JP2015087052A - ダクト監視システム、ダクト監視方法 - Google Patents

Abstract

【課題】排気ダクトの監視を好適に行い、監視結果に応じた適切な対処が可能になるダクト監視システム等を提供する。
【解決手段】ダクト監視システム１は、排気ダクト２０に設けたフィルタ１０と、センサ１１１を用いてダクト内の風速データを測定する風速計１１と、吸引部１２１でフィルタ上の異物２２を吸引し異物データを測定する粒度分布計１２と、異物データに応じたメンテナンスに関するメンテナンス情報を出力するとともに、風速計１１で測定した風速データを用いてメンテナンスが必要であるか否かを判定する情報処理装置１３と、を有する。
【選択図】図１

Description

本発明は、クリーンルーム等における排気ダクトの監視を行うダクト監視システム等に関する。

クリーンルームでは、粉塵等の異物を除去するために排気ダクトを介した排気が行われる。排気ダクトにより排気を続けると、ダクト内で異物が堆積し排気性能が低下するので、ダクトの清掃などのメンテナンスが必要になる。

特許文献１には、このようなメンテナンスのために用いるダクト内探査装置が開示されている。特許文献１のダクト内探査装置は、走行台車、走行台車上に搭載されたダクト内観測用のビデオカメラ、及びこれらを遠隔操作するモニタリモコン部などを有するものである。これにより、ダクト内の清掃に先立ち、ダクト内の異物の種類、堆積及び付着状況等を知ることができる。

特開平６−４２８０５号公報

より効果的なメンテナンスを行うためには、ダクト内を常時監視して異物の状況に応じたメンテナンスの参考にすることが望ましい。しかしながら、上記のダクト内探査装置はダクト内を走行させるので、ダクト内の空気の流通を阻害し、排気中も含めたダクト内の常時監視に適していない。また、上記のダクト内探査装置は、ダクト内全体を視覚的にモニタリングするので、異物の発見に時間を要するという課題もある。

さらに、クリーンルーム等の室内に存在する異物を減らすためには、異物の発生源を把握し適切な対策を行うことが望ましいが、上記のダクト内探査装置はダクト内の異物の探査に特化しており、発生源の把握は難しい。

本発明は、上記の課題に鑑みてなされたもので、排気ダクトの監視を好適に行い、監視結果に応じた適切な対処が可能になるダクト監視システム等を提供することを目的とする。

前述した課題を解決するための第１の発明は、排気ダクトに設けられたフィルタと、前記排気ダクトの排気方向において前記フィルタの前段にある異物に関する異物データを取得する異物データ取得部と、を有することを特徴とするダクト監視システムである。

本発明では、ダクト内のフィルタで異物を捕らえることで、ダクト内の異物の監視箇所をフィルタ前段に限定でき、従来技術のようにダクト内探査装置をダクト内で走行させるなどのプロセスが不要となる。従って、簡易な構成でダクト内の異物の常時監視ができ、適切なメンテナンスの参考になる。また、異物の発見に時間がかかることもない。異物データからは、ダクト内あるいはダクト周辺に存在する異物の状況も把握でき、例えばクリーンルームなどの室内で製品の製造を行う場合には、異物による製品の歩留り低下の予測や、異物の発生源の把握も可能である。これらにより、適切な対策を施して室内の異物を低減し歩留り低下を回避することもできる。また、フィルタを設けることで、フィルタ後段においてダクト内の汚染を抑制できる効果もある。

第１の発明のダクト監視システムは、前記フィルタの目詰まり状況に関する目詰まり状況データを取得する目詰まり状況取得部を具備することが望ましい。
これにより、フィルタの目詰まり状況を把握してメンテナンスの参考にできる。

また、第１の発明のダクト監視システムは、前記異物データに応じてメンテナンスに関するメンテナンス情報を出力する情報処理部を具備することが望ましい。
これにより、ダクト内の異物に応じたメンテナンス内容、メンテナンス時期などのメンテナンス情報をオペレータに提示でき、メンテナンスを適切に行うことが可能になる。

また、第１の発明のダクト監視システムは、前記フィルタの目詰まり状況に関する目詰まり状況データを取得する目詰まり状況取得部を具備し、前記情報処理部は、前記目詰まり状況データから、メンテナンスが必要であるか否かを判定することが望ましい。
目詰まり状況データからメンテナンスが必要か否かの判定を行うことで、フィルタの目詰まりを早期に検知して迅速なメンテナンスができる。

