電圧が低くなる程、直列に接続する数を増やすようにするとよい。
次に、第1の実施形態に係る半導体装置1の調整手順を説明しながら、半導体装置1の作用効果について説明する。なお、以下の調整手順の説明において、コード調整回路10を示す図3を適宜参照する。半導体製造工程のウエハテスト等において、ウエハ状態の半導体装置1はテスタ(不図示)と接続され、調整が行われる。半導体装置1はテスタからの調整コマンドを受けると、コード調整回路10は、調整コマンドに応じて、モード選択信号(MODE2、MODE4、MODE6)、及び調整コード(D2<2:0>、D4<3:0>、D6<7:0>)等を生成する。
(調整コマンドCOM1による調整)
コード調整回路10(図3)は、調整コマンドCOM1を受けた場合、モード選択信号MODE2をアクティブ(Highレベル)にする。コード調整回路10(図3)には、3bitの内部カウンタ(不図示)が設けられており、該カウンタの出力を調整コードD2<2:0>として出力する。コード調整回路10は、モード選択信号MODE2と上記調整コードD2<2:0>とをグローバル制御信号生成回路15(図3、図10)に供給する。
コード調整回路10(図3)は、調整コマンドCOM1を受けた場合、モード選択信号MODE2をアクティブ(Highレベル)にする。コード調整回路10(図3)には、3bitの内部カウンタ(不図示)が設けられており、該カウンタの出力を調整コードD2<2:0>として出力する。コード調整回路10は、モード選択信号MODE2と上記調整コードD2<2:0>とをグローバル制御信号生成回路15(図3、図10)に供給する。
調整コマンドCOM1による調整はウエハ内の各チップに対して順次行われるが、以下の説明では、ウエハ内の複数のチップのうち、ある1つのチップの半導体装置1に対する調整方法を示している。調整コマンドCOM1は、グローバルリファレンス回路34(図11(A))、及び各リファレンス回路19のグローバル可変抵抗回路97(図9(A))を調整するコマンドである。コード調整回路10(図3)とテスタは、以下のステップA1〜A10を実行する。
<ステップA1>
コード調整回路10は、調整コマンドCOM1を受けると、モード選択信号MODE2をアクティブ(Highレベル)にする。
<ステップA2>
コード調整回路10は、調整コードD2<2:0>=“000”に設定する(調整コードD2<2:0>を出力する3bitの内部カウンタを0クリアする)。
<ステップA3>
チップ内の各抵抗変化型メモリセルMCを論理「0」に書き込む。
<ステップA4>
チップ内の各抵抗変化型メモリセルMCを読み出し、読み出しエラーとなった(読み出しデータが論理「1」となった)セル数をカウントし、カウント値(ERR_COUNT01)を一時保存する。
<ステップA5>
チップ内の各抵抗変化型メモリセルMCを論理「1」に書き込む。
<ステップA6>
チップ内の各抵抗変化型メモリセルMCを読み出し、読み出しエラーとなった(読み出しデータが論理「0」となった)セル数をカウントし、カウント値(ERR_COUNT10)を一時保存する。
<ステップA7>
一時保存されたERR_COUNT01とERR_COUNT10を加算し、加算結果ERR_COUNTを一時保存する。
<ステップA8>
コード調整回路10の3bitの内部カウンタにより調整コードD2<2:0>をインクリメントし、ステップ(A3)〜(A7)を実行する。上記をD2<2:0>=“111”になるまで繰り返す。
<ステップA9>
調整コードD2<2:0>=“000”〜“111”(8通り)のうちで、ERR_COUNTが最小になる場合の調整コードD2<2:0>を最適コードD2_opt<2:0>とする。
<ステップA10>
コード調整回路は、MODE2をLowレベル(通常動作モード)にし、調整コマンドCOM1を終了する。
<ステップA1>
コード調整回路10は、調整コマンドCOM1を受けると、モード選択信号MODE2をアクティブ(Highレベル)にする。
<ステップA2>
コード調整回路10は、調整コードD2<2:0>=“000”に設定する(調整コードD2<2:0>を出力する3bitの内部カウンタを0クリアする)。
<ステップA3>
チップ内の各抵抗変化型メモリセルMCを論理「0」に書き込む。
<ステップA4>
チップ内の各抵抗変化型メモリセルMCを読み出し、読み出しエラーとなった(読み出しデータが論理「1」となった)セル数をカウントし、カウント値(ERR_COUNT01)を一時保存する。
<ステップA5>
チップ内の各抵抗変化型メモリセルMCを論理「1」に書き込む。
<ステップA6>
チップ内の各抵抗変化型メモリセルMCを読み出し、読み出しエラーとなった(読み出しデータが論理「0」となった)セル数をカウントし、カウント値(ERR_COUNT10)を一時保存する。
<ステップA7>
