JP2015094511A - 燃焼除害装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 不活性ガスで希釈された排ガス中の有害成分を効率よく除害処理できるとともに、有害成分と反応させるための酸素の供給も効果的に行うことができる燃焼除害装置を提供する。【解決手段】 燃焼火炎で有害成分の除害処理を行う円筒状の燃焼室11と、燃焼室の上流側中央部に設けられた排ガス導入部12と、燃焼室の周壁外周を囲むリング状の燃焼用ガス導入室22と、燃焼室の周壁を貫通した燃焼用ガス導入部24と、燃焼用ガス導入室に燃焼用ガスを導入する燃焼用ガス導入経路23とを備え、排ガス導入部は、燃焼室の内径より小さな内径の開口から燃焼室の軸線方向に排ガスを導入し、燃焼用ガス導入部は、燃焼室軸線方向に長いスリットから燃焼室の内周面の接線方向に向けて燃焼用ガスを導入し、燃焼用ガス導入室内には、燃焼用ガス導入経路と隣接する燃焼用ガス導入部との間に燃焼用ガス導入室を仕切る仕切板を設ける。【選択図】 図1
Description
本発明は、燃焼除害装置に関し、詳しくは、半導体や液晶などの電子部品を製造する半導体製造工程から排気される排ガス中に含まれる燃焼爆発危険性や毒性危険性を有する成分、環境影響の大きい成分などの有害成分を燃焼火炎中で除害処理する燃焼除害装置に関する。
電子部品製造に使用されるガスをはじめとして、各種工業分野、医療分野で用いられるガスには、燃焼爆発危険性や毒性危険性を有するガス、環境影響の大きいガスなどが使用されており、また、各種ガスを使用中に反応したり、分解したりして発生する物質においても、燃焼爆発危険性や毒性危険性などを有することがあるため、これらのガスを使用する工程から排気される排ガスを大気に放出する前に、各種有害成分の除害処理を行う必要がある。排ガス中の有害成分を除害処理する手段とし、従来から、燃焼火炎中に排ガスを導入し、高温で反応させたり、分解させたりすることによって有害成分を除去することが行われている。近年は、燃焼火炎中に排ガスを導入して有害成分を除害処理する際に、燃焼火炎を燃焼筒内周面の接線方向に噴出させ、管状火炎を形成する方式が注目されている(例えば、特許文献1,2参照。)。また、バーナとして、ガスの流れ方向に、小径部、テーパ部、大径部を形成するとともに、小径部に燃料と酸素含有ガスとを供給し、大径部に、接線方向に温度調整ガスを吹き込む構造を有する管状火炎バーナが知られている(例えば、特許文献3参照。)。
しかし、半導体製造工程から排気される排ガスは、装置から真空ポンプで吸引して抜き出されることが多いため、真空ポンプの軸シールに用いている窒素ガスなどの不活性ガスが排ガス中に混入したり、さらに、有害成分によっては、取り扱いや配管経路の安全性を確保するため、排ガスを不活性ガスで希釈することが多く行われている。このため、燃焼火炎中に導入される排ガス中の有害成分濃度が、不活性ガスで希釈されて低濃度になっているだけでなく、有害成分に対する全体のガス量が多いことから、火炎の安定性が失われることがあった。また、有害成分の種類によっては、火炎を形成するための酸素に加えて、有害成分と反応させるための酸素を必要とすることがあった。さらに、前記管状火炎バーナは、小径の燃焼室では燃料と酸素含有ガスとを混合して燃焼させる際の燃焼性を確保し、大径部では希釈ガスを混合してバーナ先端から吐出される火炎(熱風)の温度調整を行うことを目的としているため、有害成分を除害処理する燃焼除害装置用の燃焼処理部としてそのまま使用することはできない。
そこで本発明は、不活性ガスで希釈された排ガス中の有害成分を効率よく除害処理できるとともに、有害成分と反応させるための酸素の供給も効果的に行うことができる燃焼除害装置を提供することを目的としている。
