JP2015076253A - 小型マイクロ波プラズマ源における誘電体保護機構 - Google Patents
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Abstract
Description
本実施形態に係る本発明に係る小型マイクロ波プラズマ源における誘電体保護機構によれば、マイクロ波の供給経路を第一の同軸線路A、誘電体保護部B、第二の同軸線路C及びアンテナ部Dの4つの区分によって構成し、誘電体保護部Bによって金属コンタミから誘電体25を保護することとしたので、限られたサイズの空間内で誘電体25を金属コンタミから保護することが可能になり、長期にわたってプラズマ生成に十分なマイクロ波を供給することができ、しかもイオンスラスタの寿命をこれまでよりも伸ばすことができるという効果がある。
3 イオン源
3a,5a プラズマ生成室
4 イオン加速部
4a スクリーングリッド
4b アクセルグリッド
5 中和器
6 電源ユニット
7 推進剤貯蔵タンク
8 調圧バルブ
9 配管
10 低圧タンク
11 流量制限器
12 スラスタバルブ
13 マイクロ波電源
20 アンテナ
21 遮蔽部材
22a,22b 導体
23a,23b 空間
24 外被導体
25 誘電体
A 第一の同軸線路
B 誘電体保護部
C 第二の同軸線路
D アンテナ部
Claims (3)
- 内部導体と外部導体の間に誘電体が配置された同軸線路を介して伝送されるマイクロ波をアンテナ部から放射することによって前記プラズマ生成室内に供給された推進剤をプラズマ化するに際して、前記誘電体を金属コンタミから保護する小型マイクロ波プラズマ源における誘電体保護機構において、
前記同軸線路によって形成された第一の同軸線路と、
前記プラズマ生成室内に配置されたアンテナ部と、
前記第一の同軸線路を介して伝送されてくるマイクロ波を前記アンテナ部へ伝送する誘電体を有しない第二の同軸線路と、
前記第一の同軸線路と前記第二の同軸線路との間に設けられ、前記プラズマ生成室から直接的に前記誘電体が見えないように遮蔽する遮蔽部材を備えた誘電体保護部と、
を備えていることを特徴とする小型マイクロ波プラズマ源における誘電体保護機構。 - 請求項1に記載の誘電体保護機構において、
前記誘電体保護部及び前記アンテナ部の特性インピーダンスを前記第一の同軸線路及び前記第二の同軸線路の特性インピーダンスと異ならせると共に、前記第二の同軸線路の長さを調整することにより、前記第一の同軸線路を介して伝送されて前記誘電体保護部によって反射されるマイクロ波と、前記誘電体保護部を透過して前記アンテナ部によって反射されてさらに前記誘電体保護部を透過するマイクロ波によって前記誘電体保護部を共振させることにより前記アンテナ部に強い電場を生じさせることを特徴とする小型マイクロ波プラズマ源における誘電体保護機構。 - 請求項1又は2に記載の小型マイクロ波プラズマ源における誘電体保護機構を備えたことを特徴とするイオンスラスタ。
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