一時保存されたERR_COUNT01とERR_COUNT10を加算し、加算結果ERR_COUNTを一時保存する。
<ステップA8>
コード調整回路10の3bitの内部カウンタにより調整コードD2<2:0>をインクリメントし、ステップ(A3)〜(A7)を実行する。上記をD2<2:0>=“111”になるまで繰り返す。
<ステップA9>
調整コードD2<2:0>=“000”〜“111”(8通り)のうちで、ERR_COUNTが最小になる場合の調整コードD2<2:0>を最適コードD2_opt<2:0>とする。
<ステップA10>
コード調整回路は、MODE2をLowレベル(通常動作モード)にし、調整コマンドCOM1を終了する。
次に、プローバ(不図示)は、上記の最適コードD2_opt<2:0>を取得し、最適コードD2_opt<2:0>に応じてヒューズラッチ回路38a〜cのFUSE40(図12(B))をレーザ照射等により溶断し、FUSE40に永久保存(デバイス寿命の間保存)する(最適コードD2_opt<2:0>のビットの値が“1”の場合、対応するFUSE40を溶断する)。以降の通常動作モードでは、図12(A)において、バスセレクタ39はヒューズラッチ回路38a〜cの出力C20T<2:0>を出力する。
上記の調整コマンドCOM1による調整により、以下の作用効果が得られる。半導体装置1のチップ間で、抵抗変化型メモリセルMCの抵抗値にばらつきがあった場合に、チップ毎に、読み出しエラーのセル数(ステップ(A7)におけるERR_COUNT)が最小になる最適コードD2_opt<2:0>を算出するようにしている。これにより、リードパス率が向上する(ここで、リードパス率とは、論理「1」状態、論理「0」状態にそれぞれ記憶させたセルのリード成功確率の和である)。即ち、最適コードD2_opt<2:0>によるグローバルリファレンス回路34(図11(A))及びリファレンス回路19(図9(A))のハーフ抵抗値を使用することで、チップ間の抵抗値ばらつきが補正され、リードパス率を向上させ、読み出しマージンを拡大することができる。
(調整コマンドCOM2による調整)
コード調整回路10(図3)は、調整コマンドCOM2を受けた場合、モード選択信号MODE4をアクティブ(Highレベル)にする。コード調整回路10には、4bitの内部カウンタ(不図示)が設けられており、該4bitの内部カウンタの出力を調整コードD4<3:0>として出力する。コード調整回路10は、モード選択信号MODE4と上記調整コードD4<3:0>とをグローバル制御信号生成回路15(図3、図10)に供給する。また、コード調整回路10は、電圧監視回路101の信号反転検出回路102(図13)の出力i_REVERSEを入力する。
コード調整回路10(図3)は、調整コマンドCOM2を受けた場合、モード選択信号MODE4をアクティブ(Highレベル)にする。コード調整回路10には、4bitの内部カウンタ(不図示)が設けられており、該4bitの内部カウンタの出力を調整コードD4<3:0>として出力する。コード調整回路10は、モード選択信号MODE4と上記調整コードD4<3:0>とをグローバル制御信号生成回路15(図3、図10)に供給する。また、コード調整回路10は、電圧監視回路101の信号反転検出回路102(図13)の出力i_REVERSEを入力する。
調整コマンドCOM2による調整はウエハ内の各チップに対して順次行われるが、以下の説明では、ウエハ内の複数のチップのうち、ある1つのチップの半導体装置1に対する調整方法を示している。調整コマンドCOM2は、リード電圧温度補正回路33の可変抵抗器56、57(図13)を調整するコマンドである。該調整コマンドCOM2は、室温(例えば300K=27℃)の環境で行う。コード調整回路10(図3)とテスタは、以下のステップB1〜B5を実行する。
<ステップB1>
コード調整回路10は、調整コマンドCOM2を受けると、モード選択信号MODE4をアクティブ(Highレベル)にする。
<ステップB2>
コード調整回路10は、調整コードD4<3:0>=“0000”に設定する(調整コードD4<3:0>を出力する4bitの内部カウンタを0クリアする)。なお、この初期状態で信号反転検出回路102が出力するi_REVERSEはLowレベルである。
<ステップB3>
コード調整回路10は、上記4bitの内部カウンタにより、調整コードD4<3:0>を“0000”から“1111”に向けて、カウントアップを開始する。
<ステップB4>
図13において、信号反転検出回路102は、比較器51の出力が遷移したことを検出して、信号i_REVERSEをHighレベルに活性化する機能を有する。ステップB3の途中で、信号反転検出回路102の出力i_REVERSEがLowレベルからHighレベルに遷移すると、コード調整回路10はi_REVERSEの立ち上がりエッジのタイミングで、上記4bitの内部カウンタのカウントアップを停止する。この時の上記4bitの内部カウンタのカウント値を、調整コードD4<3:0>の最適コードD4_opt<3:0>とする。i_REVERSEの立ち上がりエッジのタイミングは、前述した式(3)が成り立つ条件に対応している。