前記情報処理部は、複数の前記排気ダクトについて取得した前記異物データを比較し、異物の発生源に近い排気ダクトを判定することが望ましい。
これにより、異物の発生源の重点監視箇所を特定でき、異物の状況に応じて適切な対策を施して室内の異物を低減できる。

前記異物データ取得部は、例えば、吸引部で吸引した前記異物について異物データの測定を行う粒度分布計である。
ダクト内の異物を吸引して粒度分布計により異物データを測定することで、高精度の異物データが取得できる。

前記吸引部は前記フィルタ上の前記異物を吸引することが望ましい。
クリーンルームなどの排気ダクトでは高速で排気を行うので、ダクト内を流れる異物を直接吸引するには大きな吸引力が必要である。しかし、上記のようにしてフィルタで捕捉された異物の吸引を行うことにより、大きな吸引力が必要でなくなり、少ない消費電力で異物を収集できる。

前記異物データ取得部は、カメラによって前記異物を撮影した画像に基づいて異物データを取得してもよい。
この場合、ダクト内の異物を直接撮影した画像から異物データが得られるので、粒度分布計等が不要になり装置構成が簡単になる。

前記目詰まり状況取得部は、例えば、前記排気ダクト内に設けたセンサを用いて前記排気ダクト内の風速データを測定する風速計である。
風速計を用いることで、フィルタの目詰まりの進行に伴うダクト内の風速変化によりフィルタの目詰まり状況を好適に把握できる。

第２の発明は、異物データ取得部が、フィルタが設けられた排気ダクト内の、前記排気ダクトの排気方向において前記フィルタの前段にある異物に関する異物データを取得することを特徴とするダクト監視方法である。

本発明により、排気ダクトの監視を好適に行い、監視結果に応じた適切な対処が可能になるダクト監視システム等を提供することができる。

ダクト監視システム１を示す図 ダクト監視方法の流れを示すフローチャート ダクト監視システム１ａを示す図 ダクト監視システム１ｂを示す図

以下、図面に基づいて本発明の実施形態について詳細に説明する。

［第１の実施形態］
（１．ダクト監視システム１）
図１に本発明の第１の実施形態に係るダクト監視システム１を示す。このダクト監視システム１は、クリーンルーム内の製品の製造現場で局所排気を行うために設置される排気ダクト２０の監視を行うものである。ただし、これに限ることはない。

本実施形態では、排気ダクト２０に設けた排気ファン（不図示）により矢印Ａに示すように排気が行われ、クリーンルーム内の粉塵等の異物２２が排気ダクト２０に吸い込まれて除去される。異物２２の例としては、樹脂、金属、繊維等の微小物があり、その大きさや質量、形状等が異物２２の種類によって異なる。

本実施形態のダクト監視システム１は、図に示すように、フィルタ１０、風速計１１、粒度分布計１２、情報処理装置１３、警報装置１４等を備える。

フィルタ１０は、排気ダクト２０に設けられ、排気ダクト２０に吸い込まれた異物２２を捕捉するものである。フィルタ１０は、細孔等により空気を通過させつつ、異物２２は捕捉しフィルタ上に堆積させる。

風速計１１（目詰まり状況取得部）は、フィルタ１０の目詰まり状況に関する目詰まり状況データとして、ダクト内の風速データをセンサ１１１によって測定し取得する。センサ１１１は、排気ダクト２０の内部で、矢印Ａで示す排気方向においてフィルタ１０の後段に設けられており、フィルタ１０の目詰まりが進行すると風速が変化する。

粒度分布計１２（異物データ取得部）は、排気ダクト２０の排気方向においてフィルタ１０の前段にある異物２２を吸引部１２１によって吸引し、この異物２２を撮影した画像に対する画像解析や、溶媒中での異物２２の重力沈降を行うことにより、異物２２に関する異物データを測定して取得する。異物データとしては、例えば異物２２の大きさや形状、質量、種類、数量などがある。

本実施形態では、吸引部１２１によりフィルタ上に堆積した異物２２を吸引する。吸引部１２１は、排気ダクト２０の内部で、排気方向においてフィルタ１０の前段かつフィルタ１０の近傍に設けられる。

