JP2015066515A - ギ酸分解用装置、半田付け装置、ギ酸の分解方法 - Google Patents
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Abstract
Description
HCOOH → H2O + CO
HCOOH → H2 + CO2
本発明の他の目的は、上記ギ酸分解用装置に充填した触媒の活性度を判定する触媒活性診断方法を提供することである。
(1)ギ酸を水および二酸化炭素に分解するギ酸分解用装置であって、ギ酸分解用触媒を充填したギ酸分解部と、ギ酸分解部にギ酸を含むガスを導入するガス導入管と、ギ酸分解部に酸素あるいは酸素を含むガスを導入するガス導入機構と、を備えることを特徴とするギ酸分解用装置。
(2)前記ギ酸分解部が、触媒加熱用ヒーターを備えている前記(1)記載のギ酸分解用装置。
(3)前記ギ酸分解部が、少なくとも上流部1箇所に、触媒温度測定用の熱電対を備えている前記(1)または(2)記載のギ酸分解用装置。
(4)前記ギ酸分解部が、上流部と下流部の少なくとも2箇所に、触媒温度測定用の熱電対を備えている前記(1)または(2)記載のギ酸分解用装置。
(5)前記ギ酸が、表面酸化膜をギ酸で還元処理した半田付け装置から排出される排気ガスに含まれるギ酸である前記(1)〜(4)いずれか記載のギ酸分解用装置。
(6)前記ギ酸を含むガスが、ギ酸、二酸化炭素、水を含有する不活性ガスである前記(5)記載のギ酸分解用装置。
(7)前記酸素を含むガスが、空気である前記(1)〜(6)いずれか記載のギ酸分解用装置。
(8)前記半田付け装置に接続して使用される請求項1〜7いずれか記載のギ酸分解用装置。
(9)前記(1)〜(8)いずれか記載のギ酸分解用装置を備える半田付け装置。
(10)ギ酸を含むガスと、酸素あるいは酸素を含むガスとを、ギ酸分解用触媒の存在下で反応させ、ギ酸を水および二酸化炭素に分解することを特徴とするギ酸の分解方法。
(11)前記ギ酸を含むガスと、酸素あるいは酸素を含むガスとを、ギ酸と酸素のモル比(酸素/ギ酸)が1.5以上となるよう混合し、混合ガスを、ギ酸分解用触媒を充填した触媒層を通過させることにより反応させる前記(10)記載のギ酸の分解方法。
(12)前記反応温度が、20〜200℃の範囲である前記(10)または(11)記載のギ酸の分解方法。
(13)前記(1)〜(8)いずれか記載のギ酸分解用装置を用いる分解方法である前記(10)〜(12)いずれか記載のギ酸の分解方法。
(14)ギ酸分解用触媒を充填したギ酸分解部と、ギ酸分解部にギ酸を含むガスを導入するガス導入管と、ギ酸分解部に酸素あるいは酸素を含むガスを導入するガス導入機構と、を備えたギ酸分解用装置における触媒活性診断方法であって、
ギ酸を含むガスと酸素あるいは酸素を含むガスとをギ酸分解部に導入し、ギ酸の分解反応時の発熱による触媒温度の変化を、ギ酸分解部の少なくとも上流部1箇所に設けた熱電対により測定し、上昇した触媒温度の変化量の大きさから触媒の活性度を判定することを特徴とする触媒活性診断方法。
(15)ギ酸分解用触媒を充填したギ酸分解部と、ギ酸分解部にギ酸を含むガスを導入するガス導入管と、ギ酸分解部に酸素あるいは酸素を含むガスを導入するガス導入機構と、を備えたギ酸分解用装置における触媒活性診断方法であって、
ギ酸を含むガスと酸素あるいは酸素を含むガスとをギ酸分解部に導入し、ギ酸の分解反応時の発熱による触媒温度の変化を、ギ酸分解部の上流部と下流部の少なくとも2箇所に設けた熱電対により測定し、上昇した触媒温度の変化量の大きさから触媒の活性度を判定することを特徴とする触媒活性診断方法。
(16)前記触媒温度の変化量が設定値以上のときには、触媒活性が保持されていると判定し、前記触媒温度の変化量が設定値より小さいときには、触媒活性が低下していると判定する前記(14)または(15)記載の触媒活性診断方法。