<ステップB5>
MODE4をLowレベル(通常動作モード)にし、調整コマンドCOM2を終了する。
<ステップB1>
コード調整回路10は、調整コマンドCOM2を受けると、モード選択信号MODE4をアクティブ(Highレベル)にする。
<ステップB2>
コード調整回路10は、調整コードD4<3:0>=“0000”に設定する(調整コードD4<3:0>を出力する4bitの内部カウンタを0クリアする)。なお、この初期状態で信号反転検出回路102が出力するi_REVERSEはLowレベルである。
<ステップB3>
コード調整回路10は、上記4bitの内部カウンタにより、調整コードD4<3:0>を“0000”から“1111”に向けて、カウントアップを開始する。
<ステップB4>
図13において、信号反転検出回路102は、比較器51の出力が遷移したことを検出して、信号i_REVERSEをHighレベルに活性化する機能を有する。ステップB3の途中で、信号反転検出回路102の出力i_REVERSEがLowレベルからHighレベルに遷移すると、コード調整回路10はi_REVERSEの立ち上がりエッジのタイミングで、上記4bitの内部カウンタのカウントアップを停止する。この時の上記4bitの内部カウンタのカウント値を、調整コードD4<3:0>の最適コードD4_opt<3:0>とする。i_REVERSEの立ち上がりエッジのタイミングは、前述した式(3)が成り立つ条件に対応している。
<ステップB5>
MODE4をLowレベル(通常動作モード)にし、調整コマンドCOM2を終了する。
次に、プローバ(不図示)は、上記の最適コードD4_opt<3:0>を取得し、算出した最適コードD4_opt<3:0>に応じて、コード4bit・トリミング回路59内のヒューズラッチ回路138a〜dのヒューズ(不図示)をレーザ照射等により溶断し、ヒューズに永久保存(デバイス寿命の間保存)する(最適コードD4_opt<3:0>のビットの値が“1”の場合、対応するヒューズを溶断する)。以降の通常動作モードでは、図13において、バスセレクタ139はヒューズラッチ回路138a〜dの出力C40T<3:0>を出力する。
リード電圧温度補正回路33(図13)により、グローバルリファレンス回路34(図11(A))、及びリファレンス回路19(図9(A))は、抵抗変化型メモリセルMCの抵抗値の温度特性を補正したハーフ抵抗を供給することができる。これにより、温度変動時における読み出しマージンを維持することができる。また、上記の調整コマンドCOM2による調整では、室温状態で、可変抵抗器56、57(図13)の抵抗値がメモリセルレプリカ群54、55(図13)の抵抗値になるように、最適コードD4_opt<3:0>を算出するようにしている。これにより、リード電圧温度補正回路33による補正を、室温状態を基準にして動作させることが可能になる。
(調整コマンドCOM3による調整)
コード調整回路10(図3)は、調整コマンドCOM3を受けた場合、モード選択信号MODE6をアクティブ(Highレベル)にする。コード調整回路10(図3)には、8bitのシフトレジスタ(不図示)が設けられており、該シフトレジスタの出力をD6<7:0>として出力する。コード調整回路10(図3)は、モード選択信号MODE6、上記D6<7:0>を、それぞれ、バスセレクタ68(図14)、ローカル制御信号生成回路20(図14)に供給する。また、調整により、最適なD6<7:0>が算出された後、MTJトンネル膜破壊型アンチヒューズ73(図15)に記録する際に、コード調整回路10は、制御信号CENTをアクティブ(Highレベル)にし、NAND回路66(図14)に供給する。
コード調整回路10(図3)は、調整コマンドCOM3を受けた場合、モード選択信号MODE6をアクティブ(Highレベル)にする。コード調整回路10(図3)には、8bitのシフトレジスタ(不図示)が設けられており、該シフトレジスタの出力をD6<7:0>として出力する。コード調整回路10(図3)は、モード選択信号MODE6、上記D6<7:0>を、それぞれ、バスセレクタ68(図14)、ローカル制御信号生成回路20(図14)に供給する。また、調整により、最適なD6<7:0>が算出された後、MTJトンネル膜破壊型アンチヒューズ73(図15)に記録する際に、コード調整回路10は、制御信号CENTをアクティブ(Highレベル)にし、NAND回路66(図14)に供給する。