情報処理装置１３（情報処理部）は、例えば制御部や記憶部、表示部等を有する一般的なコンピュータである。情報処理装置１３は、上記の異物データに応じてメンテナンスに関するメンテナンス情報を表示出力するとともに、上記の風速データからメンテナンスが必要であるか否かの判定を行う。

なお、メンテナンス情報としては、例えば、フィルタ１０や排気ダクト２０の交換・清掃等のメンテナンス内容や、メンテナンスの周期等のメンテナンス時期、またフィルタ１０の交換を行う場合のフィルタ１０の種類や目の細かさなどがある。

警報装置１４は、例えばアラームやブザーなどであり、情報処理装置１３によってメンテナンスが必要と判定された場合に、オペレータにその旨を通知するべく音や光で警報を発するものである。

（２．ダクト監視方法）
図２はダクト監視方法の流れを示すフローチャートである。図２の手順は、例えば、排気ダクト２０を介してクリーンルーム内の排気を開始した後、所定の時間間隔で定期的に実行される。

本実施形態では、前記したように、風速計１１によりダクト内の風速データの測定が行われる（Ｓ１）。また、粒度分布計１２により異物データの測定が行われる（Ｓ２）。

情報処理装置１３は、粒度分布計１２で測定した異物データに応じたメンテナンス情報を決定し、このメンテナンス情報の表示出力を行う（Ｓ３）。こうしてメンテナンス情報をオペレータに提示することで、オペレータは適切な時期に適切なメンテナンスを行うことができる。

本実施形態では、異物２２の大きさや形状、質量、種類、数量などの異物データの値ごとに、対応するメンテナンス情報を予め情報処理装置１３に設定しておく。そして、Ｓ３において、設定済みのメンテナンス情報の中から、粒度分布計１２で測定した異物データの値に対応するメンテナンス情報を決定し、これを情報処理装置１３の表示部等に表示する。

具体的には、例えば、情報処理装置１３が、異物データとして測定された異物２２の数量について、前回測定時からの増加分を算出する。情報処理装置１３には、この増加分の値ごとに、対応するメンテナンス時期を予め設定しておき、上記算出した増加分に対応するメンテナンス時期をメンテナンス情報として決定する。例えば、異物２２の増加分が大きいほど早期のメンテナンス時期をメンテナンス情報として決定する。

また、異物２２の種類に応じたメンテナンス内容を予め情報処理装置１３に設定しておき、異物データとして測定された異物２２の種類に対応するメンテナンス内容をメンテナンス情報として決定することも可能である。例えば金属系の異物２２が付着した場合にはフィルタ１０等の清掃が容易であることから、金属系の異物２２が多く観測されている場合では、メンテナンス情報としてフィルタ１０等の清掃を行う旨を決定する。

その他、ダクト周辺の異物２２の発生源と、該発生源から発生する異物２２についての異物データの傾向を前もって予測し、情報処理装置１３に設定しておけば、情報処理装置１３がこのデータと実際の異物データを比較することで異物２２の発生源を判定することもできる。この発生源の情報を情報処理装置１３にて表示出力することで、オペレータはクリーンルーム内の異物２２の発生源を把握できる。

また、前記したような異物２２の増加分が大きくなると製品の歩留り低下が予測されることから、異物２２の増加分の値に応じて、異物２２の発生源への対策が必要な旨を情報処理装置１３などで表示することも可能である。これにより、オペレータは異物２２の発生源の清掃を行うなど適切な対策を施すことでクリーンルーム内の異物２２を低減し、歩留り低下を回避できる。

図２の説明に戻る。情報処理装置１３は、さらに、風速データから、メンテナンスが必要か否かの判定を行う（Ｓ４）。

すなわち、適切な内容で適切な時期にメンテナンスが行われていれば、排気ダクト２０による排気が良好に行われ、風速計１１で測定する風速は適正な範囲に保たれると考えられる。しかし、メンテナンス忘れや適切なメンテナンスが行われなかったなどの要因、あるいは異物２２の発生状況などにより、フィルタ１０の目詰まりが進行して風速が上記の範囲を外れる場合がある。Ｓ４では、例えば、情報処理装置１３が、風速計１１で得られた風速と、予め情報処理装置１３に設定された適正範囲を比較し、風速が適正範囲を外れる場合、フィルタ１０の目詰まりがありメンテナンスが必要と判定できる。

