JP2015114278A - 圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】接合部材にクラックが発生することを抑制できる圧力センサを提供する。【解決手段】被膜15のうちダイヤフラム13側と反対側の部分を平滑かつ連続な面とし、接合部材30と被膜15とを化学結合によって接合する。これによれば、被膜15側に接合部材30が入り込んだ状態となることがない。このため、接合部材30の特定領域に応力が集中することを抑制でき、接合部材30にクラックが発生することを抑制できる。【選択図】図3
Description
本発明は、ステムのダイヤフラム上にセンサチップが搭載された圧力センサに関するものである。
従来より、この種の圧力センサとして、例えば、特許文献1に次のようなものが提案されている。
すなわち、この圧力センサでは、中空部を有すると共に一端が開口部とされた有底筒状であり、他端(底部)が中空部に導入された圧力によって変形可能なダイヤフラムとされたステムを備えている。そして、ダイヤフラム上には、ガラス等の接合部材を介してダイヤフラムの変形(圧力)に応じたセンサ信号を出力するセンサチップが搭載されている。なお、ステムはSUS等のステンレス鋼(金属)で構成され、接合部材は鉛を含有するガラス等で構成されている。
しかしながら、このようなステムは、冷間鍛造等されて構成されるが、通常、壁面に数〜数十mm間隔で凹凸が形成されている。言い換えると、ステムは、壁面が平滑な面とされていない。また、ステムは、金属で構成されているため、外気に曝される部分に酸化膜等の被膜が形成される。具体的には、この被膜は、ステムの壁面に沿って形成されるため、表面に凹凸を有している。
したがって、図5に示されるように、接合部材J30は、被膜J15の凹部J15aに入り込んだ状態となる。このため、被膜J15(ステムJ10)と接合部材J30とは、接合部材J30が凹部J15aに入り込むことによって発生するアンカー効果と、化学結合によって接合される。
この場合、被膜J15と接合部材J30との接合界面には線膨張係数の差に起因する応力が発生するが、接合部材J30のうちの凹部J15aに入り込んだ部分(アンカー効果を発生する部分)では応力が集中し易い。このため、当該応力によって接合部材J30にクラックが発生する可能性があるという問題がある。
なお、図5では、ステムJ10としてステンレス鋼を用いた例を示しており、ステンレス鋼では、壁面(表面)にクロム原子が均等に析出し、被膜J15として酸化クロム膜が形成される。このため、被膜J15と接合部材J30との化学結合は、酸素を介した共有結合となる。
本発明は上記点に鑑みて、接合部材にクラックが発生することを抑制できる圧力センサを提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、中空部(11)を有すると共に一端が開口部(12)とされた有底筒状であり、他端に中空部に導入された圧力によって変形可能なダイヤフラム(13)を有するステム(10)と、ダイヤフラムのうちの中空部側と反対側の部分に搭載され、ダイヤフラムの変形に応じてセンサ信号を出力するセンサチップ(20)と、ステムとセンサチップとの間に配置された接合部材(30)とを備え、以下の点を特徴としている。
すなわち、ステムは、ダイヤフラムのうちの中空部側と反対側の部分に形成された被膜(15)を有し、被膜は、ダイヤフラム側と反対側の部分が平滑かつ連続な面とされ、接合部材は、被膜と化学結合によって接合されていることを特徴としている。
これによれば、被膜は平滑かつ連続な面とされているため、被膜側に接合部材が入り込んだ状態となることがない。このため、接合部材の特定領域に応力が集中することを抑制でき、接合部材にクラックが発生することを抑制できる。
なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、同一符号を付して説明を行う。
(第1実施形態)
本発明の第1実施形態について図面を参照しつつ説明する。なお、本実施形態の圧力センサは、例えば、車両の燃料噴射系における燃料パイプ等に取り付けられ、燃料パイプ内における測定媒体の圧力の検出に用いられると好適である。
本発明の第1実施形態について図面を参照しつつ説明する。なお、本実施形態の圧力センサは、例えば、車両の燃料噴射系における燃料パイプ等に取り付けられ、燃料パイプ内における測定媒体の圧力の検出に用いられると好適である。
図1に示されるように、本実施形態の圧力センサは、ステム10とコネクタケース50とが一体化された構成とされている。
ステム10は、中空部11を有すると共に一端が開口部12とされた有底円筒状であり、他端側の底部の略中央部にて薄肉のダイヤフラム13が構成されている。そして、開口部12から中空部11に測定媒体が導入されると、測定媒体の圧力に応じてダイヤフラム13が変形するようになっている。つまり、中空部11は、言い換えると、圧力導入孔としての機能を果すものである。なお、このようなステム10は、SUS304、SUS430、SUS630のようなステンレス鋼等で構成されている。