調整コマンドCOM3による調整はウエハ内の各チップに対して順次行われるが、以下の説明では、ウエハ内の複数のチップのうち、1つのチップの半導体装置1における1つのセンスアンプ18(図5のj番目のメモリサブマット_jに対応したセンスアンプ18)に対する調整方法を示す。調整コマンドCOM3は、各リファレンス回路19のローカル可変抵抗回路98a、98b(図9(A))を調整するコマンドである。コード調整回路10(図3)とテスタは、以下のステップC1〜C10を実行する。
<ステップC1>
コード調整回路10は、調整コマンドCOM3を受けると、モード選択信号MODE6をアクティブ(Highレベル)にする。
<ステップC2>
コード調整回路10は、調整コードD6<7:0>=“00000001”に設定する(調整コードD6<7:0>を出力する内部のシフトレジスタを初期化する)。
<ステップC3>
メモリサブマット_j内の各抵抗変化型メモリセルMCを論理「0」に書き込む。
<ステップC4>
メモリサブマット_j内の各抵抗変化型メモリセルMCを読み出し、読み出しエラーとなった(読み出しデータが論理「1」となった)セル数をカウントし、カウント値(ERR_COUNT01)を一時保存する。
<ステップC5>
メモリサブマット_j内の各抵抗変化型メモリセルMCを論理「1」に書き込む。
<ステップC6>
メモリサブマット_j内の各抵抗変化型メモリセルMCを読み出し、読み出しエラーとなった(読み出しデータが論理「0」となった)セル数をカウントし、カウント値(ERR_COUNT10)を一時保存する。
<ステップC7>
一時保存されたERR_COUNT01とERR_COUNT10を加算し、加算結果ERR_COUNTを一時保存する。
<ステップC8>
コード調整回路10において、上記内部のシフトレジスタにより、調整コードD6<7:0>を1ビット左シフトし、ステップC3〜C7を実行する。上記をD6<7:0>=“10000000”になるまで繰り返す。
<ステップC9>
調整コードD6<7:0>=“00000001”〜“10000000”(8通り)のうちで、ERR_COUNTが最小になる場合の調整コードD6<7:0>を最適コードD6_opt<7:0>とする。
<ステップC10>
MODE6をLowレベル(通常動作モード)にし、調整コマンドCOM3を終了する。
<ステップC1>
コード調整回路10は、調整コマンドCOM3を受けると、モード選択信号MODE6をアクティブ(Highレベル)にする。
<ステップC2>
コード調整回路10は、調整コードD6<7:0>=“00000001”に設定する(調整コードD6<7:0>を出力する内部のシフトレジスタを初期化する)。
<ステップC3>
メモリサブマット_j内の各抵抗変化型メモリセルMCを論理「0」に書き込む。
<ステップC4>
メモリサブマット_j内の各抵抗変化型メモリセルMCを読み出し、読み出しエラーとなった(読み出しデータが論理「1」となった)セル数をカウントし、カウント値(ERR_COUNT01)を一時保存する。
<ステップC5>
メモリサブマット_j内の各抵抗変化型メモリセルMCを論理「1」に書き込む。
<ステップC6>
メモリサブマット_j内の各抵抗変化型メモリセルMCを読み出し、読み出しエラーとなった(読み出しデータが論理「0」となった)セル数をカウントし、カウント値(ERR_COUNT10)を一時保存する。
<ステップC7>
一時保存されたERR_COUNT01とERR_COUNT10を加算し、加算結果ERR_COUNTを一時保存する。
<ステップC8>
コード調整回路10において、上記内部のシフトレジスタにより、調整コードD6<7:0>を1ビット左シフトし、ステップC3〜C7を実行する。上記をD6<7:0>=“10000000”になるまで繰り返す。
<ステップC9>
調整コードD6<7:0>=“00000001”〜“10000000”(8通り)のうちで、ERR_COUNTが最小になる場合の調整コードD6<7:0>を最適コードD6_opt<7:0>とする。
<ステップC10>
MODE6をLowレベル(通常動作モード)にし、調整コマンドCOM3を終了する。
なお、実際は、1つのチップ内のメモリサブマット_j(j=0〜15)に対し、上記ステップC2〜C9を繰り返す。
次に、算出された各最適コードD6_opt<7:0>をMTJトンネル膜破壊型アンチヒューズ73(図15)に永久保存(デバイス寿命の間保存)するステップについて、以下に示す。
<ステップC11>
コード調整回路10は、メモリサブマット_j(j=0)のセンスアンプ18に対して得られた最適コードD6_opt<7:0>を調整コードD6<7:0>に設定する。
<ステップC12>
例えば、アドレス信号ADDにより、選択信号YSW<j>(j=0)をHighレベルに活性化する。
<ステップC13>
コード調整回路10(図3)は、制御信号CENTをHighレベルに活性化し、MTJトンネル膜破壊型アンチヒューズ73(図15)のMTJ素子74a、74bのトンネル膜破壊により、D6<7:0>を永久保存(デバイス寿命期間中保存)する。図15において、D6<7:0>のビットの値が“0”の場合にMTJ素子74a、74bのトンネル膜破壊が行われ、D6<7:0>のビットの値が“1”の場合にはMTJ素子74a、74bのトンネル膜破壊は行われない。
