JP2015075407A - 3軸ポジションセンサ - Google Patents
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Abstract
【課題】2つのセンサを比較的容易に実装することが可能な3軸ポジションセンサを提供すること。【解決手段】3軸ポジションセンサ1は、カウンタマグネット2を検出対象として、X−Y平面上での回転を検出するとともに、Z軸に沿った接近を検出する。X−Y平面に沿ってMRセンサが設けられた基板4には、Z軸に沿って伸縮するダイヤフラム7が形成され、そのダイヤフラム7には、当該ダイヤフラム7の伸縮に応じた電気信号を出力する圧力センサが設けられる。【選択図】図1
Description
本発明は、運動部材を検出対象として、互いに直交する3軸のうち2軸による平面上での回転を検出する第1のセンサと、残りの1軸に沿った変位を検出する第2のセンサとを備えた3軸ポジションセンサに関する。
特許文献1には、第1のMR(magnetoresistance )センサを設けた台座に対して、第2のMRセンサを設けた基板を垂直に配置し、操作レバーを検出対象として、第1のMRセンサでX−Y平面上での回転を検出するとともに、第2のMRセンサでZ軸に沿った変位を検出する3軸ポジションセンサが開示されている。
台座に対して基板を垂直に配置することは比較的難しく、また、それに代わり、共通の基板に2つのMRセンサを互いに垂直に実装することも難しい。
本発明は、このような問題点に着目してなされたものであって、その目的は、2つのセンサを比較的容易に実装することが可能な3軸ポジションセンサを提供することにある。
本発明は、このような問題点に着目してなされたものであって、その目的は、2つのセンサを比較的容易に実装することが可能な3軸ポジションセンサを提供することにある。
上記課題を解決する3軸ポジションセンサは、運動部材を検出対象として、互いに直交する3軸のうち2軸による平面上での回転を検出する第1のセンサと、残りの1軸に沿った変位を検出する第2のセンサとを備えた3軸ポジションセンサにおいて、前記2軸による平面に沿って前記第1のセンサが設けられた基板には、前記残りの1軸に沿って伸縮するダイヤフラムが形成され、そのダイヤフラムには、当該ダイヤフラムの伸縮に応じた電気信号を出力する前記第2のセンサが設けられることをその要旨としている。
この構成によれば、例えば、X−Y平面に沿って第1のセンサが設けられた基板に、Z軸に沿って伸縮するダイヤフラムが形成され、そのダイヤフラムには、当該ダイヤフラムの伸縮に応じた電気信号を出力する第2のセンサが設けられる。第2のセンサを第1のセンサと同じX−Y平面に沿って設けることが可能となる。これにより、共通の基板に2つのセンサを互いに垂直に実装することから解放される。したがって、2つのセンサを比較的容易に実装することができる。
上記3軸ポジションセンサについて、前記第2のセンサは、前記ダイヤフラムの縁に対応して設けられることとしてもよい。
この構成によれば、ダイヤフラムの伸縮に応じて電気信号が大きく変化する箇所に第2のセンサが設けられる。したがって、検出精度を高めることができる。
この構成によれば、ダイヤフラムの伸縮に応じて電気信号が大きく変化する箇所に第2のセンサが設けられる。したがって、検出精度を高めることができる。
本発明によれば、2つのセンサを比較的容易に実装することができる。
以下、3軸ポジションセンサの一実施の形態について説明する。
図1に示すように、3軸ポジションセンサ1は、操作レバー(図示略)の操作に連動するカウンタマグネット2を検出対象として、X−Y平面上での回転を検出するとともに、Z軸に沿った接近を検出するものと規定される。
図1に示すように、3軸ポジションセンサ1は、操作レバー(図示略)の操作に連動するカウンタマグネット2を検出対象として、X−Y平面上での回転を検出するとともに、Z軸に沿った接近を検出するものと規定される。
3軸ポジションセンサ1は、ガラス製の台座3と、その台座3の裏面に陽極接合されたシリコン製の基板4と、その基板4の裏側に設けられたバイアスマグネット5とが一体化されている。基板4には、表側の空洞部6により肉薄とされたダイヤフラム7が形成されている。台座3には、空洞部6と連通する孔8が形成されている。
図2に示すように、基板4の裏面には、空洞部6に対応してMRセンサ9が設けられている。MRセンサ9の周囲には、それぞれがダイヤフラム7の縁7aに対応して配置された合計4つのピエゾ抵抗素子10が設けられている。4つのピエゾ抵抗素子10によって圧力センサ11が構成される。
