JP2015095478A - Ultrasonic vibration joining apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、超音波振動接合装置に関するものである。 The present invention relates to an ultrasonic vibration bonding apparatus.
従来、2つの部材、たとえば、ICチップ等の電子部品と電気配線板とを接合する装置として、特許文献1に開示される超音波振動接合装置が知られている。かかる超音波振動接合装置では、超音波振動で振動するホーンに電子部品を保持し、ホーンに保持した電子部品を電気配線板に対して押圧させる。つまり、電子部品を電気配線板に押圧させた状態で超音波振動を印加させて電子部品と電気配線板との接合が行われる。電子部品の電気配線板への押圧は、ホーンに加重を付加することで行われている。
2. Description of the Related Art Conventionally, an ultrasonic vibration joining device disclosed in
しかしながら、ホーンに加重を付加すると、加重によりホーンの振動の慣性が大きくなり所定の振幅あるいは振動数を得られなくなる虞がある。 However, if a weight is added to the horn, there is a possibility that the inertia of the vibration of the horn increases due to the weight and a predetermined amplitude or frequency cannot be obtained.
そこで、本発明は、2つの部材を接合する際に超音波振動を用いる超音波接合装置において、接合時に2部材に押圧力を作用させる場合であっても、超音波振動の振幅や振動数に与える影響を小さくできる超音波振動接合装置を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention is an ultrasonic bonding apparatus that uses ultrasonic vibration when bonding two members, and even if the pressing force is applied to the two members during bonding, the amplitude and frequency of the ultrasonic vibration are adjusted. It is an object of the present invention to provide an ultrasonic vibration bonding apparatus capable of reducing the influence exerted.
上述の課題を解決するため、本発明の超音波振動接合装置は、第1部材と第2部材との間に接合部材を挟んだ状態で、第1部材を第2部材に向けて押圧力を作用させる押圧機構と、第2部材に対して超音波振動を印加する超音波振動印加機構とを有することとする。 In order to solve the above-described problem, the ultrasonic vibration bonding apparatus according to the present invention applies a pressing force toward the second member with the bonding member being sandwiched between the first member and the second member. A pressing mechanism to be applied and an ultrasonic vibration application mechanism that applies ultrasonic vibration to the second member are provided.
また、他の発明は、上述の発明に加え、押圧機構は、第1部材および第2部材の上方に配置され、超音波振動印加機構は、第1部材および第2部材の下方に配置されていることとする。 According to another invention, in addition to the above-described invention, the pressing mechanism is disposed above the first member and the second member, and the ultrasonic vibration applying mechanism is disposed below the first member and the second member. Suppose that
また、他の発明は、上述の発明に加え、第1部材または第2部材の少なくとも一方を介して、接合部材を溶融温度以上の温度に加熱する加熱機構を有することとする。 In addition to the above-described invention, another invention has a heating mechanism for heating the joining member to a temperature equal to or higher than the melting temperature via at least one of the first member and the second member.
また、他の発明は、上述の発明に加え、超音波振動印加機構の超音波の発振周波数は10kHz以上50kHz以下であり、振幅は0.1μm以上10μm以下であることとする。 In another invention, in addition to the above-mentioned invention, the ultrasonic oscillation frequency of the ultrasonic vibration applying mechanism is 10 kHz to 50 kHz, and the amplitude is 0.1 μm to 10 μm.
また、他の発明は、上述の発明に加え、押圧機構の押圧力は、0.1N以上50N以下であることとする。 In another invention, in addition to the above-described invention, the pressing force of the pressing mechanism is 0.1 N or more and 50 N or less.
また、他の発明は、上述の発明に加え、超音波振動接合装置は、内部を不活性ガスにて充満し酸素濃度が100ppm以下の低酸素空間を形成する低酸素空間形成機構を有し、第1部材と第2部材との接合を低酸素空間内にて行うこととする。 Further, in addition to the above-described invention, the ultrasonic vibration bonding apparatus has a low oxygen space formation mechanism that fills the interior with an inert gas and forms a low oxygen space with an oxygen concentration of 100 ppm or less. The first member and the second member are joined in a low oxygen space.
また、他の発明は、上述の発明に加え、超音波振動接合装置は、接合が行われた第1部材と第2部材とを冷却する冷却機構を有することとする。 In another invention, in addition to the above-described invention, the ultrasonic vibration bonding apparatus includes a cooling mechanism that cools the first member and the second member that have been bonded.
本発明によれば、接合時に2部材に押圧力を作用させる場合であっても、超音波振動の振幅や振動数に与える影響を小さくできる超音波振動接合装置を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide an ultrasonic vibration bonding apparatus that can reduce the influence on the amplitude and frequency of ultrasonic vibration even when a pressing force is applied to two members during bonding.