情報処理装置１３は、メンテナンスが必要でないと判定した場合（Ｓ５；Ｎｏ）、そのまま処理を終了するが、メンテナンスが必要と判定した場合（Ｓ５；Ｙｅｓ）には警報装置１４に警報信号を送信する。警報装置１４は警報信号を受信すると、音や光などでメンテナンスが必要である旨の警報を出力する（Ｓ６）。

これにより、オペレータはメンテナンスが必要である旨を知ることができ、警報に応じてフィルタ１０の交換・清掃など必要なメンテナンスを迅速に行うことができる。

以上説明したように、本実施形態では、ダクト内のフィルタ１０で異物２２を捕らえることで、ダクト内の異物２２の監視箇所をフィルタ前段に限定でき、従来技術のようにダクト内探査装置をダクト内で走行させるなどのプロセスが不要となる。従って、簡易な構成でダクト内の異物の常時監視ができ、適切なメンテナンスの参考になる。また、異物の発見に時間がかかることもない。異物データからは、ダクト内あるいはダクト周辺に存在する異物２２の状況も把握でき、クリーンルームなどの室内で製品の製造を行う場合には、異物２２による製品の歩留り低下の予測や、異物２２の発生源の把握も可能である。これらにより、適切な対策を施して室内の異物を低減し歩留り低下を回避することもできる。また、フィルタ１０を設けることで、フィルタ後段においてダクト内の汚染を抑制できる効果もある。

さらに、本実施形態では、風速計１１により、フィルタ１０の目詰まり状況に関する目詰まり状況データとして風速データを取得するので、フィルタ１０の目詰まりの進行に伴うダクト内の風速変化から目詰まり状況を好適に把握でき、メンテナンスの参考にできる。

また、本実施形態では、情報処理装置１３により、ダクト内の異物２２に応じたメンテナンス情報をオペレータに提示でき、メンテナンスを適切に行うことが可能になる。さらに、風速データからメンテナンスが必要か否かの判定を行うことで、フィルタ１０の目詰まりを早期に検知して迅速なメンテナンスができる。なお、情報処理装置１３は省略することも可能であり、この場合でも、オペレータは、風速データや異物データから適切なメンテナンス内容やメンテナンス時期などを判断し、メンテナンスを適切に行うことができる。

また、本実施形態では、吸引部１２１でダクト内のフィルタ上の異物２２を吸引し、粒度分布計１２により異物データを測定することで、高精度の異物データが取得できる。なお、吸引部１２１によってダクト内を流れる異物２２を直接吸引することも可能であるが、この場合には大きな吸引力が必要である。本実施形態のようにしてフィルタ１０で捕捉された異物２２を吸引することにより、大きな吸引力が必要でなく、少ない消費電力で異物２２を収集できる利点がある。

ただし、本発明が上記の実施形態で説明したものに限ることはない。例えば、フィルタ１０の目詰まりが進行すると、風速の他、排気方向においてフィルタ１０の前後の空間の圧力差も変化する。従って、風速計１１の代わりに差圧計を用い、フィルタ１０の目詰まり状況データとして上記の圧力差を測定することもできる。

また、異物データ等の結果により、異物２２によるダクト内の汚染が懸念されない場合は、メンテナンス情報としてフィルタ１０が不要な旨を表示出力するなどし、これに応じて、フィルタ１０を外部から取り外すようにしてもよい。

［第２の実施形態］
次に、図３を参照して第２の実施形態のダクト監視システム１ａについて説明する。図３に示すダクト監視システム１ａは、クリーンルーム内の塗布装置３０に対して設けられる。塗布装置３０は、例えば液晶ディスプレイのカラーフィルタの製造ラインにおいて、ガラス基板の表面に塗布液を塗布してブラックマトリクスや画素のパターンを形成するものである。

塗布装置３０は基台３１を有し、基台３１の中央部にガラス基板４０を載置する載置台３５が設けられる。基台３１上の載置台３５の両側には、門型の支持体３２を移動させるためのレール３４が設けられる。支持体３２のガラス基板４０と対向する面には、塗布液の塗布を行うためのダイヘッド３３が取付けられる。支持体３２の側面には、塗布液等の供給を行うためのホース３６ａや、電力供給やデータ通信のためのケーブル３６ｂ等が取付けられる。

