JP2015055582A - Circuit board inspection device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To inspect insulation between conductor patterns and inspect electronic components and also avoid the degradation of the electronic components while avoiding the complication of a configuration and the degradation of an inspection signal.SOLUTION: A circuit board inspection device comprises: a scanner 3 for separating all of probe pins 21 from a first inspection unit 4 and connecting a discretionary probe pin 21 to the first inspection unit 4; a second inspection unit 5 directly connected via wiring to the probe pins 21 which are in contact with a conductor pattern P configuring one conductor pattern group GP and connected to an electronic component; a power supply unit 8 for supplying voltage V1 to the first inspection unit 4 etc.; a floating power supply unit 9 for supplying, to the second inspection unit 5, voltage V2 which is electrically insulated from the voltage V1; and a control unit 6 for controlling the second inspection unit 5 at a time when the on/off state of a selector switch configuring the scanner 3 is switched and causing a DC rated voltage of a predefined value to be supplied from the second inspection unit 5 to all of the probe pins 21 connected via wiring with the second inspection unit 5.

Description

本発明は、導体パターンが形成されると共に導体パターンに接続された電子部品が内蔵された回路基板に対して所定の電気的検査を実行する回路基板検査装置に関するものである。   The present invention relates to a circuit board inspection apparatus that performs a predetermined electrical inspection on a circuit board in which a conductor pattern is formed and an electronic component connected to the conductor pattern is incorporated.

この種の回路基板検査装置として、本願出願人は下記特許文献1に開示された回路基板検査装置を既に提案している。この回路基板検査装置では、制御部が、導体パターンデータおよび電子部品接続データに基づいて電子部品を介して連鎖的に接続されている全ての導体パターンを1つの導体パターン群として特定すると共に、導体パターン群が複数存在するときに1つの導体パターン群におけるいずれかの導体パターンと他の1つの導体パターン群におけるいずれかの導体パターンとの間に検査用信号を供給させる第1処理を実行し、検査部が、第1処理の実行時において、検査用信号の供給に伴って1つの導体パターン群の導体パターンと他の1つの導体パターン群の導体パターンとの間に生じる物理量に基づいて各導体パターン群の間の絶縁状態を検査する。   As this type of circuit board inspection apparatus, the present applicant has already proposed the circuit board inspection apparatus disclosed in Patent Document 1 below. In this circuit board inspection apparatus, the control unit specifies all conductor patterns connected in a chain via electronic components based on the conductor pattern data and the electronic component connection data as one conductor pattern group, and the conductor Performing a first process of supplying an inspection signal between any conductor pattern in one conductor pattern group and any conductor pattern in another conductor pattern group when there are a plurality of pattern groups; Each of the conductors based on a physical quantity generated between the conductor pattern of one conductor pattern group and the conductor pattern of another conductor pattern group in accordance with the supply of the inspection signal when the inspection unit executes the first process. Inspect the insulation between patterns.

したがって、この回路基板検査装置によれば、1つの導体パターン群に含まれている導体パターンおよび電子部品は基本的には同電位に維持されるため、回路基板に実装されている電子部品を損傷させることなく絶縁されているべき導体パターンの間の絶縁状態を確実に検査することが可能になっている。また、この回路基板検査装置では、回路基板に実装されている電子部品の例えば抵抗値を算出し、この算出した抵抗値に基づいて電子部品の良否検査(部品検査)を実施することも可能となっている。   Therefore, according to this circuit board inspection apparatus, the conductor pattern and the electronic component included in one conductor pattern group are basically maintained at the same potential, so that the electronic component mounted on the circuit board is damaged. Thus, it is possible to surely inspect the insulation state between the conductor patterns that should be insulated without causing them. Further, in this circuit board inspection apparatus, it is possible to calculate, for example, a resistance value of an electronic component mounted on the circuit board, and to perform a quality inspection (component inspection) of the electronic component based on the calculated resistance value. It has become.

また、外部の測定器から別の動作波形などを回路基板の電子部品(IC(集積回路))に与えて、例えば、簡易的なファンクションテストを実施可能にするための構成として、下記特許文献2に従来の技術として開示されている構成、すなわち、外部入出力端子と、各アームに取り付けられているプローブピンをスキャナボード側若しくは外部入出力端子側のいずれかに切り替えるスイッチとを備える構成も知られている。   Further, as a configuration for providing another operation waveform or the like from an external measuring instrument to an electronic component (IC (integrated circuit)) on a circuit board to enable, for example, a simple function test, the following Patent Document 2 is disclosed. Also known is a configuration disclosed in the prior art, that is, a configuration including an external input / output terminal and a switch for switching a probe pin attached to each arm to either the scanner board side or the external input / output terminal side. It has been.

ところが、上記した従来の回路基板検査装置には、以下のような改善すべき課題が存在している。すなわち、この回路基板検査装置を用いて、導体パターンの間の絶縁状態の検査と共に、上記のファンクションテストのような電子部品についての部品検査を実施するためには、上記の特許文献2に開示されているようなスイッチを設けて、絶縁状態の検査を行う際にはプローブピンをスキャナボード側に切り替え、部品検査を行う際にはプローブピンを外部入出力端子側に切り替える構成にする必要がある、このため、このように構成した場合には、スイッチを追加する分だけ装置構成が複雑になると共に、部品検査のための検査信号がスイッチを経由する際に劣化(信号の減衰やノイズの混入)するおそれがあるという課題が存在しており、この課題の改善が求められていた。   However, the above-described conventional circuit board inspection apparatus has the following problems to be improved. That is, in order to carry out component inspection for electronic components such as the above-described function test as well as the inspection of the insulation state between conductor patterns using this circuit board inspection device, it is disclosed in the above-mentioned Patent Document 2. Must be configured so that the probe pin is switched to the scanner board side when inspecting the insulation state and the probe pin is switched to the external input / output terminal side when performing component inspection. Therefore, in such a configuration, the device configuration becomes complicated by the addition of the switch, and the inspection signal for component inspection deteriorates when passing through the switch (signal attenuation or noise mixing). ) Existed and there was a need to improve this problem.

そこで、本願出願人は、この課題を改善すべく特願2012−200248において、装置構成の複雑化と検査信号の劣化を回避しつつ導体パターン間の絶縁検査と電子部品の部品検査を行い得る回路基板検査装置を提案している。この回路基板検査装置では、回路基板に内蔵されている電子部品の検査を実行する第2検査部を、この第2検査部にフローティング電源部から作動用電圧を供給し、かつ第2検査部との間でのデータや信号のやり取りをアイソレータを介して実行する構成にすることで、絶縁検査を実行する第1検査部に対してフローティング構造としている。これにより、この回路基板検査装置では、第1検査部からの信号を切り替えてフィクスチャの任意のプローブピンに供給したり第1検査部をすべてのプローブピンから切り離したりするスキャナと、プローブピンとを配線で常時接続としつつ、第2検査部を構成する検査装置およびプローブピンについても配線で常時接続として、第1検査部側のスキャナと、第2検査部側の検査装置とをスイッチで切り替えなくてもよい構造としている。   Therefore, in order to improve this problem, the applicant of the present application disclosed in Japanese Patent Application No. 2012-200288, a circuit that can perform insulation inspection between conductor patterns and component inspection of electronic components while avoiding complicated device configuration and deterioration of inspection signals. A board inspection system is proposed. In this circuit board inspection apparatus, a second inspection unit for inspecting an electronic component built in the circuit board is supplied with an operating voltage from the floating power supply unit to the second inspection unit, and the second inspection unit With the configuration in which the exchange of data and signals between the two is performed via an isolator, the first inspection unit that performs the insulation inspection has a floating structure. As a result, in this circuit board inspection apparatus, the scanner that switches the signal from the first inspection unit and supplies it to any probe pin of the fixture or separates the first inspection unit from all the probe pins, and the probe pin are provided. The inspection device and the probe pin constituting the second inspection unit are always connected by wiring while being always connected by wiring, and the scanner on the first inspection unit side and the inspection device on the second inspection unit side are not switched by a switch. The structure may be acceptable.

特許第4532570号公報(第3−6頁、第1図)Japanese Patent No. 4532570 (page 3-6, Fig. 1) 特開平6−331699号公報(第2頁、第3図)Japanese Patent Laid-Open No. 6-331699 (2nd page, FIG. 3)

ところで、本願出願人は、特願2012−200248において提案した上記の回路基板検査装置について継続して検討を行った。その結果、配線を介してプローブピンに常時接続されるスキャナを構成するスイッチ素子として、メカニカルリレーやフォトモスリレーを使用したときには生じないが、アナログスイッチ(特に高耐圧アナログスイッチ)を使用したときには、スパイク状のノイズに起因する課題が存在していることを見出した。具体的には、このアナログスイッチがFET(電界効果トランジスタ)で構成されるため、ゲート端子に供給する制御信号の立ち上がり時および立ち下がり時においてスパイク状のノイズがソース端子側やドレイン端子側に寄生容量を介して漏れ出すという現象が生じ、このノイズが、配線およびプローブピンを介して回路基板に内蔵されている電子部品(特にICなどの耐圧の低い電子部品)に供給されて、場合によっては電子部品を劣化させるおそれがあるという改善すべき課題の存在を見出した。   By the way, the applicant of the present application continuously studied the above-described circuit board inspection apparatus proposed in Japanese Patent Application No. 2012-200288. As a result, it does not occur when mechanical relays or photomoss relays are used as switch elements that make up the scanner that is always connected to the probe pins via wiring, but when analog switches (especially high-voltage analog switches) are used, We found that there was a problem caused by spike noise. Specifically, since this analog switch is composed of an FET (field effect transistor), spike-like noise is parasitic on the source terminal side and drain terminal side at the rise and fall of the control signal supplied to the gate terminal. The phenomenon of leakage through the capacitance occurs, and this noise is supplied to electronic components (particularly electronic components with low breakdown voltage such as ICs) built in the circuit board via wiring and probe pins. We found the existence of a problem to be improved that there is a risk of deteriorating electronic components.

本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、装置構成の複雑化と検査信号の劣化を回避しつつ導体パターン間の絶縁検査と電子部品の部品検査を行い得ると共に、電子部品の劣化についても回避し得る回路基板検査装置を提供することを主目的とする。   The present invention has been made in view of such problems, and can perform insulation inspection between conductor patterns and component inspection of electronic components while avoiding complicated device configuration and deterioration of inspection signals, and deterioration of electronic components. It is a main object to provide a circuit board inspection apparatus that can avoid the above.