(超音波振動接合装置1の全体構造)
図1から図6を参照しながら本発明の実施の形態に係る超音波振動接合装置1について説明する。以下の説明において、図中、矢印X1−X2方向を左方(左側)−右方(右側)、矢印Y1−Y2方向を前方(前側)−後方(後側)、矢印Z1−Z2方向を上方(上側)−下方(下側)として説明を行う。
(Overall structure of ultrasonic vibration bonding apparatus 1)
An ultrasonic
図1は、超音波振動接合装置1を右斜め前方から見た外観を示す斜視図である。図2は、超音波振動接合装置1を上方から見た外観を示す平面図である。図3は、超音波振動接合装置1を正面から見た外観を示す正面図であり、筐体11の前面側板11D(図1参照)を取り外した状態を示している。図4は、超音波振動接合装置1のうち、後述する、保持機構2、セット機構4、超音波振動印加機構5、エアーシリンダ7、低酸素空間形成機構8およびダクト38の互いの位置関係と概略の構成を示す図である。図5は、超音波振動接合装置1の保持機構2と、この保持機構2を上下・左右・前後に移動させる移動機構3を示す図である。図6は、超音波振動接合装置1のセット機構4および超音波振動印加機構5を示す図である。
FIG. 1 is a perspective view showing an appearance of the ultrasonic
超音波振動接合装置1は、図4に示すように、半田Sを介して重ねられた第1部材M1と第2部材M2とを互いに押圧させた状態で超音波振動を印加させつつ加熱し半田Sを溶融させた後、半田Sを冷却し第1部材M1と第2部材M2とを半田Sを介して接合させるための装置である。半田Sは、第1部材M1と第2部材M2とを接合させる接合部材として機能する。
As shown in FIG. 4, the ultrasonic
超音波振動接合装置1は、保持機構2と、移動機構3と、セット機構4と、超音波振動印加機構5と、加熱機構6(図4,6参照)と、押圧機構としてのエアーシリンダ7と、低酸素空間形成機構8と、冷却機構9(図3,6参照)と、超音波振動印加機構5および冷却機構9を所定の位置に移動させる移動機構10(図3,6参照)と、筐体11と、基台12と、超音波振動接合装置1の各機構の駆動を制御する図示外の制御部とを有する。該制御部は、所定のセンサからの信号や操作者からの指令等に基づき、超音波振動接合装置1の駆動制御を行う。
The ultrasonic
保持機構2は、第1部材M1と第2部材M2とを接合する際に、第1部材M1を保持するための機構である。移動機構3は、保持機構2を上下・左右・前後に移動させるための機構である。セット機構4は、第1部材M1と第2部材M2との接合処理に先立ち、第2部材M2(図4参照)を、超音波振動接合装置1の所定の位置にセットする(据え置く)ための機構である。
The
超音波振動印加機構5は、第1部材M1と第2部材M2とが半田Sを介して重ねられたときに、第2部材M2に対して超音波振動を印加するための機構である。第2部材M2に印加された超音波振動は、半田Sおよび第1部材M1にも伝播する。加熱機構6は、第1部材M1と第2部材M2との間に挟持された半田Sを加熱し溶融させるための機構である。エアーシリンダ7は、超音波振動印加機構5により超音波振動が印加されている第2部材M2に半田Sを介して重ねられた第1部材M1を、第2部材M2に向けて押圧するための機構である。
The ultrasonic vibration applying mechanism 5 is a mechanism for applying ultrasonic vibration to the second member M2 when the first member M1 and the second member M2 are overlapped via the solder S. The ultrasonic vibration applied to the second member M2 also propagates to the solder S and the first member M1. The
低酸素空間形成機構8は、第1部材M1と第2部材M2との接合時に、半田Sの酸化を抑えるために第1部材M1、半田Sおよび第2部材M2が配置される空間を低酸素空間とするための機構である。冷却機構9は、第1部材M1と第2部材M2との間で溶融された半田Sを冷却するための機構である。移動機構10は、超音波振動印加機構5を第2部材M2に超音波振動を印加することができる位置である加振位置と、超音波振動印加機構5を加振位置から退避させると共に冷却機構9を半田Sの冷却を行うことができる位置である冷却位置とに移動させるための機構である。筐体11は、超音波振動印加機構5、加熱機構6、低酸素空間形成機構8および冷却機構9を覆うカバーである。
The low oxygen
保持機構2、移動機構3、セット機構4、超音波振動印加機構5、加熱機構6、エアーシリンダ7、低酸素空間形成機構8、冷却機構9、移動機構10および筐体11は、基台12上に構築されている。超音波振動印加機構5とエアーシリンダ7とは、セット機構4を挟んで上下に配置されている。本実施の形態における超音波振動接合装置1においては、超音波振動印加機構5が、セット機構4の下側に、エアーシリンダ7がセット機構4の上側に配置されている。
The
(保持機構2)
保持機構2は、本実施の形態では、真空吸引にて吸着面13に第1部材M1を吸引保持する真空吸引式のチャック機構にて構成されている。吸着面13には、図示外の真空ポンプ(保持機構用真空ポンプ)に連通する図示外の吸引孔が形成され、この吸引孔に負圧を発生させることで、吸着面13に第1部材M1を吸引保持することができる。なお、保持機構2は、固定具(たとえば、パッチン錠)14より保持機構マウント15に対して着脱自在に取り付けられている。保持機構2を保持機構マウント15に対して着脱自在とすることで、第1部材M1の大きさ等に応じて、保持機構2を適宜の大きさや材質あるいは吸引力のものに取り換えることができる。
(Holding mechanism 2)
In the present embodiment, the
移動機構3は、昇降機構16、左右移動機構17および前後移動機構18を有する。保持機構2は、昇降機構16により上下方向に移動可能であり、また、左右移動機構17により左右方向に移動可能であり、さらに、前後移動機構18により前後方向に移動可能である。つまり、第1部材M1は、保持機構2に保持された状態で、上下・左右・前後に移動可能とされる。
The moving
昇降機構16は、モーター19と、このモーター19により回転される図示外のリードねじと、このリードねじに係合する図示外のナットと、保持機構2が取り付けられる昇降板20とを有する。該ナットは昇降板20に取り付けられている。昇降機構16は、昇降機構取付盤21に対して取り付けられている。モーター19により該リードねじが回転することで、該ナットが取り付けられる昇降板20が、該リードねじの回転方向に対応して上下方向に移動することができる。つまり、保持機構2が上下方向に移動することができる。
The
左右移動機構17は、前後方向に延びる前後ガイド部22R,22Lに架け渡される左右ガイド部23と、モーター24と、このモーター24により回転される図示外のリードねじと、このリードねじに係合する図示外のナットとを有する。該ナットは、昇降機構取付盤21に対して取り付けられている。昇降機構16が取り付けられる昇降機構取付盤21は、左右ガイド部23にガイドされて左右方向に移動可能に取り付けられている。モーター24により該リードねじが回転することで、該ナットが取り付けられる昇降機構取付盤21が、該リードねじの回転方向に対応して左右方向に移動することができる。つまり、保持機構2は、昇降機構取付盤21に取り付けられる昇降機構16と共に左右方向に移動することができる。
The left and right moving
前後移動機構18は、左右に互いに平行に配置される前後ガイド部22R,22Lを有する。左右ガイド部23が、前後ガイド部22R,22Lに、前後ガイド部22R,22Lによる前後方向へのガイドを受けて移動可能に取り付けられている。また、前後移動機構18は、モーター25R,25Lと、モーター25R,25Lにそれぞれ備えられ回転される図示外のリードねじと、各リードねじに係合する図示外のナットとを有する。該各ナットは左右ガイド部23に取り付けられ、モーター25R,25Lにより該各リードねじが回転することで、回転方向に対応して左右ガイド部23が前後方向に移動することができる。つまり、保持機構2は、左右ガイド部23と共に前後方向に移動することができる。
The front / rear moving
前後ガイド部22R,22Lは、基台12の上面12Aに取り付けられる支持柱26を介して基台12に対して支持されている。支持柱26は、左右それぞれに2本ずつ前後に配置されている。前後ガイド部22R,22Lには、左右ガイド部23が架け渡されている。また、左右ガイド部23には、昇降機構取付盤21が取り付けられている。つまり、昇降機構16、左右移動機構17および前後移動機構18は、支持柱26を介して基台12上に構築されている。
The front and
