JP2015069679A - 磁気ディスク検査装置及び磁気ディスク検査方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】磁気ディスク検査装置において、焦点深度が浅くならないようにして水平分解能を上げて欠陥を検出することを可能にする。
【解決手段】磁気ディスクの検査装置を、スピンドル軸とステージとを有するテーブル部と、磁気ディスクにレーザを照射する照明系と、磁気ディスクからの正反射光を検出する正反射光検出光学系と、磁気ディスクからの散乱光を検出する散乱光検出光学系と、正反射光検出光学系と散乱光検出光学系からの出力を処理して欠陥を検出する信号処理部とを備えて構成し、散乱光検出光学系は、複数のレンズを有するレンズ系とアレイ状に配置した複数の光電変換素子を有する光電変換器とを備え、レンズ系で、光電変換器のアレイ状に配置した複数の光電変換素子上に、この光電変換素子のアレイ状に配置した方向と直角な方向の幅よりも細く成形した一方向に長い磁気ディスクの表面からの散乱光の像を結像させるようにした。
【選択図】 図1
【解決手段】磁気ディスクの検査装置を、スピンドル軸とステージとを有するテーブル部と、磁気ディスクにレーザを照射する照明系と、磁気ディスクからの正反射光を検出する正反射光検出光学系と、磁気ディスクからの散乱光を検出する散乱光検出光学系と、正反射光検出光学系と散乱光検出光学系からの出力を処理して欠陥を検出する信号処理部とを備えて構成し、散乱光検出光学系は、複数のレンズを有するレンズ系とアレイ状に配置した複数の光電変換素子を有する光電変換器とを備え、レンズ系で、光電変換器のアレイ状に配置した複数の光電変換素子上に、この光電変換素子のアレイ状に配置した方向と直角な方向の幅よりも細く成形した一方向に長い磁気ディスクの表面からの散乱光の像を結像させるようにした。
【選択図】 図1
Description
本発明は、磁気ディスクの表面の欠陥を光学的に検査する磁気ディスク検査装置及び磁気ディスク検査方法に関する。
磁気ディスクの表面の欠陥を光学的に検査する磁気ディスク検査装置の例として、特許文献1に記載されている装置が有る。
この特許文献1には、磁気ディスク検査装置として、リード・ライトテストのサンプリング位置を決定するのに用いる欠陥位置情報を光学的な検査で検出するための光学式の検査装置開示されている。この光学式の検査装置は、照明光学系と、散乱光検出光学系、正反射光検出光学系、信号処理・制御系を備え、磁気ディスクからの反射光のうち正反射光を正反射光検出光学系で検出し、散乱光を散乱光検出光学系で検出してそれぞれの検出新業を処理して磁気ディスク表面の欠陥を検出することが記載されている。
表面検査機の散乱光学系において、欠陥のサイズをより正確に認識するために水平分解能を上げる方法がある。
水平分解能を上げる(細かくする)手段として、ビームサイズを小さくし、1スキャンのピッチを細かくする手段がある。磁気ディスクの検査対象面に照射するビームサイズを細くすれば、検査対象面を細かいピッチで読み取ることができるので、水平分解能を上げることができる。
しかし、読み取るピッチを細かくすると、スキャンする回数が増えるため、検査に時間がかかってしまう。また、この場合においては、ビーム径を小さくするために焦点深度が浅くなり、ディスクの面ぶれや機構部の伸縮などが発生すると、焦点深度が浅くなった結果、スキャンした光をセンサが読み取ることができずに、検出の再現性を悪化させてしまう可能性が有る。
一方、検出系の倍率を上げるという方法もある。検出系の倍率が上がった分、検出系から見た焦点深度が浅くなるために、上述と同じ現象が生ずる。
特許文献1記載の磁気ディスク検査装置では、水平分解能を上げようとすると、スキャンのピッチを細かくしたり、あるいは、検出系の倍率を上げなければならず、その結果、焦点深度が浅くなってしまう。
本発明においては、焦点深度が浅くならないようにして水平分解能を上げることを可能にする磁気ディスク検査装置及び磁気ディスク検査方法を提供する。
