JP2015090296A5 - - Google Patents
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Description
(適用例3)
本発明に係わる力検出装置では、前記第1基部および前記第2基部のうちの少なくとも一方の基部は、板状をなす部材で構成され、前記部材の面内の直交する2方向をA軸、B軸とし、前記A軸および前記B軸と直交する方向をC軸とし、
前記各圧電素子の前記A軸に対する傾斜角度をεとし、
前記各圧電素子の前記第1基板のx軸と前記部材とのなす角度をηとし、
前記2つの圧電素子のうちの一方の圧電素子の前記第1基板のx軸方向に加わる力をfx1−1、前記第2基板のx軸方向に加わる力をfx1−2 とし、他方の圧電素子の前記第1基板のx軸方向に加わる力をfx2−1、前記第2基板のx軸方向に加わる力をfx2−2 、としたとき、
前記A軸方向の力FA、前記B軸方向の力FBおよび前記C軸方向の力FCは、それぞれ、下記式(1)、(2)および(3)で表されるのが好ましい。
FA=fx1−1・cosη・cosε−fx1−2・sinη・cosε
−fx2−1・cosη・cosε+fx2−2・sinη・cosε・・・(1)
FB=−fx1−1・cosη・sinε+fx1−2・sinη・sinε
−fx2−1・cosη・sinε+fx2−2・sinη・sinε・・・(2)
FC=−fx1−1・sinη−fx1−2・cosη−fx2−1・sinη
−fx2−2・cosη・・・(3)
これにより、温度の変動による影響を受けにくい状態で、3次元での外力を確実に検出することができる。
本発明に係わる力検出装置では、前記第1基部および前記第2基部のうちの少なくとも一方の基部は、板状をなす部材で構成され、前記部材の面内の直交する2方向をA軸、B軸とし、前記A軸および前記B軸と直交する方向をC軸とし、
前記各圧電素子の前記A軸に対する傾斜角度をεとし、
前記各圧電素子の前記第1基板のx軸と前記部材とのなす角度をηとし、
前記2つの圧電素子のうちの一方の圧電素子の前記第1基板のx軸方向に加わる力をfx1−1、前記第2基板のx軸方向に加わる力をfx1−2 とし、他方の圧電素子の前記第1基板のx軸方向に加わる力をfx2−1、前記第2基板のx軸方向に加わる力をfx2−2 、としたとき、
前記A軸方向の力FA、前記B軸方向の力FBおよび前記C軸方向の力FCは、それぞれ、下記式(1)、(2)および(3)で表されるのが好ましい。
FA=fx1−1・cosη・cosε−fx1−2・sinη・cosε
−fx2−1・cosη・cosε+fx2−2・sinη・cosε・・・(1)
FB=−fx1−1・cosη・sinε+fx1−2・sinη・sinε
−fx2−1・cosη・sinε+fx2−2・sinη・sinε・・・(2)
FC=−fx1−1・sinη−fx1−2・cosη−fx2−1・sinη
−fx2−2・cosη・・・(3)
これにより、温度の変動による影響を受けにくい状態で、3次元での外力を確実に検出することができる。
(適用例14)
本発明に係わる力検出装置では、前記A軸と前記第1平面とのなす角度を+εとし、
前記A軸と前記第2平面とのなす角度を−εとし、
前記第1圧電素子の第1検出方向と、前記A軸と前記B軸を含む平面とのなす角度をηとし、
前記第2圧電素子の第3検出方向と、前記A軸と前記B軸を含む平面とのなす角度を−ηとし、
前記第1の出力をfx1−1、前記第2の出力をfx1−2、前記第3の出力をfx2−1、前記第4の出力をfx2−2 、としたとき、
前記A軸方向の力成分FA、前記B軸方向の力成分FBおよび前記C軸方向の力成分FCは、それぞれ、下記式(1)、(2)および(3)で表されるのが好ましい。
FA=fx1−1・cosη・cosε−fx1−2・sinη・cosε
