JP2015114175A - 検査装置および検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】一例として、検査面の形状不良を検出しやすい新規な検査装置を得る。【解決手段】実施形態の検査装置１は、照明装置２と、撮像装置３と、検出部と、を備えている。照明装置２は、三つ以上の光源４のうち三つ以上の光源４の並び方向で一端に位置する光源４の光の照射領域と、三つ以上の光源４のうち三つ以上の光源４の並び方向で他端に位置する光源４の光の照射領域と、に亘って二つ以上の光源４の光の照射領域が相互に重なる。撮像装置３は、照明装置２とともに検査面１００ａに対して相対移動されながら、照明装置２によって照明された検査面１００ａを撮像する。検出部は、撮像装置３の撮像によって得られた画像から特定される撮像装置３が受光した光の組み合わせを用いて、撮像装置３が受光した光の出射位置を特定し、特定した出射位置を用いて検査面１００ａの形状不良を検出する。【選択図】図１

Description

本発明は、検査装置および検査方法に関する。

従来、光を照射した検査面を撮像し、撮像で得た画像に基づいて該検査面の形状不良を検出する検査装置が知られている。

この種の検査装置として、例えば、ＲＧＢの幅がそれぞれ異なる明暗パターンを作成し、各波長の画像に周波数フィルタを適用し、所定の周波数とは異なる周期で明暗パターンが変化している部分を強調し、閾値を用いて不良を検出するものがある。

特開２０１１−２２６８１４号公報

この種の検査装置では、検査面の不良を検出しやすい新規な構成が望まれている。

そこで、本発明は、一例としては、検査面の形状不良を検出しやすい新規な検査装置および検査方法を得ることを目的の一つとする。

本発明の実施形態にかかる検査装置は、三つ以上の光源を有し、検査面に対して相対移動されながら前記三つ以上の光源によって前記検査面を照明し、前記三つ以上の光源が前記相対移動方向で相互に異なる位置に位置し、隣り合う前記光源が出射する光の波長が相互に異なり、隣り合う前記光源の光の照射領域の一部が相互に重なることで、前記三つ以上の光源のうち前記三つ以上の光源の並び方向で一端に位置する前記光源の光の照射領域と、前記三つ以上の光源のうち前記三つ以上の光源の並び方向で他端に位置する前記光源の光の照射領域と、に亘って二つ以上の前記光源の光の照射領域が相互に重なった、照明装置と、前記照明装置とともに前記検査面に対して相対移動されながら、前記照明装置によって照明された前記検査面を撮像する撮像装置と、前記撮像装置の撮像によって得られた画像から特定される前記撮像装置が受光した光の組み合わせを用いて、前記撮像装置が受光した光の出射位置を特定し、特定した前記出射位置を用いて前記検査面の不良を検出する検出部と、を備えた。

また、本発明の実施形態にかかる検査方法は、三つ以上の光源を有し、検査面に対して相対移動されながら前記三つ以上の光源によって前記検査面を照明し、前記三つ以上の光源が前記相対移動方向で相互に異なる位置に位置し、隣り合う前記光源が出射する光の波長が相互に異なり、隣り合う前記光源の光の照射領域の一部が相互に重なることで、前記三つ以上の光源のうち前記三つ以上の光源の並び方向で一端に位置する前記光源の光の照射領域と、前記三つ以上の光源のうち前記三つ以上の光源の並び方向で他端に位置する前記光源の光の照射領域と、に亘って二つ以上の前記光源の光の照射領域が相互に重なった、照明装置を備えた検査装置において実行される検査方法であって、撮像装置が、前記照明装置とともに前記検査面に対して相対移動されながら、前記照明装置によって照明された前記検査面を撮像する工程と、検出部が、前記撮像装置の撮像によって得られた画像から特定される前記撮像装置が受光した光の組み合わせを用いて、前記撮像装置が受光した光の出射位置を特定し、特定した前記出射位置を用いて前記検査面の不良を検出する工程と、を含む。

本発明によれば、一例として、検査面の形状不良を検出しやすい新規な検査装置および検査方法を得ることができる。

図１は、実施形態にかかる検査装置の一例を示す模式図である。 図２は、実施形態にかかる検査装置が備える照明装置の一例を示す模式図である。 図３は、実施形態にかかる検査装置が備える照明装置の拡散板での照度分布の一例を示すグラフである。 図４は、実施形態にかかる検査装置が備える撮像装置の撮像方向の変化の一例を説明するための説明図である。 図５は、実施形態にかかる検査装置が備える発振回路および反転回路の出力の一例を示すタイミングチャートである。 図６は、実施形態にかかる検査装置が取得する画像の一例を説明するための説明図である。 図７は、実施形態にかかる検査装置の一例を示すブロック図である。 図８は、実施形態にかかる検査装置に記憶された出射位置特定用情報の一例を説明するための説明図である。 図９は、実施形態にかかる検査装置が備える制御部が実行する光の出射位置の特定方法の一例を説明するための説明図である。 図１０は、実施形態にかかる検査装置が備える制御部が実行する表面形状検査処理の一例の流れを示すフローチャートである。 図１１は、比較例にかかる検査装置が備える照明装置の一例を示す模式図である。 図１２は、比較例にかかる検査装置が備える照明装置における拡散板での照度分布の一例を示すグラフである。 図１３は、比較例にかかる検査装置が備える撮像装置の基準撮像方向に対応した拡散板の出光面での基準位置が、照度分布線の頂部に位置した場合の輝度変化量の一例を説明するための説明図である。 図１４は、比較例にかかる検査装置が備える撮像装置の基準撮像方向に対応した拡散板の出光面での基準位置が、照度分布線の頂部以外の場合の輝度変化量の一例を説明するための説明図である。 図１５は、実施形態にかかる検査装置が備える撮像装置の基準撮像方向に対応した拡散板の出光面での基準位置が、照度分布線の頂部に位置した場合の輝度変化量の一例を説明するための説明図である。 図１６は、実施形態にかかる検査装置が備える撮像装置の基準撮像方向に対応した拡散板の出光面での基準位置が、照度分布線の頂部以外の場合の輝度変化量の一例を説明するための説明図である。

図１に示すように、本実施形態の検査装置１は、照明装置２と撮像装置３とを備えている。照明装置２と撮像装置３とは、移動装置３０（図７）によって、検査対象である検査物１００の検査面１００ａに対して相対移動される。検査装置１は、照明装置２によって光を照射した検査面１００ａの画像を撮像装置３によって撮像し、その撮像によって得られた画像を用いて、検査面１００ａの形状不良を検出する。本実施形態では、一例として、照明装置２が、検査面１００ａに対する照明装置２および撮像装置３の移動方向Ｆで、撮像装置３の前方に位置している。