上記目的を達成すべく請求項1記載の回路基板検査装置は、複数の導体パターンが形成されると共に当該複数の導体パターンのうちのいずれかの導体パターンに接続された電子部品が内蔵された回路基板を検査する回路基板検査装置であって、前記複数の導体パターンに接触させられる複数のプローブピンが立設されたフィクスチャと、一対の接続端子を有し当該一対の接続端子に接続された検査対象部位間の絶縁状態を検査する第1検査部と、複数の切替スイッチを有して構成されると共に、配線を介して前記複数のプローブピンおよび前記一対の接続端子と接続された状態で前記フィクスチャと前記第1検査部との間に配設されて、前記切替スイッチのオン・オフ状態が制御されることにより、前記複数のプローブピンすべてを前記一対の接続端子から切り離す分離状態および前記複数のプローブピンのうちの任意のプローブピンを前記一対の接続端子に接続する接続状態のいずれかの状態に移行するスキャナと、前記電子部品を介して連鎖的に接続されている全ての前記導体パターンを1つの導体パターン群としたときに、1つの当該導体パターン群を構成させる前記電子部品に接続されている前記導体パターンに接触する前記プローブピンに配線を介して直接的に接続されて、当該電子部品に対する部品検査を実行する第2検査部と、前記第1検査部、前記スキャナおよび前記第2検査部に対する制御を実行する制御部と、前記第1検査部、前記スキャナおよび前記制御部に第1作動用電圧を供給する電源部と、前記第1作動用電圧と電気的に絶縁された第2作動用電圧を前記第2検査部に供給するフローティング電源部とを備え、前記制御部は、前記スキャナに対する制御を実行して、1つの前記導体パターン群におけるいずれかの前記導体パターン、他の1つの前記導体パターン群におけるいずれかの前記導体パターン、および前記導体パターン群を構成しない前記導体パターンのうちのいずれか2つを前記検査対象部位として前記一対の接続端子に接続させると共に前記第1検査部に対する制御を実行して当該検査対象部位間の絶縁状態を検査させる絶縁検査処理と、前記スキャナに対する制御を実行して当該スキャナを前記分離状態に移行させると共に前記第2検査部に対する制御を実行して前記部品検査を実行させる部品検査処理とを実行すると共に、前記スキャナに対する制御を実行して前記切替スイッチの前記オン・オフ状態を切り替え制御するタイミングにおいて、前記第2検査部を制御して、前記配線を介して前記第2検査部と接続されているすべての前記プローブピンに予め規定された電圧値の直流定電圧を当該第2検査部から供給させる。   In order to achieve the above object, a circuit board inspection apparatus according to claim 1, wherein a plurality of conductor patterns are formed and an electronic component connected to any one of the plurality of conductor patterns is incorporated. A circuit board inspection apparatus for inspecting a board, wherein the fixture has a plurality of probe pins that are brought into contact with the plurality of conductor patterns, and has a pair of connection terminals and is connected to the pair of connection terminals. A first inspection unit that inspects an insulation state between inspection target parts and a plurality of changeover switches, and is connected to the plurality of probe pins and the pair of connection terminals via wiring. It is disposed between the fixture and the first inspection unit, and the on / off state of the changeover switch is controlled so that all of the plurality of probe pins are connected to the pair. A scanner that transitions to any one of a separated state in which the probe is separated from the connection terminal and a connection state in which any of the plurality of probe pins is connected to the pair of connection terminals, and chained via the electronic component When all the connected conductor patterns are defined as one conductor pattern group, the probe pins that are in contact with the conductor pattern that constitutes one conductor pattern group are connected to the probe pins via wiring. A second inspection unit that is directly connected to execute component inspection on the electronic component, a control unit that performs control on the first inspection unit, the scanner, and the second inspection unit, and the first inspection. A power supply unit for supplying a first operating voltage to the scanning unit, the scanner and the control unit, and a second operating voltage electrically insulated from the first operating voltage. A floating power supply unit that supplies the second inspection unit, and the control unit executes control of the scanner to perform any one of the conductor patterns in the one conductor pattern group and the other one of the conductor patterns. Any two of the conductor patterns in the group and the conductor patterns that do not constitute the conductor pattern group are connected to the pair of connection terminals as the inspection target part and control to the first inspection unit is performed. Insulation inspection processing for executing the inspection of the insulation state between the inspection target parts, and controlling the scanner to shift the scanner to the separated state and executing the control for the second inspection unit. And a component inspection process for inspecting, and control for the scanner to execute the switching switch. At the timing of switching control of the on / off state of the switch, the second inspection unit is controlled to be defined in advance for all the probe pins connected to the second inspection unit via the wiring. A DC constant voltage having a voltage value is supplied from the second inspection unit.

また、請求項2記載の回路基板検査装置は、請求項1記載の回路基板検査装置において、前記制御部は、前記絶縁検査処理の実行時において、前記検査対象部位としての1つの前記導体パターン群を構成する前記各導体パターンが互いに同電位になるように前記スキャナに対する制御を実行する。   The circuit board inspection apparatus according to claim 2 is the circuit board inspection apparatus according to claim 1, wherein the control unit is configured to use one of the conductor pattern groups as the inspection target portion when the insulation inspection process is performed. The control for the scanner is executed so that the conductor patterns constituting the same potential are mutually equal.

請求項1記載の回路基板検査装置では、導体パターン群に配線を介して接続されている第2検査部はフローティング電源部から電圧が供給されて作動する。したがって、この回路基板検査装置によれば、第2検査部が配線を介してプローブピンに接続されている状態で、制御部が絶縁検査処理を実行したとしても、第2検査部の基準電位および電圧と、制御部側の電源部の基準電位および電圧とが相互に電気的に分離されているため、第2検査部と制御部などの電源部側の回路との間での電流の回り込みを防止することができ、これにより、第2検査部の損傷を回避することができる。また、この回路基板検査装置によれば、第2検査部とフィクスチャのプローブピンとの間は配線を介して直接的に接続したままの状態でよいため、絶縁検査の際に第2検査部とフィクスチャのプローブピンとの間を分離するためのスイッチを不要にでき、これによって装置構成の複雑化を回避することができると共に、第2検査部から回路基板に内蔵されている電子部品への検査信号についてもその劣化を回避して供給することができる。   According to another aspect of the circuit board inspection apparatus of the present invention, the second inspection unit connected to the conductor pattern group via the wiring operates when supplied with a voltage from the floating power supply unit. Therefore, according to this circuit board inspection apparatus, even if the control unit executes the insulation inspection process in a state where the second inspection unit is connected to the probe pin through the wiring, the reference potential of the second inspection unit and Since the voltage and the reference potential and voltage of the power supply unit on the control unit side are electrically separated from each other, current wraparound between the second inspection unit and the circuit on the power supply unit side such as the control unit is prevented. This can prevent the damage of the second inspection part. Further, according to this circuit board inspection apparatus, since the second inspection unit and the probe pin of the fixture may remain in a directly connected state via wiring, the second inspection unit It is possible to eliminate the need for a switch for separating the fixture pin from the fixture pin, thereby avoiding the complexity of the apparatus configuration and inspecting the electronic component built in the circuit board from the second inspection unit. Signals can also be supplied while avoiding deterioration.

また、この回路基板検査装置では、制御部が、スキャナに対する制御を実行して切替スイッチのオン・オフ状態を切り替え制御するタイミングにおいて、第2検査部を制御して、配線を介して第2検査部と接続されているすべてのプローブピンに予め規定された電圧値の直流定電圧を第2検査部から供給させる。したがって、この回路基板検査装置によれば、スキャナを構成する切替スイッチをオン状態およびオフ状態のうちのいずれか一方の状態から他方の状態に切り替え制御するためにゲート端子に供給する制御信号の立ち上がり時および立ち下がり時のうちの少なくとも一方の時において、直流定電圧の供給によって各導体パターン間のインピーダンスを低い値に規定できるため、任意の一対の導体パターン間に発生するノイズ電圧の電圧値を低い値に抑制できる結果、第2検査部に直接的に接続されている電子部品の劣化を回避することができる。   Further, in this circuit board inspection apparatus, the control unit controls the second inspection unit at the timing of executing the control on the scanner and switching the on / off state of the changeover switch, and performs the second inspection via the wiring. A DC constant voltage having a predetermined voltage value is supplied from the second inspection unit to all probe pins connected to the unit. Therefore, according to this circuit board inspection apparatus, the rising edge of the control signal supplied to the gate terminal for controlling the changeover switch constituting the scanner from one of the on state and the off state to the other state. Since the impedance between each conductor pattern can be set to a low value by supplying a DC constant voltage at at least one of the time and the falling time, the voltage value of the noise voltage generated between any pair of conductor patterns can be As a result of being able to suppress to a low value, it is possible to avoid the deterioration of the electronic component directly connected to the second inspection unit.

また、請求項3記載の回路基板検査装置では、制御部が、絶縁検査処理の実行時において、検査対象部位としての1つの導体パターン群を構成する各導体パターンが互いに同電位になるようにスキャナを制御する。したがって、この回路基板検査装置によれば、同じ導体パターン群内における各導体パターンの間の電位差によって同じ導体パターン群内において漏れ電流が生じて、それによって電子部品が損傷するという事態の発生を確実に防止することができる。   According to another aspect of the circuit board inspection apparatus of the present invention, the controller controls the scanner so that the conductor patterns constituting one conductor pattern group as the inspection object part have the same potential when the insulation inspection process is executed. To control. Therefore, according to this circuit board inspection apparatus, it is ensured that a leakage current is generated in the same conductor pattern group due to a potential difference between the conductor patterns in the same conductor pattern group, thereby damaging the electronic component. Can be prevented.

回路基板検査装置1の構成を示す構成図である。1 is a configuration diagram showing a configuration of a circuit board inspection device 1. FIG.

以下、回路基板検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。   Hereinafter, an embodiment of a circuit board inspection apparatus will be described with reference to the accompanying drawings.

最初に、回路基板検査装置1の構成について説明する。図1に示す回路基板検査装置1は、フィクスチャ(ピンボード)2、スキャナ3、第1検査部4、第2検査部5、制御部6、記憶部7、電源部8、フローティング電源部9およびアイソレータ10を備えて、回路基板51に対して所定の電気的検査を実行可能に構成されている。   First, the configuration of the circuit board inspection apparatus 1 will be described. A circuit board inspection apparatus 1 shown in FIG. 1 includes a fixture (pin board) 2, a scanner 3, a first inspection unit 4, a second inspection unit 5, a control unit 6, a storage unit 7, a power supply unit 8, and a floating power supply unit 9. The circuit board 51 is configured to be able to perform a predetermined electrical inspection.

検査対象である回路基板51は、内部に電子部品が内蔵された部品内蔵型の回路基板であり、図1に示すように、一例として、複数の導体パターンP1〜P16(以下、特に区別しないときには、「導体パターンP」ともいう)が形成されていると共に、電子部品としての抵抗R1,R2,R3,R4、コンデンサC1,C2,C3、および集積回路IC1,IC2が内部に内蔵されている。なお、内蔵されている電子部品に接続されている導体パターンP1〜P15は、不図示のビア(またはスルーホール)などを介して回路基板51の表面(本例では一例として上面)と電子部品が配設されている回路基板51の内部との間に亘って形成されている。また、導体パターンP16は、一例として、回路基板51の表面に形成されている。また、集積回路IC1は、所定の周波数特性を有するフィルタ素子であり、集積回路IC2は、一例として、入力ピン(例えば、導体パターンP11,P12,P9に接続されているピン)に入力される論理で示される値に応じた電圧を出力ピン(例えば、導体パターンP8に接続されているピン)から出力するD/A変換器であるものとする。   The circuit board 51 to be inspected is a circuit board with a built-in component in which an electronic component is built. As shown in FIG. 1, as an example, a plurality of conductor patterns P1 to P16 (hereinafter, unless otherwise distinguished) , Also referred to as “conductor pattern P”), and resistors R1, R2, R3, and R4 as electronic components, capacitors C1, C2, and C3, and integrated circuits IC1 and IC2 are incorporated therein. The conductor patterns P1 to P15 connected to the built-in electronic component are connected to the surface of the circuit board 51 (upper surface as an example in this example) and the electronic component via vias (or through holes) not shown. It is formed between the inside of the circuit board 51 provided. The conductor pattern P16 is formed on the surface of the circuit board 51 as an example. The integrated circuit IC1 is a filter element having a predetermined frequency characteristic, and the integrated circuit IC2 is, for example, a logic input to an input pin (for example, pins connected to the conductor patterns P11, P12, and P9). It is assumed that the D / A converter outputs a voltage corresponding to the value indicated by (2) from an output pin (for example, a pin connected to the conductor pattern P8).

また、この回路基板51には、複数の電子部品が表面に後付けで実装される。この例では一例として、図1において破線で示すように、導体パターンP15と導体パターンP16との間にコンデンサC11が実装されると共に、導体パターンP13と導体パターンP16との間に抵抗R11が実装される。したがって、回路基板検査装置1による回路基板51の検査時には、導体パターン16は、いずれの電子部品とも接続されていない状態にある。   A plurality of electronic components are mounted on the surface of the circuit board 51 later. In this example, as an example, as indicated by a broken line in FIG. 1, a capacitor C11 is mounted between the conductor pattern P15 and the conductor pattern P16, and a resistor R11 is mounted between the conductor pattern P13 and the conductor pattern P16. The Therefore, when the circuit board 51 is inspected by the circuit board inspection apparatus 1, the conductor pattern 16 is not connected to any electronic component.

