JP2015086109A - セラミック体と金属体との接合体、およびセラミック体と金属体との接合体の製造方法 - Google Patents
セラミック体と金属体との接合体、およびセラミック体と金属体との接合体の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
Description
12 セラミック体
14 金属体
20 接合層
22 セラミック層
31 第1金属層
32 第2金属層
33 側面被覆部
41 第1金属ペースト層
42 第2金属ペースト層
43 側面被覆ペースト部
Claims (5)
- 第1のセラミックスからなるセラミック体と、金属体と、前記セラミック体と前記金属体とを接合する接合層とを有する、セラミック体と金属体との接合体であって、
前記接合層は、
前記第1のセラミックスよりも熱膨張係数が小さくかつ前記第1のセラミックスよりも3点曲げ強度が大きい第2のセラミックスからなる接合用セラミック層と、前記セラミック体と前記接合用セラミック層との間に配置されて前記セラミック体と前記接合用セラミック層とを接合する第1金属層と、前記接合用セラミック層と前記金属体との間に配置されて前記接合用セラミック層と前記金属体とを接合する第2金属層とを有することを特徴とするセラミック体と金属体との接合体。 - 前記第1のセラミックスは炭化珪素(SiC)を主成分とし、前記第2のセラミックスは窒化珪素(Si3N4)を主成分とすることを特徴とする請求項1記載のセラミック体と金属体との接合体。
- 前記接合層は、前記接合用セラミック層の側面に被着するとともに前記第1金属層および前記第2金属層にも繋がって前記第1金属層と前記第2金属層とを電気的に導通させる、金属からなる側面被覆部を有することを特徴とする請求項1または請求項2記載のセラミック体と金属体との接合体。
- 前記第1金属層および前記第2金属層および前記側面被覆部は、銀(Ag)を主成分とし、銅(Cu)およびチタン(Ti)を含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のセラミック体と金属体との接合体。
- 請求項1〜4のいずれかに記載のセラミック体と金属体との接合体の製造方法であって、
前記セラミック体と、前記金属体と、前記第1金属層および前記第2金属層の前駆体である金属ペーストと、前記第2のセラミックスからなる板状セラミック部材を準備する工程と、
前記セラミック体と前記金属体との間に前記金属ペーストと前記板状セラミック部材とを配置することで、前記セラミック体と前記金属体との間に配置された前記板状セラミック部材からなる前記接合用セラミック層と、前記セラミック体と前記接合用セラミック層との間に配置された第1金属ペースト層と、前記接合用セラミック層と前記金属体との間に配置された第2金属ペースト層とを形成する工程と、
全体を加熱することで前記第1金属ペースト層を焼成した後に降温させて前記第1金属層を形成するとともに、前記第2金属ペースト層を焼成した後に降温させて前記第2金属層を形成する工程とを有することを特徴とするセラミック体と金属体との接合体の製造方法。
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2013
- 2013-10-31 JP JP2013226593A patent/JP6224416B2/ja active Active
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