JP2015109406A - Led素子 - Google Patents
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Abstract
Description
1/2×λ≦P≦16/9×λ
の関係を満たすようにしたLED素子が提供される。
23/45×λ≦P≦14/9×λ
の関係を満たすようにすることが好ましい。
図1に示すように、LED素子1は、サファイア基板2の表面上に、III族窒化物半導体層からなる半導体積層部19が形成されたものである。ここで、サファイアの屈折率は1.78であり、III族窒化物半導体層の屈折率は2.52である。このLED素子1は、フリップチップ型であり、サファイア基板2の裏面側から主として光が取り出される。半導体積層部19は、バッファ層10、n型GaN層12、発光層14、電子ブロック層16、p型GaN層18をサファイア基板2側からこの順に有している。p型GaN層18上にはp側電極27が形成されるとともに、n型GaN層12上にはn側電極28が形成されている。
ここで、ブラッグの回折条件から、界面にて光が反射する場合において、入射角θinに対して反射角θrefが満たすべき条件は、
P・n1・(sinθin−sinθref)=m・λ・・・(1)
である。ここで、Pは凹部または凸部の周期、n1は入射側の媒質の屈折率、λは入射する光の波長、mは整数である。半導体積層部19からサファイア基板2へ光が入射する場合、n1はIII族窒化物半導体の屈折率となる。図2(a)に示すように、上記(1)式を満たす反射角θrefで、界面へ入射する光は反射される。
P・(n1・sinθin−n2・sinθout)=m’・λ・・・(2)
である。ここで、n2は出射側の媒質の屈折率であり、m’は整数である。例えば半導体積層部19からサファイア基板2へ光が入射する場合、n2はサファイアの屈折率となる。図2(b)に示すように、上記(2)式を満たす透過角θoutで、界面へ入射する光は透過される。
図5に示すように、発光層14から発せられた光のうち、サファイア基板2へ臨界角を超えて入射する光は、回折面2aで入射時よりも垂直寄りの方向へ透過及び反射する。すなわち、回折面2aを透過した光は、垂直寄りへ角度変化した状態でサファイア基板2の裏面へ入射する。また、回折面2aで反射した光は、垂直寄りへ角度変化した状態でp側電極27及びn側電極28で反射された後、回折面2aに再度入射する。このときの入射角は、先の入射角よりも垂直寄りとなる。この結果、サファイア基板2の裏面へ入射する光を垂直寄りとすることができる。
図6に示すように、p側電極27は、p型GaN層18上に形成される拡散電極21と、拡散電極21上の所定領域に形成される誘電体多層膜22と、誘電体多層膜22上に形成される金属電極23とを有している。拡散電極21は、p型GaN層18に全面的に形成され、例えばITO(Indium Tin Oxide)等の透明材料からなる。また、誘電体多層膜22は、屈折率の異なる第1材料22aと第2材料22bのペアを複数繰り返して構成される。誘電体多層膜22は、例えば、第1材料22aをZrO2(屈折率:2.18)、第2材料22bをSiO2(屈折率:1.46)とし、ペア数を5とすることができる。尚、ZrO2とSiO2と異なる材料を用いて誘電体多層膜22を構成してもよく、例えば、AlN(屈折率:2.18)、Nb2O3(屈折率:2.4)、Ta2O3(屈折率:2.35)等を用いてもよい。金属電極23は、誘電体多層膜22を被覆し、例えばAl等の金属材料からなる。金属電極23は、誘電体多層膜22に形成されたビアホール22cを通じて拡散電極21と電気的に接続されている。
1/2×λ≦P≦16/9×λ
の関係を満たすように、凸部2cの周期が設定されている。この関係については、
23/45×λ≦P≦14/9×λ
とすることが好ましい。また、凸部2cの周期は、透過回折光が少なくとも2次の回折光を含み、5次の回折光を含まないよう設定されている。また、凸部2cの周期は、反射回折光が少なくとも3次の回折光を含むよう設定されている。
1/2×λ≦P≦16/9×λ
の関係を満たすようにすると、PSS基板よりも光軸上の光強度を大きくすることができる。
23/45×λ≦P≦14/9×λ
の関係を満たすようにすると、FSS基板よりも光軸上の光強度を大きくすることができる。
図14に示すように、透過回折光について、2次、3次あるいは4次まで許容される凸部2cの周期は、260nmから620nmである。すなわち、凸部2cの周期をPとし、発光層14から発せられる光のピーク波長をλとしたとき、
26/45×λ≦P≦62/45×λ
の関係を満たすようにすると、透過回折光について、許容次数が2次から4次となる。
28/45×λ≦P
の関係を満たすようにすると、反射回折光について、許容次数が3次以上となる。つまり、透過回折光の許容次数が2次から4次の間となり、反射回折光の許容次数が3次以上となるようにするには、
26/45×λ≦P≦62/45×λ
の関係を満たすようにすればよい。
1/2×λ≦P≦16/9×λ
の関係を満たすようにしたので、素子から取り出される光軸まわりの光量を大きくすることができる。従って、回折作用を利用して光の取り出し効率を向上させつつ、回折に起因する配光特性を利用して適切な配光を実現することができる。
図15に示すように、このLED素子101はフェイスアップタイプであり、サファイア基板102の表面上に、III族窒化物半導体層からなる半導体積層部119が形成されたものである。このLED素子101は、フェイスアップ型であり、サファイア基板102と反対側から主として光が取り出される。半導体積層部119は、バッファ層110、n型GaN層112、発光層114、電子ブロック層116、p型GaN層118をサファイア基板102側からこの順に有している。p型GaN層118上にはp側電極127が形成されるとともに、n型GaN層112上にはn側電極128が形成されている。また、p側電極127は、p型GaN層118上に形成される拡散電極121と、拡散電極121上の一部に形成されるパッド電極122と、を有している。