上記目的を達成するため、本発明の燃焼除害装置は、ガス中に含まれる有害成分を燃焼火炎中で除害処理する燃焼除害装置において、燃料と酸素含有ガスとを混合した燃焼用ガスを燃焼させた火炎で前記有害成分の除害処理を行う円筒状の燃焼室と、該燃焼室の上流側中央部に設けられた排ガス導入部と、前記燃焼室の周壁外周を囲むリング状の燃焼用ガス導入室と、前記燃焼室の周壁を貫通して燃焼用ガス導入室と燃焼室とを連通する燃焼用ガス導入部と、前記燃焼用ガス導入室内に前記燃焼用ガスを導入する燃焼用ガス導入経路とを備え、前記排ガス導入部は、前記燃焼室の内径より小さな内径の開口から前記燃焼室の軸線方向に前記排ガスを導入し、前記燃焼用ガス導入部は、燃焼室軸線方向に長いスリットから前記燃焼室の内周面の接線方向に向けて燃焼用ガスを導入し、前記燃焼用ガス導入室内には、前記燃焼用ガス導入経路と該燃焼用ガス導入経路に隣接する前記燃焼用ガス導入部との間に、該燃焼用ガス導入室を仕切る仕切板が設けられていることを特徴としている。
さらに、本発明の燃焼除害装置は、前記燃焼用ガス導入部の燃焼用ガス導入室側に、前記燃焼用ガス導入室内の燃焼用ガスの流れ方向上流側に向かって延出した燃焼用ガスガイド部材を設けたことを特徴としている。
また、前記燃焼室の下流側に円筒状の後処理筒を連設し、該後処理筒は、前記燃焼室の軸線と同一直線状に軸線を有するとともに、前記燃焼室の内径より大きな内径を有する内筒と該内筒の外周を覆う外筒との二重構造で形成され、前記外筒は、該外筒と前記内筒との間に形成された空気導入室内に空気を導入する空気導入経路を備えるとともに、前記内筒は、前記空気導入室に導入された空気を内筒内に噴出する空気噴出部を備えていることを特徴としている。
さらに、前記燃焼室を、前記排ガス導入部を設けた上流側の第1燃焼室と、第1燃焼室の内径より大きな内径を有する下流側の第2燃焼室とで形成し、前記第1燃焼室には前記燃焼用ガス導入部を設けるとともに、前記第2燃焼室には、前記燃焼用ガス導入部の燃焼用ガス導入方向と同じ方向で、第2燃焼室周壁の内周面の接線方向に酸素含有ガスを導入する酸素含有ガス導入部を設けたことを特徴としている。
本発明の燃焼除害装置によれば、排ガスの流れの周囲を包むような管状火炎を確実に形成することができ、管状火炎によって排ガスを効果的に加熱して有害成分を効率よく除害処理することができる。また、燃焼室の周壁外周を囲む燃焼用ガス導入室を介して燃焼用ガス導入部から燃焼用ガスを燃焼室内に導入することにより、簡単な構造で各燃焼用ガス導入部から燃焼用ガスを燃焼室内に均等に導入することができる。さらに、燃焼用ガスガイド部材を設けることにより、燃焼室の周壁の肉厚を薄くしても、燃焼用ガスを燃焼室の内周面の接線方向に向けて導入することができる。また、燃焼室の下流側に後処理筒を連設することにより、除害処理で生成した固形物(粉末など)が除害装置内部に付着することを防止しながら燃焼後のガスを効率よく冷却できる。さらに、燃焼室を上流側の第1燃焼室と下流側の第2燃焼室とで形成し、第2燃焼室に酸素含有ガスを導入することにより、排ガス中に含まれる可燃性有害成分を燃焼させて除害することができる。
図1に示す燃焼除害装置は、ガス流れ方向上流側の第1燃焼室21及び該第1燃焼室21の下流側に連設した第2燃焼室31を有する円筒状の燃焼室11と、該燃焼室11の下流側に連設した円筒状の後処理筒41とを同一軸線上に備えている。
第1燃焼室21の上流側中央部には、処理対象となる排ガスを燃焼室11内に導入する排ガス導入部12が同一軸線上に設けられており、第1燃焼室21の外周には、第1燃焼室21の周壁外周を囲むリング状の燃焼用ガス導入室22が設けられ、該燃焼用ガス導入室22には、燃料と酸素含有ガスとを所定割合で混合した燃焼用ガスを燃焼用ガス導入室22内に導入する燃焼用ガス導入経路23が設けられている。
図2に示すように、第1燃焼室21の周壁には、該周壁を貫通して燃焼用ガス導入室22と第1燃焼室21とを連通する複数の燃焼用ガス導入部24,24aが周方向に等間隔で設けられている。この燃焼用ガス導入部24,24aは、第1燃焼室21における周方向の寸法が小さく、軸線方向の寸法が大きな軸線方向に細長いスリット形状に形成されており、各燃焼用ガス導入部24,24aから第1燃焼室21に導入する燃焼用ガスを、第1燃焼室21の周壁内面の接線方向にそれぞれ同一方向で導入するように形成されている。