上記した課題を解決するために、本発明では、磁気ディスクの検査装置を、検査対象である磁気ディスクを載置して回転可能なスピンドル軸とこのスピンドル軸を載置した磁気ディスクの半径方向に移動可能なステージとを有するテーブル部と、スピンドル軸に載置された磁気ディスクの表面にレーザを照射する照明系と、この照明系によりレーザが照射された磁気ディスクの表面からの反射光のうち正反射光を検出する正反射光検出光学系と、照明系によりレーザが照射された磁気ディスクの表面からの反射光のうち散乱光を検出する散乱光検出光学系と、正反射光を検出した正反射光検出光学系からの出力と散乱光を検出した散乱光検出光学系からの出力とを処理して磁気ディスク上の欠陥を検出する信号処理部とを備えて構成し、散乱光検出光学系は、複数のレンズを有するレンズ系とアレイ状に配置した複数の光電変換素子を有する光電変換器とを備え、レンズ系で、光電変換器のアレイ状に配置した複数の光電変換素子上に、この光電変換素子のアレイ状に配置した方向と直角な方向の幅よりも細く成形した一方向に長い磁気ディスクの表面からの散乱光の像を結像させるようにした。
また、上記した課題を解決するために、本発明では、検査対象である磁気ディスクをスピンドル軸に載置してこのスピンドル軸を回転させながらスピンドル軸を載置した磁気ディスクの半径方向に移動させ、回転しているスピンドル軸に載置された磁気ディスクの表面にレーザを照射し、このレーザが照射された磁気ディスクの表面からの反射光のうち正反射光を正反射光検出光学系で検出し、レーザが照射された磁気ディスクの表面からの反射光のうち散乱光を散乱光検出光学系で検出し、正反射光を検出した正反射光検出光学系からの出力と散乱光を検出した散乱光検出光学系からの出力とを処理して磁気ディスク上の欠陥を検出する磁気ディスクの検査方法において、散乱光検出光学系で散乱光を検出することを、複数のレンズを有するレンズ系とアレイ状に配置した複数の光電変換素子を有する光電変換器とを用い、レンズ系で、光電変換器のアレイ状に配置した複数の光電変換素子上に、この光電変換素子のアレイ状に配置した方向と直角な方向の幅よりも細く成形した一方向に長い磁気ディスクの表面からの散乱光の像を結像させることにより検出するようにした。
本発明によれば、磁気ディスク検査装置及び磁気ディスク検査方法において、焦点深度が浅くならないようにして水平分解能を上げることができるようになった。
図1は、磁気ディスク検査装置100の詳細な構成を説明する図である。磁気ディスク検査装置100は大きくは、テーブル部110、照明光学系120、散乱光検出光学系130、正反射光検出光学系140、信号処理・制御系150を備えて構成されている。
テーブル部110は、試料1(磁気ディスク)を載置して回転可能なスピンドル軸111、スピンドル軸111に載置した試料1をチャックするチャック112、スピンドル軸111を回転駆動するスピンドルモータ113、スピンドル軸111とスピンドルモータ113を搭載してスピンドル軸111の回転軸に直角な方向に移動可能な移動ステージ115を備えて構成される。
照明光学系120はレーザ光源121、レーザ光源121から発射されたレーザのビーム径を拡大する拡大レンズ122、ビーム径が拡大されたレーザを集光する集光レンズ123、集光されたレーザを試料1の表面41に集束させる集束レンズ124を備える。
散乱光検出系130は、試料1の表面41からの反射光(正反射光と散乱光)のうち散乱光を集光する対物レンズに相当する第1の非球面フレネルレンズ131、集光された散乱光を図2A及び図2Bに示すシリンドリカルレンズ133で一方向に集束させた光を結像させる結像レンズに相当する第2の非球面フレネルレンズ132、第2の非球面フレネルレンズ132を透過して線状に細く絞られた散乱光を通過させるスリット134を有して散乱光以外の迷光を遮光するスリット板135、スリット板135のスリット134を通過した散乱光により第2の非球面フレネルレンズ132で形成された光学像を高感度に検出する複数の受光素子(センサアレイ)を備えた第1の光電変換器136(例えば、アバランシェ・フォトダイオード(APD)又は光電子増倍管(PMT)など)を備える。