<ステップC14>
ステップC11〜C13をメモリサブマット_j(j=1〜15)に対して、繰り返す。以降の通常動作モードでは、図14において、バスセレクタ68は、MTJトンネル膜破壊型アンチヒューズ73をロードした信号SOUT<7:0>を出力する。
<ステップC11>
コード調整回路10は、メモリサブマット_j(j=0)のセンスアンプ18に対して得られた最適コードD6_opt<7:0>を調整コードD6<7:0>に設定する。
<ステップC12>
例えば、アドレス信号ADDにより、選択信号YSW<j>(j=0)をHighレベルに活性化する。
<ステップC13>
コード調整回路10(図3)は、制御信号CENTをHighレベルに活性化し、MTJトンネル膜破壊型アンチヒューズ73(図15)のMTJ素子74a、74bのトンネル膜破壊により、D6<7:0>を永久保存(デバイス寿命期間中保存)する。図15において、D6<7:0>のビットの値が“0”の場合にMTJ素子74a、74bのトンネル膜破壊が行われ、D6<7:0>のビットの値が“1”の場合にはMTJ素子74a、74bのトンネル膜破壊は行われない。
<ステップC14>
ステップC11〜C13をメモリサブマット_j(j=1〜15)に対して、繰り返す。以降の通常動作モードでは、図14において、バスセレクタ68は、MTJトンネル膜破壊型アンチヒューズ73をロードした信号SOUT<7:0>を出力する。
上記の調整コマンドCOM3による調整により、以下の作用効果が得られる。半導体装置1のチップ内で、抵抗変化型メモリセルMCの抵抗値にばらつきがあった場合に、センスアンプ(図5のメモリサブマット_j(j=0〜15)に対応したセンスアンプ18)毎に、読み出しエラーのセル数(ステップC7におけるERR_COUNT)が最小になる最適コードD6_opt<7:0>を算出するようにしている。これにより、リードパス率が向上する。即ち、センスアンプ毎(図5のメモリサブマット_j(j=0〜15)に対応したセンスアンプ18毎)に最適化された最適コードD6_opt<7:0>による、リファレンス回路19(図9(A))のハーフ抵抗値を使用することで、センスアンプ(図5のメモリサブマット_j(j=0〜15)に対応したセンスアンプ18)間の抵抗値のばらつきが補正され、チップ間の抵抗値のばらつきのみを補正した場合に対して、さらにリードパス率を向上させ、読み出しマージンを拡大することができる。
前記実施形態の作用効果を纏めると以下の通りである。
前記実施形態に係る半導体装置によれば、グローバルリファレンス回路34(図11(A))、及びリファレンス回路19(図9(A))が供給するハーフ抵抗値をチップ毎に調整することにより、チップ間の抵抗値ばらつきが補正され、リードパス率を向上させ、読み出しマージンを拡大することができる。さらに、センスアンプ毎(図5のメモリサブマット_j(j=0〜15)に対応したセンスアンプ18毎)に対応したリファレンス回路19が供給するハーフ抵抗値を個別に調整することにより、チップ内におけるセンスアンプ18間の抵抗値ばらつきが補正され、チップ間の抵抗値のばらつきのみを補正した場合に対して、さらに、リードパス率を向上させ、読み出しマージンを拡大することができる。
また、グローバルリファレンス回路34(図11(A))、及びリファレンス回路19(図9(A))は、図13のリード電圧温度補正回路33により、抵抗変化型メモリセルMCの抵抗値の温度特性を補正したハーフ抵抗を供給することができる。これにより、温度変動時における読み出しマージンを維持することができる。
グローバルリファレンス回路34(図11(A))、リファレンス回路19(図9(A))に含まれる抵抗は、抵抗変化型メモリセルではなく固定抵抗素子を使用することで、抵抗状態の経時変化や読み出しディスターブの問題を解消することができる。また、リファレンス抵抗に対する再書き込みも不要になる。
また、図9(A)のリファレンス回路19のハーフ抵抗値を制御するローカル制御信号C6<7:0>の永久保存(デバイス寿命期間中の保存)に、MTJ素子74a、74bのトンネル膜破壊を使用することで、特別な高電圧を用意する必要がなく、メモリセルアレイ内の既存の電圧(例えば、ワード線を駆動する電圧VPP)などを流用でき、センスアンプ18毎に低コストでMTJトンネル膜破壊型アンチヒューズ73を配置することが可能になる。
なお、本実施形態において示したグローバル制御信号(図10のCDEC2<7:0>)、ローカル制御信号(図14のC6<7:0>)、可変抵抗器制御信号(図13のCDEC4<15:0>)等のビット数は一例を示したものであり、これに制限されるものでなく、他のビット数としてもよい。