昇降機構取付盤21には、撮影機構としてのカメラ27と、落射照明28(図3,5参照)と、同軸照明29(図3,5参照)とが取り付けられている。落射照明28および同軸照明29は、カメラ27の撮影範囲を照明することができる。カメラ27および落射照明28は、カメラ27の撮影光軸が落射照明28の中心孔28Aの中心を通るように互いに配置されている。撮影光軸中には図示外のハーフミラーが配置され、その反射面は撮影光軸に対して45度とされている。同軸照明29は、撮影光軸に対して直交する方向から該反射面に光を入射させる。したがって、同軸照明29から照射された光は該ハーフミラーで撮影光軸に沿って下方に反射される。
A
昇降機構取付盤21に取り付けられるカメラ27、落射照明28および同軸照明29は、左右方向および前後方向に保持機構2と一体に移動することができる。なお、カメラ27の撮影時の必要な光量が確保できれば落射照明28と同軸照明29の少なくとも一方を備えない構成としてもよい。
The
(セット機構4)
セット機構4は、第1部材M1と第2部材M2とを接合するに際し、第2部材M2を超音波振動接合装置1の所定の位置にセットする(据え置く)ための機構である。セット機構4は、図4に示すように、板状体を呈するパレット30と、このパレット30を保持するパレット保持部31とを有する。
(Set mechanism 4)
The
パレット30は、半田の溶融温度に対して耐熱性を有すると共に、超音波振動を伝播できるように、たとえば、鉄鋼やチタン合金やアルミ合金の板体により形成される。パレット30は、たとえば、縦横約150mmの矩形を呈し、厚み2mm程度の板状体である。パレット保持部31は、後述する側板部36Bおよび側板部36Dを介して筐体11の上板部11Aに対して取り付けられている。
The
パレット保持部31は、パレット載置部31Aと、移動規制部31Bとを有し、パレット載置部31Aの内側には孔部31Cが形成されている。パレット載置部31Aは、孔部31Cを囲むように形成される面部であり、パレット30を載置することができる。パレット載置部31Aは、孔部31Cからパレット30が下方に落下しないようにパレット30の底面の周縁部に当接できるように大きさおよび形状が設定されている。
The
移動規制部31Bは、パレット載置部31Aを囲むように配置され、パレット載置部31Aの外周部から上方に向けて立ち上がる段部である。パレット30は、パレット載置部31Aに載置したときに、移動規制部31Bにより前後左右への移動が規制される。移動規制部31Bの高さ寸法は、パレット30の厚さ寸法よりも大きい。したがって、パレット載置部31Aにパレット30が載置された状態で、パレット30の上面は、移動規制部31Bの上端よりも下方に位置する。
The
孔部31Cは、後述するホーン32が内側に挿入されたときに、孔部31Cの内周縁とホーン32の側面との間に間隙が形成される大きさに設定されている。また、移動規制部31Bがパレット30および孔部31Cを囲む大きさ、すなわち移動規制部31Bの孔部31Cおよびパレット載置部31Aを囲む空間の前後方向および左右方向の大きさは、パレット載置部31A上にパレット30を載置したときに、パレット30の外周端面との間に間隙が形成される大きさに設定されている。該間隙が形成されることで、パレット30の外周面と移動規制部31Bとが接触し難くなる。パレット30と移動規制部31Bとの接触を防ぐことで、後述するように、ホーン32がパレット30に超音波振動を印加した際に、パレット30が移動規制部31Bに接触することによる超音波振動のエネルギーの損失を防止できる。
The
パレット載置部31A上に載置されたパレット30の上に第2部材M2が載置された状態が、超音波振動接合装置1の所定位置に第2部材M2がセットされた状態である。パレット30の上面よりも移動規制部31Bの上端の方が高い。そのため、第2部材M2をパレット30に載置する際の前後左右方向の位置を移動規制部31Bの内側となる所定の位置にセットすることができる。
The state where the second member M2 is placed on the
なお、パレット30には、孔部30Aが形成されている。この孔部30Aは、後述するホーン32の上面32Aに形成される吸引溝32Bに対応する位置に形成され、孔部30Aを介してパレット30の上側と下側とは連通している。また、パレット30の上面には、孔部30Aにつながる図示外の溝部が形成されている。
The
(超音波振動印加機構5)
超音波振動印加機構5は、図3に示すように、基台12の上面12A上に構築されている。超音波振動印加機構5は、図4に示すように、ホーン32と、振動発振部33と、ブースタ34とを有している。ホーン32は、超音波を共振させ易くするため、鉄鋼やアルミ合金やチタン合金等の金属で構成されている。振動発振部33は、たとえば、圧電セラミックス等の圧電素子に電圧を印加したときのピエゾ効果により超音波振動を発振する構成である。振動発振部33は、磁気歪効果により超音波振動を発振する構成のものを使用することもできる。
(Ultrasonic vibration application mechanism 5)
The ultrasonic vibration applying mechanism 5 is constructed on the
振動発振部33で発振された超音波振動は、ブースタ34を介して共鳴体であるホーン32に伝播される。ブースタ34およびホーン32により、振動発振部33で発振された超音波振動の振幅は、接合される第1部材M1および第2部材M2の材質や大きさ等の接合条件に応じた振幅に増幅させられる。
The ultrasonic vibration oscillated by the vibration oscillating unit 33 is propagated through the
ホーン32の上面32Aには、吸引溝32Bが形成されている。ホーン32には、吸引溝32Bに連通する図示外の空気流通孔が形成され、この空気流通孔は、図示外の真空ポンプ(ホーン用真空ポンプ)に連通している。したがって、該ホーン用真空ポンプを駆動することで、吸引溝32B内に負圧を発生させることができる。
A
(エアーシリンダ7)
エアーシリンダ7は、昇降板20に取り付けられ、エアーシリンダ7のピストンロッド7Aは、保持機構マウント15に連結されている。エアーシリンダ7は、ピストンロッド7Aを上下方向に移動させることができる。ピストンロッド7Aを下方に移動させることで保持機構マウント15を下方に移動させることができる。
(Air cylinder 7)
The
第1部材M1と第2部材M2との接合に際しては、半田Sを介して重ね合わせられた第1部材M1と第2部材M2とを、保持機構2とホーン32との間に挟み込む。そして、エアーシリンダ7により保持機構2からホーン32側(下方)へ押圧力を作用させ、第1部材M1を第2部材M2に対して押圧する。第1部材M1と第2部材M2とが互いに押圧されている状態で超音波振動印加機構5を駆動し、ホーン32から第2部材M2に超音波振動を印加する。なお、エアーシリンダ7のエアー圧を変更することで、保持機構2のホーン32側(下方)への押圧力を変えることができる。
When the first member M1 and the second member M2 are joined, the first member M1 and the second member M2, which are superposed via the solder S, are sandwiched between the holding
(加熱機構6)
加熱機構6は、第2部材M2への超音波振動の印加に併せて、半田Sを加熱し溶融させるための機構である。超音波振動接合装置1において、加熱機構6は、ホーン32と、このホーン32内に配置される発熱体35とを有する。図4,6においては、例示的に6個の発熱体35が備えられている。発熱体35が発熱することで、ホーン32が加熱される。第2部材M2に超音波振動を印加するに当たり、予め発熱体35を発熱させホーン32を加熱させておく。これにより、第2部材M2に超音波振動を印加する際に、第2部材M2を介して半田Sを加熱し溶融させるまでの時間を短縮することができる。
(Heating mechanism 6)
The
発熱体35は、通電により発熱するニクロム線等の発熱体をセラミック成形体の内部に埋め込んだセラミックヒータや、発熱体を金属シース(パイプ)に収納しシース内を絶縁物により充填させたシーズヒータやカートリッジヒータ、あるいは発熱体の周囲をシリコンゴムで被覆したシリコンヒータを用いることができる。
The
加熱機構6は、保持機構2の側に発熱体35を備える構成であってもよい。つまり、第1部材M1の側から半田Sが加熱させる構成であってもよい。しかしながら、ホーン32は、超音波を共振させ易くするため、鉄鋼やアルミ合金やチタン合金等の金属で構成されている。そのため、ホーン32は、保持機構2に比べて高密度に構成されているため熱容量および熱伝導率が大きい。したがって、ホーン32に発熱体35を備えることで、半田Sの加熱を効率的に行うことができる。
The
(低酸素空間形成機構8)
