JP2015082403A - 電子顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
Description
電子ビーム顕微鏡装置とくに透過型電子顕微鏡(TEM)に関して図6を用いて装置構成概略を説明する。電子銃51によって生成された電子ビームを電子レンズ54を用いて集束し、試料ステージ10に搭載された試料へ照射する。試料を透過した電子を検出器55によって検出し、主制御装置57へ取り込み画像化し、試料を観察する。鏡体1は除振された架台50に締結されている。試料ステージ10は主制御装置57からの指令を受け、ステージコントローラ53にて制御する。鏡体1は図示しない真空排気用ポンプにて、10-5Pa程度まで真空排気される。
試料移動装置としては、特許文献1に記載されているような試料ホルダの先端を接触させて、X方向に駆動する方式が考案されている。また、特許文献2に記載されているように、試料ホルダの一部に段差を設けて、その段差をX軸駆動機構と接触させる方式も考案されている。
図1を用いて本発明の実施の形態について説明する。鏡体1に固定された球面受け36は球形支点37と接触している。球形支点37を含むエアーロックシリンダは、球形支点37の中心を軸として首振り運動をし、その結果として、試料3をZ方向(鉛直方向)およびY方向(紙面垂直方向)に移動させることが可能となる。試料Z方向に駆動させるためには、回転筒20に固定されたZ駆動用リニア機構21を動作させる。Z駆動用リニア機構21は、その対極に位置したZバネ22によって常に反発力を受ける。図示しない紙面に垂直方向に駆動可能な別のリニア機構によってY方向へ試料ホルダ2を駆動する。
X微動機構について説明する。図1に示すように、X駆動用リニア機構10は、ベアリング23を介してベース24と締結される回転筒20に取り付けられている。X駆動用リニア機構10の駆動力は回転筒20に設けられたX微動てこ支点26を支点にしたてこ機構25によってスライダ筒30に伝えられ、試料ホルダ2をX方向へ駆動する。スライダ筒は内筒33とベローズ32にて接続されている。てこ機構25とスライダ筒30の接触部は、試料ホルダのZ軸およびY軸駆動に対して、すべり機構が必要である。
図2にX微動機構の詳細図を示した。エアーロックシリンダ内のスライド筒30上にX微動受け62を固定する。回転筒20上に取り付けられたX微動機構のてこ機構25の先端には球状のX微動先端部63が取り付けられている。てこ機構25は、回転筒20およびエアーロックシリンダ外筒61にそれぞれ設けられた開口部66および65を通して、X微動受け62とX微先端部63が接するように設置する。
X微動機構は、エアーロックシリンダの質量に対して、20%程度である。
観察スループットを増加させるために、複数の試料を搭載可能な試料ホルダが考案されている。このタイプの試料ホルダは、その長手方向(X方向)に、試料装填部が複数個備えられている。
Claims (4)
- サイドエントリーステージを備えた透過型電子顕微鏡において、
電子ビームに直交する平面内において概直交して観察試料を駆動する2つの直動機構と、
試料を搭載する試料ホルダと、
前記試料ホルダを内挿するエアーロックシリンダと、
を備え、
一方の前記直動機構にて前記エアーロックシリンダを駆動する際に、他方の直動機構とエアーロックシリンダが互いにすべり動く機構を有すること、
を特徴とする透過型電子顕微鏡。
- サイドエントリーステージを備えた透過型電子顕微鏡において、
概直交して観察試料を駆動する2つの直動機構と、
試料を搭載する試料ホルダと、
前記試料ホルダを内挿するエアーロックシリンダと、
前記エアーロックシリンダの先端に備えた球面受けと、
を備え、
前記直動機構の一方が球面受けを軸とする首振り運動をすることにより試料を駆動し、他方の直動機構が首振り運動と概直交する方向に試料を駆動し、前記首振り運動と概直交する方向に試料を駆動する直動機構とエアーロックシリンダの接触部において、直動機構側が球形、エアーロックシリンダ側が前記球面受けを中心とする球面で形成されたこと、
を特徴とする透過型電子顕微鏡。
- 請求項1または2において、
ガイドレール上に設置された直動機構と、前記直動機構を前記ガイドレール方向に駆動する機構を備えることを特徴とする透過型電子顕微鏡。
- サイドエントリーステージを備えた透過型電子顕微鏡において、
試料を搭載する試料ホルダと、
前記試料ホルダを内挿するエアーロックシリンダと、
電子ビームに概平行なZ方向に前記試料を駆動するZ方向駆動機構と、
前記エアーロックシリンダの長手方向であるX方向に前記試料を駆動するX方向駆動機構と、
前記X方向およびZ方向に概直交するY方向に前記試料を駆動するY方向駆動機構と、
を備え、
前記X方向駆動機構は、前記エアーロックシリンダの外部から、前記試料ホルダに接続された前記エアーロックシリンダの内部にある部材へ、該部材をX方向に駆動させる力を伝える接点を有し、該接点はY方向駆動機構によりY方向に駆動しても接するような点と面であること、
を特徴とする透過型電子顕微鏡。
Priority Applications (2)
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Applications Claiming Priority (1)
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2013219740A Active JP6196878B2 (ja) | 2013-10-23 | 2013-10-23 | 電子顕微鏡 |
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---|---|---|---|---|
JPS502351B1 (ja) * | 1970-11-20 | 1975-01-25 | ||
US5581088A (en) * | 1994-10-20 | 1996-12-03 | Jeol Ltd. | Specimen-holding device for electron microscope |
JP2012151028A (ja) * | 2011-01-20 | 2012-08-09 | Jeol Ltd | 荷電粒子線装置の試料位置決め装置 |
-
2013
- 2013-10-23 JP JP2013219740A patent/JP6196878B2/ja active Active
-
2014
- 2014-09-19 WO PCT/JP2014/074964 patent/WO2015060049A1/ja active Application Filing
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP2012151028A (ja) * | 2011-01-20 | 2012-08-09 | Jeol Ltd | 荷電粒子線装置の試料位置決め装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6196878B2 (ja) | 2017-09-13 |
WO2015060049A1 (ja) | 2015-04-30 |
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