本発明の触媒活性診断方法は、リアルタイムで触媒の活性度を判定することができるので、未分解のギ酸が大気中に放出されるのを防止できる。2箇所以上に熱電対を設置することで、上流部と下流部の触媒の活性度の違いを判定し、触媒の寿命を予測することができる。さらに、触媒の交換時期を予測できるので、半田付け処理にともなう製品の生産効率を高めることができる。
図1は、本発明のギ酸分解用装置の一例を示す構成図であり、該ギ酸分解用装置を半田付け装置に適用した例を示す図である。図1において、1はギ酸分解用装置、2はギ酸分解用触媒を充填したギ酸分解部、3はギ酸分解部にギ酸を含むガスを導入するガス導入管、4はギ酸分解部にギ酸分解用の酸素あるいは酸素を含むガスを導入するガス導入機構、5はギ酸を含むガスの導入口、6はギ酸分解物の排出口である。ガス導入管3は、流量計8、流量調整弁を有していることが好ましい。
HCOOH + 1/2O2 → H2O + CO2
図1に示す装置で、チャンバー10の容量が20L、ギ酸分解部2に1Lの触媒を充填した装置を用いて試験を行った。なお、ギ酸分解部2には、図3に示すように、触媒層の上流、中間、下流の3箇所に熱電対T1、T2、T3を設置した。触媒としては、粒状のアルミナにPtを1.8g/L担持したPt/アルミナ触媒を用いた。触媒活性を判定するために、活性を低下させた触媒も一部併用して試験を行った。
図4に示すように、熱電対T1、T2およびT3で測定した触媒温度の状況より触媒活性の判定を行う。図4は、触媒温度の変化を示す概念図であり、ギ酸分解部2に導入されたギ酸は、触媒層の上流部で大部分が分解され、上流部の熱電対T1で測定した触媒温度はギ酸ガスの導入とともに大きく上昇し、ギ酸ガスの通過が終了すると分解用エアーで冷却されることになる。触媒層の上流部で大部分のギ酸が分解されるため、触媒層の中間部に到達するギ酸の量は上流部に比べて少ないため、熱電対T2で測定される触媒温度の上昇の程度は小さい。そして、触媒層の下流部にはギ酸はほとんど到達しないため、熱電対3で測定される触媒の温度はほとんど変化しないことがわかる。そして、触媒の温度変化量(図4におけるΔT)が、予め設定した値を下回った場合には、触媒活性が低下したと判定する。
触媒として、粒状アルミナにPtを1.8g/L担持したPt/アルミナ触媒を使用した。新しく調製した触媒1Lをギ酸分解部2に充填して触媒層を調製し、前記試験法にしたがって試験を行った(試験(a)とする)。
2 ギ酸分解部
3 ガス導入管
4 ガス導入機構
5 ガス導入口
6 排気口
7 触媒層
8 流量計
10 チャンバー
11 真空ポンプ
20、21 バルブ
22 流量計
(1)表面酸化膜をギ酸で還元処理した半田付け装置から排出される排気ガスに含まれるギ酸を、水と二酸化炭素に分解するギ酸分解用装置であって、
担体(炭素材を除く)に白金族金属を担持した触媒を充填したギ酸分解部と、
前記ギ酸分解部に前記半田付け装置からギ酸を含む排気ガスを導入するガス導入管と、
前記ギ酸分解部に酸素あるいは酸素を含むガスを導入するガス導入機構と、を備え、
前記半田付け装置に接続して使用されることを特徴とするギ酸分解用装置。
(2)前記ギ酸分解部が、触媒加熱用ヒーターを備えている前記(1)記載のギ酸分解用装置。
(3)前記ギ酸分解部が、少なくとも上流部1箇所に、触媒温度測定用の熱電対を備えている前記(1)または(2)記載のギ酸分解用装置。
(4)前記ギ酸分解部が、上流部と下流部の少なくとも2箇所に、触媒温度測定用の熱電対を備えている前記(1)または(2)記載のギ酸分解用装置。
(5)前記ギ酸を含む排気ガスが、ギ酸、二酸化炭素、水を含有する不活性ガスである前記(1)〜(4)いずれか記載のギ酸分解用装置。
(6)前記酸素を含むガスが、空気である前記(1)〜(5)いずれか記載のギ酸分解用装置。
(7)前記(1)〜(6)いずれか記載のギ酸分解用装置を備える半田付け装置。
(8)表面酸化膜をギ酸で還元処理した半田付け装置から排出されるギ酸を含む排気ガスと、酸素あるいは酸素を含むガスとを、ギ酸と酸素のモル比(酸素/ギ酸)が1. 5以上となるよう混合し、当該混合ガスを、担体(炭素材を除く)に白金族金属を担持した触媒の存在下で反応させ、ギ酸を水および二酸化炭素に分解することを特徴とするギ酸の分解方法。