1/2×λ≦P≦16/9×λ
の関係を満たすように、凸部102cの周期が設定されている。また、凸部102cの周期は、透過回折光が少なくとも2次の回折光を含み、5次の回折光を含まないよう設定されている。また、凸部102cの周期は、反射回折光が少なくとも3次の回折光を含むよう設定されている。
図16に示すように、サファイア基板102の裏面側には、誘電体多層膜124が形成されている。誘電体多層膜124は金属層であるAl層126により被覆される。この発光素子101においては、誘電体多層膜124及びAl層126が反射部をなしており、発光層114から発せられ回折面102aを回折作用によって透過した光を当該反射部で反射する。そして、回折作用により透過した光を回折面102aに再入射させて、回折面102aにて再び回折作用を利用して透過させることにより、複数のモードで光を素子外部へ取り出すことができる。
1/2×λ≦P≦16/9×λ
の関係を満たすようにしたので、素子から取り出される光軸まわりの光量を大きくすることができる。
2 サファイア基板
2a 回折面
2c 凸部
14 発光層
19 半導体積層部
27 p側電極
28 n側電極
101 LED素子
102 サファイア基板
102a 回折面
114 発光層
119 半導体積層部
124 誘電体多層膜
126 Al層
Claims (14)
- 表面に周期的な凹部又は凸部が形成され、表面が回折面をなすサファイア基板と、
前記サファイア基板の表面上に形成され発光層を含みIII族窒化物半導体からなる半導体積層部と、
前記発光層から発せられる光の少なくとも一部を、前記サファイア基板の表面側に反射する反射部と、を備え、
前記サファイア基板と前記半導体積層部の界面にて前記発光層から発せられる光の回折作用を得るLED素子において、
前記半導体積層部側にて前記回折面へ入射する光の強度分布と比べて、前記サファイア基板側にて前記回折面を透過して出射する光の強度分布が、前記半導体積層部と前記サファイア基板の界面に対して垂直な方向に偏り、
前記凹部又は凸部の周期をP、前記発光層から発せられる光のピーク波長をλとしたとき、
1/2×λ≦P≦16/9×λ
の関係を満たし、
前記反射部は、前記界面に対して垂直に近い角度ほど反射率が高いLED素子。 - 前記凹部又は凸部の周期をP、前記発光層から発せられる光のピーク波長をλとしたとき、
1/2×λ≦P≦λ
の関係を満たすようにした請求項1に記載のLED素子。 - 前記凹部又は凸部の周期をP、前記発光層から発せられる光のピーク波長をλとしたとき、
23/45×λ≦P≦λ
の関係を満たすようにした請求項1または2に記載のLED素子。 - 前記界面における前記光の透過回折光が、少なくとも2次の回折光を含み、5次の回折光を含まないように前記凹部または凸部の周期を設定した請求項1から3のいずれか1項に記載のLED素子。
- 前記界面における前記光の反射回折光が、少なくとも3次の回折光を含むように前記凹部または凸部の周期を設定した請求項1から4のいずれか1項に記載のLED素子。
- 前記LED素子における光の出射面に、前記回折面よりも短い周期で周期的な凹部又は凸部が形成される請求項1から5のいずれか1項に記載のLED素子。
- 前記LEDは、フリップチップ型であり、
前記サファイア基板の裏面に、前記回折面よりも短い周期で周期的な凹部又は凸部が形成される請求項1から5のいずれか1項に記載のLED素子。 - 表面に周期的な凹部又は凸部が形成され、表面が回折面をなすサファイア基板と、
前記サファイア基板の表面上に形成され発光層を含みIII族窒化物半導体からなる半導体積層部と、
前記発光層から発せられる光の少なくとも一部を、前記サファイア基板の表面側に反射する反射部と、を備え、
前記サファイア基板と前記半導体積層部の界面にて前記発光層から発せられる光の回折作用を得るLED素子において、
前記凹部又は凸部の周期をP、前記発光層から発せられる光のピーク波長をλとしたとき、
1/2×λ≦P≦16/9×λ
の関係を満たし、
前記反射部は、誘電体多層膜及び金属層の積層構造からなるLED素子。
- 前記凹部又は凸部の周期をP、前記発光層から発せられる光のピーク波長をλとしたとき、
1/2×λ≦P≦λ
の関係を満たすようにした請求項8に記載のLED素子。 - 前記凹部又は凸部の周期をP、前記発光層から発せられる光のピーク波長をλとしたとき、
23/45×λ≦P≦λ
の関係を満たすようにした請求項8または9に記載のLED素子。 - 前記界面における前記光の透過回折光が、少なくとも2次の回折光を含み、5次の回折光を含まないように前記凹部または凸部の周期を設定した請求項8から10のいずれか1項に記載のLED素子。
- 前記界面における前記光の反射回折光が、少なくとも3次の回折光を含むように前記凹部または凸部の周期を設定した請求項8から11のいずれか1項に記載のLED素子。
- 前記LED素子における光の出射面に、前記回折面よりも短い周期で周期的な凹部又は凸部が形成される請求項8から12のいずれか1項に記載のLED素子。
- 前記LEDは、フリップチップ型であり、
前記サファイア基板の裏面に、前記回折面よりも短い周期で周期的な凹部又は凸部が形成される請求項8から12のいずれか1項に記載のLED素子。
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WO2011027679A1 (ja) * | 2009-09-07 | 2011-03-10 | エルシード株式会社 | 半導体発光素子 |
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