また、本実施形態では、図5に例示したように、センスアンプ18及びリファレンス回路19をメモリサブマット毎に設ける構成について示されているが、かかる構成に制限されるものでなく、例えばビット線毎に、図5のセンスアンプ18及びリファレンス回路19を設けるようにしてもよい。または、複数のセンスアンプ18を複数のブロックに分け、ブロック毎にリファレンス回路19を設けるようにしてもよい。
なお、本発明の全開示(請求の範囲及び図面を含む)の枠内において、さらにその基本的技術思想に基づいて、実施形態の変更・調整が可能である。また、本発明の請求の範囲の枠内において種々の開示要素(各請求項の各要素、各実施形態の各要素、各図面の各要素等を含む)の多様な組み合わせないし選択が可能である。すなわち、本発明は、請求の範囲及び図面を含む全開示、技術的思想にしたがって当業者であればなし得るであろう各種変形、修正を含むことは勿論である。特に、本書に記載した数値範囲については、当該範囲内に含まれる任意の数値ないし小範囲が、別段の記載のない場合でも具体的に記載されているものと解釈されるべきである。
1:半導体装置
2a:第1抵抗変化型メモリセル(抵抗変化型メモリセル)
2b:第2抵抗変化型メモリセル(抵抗変化型メモリセル)
3a:第1読出回路(読出回路)
3b:第2読出回路(読出回路)
4a、6a:第1調整抵抗(調整抵抗)
4b、6b:第2調整抵抗(調整抵抗)
5a:第1リファレンス回路(リファレンス回路)
5b:第2リファレンス回路(リファレンス回路)
7a〜b:メモリサブマット
8:メモリセルアレイ(MCアレイ)
9、MC:抵抗変化型メモリセル
10:コード調整回路
11:第1可変抵抗回路
12:第2可変抵抗回路
13:第3可変抵抗回路
14:第4可変抵抗回路
15:グローバル制御信号生成回路
16:ビット線/ソース線用スイッチ(BL/SL用SW)
17:書き込みドライバ
18:センスアンプ(読出回路)
19:リファレンス回路
20:ローカル制御信号生成回路
21、74a〜b:MTJ素子
22:フリー層
23:固定層
24:絶縁層
25、43a〜c、70a〜b、75、80a〜c、81a〜e、143a〜c:スイッチ回路(CMOSトランスファゲート)
26、66:NAND回路
27〜31、41、42、47a〜b、69、76〜79、86、87a〜b、88a〜b:インバータ回路
32:定電流源
33:リード電圧温度補正回路
34:グローバルリファレンス回路
37、60:デコーダ
36:コード3bit・トリミング回路
35:第1制御信号生成回路
37:デコーダ
38a〜c、138a〜d:ヒューズラッチ回路
39、68、139:バスセレクタ
40:ヒューズ(FUSE)
43a〜c:スイッチ回路
44、45、46a〜c、83b〜e、144、145a〜d、146a〜c:抵抗
50、64:差動増幅器
51:比較器
52:バッファ
53:観測用PAD
54、55:メモリセルレプリカ群
56、57:可変抵抗器
58:可変抵抗器制御信号生成回路
59:コード4bit・トリミング回路
61a〜b、62a〜b:MTJ素子
63:ソース線制御回路
65:AND回路
67:レベルシフタ
72:アンチヒューズセンス回路
73:MTJトンネル膜破壊型アンチヒューズ
85:OR回路
97:グローバル可変抵抗回路
98a〜b:ローカル可変抵抗回路
101:電圧監視回路
102:信号反転検出回路
107a:第1基準抵抗
107b:第2基準抵抗
108a:第1加算抵抗
108b:第2加算抵抗
111:カラムデコーダ
112:アレイ制御回路
113:ロウデコーダ
114:RW(リードライト)アンプ
115:ラッチ回路
116:データ入出力バッファ
117:カラムアドレスバッファ
118:ロウアドレスバッファ
119:モードレジスタ
120:チップ制御回路
121:コマンドデコーダ
122:クロック発生回路
130:メモリセルマット
P1〜P15:PMOSトランジスタ
N1〜N5、N8〜11、N12a〜b、N13:NMOSトランジスタ
N6a〜b、N7a〜b、N14:セルトランジスタ
MODE2、MODE6:モード選択信号
BL、BL_0〜31:ビット線
SL、SL_0〜31:ソース線
WL、WL_0〜511:ワード線
IOT、IOB:IO線
C1:第1制御信号
C2:第2制御信号
C3:第3制御信号
YSW:選択信号
SELT_0〜31、SELB_0〜31:ビット線/ソース線選択信号
WE:ライトイネーブル信号
RE:リードイネーブル信号
CENT、LDT:制御信号
CDEC2<7:0>、VGG30、VGG30R:グローバル制御信号
C6<7:0>:ローカル制御信号
CDEC4<15:0>:可変抵抗器制御信号
D2<2:0>、D4<3:0>、D6<7:0>:調整コード
D2_opt<2:0>、D4_opt<3:0>、D6_opt<7:0>:最適コード
2a:第1抵抗変化型メモリセル(抵抗変化型メモリセル)