正反射光検出系140は、試料1からの反射光(正反射光と散乱光)のうち正反射光を反射して光路を切替えるミラー141、光路を切替えられた正反射光を集光させる集光レンズ142、集光レンズ142で集光された正反射光をスリット板144のスリット145を通過させて正反射光以外の迷光を遮光した状態で第2の光電変換器146(APD)上に結像させる結像レンズ143を備えている。ミラー141は、正反射光以外の光(散乱光)を反射しないように、十分に小さい形状に形成されている。第2の光電変換器146は、複数の検出素子(例えば複数の画素を有するフォトダイオードアレイまたはアバランシェ・フォトダイオード(APD)アレイ)を備えている。
信号処理系150は、散乱光検出光学系130からの検出信号をA/D変換する第1のA/D変換部151、正反射光検出光学系140からの検出信号をA/D変換する第2のA/D変換部152、第1のA/D変換部151からの出力と第2のA/D変換部152からの出力を受けて信号処理する信号処理部153と、信号処理部153で処理された第1のA/D変換部151からの出力と第2のA/D変換部152からの出力を統合して処理する統合信号処理部155、統合信号処理部155で処理された結果を記憶する記憶部156と、統合信号処理部155で処理された結果を出力するとともに検査条件を入力する表示画面158を備えた入出力部157、光学式検査装置120全体を制御する光学式検査装置制御部159、光学式検査装置制御部159の制御信号を受けて光学検査ポジションにおけるテーブル部110を制御するテーブル制御部160、光学式検査装置制御部159の制御信号を受けて照明光学系120を制御する検査光学系制御部161とを備えている。
次に、上記した構成において磁気ディスクを検査する場合の各部の動作を説明する。
チャック112によりスピンドル軸111に保持された試料1を、スピンドルモータ113で駆動して回転させながら移動ステージ115でスピンドル軸111を一定の速度でスピンドル軸111に直角な方向(回転している試料1の半径方向)に移動させながら、検査光学系制御部161で制御されている照明光学系120のレーザ光源121を作動させてレーザを発射させる。
チャック112によりスピンドル軸111に保持された試料1を、スピンドルモータ113で駆動して回転させながら移動ステージ115でスピンドル軸111を一定の速度でスピンドル軸111に直角な方向(回転している試料1の半径方向)に移動させながら、検査光学系制御部161で制御されている照明光学系120のレーザ光源121を作動させてレーザを発射させる。
レーザが照射された試料1の表面41からは、表面の欠陥や傷、面の微小な凹凸(荒れ)などの状態に応じた反射光(散乱光と正反射光)が発生する。このとき、散乱光は試料1の表面の欠陥の大きさに応じて分布する。すなわち、大きな欠陥や傷からの散乱光は比較的強い強度で指向性を持って分布し、微小な欠陥や傷からの散乱光は比較的弱い強度で等方的に分布する。
レーザが照射された試料1の表面41からの反射光のうち正反射光は、試料1の表面41に入射するレーザの入射角度と同じ出射角度側(正反射光の光路上)に配置された正反射光検出光学系140のミラー141で反射されて集光レンズ142の方向に進む。集光レンズ142に入射した試料1からの正反射光は集光レンズ142を透過して集光され、結像レンズ143により集光位置に設置されたピンホール板144のピンホール145を通過して第2の光電変換器146の受光面上に試料1の表面41の像を結像する。ミラー141は、正反射光以外の光(散乱光)を集光レンズ142の方向に反射しないように、十分に小さい形状に形成されている。