低酸素空間形成機構8は、低酸素室36(図2,4参照)と、低酸素室36内に不活性ガスとして窒素ガスを流入させることができる図示外の窒素流入機構と、シャッタ37(図1,2,4参照)とを有する。低酸素室36内が低酸素空間として形成されている。
(Low oxygen space formation mechanism 8)
The low oxygen
低酸素室36は、窒息ガスの吹出し口36A(図4参照)を有する側板部36Bと、半田Sの加熱時に発生するヒュームを後述するダクト部38に排気する排気口36C(図1,3参照)を有する側板部36Dと、パレット30と、パレット保持部31と、シャッタ37と、保持機構2とに囲まれる空間である。側板部36Bは、上板部11Aに形成される開口部11Bの左右に配置され、低酸素室36とその外部とを左右において仕切る。側板部36Dは、上板部11Aに形成される開口部11Bの前後に配置され、低酸素室36とその外部とを前後において仕切る。パレット30およびパレット保持部31は、低酸素室36の底部に配置され、低酸素室36とその外部とを底部において仕切る。開口部11Bは、シャッタ37と保持機構2とにより閉鎖される。
The
低酸素室36の左右前後の側方および下方は、ダクト部38(図3,4参照)により覆われている。ダクト部38は、上板部11Aに固定されている。ダクト部38は、活性炭フィルタ等を有する図示外の集塵装置に連通し、半田Sを加熱する際に発生するヒュームは、ダクト部38から集塵装置に排気される。また、ダクト部38は,冷却機構9による超音波振動印加機構5および冷却機構9の左右方向への移動を許容できる形状とされている。具他的には、前後方向の中央部に、上方へ向かって凹む凹部が左右方向に沿って形成され、この凹部に沿って超音波振動印加機構5および冷却機構9が左右方向に移動することができる。図4に示すダクト部38は、該凹部の左右方向に沿う面における断面の概略形状を示す。
The lateral sides and the lower side of the
凹部の底板部38Aには、ホーン32および後述する放熱体39の突出部40の部分が挿通できるように孔部38Bが形成されている。ホーン32と孔部の内周縁との間は、ホーン32が底板部38Aに接触しないように間隙が形成されている。この間隙は、たとえば、1mm程度であり、また、ダクト部38内は、大気に比べて陰圧となっている。そのため、ダクト部38内のヒュームを含んだ空気はダクト部38外に流出し難くい。また、該間隙が形成されることで、ホーン32の超音波振動のエネルギーが低酸素室36に伝播することを抑制でき、振動エネルギーの損失を抑えることができる。該間隔は、1mmに限定されるものではなく、ダクト部38内の陰圧状態を維持できる間隔であればよい。ホーン32および突出部40の孔部38Bに挿通されている部分の形状は略同一であり、突出部40と底板部38Aとの間にも1mm程度の隙間が形成される。
A
筐体11の上板部11Aには、開口部11Bが形成されている。開口部11Bは、筐体11の左右方向の略中央位置に配置され、シャッタ37により開閉される。図1は、シャッタ37が右方に移動され、開口部11Bが開口されている状態が示されている。シャッタ37が、開口部11Bの位置に配置されているときが、シャッタ37の開口部11Bの閉鎖位置である。図4は、シャッタ37が閉鎖位置に配置されている状態を示している。シャッタ37には、開口部37Aが形成されている。したがって、シャッタ37が開口部11Bの位置に配置されただけでは、開口部11Bを閉鎖することができない。
An
開口部37Aは、保持機構2を挿通可能である。保持機構2を開口部37Aに挿通させることで、保持機構2は、保持機構2に保持した第1部材M1をセット機構4にセットされている第2部材M2に重ね合わせることができる。
The
開口部37Aに保持機構2が挿通されたときの、保持機構2と開口部37Aとの間の間隙は、たとえば、1mm程度である。低酸素室36内には窒素ガスが流入されるため、大気圧に対して陽圧となる。したがって、該間隔が1mm程度であれば、低酸素室36内に窒素ガスを流入させたときに、低酸素室36外の空気が低酸素室36内に流入し難くい。該間隔は、1mmに限定されるものではなく、低酸素室36内の陽圧状態を維持できる間隔であればよい。
The gap between the holding
図以外の窒素ガス流入機構は、窒素ガスボンベ内の窒素ガスを側板部36Bに形成される吹出し口36Aから低酸素室36内に流入させることができる機構である。窒素ガスボンベと低酸素室36とを連通する図示外のガス管が備えられ、このガス管に備えられる図示外の電磁ベンの開閉により、窒素ガスボンベから低酸素室36内への窒素ガスの流入を制御することができる。
The nitrogen gas inflow mechanism other than the drawing is a mechanism that allows the nitrogen gas in the nitrogen gas cylinder to flow into the
シャッタ37が開口部11Bの閉鎖位置に配置され、保持機構2が開口部37Aに挿通された状態で、窒素ガス流入機構(図示外)から吹出し口36Aを介して低酸素室36内に窒素ガスが流入される。ダクト部38内は、図示外の集塵装置による吸引により負圧の状態とされ、低酸素室36内のヒュームは、排気口36Cからダクト部38に排出される。
In a state where the
図示外の集塵装置による吸引力と排気口36Cの開口面積や数は、低酸素室36内に窒素ガスの流入が行われている状態で、低酸素室36内が陽圧(外気圧よりも高い圧力)となるように設定されている。そのため、低酸素室36内を窒素ガスで充満させた状態としながら、ヒュームをダクト部38側に排出させることができる。
The suction force by the dust collector (not shown) and the opening area and the number of the
(冷却機構9)
図6に示すように、冷却機構9は、アルミ等の熱伝導性に優れた金属板である放熱体39と、この放熱体39内に形成され空気を流通させる図示外の空気流路と、この空気流路に空気を送り込む図示外のエアーコンプレッサとを有する。エアーコンプレッサから送出される空気は、バルブ41から空気流路に送り込まれ、空気流路を通った空気は、空気放出部42から放熱体39の外側に排気される。空気が放熱体39に形成される空気流路を通過し空気放出部42から排気されることで、放熱体39の放熱が促される。図6では、例示的に、4つの空気放出部42が設けられている。
(Cooling mechanism 9)
As shown in FIG. 6, the
また、放熱体39には上方に突出する突出部40が形成され、この突出部40の上面40Aには、吸引溝40Bが形成されている。放熱体39には、吸引溝40Bに連通する図示外の空気流通孔が形成され、この空気流通孔は、図示外の真空ポンプ(放熱体用真空ポンプ)に連通している。したがって、該放熱体用真空ポンプを駆動することで、吸引溝40B内に負圧を発生させることができる。
Further, the
(移動機構10)
図6に示すように、移動機構10は、超音波振動印加機構5および放熱体39が載置されるステージ43と、ステージ43の左右方向への移動をガイドするガイドレール44と、ステージ43をガイドレール44に沿って左右に移動させる駆動部であるエアーシリンダ45と、放熱体39を上下に移動させるアクチュエータ46と、ホーン32を上下に移動させるアクチュエータ47とを有する。アクチュエータ46およびアクチュエータ47は、たとえば、電磁アクチュエータにて構成できる。
(Movement mechanism 10)
As shown in FIG. 6, the moving
超音波振動印加機構5および放熱体39は、ブラケット48によりステージ43に対して固定されている。ガイドレール44は、前後に2本平行に配置され、基台12の上面に対して固定されている。エアーシリンダ45も前後に2本に配置され、ブラッケト49により基台12に対して固定されている。基台12には、ステージ43の左右方向の停止位置を決めるストッパ50が備えられている。ストッパ50は、ステージ43の左右に1つずつ備えられている。
The ultrasonic vibration applying mechanism 5 and the
エアーシリンダ45は、第1部材M1と第2部材M2との接合を行うに先立ち、ホーン32を第2部材M2の下方となる加振位置に配置させることができる。そして、アクチュエータ47を駆動しホーン32を上方に移動させることで、ホーン32の上面32Aが、第2部材M2が載置されているパレット30に当接させられる。
Prior to joining the first member M1 and the second member M2, the
エアーシリンダ45は、半田Sの冷却を行うに先立ち、放熱体39を第2部材M2の下方となる冷却位置に配置させることができる。そして、アクチュエータ46を駆動し放熱体39を上方に移動させることで、駆動し放熱体39の突出部40が、第2部材M2が載置されているパレット30に当接させられる。
Prior to the cooling of the solder S, the
(超音波振動接合装置1の動作)