移動装置３０は、一例として、照明装置２と撮像装置３とを一体に支持している。移動装置３０は、一例として、モータ等の駆動源を有しており、駆動源の駆動力によって、照明装置２と撮像装置３とを、位置固定された検査面１００ａに沿って移動させる。なお、移動装置３０は、検査物１００を支持して、検査物１００を、位置固定された照明装置２と撮像装置３とに対して移動させる構成であってもよい。

照明装置２は、複数の光源４を有し、検査面１００ａに対して相対移動されながらそれらの光源４によって検査面１００ａを照明する。本実施形態では、一例として、光源４は、六つ設けられている。つまり、本実施形態では、光源４は、三つ（四つ）以上設けられている。各光源４は、移動方向Ｆ（相対移動方向）で相互に異なる位置に位置している。各光源４は、移動方向Ｆと交差（一例として直交）する方向（図１での紙面と直交する方向）に延在した帯状（ライン状）の光を照射する。各光源４は、一例として、照明装置２の移動方向Ｆと直交する方向に沿って配置された複数のＬＥＤ（Light Emitting Diode）を有し、移動方向Ｆと直交する方向に延在した帯状（ライン状）の照明光を出射する。また、本実施形態では、照明装置２は、光源４として、出射する光の波長（波長域）が相互に異なる三種類以上、一例として三種類の光源４Ｒ，４Ｇ，４Ｂを有している。光源４Ｒは、赤色（Ｒ）の光を出射し、光源４Ｇは、緑色（Ｇ）の光を出射し、光源４Ｂは、青色（Ｂ）の光を出射する。

また、本実施形態では、光源４Ｒ，４Ｇ，４Ｂの組が二組設けられており、一方の組の、光源４Ｒ、光源４Ｇ、光源４Ｂ、他方の組の、光源４Ｒ、光源４Ｇ、光源４Ｂが、この順で移動方向Ｆの上流側から下流側に向けて配置されている。つまり、本実施形態では、隣り合う光源４が出射する光の波長が相互に異なる。また、一方の組の光源４Ｒ，４Ｇ，４Ｂは、光源部５Ｕを構成し、他方の組の光源４Ｒ，４Ｇ，４Ｂは、光源部５Ｄを構成している。このように、本実施形態では、四つ以上（一例として、六つ）の光源４が、出射する光の波長が相互に異なる複数（一例として三つ）の光源４Ｒ，４Ｇ，４Ｂをそれぞれ有し相互に隣り合って位置した二つの光源部５Ｄ，５Ｕを構成している。また、二つの光源部５Ｄ，５Ｕは、光源４の種類の組み合わせと光源４の並び順とが相互に同じである。なお、本実施形態では、出射する光の波長が相互に異なる複数の光源４として、三つの光源４Ｒ，４Ｇ，４Ｂの例を示したが、出射する光の波長が相互に異なる光源４は、例えば四つ以上であってもよい。

また、本実施形態では、照明装置２は、一例として、拡散板６を有している。拡散板６は、光源４における光の出射側に位置し、各光源４と対向している。拡散板６は、光源４とは反対側の出光面６ａ（面）を有している、光源から出射された光は、拡散板６によって拡散されて出光面６ａから出光し、検査面１００ａを照明する。拡散板６の出光面６ａは、照明装置２の出光面を構成する。

以上の構成の照明装置２では、図２に示すように、拡散板６の出光面６ａ上において、隣り合う光源４の光の照射領域Ｔ１（出光領域、領域）の一部が相互に重なる。この重なりによって、照明装置２は、拡散板６の出光面６ａ上において、複数の光源４のうち複数の光源４の並び方向Ｂで一端に位置する光源４（一例として、光源部５Ｕの光源４Ｒ）の光の照射領域Ｔ１と、複数の光源４のうち複数の光源４の並び方向Ｂで他端に位置する光源４（一例として、光源部５Ｄの光源４Ｂ）の光の照射領域Ｔ１と、に亘って二つ以上の光源４の光の照射領域Ｔ１が相互に重なった、重複領域Ｔ２を有する。かかる構成により、本実施形態では、全ての光源４が点灯した場合の拡散板６の出光面６ａ上における光の照度分布（配光特性）は、一例として、図３に示すようになる。ここで、図３の横軸は、出光面６ａ上での位置を示し、縦軸は、照度を示している。また、図３中の照度分布線Ｌ１〜Ｌ３は、光源部５Ｄの光源４Ｂ、光源４Ｇ、光源４Ｒに対応し、照度分布線Ｌ４〜Ｌ６は、光源部５Ｕの光源４Ｂ、光源４Ｇ、光源４Ｒに対応している。出光面６ａ上での位置は、複数の光源４の並び方向Ｂ（図２）での位置である。図３に示すように、各光源４の照度は、光源４の山形状の分布となり、重複領域Ｔ２に対応した出光面６ａの領域では、少なくとも隣り合う光源４から出射された光の一部同士が重なる。このとき、山形状の照度分布の頂部となる光の部位同士は重ならない。以上から分かるように、照明装置２は、光源４が出射する光を拡散板６で拡散してエリア照明光として出射するエリア照明装置として構成されている。

図１に一例を示す撮像装置３は、照明装置２とともに検査面１００ａに対して相対移動されながら、照明装置２によって照明された検査面１００ａを撮像する。撮像装置３は、照明装置２とともに検査面１００ａに対して相対移動されながら、一例として、照明装置２から出射された光の検査面１００ａでの反射光を受光する。撮像装置３は、一例として、検査面１００ａでの正反射光を受光する。撮像装置３は、一例として、ラインカメラ（ラインセンサ）として構成されている。撮像装置３は、検査面１００ａとの相対移動方向と直交する方向であって光源４の帯状の照明光の延在方向に沿って一列に配置された複数の光電変換素子（撮像素子、図示せず）を有している。すなわち、撮像装置３は、検査面１００ａとの相対移動方向と直交する方向に沿った線状の画像（画像データ、撮像データ、各光電変換素子に対応した画素毎の輝度値のデータ、輝度値のデータ列）を取得する。各撮像素子では、例えば２５６階調で輝度値のデータが取得される。撮像装置３は、一例として、各撮像素子について複数（例えば、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の三つ）の画像データを取得可能である。