−fx2−1・cosη・cosε+fx2−2・sinη・cosε・・・(1)
FB=−fx1−1・cosη・sinε+fx1−2・sinη・sinε
−fx2−1・cosη・sinε+fx2−2・sinη・sinε・・・(2)
FC=−fx1−1・sinη−fx1−2・cosη−fx2−1・sinη
−fx2−2・cosη・・・(3)
これにより、温度の変動による影響を受けにくい状態で、3次元での外力を確実に検出することができる。
本発明に係わる力検出装置では、前記A軸と前記第1平面とのなす角度を+εとし、
前記A軸と前記第2平面とのなす角度を−εとし、
前記第1圧電素子の第1検出方向と、前記A軸と前記B軸を含む平面とのなす角度をηとし、
前記第2圧電素子の第3検出方向と、前記A軸と前記B軸を含む平面とのなす角度を−ηとし、
前記第1の出力をfx1−1、前記第2の出力をfx1−2、前記第3の出力をfx2−1、前記第4の出力をfx2−2 、としたとき、
前記A軸方向の力成分FA、前記B軸方向の力成分FBおよび前記C軸方向の力成分FCは、それぞれ、下記式(1)、(2)および(3)で表されるのが好ましい。
FA=fx1−1・cosη・cosε−fx1−2・sinη・cosε
−fx2−1・cosη・cosε+fx2−2・sinη・cosε・・・(1)
FB=−fx1−1・cosη・sinε+fx1−2・sinη・sinε
−fx2−1・cosη・sinε+fx2−2・sinη・sinε・・・(2)
FC=−fx1−1・sinη−fx1−2・cosη−fx2−1・sinη
−fx2−2・cosη・・・(3)
これにより、温度の変動による影響を受けにくい状態で、3次元での外力を確実に検出することができる。
(適用例15)
本発明に係わる力検出装置では、前記圧電素子の周りに設けられて前記圧電素子に与圧を加える与圧ネジを複数備え、
前記与圧ネジの与圧方向が、前記第1基板および前記第2基板の積層方向に平行な方向であるのが好ましい。
これにより、圧電素子に剪断力が作用したとき、圧電素子を構成する基板同士の間での摩擦力が確実に生じ、よって、電荷を確実に検出することができる。
本発明に係わる力検出装置では、前記圧電素子の周りに設けられて前記圧電素子に与圧を加える与圧ネジを複数備え、
前記与圧ネジの与圧方向が、前記第1基板および前記第2基板の積層方向に平行な方向であるのが好ましい。
これにより、圧電素子に剪断力が作用したとき、圧電素子を構成する基板同士の間での摩擦力が確実に生じ、よって、電荷を確実に検出することができる。
(適用例16)
本発明に係わる力検出装置は、第1基部と、
第2基部と、
前記第1基部と前記第2基部とによって挟持され、前記第1基部と前記第2基部とに加わる外力を検出する複数の圧電素子と、を備える力検出装置であって、
前記第1基部は測定対象に固定される第1取付面を含み、前記第2基部は測定対象に固定される第2取付面を含み、
前記圧電素子は、前記第1取付面または前記第2取付面の法線と、前記圧電素子の第1基板と第2基板との積層方向と、が直交となるように設置され、
総重量が1kgよりも軽いことを特徴とする。
これにより、力検出装置の重量を、1kgよりも軽くすることにより、力検出装置の重量を取り付けた手首にかかる負荷を低減させることができ、手首を駆動するアクチュエータの容量を小さくできる為、手首を小型に設計することができる。
本発明に係わる力検出装置は、第1基部と、
第2基部と、
前記第1基部と前記第2基部とによって挟持され、前記第1基部と前記第2基部とに加わる外力を検出する複数の圧電素子と、を備える力検出装置であって、
前記第1基部は測定対象に固定される第1取付面を含み、前記第2基部は測定対象に固定される第2取付面を含み、
前記圧電素子は、前記第1取付面または前記第2取付面の法線と、前記圧電素子の第1基板と第2基板との積層方向と、が直交となるように設置され、