次に、図7を参照しながら、第1部材M1と第2部材M2とを接合するための処理工程を、超音波振動接合装置1の動作を含めて説明する。
(Operation of the ultrasonic vibration bonding apparatus 1)
Next, processing steps for joining the first member M1 and the second member M2 will be described, including the operation of the ultrasonic
(パレット30をセット機構4にセット:ステップS10)
先ず、パレット30をセット機構4にセットする(ステップS10)。具体的には、シャッタ37を右方に移動させ、開口部11Bを開口させ、開口部11Bを通してパレット30をパレット載置部31Aに載置する。
(Set the
First, the
操作者は、開口されている開口部11Bを介して、上板部11Aの上方からセット機構4に、手指をアクセスすることができる。操作者は、開口部11Bを通してパレット30をパレット載置部31Aに手作業で載置することができる。なお、パレット30は、予めパレット載置部31Aに載置されていてもよく、また、接合する第2部材M2および第1部材M1の大きさや材質などに応じて適宜に変更することができる。パレット載置部31Aに載置されたパレット30は、移動規制部31Bにより左右前後への移動を規制される。
The operator can access a finger from above the
(第2部材M2をセット機構4にセット:ステップS20)
次に、第2部材M2をパレット30の上に載置し、さらに、第2部材M2の上にシート状の半田Sを載置する(ステップS20)。第2部材M2のパレット30への載置は、開口部11Bを介して操作者が手作業で行うことができる。なお、第2部材M2は、ホーン32の中心Xに第2部材M2の中心ができるだけ近くなるようにパレット30に載置することが好ましい。パレット30に第2部材M2が載置され、さらに第2部材M2上に半田Sが載置された状態で、シャッタ37を左方に移動し、シャッタ37の開口部37Aを筐体11の開口部11Bに重なる位置に移動させる。
(The second member M2 is set in the setting mechanism 4: Step S20)
Next, the second member M2 is placed on the
(低酸素室36内の低酸素化および第1部材M1をセット機構4にセット:ステップS30)
次に、低酸素室36内を低酸素化した状態で、セット機構4にセットされた第2部材M2上に第1部材M1を載置する(ステップS30)。上板部11Aの右側に配置されるストッカ部11Cには、予め2枚の第1部材M1が載置されている。ストッカ部11Cには、左右に2枚の第1部材M1を載置することができる。保持機構2は、ストッカ部11Cに載置されている第1部材M1を吸引保持し、吸引保持した第1部材M1をセット機構4にセットされている第2部材M2上に載置する。
(Reducing oxygen in the
Next, the first member M1 is placed on the second member M2 set in the
保持機構2のストッカ部11Cからセット機構4への移動は、昇降機構16、左右移動機構17および前後移動機構18により行われる。超音波振動接合装置1は、カメラ27による映像に基づき、ストッカ部11Cに載置されている第1部材M1の位置を確認しながら、保持機構2の吸着面13がストッカ部11Cに載置された第1部材M1に当接するように保持機構2を移動する。そして、超音波振動接合装置1は、吸着面13を第1部材M1に当接させた状態で、図示外の保持機構用真空ポンプを駆動し、吸着面13に形成されている図示外の吸引孔に負圧を発生させ、第1部材M1を保持機構2に吸引保持する。
The movement of the
超音波振動接合装置1は、保持機構2に第1部材M1を吸引保持した後、保持機構2をセット機構4に移動し、カメラ27による映像に基づき、セット機構4にセットされている第2部材M2の位置を確認しながら、第1部材M1を第2部材M2上に載置する。第1部材M1を第2部材M2に載置する際、シャッタ37は閉鎖位置に配置されている。したがって、超音波振動接合装置1は、第1部材M1を第2部材M2上に載置する際、保持機構2を開口部37Aに挿通できるように移動させる。
The ultrasonic
開口部37Aに保持機構2が挿通され、第1部材M1を第2部材M2上に載置する前に、図示外の窒素流入機構により吹出し口36Aから低酸素室36内に窒素ガスを流入させる。上述したように、保持機構2と開口部37Aとの間の間隙は、たとえば、1mm程度である。そのため、開口部37Aに保持機構2を挿通した状態で、低酸素室36内に窒素ガスを流入させると、低酸素室36内は、窒素ガスで充満され低酸素空間となる。超音波振動接合装置1は、低酸素室36内を低酸素空間とした状態で、すなわち、低酸素室36内を低酸素空間とした後、保持機構2に吸引保持した第1部材M1を第2部材M2上に載置する。
Before the
低酸素室36内には、図示外の酸素濃度センサーが備えられている。超音波振動接合装置1は、開口部37Aに保持機構2を挿通した状態で、低酸素室36内に窒素ガスを流入させ、酸素濃度センサーにて低酸素室36内の酸素濃度を測定する。そして、所定の酸素濃度以下となった後、保持機構2を下方に移動させ、第1部材M1を第2部材M2上に載置する。
In the
ストッカ部11Cには、第1部材M1が載置される載置面を加温する図示外の加熱機構が備えられ、第1部材M1は、第2部材M2に載置される前に加熱されている。そのため、第2部材M2の超音波の印加に併せて半田Sを溶融させる温度に半田Sを加熱するまでの時間の短縮を図ることができる。
The
また、ストッカ部11Cには、2枚の第2部材M2が載置可能である。そのため、ストッカ部11Cに載置した順に、第1部材M1をセット機構4に移動することで、セット機構4に移動させる第1部材M1の加熱を十分に行うことができる。
In addition, two second members M2 can be placed on the
(第1部材M1の下方への押圧:ステップS40)
続いて、超音波振動接合装置1は、第2部材M2に第1部材M1を載置した状態で、エアーシリンダ7を駆動し、第1部材M1を第2部材M2に向けて(下方に)押圧させる(ステップS40)。第1部材M1と第2部材M2とは、パレット載置部31Aと保持機構2との間で互いに押圧される状態となる。
(Pressing downward of the first member M1: Step S40)
Subsequently, the ultrasonic
(第2部材M2をホーン32に固定:ステップ50)
続いて、第2部材M2をホーン32の上面32Aに固定する(ステップS50)。具体的には、超音波振動接合装置1は、アクチュエータ47を駆動し、ホーン32を上方に移動させホーン32の上面32Aをパレット30の下面に当接させる。この際、超音波振動接合装置1は、エアーシリンダ7の押圧力に抗してパレット30をパレット載置部31Aからわずかに上方に離間させるようにアクチュエータ47を駆動する。離間させる距離は、ホーン32が第2部材M2に超音波振動を印加させたとき、パレット30からパレット載置部31Aに振動が直接伝播しない程度である。なお、第1部材M1と第2部材M2との接合工程を開始するに先立ち、超音波振動接合装置1は、エアーシリンダ45を駆動し、ホーン32を孔部30Aの下方となる加振位置に配置させる。
(The second member M2 is fixed to the horn 32: Step 50)
Subsequently, the second member M2 is fixed to the
超音波振動接合装置1は、ホーン32の上面32Aをパレット30の下面に当接させる際、図示外のホーン用真空ポンプを駆動し、吸引溝32B内に負圧を発生させる。この吸引力により、パレット30が上面32Aに吸引され、また、孔部30Aを介してパレット30に載置される第2部材M2をパレット30側に吸引する。つまり、パレット30および第2部材M2は、吸引溝32Bに発生される負圧によりホーン32に対して固定される。なお、パレット30の上面に、孔部30Aにつながる溝部(図示外)が形成されているため、この溝部にも負圧が生じ、第2部材M2をパレット30により確実に吸引することができる。
When the
超音波振動接合装置1は、ホーン32に第2部材M2を固定する前に、予め、発熱体35の発熱を開始し、ホーン32を加熱させておく。これにより、半田Sが加熱され溶融するまでの時間を短縮できる。
Prior to fixing the second member M2 to the
(超音波振動の印加:ステップS60)
第1部材M1と第2部材M2とが押圧されている状態で、超音波振動接合装置1は、超音波振動印加機構5を駆動し、第2部材M2に超音波振動を印加する(ステップ60)。この際、ホーン32は、パレット30および第2部材M2を介して半田Sに熱を伝導させ半田Sを溶融できる温度に加熱されている。そのため、第2部材M2への超音波振動の印加に併せて、半田Sが溶融される。