撮像装置３は、図１，４に示すように、検査面１００ａに向かう撮像方向Ｄ１（撮像装置３の光軸、視線、図４）に位置する検査面１００ａの撮像領域Ａを撮像する。この場合、本実施形態では、撮像装置３は、照明装置２から出射され検査面１００ａで正反射した光（正反射光）を受光する。つまり、本実施形態では、撮像装置３の検査面１００ａを介しての撮像方向Ｄ２（視線、図４）は、検査面１００ａの法線に対する、撮像装置３の検査面１００ａに向かう撮像方向Ｄ１と等角をなす方向である。

撮像装置３の検査面１００ａを介しての撮像方向Ｄ２は、一例として、図４に示すように、検査面１００ａの形状に応じて変化する。図４は、検査面１００ａに形状不良としての凸部１００ｂがある検査面１００ａに対する検査装置１の変位を（ａ）〜（ｅ）に順を追って示している。

図４の（ａ）は、撮像領域Ａが、移動方向Ｆで凸部１００ｂの上流側（後方）に位置する検査面１００ａの平坦な領域（正常部分）に位置し、撮像方向Ｄ２が、出光面６ａの部位６ａ１に向かう方向となった場合を示している。

図４の（ｂ）は、撮像領域Ａが、移動方向Ｆに対する上り斜面（上り勾配）を構成する凸部１００ｂの領域中に位置し、撮像方向Ｄ２が、出光面６ａにおける部位６ａ１よりも移動方向Ｆの上流側の部位６ａ２に向かう方向となった場合を示している。

図４の（ｃ）は、撮像領域Ａが、移動方向Ｆに対して上り斜面（上り勾配）を構成する凸部１００ｂの領域において、図４の（ｂ）よりも急勾配な部位に位置し、撮像方向Ｄ２が、出光面６ａから移動方向Ｆの上流側に外れた方向となった場合を示している。

図４の（ｄ）は、撮像領域Ａが、移動方向Ｆに対して下り斜面（下り勾配）を構成する凸部１００ｂの領域中に位置し、撮像方向Ｄ２が、出光面６ａから移動方向Ｆの下流側（前方）に外れた方向となった場合を示している。

図４の（ｅ）は、撮像領域Ａが、移動方向Ｆに対して下り斜面（下り勾配）を構成する凸部１００ｂの領域において図４の（ｄ）よりも緩勾配な位置に位置し、撮像方向Ｄ２が、出光面６ａにおける部位６ａ１よりも移動方向Ｆの下流側の部位６ａ３に向かう方向となった場合を示している。

図４の（ｆ）は、撮像領域Ａが、移動方向Ｆで凸部１００ｂの下流側に位置する検査面１００ａの平坦な領域（正常部分）に位置し、撮像方向Ｄ２が、出光面６ａの部位６ａ１に向かう方向に戻った場合を示している。

撮像装置３が撮像する画像ＩＬは、撮像方向Ｄ２に存在する光を受けた画像となる。したがって、一例として、撮像方向Ｄ２に出光面６ａがある場合には、その撮像方向Ｄ２に対応する出光面６ａ上の領域から出光して検査面１００ａで正反射した光が撮像され、撮像方向Ｄ２が出光面６ａから外れている場合には、出光面６ａから出光して検査面１００ａで正反射した光は撮像されない。つまり、本実施形態では、検査面１００ａに凸状や凹状の形状不良があると、撮像装置３が撮像（受光）する光の組み合わせが変化することとなる。図４の（ａ）の場合に撮像される画像ＩＬでは、赤色の輝度値と青色の輝度値とが、所定の値以上となり且つ緑色の輝度値よりも高くなる。また、図４の（ｂ）の場合に撮像される画像ＩＬでは、赤色の輝度値と緑色の輝度値とが、所定の値以上となり且つ青色の輝度値よりも高くなる。また、図４の（ｃ），（ｄ）の場合に撮像される画像ＩＬでは、赤色、緑色および青色の輝度値が、それぞれ所定の値未満となる。また、図４の（ｅ）の場合に撮像される画像ＩＬでは、青色の輝度値が、所定の値以上となり且つ赤色の輝度値および緑色の輝度値よりも高くなる。また、図４の（ｆ）の場合に撮像される画像ＩＬでは、赤色の輝度値と青色の輝度値とが、所定の値以上となり且つ緑色の輝度値よりも高くなる。

また、本実施形態では、一例として、図１に示すように、検査装置１は、発振回路７と、発振回路７に接続された反転回路８と、発振回路７と光源部５Ｄとの間に介在した電源９Ｄと、反転回路８と光源部５Ｕとの間に介在した電源９Ｕと、を備えている。また、反転回路８には、撮像装置３が接続されている。図５に示すように、発振回路７が出力する信号は、基準クロック信号であり、反転回路８が出力する信号は、基準クロック信号の反転信号である。電源９Ｄは、発振回路７から出力された基準クロック信号に基づいて光源部５Ｄへの電力の供給および停止を切り替え、電源９Ｕは、反転回路８から出力された反転信号に基づいて光源部５Ｕへの電力の供給および停止を切り替える。また、撮像装置３は、反転回路８から出力された反転信号に基づいて撮像を行う。