一方、レーザが照射された試料1の表面41からの欠陥や傷、面の微小な凹凸等により生じた反射光(散乱光と正反射光)でミラー141により反射されなかった光(散乱光)のうち散乱光検出光学系130の対物レンズの役目をする第1の非球面フレネルレンズ131に入射した光は集光され、集束レンズの役目をする第2の非球面フレネルレンズ132に入射して第1の光電変換器136の検出面(図示せず)上に結像され、高感度な第1の光電変換器136で検出される。
第1の非球面フレネルレンズ131及び第2の非球面フレネルレンズ132は従来の光学レンズに比べて薄く軽量であるために、それらを収納する鏡筒(図示せず)を従来の光学レンズの鏡筒に比べて比較的コンパクトに作ることが可能になり、試料上面における設置位置の自由度が増して開口数(NA)を0.6以上(従来の光学レンズを用いた場合のNAは0.4以下)で設計することが可能になる。その結果、前述したように微小な欠陥からの散乱光は基板の上方にほぼ等方的に分布するために、検出感度が同じであれば検出信号のレベルは検出面の面積に比例するので、従来の光学レンズ系で構成した検出光学系で検出する場合に比べて大きい検出信号を得ることができる。したがって、従来と比べてより小さい欠陥からの散乱光を検出できることになる。
A/D変換部151と152とは、それぞれ第1の光電変換器136または第2の光電変換器146から出力されたアナログ信号をデジタル信号に変換し、増幅して出力する。
A/D変換部151と152から出力されたデジタル信号は信号処理部153に入力し、信号処理部153においては、デジタルに変換された第1の光電変換器136からの出力信号と第2の光電変換器146からの出力信号とをそれぞれ処理して試料1の表面41に存在する欠陥を検出する。この検出した欠陥情報は、テーブル部110を制御するテーブル制御部160から得られる試料1上のレーザ照射位置情報を用いて、検出した欠陥の基板1上の位置が特定される。この基板1上の位置が特定された欠陥情報は統合処理部155に送られて統合処理が行われ、第1の光電変換器136と第2の光電変換器146とからの検出信号の特徴にもとづいて検出した欠陥の種類を特定する。その結果は入出力部157の表示画面158に表示される。
本実施例においては、散乱光検出光学系130に非球面フレネルレンズ131と非球面フレネルレンズ132とを用いた構成について説明したが、これらのレンズの代わりに、非球面レンズまたは通常の球面レンズを組合せたもので構成しても良い。
次に、本実施例における散乱光検検出光学系130について説明する。図2Aは、本実施例における散乱光検出光学系130の正面図、図2Bは、その平面図である。散乱光検出光学系130は、試料1(磁気ディスク)に照射されたレーザ光が試料1に当たって欠陥や傷、面の微小な凹凸等により生じた反射光(散乱光と正反射光)でミラー141で反射されなかった光(散乱光)を受光するレンズ系1300と、レンズ系1300に入射されて光学的に調整された散乱光をピンホール板135を介して受光して電気信号に変換する光電変換器136を備えて構成される。
散乱光検出系130のレンズ系1300は、試料1の表面41からの反射光(正反射光と散乱光)のうちミラー141で正反射光が反射された残りの散乱光を集光する対物レンズに相当する第1の非球面フレネルレンズ131、この第1の非球面フレネルレンズ131で集光されて平行光となった試料1からの散乱光を一方向に集束させてそれと直角な方向にはそのまま平行光として出射するシリンドリカルレンズ133(図1に示した全体の構成図においては表示を省略している)、このシリンドリカルレンズ133で一方向に集束された試料1からの散乱光を結像させる結像レンズに相当する第2の非球面フレネルレンズ132を備えて構成されている。本実施例においては、シリンドリカルレンズ113は、回転している試料1からの散乱光を、試料1の回転と直角な方向(試料1の半径方向)にはそのまま平行光として出斜し、回転方向(試料1の接線方向)には集束させるように出射する。
