JP2015103936A5 - - Google Patents

Claims (13)

1. 水晶の結晶軸である、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸のうち、Ｘ軸を回転軸として、Ｚ軸の＋側をＹ軸の−方向へ回転させた軸をＺ’軸とし、Ｙ軸の＋側をＺ軸の＋方向へ回転させた軸をＹ’軸とし、Ｘ軸及びＺ’軸に平行な面を主面とし、Ｙ’軸に沿った方向を厚さの方向とする水晶基板を備え、
   前記水晶基板は、
   厚みすべり振動する振動部と、
   前記振動部より厚さが薄い周辺部と、
   を含み、
   前記周辺部は、
   前記振動部の前記Ｘ軸方向の一方側に配置されている第１領域と、
   前記振動部の前記Ｘ軸方向の他方側に配置されている第２領域と、
   を含み、
   前記第１領域及び前記第２領域の少なくともいずれか一方に、前記周辺部よりも前記Ｙ’軸方向に突出しており、前記Ｚ’軸方向に沿った長さが、前記振動部の前記Ｚ’軸方向に沿った長さより短く、且つ、前記Ｘ軸方向からみて前記振動部の前記Ｚ’軸方向に沿った幅の範囲内にある凸部を有していることを特徴とする振動片。
2. 請求項１に記載の振動片において、
   前記振動部と前記凸部との間に、段差部を備えていることを特徴とする振動片。
3. 請求項２に記載の振動片において、
   前記段差部は、前記周辺部からの前記Ｙ’軸方向の高さが前記凸部と同じであることを特徴とする振動片。
4. 請求項２または３に記載の振動片において、
   前記段差部は、前記振動部よりも厚さが薄いことを特徴とする振動片。
5. 請求項２乃至４のいずれか一項に記載の振動片において、
   少なくとも前記振動部に設けられている励振電極を備え、
   前記振動部の前記Ｘ軸方向に沿った長さをＭｘ、前記段差部の前記Ｘ軸方向に沿った長さをＮｘ、前記励振電極の前記Ｘ軸方向に沿った長さをＥｘ、前記凸部の前記Ｘ軸方向に沿った長さをＤｘ、前記段差部と前記凸部との前記Ｘ軸方向に沿った間隔をＳｘ、前記水晶基板に生じる屈曲振動の波長をλとしたときに、
   Ｍｘ＝（ｖ＋１／２）×λ±０．１λ（但し、ｖは正の整数）、
   Ｎｘ＝λ／２×ｐ±０．１λ（但し、ｐは正の整数）、
   Ｅｘ＝（ｗ＋１／２）×λ±０．１λ（但し、ｗは正の整数）、
   Ｄｘ＝λ／２×ｍ±０．１λ（但し、ｍは正の整数）、
   Ｓｘ＝λ／２×ｎ±０．１λ（但し、ｎは正の整数）、
   の関係を満たすことを特徴とする振動片。
6. 請求項５に記載の振動片において、
   前記水晶基板の前記Ｘ軸方向に沿った長さをＬｘ、前記振動部の厚さをｔとしたときに、
   １０≦Ｌｘ／ｔ≦４０、
   の関係を満たすことを特徴とする振動片。
7. 請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の振動片において、
   前記凸部の前記Ｚ’軸方向に沿った長さをＤｚ、前記振動部の前記Ｚ’軸方向に沿った長さをＭｚとしたときに、
   ０＜Ｄｚ／Ｍｚ≦０．７、
   の関係を満たすことを特徴とする振動片。
8. 請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載の振動片において、
   前記凸部の前記周辺部からの前記Ｙ’軸方向の高さをＤｙ、前記振動部の前記周辺部からの前記Ｙ’軸方向の高さをＭｙと
   したときに、
   ０＜Ｄｙ／Ｍｙ≦１、
   の関係を満たすことを特徴とする振動片。
9. 請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の振動片において、
   前記段差部の主面と前記周辺部の主面とを繋いでおり前記Ｚ’軸方向に沿って延びている第１壁面、及び前記凸部の主面と前記周辺部の主面とを繋いでおり前記Ｚ’軸方向に沿って延びている第２面、が傾斜面であり、
   前記傾斜面は、前記水晶基板に生じる屈曲振動の最大振幅となる領域を含んでいることを特徴とする振動片。
10. 請求項１ないし請求項９のいずれか一項に記載の振動片と、
    前記振動片が収容されている容器と、を備えていることを特徴とする振動子。
11. 請求項１ないし請求項９のいずれか一項に記載の振動片と、
    前記振動片を駆動する回路と、を備えていることを特徴とする発振器。
12. 請求項１ないし請求項９のいずれか一項に記載の振動片を備えていることを特徴とする電子機器。
13. 請求項１ないし請求項９のいずれか一項に記載の振動片を備えていることを特徴とする移動体。