フィクスチャ2は、複数(m本)のプローブピン21を備えて構成されている。フィクスチャ2は、不図示の載置台の上面に載置されている回路基板51の上方において、不図示の支持機構によって回路基板51に対して接離動自在な状態に支持されている。また、複数のプローブピン21は、フィクスチャ2の載置台側の面(本例では下面)における接触する導体パターンの接触部位(接触ポイント)に対応する位置に立設されている。本例では、接触部位は、各導体パターンに対して1つずつ規定されている。このため、プローブピン21は、一例としてm(=16)本立設されている。この構成により、フィクスチャ2は、各プローブピン21が対応する接触部位に接触する状態(プロ−ビング状態)まで移動されたときには、載置台との間で回路基板51を挟み込んで保持する。   The fixture 2 is configured to include a plurality (m pieces) of probe pins 21. The fixture 2 is supported so as to be movable toward and away from the circuit board 51 by a support mechanism (not shown) above the circuit board 51 mounted on the upper surface of a mounting table (not shown). Further, the plurality of probe pins 21 are erected at positions corresponding to contact portions (contact points) of the contacting conductor pattern on the surface on the mounting table side of the fixture 2 (lower surface in this example). In this example, one contact portion is defined for each conductor pattern. Therefore, m (= 16) probe pins 21 are erected as an example. With this configuration, when the probe 2 is moved to a state (probing state) in which each probe pin 21 comes into contact with the corresponding contact portion, the fixture 2 is sandwiched and held between the mounting bases.

スキャナ3は、複数の切替スイッチを有して構成されて、図1に示すように、フィクスチャ2と第1検査部4との間に配設されている。また、スキャナ3は、複数(m本)のプローブピン21と配線(本数はm本)を介して接続されると共に、第1検査部4の後述する一対の接続端子4a,4bと配線(2本の配線)を介して接続されている。また、スキャナ3は、制御部6によって複数の切替スイッチのオン・オフ状態が制御されることにより、複数のプローブピン21のすべてを第1検査部4の一対の接続端子4a,4bから切り離す分離状態、および複数のプローブピン21のうちの任意のプローブピン21を第1検査部4の一対の接続端子4a,4bのうちの任意の一方の接続端子に接続すると共に、この一方の接続端子に接続されたプローブピン21を除く他のプローブピン21のうちの任意のプローブピン21を一対の接続端子4a,4bのうちの他方の接続端子に接続する接続状態のいずれかの状態に移行することが可能になっている。また、各切替スイッチには、FET(電界効果トランジスタ)で構成されたアナログスイッチ(特に高耐圧アナログスイッチ)が使用されている。   The scanner 3 includes a plurality of changeover switches, and is disposed between the fixture 2 and the first inspection unit 4 as shown in FIG. The scanner 3 is connected to a plurality of (m) probe pins 21 via wiring (the number is m), and a pair of connection terminals 4a and 4b (to be described later) of the first inspection unit 4 and wiring (2). Book wiring). Further, the scanner 3 is separated so that all of the plurality of probe pins 21 are separated from the pair of connection terminals 4 a and 4 b of the first inspection unit 4 by controlling the on / off states of the plurality of changeover switches by the control unit 6. The state and an arbitrary probe pin 21 of the plurality of probe pins 21 are connected to any one of the pair of connection terminals 4a and 4b of the first inspection unit 4, and the one connection terminal Transition to any one of the connection states in which an arbitrary probe pin 21 of the other probe pins 21 excluding the connected probe pin 21 is connected to the other connection terminal of the pair of connection terminals 4a and 4b. Is possible. Each changeover switch uses an analog switch (particularly a high withstand voltage analog switch) composed of an FET (field effect transistor).

第1検査部4は、一対の接続端子4a,4bを有し、この一対の接続端子4a,4bに接続された検査対象部位間の絶縁状態を検査する。一例として、第1検査部4は、一対の接続端子4a,4bと共に、絶縁抵抗計および処理部(いずれも図示せず)を備えている。この構成により、処理部が制御部6によって制御されることで絶縁抵抗計を作動させて、一対の接続端子4a,4bに接続された検査対象部位間の絶縁抵抗を測定し、この測定した絶縁抵抗の抵抗値と予め規定された基準抵抗値とを比較することにより、検査対象部位間の絶縁状態を検査して(例えば、算出した抵抗値が基準抵抗値以上のときには絶縁状態は良好であり、基準抵抗値未満のときには絶縁状態は不良であるというようにして検査して)、この検査結果を示す結果データD1を制御部6に出力する。   The 1st test | inspection part 4 has a pair of connecting terminal 4a, 4b, and test | inspects the insulation state between the test object site | parts connected to this pair of connecting terminal 4a, 4b. As an example, the 1st test | inspection part 4 is provided with the insulation resistance meter and the process part (all are not shown) with a pair of connection terminals 4a and 4b. With this configuration, the processing unit is controlled by the control unit 6 to operate the insulation resistance meter, and the insulation resistance between the inspection target parts connected to the pair of connection terminals 4a and 4b is measured. By comparing the resistance value of the resistor with a predetermined reference resistance value, the insulation state between the parts to be inspected is inspected (for example, the insulation state is good when the calculated resistance value is equal to or greater than the reference resistance value). When it is less than the reference resistance value, the insulation state is inspected to be defective), and the result data D1 indicating the inspection result is output to the control unit 6.

第2検査部5は、内蔵されている電子部品(本例では、抵抗R1,R2,R3,R4、コンデンサC1,C2,C3、および集積回路IC1,IC2)のうちの部品検査を実行する電子部品に接続されている導体パターンに接触する各プローブピン21にn本の配線を介して接続されて、これらの電子部品に対する部品検査を実行する。本例では、部品検査を実行する電子部品は一例として集積回路IC1,IC2の2つであるため、この部品検査を実行する電子部品の個数に対応して、第2検査部5は、フィルタ素子である集積回路IC1の周波数特性を測定して検査するための検査装置A(例えば、周波数特性測定器)と、D/A変換器である集積回路IC2を動作させて検査するための検査装置B(例えば、集積回路IC2を作動させるためのデジタルデータを複数ビット出力可能な信号出力装置、および集積回路IC2の出力電圧を測定する電圧測定器)の2つの検査装置を備え、各集積回路IC1,IC2に接続されている導体パターン(この例では、9本の導体パターンP1,P2,P3,P8〜P13)に接触する9本のプローブピン21に9本の配線(n=9)を介して接続されている。   The second inspection unit 5 is an electronic device that performs component inspection of the built-in electronic components (in this example, resistors R1, R2, R3, R4, capacitors C1, C2, C3, and integrated circuits IC1, IC2). The probe pins 21 that are in contact with the conductor patterns connected to the components are connected to the probe pins 21 via n wirings, and component inspection is performed on these electronic components. In this example, there are two electronic components IC1 and IC2 as an example for executing the component inspection. Accordingly, the second inspection unit 5 includes a filter element corresponding to the number of electronic components that execute the component inspection. An inspection apparatus A (for example, a frequency characteristic measuring device) for measuring and inspecting frequency characteristics of the integrated circuit IC1 and an inspection apparatus B for operating and inspecting the integrated circuit IC2 that is a D / A converter. (For example, a signal output device capable of outputting a plurality of bits of digital data for operating the integrated circuit IC2 and a voltage measuring device for measuring the output voltage of the integrated circuit IC2), each integrated circuit IC1, Nine wires (n = 9) are connected to nine probe pins 21 that are in contact with conductor patterns (in this example, nine conductor patterns P1, P2, P3, P8 to P13) connected to IC2. It is connected via a.

この場合、検査装置Aは、検査対象とする集積回路IC1に接続されている導体パターンP1,P2,P3に接触する3本のプローブピン21に、n(本例では9)本の配線のうちの3本の配線を介して接続されている。また、検査装置Bは、検査対象とする集積回路IC2に接続されている導体パターンP8〜P13に接触する6本のプローブピン21に、n本の配線のうちの他の6本の配線を介して接続されている。また、各検査装置A,Bは互いに電気的に分離されている。   In this case, the inspection apparatus A includes n (9 in this example) wires on the three probe pins 21 that are in contact with the conductor patterns P1, P2, and P3 connected to the integrated circuit IC1 to be inspected. Are connected through the three wires. In addition, the inspection apparatus B passes the other six wires out of the n wires to the six probe pins 21 that contact the conductor patterns P8 to P13 connected to the integrated circuit IC2 to be inspected. Connected. Further, the inspection apparatuses A and B are electrically separated from each other.

また、第2検査部5は、電源部8から出力される電圧(第1作動用電圧)V1に基づいて作動するスキャナ3、第1検査部4、制御部6および記憶部7とは異なり、フローティング電源部9から供給される電圧(電圧V1側から電気的に絶縁された電圧)を作動用電圧として作動する。具体的には、第2検査部5の検査装置Aは、フローティング電源部9から電源端子5aに供給される電圧V2(電圧V1側の後述の基準電位G1および電圧V1から電気的に絶縁された後述の基準電位G2を基準として生成される第2作動用電圧)を作動用電圧として作動する。一方、第2検査部5の他の1つの検査装置Bは、フローティング電源部9から電源端子5bに供給される電圧V3(電圧V1側の基準電位G1および電圧V1から電気的に絶縁され、かつ基準電位G2および電圧V2からも電気的に絶縁された後述の基準電位G3を基準として生成される電圧)を作動用電圧として作動する。   Further, the second inspection unit 5 is different from the scanner 3, the first inspection unit 4, the control unit 6 and the storage unit 7 that operate based on the voltage (first operation voltage) V1 output from the power supply unit 8, The voltage supplied from the floating power supply unit 9 (the voltage electrically insulated from the voltage V1 side) is used as the operating voltage. Specifically, the inspection device A of the second inspection unit 5 is electrically insulated from a voltage V2 (a reference potential G1 and voltage V1 described later on the voltage V1 side) supplied from the floating power supply unit 9 to the power supply terminal 5a. The second operating voltage generated based on a reference potential G2 described later is used as the operating voltage. On the other hand, another inspection device B of the second inspection unit 5 is electrically insulated from the voltage V3 (the reference potential G1 on the voltage V1 side and the voltage V1) supplied from the floating power supply unit 9 to the power supply terminal 5b, and A voltage generated based on a later-described reference potential G3 that is also electrically insulated from the reference potential G2 and the voltage V2 is operated as an operation voltage.

また、第2検査部5の検査装置Aは、制御部6によって制御されて作動して(制御部6から出力される制御信号Saに基づいて動作して)、集積回路IC1を検査するための検査信号を生成して集積回路IC1に出力することにより、集積回路IC1に対する検査を実行する。また、検査装置Aは、制御部6によって制御されて作動して、集積回路IC1に対する検査の結果を示す結果データDaを制御部6に出力する。また、検査装置Aは、制御部6によって制御されて作動して、集積回路IC1に接続されている導体パターンP1,P2,P3に接触する3本のプローブピン21に予め規定された直流定電圧を出力する。具体的には、検査装置Aは、導体パターンP2に接触するプローブピン21に基準電位G2と同電位の直流定電圧を出力し、導体パターンP1,3に接触する2本のプローブピン21に基準電位G2以上電圧V2未満の電圧範囲内から予め任意に規定された電圧値(集積回路IC1の最大定格電圧よりも低い電圧値)の直流定電圧を出力する。   The inspection apparatus A of the second inspection unit 5 operates under the control of the control unit 6 (operates based on the control signal Sa output from the control unit 6) to inspect the integrated circuit IC1. A test for the integrated circuit IC1 is performed by generating a test signal and outputting it to the integrated circuit IC1. The inspection apparatus A operates under the control of the control unit 6 and outputs the result data Da indicating the result of the inspection on the integrated circuit IC1 to the control unit 6. Further, the inspection apparatus A operates under the control of the control unit 6, and the DC constant voltage defined in advance on the three probe pins 21 contacting the conductor patterns P1, P2, P3 connected to the integrated circuit IC1. Is output. Specifically, the inspection apparatus A outputs a DC constant voltage having the same potential as the reference potential G2 to the probe pin 21 that contacts the conductor pattern P2, and the reference to the two probe pins 21 that contact the conductor patterns P1 and 3. A DC constant voltage having a voltage value arbitrarily defined in advance (a voltage value lower than the maximum rated voltage of the integrated circuit IC1) within a voltage range between the potential G2 and the voltage V2 is output.