総重量が1kgよりも軽いことを特徴とする。
これにより、力検出装置の重量を、1kgよりも軽くすることにより、力検出装置の重量を取り付けた手首にかかる負荷を低減させることができ、手首を駆動するアクチュエータの容量を小さくできる為、手首を小型に設計することができる。
(適用例17)
本発明に係わる力検出装置は、第1基部と、
第2基部と、
前記第1基部と前記第2基部とによって挟持され、前記第1基部と前記第2基部とに加わる外力を検出する複数の圧電素子と、を備える力検出装置であって、
前記第1基部は測定対象に固定される第1取付面を含み、前記第2基部は測定対象に固定される第2取付面を含み、
前記圧電素子は、前記第1取付面または前記第2取付面の法線と、前記圧電素子の第1基板と第2基板との積層方向と、が直交となるように設置され、
前記各圧電素子が出力する電荷を電圧に変換する変換回路と、前記電圧から外力を演算する演算回路を前記第1基部と前記第2基部との間の空間に収納していることを特徴とする。
これにより、演算回路を別置きではなく、内蔵化することによって、配線ケーブル等の引き回しが不要となる。
本発明に係わる力検出装置は、第1基部と、
第2基部と、
前記第1基部と前記第2基部とによって挟持され、前記第1基部と前記第2基部とに加わる外力を検出する複数の圧電素子と、を備える力検出装置であって、
前記第1基部は測定対象に固定される第1取付面を含み、前記第2基部は測定対象に固定される第2取付面を含み、
前記圧電素子は、前記第1取付面または前記第2取付面の法線と、前記圧電素子の第1基板と第2基板との積層方向と、が直交となるように設置され、
前記各圧電素子が出力する電荷を電圧に変換する変換回路と、前記電圧から外力を演算する演算回路を前記第1基部と前記第2基部との間の空間に収納していることを特徴とする。
これにより、演算回路を別置きではなく、内蔵化することによって、配線ケーブル等の引き回しが不要となる。
(適用例20)
本発明に係わるロボットは、外力を検出する複数の圧電素子を有する力検出装置とロボットアームを備えたロボットであって、前記力検出装置の重量は、前記ロボットアームが搬送できる最大重量の20%よりも軽いことを特徴とする。
これにより、力検出装置の重量は、前記ロボットアームが搬送できる最大能力の20%よりも軽くすることにより、力検出装置を取り付けたロボットアームの制御を容易にすることができる。
本発明に係わるロボットは、外力を検出する複数の圧電素子を有する力検出装置とロボットアームを備えたロボットであって、前記力検出装置の重量は、前記ロボットアームが搬送できる最大重量の20%よりも軽いことを特徴とする。
これにより、力検出装置の重量は、前記ロボットアームが搬送できる最大能力の20%よりも軽くすることにより、力検出装置を取り付けたロボットアームの制御を容易にすることができる。
第6の圧電体層143も、Yカット水晶板で構成され、互いに直交する結晶軸であるx軸、y軸、z軸を有する。y軸は、第6の圧電体層143の厚さ方向に沿った軸であり、x軸は、図4中の上下方向に沿った軸であり、z軸は、図4中の紙面奥行き方向に沿った軸である。
図4に示す構成では、x軸については、図4中の下側を正方向とし、その反対側を負方向として説明する。y軸については、図4中の右側を正方向とし、その反対側を負方向として説明する。z軸については、図4中の紙面手前側を正方向とし、その反対側を負方向として説明する。
図4に示す構成では、x軸については、図4中の下側を正方向とし、その反対側を負方向として説明する。y軸については、図4中の右側を正方向とし、その反対側を負方向として説明する。z軸については、図4中の紙面手前側を正方向とし、その反対側を負方向として説明する。