(9)前記混合ガスを、担体(炭素材を除く)に白金族金属を担持した触媒を充填した触媒層を通過させることにより反応させる前記(8)記載のギ酸の分解方法。
(10)前記反応温度が、20〜200℃の範囲である前記(8)または(9)記載のギ酸の分解方法。
(11)前記ギ酸を含む排気ガスが、ギ酸、二酸化炭素、水を含有する不活性ガスである前記(8)〜(10)いずれか記載のギ酸の分解方法。
(12)前記(1)〜(6)いずれか記載のギ酸分解用装置を用いる分解方法である前記(8)〜(11)いずれか記載のギ酸の分解方法。
Claims (16)
- ギ酸を水および二酸化炭素に分解するギ酸分解用装置であって、
ギ酸分解用触媒を充填したギ酸分解部と、
ギ酸分解部にギ酸を含むガスを導入するガス導入管と、
ギ酸分解部に酸素あるいは酸素を含むガスを導入するガス導入機構と、を備えることを特徴とするギ酸分解用装置。 - 前記ギ酸分解部が、触媒加熱用ヒーターを備えている請求項1記載のギ酸分解用装置。
- 前記ギ酸分解部が、少なくとも上流部1箇所に、触媒温度測定用の熱電対を備えている請求項1または2記載のギ酸分解用装置。
- 前記ギ酸分解部が、上流部と下流部の少なくとも2箇所に、触媒温度測定用の熱電対を備えている請求項1または2記載のギ酸分解用装置。
- 前記ギ酸が、表面酸化膜をギ酸で還元処理した半田付け装置から排出される排気ガスに含まれるギ酸である請求項1〜4いずれか記載のギ酸分解用装置。
- 前記ギ酸を含むガスが、ギ酸、二酸化炭素、水を含有する不活性ガスである請求項5記載のギ酸分解用装置。
- 前記酸素を含むガスが、空気である請求項1〜6いずれか記載のギ酸分解用装置。
- 前記半田付け装置に接続して使用される請求項1〜7いずれか記載のギ酸分解用装置。
- 請求項1〜8いずれか記載のギ酸分解用装置を備える半田付け装置。
- ギ酸を含むガスと、酸素あるいは酸素を含むガスとを、ギ酸分解用触媒の存在下で反応させ、ギ酸を水および二酸化炭素に分解することを特徴とするギ酸の分解方法。
- 前記ギ酸を含むガスと、酸素あるいは酸素を含むガスとを、ギ酸と酸素のモル比(酸素/ギ酸)が1.5以上となるよう混合し、混合ガスを、ギ酸分解用触媒を充填した触媒層を通過させることにより反応させる請求項10記載のギ酸の分解方法。
- 前記反応温度が、20〜200℃の範囲である請求項10または11記載のギ酸の分解方法。
- 請求項1〜8いずれか記載のギ酸分解用装置を用いる分解方法である請求項10〜12いずれか記載のギ酸の分解方法。
- ギ酸分解用触媒を充填したギ酸分解部と、ギ酸分解部にギ酸を含むガスを導入するガス導入管と、ギ酸分解部に酸素あるいは酸素を含むガスを導入するガス導入機構と、を備えたギ酸分解用装置における触媒活性診断方法であって、
ギ酸を含むガスと酸素あるいは酸素を含むガスとをギ酸分解部に導入し、ギ酸の分解反応時の発熱による触媒温度の変化を、ギ酸分解部の少なくとも上流部1箇所に設けた熱電対により測定し、上昇した触媒温度の変化量の大きさから触媒の活性度を判定することを特徴とする触媒活性診断方法。 - ギ酸分解用触媒を充填したギ酸分解部と、ギ酸分解部にギ酸を含むガスを導入するガス導入管と、ギ酸分解部に酸素あるいは酸素を含むガスを導入するガス導入機構と、を備えたギ酸分解用装置における触媒活性診断方法であって、
ギ酸を含むガスと酸素あるいは酸素を含むガスとをギ酸分解部に導入し、ギ酸の分解反応時の発熱による触媒温度の変化を、ギ酸分解部の上流部と下流部の少なくとも2箇所に設けた熱電対により測定し、上昇した触媒温度の変化量の大きさから触媒の活性度を判定することを特徴とする触媒活性診断方法。 - 前記触媒温度の変化量が設定値以上のときには、触媒活性が保持されていると判定し、前記触媒温度の変化量が設定値より小さいときには、触媒活性が低下していると判定する請求項14または15記載の触媒活性診断方法。
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