同様にして、第2検査部5の他の1つの検査装置Bも、制御部6によって制御されて作動して(制御部6から出力される制御信号Sbに基づいて動作して)、集積回路IC2を検査するための検査信号を生成して集積回路IC2に出力することにより、集積回路IC2に対する検査を実行する。また、検査装置Bは、制御部6によって制御されて作動して、集積回路IC2に対する検査の結果を示す結果データDbを制御部6に出力する。また、検査装置Bは、制御部6によって制御されて作動して、集積回路IC2に接続されている導体パターンP8〜P13に接触する6本のプローブピン21に直流定電圧を出力する。具体的には、検査装置Bは、導体パターンP13に接触するプローブピン21に基準電位G3と同電位の直流定電圧を出力し、導体パターンP8〜P12に接触する5本のプローブピン21に基準電位G3以上電圧V3未満の電圧範囲内から予め任意に規定された電圧値(集積回路IC2の最大定格電圧よりも低い電圧値)の直流定電圧を出力する。   Similarly, the other inspection device B of the second inspection unit 5 is also controlled and operated by the control unit 6 (operated based on the control signal Sb output from the control unit 6), and the integrated circuit. A test signal for inspecting the IC 2 is generated and output to the integrated circuit IC2, thereby executing a test on the integrated circuit IC2. The inspection apparatus B operates under the control of the control unit 6 and outputs the result data Db indicating the result of the inspection on the integrated circuit IC2 to the control unit 6. The inspection device B operates under the control of the control unit 6 and outputs a DC constant voltage to the six probe pins 21 that are in contact with the conductor patterns P8 to P13 connected to the integrated circuit IC2. Specifically, the inspection apparatus B outputs a DC constant voltage having the same potential as the reference potential G3 to the probe pin 21 that contacts the conductor pattern P13, and the reference to the five probe pins 21 that contact the conductor patterns P8 to P12. A DC constant voltage having a voltage value arbitrarily defined in advance (a voltage value lower than the maximum rated voltage of the integrated circuit IC2) is output from a voltage range between the potential G3 and the voltage V3.

なお、検査装置Aと制御部6との間の制御信号Saおよび結果データDaのやり取り、および検査装置Bと制御部6との間の制御信号Sbおよび結果データDbのやり取りは、アイソレータ10を介して行われる。   Note that the exchange of the control signal Sa and the result data Da between the inspection apparatus A and the control unit 6 and the exchange of the control signal Sb and the result data Db between the inspection apparatus B and the control unit 6 are performed via the isolator 10. Done.

さらに、第2検査部5の検査装置A,Bが検査する集積回路IC1,IC2は、後述するように、互いに電気的に絶縁されている異なる導体パターン群GP1,GP2(以下、区別しないときには、「導体パターン群GP」ともいう。)にそれぞれ含まれている。   Further, the integrated circuits IC1 and IC2 inspected by the inspection devices A and B of the second inspection unit 5 are different conductor pattern groups GP1 and GP2 that are electrically insulated from each other, as will be described later. (Also referred to as “conductor pattern group GP”).

このようにして、各検査装置A,Bが第2検査部5の内部において互いに電気的に分離され、かつ検査装置Aにフローティング電源部9から供給される電圧V2およびその基準電位G2と、検査装置Bにフローティング電源部9から供給される電圧V3およびその基準電位G3とが互いに電気的に絶縁(分離)され、検査装置A,Bが共にアイソレータ10を介して制御部6と電気的に絶縁され、かつ検査装置A,Bが配線を介して直接接続されている集積回路IC1,IC2に接続されている各導体パターン群GP1,GP2同士が電気的に絶縁されている構成のため、第2検査部5(本例では各検査装置A,B)は、常にフローティング状態になっている。   In this way, the inspection devices A and B are electrically separated from each other inside the second inspection unit 5, and the voltage V2 supplied to the inspection device A from the floating power supply unit 9 and its reference potential G2, and the inspection The voltage V3 supplied from the floating power supply unit 9 to the device B and its reference potential G3 are electrically insulated (separated) from each other, and the inspection devices A and B are both electrically insulated from the control unit 6 via the isolator 10. Since the conductor pattern groups GP1 and GP2 connected to the integrated circuits IC1 and IC2 to which the inspection apparatuses A and B are directly connected via wiring are electrically insulated, the second The inspection part 5 (in this example, each inspection apparatus A and B) is always in a floating state.

制御部6は、コンピュータなどを備えて構成されて、上記したように、第1検査部4、スキャナ3および第2検査部5に対する制御を実行して、定電圧供給処理、絶縁検査処理および部品検査処理を実行する。   The control unit 6 includes a computer or the like, and executes control on the first inspection unit 4, the scanner 3, and the second inspection unit 5 as described above, and performs constant voltage supply processing, insulation inspection processing, and components. Perform inspection processing.

記憶部7は、ROMやRAMなどの半導体メモリや、HDD(Hard Disk Drive )などを備えて構成されて、制御部6のための動作プログラムを記憶すると共に、制御部6が第1検査部4および第2検査部5から取得した結果データD1,Da,Dbを記憶する。また、記憶部7には、回路基板51に関するデータ、すなわち、各導体パターンP1〜P16に接触するプローブピン21を特定可能なデータ、各導体パターンP1〜P16に接続される各電子部品(抵抗R1,R2,R3,R4、コンデンサC1,C2,C3、および集積回路IC1,IC2)を特定可能なデータ、および部品検査を実行する電子部品(抵抗R1,R2、コンデンサC2および集積回路IC1,IC2)を特定可能なデータが予め記憶されている。   The storage unit 7 includes a semiconductor memory such as a ROM and a RAM, an HDD (Hard Disk Drive), and the like. The storage unit 7 stores an operation program for the control unit 6, and the control unit 6 performs the first inspection unit 4. And the result data D1, Da, Db acquired from the second inspection unit 5 are stored. Further, the storage unit 7 includes data on the circuit board 51, that is, data that can specify the probe pins 21 that are in contact with the conductor patterns P1 to P16, and electronic components (resistors R1) connected to the conductor patterns P1 to P16. , R2, R3, R4, capacitors C1, C2, C3, and integrated circuits IC1, IC2) and electronic components that perform component inspection (resistors R1, R2, capacitor C2, and integrated circuits IC1, IC2) Is stored in advance.

電源部8は、スキャナ3、第1検査部4、制御部6および記憶部7を作動させるための電圧V1(基準電位G1を基準とする電圧)を生成して出力する。フローティング電源部9は、一例として、独立した2つの2次巻線を有するトランスを用いて構成された絶縁型DC/DCコンバータで構成されて、各2次巻線に誘起される交流電圧を電気的に分離された2つの整流平滑回路で直流電圧としての電圧V2,V3にそれぞれ変換して出力する。この構成により、フローティング電源部9は、電圧V1およびこの電圧V1の基準電位G1から電気的に絶縁された基準電位G2を基準とする電圧V2を生成して出力すると共に、電圧V1および基準電位G1、並びに電圧V2および基準電位G2の双方から電気的に絶縁された基準電位G3を基準とする電圧V3を生成して出力する。アイソレータ10は、制御部6と第2検査部5との間に配設されて、制御部6から出力される制御信号Sa,Sbを入力すると共に電気的に絶縁して第2検査部5に出力する。また、アイソレータ10は、第2検査部5から出力される結果データDa,Dbを入力すると共に電気的に絶縁して制御部6に出力する。   The power supply unit 8 generates and outputs a voltage V1 (voltage based on the reference potential G1) for operating the scanner 3, the first inspection unit 4, the control unit 6, and the storage unit 7. As an example, the floating power supply unit 9 is composed of an insulation type DC / DC converter configured using a transformer having two independent secondary windings, and the AC voltage induced in each secondary winding is electrically Are converted into voltages V2 and V3 as DC voltages by two separated rectifying and smoothing circuits, respectively, and output. With this configuration, the floating power supply unit 9 generates and outputs the voltage V2 based on the voltage V1 and the reference potential G2 electrically insulated from the reference potential G1 of the voltage V1, and outputs the voltage V1 and the reference potential G1. , And generates and outputs a voltage V3 based on a reference potential G3 that is electrically insulated from both the voltage V2 and the reference potential G2. The isolator 10 is disposed between the control unit 6 and the second inspection unit 5, and receives the control signals Sa and Sb output from the control unit 6 and electrically insulates the second inspection unit 5. Output. Further, the isolator 10 inputs the result data Da and Db output from the second inspection unit 5 and outputs them to the control unit 6 while being electrically insulated.

次に、回路基板検査装置1の動作について、図面を参照して説明する。なお、回路基板51は、不図示の載置台上に載置されて、この載置台とフィクスチャ2との間で挟み込まれている(保持されている)ものとする。   Next, the operation of the circuit board inspection apparatus 1 will be described with reference to the drawings. It is assumed that the circuit board 51 is placed on a mounting table (not shown) and is sandwiched (held) between the mounting table and the fixture 2.

この状態において、回路基板検査装置1では、制御部6が、まず、回路基板51に対する絶縁検査処理を実行する。この絶縁検査処理では、制御部6は、最初に、アイソレータ10を介して第2検査部5に制御信号Sa,Sbを出力することによって第2検査部5を制御して、第2検査部5の各検査装置A,Bを停止状態(部品検査のための信号がプローブピン21に出力されない状態)に移行させる。   In this state, in the circuit board inspection apparatus 1, the control unit 6 first performs an insulation inspection process on the circuit board 51. In this insulation inspection process, the control unit 6 first controls the second inspection unit 5 by outputting the control signals Sa and Sb to the second inspection unit 5 via the isolator 10, and the second inspection unit 5. The inspection devices A and B are shifted to a stopped state (a state where a signal for component inspection is not output to the probe pin 21).

次いで、制御部6は、記憶部7に記憶されている回路基板51に関するデータに基づいて、回路基板51に内蔵されている上記の電子部品を介して連鎖的に接続されている全ての導体パターンPを1つの導体パターン群GPとして特定する。回路基板51では、図1に示すように、導体パターンP1〜P4が、電子部品としての抵抗R1、コンデンサC1および集積回路IC1を介して連鎖的に接続されている。また、導体パターンP5〜P15が、電子部品としての抵抗R2,R3,R4、コンデンサC2,C3および集積回路IC2を介して連鎖的に接続されている。このため、制御部6は、導体パターンP1〜P4を1つの導体パターン群GP1として特定し、導体パターンP5〜P15を他の1つの導体パターン群GP2として特定する。なお、導体パターンP16には電子部品(回路基板51に予め内蔵されている電子部品)が接続されていない。このため、導体パターンP16は、導体パターン群GPを構成しない導体パターンとして存在している。   Next, the control unit 6 makes all the conductor patterns connected in a chain via the electronic components built in the circuit board 51 based on the data related to the circuit board 51 stored in the storage unit 7. P is specified as one conductor pattern group GP. In the circuit board 51, as shown in FIG. 1, conductor patterns P1 to P4 are connected in a chain via a resistor R1, a capacitor C1, and an integrated circuit IC1 as electronic components. Conductor patterns P5 to P15 are connected in a chain via resistors R2, R3, and R4, capacitors C2 and C3, and integrated circuit IC2 as electronic components. For this reason, the control part 6 specifies the conductor patterns P1-P4 as one conductor pattern group GP1, and specifies the conductor patterns P5-P15 as another one conductor pattern group GP2. Note that no electronic component (an electronic component built in the circuit board 51 in advance) is connected to the conductor pattern P16. For this reason, the conductor pattern P16 exists as a conductor pattern that does not constitute the conductor pattern group GP.