各与圧ボルト71と螺合する雌ネジ241は、第1基部2の壁部24に設けられている。そして、第1基部2と第2基部3との間に各センサーデバイス6を挟持した状態で、与圧ボルト71を第2基部3側から第1基部2の雌ネジ241に差し込むことができる。
これにより、各電荷出力素子10は、当該電荷出力素子10を収納するパッケージ60ごと、第1基部2と直交する方向に所定の大きさの圧力、すなわち、与圧が加えられる。そして、電荷出力素子10に剪断力が作用したとき、電荷出力素子10を構成する層同士の間での摩擦力が確実に生じ、よって、電荷を確実に検出することができる。
これにより、各電荷出力素子10は、当該電荷出力素子10を収納するパッケージ60ごと、第1基部2と直交する方向に所定の大きさの圧力、すなわち、与圧が加えられる。そして、電荷出力素子10に剪断力が作用したとき、電荷出力素子10を構成する層同士の間での摩擦力が確実に生じ、よって、電荷を確実に検出することができる。
また、このような構成の力検出装置1は、総重量が1kgよりも軽いものとなる。これにより、力検出装置1を取り付けた手首にかかる負荷を低減させることができ、手首を駆動するアクチュエータの容量を小さくできる為、手首を小型に設計することができる。さらに、この力検出装置1の重量は、ロボットアームが搬送できる最大重量の20%よりも軽い。これにより、力検出装置1を取り付けたロボットアームの制御を容易にすることができる。
Claims (20)
- 第1基部と、
第2基部と、
前記第1基部と前記第2基部とによって挟持され、前記第1基部と前記第2基部とに加わる外力を検出する複数の圧電素子と、を備える力検出装置であって、
前記第1基部は測定対象に固定される第1取付面を含み、前記第2基部は測定対象に固定される第2取付面を含み、
前記各圧電素子は、Yカット水晶板で構成された第1基板と、Yカット水晶板で構成された第2基板とを有し、前記第1基板と前記第2基板とが平行に積層され、前記第1基板と前記第2基板との積層方向において、前記第1基板のx軸と前記第2基板のx軸とが交差し、前記第1基板のz軸と前記第2基板のz軸とが交差しており、
前記圧電素子は、前記第1取付面または前記第2取付面の法線と前記積層方向とが直交となるように設置されていることを特徴とする力検出装置。 - 前記圧電素子は、前記第1基板および前記第2基板の面内の直交する2方向と、前記2方向と直交する1方向の計3方向の外力を検出する請求項1に記載の力検出装置。
- 前記第1基部および前記第2基部のうちの少なくとも一方の基部は、板状をなす部材で構成され、前記部材の面内の直交する2方向をA軸、B軸とし、前記A軸および前記B軸と直交する方向をC軸とし、
前記各圧電素子の前記A軸に対する傾斜角度をεとし、
前記各圧電素子の前記第1基板のx軸と前記部材とのなす角度をηとし、
前記2つの圧電素子のうちの一方の圧電素子の前記第1基板のx軸方向に加わる力をfx1−1、前記第2基板のx軸方向に加わる力をfx1−2 とし、他方の圧電素子の前記第1基板のx軸方向に加わる力をfx2−1、前記第2基板のx軸方向に加わる力をfx2−2 、としたとき、
前記A軸方向の力FA、前記B軸方向の力FBおよび前記C軸方向の力FCは、それぞれ、下記式(1)、(2)および(3)で表される請求項1または2に記載の力検出装置。
FA=fx1−1・cosη・cosε−fx1−2・sinη・cosε
−fx2−1・cosη・cosε+fx2−2・sinη・cosε・・・(1)
FB=−fx1−1・cosη・sinε+fx1−2・sinη・sinε
−fx2−1・cosη・sinε+fx2−2・sinη・sinε・・・(2)
FC=−fx1−1・sinη−fx1−2・cosη−fx2−1・sinη
−fx2−2・cosη・・・(3) - 前記圧電素子の周りに設けられて前記圧電素子に与圧を加える与圧ネジを複数備え、