レンズ系1300の第2の非球面フレネルレンズ132を透過した散乱光はピンホール板135に形成されたピンホール134を通過して、第2の非球面フレネルレンズ132で形成された光学像が第1の光電変換器136(例えば、アバランシェ・フォトダイオード(APD)又は光電子増倍管(PMT)など)で検出される。このとき、散乱光以外の迷光はピンホール板135のピンホール134で遮光されるため、第1の光電変換器136では検出されない。
シリンドリカルレンズ133は、第1の非球面フレネルレンズ131で集光した試料1の表面41からの散乱光の一部しか集光しない点において、レンズ系1300にシリンドリカルレンズ133を採用しない場合と比べて第2の非球面フレネルレンズ132から出射する光量が減少してしまうが、シリンドリカルレンズ133の長径側Lと短径側Wとで異なる倍率に設定することができる。
センサ136は、シリンドリカルレンズ133を透過して第2の非球面フレネルレンズ132から出射し、スリット板135を通過した光を受光面310で受光して、受光量に応じて光に基づいて電気信号に変換する。
レンズ系1300から出射された光は、光軸に直角な断面における形状が楕円形の光となる。すなわち、図3Aに示すように、光長軸方向Liに約100〜150倍、短軸方向Wiに約15〜20倍に拡大された試料1の投影領域301における試料1からの散乱光の像(例えば302)がセンサ136の受光面310上に投影される。センサ136の受光面310上の試料1の投影領域301は、図3Aに示すように、センサ136の縦方向(受光面310の各素子311〜314の並びの方向)にはセンサ136の受光面310の長さLsよりも長い長さLiとなるが、センサ136の横方向(受光面310の各素子311〜314の幅方向)にはセンサ136の幅Wsよりも狭い幅Wiとなる。
センサ136の水平分解能は、センサ136を構成する個々の素子311〜314により決まるので、幅Wsの素子311〜314が、幅Wsよりも狭い幅Wiの投影領域301内の散乱光を受光することができれば、幅Wiの投影領域301が幅Wsの素子311〜314の範囲内で位置が変動しても水平分解能が低下することはない。すなわち、ディスクの面ぶれや機構部の伸縮などが発生して、センサ136が受光する試料1上の欠陥から発生した散乱光の像302の位置が変動したとしても、その変動の範囲が幅Wsの素子311〜314の範囲内であるならば、水平分解能に影響を与えることはない。
本実施例においては、センサ136の受光面310上に投影される試料1の投影領域301の長径Liの倍率に比べて短径Wiの倍率が低いので、長径Li方向への位置ずれに対して短径Wi方向への位置ずれの感度が低くなる。その結果、レンズ系1300にシリンドリカルレンズ133を用いない場合と比べて、試料1の投影領域301が受光面310から短径Wi方向に外れてしまってセンサ136が試料1の投影領域301内の欠陥で発生した散乱光の像を受光できなくなる、という現象の発生を抑えることができる。
図3Bはこのことを示している。即ち、図3Bにおいて、波形351は散乱光の像が図3Aの302の位置にある場合の素子311上の散乱光強度分布波形を示し、波形361は散乱光の像が図3Aの3021の位置にずれた場合の散乱光強度分布波形を示している。このとき、波形351の中心352に対して波形361の中心362は素子311上でδだけずれる。しかし、図3Bの場合には、波形361の中心位置362が波形351に対してδずれても素子311の幅Wsの範囲内であるので、素子311からの出力信号のレベルに変動はない。