さらに、燃焼用ガス導入室22の内部には、前記燃焼用ガス導入経路23と該燃焼用ガス導入経路23に隣接する前記燃焼用ガス導入部24aとの間に、該燃焼用ガス導入室22を仕切る仕切板25が設けられている。本形態例では、燃焼用ガス導入経路23から導入する燃焼用ガスの導入方向を、前記燃焼用ガス導入部24,24aから第1燃焼室21に導入する燃焼用ガスの導入方向と同じ方向になるように、燃焼用ガス導入室22の接線方向から燃焼用ガス導入室22内に燃焼用ガスを導入するように燃焼用ガス導入経路23を設けているので、仕切板25の位置は、燃焼用ガス導入経路23から導入されて燃焼用ガス導入室22内を旋回する燃焼用ガスが、燃焼用ガス導入経路23から新たに導入される燃焼用ガスと混合しない位置に設定されている。したがって、燃焼用ガス導入経路23から燃焼用ガス導入室22内に導入された燃焼用ガスは、燃焼用ガス導入室22内を周回することなく、全量が燃焼用ガス導入部24,24aを通って第1燃焼室21に導入されることになる。
このような燃焼用ガス導入室22を設けることにより、各燃焼用ガス導入部24,24aの流入側の圧力を均等にすることができ、各燃焼用ガス導入部24,24aから第1燃焼室21内に導入する流量を均一にすることができる。したがって、各燃焼用ガス導入部24,24aの流入側のそれぞれに、流量調節手段や圧力調整手段をそれぞれ備えた導入経路を設ける場合に比べて装置コストを大幅に低減することができる。
排ガス導入部12は、第1燃焼室21の内径より小さな開口径を有しており、第1燃焼室21の一端の排ガス導入部12の周囲には、円盤状の段部26が形成されるとともに、段部26の内周には、排ガス導入部12の開口径と同一の内径を有する第1ガスガイドリング27が設けられている。この第1ガスガイドリング27の先端27aの軸線方向の位置は、前記燃焼用ガス導入部24,24aの上流側開口縁24bと同一位置乃至上流側開口縁24bより下流側に僅かに突出した位置になるように設定されている。
第2燃焼室31は、第1燃焼室21の内径より大きな内径を有しており、第2燃焼室31の外周には、第2燃焼室31の周壁外周を囲むリング状の酸素含有ガス導入室32が設けられ、該酸素含有ガス導入室32には、酸素含有ガスを酸素含有ガス導入室32内に導入する酸素含有ガス導入経路33が設けられている。前記第1燃焼室21と同様に、第2燃焼室31の周壁には、該周壁を貫通して酸素含有ガス導入室32と第2燃焼室31とを連通する複数の酸素含有ガス導入部34が周方向に等間隔で設けられている。この酸素含有ガス導入部34は、第2燃焼室31における周方向の寸法が小さく、軸線方向の寸法が大きな軸線方向に細長いスリット形状に形成されており、各酸素含有ガス導入部34から第2燃焼室31に導入する酸素含有ガスを、第2燃焼室31の周壁内面の接線方向にそれぞれ同一方向で導入するように形成されている。また、酸素含有ガス導入室32の内部には、前記燃焼用ガス導入室22と同様の仕切板(図示せず)が設けられている。
第2燃焼室31の上流側の第1燃焼室21の下流端の周囲には、円盤状の段部35が形成されるとともに、段部35の内周には、第1燃焼室21の内径と同一の内径を有する第2ガスガイドリング36が設けられている。この第2ガスガイドリング36の先端36aの軸線方向の位置は、前記酸素含有ガス導入部34の上流側開口縁34aと同一位置乃至上流側開口縁34aより下流側に僅かに突出した位置になるように設定されている。
後処理筒41は、前記第2燃焼室31の内径より大きな内径を有する内筒42と、該内筒42の外周を覆う外筒43との二重構造で形成されており、内筒42と外筒43との間には、空気導入室44が区画形成されている。外筒43には、空気導入室44に空気を導入する空気導入部45が設けられており、内筒42は、空気導入室44内の空気を内筒42の略全体から内筒42内に噴出する多数の空気噴出部46を備えている。