上記構成により、本実施形態では、光源部５Ｄ，５Ｕによる検査面１００ａへの光の照射は、交互に行われる。すなわち、光源部５Ｄが照明しているときは、光源部５Ｕによる照明は行われない。また、光源部５Ｕが照明しているときは、光源部５Ｄによる照明は行われない。そして、撮像装置３による撮像（画像の取得）と、光源部５Ｄ，５Ｕによる検査面１００ａへの光の照射（一例として、光源部５Ｄ，５Ｕの発光の切り替え）とが同期されている。すなわち、本実施形態では、一例として、図６に示されるように、撮像装置３は、光源部５Ｄからの光で照らされている際の検査面１００ａの一次元の画像ＩＬ１（第一画像、線状画像、画像データ）と、光源部５Ｕからの光で照らされている際の検査物１００の一次元の画像ＩＬ２（第二画像、線状画像、画像データ）とを、交互に所定回数ずつ撮像して画像Ｉ（画像データ）を取得する。制御部２０（図７参照）は、光源部５Ｄからの光で照らされている際の検査物１００の画像ＩＬ１を取得した順に並べて二次元の画像ＩＡ１（第一画像、画像データ、二次元に配列された輝度値のデータ群）を得ることができるとともに、光源部５Ｕからの光で照らされている際の検査物１００の画像ＩＬ２を所定期間内で取得した順に並べて二次元の画像ＩＡ２（第二画像、画像データ、二次元に配列された輝度値のデータ群）を得ることができる。また、制御部２０は、画像ＩＡ１をＲＧＢ分解して、赤色（Ｒ）成分に対応する画像ＩＲ１と、緑色（Ｇ）成分に対応する画像ＩＧ１と、青色（Ｂ）成分に対応する画像ＩＢ１と、を取得することができる。また、制御部２０は、画像ＩＡ２をＲＧＢ分解して、赤色（Ｒ）成分に対応する画像ＩＲ２と、緑色（Ｇ）成分に対応する画像ＩＧ２と、青色（Ｂ）成分に対応する画像ＩＢ２と、を取得することができる。更に、制御部２０は、画像ＩＡ１と画像ＩＡ２とを合成して画像ＩＣを取得することができる。ここで、光源部５Ｄ，５Ｕによる照明の切り替えの周波数、すなわち撮像装置３によるライン毎の撮像の周波数は、比較的高い値に設定される。よって、画像ＩＡ１，ＩＡ２は、検査面１００ａの略同一部位の画像とみなして、画像ＩＡ１と画像ＩＡ２とが合成される。詳細には、画像ＩＡ１のＮ行目（Ｎは整数）の画像ＩＬ１と、画像ＩＡ２のＮ行目の画像ＩＬ２とが合成される。本実施形態では、以上により得られた各画像ＩＲ１，ＩＧ１，ＩＢ１，ＩＲ２，ＩＧ２，ＩＢ２，ＩＣは、検査面１００ａの同一部位の画像として処理される。以上から分かるように、本実施形態では、撮像装置３の各ラインの撮像では、同じ波長の光源４同士の照明光が混在しないように、相互に異なる波長の光源４が点灯する。

また、本実施形態では、一例として、図７に示すように、検査装置１は、制御部２０（例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）等）や、ＲＯＭ２１（Read Only Memory）、ＲＡＭ２２（Random Access Memory）、ＳＳＤ２３（Solid State Drive）、光照射コントローラ２４、撮像コントローラ２５、移動コントローラ２６、表示コントローラ２７等を備えている。光照射コントローラ２４は、制御部２０からの制御信号に基づいて、照明装置２の発光等を制御する。撮像コントローラ２５は、制御部２０からの制御信号に基づいて、撮像装置３による撮像を制御する。本実施形態では、一例として、光照射コントローラ２４は、発振回路７、反転回路８、電源９Ｄ，９Ｕを含んで構成され、撮像コントローラ２５は、反転回路８を含んで構成されている。また、移動コントローラ２６は、制御部２０から受けた制御信号に基づいて、移動装置３０を制御し、照明装置２および撮像装置３の移動（開始、停止、速度等）を制御する。表示コントローラ２７は、制御部２０からの制御信号に基づいて、表示装置４０（例えば、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）、ＯＥＬＤ（Organic Electro-Luminescence Display）等）を制御する。つまり、制御部２０は、光照射コントローラ２４、撮像コントローラ２５、移動コントローラ２６、表示コントローラ２７を介して、照明装置２、撮像装置３、移動装置３０、表示装置４０を制御する。

また、制御部２０は、不揮発性の記憶部としてのＲＯＭ２１やＳＳＤ２３等にインストールされたプログラム（アプリケーション）を読み出して実行する。ＲＡＭ２２は、制御部２０がプログラムを実行して種々の演算処理を実行する際に用いられる各種データを一時的に記憶する。なお、図７に示されるハードウエアの構成はあくまで一例であって、例えばチップやパッケージにする等、種々に変形して実施することが可能である。また、各種演算処理は、並列処理することが可能であり、制御部２０等は、並列処理が可能なハードウエア構成とすることが可能である。

本実施形態では、一例として、ＳＳＤ２３（記憶部）は、出射位置特定用情報を記憶している。出射位置特定用情報は、撮像装置３が受光する光の組み合わせと、複数の光源４の並び方向Ｂ（図２参照）に規定された照明装置２による光の出射位置に対応した位置座標との関係を示す情報を含む。

以下に、図８を参照して出射位置特定用情報について説明する。まず、本実施形態では、一例として、各光源４にチャンネルｃｈ（チャンネル番号）が割り当てられている。光源部５Ｄの光源４Ｂ、光源４Ｇ、光源４Ｒには、それぞれチャンネルｃｈ１、チャンネルｃｈ２、チャンネルｃｈ３が割り当てられ、光源部５Ｕの光源４Ｂ、光源４Ｇ、光源４Ｒには、それぞれチャンネルｃｈ４、チャンネルｃｈ５、チャンネルｃｈ６が割り当てられている。

図８の（ａ）に示すように、各チャンネルｃｈ１〜ｃｈ６（すなわち、光源部５Ｄの光源４Ｂ、光源４Ｇ、光源４Ｒ、光源部５Ｕの光源４Ｂ、光源４Ｇ、光源４Ｒ）に対応した拡散板６の出光面６ａにおける照度分布を示す照度分布線Ｌ１〜Ｌ６同士は、交点Ｐ１〜Ｐ９で交わる。なお、図８の（ａ）は、図３と同様に、横軸が出光面６ａ上での位置に対応した位置座標を示し、縦軸が照度を示している。交点Ｐ１は、チャンネルｃｈ１の照度分布線Ｌ１とチャンネルｃｈ２の照度分布線Ｌ２との交点である。交点Ｐ２は、チャンネルｃｈ１の照度分布線Ｌ１とチャンネルｃｈ３の照度分布線Ｌ３との交点である。交点Ｐ３は、チャンネルｃｈ２の照度分布線Ｌ２とチャンネルｃｈ３の照度分布線Ｌ３との交点である。交点Ｐ４は、チャンネルｃｈ２の照度分布線Ｌ２とチャンネルｃｈ４の照度分布線Ｌ４との交点である。交点Ｐ５は、チャンネルｃｈ３の照度分布線Ｌ３とチャンネルｃｈ４の照度分布線Ｌ４との交点である。交点Ｐ６は、チャンネルｃｈ３の照度分布線Ｌ３とチャンネルｃｈ５の照度分布線Ｌ５との交点である。交点Ｐ７は、チャンネルｃｈ４の照度分布線Ｌ４とチャンネルｃｈ５の照度分布線Ｌ５との交点である。交点Ｐ８は、チャンネルｃｈ４の照度分布線Ｌ４とチャンネルｃｈ６の照度分布線Ｌ６との交点である。交点Ｐ９は、チャンネルｃｈ５の照度分布線Ｌ５とチャンネルｃｈ６の照度分布線Ｌ６との交点である。交点Ｐ１，Ｐ３，Ｐ５，Ｐ７，Ｐ９は、上側交点であり、交点Ｐ２，Ｐ４，Ｐ６，Ｐ８は、下側交点であり、上側交点での照度よりも下側交点での照度の方が低くなっている。なお、以下では、交点Ｐ１〜Ｐ９を、ｎを整数として、Ｐ（ｎ）とも表す。また、本実施形態では、交点Ｐ１〜Ｐ９の座標位置は、それぞれＣ０〜Ｃ９と表される。なお、Ｃ０〜Ｃ９を、ｎを整数として、Ｃ（ｎ）とも表す。

