JP2015090826A - 荷電粒子線装置及び当該装置を用いた試料の観察方法 - Google Patents
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Abstract
Description
画像取得指示部813を選択すると、3種類の信号を同時に取り込んだり、1種のみ、もしくは4種類の画像を任意に取り込むことができる。画像取得指示部813で選んだ信号の指示は画像取得切替部309に伝達され実行される。4種類の信号を取り込む場合は、現在条件表示部805や設定部806、操作指示部809の画面領域が画像表示に切り替わり、4種同時表示が可能となる。終了ボタン814は、一連のクライオ観察を終了する場合に選択する。
102、502・・・非晶質氷
103、503・・・構造物
104、202、504・・・電子線
105、505、802・・・二次電子像
106、506、803・・・明視野像
107、507、804・・・暗視野像
108・・・霜
201・・・電界放出形電子銃
203・・・引き出し電極
204・・・陽極
205・・・集束レンズ
206・・・対物レンズ絞り
207・・・集束レンズ
208・・・偏向コイル
209・・・二次電子検出器
210・・・対物レンズ
212・・・暗視野信号電子
213・・・暗視野信号検出器
214・・・明視野信号電子
215・・・明視野絞り
216・・・明視野信号検出器
217・・・制御装置
218・・・ディスプレイ
219・・・コールドトラップ位置調節機構
220・・・コールドトラップ
221・・・真空計
222・・・試料冷却ホルダー
223・・・冷却源容器
224・・・温度調節機構
225・・・画像処理コントロール部
301・・・ホルダー温度調節部
302・・・真空度測定部
303・・・コールドトラップ位置調整部
304・・・ステージ位置調整部
305・・・最適条件演算部
306・・・二次電子画像演算部
307・・・明視野画像演算部
308・・・暗視野画像演算部
309・・・画像取得切替部
310・・・取得画像演算部
311・・・荷電粒子線照射量演算部
312・・・証明書発行設定部
313・・・ディスプレイ表示設定部
314・・・記録部
701・・・異なる種類の信号を同時取得したことを示す証明書の一例
702・・・取得画像の一例
703・・・取得画像中に表示される情報の一例
801・・・スクリーン
805・・・条件表示部
806・・・設定部
807・・・設定温度ボタン
808・・・入力値位置設定ボタン
809・・・操作指示部
810・・・試料凍結状態判断指示部
811・・・霜付着判断指示部
812・・・試料位置ボタン
813・・・画像取得指示部
814・・・終了ボタン
815・・・暗視野信号検出器制御ボタン
Claims (14)
- 一次電子を試料に照射し、前記試料上で走査する光学系と、
当該照射に基づいて得られる電子を検出する検出系と、
真空室と、を備えた荷電粒子線装置において、
前記検出系は、一次電子線の走査によって試料から発生する二次電子を検出する二次電子検出器と、
前記一次電子線が前記試料内で散乱することによって発生する透過電子のうち、非散乱電子と、非弾性散乱電子と、を検出する明視野信号検出器と、当該透過電子のうち、非弾性散乱電子を検出する暗視野信号検出器と、から構成される透過電子検出器と、を有し、
当該検出された電子に基づいて画像を形成し、記憶する制御装置と、
前記試料を冷却する冷却源を有し、当該冷却した状態を保持する試料冷却手段と、
前記試料冷却手段の温度を設定する温度設定手段と、
前記真空室の水分を吸着するコールドトラップと、
前記真空室の真空度を測定する真空計と、を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1に記載された荷電粒子線装置において、前記制御装置は、
前記一次電子線を、前記試料上の所定の領域において、所定の回数走査することにより得られる二次電子を前記二次電子検出器で検出し、当該検出された二次電子に基づいて二次電子像を形成するとともに、当該走査により得られる透過電子を前記透過電子検出器で検出し、当該検出された透過電子に基づいて透過電子像を形成することを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1に記載された荷電粒子線装置において、
前記明視野信号検出器、前記暗視野信号検出器は、各々の検出器の位置を移動する移動機構を備え、
前記制御装置は、
当該形成された画像のコントラストに基づいて、前記明視野信号検出器、前記暗視野信号検出器の少なくとも一方を移動するように前記移動機構を制御することを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項2に記載された荷電粒子線装置において、
前記制御装置は、当該形成された二次電子像と、前記二次電子像とともに形成された透過電子像と、に基づいて、前記試料冷却手段によって冷却された試料の状態を判定する判定手段を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項2に記載された荷電粒子線装置において、
前記制御装置は、当該形成された二次電子像と、前記二次電子像とともに形成された透過電子像と、に基づいて、
前記試料の表面状態、及び内部状態の変化を判定する判定手段を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項2に記載された荷電粒子線装置において、
前記制御装置は、
当該二次電子像とともに、透過電子像を形成した場合には、
当該画像を形成する際の条件を記憶する記憶部を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項6に記載された荷電粒子線装置において、
前記制御装置は、
当該記憶された条件を出力する出力手段を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項6に記載された荷電粒子線装置において、
前記制御装置は、
当該記憶された条件を、編集不可能に加工することを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項2に記載された荷電粒子線装置において、
前記制御装置は、当該形成された二次電子像と、前記二次電子像とともに形成された透過電子像と、に基づいて、
前記試料冷却手段によって冷却された試料の状態が良好であるか否かを判定し、
前記試料の状態が良好であると判定された場合には、前記一次電子線の走査を継続し、
前記試料の状態が良好であると判定されなかった場合には、画像の取得条件を変更することを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1に記載された荷電粒子線装置において、
前記コールドトラップは、先端位置が試料近傍の任意の位置に移動できる移動機構を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項9に記載された荷電粒子線装置において、
前記制御装置は、
前記真空計によって真空度を計測した結果と、
当該形成された二次電子像と、前記二次電子像とともに形成された透過電子像と、を比較した結果と、に基づいて、
当該コールドトラップの移動機構を移動するように制御することを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項2に記載された荷電粒子線装置において、
当該形成された二次電子像と、前記二次電子像とともに形成された透過電子像とを、共に表示させる表示手段を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項12に記載された荷電粒子線装置において、
前記表示手段は、
前記制御装置によって、当該形成された二次電子像と、前記二次電子像とともに形成された透過電子像と、に基づいて、前記試料冷却手段によって冷却された試料の状態の判定を行うことを指示する判定指示領域を表示することを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項12に記載された荷電粒子線装置において、
前記表示手段は、
前記制御装置によって、当該形成された二次電子像と、前記二次電子像とともに形成された透過電子像と、に基づいて、前記試料に霜が付着しているか否かの判定を行うことを指示する判定指示領域を表示することを特徴とする荷電粒子線装置。
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