このように形成した燃焼除害装置は、燃焼用ガス導入部24,24aから導入された燃焼用ガスが燃焼した火炎が、排ガス導入部12から第1燃焼室21内に導入された排ガスの周囲を、螺旋状に包み込んだ層流状態の管状火炎を形成することにより、排ガスを安定した状態で加熱することができ、排ガス中に含まれている有害成分を効果的に加熱して熱分解することができる。そして、第1燃焼室21の内径より大きな内径を有する第2燃焼室31の酸素含有ガス導入部34から噴出した酸素含有ガスは、第1燃焼室21から第2燃焼室31に流れ込んだ管状火炎の外周を螺旋状に周回する状態になるので、管状火炎の燃焼状態を乱すことなく、酸素含有ガス中の酸素を、管状火炎内を流れる排ガス中に導入することができ、高温に加熱されている燃焼性の有害成分と酸素とを反応させることができる。
したがって、燃焼には全く寄与しない不活性ガスで希釈された排ガス中に含まれる有害成分を、第1燃焼室21で形成した管状火炎によって効率よく熱分解して除害処理できるとともに、燃焼性を有する有害成分量が多い場合でも、第2燃焼室31に導入される酸素含有ガス中の酸素によって有害成分を酸化、燃焼させて効率よく除害処理することができる。また、除害処理で固形物が発生しても、酸素含有ガス導入部34からの酸素含有ガスが第2燃焼室31の内周面に沿って流れているため、第2燃焼室31の内周面への固形物の付着を抑制することができる。
さらに、排ガス導入部12の下流端に設けた第1ガスガイドリング27の先端27aを第1燃焼室21内に突出させておくことにより、導入される排ガスの流れを安定させて第1燃焼室21内に拡がることを抑えることができ、第1燃焼室21内でより確実に管状火炎を形成することができる。同様に、第1燃焼室21の下流端に設けた第2ガスガイドリング36の先端36aを第2燃焼室31内に突出させておくことにより、第1燃焼室21からの管状火炎が第2燃焼室31内で拡がって流れが乱れることを抑えながら、第2燃焼室31内に導入される酸素含有ガスを管状火炎の外周に沿って螺旋状に流れる状態にすることができ、排ガスの加熱状態を保ちながら酸素含有ガス中の酸素を排ガス中に拡散させることができる。
そして、第1燃焼室21の外周に燃焼用ガス導入室22を設けることにより、簡単な構造で燃焼用ガス導入経路23からの燃焼用ガスの導入状態を安定した状態にすることができ、第1燃焼室21で排ガスを包み込む管状火炎を確実に形成することができ、また、第2燃焼室31の外周に酸素含有ガス導入室32を設けることにより、第1燃焼室21から第2燃焼室31に流入する管状火炎の状態を乱すことなく、管状火炎の外周に酸素含有ガスを安定した状態で導入することができる。
また、第1燃焼室21及び第2燃焼室31を有する燃焼室11の下流側に後処理筒41を設け、内筒42の空気噴出部46から空気を噴出することにより、後処理筒41から排出される処理ガスの温度を適度に冷却することができるとともに、有害成分の除害処理で固形物が発生するような場合でも、内筒42の内周面に固形物が付着することを抑制でき、固形物を含んだ状態の処理ガスを装置外に円滑に導出することができ、装置内への固形物の付着に起因する運転状態の変化を生じることがなくなる。
図3は、前記燃焼用ガス導入部24の燃焼用ガス導入室22側に、燃焼用ガス導入室22内の燃焼用ガスの流れ方向(矢印A)の上流側に向かって延出した燃焼用ガスガイド部材28を設けた例を示している。すなわち、燃焼用ガス導入室22の周壁の厚さに対して、燃焼用ガス導入部24におけるスリットの幅が広くなると、図3に矢印Bで示すように、燃焼用ガス導入室22内の燃焼用ガスがスリットの内面に沿って流れずにスリットの外側開口から内側開口に短絡した状態で流れ、第1燃焼室21の周壁内面の接線方向に燃焼用ガスを導入できなくなるおそれがある。