また、ステム10は、開口部12側の外周壁面に燃料パイプ等の被取付部材にネジ結合可能なネジ部14が形成されている。
そして、ステム10には、図1および図2に示されるように、ダイヤフラム13のうちの中空部11側と反対側の部分に、ダイヤフラム13の変形(圧力)に応じたセンサ信号を出力するセンサチップ20が接合部材30を介して配置されている。
センサチップ20は、矩形板状のシリコン基板を用いて構成され、シリコン基板の表面にブリッジ回路を構成するようにゲージ抵抗21(図2中では2つ図示)が形成されたものである。すなわち、本実施形態のセンサチップ20は、ステム10の中空部11に導入された測定媒体の圧力によってダイヤフラム13が変形すると、ゲージ抵抗21の抵抗値が変化してブリッジ回路の電圧が変化し、この電圧の変化に応じたセンサ信号を出力するものである。
接合部材30は、鉛を含有するガラスが用いられている。そして、接合部材30は、タブレット状態でステム10とセンサチップ20との間に配置された後、焼成等されることによってステム10とセンサチップ20とを接合する。
また、図1に示されるように、ステム10の他端(底部)側には、センサチップ20の他に、ICチップ41を搭載すると共に各種の回路素子が形成された回路基板40も配置されている。この回路基板40は、センサチップ20とボンディングワイヤ42を介して接続されており、センサチップ20から出力されたセンサ信号が入力されると当該センサ信号に対して所定の処理を行うものである。
コネクタケース50は、PPS(ポリフェニレンサルファイド)やPBT(ポリブチレンテレフタレート)等の樹脂を型成形することにより作られ、本実施形態では円柱状とされている。具体的には、このコネクタケース50は、一端側(図1中の紙面下側の端部)にフランジ部51が形成されていると共にステム10に組み付けられた際に当該ステム10との間に空間を構成する凹部52が形成され、他端側(図1中の紙面上側の端部)に開口部53が形成されている。
そして、コネクタケース50は、ステム10における他端側の外縁部がフランジ部51にOリング60を介してかしめ固定されることにより、ステム10と一体化されている。これにより、センサチップ20や回路基板40等が外部雰囲気から保護されるようになっている。
また、コネクタケース50には、センサチップ20と外部回路とを電気的に接続するための複数のターミナルピン70(図1では1本のみ図示)が備えられている。各ターミナルピン70は、インサートモールド等によってコネクタケース50と一体に成形されることによってコネクタケース50内に保持されている。
具体的には、ターミナルピン70は、L字状の棒状部材とされており、一端側が凹部52内にて露出すると共に、他端側が開口部53から突出するようにコネクタケース50内に保持されている。
また、回路基板40とターミナルピン70との間には、これら回路基板40およびターミナルピン70と電気的に接続されるバネターミナル80が配置されている。このバネターミナル80は、矩形板状の金属板の長手方向に位置する両端部が折り曲げられることによってバネ状とされたものである。そして、金属板の中間部が図示しない導電性接着剤を介して回路基板40に接続されることにより、当該回路基板40と電気的に接続されている。また、金属板の両端部(バネ部)がターミナルピン70と当接することにより、ターミナルピン70と電気的に接続されている。これにより、センサチップ20が回路基板40およびバネターミナル80を介してターミナルピン70と電気的に接続される。
以上が本実施形態における圧力センサの基本的な構成である。次に、本実施形態の特徴点について説明する。
上記のようにステム10は、本実施形態では、ステンレス鋼を用いて構成されており、図2に示されるように、壁面に被膜(不動態被膜)15を有している。なお、被膜15は、ステンレス鋼に含まれるクロムが空気中の酸素と結合して形成された酸化クロム膜である。また、この被膜15は、ステンレス鋼のうちの外部雰囲気に曝される壁面の全面に形成されている。
そして、本実施形態では、図2および図3に示されるように、ステム10におけるダイヤフラム13のうちの中空部11側と反対側の面は、切削や研磨等によって平坦な面とされている。また、ステンレス鋼では、壁面(表面)にクロム原子が均等に析出する。このため、被膜15は、ダイヤフラム13側と反対側の部分がダイヤフラム13のうちの中空部11側と反対側の面と平行な平坦な面となる。
そして、接合部材30は、被膜15が平坦な面であるため、被膜15側に入り込んだ状態とならない。つまり、被膜15と接合部材30とは、化学結合のみによって接合されている。本実施形態では、被膜15(クロム)と接合部材30(鉛)とは、酸素を介した共有結合によって接合されている。
なお、本実施形態では、回路基板40も接合部材30を介してステム10に接合されている。