また、本実施形態では、交点Ｐ１〜交点Ｐ８の間の座標位置に規定の階調が割り当てられている。本実施形態では、一例として、交点Ｐ１の座標位置（Ｃ０）と交点Ｐ８の座標位置（Ｃ８）との間に０〜１０２３の階調が割り当てられている。また、各交点Ｐ１〜Ｐ２間の距離が階調数で算出されている。交点Ｐ１と交点Ｐ２との間の階調数（距離）は、ＳＴ１で表され、交点Ｐ２と交点Ｐ３との間の階調数は、ＳＴ２で表され、交点Ｐ３と交点Ｐ４との間の階調数は、ＳＴ３で表され、交点Ｐ４と交点Ｐ５との間の階調数は、ＳＴ４で表され、交点Ｐ５と交点Ｐ６との間の階調数は、ＳＴ５で表され、交点Ｐ６と交点Ｐ７との間の階調数は、ＳＴ６で表され、交点Ｐ７と交点Ｐ８との間の階調数は、ＳＴ７で表され、交点Ｐ８と交点Ｐ９との間の階調数は、ＳＴ８で表される。なお、ＳＴ１〜ＳＴ８を、ｎを整数として、ＳＴ（ｎ）とも表す。以上から、ＳＴ（ｎ）＝Ｃ（ｎ）−Ｃ（ｎ−１）と表せる。

また、本実施形態では、下側交点（交点Ｐ２，Ｐ４，Ｐ６，Ｐ８）での照度に対する、該下側交点の座標位置での最大照度を示すチャンネルｃｈの照度の倍率（比率、下側交点倍率）が算出されて、この倍率が最大倍率として規定されている。なお、図８等で最大倍率は、Ｍｍａｘで表されている。また、上側交点（交点Ｐ１，Ｐ３，Ｐ５，Ｐ７，Ｐ９）で照度分布線Ｌ１〜Ｌ６が交わるチャンネルｃｈ１〜ｃｈ６同士の倍率（上側交点倍率）は、１であり、この倍率が基準倍率として規定されている。そして、上側交点（交点Ｐ２，Ｐ４，Ｐ６，Ｐ８）での座標位置での基準倍率と下側交点での座標位置での最大倍率とを直線で結んだ倍率線Ｒ（図８の（ｂ））が取得されている。倍率線Ｒは、三角波状となっている。

また、本実施形態では、一例として、制御部２０は、ハードウエアとソフトウエア（プログラム）との協働によって、検査装置１の少なくとも一部として機能（動作）する。一例として、制御部２０は、検出部等として機能して、表面形状検査処理を実行する。

制御部２０は、一例として、照明装置２と撮像装置３とを検査面１００ａに対して一定速度で相対移動させながら、二つの光源部５Ｄ，５Ｕを交互に点灯させて、一方の光源部５Ｄが点灯している際に撮像装置３によって撮像された検査面１００ａの画像ＩＬ１と、他方の光源部５Ｕが点灯している際に撮像装置３によって撮像された画像ＩＬ２と、を用いて、検査面１００ａの形状不良を検出する。この際、本実施形態では、一例として、制御部２０は、撮像装置３の撮像によって得られた画像ＩＬ１，ＩＬ２（画像ＩＲ１，ＩＧ１，ＩＢ１，ＩＲ２，ＩＧ２，ＩＢ２，ＩＣ）から特定される撮像装置３が受光した光の組み合わせを用いて、撮像装置３が受光した光の出射位置を特定し、特定した出射位置を用いて検査面１００ａの不良を検出する。詳細には、制御部２０は、撮像装置３が受光した光の組み合わせと撮像装置３が受光した光の輝度値とを用いて、撮像装置３に入射した光の照明装置２における出射位置を、撮像装置３の撮像によって得られた画像ＩＲ１，ＩＧ１，ＩＢ１，ＩＲ２，ＩＧ２，ＩＢ２，ＩＣの画素（規定の領域）ごとに算出し、算出した画素ごとの照明装置２における光の出射位置を用いて、検査面１００ａの形状不良を検出する。

詳細には、制御部２０は、検査面１００ａの形状不良を検出する際、一例として、図９に示すように、出射位置特定用情報を用いて光の出射位置を特定する。以下に、図９を参照して光の出射位置の特定方法の一例を説明する。

制御部２０は、画像ＩＲ１，ＩＧ１，ＩＢ１，ＩＲ２，ＩＧ２，ＩＢ２の同一（共通）の画素（画像ＩＣの各画素）ごとに、最大輝度値を示すチャンネルｃｈ（光源４）と、二番目に高い輝度値を示すチャンネルｃｈ（光源４）と、を特定する。一例として、画像ＩＲ１，ＩＧ１，ＩＢ１，ＩＲ２，ＩＧ２，ＩＢ２中のある同一の画素の中で、最大輝度値を示す画素が、画像ＩＢ２の画素（青色（Ｂ）の輝度）であり、二番目に高い輝度値を示す画素が、画像ＩＲ１の画素（赤色（Ｒ）の輝度）である場合について説明する。最大輝度値を示す画素が、画像ＩＢ２の画素（青色（Ｂ）の輝度）である場合、画像ＩＢ２は光源部５Ｕが照明しているときの画像であり、また、光源部５Ｕにおいて青色（Ｂ）の光を出射するのは光源４Ｂであるので、最大輝度値を示す光源４は光源部５Ｕであり、最大輝度値を示すチャンネルｃｈは、光源部５Ｕの光源４Ｂに対して割り当てられたチャンネルｃｈ４と特定される。一方、二番目に高い輝度値を示す画素が、画像ＩＲ１の画素（赤色（Ｒ）の輝度）である場合、画像ＩＲ１は光源部５Ｄが照明しているときの画像であり、また、光源部５Ｄにおいて赤色（Ｒ）の光を出射するのは光源４Ｒであるので、二番目に高い輝度値を示す光源４は光源部５Ｄの光源４Ｒであり、二番目に高い輝度値を示すチャンネルｃｈは、光源部５Ｄの光源４Ｒに対して割り当てられたチャンネルｃｈ３と特定される。ここで、本実施形態では、一例として、下側交点以上の照度の光に対応した輝度値がチャンネルｃｈの特定に使用され、下側交点未満の照度の光に対応した輝度値は、チャンネルｃｈの特定に使用されない。