(Application of ultrasonic vibration: Step S60)
In a state where the first member M1 and the second member M2 are pressed, the ultrasonic
第1部材M1と第2部材M2との接合面に介在する半田Sが溶融した状態で、超音波振動が印加されることで、接合面の酸化膜の除去が行われ、半田Sと第2部材M2および第1部材M1との接合強度が向上させられる。また、低酸素室36には窒素ガスが充満され酸素濃度が外気に比べて低くなっている。このため、接合面の酸化を抑制させた状態で、半田Sと第2部材M2および第1部材M1との接合を行うことができる。超音波振動接合装置1は、母材(第2部材M2および第1部材M1)と半田Sとの結合が十分に行わるまでの時間、超音波振動の印加と加熱を行う。なお、パレット30は、パレット載置部31Aから離間しているため、超音波振動がパレット載置部31Aに直接伝わることがない。
The ultrasonic vibration is applied in a state where the solder S interposed in the joint surface between the first member M1 and the second member M2 is melted, whereby the oxide film on the joint surface is removed, and the solder S and the second member The bonding strength between the member M2 and the first member M1 is improved. Further, the
(ホーン32のパレット30からの離間:ステップS70)
半田Sと第2部材M2および第1部材M1との結合が十分に行わるまでの時間、超音波振動の印加と加熱とを行った後、超音波振動接合装置1は、吸引溝32Bを負圧にするホーン用真空ポンプの駆動を停止し、次いで、アクチュエータ47を駆動しホーン32を下方に移動させ、上面32Aをパレット30から離間させる(ステップS70)。
(Separation of the
After applying the ultrasonic vibration and heating for a time until the solder S is sufficiently bonded to the second member M2 and the first member M1, the ultrasonic
ホーン32が下方に移動する際、パレット30、第1部材M1および第2部材M2が下方に移動し、エアーシリンダ7のピストンロッド7Aも、ホーン32の下方への移動に併せて移動するにしたがって、パレット30、第1部材M1および第2部材M2は、ホーン32と保持機構2との間に挟持された状態で下方に移動する。
When the
これにより、半田Sが溶融状態にあっても、半田Sと第1部材M1および第2部材M2との結合力の低下を抑えることができる。そして、パレット30がパレット載置部31Aに当接すると、パレット30、第1部材M1および第2部材M2は、エアーシリンダ7の押圧力により保持機構2によりパレット載置部31Aに向けて押圧される。
Thereby, even if the solder S is in a molten state, it is possible to suppress a decrease in the bonding force between the solder S and the first member M1 and the second member M2. When the
パレット30の孔部30Aの直径は、3mm程度の孔であり、また孔部30Aは、パレット30の中心付近に数個(3〜5個)形成されている程度である。また、パレット30には、第2部材M2が載置されている。したがって、ホーン32の上面32Aがパレット30から離間しても、孔部30Aから低酸素室36内の窒素ガスが大量に漏れてしまうことはなく、低酸素室36の低酸素状態は維持される。
The diameter of the
(第1部材M1、第2部材M2および半田Sの冷却:ステップ80)
次いで、第1部材M1、第2部材M2および半田Sを冷却する(ステップ80)。超音波振動接合装置1は、ホーン32の上面32Aがパレット30からの離間した後も引き続きホーン32を下方に移動させ、ホーン32を孔部38Bの下側に移動させる。すなわち、超音波振動接合装置1は、ホーン32が孔部38Bから抜かれた位置までホーン32を下方に移動させる。
(Cooling of first member M1, second member M2 and solder S: Step 80)
Next, the first member M1, the second member M2, and the solder S are cooled (step 80). The ultrasonic
そして、超音波振動接合装置1は、エアーシリンダ45を駆動し、放熱体39を冷却位置(第2部材M2の下方となる位置)に移動させる。そして、超音波振動接合装置1は、アクチュエータ46を駆動し、放熱体39を上方に移動させ、放熱体39の突出部40を孔部38B内に挿通し、上面40Aをパレット30の下面に当接させる。
Then, the ultrasonic
突出部40の上面40Aをパレット30の下面に当接させる際、超音波振動接合装置1は、図示外の放熱体用真空ポンプを駆動し、吸引溝40B内に負圧を発生させる。この吸引力により、パレット30が上面40Aに吸引され、また、孔部30Aを介してパレット30に載置される第2部材M2をパレット30側に吸引される。つまり、パレット30が上面40Aに密着し、また、第2部材M2はパレット30に密着する。これにより、加熱された第2部材M2、半田Sおよび第1部材M1の熱が、放熱体39に放熱される。
When the
放熱体39内には、図以外のエアーコンプレッサにより送り込まれた空気を通し、空気放出部42に排気させる図示外の空気流路が形成されている。該空気流路に空気が流されることで、放熱体39の放熱が促され、第2部材M2および第1部材M1の放熱も促される。
An air flow path (not shown) is formed in the
(第1部材M1および第2部材M2のセット機構4からの取り出し:ステップ90)
そして、超音波振動接合装置1は、互いに接合された第1部材M1および第2部材M2をセット機構4から取り出し、所定位置への移動に移動させる(ステップ90)。具体的には、先ず、超音波振動接合装置1は、第2部材M2および第1部材M1の冷却が完了した後、吸引溝40Bを負圧にする放熱体用真空ポンプの駆動、および放熱体39内の空気流路に空気を送り込むエアーコンプレッサの駆動を停止する。続いて、超音波振動接合装置1は、エアーシリンダ7による第1部材M1の下方への押圧を停止させ、保持機構2が上方に移動するように昇降機構16を駆動する。
(Removal of first member M1 and second member M2 from set mechanism 4: step 90)
Then, the ultrasonic
これにより、互いに接合された第1部材M1および第2部材M2が、上板部11Aの上方に移動する。そして、超音波振動接合装置1は、左右移動機構17、前後移動機構18および昇降機構16を駆動し、保持機構2を所定の位置まで移動させた後、保持機構2の吸引力を解除する。これにより、保持機構2から互いに接合された第2部材M2および第1部材M1が、保持機構2から離脱し、所定の位置に置かれ、接合処理が完了する。
Thereby, the 1st member M1 and the 2nd member M2 which were mutually joined move above 11 A of upper board parts. Then, the ultrasonic
なお、上述の実施の形態において、互いに接合する部材のうち、上側に配置されている部材を第1部材M1とし、下側に配置されている部材を第2部材M2としているが、これは記載上の問題であり、上下いずれの部材を第1部材と記載しても、あるいは第2部材と記載してもよい。 In the above-described embodiment, among the members to be joined to each other, the member disposed on the upper side is referred to as the first member M1, and the member disposed on the lower side is referred to as the second member M2. This is an upper problem, and either the upper or lower member may be described as the first member or the second member.