図3に示すように、MRセンサ9は、4つのMR素子によるブリッジ回路12と、ブリッジ回路12を45°回転させた配置をとるブリッジ回路13とを備えている。カウンタマグネット2とバイアスマグネット5との協働により磁界が生じる。カウンタマグネット2の回転に伴い磁界が変化すると、各MR素子の電気抵抗が変化する。各MR素子の電気抵抗の変化は、ブリッジ回路12、13のそれぞれの出力信号S1、S2の変化となって現れる。
図4に示すように、ブリッジ回路12の出力信号S1とブリッジ回路13の出力信号S2との位相差は45°となる。図示しない制御系によりArctan(S1/S2)を算出することで、カウンタマグネット2のX−Y平面上での回転が検出される。
図5に示すように、圧力センサ11は、4つのピエゾ抵抗素子10によるブリッジ回路として規定される。バイアスマグネット5に対しカウンタマグネット2が離間しているときと接近しているときとで、マグネット同士の吸引及び反発の度合が異なるため、ダイヤフラム7に加わる圧力が変化する。ダイヤフラム7に加わる圧力に応じて各ピエゾ抵抗素子10のそれぞれの電気抵抗が変化する。各ピエゾ抵抗素子10の電気抵抗の変化は、ブリッジ回路の出力信号S3の変化となって現れる。上記制御系により出力信号S3を監視することで、カウンタマグネット2の接近或いは離間といったZ軸方向の変位が検出される。
次に、3軸ポジションセンサ1の作用について説明する。
カウンタマグネット2がX−Y平面上で回転されると、MRセンサ9に作用する磁界が変化し、カウンタマグネット2の回転位置に応じた出力信号S1、S2が得られる。そして、Arctan(S1/S2)が算出される。そして、Arctan(S1/S2)の値とカウンタマグネット2の回転位置とが関連付けされたテーブルが参照され、上記算出された値に対応する回転位置が特定される。その結果、MRセンサ9を媒体として、カウンタマグネット2のX−Y平面上での回転が検出される。
カウンタマグネット2がX−Y平面上で回転されると、MRセンサ9に作用する磁界が変化し、カウンタマグネット2の回転位置に応じた出力信号S1、S2が得られる。そして、Arctan(S1/S2)が算出される。そして、Arctan(S1/S2)の値とカウンタマグネット2の回転位置とが関連付けされたテーブルが参照され、上記算出された値に対応する回転位置が特定される。その結果、MRセンサ9を媒体として、カウンタマグネット2のX−Y平面上での回転が検出される。
カウンタマグネット2がZ軸方向に沿って変位されると、Z軸方向に沿ってダイヤフラム7が伸縮する。これにより、圧力センサ11に作用する圧力が変化し、カウンタマグネット2の変位位置に応じた出力信号S3が得られる。そして、出力信号S3の値が閾値と比較され、出力信号S3の値が閾値を超えたとき、カウンタマグネット2が接近位置にあることが特定される一方、出力信号S3の値が閾値以下のとき、カウンタマグネット2が離間位置にあることが特定される。その結果、圧力センサ11を媒体として、カウンタマグネット2のZ軸方向の変位が検出される。
以上説明したように、本実施の形態によれば、以下の効果を奏することができる。
(1)X−Y平面に沿ってMRセンサ9が設けられた基板4に、Z軸に沿って伸縮するダイヤフラム7が形成され、そのダイヤフラム7には、当該ダイヤフラム7の伸縮に応じた電気信号を出力する圧力センサ11が設けられる。圧力センサ11をMRセンサ9と同じX−Y平面に沿って設けることが可能となる。これにより、共通の基板に2つのセンサを互いに垂直に実装することから解放される。したがって、2つのセンサ9、11を比較的容易に実装することができる。
(1)X−Y平面に沿ってMRセンサ9が設けられた基板4に、Z軸に沿って伸縮するダイヤフラム7が形成され、そのダイヤフラム7には、当該ダイヤフラム7の伸縮に応じた電気信号を出力する圧力センサ11が設けられる。圧力センサ11をMRセンサ9と同じX−Y平面に沿って設けることが可能となる。これにより、共通の基板に2つのセンサを互いに垂直に実装することから解放される。したがって、2つのセンサ9、11を比較的容易に実装することができる。
(2)圧力センサ11を構成する4つのピエゾ抵抗素子10は、それぞれがダイヤフラム7の縁7aに対応して設けられる。つまり、ダイヤフラム7の伸縮に応じて電気抵抗が大きく変化する箇所に各ピエゾ抵抗素子10が設けられる。したがって、検出精度を高めることができる。
(3)基板4の中央にダイヤフラム7を形成しつつ、ダイヤフラム7を規定する空洞部6に対応してMRセンサ9を設けるとともに、その周囲に各ピエゾ抵抗素子10(圧力センサ11)を配置することで、2つのセンサ9、11が効率良く配置される。したがって、実装面積を縮小することができる。
尚、上記実施の形態は、次のように変更して具体化することも可能である。