次に、制御部２０は、特定した二つのチャンネルｃｈ（一例として、チャンネルｃｈ３，４）に基づいて、加算座標位置を取得する。具体的には、図９（ａ）のグラフにおける下側交点の照度以上の範囲で、特定した二つのチャンネルｃｈ（一例として、チャンネルｃｈ３，４）の照度分布線（一例として、Ｌ３，Ｌ４）が存在する領域であって、照度の組み合わせが、二つのチャンネルｃｈの輝度値の組み合わせと対応する、交点（一例として、交点Ｐ５と交点Ｐ６）間の範囲を特定する。次に、特定した範囲を規定する交点（一例として、交点Ｐ５と交点Ｐ６）のうちで、座標位置が小さい値の交点（一例として、交点Ｐ５）の座標位置を、加算座標位置として取得する。なお、以後、加算座標位置をＣａとも表す。ここで、本実施形態では、ある画素の最大輝度値が二つある場合（二つの輝度値が同じ場合）は、チャンネルｃｈの組み合わせは、上側交点を構成する二つのチャンネルｃｈの組み合わせとなる。この場合、それらのチャンネルｃｈ同士の交点の座標位置を加算座標位置としてよい。一例として、最大輝度値を示す二つのチャンネルｃｈが、チャンネルｃｈ３，ｃｈ４の場合、加算座標位置は、交点Ｐ５の座標位置（Ｃ４）となる。また、本実施形態では、ある画素の最大輝度値が一つで、二番目に大きな輝度値が二つある場合、チャンネルｃｈの組み合わせは、最大輝度値を示す一つのチャンネルｃｈと、下側交点を構成する二つのチャンネルｃｈとの組み合わせとなる。この場合、二番目に大きな輝度値を示す二つチャンネルｃｈの交点（下側交点）の座標位置を加算座標位置としてよい。一例として、二番目に大きな輝度値を示す二つのチャンネルｃｈが、チャンネルｃｈ３，ｃｈ５の場合、加算座標位置は、交点Ｐ６の座標位置（Ｃ５）となる。

次に、制御部２０は、最大輝度値と二番目に高い輝度値との比を算出する。詳細には、制御部２０は、二番目に高い輝度値に対する最大輝度値の倍率（最大輝度値）／（二番目に高い輝度値）である輝度値倍率を取得する。

次に、制御部２０は、出射位置特定用情報に含まれる最大倍率と、算出した輝度値倍率との比を用いて光の出射位置（座標位置）を求める。具体的には、制御部２０は、最大倍率に対する輝度値倍率の倍率である位置算出用倍率を用いる。このとき、最大倍率および輝度値倍率は、それぞれから「１」を減算した値を用いる。つまり、制御部２０は、輝度値倍率をＭｉで表すとともに、上述したように最大倍率をＭｍａｘで表した場合、（Ｍｉ−１）／（Ｍｍａｘ−１）を位置算出用倍率として用いる。また、制御部２０は、加算座標位置の交点（一例として、Ｃ４）と、この交点の隣りの交点であって、交点の座標位置が加算座標位置よりも大きい交点（一例として、Ｃ５）の座標位置との間の階調数（一例として、ＳＴ５）を、算出用階調数（算出用距離）として出射位置特定用情報から取得する。この場合、加算座標位置をＣａ、算出用階調数をＳＴａ、求める座標位置をＣｘとした場合、次式（１）から位置座標が求まる。
Ｃｘ＝Ｃａ＋ＳＴａ×（Ｍｉ−１）／（Ｍｍａｘ−１） 式（１）
制御部２０は、式（１）から座標位置を算出する。以上からわかるように、本実施形態では、制御部２０は、画像ＩＲ１，ＩＧ１，ＩＢ１，ＩＲ２，ＩＧ２，ＩＢ２（画像ＩＣ）の情報（輝度情報）を位置座標の座標位置に変換する。この座標位置が照明装置２における光の出射位置に対応する。

次に、制御部２０は、周辺比較処理を行い、検査面１００ａに形状不良があるか否かを判定する。制御部２０は、一例として、画像ＩＲ１，ＩＧ１，ＩＢ１，ＩＲ２，ＩＧ２，ＩＢ２（画像ＩＣ）の規定の領域に対応する照明装置２における光の出射位置（座標位置）が、該規定の領域の周辺領域に対応する照明装置２における光の出射位置（または光の出射位置の平均）から、規定以上離れている場合、検査面１００ａに形状不良が有ると判定する。上記規定の領域は、例えば、注目画素や注目画素領域（複数の画素）である。規定の領域が複数の画素から構成される注目画素領域の場合、各画素の光の出射位置の平均を規定の領域の光の出射位置とすることができる。また、制御部２０は、取得した各画素の光の出射位置（座標位置）から凹凸の程度を認識し、閾値を用いて凹凸不良を検出することができる。以上のとおり、本実施形態では、制御部２０は、各画素の色情報と輝度値とを用いて、形状不良を判定する。

本実施形態では、一例として、制御部２０は、表面形状検査処理を図１０に示す順序で実行する。制御部２０は、照明装置２と撮像装置３とを検査面１００ａに対して一定速度で相対移動させながら、照明装置２および撮像装置３を制御して、一次元の画像ＩＬ１と画像ＩＬ２とを交互に取得することで画像Ｉを取得する（ステップＳ１１）。次に、制御部２０は、画像Ｉを画像ＩＡ１と画像ＩＡ２とに分解する（ステップＳ１２）。この際、制御部２０は、上述したように画像ＩＡ１と画像ＩＡ２とを合成（加算）して、画像ＩＣを得ることができる。なお、画像ＩＣは、画像ＩＡ１および画像ＩＡ２を経由して生成することは必須ではなく、画像ＩＬ１および画像ＩＬ２から生成してもよい。

次に、制御部２０は、画像ＩＡ１をＲＧＢ分解して、上述したように画像ＩＲ１，ＩＧ１，ＩＢ１を取得し、画像ＩＡ２をＲＧＢ分解して、画像ＩＲ２，ＩＧ２，ＩＢ２を取得する（ステップＳ１３）。