続いて、制御部6は、1つの導体パターン群GPにおけるいずれかの導体パターンP、他の1つの導体パターン群GPにおけるいずれかの導体パターンP、および導体パターン群GPを構成しない導体パターンPのうちのいずれか2つを検査対象部位として、各検査対象部位間の絶縁状態を検査する(本例では、1つの導体パターン群GP1と他の導体パターン群GP2との間の絶縁状態、導体パターン群GP1と導体パターン群を構成しない導体パターンP16との間の絶縁状態、および導体パターン群GP2と導体パターンP16との間の絶縁状態を検査する)。   Subsequently, the control unit 6 sets one of the conductor patterns P in one conductor pattern group GP, one of the conductor patterns P in the other conductor pattern group GP, and the conductor pattern P that does not constitute the conductor pattern group GP. Any two of them are used as inspection target parts, and the insulation state between the inspection target parts is inspected (in this example, the insulation state between one conductor pattern group GP1 and another conductor pattern group GP2, the conductor pattern The insulation state between the group GP1 and the conductor pattern P16 that does not constitute the conductor pattern group and the insulation state between the conductor pattern group GP2 and the conductor pattern P16 are inspected).

具体的には、制御部6は、導体パターン群GP1と導体パターン群GP2との間の絶縁状態の検査に際しては、スキャナ3に対する制御を実行して、導体パターン群GP1におけるいずれかの導体パターンPに接触するプローブピン21(本例では、導体パターン群GP1におけるすべての導体パターンP1〜P4に接触するすべてのプローブピン21)をスキャナ3を介して第1検査部4の一対の接続端子4a,4bのうちのいずれか一方(例えば、接続端子4a)に検査対象部位として接続し(つまり、導体パターン群GP1におけるすべての導体パターンP1〜P4を同電位にし)、かつ他の導体パターン群GP2におけるいずれかの導体パターンPに接触するプローブピン21(本例では、導体パターン群GP2におけるすべての導体パターンP5〜P15に接触するすべてのプローブピン21)をスキャナ3を介して第1検査部4の一対の接続端子4a,4bのうちの他方(例えば、接続端子4b)に検査対象部位として接続する(つまり、導体パターン群GP2におけるすべての導体パターンP5〜P15を同電位にする)。   Specifically, when inspecting the insulation state between the conductor pattern group GP1 and the conductor pattern group GP2, the control unit 6 executes a control for the scanner 3 and any one of the conductor patterns P in the conductor pattern group GP1. Probe pins 21 (in this example, all probe pins 21 in contact with all the conductor patterns P1 to P4 in the conductor pattern group GP1) are connected to the pair of connection terminals 4a of the first inspection unit 4 via the scanner 3. 4b (for example, the connection terminal 4a) is connected as a part to be inspected (that is, all conductor patterns P1 to P4 in the conductor pattern group GP1 are set to the same potential), and in another conductor pattern group GP2. Probe pins 21 in contact with any of the conductor patterns P (in this example, all the conductors in the conductor pattern group GP2 All the probe pins 21) that come in contact with the patterns P <b> 5 to P <b> 15 are connected to the other (for example, the connection terminal 4 b) of the pair of connection terminals 4 a and 4 b of the first inspection unit 4 through the scanner 3 as a part to be inspected. (That is, all the conductor patterns P5 to P15 in the conductor pattern group GP2 are set to the same potential).

次いで、このスキャナ3に対する制御を実行する際に、制御部6は、アイソレータ10を介して第2検査部5に制御信号Sa,Sbを出力することによって定電圧供給処理を実行して、スキャナ3を構成する切替スイッチをオン状態およびオフ状態のうちのいずれか一方の状態から他方の状態に切り替え制御するタイミングにおいて、n本の配線を介して第2検査部5(具体的には、検査装置A,B)と接続されているすべてのプローブピン21にこの第2検査部5(検査装置A,B)から上記した直流定電圧が供給されるように第2検査部5(検査装置A,B)を制御する。また、制御部6は、n本の配線を介して第2検査部5からプローブピン21に直流定電圧が供給されている状態において、スキャナ3に対する制御が完了したとき(スキャナ3を構成する切替スイッチをオン状態およびオフ状態のうちのいずれか一方の状態から他方の状態に切り替え制御し終えたとき)には、アイソレータ10を介して第2検査部5に制御信号Sa,Sbを出力することによって第2検査部5を制御して、第2検査部5の各検査装置A,Bを停止状態に移行させる(上記した直流定電圧の供給を停止させる)。   Next, when executing the control for the scanner 3, the control unit 6 executes the constant voltage supply process by outputting the control signals Sa and Sb to the second inspection unit 5 via the isolator 10. The second inspection unit 5 (specifically, the inspection device) is connected via n wires at a timing at which the changeover switch constituting the switch is controlled to be switched from one of the ON state and the OFF state to the other state. The second inspection section 5 (inspection apparatus A, B) is supplied with the above-mentioned DC constant voltage from the second inspection section 5 (inspection apparatus A, B) to all the probe pins 21 connected to A, B). B) is controlled. In addition, the control unit 6 completes control of the scanner 3 in a state where a constant DC voltage is supplied from the second inspection unit 5 to the probe pin 21 via n wires (switching that configures the scanner 3). When the switch is switched from one of the on state and the off state to the other state), the control signals Sa and Sb are output to the second inspection unit 5 via the isolator 10. To control the second inspection unit 5 to shift the inspection devices A and B of the second inspection unit 5 to the stopped state (stop the supply of the DC constant voltage described above).

スキャナ3を構成する切替スイッチはFETで構成されていることから、切替スイッチをオン状態およびオフ状態のうちのいずれか一方の状態から他方の状態に切り替え制御するためにゲート端子に供給する制御信号の立ち上がり時および立ち下がり時のうちの少なくとも一方の時において、スパイク状のノイズ(具体的には、スパイク状の電流)がソース端子側やドレイン端子側に寄生容量を介して漏れ出すという現象が生じる。しかしながら、スパイク状のノイズ電圧によって劣化が生じ易い集積回路IC1,IC2に接続されている導体パターンP1〜P3,P8〜P13には、第2検査部5から直流定電圧が供給されて、これらの導体パターンP1〜P3,P8〜P13の電位が不定となる状態のときと比較して、各導体パターンP1〜P3,P8〜P13間のインピーダンスが低い値に規定されている。これにより、各導体パターンP1〜P3,P8〜P13のうちの任意の一対の導体パターン間に電流がスパイク状に流れたとしても、この電流が流れることによってこの一対の導体パターン間に発生するノイズ電圧の電圧値が低い値に抑制されることから、集積回路IC1,IC2の劣化が回避されている。   Since the changeover switch constituting the scanner 3 is composed of an FET, a control signal supplied to the gate terminal to control the changeover switch from one of the on state and the off state to the other state. The phenomenon that spike noise (specifically, spike current) leaks to the source terminal side and drain terminal side via parasitic capacitance at at least one of the rising edge and falling edge. Arise. However, a DC constant voltage is supplied from the second inspection unit 5 to the conductor patterns P1 to P3 and P8 to P13 connected to the integrated circuits IC1 and IC2 that are likely to be deteriorated by the spiked noise voltage. The impedance between the conductor patterns P1 to P3 and P8 to P13 is defined to be lower than that when the potentials of the conductor patterns P1 to P3 and P8 to P13 are indefinite. Thereby, even if a current flows in a spike shape between any pair of conductor patterns among the conductor patterns P1 to P3 and P8 to P13, noise generated between the pair of conductor patterns due to the current flowing. Since the voltage value of the voltage is suppressed to a low value, deterioration of the integrated circuits IC1 and IC2 is avoided.

次いで、制御部6は、第1検査部4に対する制御を実行して、検査対象部位間(導体パターン群GP1と導体パターン群GP2との間)の絶縁状態を検査させる。   Subsequently, the control part 6 performs control with respect to the 1st test | inspection part 4, and test | inspects the insulation state between test object site | parts (between the conductor pattern group GP1 and the conductor pattern group GP2).

また、制御部6は、導体パターン群GP1と導体パターンP16との間の絶縁状態の検査に際しては、スキャナ3に対する制御を実行して、導体パターン群GP1におけるいずれかの導体パターンPに接触するプローブピン21(本例では、導体パターン群GP1におけるすべての導体パターンP1〜P4に接触するすべてのプローブピン21)をスキャナ3を介して第1検査部4の一対の接続端子4a,4bのうちのいずれか一方(例えば、接続端子4a)に検査対象部位として接続し(導体パターンP1〜P4を同電位にし)、かつ導体パターンP16に接触するプローブピン21をスキャナ3を介して第1検査部4の一対の接続端子4a,4bのうちの他方(例えば、接続端子4b)に検査対象部位として接続する。   Further, the control unit 6 controls the scanner 3 when inspecting the insulation state between the conductor pattern group GP1 and the conductor pattern P16, and makes contact with any one of the conductor patterns P in the conductor pattern group GP1. The pins 21 (in this example, all the probe pins 21 that contact all the conductor patterns P1 to P4 in the conductor pattern group GP1) are connected to each of the pair of connection terminals 4a and 4b of the first inspection unit 4 via the scanner 3. A probe pin 21 connected to either one (for example, the connection terminal 4a) as a site to be inspected (the conductor patterns P1 to P4 are set to the same potential) and in contact with the conductor pattern P16 is connected via the scanner 3 to the first inspection unit 4. The other of the pair of connection terminals 4a and 4b (for example, the connection terminal 4b) is connected as an inspection target part.

この場合にも、制御部6は、上記した導体パターン群GP1と導体パターン群GP2との間の絶縁状態を検査するときと同様にして、定電圧供給処理を実行して、スキャナ3を構成する切替スイッチをオン状態およびオフ状態のうちのいずれか一方の状態から他方の状態に切り替え制御するタイミングにおいて、第2検査部5と接続されているすべてのプローブピン21にこの第2検査部5から上記した直流定電圧が供給されるように第2検査部5を制御する。また、制御部6は、第2検査部5からプローブピン21に直流定電圧が供給されている状態において、スキャナ3に対する制御が完了したとき(スキャナ3を構成する切替スイッチをオン状態およびオフ状態のうちのいずれか一方の状態から他方の状態に切り替え制御し終えたとき)には、第2検査部5を制御して、第2検査部5を停止状態に移行させる(上記した直流定電圧の供給を停止させる)。   Also in this case, the control unit 6 executes the constant voltage supply process to configure the scanner 3 in the same manner as when the insulation state between the conductor pattern group GP1 and the conductor pattern group GP2 is inspected. At the timing when the changeover switch is switched from one of the ON state and the OFF state to the other state, all the probe pins 21 connected to the second inspection unit 5 are connected to the second inspection unit 5 from the second inspection unit 5. The second inspection unit 5 is controlled so that the above-described DC constant voltage is supplied. In addition, the control unit 6 completes the control for the scanner 3 in a state where the DC constant voltage is supplied from the second inspection unit 5 to the probe pin 21 (the changeover switch constituting the scanner 3 is turned on and off). When the switching control from one state to the other state is completed), the second inspection unit 5 is controlled to shift the second inspection unit 5 to the stop state (the above-described DC constant voltage) The supply is stopped).

これにより、切替スイッチをオン状態およびオフ状態のうちのいずれか一方の状態から他方の状態に切り替え制御するためにゲート端子に供給する制御信号の立ち上がり時および立ち下がり時のうちの少なくとも一方の時において、直流定電圧の供給によって各導体パターンP1〜P3,P8〜P13間のインピーダンスが低い値に規定されていることから、任意の一対の導体パターン間に発生するノイズ電圧の電圧値は低い値に抑制されて、集積回路IC1,IC2の劣化が回避されている。   As a result, at least one of the rising edge and the falling edge of the control signal supplied to the gate terminal to control the changeover switch from one of the ON state and the OFF state to the other state. In this case, since the impedance between the conductor patterns P1 to P3 and P8 to P13 is regulated to a low value by the supply of the DC constant voltage, the voltage value of the noise voltage generated between any pair of conductor patterns is a low value. Therefore, the deterioration of the integrated circuits IC1 and IC2 is avoided.

次いで、制御部6は、第1検査部4に対する制御を実行して、検査対象部位間(導体パターン群GP1と導体パターンP16との間)の絶縁状態を検査させる。   Subsequently, the control part 6 performs control with respect to the 1st test | inspection part 4, and test | inspects the insulation state between test object site | parts (between the conductor pattern group GP1 and the conductor pattern P16).