(実施の形態の主な効果)
上述のように、本発明の実施の形態に係る超音波振動接合装置1は、第1部材M1と第2部材M2とを接合部材としての半田Sを介して接合する装置である。超音波振動接合装置1は、第1部材M1と第2部材M2との間に半田Sを挟んだ状態で、第1部材M1を第2部材M2に向けて押圧力を作用させる押圧機構としてのエアーシリンダ7と、第2部材M2に対して超音波振動を印加する超音波振動印加機構5とを有する。
(Main effects of the embodiment)
As described above, the ultrasonic
したがって、超音波振動接合装置1によれば、互いに接合される部材の一方の部材である第1部材M1にエアーシリンダ7により押圧力を作用させ、他方の部材である第2部材M2に超音波振動印加機構5により超音波振動を印加させることができる。つまり、超音波振動接合装置1は、超音波振動を印加させる機構と、接合される部材に押圧力を作用させる機構とを別々の機構に構成されている。そのため、接合される部材に作用させる押圧力により、超音波振動印加機構5から接合する部材に印加される超音波振動の振幅や振動数が変化させられてしまうことを抑制することができる。
Therefore, according to the ultrasonic
接合される部材(第1部材M1,第2部材M2)が大きくなると、ホーン32を大型化すると共に押圧力も大きくする必要がある。したがって、超音波振動接合装置1のように、超音波振動を印加させる機構と、接合される部材に押圧力を作用させる機構とを別々の機構に構成することで、ホーン32を大型化し、また、押圧力を大きくしても、超音波振動の振幅や振動数が変化させられてしまうことを抑制することができる。超音波振動接合装置1によれば、CPU、RAMやROM等の半導体メモリ、あるいはIC等に比べて大型の部材同士、たとえば、パワー半導体と基板との接合、あるいは金属板と金属板との接合を好適に行うことができる。
When the members to be joined (the first member M1 and the second member M2) are increased, it is necessary to increase the size of the
超音波振動印加機構5の超音波振動の発振周波数および振幅は、接合される部材(第1部材M1,第2部材M2)の大きさ等により適宜に設定することができる。しかしながら、パワー半導体と基板との接合、あるいは金属板と金属板との接合といったCPU等に比べて大型の部材を好適に行うためには、発振周波数を10kHz以上50kHz以下、振幅を0.1μm以上10μm以下とすることが好ましい。 The oscillation frequency and amplitude of the ultrasonic vibration of the ultrasonic vibration applying mechanism 5 can be appropriately set depending on the size of the members to be joined (the first member M1 and the second member M2). However, in order to suitably perform a large member as compared with a CPU or the like such as bonding between a power semiconductor and a substrate or bonding between a metal plate and a metal plate, the oscillation frequency is 10 kHz to 50 kHz and the amplitude is 0.1 μm or more. The thickness is preferably 10 μm or less.
発振周波数が10kHz未満、振幅が0.1μm未満となると、接合面の酸化膜を除去する作用が小さくなり、接合に必要な半田の濡れ性を確保し難くなる。また、発振周波数が50kHzを超えたり、振幅が10μmを超えた場合には、振動エネルギーが大きくなり、この大きな振動エネルギーに対応できるように超音波振動接合装置1の構成を頑丈にしたり、あるいは制振性を高める必要があり、装置の構成が複雑化し易くなったりあるいは高コスト化し易い。発振周波数を15kHz以上45kHz以下、振幅が0.5μm以上5μ以下とすることで、半田の濡れ性を好適に確保しつつ、超音波振動接合装置1の構成の複雑化や高コスト化を好適に抑えることができる。
When the oscillation frequency is less than 10 kHz and the amplitude is less than 0.1 μm, the action of removing the oxide film on the joint surface becomes small, and it becomes difficult to ensure the solder wettability necessary for joining. Further, when the oscillation frequency exceeds 50 kHz or the amplitude exceeds 10 μm, the vibration energy becomes large, and the configuration of the ultrasonic
また、超音波振動を印加させる機構と、接合される部材に押圧力を作用させる機構とを別々の機構に構成することで、押圧力の制御が容易となる。仮に、ホーン32側から押圧力を作用させる構成とした場合には、ホーン32の振動により押圧力が変化してしまい、接合強度が低下してしまう虞がある。これに対し、超音波振動を印加させる機構と、接合される部材に押圧力を作用させる機構とを別々の機構に構成した場合には、押圧力を一定に保ち易く、接合に必要な押圧力で押圧できるため接合部の強度の向上を図ることができる。
Further, by configuring the mechanism for applying the ultrasonic vibration and the mechanism for applying the pressing force to the members to be joined to separate mechanisms, the pressing force can be easily controlled. If the structure is such that a pressing force is applied from the
押圧力は、0.1N以上50N以下であることが好ましい。超音波振動を印加させる機構と、接合される部材に押圧力を作用させる機構とを別々の機構に構成したとしても、第1部材M1および第2部材M2を介してエアーシリンダ7に超音波振動が伝播する。そのため、エアーシリンダ7の押圧力が変動してしまう場合がある。押圧力が0.1N未満とすると、エアーシリンダ7により作用させたい押圧力に対して、超音波振動により変動する押圧力の変動量の割合が大きくなり、押圧力の制御が難しくなる。
The pressing force is preferably 0.1 N or more and 50 N or less. Even if the mechanism for applying the ultrasonic vibration and the mechanism for applying the pressing force to the members to be joined are configured as separate mechanisms, the ultrasonic vibration is applied to the
一方、押圧力が50Nを超えると、超音波振動接合装置1の構成を50Nの押圧力に耐えることができる構成とする必要がある。つまり、超音波振動接合装置1の構成を頑丈に構成する必要があり、装置の構成が複雑化し、また高コスト化し易い。
On the other hand, when the pressing force exceeds 50 N, the configuration of the ultrasonic
押圧力を1N以上10N以下とすることで、押圧力の制御が容易となり、また、超音波振動接合装置1の構成が複雑化したり高コスト化することを抑制できる。
By controlling the pressing force to be 1 N or more and 10 N or less, it is easy to control the pressing force, and it is possible to prevent the configuration of the ultrasonic
また、超音波振動接合装置1において、エアーシリンダ7は、第1部材M1および第2部材M2の上方に配置され、超音波振動印加機構5は、第1部材M1および第2部材M2の下方に配置されている。超音波振動印加機構5は、ホーン32やブースタ34といった重量の重い構成部材を有する。また、ホーン32およびブースタ34が振動するため、この振動の慣性力も発生する。そのため、仮に、超音波振動印加機構5を第1部材M1および第2部材M2の上方に配置することとなると、移動機構3の構成を頑強で大がかりなものとする必要がある。
In the ultrasonic