次に、制御部２０は、位置座標変換処理を行う（ステップＳ１４）。位置座標変換処理では、制御部２０は、画像を上述したように画像ＩＲ１，ＩＧ１，ＩＢ１，ＩＲ２，ＩＧ２，ＩＢ２（画像ＩＣ）の各画素における輝度値を、位置座標の座標位置に変換する。

次に、制御部２０は、ステップＳ１４で取得した座標位置に基づいて、上述した不良判定処理を行う（ステップＳ１５）。

次に、制御部２０は、不良判定処理の結果を出力する（ステップＳ１６）。本実施形態では、一例として、制御部２０は、不良判定処理の結果を表示装置４０の表示画面に表示させる。

次に、比較例について説明する。図１１に示すように、比較例の検査装置１０００は、検査装置１と同様に、照明装置２と、撮像装置３（図１１では図示せず）と、を備えている。比較例の検査装置１０００が検査装置１と異なる点の一つは、図１２に示すように、拡散板６の出光面６ａ上において、複数の光源４のうち複数の光源４の並び方向Ｂで一端に位置する光源４（一例として、光源部５Ｕの光源４Ｒ）の光の照射領域Ｔ１と、複数の光源４のうち複数の光源４の並び方向Ｂで他端に位置する光源４（一例として、光源部５Ｕの光源４Ｂ）の光の照射領域Ｔ１と、の間に、照射領域Ｔ１が重ならない領域が存在する点である。また、比較例の検査装置１０００は、受光した光の出射位置を取得せずに、受光した光の輝度値によって、検査面１００ａの形状不良を検出する点も検査装置１と異なる。

次に、撮像装置３の基準撮像方向の違いによる、形状不良を撮像する際に撮像装置３が受光する反射光の輝度値の変化の違いについて説明する。基準撮像方向は、撮像装置３が検査面１００ａの正常部分（一例として、平面部分）を撮像しているときの検査面１００ａを介しての撮像装置３の撮像方向Ｄ２であり、検査面１００ａに対する撮像装置３の向き（位置、初期位置）によって変化する。

比較例の検査装置１０００は、図１３，図１４に示すように、基準撮像方向での出光面６ａ上での位置である基準位置が、照度分布線Ｌ１〜Ｌ６のいずれか（図１３，１４の例では、照度分布線Ｌ５）の頂部（中心位置）である場合（図１３）と、基準位置が照度分布線Ｌ１〜Ｌ６の頂部以外の場合（図１４）とでは、ある形状不良（凹凸形状）を複数回かけて撮像したときに受光した光の輝度の変化量が異なるものとなる。具体的には、基準位置が照度分布線Ｌ１〜Ｌ６のいずれかの頂部である場合（図１３）よりも、基準位置が照度分布線Ｌ１〜Ｌ６の頂部以外の場合（図１４）の方が、輝度の変化量が大きくなる。なお、この傾向は、本実施形態の検査装置１においても、図１５，１６に示すように、比較例の検査装置１０００と同様である。

上記のように、基準位置が照度分布線Ｌ１〜Ｌ６のいずれかの頂部である場合と、基準位置が照度分布線Ｌ１〜Ｌ６の頂部以外の場合とでは、ある形状不良を複数回かけて撮像したときに受光した光の輝度の変化量が異なる。したがって、受光した光の出射位置を取得せずに、受光した光の輝度値だけによって、検査面１００ａの形状不良を検出する、比較例の検査装置１０００では、基準位置が照度分布線Ｌ１〜Ｌ６のいずれかの頂部である場合と、基準位置が照度分布線Ｌ１〜Ｌ６の頂部以外の場合とで、ある形状不良が異なる不良レベルとして判定されてしまい、形状不良（不良レベル）の検出精度にばらつきが出てしまう。一方、本実施形態の検査装置１は、受光した光の出射位置を取得することにより、撮像装置３の光の出射位置の変化量（移動量）を算出できる。したがって、本実施形態の検査装置１では、基準位置が照度分布線Ｌ１〜Ｌ６のいずれかの頂部である場合と、基準位置が照度分布線Ｌ１〜Ｌ６の頂部以外の場合とで、ある形状不良を略同じ不良レベルのものと判定できるので、形状不良（不良レベル）の検出精度を基準位置によらずに安定して得ることができる。

以上説明したとおり、一例として、本実施形態の検査装置１は、照明装置２と、撮像装置３と、制御部２０と、を備えている。照明装置２は、三つ以上（一例として、六つ）の光源４を有し、検査面１００ａに対して相対移動されながら三つ以上の光源４によって検査面１００ａを照明する。照明装置２では、三つ以上の光源４が相対移動方向で相互に異なる位置に位置している。照明装置２では、隣り合う光源４が出射する光の波長が相互に異なり、隣り合う光源４の光の照射領域の一部が相互に重なることで、三つ以上の光源４のうち三つ以上の光源４の並び方向Ｂで一端に位置する光源４の光の照射領域と、三つ以上の光源４のうち三つ以上の光源４の並び方向Ｂで他端に位置する光源４の光の照射領域と、に亘って二つ以上の光源４の光の照射領域が相互に重なる。撮像装置３は、照明装置２とともに検査面１００ａに対して相対移動されながら、照明装置２によって照明された検査面１００ａを撮像する。制御部２０は、撮像装置３の撮像によって得られた画像から特定される撮像装置３が受光した光の組み合わせを用いて、撮像装置３が受光した光の出射位置を特定し、特定した出射位置を用いて検査面１００ａの形状不良を検出する。したがって、本実施形態によれば、一例として、検査面１００ａの形状不良を検出しやすい。

また、本実施形態では、一例として、制御部２０は、撮像装置３が受光した光の組み合わせと撮像装置３が受光した光の輝度値とを用いて、撮像装置３に入射した光に対応する照明装置２における光の出射位置を、撮像装置３の撮像によって得られた画像の画素ごとに算出する。そして、制御部２０は、算出した画素ごとの照明装置２における光の出射位置を用いて、検査面１００ａの形状不良を検出する。したがって、本実施形態によれば、一例として、撮像装置３が受光した光の組み合わせと撮像装置３が受光した光の輝度値とを用いて、検査面１００ａの形状不良を検出することができる。