また、制御部6は、導体パターン群GP2と導体パターンP16との間の絶縁状態の検査に際しては、スキャナ3に対する制御を実行して、導体パターン群GP2におけるいずれかの導体パターンPに接触するプローブピン21(本例では、導体パターン群GP2におけるすべての導体パターンP5〜P15に接触するすべてのプローブピン21)をスキャナ3を介して第1検査部4の一対の接続端子4a,4bのうちのいずれか一方(例えば、接続端子4a)に検査対象部位として接続し(導体パターンP5〜P15を同電位にし)、かつ導体パターンP16に接触するプローブピン21をスキャナ3を介して第1検査部4の一対の接続端子4a,4bのうちの他方(例えば、接続端子4b)に検査対象部位として接続する。   Further, the control unit 6 controls the scanner 3 when inspecting the insulation state between the conductor pattern group GP2 and the conductor pattern P16, and makes contact with any one of the conductor patterns P in the conductor pattern group GP2. Pins 21 (in this example, all probe pins 21 in contact with all the conductor patterns P5 to P15 in the conductor pattern group GP2) are connected to one of the pair of connection terminals 4a and 4b of the first inspection unit 4 via the scanner 3. The probe pin 21 that is connected to either one (for example, the connection terminal 4a) as an inspection target part (the conductor patterns P5 to P15 are set to the same potential) and contacts the conductor pattern P16 is connected to the first inspection unit 4 via the scanner 3. The other of the pair of connection terminals 4a and 4b (for example, the connection terminal 4b) is connected as an inspection target part.

この場合にも、制御部6は、上記した導体パターン群GP1と導体パターン群GP2との間の絶縁状態を検査するときと同様にして、定電圧供給処理を実行して、スキャナ3を構成する切替スイッチをオン状態およびオフ状態のうちのいずれか一方の状態から他方の状態に切り替え制御するタイミングにおいて、第2検査部5と接続されているすべてのプローブピン21にこの第2検査部5から上記した直流定電圧が供給されるように第2検査部5を制御する。また、制御部6は、第2検査部5からプローブピン21に直流定電圧が供給されている状態において、スキャナ3に対する制御が完了したとき(スキャナ3を構成する切替スイッチをオン状態およびオフ状態のうちのいずれか一方の状態から他方の状態に切り替え制御し終えたとき)には、第2検査部5を制御して、第2検査部5を停止状態に移行させる(上記した直流定電圧の供給を停止させる)。   Also in this case, the control unit 6 executes the constant voltage supply process to configure the scanner 3 in the same manner as when the insulation state between the conductor pattern group GP1 and the conductor pattern group GP2 is inspected. At the timing when the changeover switch is switched from one of the ON state and the OFF state to the other state, all the probe pins 21 connected to the second inspection unit 5 are connected to the second inspection unit 5 from the second inspection unit 5. The second inspection unit 5 is controlled so that the above-described DC constant voltage is supplied. In addition, the control unit 6 completes the control for the scanner 3 in a state where the DC constant voltage is supplied from the second inspection unit 5 to the probe pin 21 (the changeover switch constituting the scanner 3 is turned on and off). When the switching control from one state to the other state is completed), the second inspection unit 5 is controlled to shift the second inspection unit 5 to the stop state (the above-described DC constant voltage) The supply is stopped).

これにより、切替スイッチをオン状態およびオフ状態のうちのいずれか一方の状態から他方の状態に切り替え制御するためにゲート端子に供給する制御信号の立ち上がり時および立ち下がり時のうちの少なくとも一方の時において、直流定電圧の供給によって各導体パターンP1〜P3,P8〜P13間のインピーダンスが低い値に規定されていることから、任意の一対の導体パターン間に発生するノイズ電圧の電圧値は低い値に抑制されて、集積回路IC1,IC2の劣化が回避されている。   As a result, at least one of the rising edge and the falling edge of the control signal supplied to the gate terminal to control the changeover switch from one of the ON state and the OFF state to the other state. In this case, since the impedance between the conductor patterns P1 to P3 and P8 to P13 is regulated to a low value by the supply of the DC constant voltage, the voltage value of the noise voltage generated between any pair of conductor patterns is a low value. Therefore, the deterioration of the integrated circuits IC1 and IC2 is avoided.

次いで、制御部6は、第1検査部4に対する制御を実行して、検査対象部位間(導体パターン群GP2と導体パターンP16との間)の絶縁状態を検査させる。   Subsequently, the control part 6 performs control with respect to the 1st test | inspection part 4, and test | inspects the insulation state between test object site | parts (between the conductor pattern group GP2 and the conductor pattern P16).

この第1検査部4による絶縁状態の検査中において、第1検査部4の一対の接続端子4a,4bから出力される絶縁抵抗計の検査用電圧(一般的に、数百ボルトのような高電圧)が、スキャナ3およびフィクスチャ2のプローブピン21を介して、導体パターン群GP1と他の導体パターン群GP2との間、導体パターン群GP1と導体パターン群を構成しない導体パターンP16との間、および導体パターン群GP2と導体パターンP16との間に、第2検査部5がn本の配線を介してフィクスチャ2のプローブピン21に接続されている状態のままで順次印加される。   During the inspection of the insulation state by the first inspection unit 4, the insulation resistance test voltage output from the pair of connection terminals 4 a and 4 b of the first inspection unit 4 (generally a high voltage such as several hundred volts). Between the conductor pattern group GP1 and another conductor pattern group GP2 and between the conductor pattern group GP1 and the conductor pattern P16 not constituting the conductor pattern group via the scanner 3 and the probe pin 21 of the fixture 2. The second inspection section 5 is sequentially applied between the conductor pattern group GP2 and the conductor pattern P16 while being connected to the probe pin 21 of the fixture 2 via n wires.

これにより、導体パターン群GP1と他の導体パターン群GP2との間への検査用電圧の印加の際には、このn本の配線のうちの3本の配線を介して導体パターン群GP1を構成する導体パターンP1〜P3に接触しているプローブピン21に接続されている検査装置Aと、このn本の配線のうちの他の6本の配線を介して導体パターン群GP2を構成する導体パターンP8〜P13に接触しているプローブピン21に接続されている検査装置Bとの間にも、高電圧の検査用電圧が印加される。しかしながら、上記したように、検査装置A,Bは、それぞれの基準電位G2,G3が互いに電気的に分離され、かつそれぞれの作動用電圧である電圧V2,V3も互いに電気的に分離され、さらに制御部6との間もアイソレータ10によって電気的に分離されているため、検査用電圧の印加時における検査装置Aから検査装置B(または、検査装置Bから検査装置A)への電流の回り込み、検査装置Aから制御部6などの電源部8側の回路(または、制御部6などの電源部8側の回路から検査装置A)への電流の回り込み、および検査装置Bから制御部6などの電源部8側の回路(または、制御部6などの電源部8側の回路から検査装置B)への電流の回り込みが防止されている。これにより、検査装置Aおよび検査装置Bの損傷が回避されている。   As a result, when the inspection voltage is applied between the conductor pattern group GP1 and the other conductor pattern group GP2, the conductor pattern group GP1 is configured through three of the n wirings. Conductor pattern constituting conductor pattern group GP2 through inspection device A connected to probe pin 21 in contact with conductor patterns P1 to P3 to be performed and the other six wires out of the n wires A high inspection voltage is also applied to the inspection device B connected to the probe pin 21 in contact with P8 to P13. However, as described above, in the inspection apparatuses A and B, the reference potentials G2 and G3 are electrically separated from each other, and the voltages V2 and V3, which are the respective operating voltages, are also electrically separated from each other. Since the control unit 6 is also electrically separated by the isolator 10, current flows from the inspection apparatus A to the inspection apparatus B (or from the inspection apparatus B to the inspection apparatus A) when the inspection voltage is applied, Current flows from the inspection device A to the circuit on the power supply unit 8 side such as the control unit 6 (or from the circuit on the power supply unit 8 side such as the control unit 6 to the inspection device A), and from the inspection device B to the control unit 6 etc. Current is prevented from flowing into the circuit on the power supply unit 8 side (or from the circuit on the power supply unit 8 side such as the control unit 6 to the inspection apparatus B). Thereby, the damage of the inspection apparatus A and the inspection apparatus B is avoided.

また、導体パターン群GP1と導体パターンP16との間への検査用電圧の印加の際には、3本の配線を介して導体パターン群GP1を構成する導体パターンP1〜P3に接触しているプローブピン21に接続されている検査装置Aと、導体パターンP16との間に、高電圧の検査用電圧が印加される。しかしながら、上記したように、検査装置Aは、基準電位G2が電源部8側の基準電位G1と電気的に分離され、かつ作動用電圧である電圧V2も電源部8側の電圧V1と電気的に分離され、さらに制御部6との間もアイソレータ10によって電気的に分離されているため、検査用電圧の印加時における検査装置Aから制御部6などの電源部8側の回路(または、制御部6などの電源部8側の回路から検査装置A)への電流の回り込みが防止されている。これにより、検査装置Aの損傷が回避されている。   In addition, when the inspection voltage is applied between the conductor pattern group GP1 and the conductor pattern P16, the probes that are in contact with the conductor patterns P1 to P3 constituting the conductor pattern group GP1 through three wires. A high inspection voltage is applied between the inspection apparatus A connected to the pin 21 and the conductor pattern P16. However, as described above, in the inspection apparatus A, the reference potential G2 is electrically separated from the reference potential G1 on the power supply unit 8 side, and the voltage V2 that is the operating voltage is also electrically connected to the voltage V1 on the power supply unit 8 side. And is also electrically separated from the control unit 6 by the isolator 10, so that the circuit (or control) on the power supply unit 8 side such as the control unit 6 from the inspection device A when the inspection voltage is applied. Current from a circuit on the power supply unit 8 side such as the unit 6 to the inspection apparatus A) is prevented. Thereby, the damage of the inspection apparatus A is avoided.

また、導体パターン群GP2と導体パターンP16との間への検査用電圧の印加の際においても、6本の配線を介して導体パターン群GP2を構成する導体パターンP8〜P13に接触しているプローブピン21に接続されている検査装置Bと、導体パターンP16との間に、高電圧の検査用電圧が印加されるが、基準電位G3が基準電位G1と電気的に分離され、かつ電圧V3も電圧V1と電気的に分離され、さらに制御部6との間もアイソレータ10によって電気的に分離されているため、上記した検査装置Aを使用した検査のときと同様にして、検査装置Bの損傷が回避されている。   Further, even when the inspection voltage is applied between the conductor pattern group GP2 and the conductor pattern P16, the probes that are in contact with the conductor patterns P8 to P13 constituting the conductor pattern group GP2 through six wires. A high inspection voltage is applied between the inspection device B connected to the pin 21 and the conductor pattern P16, but the reference potential G3 is electrically separated from the reference potential G1, and the voltage V3 is also Since it is electrically separated from the voltage V1 and further electrically separated from the control unit 6 by the isolator 10, damage to the inspection apparatus B is performed in the same manner as in the inspection using the inspection apparatus A described above. Has been avoided.

最後に、制御部6は、第1検査部4に対する制御を実行して、検査対象部位間の絶縁状態についての検査結果を示す結果データD1を出力させると共に、この結果データD1を取得して記憶部7に記憶させる。これにより、絶縁検査処理が完了する。   Finally, the control unit 6 executes control on the first inspection unit 4 to output the result data D1 indicating the inspection result regarding the insulation state between the inspection target parts, and obtains and stores the result data D1. Store in the unit 7. Thereby, the insulation inspection process is completed.

次に、制御部6は、回路基板51に内蔵されている電子部品(本例では、集積回路IC1,IC2)を検査する部品検査処理を実行する。この部品検査処理では、制御部6は、まず、スキャナ3に対する制御を実行して、複数のプローブピン21に接続されているm(本例では16)本の配線のすべてを第1検査部4の一対の接続端子4a,4bの双方から切り離すことで、スキャナ3を分離状態に移行させる。   Next, the control unit 6 executes a component inspection process for inspecting electronic components (in this example, the integrated circuits IC1 and IC2) built in the circuit board 51. In this component inspection process, the control unit 6 first executes control on the scanner 3 and all the m (16 in this example) wires connected to the plurality of probe pins 21 are the first inspection unit 4. By disconnecting from both of the pair of connection terminals 4a and 4b, the scanner 3 is shifted to the separated state.