2b:第2抵抗変化型メモリセル(抵抗変化型メモリセル)
3a:第1読出回路(読出回路)
3b:第2読出回路(読出回路)
4a、6a:第1調整抵抗(調整抵抗)
4b、6b:第2調整抵抗(調整抵抗)
5a:第1リファレンス回路(リファレンス回路)
5b:第2リファレンス回路(リファレンス回路)
7a〜b:メモリサブマット
8:メモリセルアレイ(MCアレイ)
9、MC:抵抗変化型メモリセル
10:コード調整回路
11:第1可変抵抗回路
12:第2可変抵抗回路
13:第3可変抵抗回路
14:第4可変抵抗回路
15:グローバル制御信号生成回路
16:ビット線/ソース線用スイッチ(BL/SL用SW)
17:書き込みドライバ
18:センスアンプ(読出回路)
19:リファレンス回路
20:ローカル制御信号生成回路
21、74a〜b:MTJ素子
22:フリー層
23:固定層
24:絶縁層
25、43a〜c、70a〜b、75、80a〜c、81a〜e、143a〜c:スイッチ回路(CMOSトランスファゲート)
26、66:NAND回路
27〜31、41、42、47a〜b、69、76〜79、86、87a〜b、88a〜b:インバータ回路
32:定電流源
33:リード電圧温度補正回路
34:グローバルリファレンス回路
37、60:デコーダ
36:コード3bit・トリミング回路
35:第1制御信号生成回路
37:デコーダ
38a〜c、138a〜d:ヒューズラッチ回路
39、68、139:バスセレクタ
40:ヒューズ(FUSE)
43a〜c:スイッチ回路
44、45、46a〜c、83b〜e、144、145a〜d、146a〜c:抵抗
50、64:差動増幅器
51:比較器
52:バッファ
53:観測用PAD
54、55:メモリセルレプリカ群
56、57:可変抵抗器
58:可変抵抗器制御信号生成回路
59:コード4bit・トリミング回路
61a〜b、62a〜b:MTJ素子
63:ソース線制御回路
65:AND回路
67:レベルシフタ
72:アンチヒューズセンス回路
73:MTJトンネル膜破壊型アンチヒューズ
85:OR回路
97:グローバル可変抵抗回路
98a〜b:ローカル可変抵抗回路
101:電圧監視回路
102:信号反転検出回路
107a:第1基準抵抗
107b:第2基準抵抗
108a:第1加算抵抗
108b:第2加算抵抗
111:カラムデコーダ
112:アレイ制御回路
113:ロウデコーダ
114:RW(リードライト)アンプ
115:ラッチ回路
116:データ入出力バッファ
117:カラムアドレスバッファ
118:ロウアドレスバッファ
119:モードレジスタ
120:チップ制御回路
121:コマンドデコーダ
122:クロック発生回路
130:メモリセルマット
P1〜P15:PMOSトランジスタ
N1〜N5、N8〜11、N12a〜b、N13:NMOSトランジスタ
N6a〜b、N7a〜b、N14:セルトランジスタ
MODE2、MODE6:モード選択信号
BL、BL_0〜31:ビット線
SL、SL_0〜31:ソース線
WL、WL_0〜511:ワード線
IOT、IOB:IO線
C1:第1制御信号
C2:第2制御信号
C3:第3制御信号
YSW:選択信号
SELT_0〜31、SELB_0〜31:ビット線/ソース線選択信号
WE:ライトイネーブル信号
RE:リードイネーブル信号
CENT、LDT:制御信号
CDEC2<7:0>、VGG30、VGG30R:グローバル制御信号
C6<7:0>:ローカル制御信号
CDEC4<15:0>:可変抵抗器制御信号
D2<2:0>、D4<3:0>、D6<7:0>:調整コード
D2_opt<2:0>、D4_opt<3:0>、D6_opt<7:0>:最適コード
Claims (15)
- 互いに異なる向きの第1及び第2電流を印加することによって、それぞれ第1抵抗状態及び第2抵抗状態に書き込まれ、前記第1抵抗状態で第1情報を記憶し、前記第2抵抗状態で第2情報を記憶する第1抵抗変化型メモリセルと、
互いに異なる向きの第3及び第4電流を印加することによって、それぞれ第3抵抗状態及び第4抵抗状態に書き込まれ、前記第3抵抗状態で前記第1情報を記憶し、前記第4抵抗状態で前記第2情報を記憶する第2抵抗変化型メモリセルと、
第1調整抵抗に基づいて、前記第1抵抗変化型メモリセルに記憶される情報を読み出す第1読出回路と、
第2調整抵抗に基づいて、前記第2抵抗変化型メモリセルに記憶される情報を読み出す第2読出回路と、を備え、
前記第1調整抵抗及び前記第2調整抵抗は、抵抗値が互いに異なることを特徴とする半導体装置。 - 前記第1調整抵抗を供給する第1リファレンス回路と、
前記第2調整抵抗を供給する第2リファレンス回路と、を備え、
前記第1リファレンス回路は、
第1制御信号に応じて、第1基準抵抗を生成する第1可変抵抗回路と、
第2制御信号に応じて、前記第1基準抵抗に第1加算抵抗を加算することによって、前記第1調整抵抗を生成する調整する第2可変抵抗回路と、を含み、