ここで、センサ136の幅方向(投影領域301の短径方向)の倍率が長さ方向(投影領域301の長径方向)の倍率と比べて低いので、投影領域301内の欠陥からの散乱光の像のセンサ136の幅方向の位置の変動に対する感度はセンサ136の長さ方向の位置の変動に対する感度と比べて低くなっている。これにより、ディスクの面ぶれや機構部の伸縮などが発生して、受光面310上で試料1の投影領域301が変動して欠陥の散乱光像302の結像位置が変動したとしても、その変動の範囲が受光面310の幅Wsの範囲内であるならば、水平分解能に影響を与えることなく、欠陥を検出することができる。
ここで、センサ136の受光面310を構成する各素子311〜314の間には、隣接する素子間を電気的に絶縁して分離するために、絶縁体による不感帯321〜323が形成されている。
本実施例の比較例として図4に示すように、もし、センサ136Aの受光面310Aを構成する各素子311A〜314Aを正方形又は長方形の形状に形成し、その間に不感帯321A〜323Aを形成した場合、試料1上の欠陥が小さくて、受光面310A上に投影される欠陥による散乱光の像303が不感帯321A〜323Aの幅と同じかそれよりも小さい場合、試料1の表面41の像は不感帯321A〜323Aの長手方向に沿って移動しているので、受光面310A上で欠陥による散乱光の像が不感帯321A〜323Aの何れかとほぼ完全に重なってしまった時には、散乱光の像は素子311〜314の何れでも検出されなくなってしまう。
このようなケースの発生を防止するために、本実施例におけるセンサ136の受光面310を構成する各素子311〜314は、図3Aに示すように平行四辺形の形状に形成し、絶縁体による不感帯321〜323を図3Aに示すように斜めに形成する。このように、不感帯321〜323を斜めに形成することにより、図3Cに示すように、受光面310上で欠陥による散乱光の像303が不感帯321〜323の何れか(図3Cの場合は、321)とほぼ完全に重なってしまう大きさであったとしても、受光面310上の投影領域301を散乱光の像303が矢印のように左側から右側の横切る場合に、不感帯321〜323の何れか(図3Cの場合は、321)を横切って、散乱光の像は素子311〜314の何れか(図3Cの場合は、素子312と素子311)で検出される。これにより、不感帯321〜323の幅とほぼ同じかそれよりも小さい欠陥からのサンサン光の像であっても確実に検出することが可能になる。
100・・・磁気ディスク検査装置 110・・・テーブル部 120・・・照明光学系 130・・・散乱光検出光学系 131・・・第1の非球面フレネルレンズ 132・・・第2の非球面フレネルレンズ 133・・・シリンドリカルレンズ 136・・・第1の光電変換器 310・・・受光面 1300・・・レンズ系。
Claims (10)
- 検査対象である磁気ディスクを載置して回転可能なスピンドル軸と該スピンドル軸を前記載置した磁気ディスクの半径方向に移動可能なステージとを有するテーブル部と、
前記スピンドル軸に載置された磁気ディスクの表面にレーザを照射する照明系と、
該照明系によりレーザが照射された前記磁気ディスクの表面からの反射光のうち正反射光を検出する正反射光検出光学系と、
複数のレンズを有するレンズ系とアレイ状に配置した複数の光電変換素子を有する光電変換器とを備え、前記レンズ系で、前記光電変換器のアレイ状に配置した複数の光電変換素子上に、該光電変換素子の前記アレイ状に配置した方向と直角な方向の幅よりも細く成形した一方向に長い前記磁気ディスクの表面からの散乱光の像を結像させて、前記照明系によりレーザが照射された前記磁気ディスクの表面からの反射光のうち散乱光を検出する散乱光検出光学系と、
前記正反射光を検出した正反射光検出光学系からの出力と前記散乱光を検出した散乱光検出光学系からの出力とを処理して前記磁気ディスク上の欠陥を検出する信号処理部と
を有することを特徴とする磁気ディスク検査装置。 - 請求項1記載の磁気ディスク検査装置であって、前記レンズ系は、一方を前記光電変換素子の前記アレイ状に配置した方向と直角な方向の幅よりも細く成形し、他方を前記光電変換素子の前記アレイ状に配置した長さよりも長く形成した前記磁気ディスクの表面からの散乱光の一方向に長い像を結像させることを特徴とする磁気ディスク検査装置。