塗布装置３０では、支持体３２をレール３４に沿って移動させつつ、ダイヘッド３３からガラス基板４０に塗布液を塗布する。しかしながら、支持体３２がレール３４上を移動する際には、支持体３２の脚部とレール３４との摩擦、ホース３６ａやケーブル３６ｂと基台３１等との摩擦などにより、金属や樹脂等の摩耗粉が生じることがある。このような摩耗粉がガラス基板４０に付着すると、不良品発生の要因となる。

本実施形態では、これら摩耗粉等の異物２２をクリーンルームから除去するために、塗布装置３０の基台３１の周辺に、局所排気用の排気ダクト２０が複数設けられる。図の例では、基台３１の四隅に対応する位置で計４つ設けられる。

本実施形態のダクト監視システム１ａでは、上記の排気ダクト２０のそれぞれに、フィルタ１０、風速計１１（センサ１１１を含む）、粒度分布計１２（吸引部１２１を含む）を第１の実施形態と同様にして取り付ける。各排気ダクト２０の風速計１１と粒度分布計１２は情報処理装置１３に接続され、情報処理装置１３は警報装置１４に接続される。

この第２の実施形態でも、第１の実施形態と同様の手順で、各排気ダクト２０につきメンテナンス情報を表示出力したり、メンテナンスが必要な旨の警報を発したりすることができる。

また、第２の実施形態では、各排気ダクト２０につき測定した異物データを用いて、異物２２の発生源に近い排気ダクト２０を判定することが可能である。例えば、情報処理装置１３が、各排気ダクト２０の異物データから、金属等の特定種類の異物２２の数量を排気ダクト２０間で比較する。そして、ある一部の排気ダクト２０における異物２２の数量が、他の排気ダクト２０よりも所定値以上多ければ、その排気ダクト２０が異物２２の発生源の近くにある排気ダクト２０であると判定できる。上記の所定値は予め情報処理装置１３に設定しておく。

このような判定結果を情報処理装置１３で表示出力等してオペレータに提示することにより、オペレータが異物２２の発生源の重点監視箇所を特定することができる。これにより、オペレータは、必要に応じて異物データを参照し、異物２２が増える頃に当該箇所の周辺の清掃などを行ったり、当該箇所の周辺に排気ダクト２０を増設したり、排気ダクト２０のレイアウト変更を行うことで、異物２２の付着などによる歩留りの低下を未然に防ぐことが可能である。

さらに、各排気ダクト２０の異物データからは、異物２２の数量などを元に擬似的な歩留り予想値を算出し、異物２２の状況に対応させて製造工程の管理を行うことも可能である。

歩留り予想値としては、例えば、情報処理装置１３により、管理値以上の異物２２の数量を観測した排気ダクト２０の数をｎとし、歩留り予想値Ｙ（％）を下式（１）によって算出することができる。
Ｙ＝１００−ｆ（ｎ）…（１）

上記の管理値は予め情報処理装置１３に設定しておく。また、式（１）のｆ（ｎ）として実際に用いる式については、製品製造中の異物２２の数量と歩留り数のデータや、実験結果などから定式化することが可能である。

なお、本実施形態では、塗布装置３０に対してダクト監視システム１ａを設ける例を説明したが、ダクト監視システムの適用対象はこれに限ることはない。例えば、塗布液の塗布後のガラス基板４０の乾燥を行う乾燥装置などでも、乾燥装置内の排気ダクトに上記と同様のダクト監視システムを設けることができる。乾燥装置では、塗布液中の樹脂成分や、ガラス基板４０と該ガラス基板４０を搬送するコロとの摩擦による摩耗粉などが異物２２となる。上記の他、本発明のダクト監視システムは、排気ダクトによる排気を行う様々な箇所に適用可能である。

［第３の実施形態］
図４は、本発明の第３の実施形態に係るダクト監視システム１ｂを示す図である。第３の実施形態のダクト監視システム１ｂは、第１の実施形態のダクト監視システム１の粒度分布計１２と吸引部１２１のかわりに画像処理装置１５と高解像度のカメラ１５１を設けたものである。