前記第2リファレンス回路は、
前記第1制御信号に応じて前記第1基準抵抗と同じ抵抗値である第2基準抵抗を生成する第3可変抵抗回路と、
第3制御信号に応じて、前記第2基準抵抗に第2加算抵抗を加算することによって、前記第2調整抵抗を生成する第4可変抵抗回路と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記第1制御信号を生成する第1制御信号生成回路と、
前記第2制御信号を生成する第2制御信号生成回路と、
前記第3制御信号を生成する第3制御信号生成回路と、を備える請求項2に記載の半導体装置。 - 前記第2制御信号生成回路は、前記第2制御信号を生成するための情報を記憶するMTJ(Magnetic Tunnel Junction)破壊型の第1アンチヒューズ回路を含み、
前記第3制御信号生成回路は、前記第3制御信号を生成するための情報を記憶するMTJ破壊型の第2アンチヒューズ回路を含む、ことを特徴とする請求項3に記載の半導体装置。 - 前記第2制御信号生成回路は、前記第1読出回路に近接して配置され、
前記第3制御信号生成回路は、前記第2読出回路に近接して配置されることを特徴とする請求項3または4に記載の半導体装置。 - 前記第1抵抗変化型メモリセルと前記第1抵抗との抵抗値の温度特性差を補正する補正回路をさらに備え、
前記第1読出回路は、前記第1抵抗変化型メモリセルの読み出し経路上にソード・ドレイン経路を有する第1トランジスタを含み、
前記補正回路は、前記第1抵抗変化型メモリセルを模したレプリカメモリセル回路と、第5可変抵抗回路と、を含み、前記レプリカメモリセル回路の抵抗値及び前記第5可変抵抗回路の抵抗値に応じて、前記第1トランジスタのゲートを制御する、ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一に記載の半導体装置。 - 前記補正回路において、前記第5可変抵抗回路の抵抗値が前記レプリカメモリセル回路の抵抗値に対して調整可能に構成された、ことを特徴とする請求項6に記載の半導体装置。
- 前記第1及び第2抵抗変化型メモリセルのそれぞれは、STT−RAM(Spin Transfer Torque-Random Access Memory)のセルであることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一に記載の半導体装置。
- それぞれが1以上の抵抗変化型メモリセルと電気的に接続された複数の読出回路と、
前記複数の読出回路に、それぞれ抵抗値が調整可能な調整抵抗を供給する複数のリファレンス回路と、
を備え、
各々の前記読出回路は、供給された前記調整抵抗に基づいて、前記抵抗変化型メモリセルに記憶された情報を読み出すことを特徴とする半導体装置。 - 各々の前記リファレンス回路は、
前記複数のリファレンス回路に供給される共通の第1制御信号に応じて、前記調整抵抗を調整する第1可変抵抗回路と、
前記複数のリファレンス回路に個別に供給される複数の第2制御信号に応じて、前記第1可変抵抗回路により調整された前記調整抵抗をさらに個別に調整する第2可変抵抗回路と、
を含むことを特徴とする請求項9に記載の半導体装置。 - 前記複数の第2制御信号を生成するための情報をそれぞれ記憶する、複数のMTJ破壊型のアンチヒューズ回路をさらに備えたことを特徴とする請求項10に記載の半導体装置。
- 前記抵抗変化型メモリセルと前記調整抵抗との抵抗値の温度特性差を補正する補正回路をさらに備え、
前記補正回路は、抵抗値の温度特性が前記抵抗変化型メモリセルと実質的に同じであるレプリカメモリセル回路と、抵抗値の温度特性が前記調整抵抗と実質的に同じである第5可変抵抗回路と、を含み、
前記第5可変抵抗回路の抵抗値に対する前記レプリカメモリセル回路の抵抗値の比率を、読み出し制御電圧に掛け算することにより前記温度特性差を補正する、ことを特徴とする請求項9乃至11のいずれか一に記載の半導体装置。 - 各々の前記読出回路は、前記抵抗変化型メモリセルの読み出し経路上にソース・ドレイン経路を有するトランジスタを含み、
前記補正回路は、前記比率が掛け算された前記読み出し制御電圧により前記トランジスタのゲートを制御する、ことを特徴とする請求項12に記載の半導体装置。 - 前記補正回路において、前記第5可変抵抗回路の抵抗値が前記レプリカメモリセル回路の抵抗値に対して調整可能に構成された、ことを特徴とする請求項12または13に記載の半導体装置。
- 前記複数の抵抗変化型メモリセルは、STT−RAM(Spin Transfer Torque-Random Access Memory)のセルであることを特徴とする請求項9乃至14のいずれか一に記載の半導体装置。
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