- 請求項1又は2に記載の磁気ディスク検査装置であって、前記レンズ系は対物レンズとシリンドリカルレンズと結像レンズとを有し、前記対物レンズで磁気ディスクの表面からの散乱光を集光し、前記シリンドリカルレンズで前記集光した散乱光を一方向に長い光束に成形し、前記結像レンズで前記一方向に長く形成した光束による前記磁気ディスクの表面からの散乱光の像を前記光電変換器のアレイ状に配置した複数の光電変換素子上に結像させることを特徴とする磁気ディスク検査装置。
- 請求項3記載の磁気ディスク検査装置であって、前記レンズ系の対物レンズと結像レンズとは、フレネルレンズで形成されていることを特徴とする磁気ディスク検査装置。
- 請求項1乃至3の何れかに記載の磁気ディスク検査装置であって、前記光電変換器のアレイ状に配置した複数の光電変換素子はそれぞれ平行四辺形の形状を有し、前記複数の光電変換素子の隣接する光電変換素子間は、絶縁部材で仕切られていることを特徴とする磁気ディスク検査装置。
- 検査対象である磁気ディスクをスピンドル軸に載置して該スピンドル軸を回転させながら該スピンドル軸を前記載置した磁気ディスクの半径方向に移動させ、
前記回転しているスピンドル軸に載置された磁気ディスクの表面にレーザを照射し、
該レーザが照射された前記磁気ディスクの表面からの反射光のうち正反射光を正反射光検出光学系で検出し、
複数のレンズを有するレンズ系とアレイ状に配置した複数の光電変換素子を有する光電変換器とを用い、前記レンズ系で、前記光電変換器のアレイ状に配置した複数の光電変換素子上に、該光電変換素子の前記アレイ状に配置した方向と直角な方向の幅よりも細く成形した一方向に長い前記磁気ディスクの表面からの散乱光の像を結像させることにより検出するにより、前記レーザが照射された前記磁気ディスクの表面からの反射光のうち散乱光を散乱光検出光学系で検出し、
前記正反射光を検出した正反射光検出光学系からの出力と前記散乱光を検出した散乱光検出光学系からの出力とを処理して前記磁気ディスク上の欠陥を検出する
ことを特徴とする磁気ディスク検査方法。 - 請求項6記載の磁気ディスク検査方法であって、前記レンズ系は、一方を前記光電変換素子の前記アレイ状に配置した方向と直角な方向の幅よりも細く成形し、他方を前記光電変換素子の前記アレイ状に配置した長さよりも長く形成した前記磁気ディスクの表面からの散乱光の一方向に長い像を前記光電変換器のアレイ状に配置した複数の光電変換素子上に結像させることを特徴とする磁気ディスク検査方法。
- 請求項6又は7に記載の磁気ディスク検査方法であって、前記レンズ系は対物レンズとシリンドリカルレンズと結像レンズとを有し、前記対物レンズで磁気ディスクの表面からの散乱光を集光し、前記シリンドリカルレンズで前記集光した散乱光を一方向に長い光束に成形し、前記結像レンズで前記一方向に長く形成した光束による前記磁気ディスクの表面からの散乱光の像を前記光電変換器のアレイ状に配置した複数の光電変換素子上に結像させることを特徴とする磁気ディスク検査方法。
- 請求項8記載の磁気ディスク検査方法であって、前記レンズ系の前記対物レンズで磁気ディスクの表面からの散乱光を集光することと、前記一方向に長く形成した光束による前記磁気ディスクの表面からの散乱光の像を前記光電変換器のアレイ状に配置した複数の光電変換素子上に結像させることを、フレネルレンズを用いて行うことを特徴とする磁気ディスク検査方法。
- 請求項6乃至8の何れかに記載の磁気ディスク検査方法であって、前記磁気ディスクの表面からの散乱光の像を、平行四辺形の形状を有してアレイ状に配置された複数の光電変換素子を備えて前記複数の光電変換素子の隣接する光電変換素子間は絶縁部材で仕切られている光電変換器を用いて検出することを特徴とする磁気ディスク検査装置。
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