カメラ１５１は、排気ダクト２０の内部で、排気方向においてフィルタ１０の前段に設けられ、フィルタ１０上に堆積した異物２２もしくは排気ダクト２０内を流れる異物２２の撮影を行う。なお、本実施形態では撮影用の光源（不図示）も併せて設けられる。

画像処理装置１５（異物データ取得部）は、カメラ１５１で異物２２を撮影した画像に対し画像解析を行うことで、異物２２の大きさや形状、種類、数量などの異物データを測定する。画像処理装置１５は、例えば制御部や記憶部、表示部等を有する一般的なコンピュータで実現できる。

本実施形態でも、画像処理装置１５で異物データを測定するほかは、第１の実施形態と同様の手順でメンテナンス情報を表示したり、メンテナンスが必要な旨の警報を発したりでき、第１の実施形態と同様の効果が得られる。また、ダクト内の異物２２を直接撮影した画像から異物データが得られるので、粒度分布計等が不要になり装置構成が簡単になる利点がある。なお、情報処理装置１３と画像処理装置１５は一体とすることも可能である。

また、画像処理装置１５とカメラ１５１は、風速計１１等の代わりに本発明における目詰まり状況取得部として機能させることも可能である。この場合、カメラ１５１によってフィルタ１０を撮影し、画像処理装置１５は、フィルタ１０を撮影した画像データを取得する。

フィルタ１０を撮影した画像では、目詰まり部分が他の部分よりも高輝度に現れるので、例えば、画像処理装置１５によってフィルタ１０の撮影画像を二値化し、フィルタ１０の目詰まり状況データとしてフィルタ１０の目詰まり面積を算出する。そして、情報処理装置１３が、この目詰まり面積と、予め情報処理装置１３に設定された管理値を比較し、目詰まり面積が管理値以上の場合、フィルタ１０の目詰まりがありメンテナンスが必要と判定できる。

メンテナンスが必要と判定された場合は、前記と同様にして警報装置１４から警報を発し、メンテナンスが必要な旨をオペレータに知らせることができる。また、フィルタ１０を撮影した画像からは、オペレータにより目視でフィルタ１０の目詰まり状況や異物２２の堆積状況を確認することもできる。

以上、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されない。当業者であれば、本願で開示した技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。

１、１ａ、１ｂ；ダクト監視システム
１０；フィルタ
１１；風速計
１２；粒度分布計
１３；情報処理装置
１４；警報装置
１５；画像処理装置
２０；排気ダクト
２２；異物
３０；塗布装置
１１１；センサ
１２１；吸引部
１５１；カメラ

Claims (10)

1. 排気ダクトに設けられたフィルタと、
   前記排気ダクトの排気方向において前記フィルタの前段にある異物に関する異物データを取得する異物データ取得部と、
   を有することを特徴とするダクト監視システム。
2. 前記フィルタの目詰まり状況に関する目詰まり状況データを取得する目詰まり状況取得部を具備することを特徴とする請求項１記載のダクト監視システム。
3. 前記異物データに応じてメンテナンスに関するメンテナンス情報を出力する情報処理部を具備することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のダクト監視システム。
4. 前記フィルタの目詰まり状況に関する目詰まり状況データを取得する目詰まり状況取得部を具備し、
   前記情報処理部は、前記目詰まり状況データから、メンテナンスが必要であるか否かを判定することを特徴とする請求項３に記載のダクト監視システム。
5. 前記情報処理部は、複数の前記排気ダクトについて取得した前記異物データを比較し、異物の発生源に近い排気ダクトを判定することを特徴とする請求項３または請求項４に記載のダクト監視システム。
6. 前記異物データ取得部は、吸引部で吸引した前記異物について異物データの測定を行う粒度分布計であることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載のダクト監視システム。
7. 前記吸引部は前記フィルタ上の前記異物を吸引することを特徴とする請求項６に記載のダクト監視システム。
8. 前記異物データ取得部は、カメラによって前記異物を撮影した画像に基づいて異物データを取得することを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれかに記載のダクト監視システム。
9. 前記目詰まり状況取得部は、前記排気ダクト内に設けたセンサを用いて前記排気ダクト内の風速データを測定する風速計であることを特徴とする請求項２に記載のダクト監視システム。
10. 異物データ取得部が、フィルタが設けられた排気ダクト内の、前記排気ダクトの排気方向において前記フィルタの前段にある異物に関する異物データを取得することを特徴とするダクト監視方法。

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