これに対し、超音波振動印加機構5を第1部材M1および第2部材M2の下方に配置することで、超音波振動印加機構5を超音波振動接合装置1の下方に安定させた状態で取り付けることができる。これにより、超音波振動印加機構5から接合する部材に印加される超音波振動の振幅や振動数も安定させることができる。
On the other hand, the ultrasonic vibration application mechanism 5 is disposed below the first member M1 and the second member M2 so that the ultrasonic vibration application mechanism 5 is attached below the ultrasonic
超音波振動接合装置1は、第2部材M2を介して半田Sを溶融温度以上の温度に加熱する加熱機構6を有する。
The ultrasonic
加熱機構6を有することで、半田Sを溶融することができる。半田Sを溶融させることで、第1部材M1と第2部材M2との接合に要する時間を短縮でき、併せて接合強度を向上させることができる。加熱機構6は、複数の発熱体35をホーン32の上面32Aに沿って配置させている。そのため、上面32Aを広く均一に加熱できる。これにより、半田Sを均一に溶融することができ、接合部の強度を均一なものとすることができる。
By having the
なお、保持機構2の側に第2部材M2を加熱する機構を備え、第2部材M2を介して半田Sを加熱する構成としてもよく、また、第1部材M1および第2部材M2の両側から半田Sを加熱する構成としてもよい。保持機構2の側に加熱する機構を備える構成としては、たとえば、保持機構2内に発熱体を備える構成とすることができる。加熱機構6を有することで、半田Sを溶融することができ、第1部材M1と第2部材M2の接合を好適に行うことができる。
It should be noted that a mechanism for heating the second member M2 may be provided on the
超音波振動接合装置1は、接合が行われた第1部材M1と第2部材M2とを冷却する冷却機構9を有する。
The ultrasonic
冷却機構9を備えることで、第1部材M1と第2部材M2との間で溶融された半田Sの冷却を促すことができ、自然冷却の場合に比べて、第1部材M1と第2部材M2の接合完了までの時間を短縮でき、作業効率の向上を図ることができる。放熱体39と超音波振動印加機構5とは、同一のステージ43に載置され、ガイドレール44に沿って移動可能とされている。したがって、ホーン32を第2部材M2に当接している状態から、放熱体39を第2部材M2の下方となる冷却位置に配置させるまでの時間を短いものとすることができ、作業効率の向上を図ることができる。
By providing the
1 … 超音波振動接合装置
5 … 超音波振動印加機構
6 … 加熱機構
7 … エアーシリンダ(押圧機構)
8 … 低酸素空間形成機構
9 … 冷却機構
M1 … 第1部材
M2 … 第2部材
S … 半田(接合部材)
DESCRIPTION OF
DESCRIPTION OF
Claims (7)
前記第1部材と前記第2部材との間に前記接合部材を挟んだ状態で、前記第1部材を前記第2部材に向けて押圧力を作用させる押圧機構と、
前記第2部材に対して超音波振動を印加する超音波振動印加機構と、
を有することを特徴とする超音波振動接合装置。 In the ultrasonic vibration bonding apparatus for bonding the first member and the second member via the bonding member,
A pressing mechanism that exerts a pressing force on the first member toward the second member in a state where the joining member is sandwiched between the first member and the second member;
An ultrasonic vibration applying mechanism for applying ultrasonic vibration to the second member;
An ultrasonic vibration bonding apparatus comprising:
前記押圧機構は、前記第1部材および前記第2部材の上方に配置され、
前記超音波振動印加機構は、前記第1部材および前記第2部材の下方に配置され、
ていることを特徴とする超音波振動接合装置。 The ultrasonic vibration bonding apparatus according to claim 1,
The pressing mechanism is disposed above the first member and the second member,
The ultrasonic vibration applying mechanism is disposed below the first member and the second member,
An ultrasonic vibration bonding apparatus characterized by comprising:
前記第1部材または前記第2部材の少なくとも一方を介して、前記接合部材を溶融温度以上の温度に加熱する加熱機構を有することを特徴とする超音波振動接合装置。 The ultrasonic vibration bonding apparatus according to claim 1 or 2,
An ultrasonic vibration bonding apparatus comprising: a heating mechanism that heats the bonding member to a temperature equal to or higher than a melting temperature via at least one of the first member and the second member.
前記超音波振動印加機構の超音波の発振周波数は10kHz以上50kHz以下であり、振幅は0.1μm以上10μm以下である、ことを特徴とする超音波振動接合装置。 The ultrasonic vibration bonding apparatus according to any one of claims 1 to 3,
An ultrasonic vibration joining apparatus, wherein an ultrasonic oscillation frequency of the ultrasonic vibration applying mechanism is 10 kHz to 50 kHz, and an amplitude is 0.1 μm to 10 μm.
前記押圧機構の押圧力は、0.1N以上50N以下である、ことを特徴とする超音波振動接合装置。 In the ultrasonic vibration joining apparatus according to any one of claims 1 to 4,
The ultrasonic vibration bonding apparatus according to claim 1, wherein the pressing force of the pressing mechanism is 0.1 N or more and 50 N or less.
前記超音波振動接合装置は、内部を不活性ガスにて充満し酸素濃度が100ppm以下の低酸素空間を形成する低酸素空間形成機構を有し、
前記第1部材と第2部材との接合を前記低酸素空間内にて行う、
ことを特徴とする超音波振動接合装置。 The ultrasonic vibration bonding apparatus according to any one of claims 1 to 5,
The ultrasonic vibration bonding apparatus has a low oxygen space formation mechanism that fills the inside with an inert gas and forms a low oxygen space with an oxygen concentration of 100 ppm or less,
The first member and the second member are joined in the low oxygen space.
An ultrasonic vibration bonding apparatus characterized by that.
前記超音波振動接合装置は、接合が行われた前記第1部材と前記第2部材とを冷却する冷却機構を有することを特徴とする超音波振動接合装置。 The ultrasonic vibration bonding apparatus according to any one of claims 1 to 6,
The ultrasonic vibration bonding apparatus includes a cooling mechanism for cooling the first member and the second member that have been bonded.
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