前記与圧ネジの与圧方向が、前記第1基板および前記第2基板の積層方向に平行な方向である請求項1ないし3のいずれか1項に記載の力検出装置。 - 前記複数の圧電素子には、互いに同一平面上に配置されておらず、互いに平行に配置されていない前記圧電素子が含まれる請求項1ないし4のいずれか1項に記載の力検出装置。
- 前記第1基部および前記第2基部のうちの少なくとも一方の基部は、板状をなし、
前記各圧電素子は、前記第1基板と前記第2基板とが前記一方の基部に対して垂直に配置されている請求項1ないし5のいずれか1項に記載の力検出装置。 - 前記第1基部および前記第2基部のうちの少なくとも一方の基部は、板状をなし、
4つ以上の前記圧電素子が、前記取付面からみて前記一方の基部の中心部から離間した位置にそれぞれ配置されている請求項1ないし6のいずれか1項に記載の力検出装置。 - 前記圧電素子は、Xカット水晶板で構成された第3基板を有する請求項1ないし7のいずれか1項に記載の力検出装置。
- アームと、
前記アームに設けられたエンドエフェクタと、
前記アームと前記エンドエフェクタの間に設けられ、前記エンドエフェクタに加えられる外力を検出する力検出装置とを備え、
前記力検出装置は、測定対象に固定される第1取付面を含む第1基部と、測定対象に固定される第2取付面を含む第2基部と、前記第1基部と前記第2基部とによって挟持されて前記第1基部と前記第2基部とに加わる外力を検出する圧電素子と、を備え、
前記圧電素子は、Yカット水晶板で構成された第1基板と、Yカット水晶板で構成された第2基板とを有し、前記第1基板と前記第2基板とが平行に積層され、前記第1基板と前記第2基板との積層方向において、前記第1基板のx軸と前記第2基板のx軸とが交差し、前記第1基板のz軸と前記第2基板のz軸とが交差しており、
前記圧電素子は、前記第1取付面または前記第2取付面の法線方向と前記積層方向とが直交となるように設置されていることを特徴とするロボット。 - 電子部品を把持する把持部と、
前記把持部に加えられる外力を検出する力検出装置とを備え、
前記力検出装置は、測定対象に固定できる第1取付面を有する第1基部と、測定対象に固定できる第2取付面を有する第2基部と、前記第1基部と前記第2基部とによって挟持方向に挟持され、前記第1基部と前記第2基部とに加わる外力を検出する圧電素子と、を備え、
前記圧電素子は、Yカット水晶板で構成された第1基板と、Yカット水晶板で構成された第2基板とを有し、前記第1基板と前記第2基板とが平行に積層され、前記第1基板と前記第2基板との積層方向において、前記第1基板のx軸と前記第2基板のx軸とが交差し、前記第1基板のz軸と前記第2基板のz軸とが交差しており、
前記圧電素子は、前記第1取付面または前記第2取付面の法線方向と前記積層方向とが直交となるように設置されていることを特徴とする電子部品搬送装置。 - 第1基部と、
第2基部と、
前記第1基部と前記第2基部とによって挟持され、前記第1基部と前記第2基部とに加わる外力の成分を検出する圧電素子と、を備える力検出装置であって、
前記第1基部は測定対象に固定される第1取付面を含み、前記第2基部は測定対象に固定される第2取付面を含み、
前記圧電素子は、前記第1取付面または前記第2取付面の法線方向と直交する積層方向を有する第1基板と、第2基板とを有し、
前記第1基板による、前記法線方向と同じ第1検出方向のせん断力の検出と、前記第2基板による、前記第1検出方向と交差する第2検出方向のせん断力の検出と、から前記第1基部と前記第2基部に加わる外力を検出することを特徴とする力検出装置。 - 前記第1基板、前記第2基板は、Yカット水晶板であり、
前記第1基板の水晶結晶のx軸と前記第2基板の水晶結晶のx軸は、直交している請求項11に記載の力検出装置。 - 前記第1の挟持方向に直交する第1平面と、
前記第2の挟持方向に直交する第2平面との交線に平行な方向をC軸とした直交座標軸A軸、B軸、C軸を座標軸とし、