また、本実施形態では、制御部２０は、一例として、画像ＩＲ１，ＩＧ１，ＩＢ１，ＩＲ２，ＩＧ２，ＩＢ２（画像ＩＣ）の規定の領域に対応する照明装置２における光の出射位置（座標位置）が、該規定の領域の周辺領域に対応する照明装置２における光の出射位置（または光の出射位置の平均）から、規定以上離れている場合、検査面１００ａに形状不良が有ると判定する。したがって、本実施形態によれば、一例として、光の出射位置を用いて、検査面１００ａの形状不良を検出することができる。

また、本実施形態では、一例として、照明装置２は、四つ以上（一例として、六つ）の光源４を有し、四つ以上の光源４は、出射する光の波長が相互に異なる複数の光源４をそれぞれ有し相互に隣り合って位置した二つの光源部５Ｄ，５Ｕを構成している。そして、制御部２０は、二つの光源部５Ｄ，５Ｕを交互に点灯させて、一方の光源部５Ｄが点灯している際に撮像装置３によって撮像された検査面１００ａの画像と、他方の光源部５Ｕが点灯している際に撮像装置３によって撮像された画像と、を用いて、検査面１００ａの形状不良を検出する。したがって、本実施形態によれば、一例として、光源４を一つずつ順に点灯させて各光源４ごとに撮像装置３による撮像を１回ずつ行う場合に比べて、撮像回数を少なくすることがきるので、検査処理時間を短くしやすい。また、本実施形態によれば、一例として、各光源部５Ｕ，５Ｄのそれぞれでは、複数の光源４による照明は同時であるので、それらの複数の光源４によって照明された検査面１００ａを一度で撮像できるので、それらの光源４に対応する画像には位置ずれが生じない。なお、各光源部５Ｕ，５Ｄに対応する画像間には、厳密にはずれが生じるが、このずれは無視できる程度のものであり、且つ各光源４を一つずつ点灯させて、各光源４の点灯に対応させて撮像装置３による撮像を行った場合の全体のずれ量に比べて小さいものである。

また、本実施形態では、一例として、二つの光源部５Ｄ，５Ｕは、光源４の種類の組み合わせと光源４の並び順とが相互に同じである。したがって、本実施形態によれば、一利として、二つの光源部５Ｄ，５Ｕを同一の構成とすることができる。

以上、本発明の実施形態を例示したが、上記実施形態はあくまで一例である。実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、組み合わせ、変更を行うことができる。また、実施形態の構成や形状は、部分的に他の構成や形状と入れ替えて実施することも可能である。また、各構成や形状等のスペック（構造、種類、方向、角度、形状、大きさ、長さ、幅、厚さ、高さ、数、配置、位置、材質等）は、適宜に変更して実施することができる。

１…検査装置、２…照明装置、３…撮像装置、４，４Ｂ，４Ｇ，４Ｒ…光源、５Ｄ，５Ｕ…光源部、６…拡散板、２０…制御部（検出部）、１００ａ…検査面、Ｔ１…照射領域。

Claims (7)

1. 三つ以上の光源を有し、検査面に対して相対移動されながら前記三つ以上の光源によって前記検査面を照明し、前記三つ以上の光源が前記相対移動方向で相互に異なる位置に位置し、隣り合う前記光源が出射する光の波長が相互に異なり、隣り合う前記光源の光の照射領域の一部が相互に重なることで、前記三つ以上の光源のうち前記三つ以上の光源の並び方向で一端に位置する前記光源の光の照射領域と、前記三つ以上の光源のうち前記三つ以上の光源の並び方向で他端に位置する前記光源の光の照射領域と、に亘って二つ以上の前記光源の光の照射領域が相互に重なった、照明装置と、
   前記照明装置とともに前記検査面に対して相対移動されながら、前記照明装置によって照明された前記検査面を撮像する撮像装置と、
   前記撮像装置の撮像によって得られた画像から特定される前記撮像装置が受光した光の組み合わせを用いて、前記撮像装置が受光した光の出射位置を特定し、特定した前記出射位置を用いて前記検査面の不良を検出する検出部と、
   を備えた検査装置。
2. 前記検出部は、前記撮像装置が受光した光の組み合わせと前記受光した光の輝度値とを用いて、前記撮像装置に入射した光の前記照明装置における出射位置を、前記撮像装置の撮像によって得られた画像の規定の領域ごとに算出し、算出した前記規定の領域ごとの前記照明装置における光の出射位置を用いて、前記検査面の形状不良を検出する、請求項１に記載の検査装置。
3. 前記照明装置は、出射する光の波長が相互に異なる三種類以上の前記光源を有した請求項１または２に記載の検査装置。
4. 前記照明装置は、四つ以上の前記光源を有し、
   前記四つ以上の光源は、出射する光の波長が相互に異なる複数の前記光源をそれぞれ有し相互に隣り合って位置した二つの光源部を構成し、
   前記検出部は、前記二つの光源部を交互に点灯させて、一方の前記光源部が点灯している際に前記撮像装置によって撮像された前記検査面の画像と、他方の前記光源部が点灯している際に前記撮像装置によって撮像された画像と、を用いて、前記検査面の形状不良を検出する請求項１ないし３のいずれか一項に記載の検査装置。
5. 前記二つの光源部は、前記光源の種類の組み合わせと前記光源の並び順とが相互に同じである請求項４に記載の検査装置。
6. 前記照明装置は、前記光源における光の出射側に位置し前記光源から出射された光を拡散する拡散板を有した請求項１ないし５のいずれか一項に記載の検査装置。
7. 三つ以上の光源を有し、検査面に対して相対移動されながら前記三つ以上の光源によって前記検査面を照明し、前記三つ以上の光源が前記相対移動方向で相互に異なる位置に位置し、隣り合う前記光源が出射する光の波長が相互に異なり、隣り合う前記光源の光の照射領域の一部が相互に重なることで、前記三つ以上の光源のうち前記三つ以上の光源の並び方向で一端に位置する前記光源の光の照射領域と、前記三つ以上の光源のうち前記三つ以上の光源の並び方向で他端に位置する前記光源の光の照射領域と、に亘って二つ以上の前記光源の光の照射領域が相互に重なった、照明装置を備えた検査装置において実行される検査方法であって、
   撮像装置が、前記照明装置とともに前記検査面に対して相対移動されながら、前記照明装置によって照明された前記検査面を撮像する工程と、
   検出部が、前記撮像装置の撮像によって得られた画像から特定される前記撮像装置が受光した光の組み合わせを用いて、前記撮像装置が受光した光の出射位置を特定し、特定した前記出射位置を用いて前記検査面の不良を検出する工程と、
   を含む検査方法。

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