この場合にも、制御部6は、上記した導体パターン群GP1と導体パターン群GP2との間の絶縁状態を検査するときに実行するスキャナ3に対する制御のときと同様にして、定電圧供給処理を実行して、スキャナ3を構成するすべての切替スイッチをオフ状態に制御するタイミングにおいて、第2検査部5と接続されているすべてのプローブピン21にこの第2検査部5から上記した直流定電圧が供給されるように第2検査部5を制御する。また、制御部6は、第2検査部5からプローブピン21に直流定電圧が供給されている状態において、スキャナ3に対する制御が完了したとき(スキャナ3を構成する切替スイッチをオフ状態に制御し終えたとき)には、第2検査部5を制御して、第2検査部5を停止状態に移行させる(上記した直流定電圧の供給を停止させる)。   Also in this case, the control unit 6 performs the constant voltage supply process in the same manner as the control for the scanner 3 executed when the insulation state between the conductor pattern group GP1 and the conductor pattern group GP2 is inspected. At the timing when all the changeover switches constituting the scanner 3 are controlled to be turned off, all the probe pins 21 connected to the second inspection unit 5 are connected to the DC constant voltage described above from the second inspection unit 5. The second inspection unit 5 is controlled so as to be supplied. In addition, the control unit 6 controls the scanner 3 when the DC constant voltage is supplied from the second inspection unit 5 to the probe pin 21 (controls the changeover switch constituting the scanner 3 to the off state). When finished, the second inspection unit 5 is controlled to shift the second inspection unit 5 to the stop state (the supply of the DC constant voltage described above is stopped).

これにより、切替スイッチをオン状態からオフ状態に制御するためにゲート端子に供給する制御信号の立ち上がり時(または立ち下がり時)において、直流定電圧の供給によって各導体パターンP1〜P3,P8〜P13間のインピーダンスが低い値に規定されていることから、任意の一対の導体パターン間に発生するノイズ電圧の電圧値は低い値に抑制されて、集積回路IC1,IC2の劣化が回避されている。   As a result, when the control signal supplied to the gate terminal for controlling the changeover switch from the on state to the off state is raised (or at the fall time), the conductor patterns P1 to P3 and P8 to P13 are supplied by the supply of the DC constant voltage. Since the impedance between them is regulated to a low value, the voltage value of the noise voltage generated between any pair of conductor patterns is suppressed to a low value, and the deterioration of the integrated circuits IC1 and IC2 is avoided.

次いで、制御部6は、アイソレータ10を介して第2検査部5の検査装置Aに制御信号Saを出力することによって検査装置Aを制御して、集積回路IC1(フィルタ素子)に対する部品検査を実行させる。この場合、検査装置Aは、3本の配線およびこれらの配線に接続されているプローブピン21を介して直接的(切替スイッチが介在しないことを意味する)に接続されている集積回路IC1に対して周波数特性を測定するための信号を供給すると共に、そのときに集積回路IC1から出力される信号を測定することにより、集積回路IC1の周波数特性を測定する。また、第2検査部5は、測定した周波数特性が予め規定された基準範囲内に含まれているか否かに基づいて集積回路IC1を検査する(例えば、測定した周波数特性が基準範囲内に含まれているときには良品であり、基準範囲から外れているときには不良品であるというように検査する)。   Next, the control unit 6 controls the inspection device A by outputting a control signal Sa to the inspection device A of the second inspection unit 5 through the isolator 10, and performs component inspection on the integrated circuit IC1 (filter element). Let In this case, the inspection apparatus A is connected to the integrated circuit IC1 that is directly connected (meaning that there is no changeover switch) via the three wires and the probe pins 21 connected to these wires. The frequency characteristic of the integrated circuit IC1 is measured by supplying a signal for measuring the frequency characteristic and measuring the signal output from the integrated circuit IC1 at that time. Further, the second inspection unit 5 inspects the integrated circuit IC1 based on whether or not the measured frequency characteristic is included in a predetermined reference range (for example, the measured frequency characteristic is included in the reference range). The product is inspected so that it is a non-defective product when it is out of the standard range and a defective product when it is out of the standard range.

続いて、制御部6は、アイソレータ10を介して第2検査部5の検査装置Bに制御信号Sbを出力することによって検査装置Bを制御して、集積回路IC2(D/A変換器)に対する部品検査を実行させる。この場合、検査装置Bは、6本の配線およびこれらの配線に接続されているプローブピン21を介して直接的(切替スイッチが介在しないことを意味する)に接続されている集積回路IC2に対して、信号出力装置が集積回路IC2の入力ピンにデジタルデータを複数パターン出力し、電圧測定器が各パターン時に集積回路IC2の出力ピンから出力される出力電圧を測定すると共に、各パターンに対応して予め規定された基準範囲内にこの出力電圧が含まれているか否かに基づいて集積回路IC2を検査する(例えば、出力電圧の電圧値が基準範囲内に含まれているときには良品であり、基準範囲から外れているときには不良品であるというように検査する)。   Subsequently, the control unit 6 controls the inspection device B by outputting a control signal Sb to the inspection device B of the second inspection unit 5 via the isolator 10 to control the integrated circuit IC2 (D / A converter). Have parts inspection run. In this case, the inspection apparatus B is connected to the integrated circuit IC2 that is directly connected (meaning that there is no changeover switch) via the six wires and the probe pins 21 connected to these wires. The signal output device outputs a plurality of patterns of digital data to the input pins of the integrated circuit IC2, and the voltage measuring device measures the output voltage output from the output pins of the integrated circuit IC2 at each pattern and corresponds to each pattern. The integrated circuit IC2 is inspected based on whether or not the output voltage is included in the reference range defined in advance (for example, it is a non-defective product when the voltage value of the output voltage is included in the reference range, When it is out of the reference range, it is inspected as a defective product).

最後に、制御部6は、第2検査部5に対する制御を実行して、検査装置Aによる集積回路IC1の検査結果を示す結果データDaと、検査装置Bによる集積回路IC2の検査結果を示す結果データDbとを出力させると共に、これらの結果データDa,Dbを取得して記憶部7に記憶させる。これにより、部品検査処理が完了し、回路基板51に対するすべての検査処理が完了する。なお、制御部6は、回路基板検査装置1が不図示の出力部を備えているときには、記憶部7から各結果データD1,Da,Dbを読み出して、出力部に出力する。これにより、出力部が表示装置で構成されているときには、各結果データD1,Da,Dbが表示装置の画面上に表示される。また、出力部が外部インターフェース回路で構成されているときには、外部インターフェース回路を介して回路基板検査装置1と接続されている外部装置に各結果データD1,Da,Dbが出力される。   Finally, the control unit 6 executes control on the second inspection unit 5, and results data Da indicating the inspection result of the integrated circuit IC1 by the inspection apparatus A and results indicating the inspection result of the integrated circuit IC2 by the inspection apparatus B. The data Db is output, and the result data Da and Db are acquired and stored in the storage unit 7. Thus, the component inspection process is completed, and all the inspection processes for the circuit board 51 are completed. When the circuit board inspection apparatus 1 includes an output unit (not shown), the control unit 6 reads the result data D1, Da, Db from the storage unit 7 and outputs the result data to the output unit. Thereby, when the output unit is constituted by a display device, each result data D1, Da, Db is displayed on the screen of the display device. When the output unit is composed of an external interface circuit, each result data D1, Da, Db is output to an external device connected to the circuit board inspection apparatus 1 via the external interface circuit.

このように、この回路基板検査装置1では、1つの導体パターン群GP1を構成させる集積回路IC1に接続されている導体パターンP1〜P3に接触するプローブピン21に配線を介して直接的に接続されて、この集積回路IC1に対する部品検査を実行する検査装置A、および他の1つの導体パターン群GP2を構成させる集積回路IC2に接続されている導体パターンP8〜P13に接触するプローブピン21に配線を介して直接的に接続されて、この集積回路IC2に対する部品検査を実行する検査装置Bを有する第2検査部5と、制御部6側の電源部8に対して電気的に絶縁された状態に構成されて第2検査部5の検査装置A,Bに作動用の電圧V2,V3を供給するフローティング電源部9とを備え、制御部6が、スキャナ3および第1検査部4に対する制御を実行して、導体パターン群GP1と他の導体パターン群GP2との間、導体パターン群GP1と導体パターン群を構成しない導体パターンP16との間、および導体パターン群GP2と導体パターンP16との間の絶縁状態の検査を第1検査部4に実行させる絶縁検査処理と、スキャナ3に対する制御を実行してスキャナ3を分離状態に移行させると共に第2検査部5に対する制御を実行して回路基板51に内蔵されている集積回路IC1,IC2について部品検査を実行させる部品検査処理とを実行する。   As described above, in the circuit board inspection apparatus 1, the probe pins 21 that are in contact with the conductor patterns P1 to P3 connected to the integrated circuit IC1 constituting one conductor pattern group GP1 are directly connected via wiring. Then, wiring is made to the probe pins 21 that are in contact with the conductor patterns P8 to P13 connected to the integrated circuit IC2 constituting the inspection apparatus A that performs component inspection on the integrated circuit IC1 and the other conductor pattern group GP2. The second inspection unit 5 having the inspection device B that is directly connected to the integrated circuit IC2 and performs the component inspection on the integrated circuit IC2 is electrically insulated from the power supply unit 8 on the control unit 6 side. And a floating power supply unit 9 configured to supply operating voltages V2 and V3 to the inspection devices A and B of the second inspection unit 5. And the control of the first inspection unit 4, and between the conductor pattern group GP1 and another conductor pattern group GP2, between the conductor pattern group GP1 and the conductor pattern P16 that does not constitute the conductor pattern group, and the conductor pattern group An insulation inspection process for causing the first inspection unit 4 to perform an inspection of the insulation state between the GP2 and the conductor pattern P16, and a control for the scanner 3 are performed to shift the scanner 3 to the separated state and to the second inspection unit 5 Control is executed to execute component inspection processing for performing component inspection on the integrated circuits IC1 and IC2 built in the circuit board 51.

したがって、この回路基板検査装置1によれば、第2検査部5の各検査装置A,Bが配線を介してプローブピン21に接続されている状態で、制御部6が絶縁検査処理を実行したとしても、導体パターン群GP1に配線を介して接続されている検査装置Aの基準電位G2および電圧V2、導体パターン群GP2に配線を介して接続されている検査装置Bの基準電位G3および電圧V3、並びに制御部6側の電源部8の基準電位G1および電圧V1が相互に電気的に分離されているため、検査装置Aから検査装置B(または、検査装置Bから検査装置A)への電流の回り込み、検査装置Aから制御部6などの電源部8側の回路(または、制御部6などの電源部8側の回路から検査装置A)への電流の回り込み、および検査装置Bから制御部6などの電源部8側の回路(または、制御部6などの電源部8側の回路から検査装置B)への電流の回り込みを防止することができ、これにより、第2検査部5(本例では、検査装置Aおよび検査装置B)の損傷を回避することができる。   Therefore, according to the circuit board inspection device 1, the control unit 6 performs the insulation inspection process in a state where the inspection devices A and B of the second inspection unit 5 are connected to the probe pins 21 via the wiring. The reference potential G2 and voltage V2 of the inspection apparatus A connected to the conductor pattern group GP1 via wiring, and the reference potential G3 and voltage V3 of the inspection apparatus B connected to the conductor pattern group GP2 via wiring. Since the reference potential G1 and the voltage V1 of the power supply unit 8 on the control unit 6 side are electrically separated from each other, the current from the inspection device A to the inspection device B (or the inspection device B to the inspection device A) Wraparound, current wrap around from the inspection device A to the circuit on the power supply unit 8 side such as the control unit 6 (or from the circuit on the power supply unit 8 side such as the control unit 6 to the inspection device A), and from the inspection device B to the control unit 6 Current in the power supply unit 8 side (or a circuit on the power supply unit 8 side such as the control unit 6 to the inspection apparatus B) can be prevented, and thereby the second inspection unit 5 (in this example, Damage to the inspection apparatus A and the inspection apparatus B) can be avoided.