前記第1基部と前記第2基部とに加わる外力を、3軸方向の外力の成分として検出する請求項11または12に記載の力検出装置。 - 前記A軸と前記第1平面とのなす角度を+εとし、
前記A軸と前記第2平面とのなす角度を−εとし、
前記第1圧電素子の第1検出方向と、前記A軸と前記B軸を含む平面とのなす角度をηとし、
前記第2圧電素子の第3検出方向と、前記A軸と前記B軸を含む平面とのなす角度を−ηとし、
前記第1の出力をfx1−1、前記第2の出力をfx1−2、前記第3の出力をfx2−1、前記第4の出力をfx2−2 、としたとき、
前記A軸方向の力成分FA、前記B軸方向の力成分FBおよび前記C軸方向の力成分FCは、それぞれ、下記式(1)、(2)および(3)で表される請求項12または13に記載の力検出装置。
FA=fx1−1・cosη・cosε−fx1−2・sinη・cosε
−fx2−1・cosη・cosε+fx2−2・sinη・cosε・・・(1)
FB=−fx1−1・cosη・sinε+fx1−2・sinη・sinε
−fx2−1・cosη・sinε+fx2−2・sinη・sinε・・・(2)
FC=−fx1−1・sinη−fx1−2・cosη−fx2−1・sinη
−fx2−2・cosη・・・(3) - 前記圧電素子の周りに設けられて前記圧電素子に与圧を加える与圧ネジを複数備え、
前記与圧ネジの与圧方向が、前記第1基板および前記第2基板の積層方向に平行な方向である請求項12ないし14のいずれか1項に記載の力検出装置。 - 第1基部と、
第2基部と、
前記第1基部と前記第2基部とによって挟持され、前記第1基部と前記第2基部とに加わる外力を検出する複数の圧電素子と、を備える力検出装置であって、
前記第1基部は測定対象に固定される第1取付面を含み、前記第2基部は測定対象に固定される第2取付面を含み、
前記圧電素子は、前記第1取付面または前記第2取付面の法線と、前記圧電素子の第1基板と第2基板との積層方向と、が直交となるように設置され、
総重量が1kgよりも軽いことを特徴とする力検出装置。 - 第1基部と、
第2基部と、
前記第1基部と前記第2基部とによって挟持され、前記第1基部と前記第2基部とに加わる外力を検出する複数の圧電素子と、を備える力検出装置であって、
前記第1基部は測定対象に固定される第1取付面を含み、前記第2基部は測定対象に固定される第2取付面を含み、
前記圧電素子は、前記第1取付面または前記第2取付面の法線と、前記圧電素子の第1基板と第2基板との積層方向と、が直交となるように設置され、
前記各圧電素子が出力する電荷を電圧に変換する変換回路と、前記電圧から外力を演算する演算回路を前記第1基部と前記第2基部との間の空間に収納していることを特徴とする力検出装置。 - 前記変換回路または前記演算回路には、半導体スイッチまたはMEMSスイッチの少なくともいずれかが含まれることを特徴とする請求項16または17に記載の力検出装置。
- 前記第1基部と前記第2基部とが円形または角丸正方形の断面形状を有する収納空間を形成し、前記圧電素子のそれぞれと前記取付面の中心との距離が等しいことを特徴とする請求項16ないし18のいずれかに記載の力検出装置。
- 外力を検出する複数の圧電素子を有する力検出装置とロボットアームを備えたロボットであって、前記力検出装置の重量は、前記ロボットアームが搬送できる最大重量の20%よりも軽いことを特徴とするロボット。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013229792A JP6232943B2 (ja) | 2013-11-05 | 2013-11-05 | 力検出装置、ロボットおよび電子部品搬送装置 |
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