・カウンタマグネット2のZ軸方向の変位を検出するにあたり、接近/離間の二値を検出することに代えて、分解能を高めつつZ軸方向に沿った離間距離を多値で検出してもよい。この場合、出力信号S3の値と離間距離とが関連付けされたテーブルが用意される。
・カウンタマグネット2のZ軸方向の変位を検出するにあたり、接近/離間の二値を検出することに代えて、分解能を高めつつZ軸方向に沿った離間距離を多値で検出してもよい。この場合、出力信号S3の値と離間距離とが関連付けされたテーブルが用意される。
次に、上記実施の形態及び別例から把握できる技術的思想について記載する。
(イ)3軸ポジションセンサにおいて、第2のセンサは、第1のセンサの周囲に配置されること。
(イ)3軸ポジションセンサにおいて、第2のセンサは、第1のセンサの周囲に配置されること。
(ロ)3軸ポジションセンサにおいて、第1のセンサは、ダイヤフラムを規定する空洞部に対応して設けられること。
(ハ)3軸ポジションセンサにおいて、第2のセンサは、ダイヤフラムの伸縮に応じて電気抵抗が変化する抵抗素子によるブリッジ回路として規定されること。
(ハ)3軸ポジションセンサにおいて、第2のセンサは、ダイヤフラムの伸縮に応じて電気抵抗が変化する抵抗素子によるブリッジ回路として規定されること。
1…3軸ポジションセンサ、2…カウンタマグネット(運動部材)、3…台座、4…基板、5…バイアスマグネット、6…空洞部、7…ダイヤフラム、7a…縁、8…孔、9…MRセンサ(第1のセンサ)、10…ピエゾ抵抗素子、11…圧力センサ(第2のセンサ)、12…ブリッジ回路、13…ブリッジ回路。
Claims (2)
- 運動部材を検出対象として、互いに直交する3軸のうち2軸による平面上での回転を検出する第1のセンサと、残りの1軸に沿った変位を検出する第2のセンサとを備えた3軸ポジションセンサにおいて、
前記2軸による平面に沿って前記第1のセンサが設けられた基板には、前記残りの1軸に沿って伸縮するダイヤフラムが形成され、そのダイヤフラムには、当該ダイヤフラムの伸縮に応じた電気信号を出力する前記第2のセンサが設けられる
ことを特徴とする3軸ポジションセンサ。 - 前記第2のセンサは、前記ダイヤフラムの縁に対応して設けられる
請求項1に記載の3軸ポジションセンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013212038A JP2015075407A (ja) | 2013-10-09 | 2013-10-09 | 3軸ポジションセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013212038A JP2015075407A (ja) | 2013-10-09 | 2013-10-09 | 3軸ポジションセンサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2015075407A true JP2015075407A (ja) | 2015-04-20 |
Family
ID=53000370
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013212038A Pending JP2015075407A (ja) | 2013-10-09 | 2013-10-09 | 3軸ポジションセンサ |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2015075407A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018017573A (ja) * | 2016-07-27 | 2018-02-01 | 株式会社東海理化電機製作所 | ストロークセンサ |
JP2018532234A (ja) * | 2015-10-13 | 2018-11-01 | 東莞市凱華電子有限公司Dongguan Kaihua Electronics Co., Ltd | ピエゾ抵抗式多方向入力装置 |
WO2022070626A1 (ja) * | 2020-09-30 | 2022-04-07 | 株式会社村田製作所 | 位置検出装置 |
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2013
- 2013-10-09 JP JP2013212038A patent/JP2015075407A/ja active Pending
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