そこで、燃焼用ガスガイド部材28を設けることで、燃焼用ガスガイド部材28によってスリットの外側開口から内側開口に短絡する流れを防止することができ、矢印Cに示すように、燃焼用ガス導入部24から第1燃焼室21に導入する燃焼用ガスの流れを、第1燃焼室21の周壁内面の接線方向に向けることができ、第1燃焼室21内で管状火炎を確実に形成することが可能となる。
さらに、燃焼用ガス導入室22の周壁の厚さが薄くても、周壁の厚さに対応した適宜な形状の燃焼用ガスガイド部材28を設ければよいため、燃焼用ガス導入室22の周壁を薄く形成することができ、材料費の削減や加工性の向上などを図ることができる。また、第2燃焼室31における酸素含有ガス導入部34にも同様のガスガイド部材を設けることができる。
なお、前記形態例の燃焼除害装置では、有害成分を含む各種組成の排ガスに対応するため、燃焼室を第1燃焼室と第2燃焼室とで形成するとともに、燃焼室の下流に後処理筒を連設した構造としたが、排ガス中に含まれる有害成分の種類により、第2燃焼室や後処理筒を省略することができる。
11…燃焼室、12…排ガス導入部、21…第1燃焼室、22…燃焼用ガス導入室、23…燃焼用ガス導入経路、24,24a…燃焼用ガス導入部、24b…上流側開口縁、25…仕切板、26…段部、27…第1ガスガイドリング、27a…先端、28…燃焼用ガスガイド部材、31…第2燃焼室、32…酸素含有ガス導入室、33…酸素含有ガス導入経路、34…酸素含有ガス導入部、34a…上流側開口縁、35…段部、36…第2ガスガイドリング、36a…先端、41…後処理筒、42…内筒、43…外筒、44…空気導入室、45…空気導入部、46…空気噴出部
Claims (4)
- ガス中に含まれる有害成分を燃焼火炎中で除害処理する燃焼除害装置において、燃料と酸素含有ガスとを混合した燃焼用ガスを燃焼させた火炎で前記有害成分の除害処理を行う円筒状の燃焼室と、該燃焼室の上流側中央部に設けられた排ガス導入部と、前記燃焼室の周壁外周を囲むリング状の燃焼用ガス導入室と、前記燃焼室の周壁を貫通して燃焼用ガス導入室と燃焼室とを連通する燃焼用ガス導入部と、前記燃焼用ガス導入室内に前記燃焼用ガスを導入する燃焼用ガス導入経路とを備え、前記排ガス導入部は、前記燃焼室の内径より小さな内径の開口から前記燃焼室の軸線方向に前記排ガスを導入し、前記燃焼用ガス導入部は、燃焼室軸線方向に長いスリットから前記燃焼室の内周面の接線方向に向けて燃焼用ガスを導入し、前記燃焼用ガス導入室内には、前記燃焼用ガス導入経路と該燃焼用ガス導入経路に隣接する前記燃焼用ガス導入部との間に、該燃焼用ガス導入室を仕切る仕切板が設けられていることを特徴とする燃焼除害装置。
- 前記燃焼用ガス導入部の燃焼用ガス導入室側に、前記燃焼用ガス導入室内の燃焼用ガスの流れ方向上流側に向かって延出した燃焼用ガスガイド部材を設けたことを特徴とする請求項1記載の燃焼除害装置。
- 前記燃焼室の下流側に円筒状の後処理筒を連設し、該後処理筒は、前記燃焼室の軸線と同一直線状に軸線を有するとともに、前記燃焼室の内径より大きな内径を有する内筒と該内筒の外周を覆う外筒との二重構造で形成され、前記外筒は、該外筒と前記内筒との間に形成された空気導入室内に空気を導入する空気導入経路を備えるとともに、前記内筒は、前記空気導入室に導入された空気を内筒内に噴出する空気噴出部を備えていることを特徴とする請求項1又は2記載の燃焼除害装置。
- 前記燃焼室を、前記排ガス導入部を設けた上流側の第1燃焼室と、第1燃焼室の内径より大きな内径を有する下流側の第2燃焼室とで形成し、前記第1燃焼室には前記燃焼用ガス導入部を設けるとともに、前記第2燃焼室には、前記燃焼用ガス導入部の燃焼用ガス導入方向と同じ方向で、第2燃焼室周壁の内周面の接線方向に酸素含有ガスを導入する酸素含有ガス導入部を設けたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の燃焼除害装置。
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