また、第2検査部5(本例では、検査装置Aおよび検査装置B)とフィクスチャ2のプローブピン21との間は配線を介して直接的に接続したままの状態でよいため、絶縁検査の際に第2検査部5とフィクスチャ2のプローブピン21との間を分離するためのスイッチを不要にでき、これによって装置構成の複雑化を回避することができると共に、第2検査部5から回路基板51に内蔵されている電子部品(この例では集積回路IC1,IC2)への検査信号についてもその劣化を回避して供給することができる。   Further, since the second inspection unit 5 (inspection apparatus A and inspection apparatus B in this example) and the probe pin 21 of the fixture 2 may be in a state of being directly connected via wiring, an insulation inspection is performed. In this case, a switch for separating the second inspection unit 5 and the probe pin 21 of the fixture 2 can be dispensed with, thereby making it possible to avoid complication of the apparatus configuration and to provide the second inspection unit 5. The inspection signals to the electronic components (in this example, the integrated circuits IC1 and IC2) built in the circuit board 51 can be supplied while avoiding deterioration.

また、この回路基板検査装置1では、制御部6が、スキャナ3に対する制御を実行して切替スイッチ(FETで構成されている)のオン・オフ状態を切り替え制御するタイミング(オン状態およびオフ状態のうちのいずれか一方の状態から他方の状態に切り替え制御するタイミング)において、第2検査部5を制御して、配線を介して第2検査部5と接続されているすべてのプローブピン21に予め規定された電圧値の直流定電圧を第2検査部5から供給させる定電圧供給処理を実行する。したがって、この回路基板検査装置1によれば、スキャナ3を構成する切替スイッチをオン状態およびオフ状態のうちのいずれか一方の状態から他方の状態に切り替え制御するためにゲート端子に供給する制御信号の立ち上がり時および立ち下がり時のうちの少なくとも一方の時において、直流定電圧の供給によって各導体パターンP1〜P3,P8〜P13間のインピーダンスを低い値に規定できるため、任意の一対の導体パターン間に発生するノイズ電圧の電圧値を低い値に抑制できる結果、集積回路IC1,IC2の劣化を回避することができる。   In the circuit board inspection apparatus 1, the control unit 6 executes the control for the scanner 3 to switch the on / off state of the changeover switch (consisting of the FET) (on state and off state). The timing of switching from one of the states to the other state), the second inspection unit 5 is controlled so that all the probe pins 21 connected to the second inspection unit 5 via the wiring are preliminarily provided. A constant voltage supply process for supplying a DC constant voltage having a specified voltage value from the second inspection unit 5 is executed. Therefore, according to the circuit board inspection apparatus 1, the control signal supplied to the gate terminal in order to switch the changeover switch constituting the scanner 3 from one of the on state and the off state to the other state. Since the impedance between the conductor patterns P1 to P3 and P8 to P13 can be set to a low value by supplying a DC constant voltage at at least one of the rising time and the falling time of As a result of suppressing the voltage value of the noise voltage generated at 1 to a low value, deterioration of the integrated circuits IC1 and IC2 can be avoided.

また、この回路基板検査装置1では、制御部6が、絶縁検査処理の実行時において、検査対象部位としての1つの導体パターン群GPを構成する各導体パターンPが互いに同電位になるように、本例では、導体パターン群GP1を構成する導体パターンP1〜P4が互いに同電位になり、また導体パターン群GP2を構成する導体パターンP5〜P15が互いに同電位になるように スキャナ3を制御する。したがって、この回路基板検査装置1によれば、同じ導体パターン群GP内における各導体パターンPの間の電位差によって同じ導体パターン群GP内において漏れ電流(電流の回り込み)が生じて、それによって電子部品が損傷するという事態の発生を確実に防止することができる。   Further, in this circuit board inspection apparatus 1, the control unit 6 is configured so that the conductor patterns P constituting one conductor pattern group GP as the inspection target part have the same potential at the time of execution of the insulation inspection process. In this example, the scanner 3 is controlled so that the conductor patterns P1 to P4 constituting the conductor pattern group GP1 have the same potential, and the conductor patterns P5 to P15 constituting the conductor pattern group GP2 have the same potential. Therefore, according to the circuit board inspection apparatus 1, a leakage current (current wraparound) is generated in the same conductor pattern group GP due to a potential difference between the conductor patterns P in the same conductor pattern group GP, thereby causing an electronic component. Can be reliably prevented from occurring.

なお、導体パターンPを連鎖的に接続させる電子部品によっては、同じ導体パターン群GP内における各導体パターンPの間に殆ど電位差が生じない場合がある。このため、このような導体パターン群GPにおいては、導体パターン群GPを構成するすべての導体パターンPを同電位にする必要が無いことから、1つの導体パターン群GPを構成するいずれかの導体パターンPを検査対象部位として第1検査部4に接続する構成を採用することもできる。   Note that, depending on the electronic components in which the conductor patterns P are connected in a chain, there may be little potential difference between the conductor patterns P in the same conductor pattern group GP. For this reason, in such a conductor pattern group GP, since it is not necessary to make all the conductor patterns P that constitute the conductor pattern group GP have the same potential, any conductor pattern that constitutes one conductor pattern group GP. It is also possible to adopt a configuration in which P is connected to the first inspection unit 4 as an inspection target site.

1 回路基板検査装置
2 フィクスチャ
3 スキャナ
4 第1検査部
5 第2検査部
6 制御部
8 電源部
9 フローティング電源部
21 プローブピン
51 回路基板
C1〜C3 コンデンサ
GP1,GP2 導体パターン群
IC1,IC2 集積回路
P1〜P16 導体パターン
R1〜R4 抵抗
1 Circuit board inspection equipment
2 Fixture
3 Scanner
4 1st inspection department
5 Second inspection department
6 Control unit
8 Power supply
9 Floating power supply unit 21 Probe pin 51 Circuit board C1 to C3 Capacitor GP1, GP2 Conductor pattern group IC1, IC2 Integrated circuit P1 to P16 Conductor pattern R1 to R4 Resistance

Claims (2)

複数の導体パターンが形成されると共に当該複数の導体パターンのうちのいずれかの導体パターンに接続された電子部品が内蔵された回路基板を検査する回路基板検査装置であって、
前記複数の導体パターンに接触させられる複数のプローブピンが立設されたフィクスチャと、
一対の接続端子を有し当該一対の接続端子に接続された検査対象部位間の絶縁状態を検査する第1検査部と、
複数の切替スイッチを有して構成されると共に、配線を介して前記複数のプローブピンおよび前記一対の接続端子と接続された状態で前記フィクスチャと前記第1検査部との間に配設されて、前記切替スイッチのオン・オフ状態が制御されることにより、前記複数のプローブピンすべてを前記一対の接続端子から切り離す分離状態および前記複数のプローブピンのうちの任意のプローブピンを前記一対の接続端子に接続する接続状態のいずれかの状態に移行するスキャナと、
前記電子部品を介して連鎖的に接続されている全ての前記導体パターンを1つの導体パターン群としたときに、1つの当該導体パターン群を構成させる前記電子部品に接続されている前記導体パターンに接触する前記プローブピンに配線を介して直接的に接続されて、当該電子部品に対する部品検査を実行する第2検査部と、
前記第1検査部、前記スキャナおよび前記第2検査部に対する制御を実行する制御部と、
前記第1検査部、前記スキャナおよび前記制御部に第1作動用電圧を供給する電源部と、
前記第1作動用電圧と電気的に絶縁された第2作動用電圧を前記第2検査部に供給するフローティング電源部とを備え、
前記制御部は、前記スキャナに対する制御を実行して、1つの前記導体パターン群におけるいずれかの前記導体パターン、他の1つの前記導体パターン群におけるいずれかの前記導体パターン、および前記導体パターン群を構成しない前記導体パターンのうちのいずれか2つを前記検査対象部位として前記一対の接続端子に接続させると共に前記第1検査部に対する制御を実行して当該検査対象部位間の絶縁状態を検査させる絶縁検査処理と、前記スキャナに対する制御を実行して当該スキャナを前記分離状態に移行させると共に前記第2検査部に対する制御を実行して前記部品検査を実行させる部品検査処理とを実行すると共に、前記スキャナに対する制御を実行して前記切替スイッチの前記オン・オフ状態を切り替え制御するタイミングにおいて、前記第2検査部を制御して、前記配線を介して前記第2検査部と接続されているすべての前記プローブピンに予め規定された電圧値の直流定電圧を当該第2検査部から供給させる回路基板検査装置。
A circuit board inspection apparatus for inspecting a circuit board in which electronic components connected to any one of the plurality of conductor patterns are formed and a plurality of conductor patterns are formed,
A fixture in which a plurality of probe pins that are brought into contact with the plurality of conductor patterns are erected,
A first inspection unit that has a pair of connection terminals and inspects an insulation state between inspection target parts connected to the pair of connection terminals;
The switch includes a plurality of changeover switches, and is disposed between the fixture and the first inspection unit in a state of being connected to the plurality of probe pins and the pair of connection terminals via wiring. Then, by controlling the on / off state of the changeover switch, the separated state in which all of the plurality of probe pins are disconnected from the pair of connection terminals, and any probe pin of the plurality of probe pins is disposed in the pair of pairs. A scanner that transitions to one of the connection states connected to the connection terminal;
When all the conductor patterns connected in a chain via the electronic parts are defined as one conductor pattern group, the conductor patterns connected to the electronic parts constituting one conductor pattern group A second inspection unit that is directly connected to the probe pins that are in contact with each other via wiring and performs a component inspection on the electronic component;
A control unit that executes control for the first inspection unit, the scanner, and the second inspection unit;
A power supply unit that supplies a first operating voltage to the first inspection unit, the scanner, and the control unit;
A floating power supply unit that supplies a second operating voltage electrically insulated from the first operating voltage to the second inspection unit;
The control unit executes control on the scanner, and selects one of the conductor patterns in one conductor pattern group, one of the conductor patterns in another conductor pattern group, and the conductor pattern group. Insulation in which any two of the conductor patterns that are not configured are connected to the pair of connection terminals as the inspection target part and the control of the first inspection unit is performed to inspect the insulation state between the inspection target parts. And performing an inspection process, a control for the scanner to shift the scanner to the separated state, a control for the second inspection unit to execute the part inspection, and the scanner. Timing for controlling the on / off state of the changeover switch by executing control on the switch In this case, the second inspection unit is controlled so that a DC constant voltage having a voltage value defined in advance for all the probe pins connected to the second inspection unit via the wiring is applied to the second inspection unit. Circuit board inspection device to be supplied from.
前記制御部は、前記絶縁検査処理の実行時において、前記検査対象部位としての1つの前記導体パターン群を構成する前記各導体パターンが互いに同電位になるように前記スキャナに対する制御を実行する請求項1記載の回路基板検査装置。   The said control part performs control with respect to the said scanner so that each said conductor pattern which comprises one said conductor pattern group as said test object site | part may become the same electric potential at the time of execution of the said insulation test process. The circuit board inspection apparatus according to 1.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11101841A (en) * 1997-09-26 1999-04-13 Sony Corp Conductive paste through hole type double-sided printed wiring board and its electric characteristics inspection equipment
US6291978B1 (en) * 1993-08-31 2001-09-18 Agilent Technologies, Inc. System and method for detecting shorts, opens and connected pins on a printed circuit board using automatic test equipment
JP2009121843A (en) * 2007-11-12 2009-06-04 Yokogawa Electric Corp Voltage application/current measuring device
JP4532570B2 (en) * 2008-01-22 2010-08-25 日置電機株式会社 Circuit board inspection apparatus and circuit board inspection method

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6291978B1 (en) * 1993-08-31 2001-09-18 Agilent Technologies, Inc. System and method for detecting shorts, opens and connected pins on a printed circuit board using automatic test equipment
JPH11101841A (en) * 1997-09-26 1999-04-13 Sony Corp Conductive paste through hole type double-sided printed wiring board and its electric characteristics inspection equipment
JP2009121843A (en) * 2007-11-12 2009-06-04 Yokogawa Electric Corp Voltage application/current measuring device
JP4532570B2 (en) * 2008-01-22 2010-08-25 日置電機株式会社 Circuit board inspection apparatus and circuit board inspection method

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