以上説明したように、本実施形態の被膜15は、ダイヤフラム13側と反対側の部分が平坦な面とされている。このため、被膜15側に接合部材30が入り込んだ状態となることがない。したがって、接合部材30の特定領域に応力が集中することを抑制でき、接合部材30にクラックが発生することを抑制できる。
また、接合部材30として鉛を含有するガラスを用いているため、接合部材30の融点を下げることができ、製造工程の簡略化を図ることもできる。
さらに、本実施形態では、SUS304、SUS430、SUS630のようなステンレス鋼を用いてステム10を構成している。このため、SUS304、SUS630を用いてステム10を構成した場合には、SUS630を用いてステム10を構成した場合と比較して、加工性を向上できる。これに対し、SUS430、SUS630を用いてステム10を構成した場合には、SUS304を用いてステム10を構成した場合と比較して、センサチップ20(シリコン)の線膨張係数に近くなるため、ステム10とセンサチップ20との線膨張係数の差に起因して発生する応力を小さくできる。このため、接合部材30の膜厚を薄くでき、感度を確保することができる。また、SUS630を用いてステム10を構成した場合には、SUS304、SUS430を用いてステム10を構成した場合と比較して、耐腐食性を向上できると共に、高圧にも対応できる圧力センサとすることができる。
(他の実施形態)
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
例えば、上記第1実施形態では、接合部材30として鉛を含有するガラスを例に挙げたが、接合部材30として鉛を含有しないガラスを用いてもよいし、接着剤等を用いてもよい。また、ステム10としてステンレス鋼ではない金属材料を用いてもよい。
また、上記第1実施形態において、接合部材30と被膜15(ステム10)とがほぼ化学結合によって接合されるのであれば、被膜15はダイヤフラム13側と反対側の部分が平坦な面とされていなくてもよい。つまり、被膜15は、ダイヤフラム13側と反対側の部分が平滑かつ連続な面とされていればよく、ダイヤフラム13側と反対側の部分に僅かな凹凸が形成されていてもよい。
さらに、上記第1実施形態において、被膜15のうちのダイヤフラム13側と反対側の部分が平滑かつ連続な面とされていれば、ステム10におけるダイヤフラム13のうちの中空部11側と反対側の面が平坦な面とされていなくてもよい。なお、ステム10をこのような構成とする場合には、被膜15が形成された後に当該被膜15が平滑かつ連続な面となるように被膜15に対して切削や研磨等を行えばよい。
そして、上記第1実施形態において、図4に示されるように、被膜15のうちのダイヤフラム13と反対側の部分は、平坦な面とされていればダイヤフラム13と平行な面とされていなくてもよい。なお、図4では、被膜15の膜厚が紙面左側から右側に向かうにつれて厚くなっている。
10 ステム
11 中空部
12 開口部
13 ダイヤフラム
20 センサチップ
30 接合部材
11 中空部
12 開口部
13 ダイヤフラム
20 センサチップ
30 接合部材
Claims (7)
- 中空部(11)を有すると共に一端が開口部(12)とされた有底筒状であり、他端に前記中空部に導入された圧力によって変形可能なダイヤフラム(13)を有するステム(10)と、
前記ダイヤフラムのうちの前記中空部側と反対側の部分に搭載され、前記ダイヤフラムの変形に応じてセンサ信号を出力するセンサチップ(20)と、
前記ステムと前記センサチップとの間に配置された接合部材(30)と、を備え、
前記ステムは、前記ダイヤフラムのうちの前記中空部側と反対側の部分に形成された被膜(15)を有し、
前記被膜は、前記ダイヤフラム側と反対側の部分が平滑かつ連続な面とされ、
前記接合部材は、前記被膜と化学結合によって接合されていることを特徴とする圧力センサ。 - 前記ステムは、ステンレス鋼で構成され、
前記被膜は、酸化クロム膜であることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。 - 前記ステムは、SUS430であることを特徴とする請求項2に記載の圧力センサ。
- 前記ステムは、SUS630であることを特徴とする請求項2に記載の圧力センサ。
- 前記ステムは、SUS304であることを特徴とする請求項2に記載の圧力センサ。
- 前記ダイヤフラムは、前記中空部側と反対側の部分が平坦な面とされ、
前記被膜は、前記ダイヤフラム側と反対側の部分が当該ダイヤフラムのうちの前記中空部側と反対側の面と平行な面とされていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1つに記載の圧力センサ。 - 前記接合部材は、鉛を含有するガラスであることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1つに記載の圧力センサ。
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